JP2612198B2

JP2612198B2 - 空気調和装置

Info

Publication number: JP2612198B2
Application number: JP63335079A
Authority: JP
Inventors: 敏雄小野寺; 喜則長谷; 修一海上; 繁幸松本
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1988-12-29
Filing date: 1988-12-29
Publication date: 1997-05-21
Anticipated expiration: 2012-05-21
Also published as: JPH02178547A

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、半導体製造等の電子工業に使用される空気
調和装置に係り、特に、浄化空気領域から排出された空
気の流れる方向を規制した空気調和装置に関する。

〔従来の技術〕半導体装置等の製造においては、塵埃の混入や温度、
湿度の変化を極端に嫌う。特に、製品の高集積化に伴っ
て、これまで以上に室内環境の高清浄度が要求されるよ
うになってきた。この半導体装置製造に用いられる空間
はクリーンルームと呼ばれて、空気調和装置として構成
されている。

一般にクリーンルームは、トンネル構造と全面垂直層
流構造に大別され、使用目的によって選択される。近
時、省エネルギーの観点から設備される装置の特徴は、
稼働状況に応じた特定の装置域ごとの空調制御ができる
トンネル構造のものが注目されている。この種のクリー
ンルームとしては、例えば、特公昭62−31258号公報に
開示されたものが挙げられる。

トンネル形クリーンルームは、建屋内に設置される空
気清浄調和装置として構成される。

この装置は、各種の処理装置を配置する装置配置領域
と、作業者か移動する通路となると共に処理装置を操作
する作業領域（以後この両領域を合わせて浄化空気領域
ということがある。）と、処理装置のメンテナンスを行
う保全領域とに区分けされている。装置配置領域及び作
業領域の各天井部には、超高性能フィルタとファンとを
組み合わせて配置された空気浄化装置がそれぞれ独立し
て設けられ、空気調和機から導かれた空気をファンで加
圧し、超高性能フィルタにより清浄化した後、吹出口を
通して各領域内に吹き出すようになっている。

また、各領域の下部には床下排気部があり、排気空気
は建屋外に排出されるか、あるいは床下排気部から保全
領域に入り、保全領域に空気調和機が設置されている場
合は、その空気調和機に導かれ、温度及び湿度が再度調
整され、浄化空気領域の天井部に配置された空気浄化装
置を経て再び浄化空気領域に供給される。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところが、上記従来の空気調和装置においては、床下
排気部が隣接する浄化空気領域間で共用されているた
め、ある浄化空気領域からの排気が床下排気部と経由し
て隣接した浄化空気領域に流れ込んでしまうことがあっ
た。作業者の髪、紙の繊維、金属粉など、一つの浄化空
気領域で発生した塵埃を含んだ浄化度の低くなった空気
が、直接、隣接浄化空気領域に流入してしまうとか、化
学薬品を扱う作業等を行う場合に、その蒸気が他の浄化
空気領域に入り込み、他の浄化空気領域における作業に
著しく悪影響を及ぼすという問題があった。

また、上記従来の空気調和装置においては、浄化空気
領域および保全領域をその内部に設けた建屋のコーナー
部、すなわち建屋の天井と側壁の交わる部分、床下排気
部の床面と建屋側壁の交わる部および建屋四隅の各コー
ナー部において、空気の流れが乱れる事があった。同じ
ように、二つの浄化空気領域間の保全領域の上方空間に
おいても、両方の浄化空気領域の上方から互いに逆向き
の空気流が流れ込んでくるので、これらが乱流を生じる
ことがある。このため、空気流の乱れに伴って、塵埃が
舞い上がり、化学薬品のガスが周囲に拡散し、浄化空気
領域の空気の清浄度に悪影響を及ぼすといった問題があ
った。

そこで、本発明の目的は一つの浄化空気領域より排出
した空気が、床下排気部を経て隣接浄化空気領域に流入
することを防止し、かつ、浄化空気領域および保全領域
をその内部に設けた建屋のコーナー部あるいは保全領域
上方空間における空気流の乱れの発生を防止した空気調
和装置を提供することである。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は上記目的を達成するために、上部に空気浄化
装置を備えた浄化空気領域から排出した空気を、浄化空
気領域と隔壁を介して隣接して設けた保全領域に導く、
床下排気部を前記両領域の下方に形成し、保全領域下方
の床下排気部に、あるいは浄化空気領域と保全領域をそ
の内部に設けた建屋のコーナー部および保全領域上方の
建屋天井部に、断面略三角形の通風誘導部材を設けた空
気調和装置を提供するものである。

〔作用〕

空気浄化装置で清浄化された空気は、浄化空気領域の
室内に吹き出されるが、浄化空気領域から床下排気部に
排出された空気の一部は、保全領域側の床下排気部に流
れ込む。このとき、保全領域下部の床下排気部には断面
略三角形の通風誘導部材があるので、浄化空気領域側の
床下排気部から流れ込んできた空気は通風誘導部材によ
り、上方に流れの向きを変え、保全領域に導かれる。し
たがって一つの浄化空気領域から排出し、保全領域側の
床下排気部に流入した清浄度の低くなった空気が、隣接
した浄化空気領域に流入するおそれがなくなる。また、
この通風誘導部材の表面に塵埃吸着用の粘着性マットま
たは静電マットを被覆した場合には、塵埃除去効果が向
上する。さらに、通風誘導部材上に吸着剤含有フィルタ
を付設した場合には、化学薬品の蒸気等の除去効果もあ
り、空気浄化作用が一層促進される。

また、断面略三角形の通風誘導部材が建屋のコーナー
部および保全領域上方の天井部に設けられているので空
気の流れは、建屋内のすべての空気で乱れを生じること
が無くなり、したがって、塵埃または化学薬品等の蒸気
が周囲に拡散することもない。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。

第１図は、本発明の空気調和装置の一部概略縦断面図
である。空気調和装置１の建屋10内に構成される部分
は、装置配置領域11と作業領域12（以下これを合わせて
浄化空気領域11,12と呼ぶことがある。）と、これらの
浄化空気領域11,12とは隔壁16で区画された保全領域13
と、この浄化空気領域11、12および保全領域13の上方の
天井裏部14および下方の床下排気部15に大略区分されて
いる。浄化空気領域11、12の天井部には空気浄化装置17
が設けてあり、これらの空気浄化装置17には浄化空気領
域11,12に面した位置に超高性能フィルタ18と、保全領
域13および天井裏部14側に吸入口をもち、装置配置領域
11側に吹き出し口をもつファン19aを備えたファンユニ
ット19と、がそれぞれ配置されている。浄化空気領域1
1、12の下部の床面20および保全領域13の下部の床面21
は、すのこ状部材で形成され、隔壁16の下方延長部に設
けられたダンパ22をはさんで、両床下面は床下排気部15
を構成している。また、建屋10の外部に設けた空気調和
機23よりダクト26を介して温度、湿度の調整された空気
が天井裏部14へ供給される構成となっている。保全領域
13下部の床下排気部15のほぼ中央部には、通風誘導部材
27が床下排気部15の長手方向に沿って配置されている。

また、第３図に第１図のＡ−Ａ線で切断した本発明の
空気調和装置１の一部概略横断面図を示すように、本発
明の空気調和装置１は機材を搬送するため、あるいは作
業者の通路用の主搬送路29に対して、複数の空気浄化領
域11,12が直交して配置され、いわゆるベイ構造を構成
している。そして、この主搬送路29の上方には、浄化空
気領域11,12と同様に空気浄化装置17が設けられてい
る。そして、主搬送路29と浄化空気領域11,12の境界部
の床下排気部15にも通風誘導部材27を配置しておく。ま
た保全領域13の下方の床下排気部15にはその長手方向に
沿って通風誘導部材27が配置されている。

以上の構成からなる空気調和装置の作用を説明する。

空気調和機23にて所定の温度、湿度に調整された空気
（空調空気）は天井裏部14に送られ、ファン19aにより
空気浄化装置17に吸い込まれ、超高性能フィルタ18によ
って塵埃等の除去がされた後、浄化空気領域11、12に吹
き出される。浄化空気領域11、12の床面20がすのこ状で
あるため、吹き出された空気は天井から床面に向かって
ダウンフロー式に縦の層流となって流れ、床下排気部15
に達す。

床下排気部15では空気はダンパ22を通過して、保全領
域13側の床下排気部15に流れる。このとき、保全領域13
側の床下排気部15のほぼ中央には通風誘導部材27がある
ため、ここに流入した空気は上方に向きを変え床面21を
経て保全領域13に流入する。保全領域13はファン19aの
吸引力により若干減圧状態にあるので、一旦、保全領域
13に流入した空気は、ファン19aの方向に流れやすくな
っている。また、このとき空気は層流のアップフローと
なるので、この空気が排出した浄化空気領域11、12側の
ファン19aにより吸引され、隣接した浄化空気領域11、1
2側のファン19aへは吸引されない。

さらに、主搬送路29の上方の空気浄化装置17からも下
向きに浄化空気が吹き出され、浄化空気はすのこ状の床
面（図示せず。）を通って床下排気部15に導かれるが、
主搬送路29と浄化空気領域11,12との境界部にも通風誘
導部材27が配置されているので、浄化空気領域11,12方
向からの清浄度の低くなつた空気と床下排気部15で混合
するおそれはない。

この通風誘導部材27は、第４図（ａ）に示すように単
一部材からなるものでもよいが、第４図（ｂ）に示すよ
うに、多数の部材をつなぎ合わせて床面に配置してもよ
い。また、多数の部材をつなぎ合わせて用いる場合に
は、通風誘導が必要な箇所に適宜の個数配置することが
でき、また、撤去作業がしやすく、汚染度の高くなった
通風誘導部材27を選択的に取り除き、新しい部材と交換
することも容易となる。また、この通風誘導部材27の通
風誘導側面27aは、通風の誘導上支障をきたす形状以外
のいかなる形状でもとり得るが、第４図（ａ）に示すよ
うな、凹面状の二つの通風誘導側面27aを有する断面略
三角形のものが最も望ましい。しかし、第４図（ｃ）に
示すように、平面状の通風誘導側面27aを有する断面三
角形ものであってもよい。

また、第４図（ｄ）に示すように、この通風誘導部材
27の通風誘導側面27aには、浄化空気領域11、12から排
出される、髪の毛、紙繊維、衣服の繊維、金属磨耗粉な
どの塵埃を吸着するための粘着性マット27′あるいは、
静電マット27′を被覆しておけば空気浄化効果にも役立
つ。さらにメチルエチルケトン、アルコール類等の溶剤
またはアンモニア、過酸化水素、硝酸、フッ化水素等の
化学薬品の蒸気、あるいはその他の微粒子を吸着させる
ために、第４図（ｅ）に示すように通風誘導部材27の頂
部の一方または両方の通風誘導側面27aに吸着剤含有フ
ィルタ28を付設してもよい。このフィルタ28はチタン系
もしくはシリカ系の吸着剤を含有したものが望ましい。
また、特定の薬品の使用領域は予め決まっていることが
多いので、各化学薬品に適した吸着剤を含むフイルタ28
を付設した通気誘導部材27を、それぞれの化学薬品を使
用する浄化空気領域11,12に隣接する保全領域13の床下
排気部15に設置しておくことが好ましい。この吸着剤含
有フィルタ28は通風誘導側面27aに対して略垂直状にフ
ィルタ面が配置されるようにすると吸着効果が向上す
る。

なお、この通風誘導部材27を、作業領域12のほぼ中央
部に位置する床下排気部15にも配置しておけば、作業領
域12よりの空気の流れを乱すことはなく、左右に分流し
て隣接した保全領域13方向に排気させることができる。
また、第２図に示すように、建屋10内の天井と側壁の交
わる部分、床下排気室15の床面と側壁の交わる部分およ
び建屋10の四隅のそれぞれのコーナー部および図示はし
ていないが二つの浄化空気領域11,12間の保全領域13上
方の天井部に通風誘導部材27を置けば、ここでも浄化空
気領域11,12よりの空気の流れを乱すことはなく、建屋1
0内の空気流を偏向させることができる。特に、天井部
に配置する通風誘導部材27には塵埃または化学薬品等の
ガス吸着用のフィルタを付設しておくと、天井部に浮遊
しているこれらの不純物を吸着除去できる。

〔発明の効果〕本発明は保全領域下部の床下排気部に断面略三角形の
通風誘導部材が配置されているので、ある浄化空気領域
（装置配置領域、作業領域）から保全領域側の床下排気
部に流れ込んできた浄化度の低下した空気を上方の保全
領域に導き、隣接の浄化空気領域には流れ込ませないよ
うにすることができ、隣接の浄化空気領域に影響を与え
ることがない。また、通風誘導側面に粘着性マット、静
電マットを被覆しておけば、塵埃除去効果があり、さら
に、吸着剤含有フィルタを付設することにより、たとえ
空気が化学薬品等の蒸気などで汚染されていても、これ
らの蒸気、その他の微粒子を除去できる。

また、建屋のコーナー部および保全領域の上方の天井
部に断面略三角形の通風誘導部材を設けることにより建
屋内の空気流に乱れが生じなくなり、塵埃が舞い上がっ
たり、化学薬品の蒸気が周囲に拡散したりする事がなく
なり、浄化空気領域の空気浄化度を下げることもなくな
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の空気調和装置の一部概略縦断面図、
第２図は建屋コーナー部の拡大断面図、第３図は第１図
のＡ−Ａ線で切断した本発明の空気調和装置の一部概略
横断面図、第４図（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）およ
び（ｅ）は、本発明で用いる通風誘導部材をそれぞれ示
す。 11…装置配置領域、12…作業領域、13…保全領域、15…
床下排気部、27…通風誘導部材、28…吸着材含有フィル
タ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者海上修一東京都千代田区内神田１丁目１番14号日立プラント建設株式会社内 (72)発明者松本繁幸東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内 (56)参考文献特開昭62−261838（ＪＰ，Ａ)

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】上部に空気浄化装置を備えた浄化空気領域
から排出した空気を、浄化空気領域と隔壁を介して隣接
して設けた保全領域に導く、床下排気部を前記両領域の
下方に形成し、保全領域下方の床下排気部に断面略三角
形の通風誘導部材を設けたことを特徴とする空気調和装
置。
【請求項２】通風誘導部材の通風誘導側面に塵埃吸着用
のマットを被覆させたことを特徴とする請求項１記載の
空気調和装置。
【請求項３】通風誘導部材の通風誘導側面に、塵埃また
はガス吸着用の吸着剤含有フィルタを付設したことを特
徴とする請求項１記載の空気調和装置。
【請求項４】上部に空気浄化装置を備えた浄化空気領域
および浄化空気領域と隔壁を介して隣接して設けた保全
領域をその内部に設けた建屋のコーナー部および保全領
域上方の建屋天井部に断面略三角形の通風誘導部材を設
けたことを特徴とする空気調和装置。
【請求項５】通風誘導部材の通風誘導側面に塵埃吸着用
のマットを被覆させたことを特徴とする請求項４記載の
空気調和装置。
【請求項６】通風誘導部材の通風誘導側面に、塵埃また
はガス吸着用の吸着剤含有フィルタを付設したことを特
徴とする請求項４記載の空気調和装置。