JPS6266039A - 清浄作業室設備 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、半導体装置や精密機器の組立・製造に使用す
る清浄作業室に係り、ｆＰに清浄空気を作業室内で垂直
に流す方式の清浄作業室設備に関する。

〔発明の背景〕

清浄作業室はクリーンルームなどとも呼ばれ。

例えば特公昭５０−３７４５１号公報などにも示されて
いるように構成され、ＬＳＩなどの半導体装置の製造に
欠かせない設備である。

そして、近年は５作業室の高清浄度化に伴って。

作業室の天井部分から清浄空気を下方に向けて垂直に吹
きださせ、これを床面から下方に吸い取るようにした。

いわゆる垂直気流方式のものが多く使用されるようにな
ってきている。

ところで、このような垂直気流方式の清浄作業室を複数
必要とした場合で、必要な設置面積を少なくするため、
各作業室を２階以上の建物とじて上下に積重ねて設置す
る。いわゆる多階床構造とすることが考えられるが、こ
のような例を第２図に示す。

この第２図において、壁材１が外気２を仕切り。

建屋全形成している。建屋は、この例では３階建で各階
に清浄作業室３を設けである。そして外気２は送風機４
によって外気取入口５から空？Ａ機６゜フィルタ７を通
過して建屋内に取り込まれる。

フィルタ７から出た空気は、３階の天井チャンバ】９に
入るものと給気ダクト１７を通るものに分かれる。

３階の天井チャンバ１９に入ったものは、送風機９によ
って加圧されて加圧チャンバｌＯに導入され、フィルタ
１１を通過して３階の清浄作業室３に吹出し面１２から
吹出される。そして、３階の清浄作業室３内の空気は、
その室の多孔床１３から排出され、床下チャンバ２０を
通り、一部は排気口１６から排出され、残りはリターン
ダクト１５を通り天井チャンバ１９に戻る。

一方、フィルタ７を出て給気ダクト１７に入つた空気は
、２階および１階の天井チャンバ１９に入る。

以下、空気は３階と同様の動きをする。なお。

床１８は上階の床下チャンバ２０と下階の天井チャンバ
１９を仕切っている。

この第２図の従来例によれば、複数の清浄作業室を多階
床構造としたから、設置面積が少くて済む反面、給気ダ
クト１７が長くなり、かつ、床下チャンバ１９と天井チ
ャンバ２０とが床１８ｆｒ：挾んで上下に必要なため、
各階ごとの高さが余分に必要になり、コストアップにな
り易いという欠点があった。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、上記した従来技術の欠点を除き、ロー
コストでしかも高性能の清浄作業室設備を提供するにあ
る。

〔発明の概要〕

この目的を達成するため１本発明は、垂直通風方式の清
浄作業室を多階床構造により設置した設備において、各
作業室間の床部分に空気流通路を設け、清浄空気が上階
の作業室から下階の作業室へと順次、床部分を横切って
流下してゆくようにしだ点を特徴とする。

〔発明の実施例〕

以下、本発明による清浄作業室設備について。

図示の実施例により詳細に説明する。

第１図は本発明の一実施例で、外気取入口５から外気２
が取り入れられ、フィルタフを迫って空気が建屋内に取
り込まれるまでは第２図の従来例と同じである。

この建屋内に取り込−まれた９気は３階の天井チャンバ
８を通過して、送風機９によって加圧チャンバ１０で加
圧され、フィルタ１１を通過して、３階の清浄作業室３
に吹出し而１２から吹出される。３階の清浄作業室３の
空気１ｄ、その呈の多孔床１３から排出され、２階の天
井チャンバ８に入る。以下、前述の３階の場合と同様に
、２階、１階と空気が通過する。１階の清浄作業室３内
に吹出された空気は、その室の多孔床１３から排出され
。

床下チャンバ１４に入り、リターンダクト１５を通過し
、３階の天井チャンバ８に戻る。また床下チャンバ１４
の空気の一部は排気口１６から排出される。

この＠１図の実施例における各作業室３０間の床部分の
詳細を第３図で説明する。

第３図において、上階の清浄作業室３の最下部には多孔
床１３がある。多孔床１３は支持脚２２により支持され
ている。支持脚２２はスラブ２３に堅固に固定されてい
る。多孔床１３とスラブ２３の間は床下チャンバ８とな
る。電気、ガス、水等のユーティリティー配管は、この
部分に設置すればよい。スラブ２３には部分的に通風孔
２５がおいている。通風孔２５の上部には異物混入防止
用の多孔板２４がある。スラブ２３の下には、送風機９
と加圧チャンバ１０とフィルタ１１が一体となったユニ
ットが吊具２６によって吊下げられている。フィルタの
吹出面１２の下には整流板２７がある。歪流板２７の下
は下階の清浄作業室３となる。この方法によれば、床強
度は十分に保て。

かつ本発明の特徴であるところの、上階の空気を下階通
過させるための空気流通路を充分に形成できる。

第４図は、上階の清浄作業室と下階の清浄作業室にはさ
まれた部分の厚みが薄くて済むようにした他の一実施例
で、送風機９をスラブ２３の厚みの中に納めるようにし
たものである。スラブ２３にはフィルタ取付用のフレー
ム２８が取付けられている。フレーム２８にフィルタ１
１を取付けることにより、スラブ２３とフレーム２８と
フィルタ１１に囲まれた加圧チャンバ１０が形成できる
。

従って、以上の実施例によれば。

ａ、給気ダクト（第２図の１７）が不要になる。

ｂ、床下チャンバと天井チャンバ（第２図の１９と２０
）が一つのチャンバにまとめられた形になるので、各階
ごとの階高を小さくできる。

Ｃ１上階のフィルタが下階のフィルタの眞処理の動きを
するので高清浄度が得られ、かつ、フィルタのン９れが
少ない。

ｄ、最上部の作業室から最下部の作業室を出るまで気流
の方向が一定なので、圧力損失が少ない。

ｅ、床下チャンバと天井チャンバ（第２図の１９と２０
）内でのような水平方向気流がないので、水平方向での
圧力損失がなく１作業室３内での風速分布が一層平均化
でき乙。

ｆ、排気口１６の設置数が作業室の数と無関係に１個所
でよい。

などの効果を得ることができる。

次に、第５図は本発明の他の一実施例で、第１図のリタ
ーンチャンバ５をなくした例でちる。

１階の排気を３階に戻さず、すべて排出しており。

従って、この実施例（でよれば建設費をさらに低減でき
る。

第６図は、送風機９を１個所に集中させた一実施例であ
る。各階に送風機を置くスペースがない場合は、このよ
うにしてもよい。この′ｊＪＡ合、２階および１階のフ
ィルタ１１の１次側の風速は、送風機がないのでほぼ一
定となり、吹出し面１２の風速は均一化される効果があ
る。

第７図は、２階および１階に仕切板２１を設けるように
した一実施例である。仕切板２１を任意の場所に設ける
ことにより、清浄度の不必要な部分ま７ヒは多ｔの発じ
んのある部分を、清浄作業室３から仕切ることができる
。なお、この実施例で、２階は送風機、フィルタを取付
けたま１仕切った場合の例、１階は送風機、フィルタを
取外して仕切った場合の例である。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明によれば、給気ダクトが不
要になるので、コストダウンが可能になり、かつ、空気
流通路の屈曲が少なくなるため。

圧力損失が少くて隣み、従来技術の欠点を除いてイニシ
ャルコストやランニングコストが少すく。

しかも高性能のｆ＃浄作業室設備金谷易に提供すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による＃浄作業冨設備の一実施例を示す
断面図、第２図は同じく従来例のＩｆｒ面図、第３図は
第１図の実施例における床部毎の一例を拡大して示した
断面図、第４図は同じく床部毎の他の一例を示す析面図
、１＠５図、第６図、それに第７図はそれぞれ本発明の
他の一実施例を示す断面図である。 １・・・・・・壁材、２・・・・・・外気、３・・・・
・・清浄作業室。 ４．９・・・・・・送風機、５・・・・・・外気取入口
、６・・・・・・空調機、７．１１・・・・・・フィル
タ、１２・・・・・・吹出し面、１３・・・・・・多孔
床、１４・・・・・・床下チャンバ、１５・・・・・・
リターンチャンバ、１６・・・・・・排気口。 第１図 第２図 第５図 第６図 第７図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、多階床構造により区分された複数の作業室を備え、
   これら作業室のそれぞれに対する清浄空気の供給を垂直
   気流方式で行なうようにした清浄作業室設備において、
   上記各作業室間の階床部分に空気流通路を設け、上階の
   作業室から各作業室を通つて順次、下階の作業室に清浄
   空気が供給されてゆくように構成したことを特徴とする
   清浄作業室設備。 ２、特許請求の範囲第１項において、上記清浄空気供給
   のための送風手段が、上記各作業室のうちの最上階の作
   業室の天井部分を主体として集中配置されていることを
   特徴とする清浄作業室設備。 ３、特許請求の範囲第１項において、上記清浄空気供給
   のための送風手段が、各作業室ごとに分散配置されてい
   ることを特徴とする清浄作業室設備。 ４、特許請求の範囲第３項において、上記送風手段が、
   上記階床部分に設けた空気流通路内に配置されているこ
   とを特徴とする清浄作業室設備。