JPH02178547A

JPH02178547A - 空気調和装置

Info

Publication number: JPH02178547A
Application number: JP63335079A
Authority: JP
Inventors: Toshio Onodera; 敏雄小野寺; Yoshinori Hase; 長谷　喜則; Shuichi Umigami; 海上　修一; Shigeyuki Matsumoto; 繁幸松本
Original assignee: Canon Inc; Hitachi Plant Technologies Ltd
Current assignee: Canon Inc; Hitachi Plant Technologies Ltd
Priority date: 1988-12-29
Filing date: 1988-12-29
Publication date: 1990-07-11
Anticipated expiration: 2012-05-21
Also published as: JP2612198B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、半導体製造等の電子工業に使用される空気調
和装置に係り、特に、浄化空気領域から排出された空気
の流れる方向を規制した空気調和装置に関する。

〔従来の技術〕

半導体装置等の製造においては、塵埃の混入や温度、湿
度の変化を極端に嫌う。特に、製品の高集積化に伴って
、これまで以上に室内環境の高清浄度が要求されるよう
になってきた。この半導体装置製造に用いられる空間は
クリーンルームと呼ばれて、空気調和装置として構成さ
れている。

一般にクリーンルームは、トンネル構造と全面垂直層流
構造に大別され、使用目的によって選択される。近時、
省エネルギーの観点から構成される装置の特徴は、稼動
状況に応じた特定の装置域ごとの空調制御ができるトン
ネル構造のものが注目されている。この種のクリーンル
−ムとしては、例えば、特公昭６２−３１２５８号公報
に開示されたものが挙げられる。

トンネル形クリーンルームは、建屋内に設置される空気
清浄調和装置として構成される。

この装置は、各種の処理装置を配置する装置配置領域と
、作業者が移動する通路となると共に処理装置を操作す
る作業領域（以後この円領域を合わせて浄化空気領域と
いうことがある。）と、処理装置のメンテナンスを行う
保全領域とに区分けされている。装置配置領域及び作業
領域の各天井部には、超高性能フィルタとファンとを組
み合わせて配置された空気浄化装置がそれぞれ独立して
設けられ、空気調和機から導かれた空気をファンで加圧
し、超高性能フィルタにより清浄化した後、吹出口を通
して各領域内に吹き出すようになっている。

また、各領域の下部には床下排気部があり、排出空気は
建屋外に排出されるか、あるいは床下排気部から保全領
域に入り、保全領域に空気調和機が設置されている場合
は、その空気調和機に導かれ、温度及び湿度が再度調整
され、浄化空気領域の天井部に配置された空気浄化装置
を経て再び浄化空気領域に供給される。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところが、上記従来の空気調和装置ｎにＪｉいては、床
下排気部が隣接する浄化空気領域間で共用されているた
め、ある浄化空気領域からの排気が床下排気部を経由し
て隣接した浄化空気領域に流れ込んでしまうことがあっ
た。作業者の髪、紙の繊維、金属粉など、一つの浄化空
気領域で発生した塵埃を含んだ浄化度の低くなった空気
が、直接、隣接浄化空気領域に流入してしまうとか、化
学薬品を扱う作業等を行う場合に、その蒸気が他の浄化
空気領域に入り込み、他の浄化空気領域における作業に
著しく悪影響を及ぼすという問題があっｊこ。

また、上記従来の空気調和装置においては、浄化空気領
域および保全領域をその内部に設けた建屋のコーナー部
、すなわち建屋の天井と側壁の交わる部分、床下排気部
の床面と建屋側壁の交わる部および建屋四隅の各コーナ
ー部において、空気の流れが乱れる事があった。同じよ
うに、二つの浄化空気領域間の保全領域の上方空間に２
３いても、両方の浄化空気領域の上方から互いに逆向き
の空気流が流れ込んでくるので、これらが乱流を生じる
ことがある。このため、空気流の乱れに伴って、塵埃が
舞い上がり、化学薬品のガスが周囲に拡散し、浄化空気
領域の空気の清浄度に悪影響を及ぼすといった問題があ
った。

そこで、本発明の目的は一つの浄化空気領域より排出し
た空気が、床下排気部を経て隣接浄化空気領域に流入す
ることを防止し、かつ、浄化空気領域および保全領域を
その内部に設けた建屋のコーナー部あるいは保全領域上
方空間における空気流の乱れの発生を防止した空気調和
装置を提供することである。

〔課題を解決するだめの手段〕

本発明は上記目的を達成するために、上部に空気浄化装
置を備えた浄化空気領域から排出した空気を、浄化空気
領域と隔壁を介して隣接して設けた保全領域に導く、床
下排気部を萌記両領域の下方に形成し、保全領域下方の
床下排気部に、あるいは浄化空気領域と保全領域をその
内部に設けた建屋のコーナー部および保全領域上方の建
屋天井部に、通風誘導部材を設けた空気調和装置を提供
するものである。

〔作用〕

空気浄化装置で清浄化された空気は、浄化空気領域の室
内に吹き出されるが、浄化空気領域から床下排気部に排
出された空気の一部は、保全領域側の床下排気部に流れ
込む。このとき、保全領域下部の床下排気部には通風誘
導部材があるので、浄化空気領域側の床下排気部から流
れ込んできた空気は通風誘導部材により、上方に流れの
向きを変え、保全領域に導かれる。したがって一つの浄
化空気領域から排出し、保全領域側の床下排気部に流入
した清浄度の低くなった空気が、隣接した浄化空気領域
に流入するおそれがなくなる。また、この通風誘導部材
の表面に塵埃吸若用の粘着性マットまたは静電マットを
被覆した場合には、塵埃除去効果が向上する。さらに、
通風誘導部材上に吸看剤含有フィルタを付設した場合に
は、化学薬品の蒸気等の除去効果もあり、空気浄化作用
が一層促進される。

また、通風誘導部材が建屋のコーナー部および保全領域
上方の天井部に設けられているので空気の流れは、１！
屋内のすべての空間で乱れを生じることか無くなり、し
たがって、塵埃または化学薬品等の蒸気が周囲に拡散す
ることもない。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。

第１図は、本発明の空気調和装置の一部概略縦断面図で
ある。空気調和装置１の建屋１０内に構成される部分は
、装置配置領域１１と作業領域１２（以下これを合わせ
て浄化空気領域１１．１２と呼ぶことがある。、）と、
これらの浄化空気領域１１．１２とは隔壁１６で区画さ
れた保全領域１３と、この浄化空気領域１１．１２およ
び保全領域１３の上方の天井裏部１４および下方の床下
排気部１５に大略区分されている。

浄化空気領域ｌＬ１２の天井部には空気浄化装置１７が
設けてあり、これらの空気浄化装置１７には浄化空気領
域１１．１２に面した位置に超高性能フィルタ１８と、
保全領域１３および天井裏部１４側に吸入口をもら、装
置配置領域ＩＩ側に吹き出し口をもつ７アン１９ａを備
えた７アンユニツ［９と、がそれぞれ配置されている。

浄化空気領域＋１１２の下部の床面２０および保全領域
１３の下部の床面２１は、すのこ状部材で形成され、隔
壁１６の下方延長部に設けられたダンパ２２をはさんで
、両床下面は床下排気部１５を構成している。また、建
屋ＩＯの外部に設けた空気調和機２３よりダクト２６を
介して温度、湿度の調整された空気が天井裏部１４へ供
給される構成となっている。保全領域１３下部の床下排
気部１５のほぼ中央部には、通風誘導部材２７が床下排
気部１５の長手方向に沿って配置されている。

また、第３図に＠１図のＡ−Ａ線で切断した本発明の空
気調和装置ｌの一部概略横断面図を示すように、本発明
の空気調和装置ｌは機材を搬送するため、あるいは作業
者の通路用の主搬送路２９に対して、複数の空気浄化領
域１１．１２が直交して配置され、いわゆるベイ描込を
構成している。そして、この主搬送路２９の上方には、
浄化空気領域１１．１２’と同様に空気浄化装置１７が
設けらている。そして、主搬送路２９と浄化空気領域　
月、１２の境界部の床下排気部１５にも通風誘導部材２
７を配置しておく。

また保全領域１３の下方の床下排気部１５にはその長手
方向に沿って通風誘導部材２７が配置されている。

以上の構成からなる空気調和装置の作用を説明する。

空気調和機２３にて所定の温度、湿度に調整された空気
（空調空気）は天井裏部１４に送られ、ファン１９ａに
より空気浄化装置１７に吸い込まれ、超高性能フィルタ
１８によって塵埃等の除去がされた後、浄化空気領域１
１．１２に吹さ出される。浄化空気領域１１．１２の床
面２０がすのこ状であるため、吹き出された空気は天井
から床面に向かってダウン７０−式に縦の層流となって
流れ、床下排気部１５に達す。

床下排気部１５では空気はダンパ２２を通過して、保全
領域１３側の床下排気部１５に流れる。このとき、保全
領域１３側の床下排気部１５のほぼ中央には通風誘導部
材２７があるため、ここに流入した空気は上方に向きを
変え床面２１を経て保全領域１３に流入する。保全領域
１３はファン１９ａの吸引力により若干減圧状態にある
ので、−旦、保全領域Ｉ３に流入した空気は、ファン１
９ａの方向に流れやすくなっている。また、このとき空
気は層流のアンプ７０−となるので、この空気が排出し
た浄化空気領域１１．１２側の７アン１９ａにより吸引
され、隣接した浄化空気領域！！、１２側のファン１９
ａへは吸引されない。

さらに、主搬送路２９の上方の空気浄化装置１７からも
下向きに浄化空気が吹き出され、浄化空気はすのこ状の
床面（図示せず。）を通って床下排気部１５に導かれる
が、主搬送路２９と浄化空気領域１１゜１２との境界部
にも通風誘導部材２７が配置されているので、浄化空気
領域１１．１２方向からの清浄度の低くなった空気と床
下排気部１５で混合するおそれはない。

この通風誘導部材２７は、第４図（ａ）に示すように単
一部材からなるものでもよいが、第４図（ｂ）に示すよ
うに、多数の部材をつなぎ合わせて床面に配置してもよ
い。また、多数の部材をつなぎ合わせて用いる場合には
、通風誘導が必要な箇所に適宜の個数配置することがで
き、また、撤去作業がじやすく、汚染度の高くなった通
風誘導部材２７を選択的に取り除き、新しい部材と交換
することも容易となる。また、この通風誘導部材２７０
通風誘導側面２７ａは、通風の誘導−ヒ支障をさたす形
状以外のいかなる形状でもとり得るが、ｍ４Ｚ（ａ）に
示すような、凹面状の二つの通風誘導側面２７ａを有す
る断面略三角形のものが最も望ましい。しかし、第４図
（ｃ）に示すように、平面状の通風誘導側面２７ａを有
する断面三角形ものであってもよい。

また、第４図（ｄ）に示すように、この通風誘導部材２
７の通風誘導側面２７ａには、浄化空気領域１１．１２
から排出される、髪の毛、紙繊維、衣服の繊維、金属磨
耗粉などの塵埃を吸着するための粘着性マント２７゛あ
るいは、静電マット２７′を被覆しておけば空気浄化効
果にも役立つ。さらにメチルエチルケトン、アルコール
類等の溶剤またはアンモニア、過酸化水素、硝酸、フッ
化水素等の化学薬品の蒸気、あるいはその他の微粒子を
吸着させるために、第４図（ｅ）に示すように通風誘導
部材２７の頂部の一方または両方の通風誘導側面２７ａ
に吸着剤含有フィルタ２８を付設してもよい。このフィ
ルタ２８はチタン系もしくはシリカ系の吸着剤を含有し
たものが望ましい。また、特定の薬品の使用領域は予め
決まっていることが多いので、各化学薬品に適した吸着
剤を含むフィルタ２８を付設した通気誘導部材２７を、
それぞれの化学薬品を使用する浄化空気領域１１．１２
に隣接する保全領域１３の床下排気部１５に設置してお
くことが好ましい。この吸着剤含有フィルタ２８は通風
誘導側面２７ａに対して略垂直状にフィルタ面が配置さ
れるようにすると吸着効果が向上する。

なお、この通風誘導部材２７を、作業領域１２のほぼ中
央部に位置する床下排気部１５にも配置しておけば、作
業領域１２よりの空気の流れを乱すことはなく、左右に
分流して隣接した保全領域ｊ３方向に排気させることか
でさる。　また、第２図に示すように、建屋１０の天井
と側壁の交わる部分、床下排気室１５の床面と側壁の交
わる部分および建屋１０の四隅のそれぞれのコーナー部
および図示はしていないが二つの浄化空気領域１１．１
２間の保全領域１３上方の天井部に通風誘導部材２７を
置けば、ここでも浄化空気領域１１．１２よりの空気の
流れを乱すことはなく、ｌＩ！屋１屋内０内気流を偏向
させることができる。特に、天井部に配置する通風誘導
部材２７には塵埃または化学薬品等のガス吸着用のフィ
ルタを付設しておくと、天井部に浮遊しているこれらの
不純物を吸着除去できる。

〔発明の効果〕

本発明は保全領域下部の床下排気部に通風誘導部材が配
置されているので、ある浄化空気領域（装置配置領域、
作業領域）から保全領域側の床下排気部に流れ込んでさ
た浄化度の低下した空気を上方の保全領域に導き、隣接
の浄化空気領域には流れ込ませないようにすることがで
き、隣接の浄化空気領域に影響を与えることがない。ま
た、通風誘導側面に粘着性マット、静電マットを被覆し
ておけば、塵埃除去効果があり、ざらに、吸着剤含有フ
ィルタを付設することにより、たとえ空気が化学薬品等
の蒸気などで汚染されていても、これらの蒸気、その他
の微粒子を除去でさる１゜また、建屋のコーナー部およ
び保全領域の上方の天井部に通風誘導部材を設けること
により建屋内の空気流に乱れが生じなくなり、塵埃が舞
い上がったり、化学薬品の蒸気が周囲に拡散したりする
事がなくなり、浄化空気領域の空気浄化度を下げること
もなくなる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の空気調和装置の一部概Ｉｉ！）縦断
面図、第２図は！Ｉ！屋コーナー部の拡大断面図、第３
図は第１図のＡ−Ａ線で切断した本発明の空気調和装置
の一部概略横断面図、第４図（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、
（ｄ）および（ｅ）は、本発明で用いる通風誘導部材を
それぞれ示す。ＩＩ・・・装置配置領域、１２・・・作業領域、１３・
・・保全領域、　１５・・・床下排気部、２７・・・通
風誘導部材、２８・・・吸若材含有フィルタ代理人　弁
理土中野佳直　ほか１名菓第図図／３−−一保全領域ノ５−−−床下市Ｆ気邪１７−−−墾り（ｊ事イヒ装ＪＬ

Claims

【特許請求の範囲】

（１）上部に空気浄化装置を備えた浄化空気領域から排
出した空気を、浄化空気領域と隔壁を介して隣接して設
けた保全領域に導く、床下排気部を前記両領域の下方に
形成し、保全領域下方の床下排気部に通風誘導部材を設
けたことを特徴とする空気調和装置。
（２）通風誘導部材の通風誘導側面に塵埃吸着用のマッ
トを被覆させたことを特徴とする請求項１記載の空気調
和装置。
（３）通風誘導部材の通風誘導側面に、塵埃またはガス
吸着用の吸着剤含有フィルタを付設したことを特徴とす
る請求項１記載の空気調和装置。
（４）上部に空気浄化装置を備えた浄化空気領域および
浄化空気領域と隔壁を介して隣接して設けた保全領域を
その内部に設けた建屋のコーナー部および保全領域上方
の建屋天井部に通風誘導部材を設けたことを特徴とする
空気調和装置。
（５）通風誘導部材の通風誘導側面に塵埃吸着用のマッ
トを被覆させたことを特徴とする請求項４記載の空気調
和装置。
（６）通風誘導部材の通風誘導側面に、塵埃またはガス
吸着用の吸着剤含有フィルタを付設したことを特徴とす
る請求項４記載の空気調和装置。