JPS63201441A - クリ−ンル−ム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 層流型クリーンルームにおいて、第１の床面に形成され
たコンクリート束に鉄骨根太を張架することで該鉄骨根
太にはフリーアクセスパネルを保持する支柱、または、
所定の機器を積載する台座が係止されるようにすること
により、クリーン精度の向上を図り、かつ、設置すべき
機器に対する振動の影響を小さくし、しかも、機器のレ
イアウトに際して、融通性が得られるようにしたもので
ある。

〔産業上の利用分野〕

本発明は層流型クリーンルームに係わり、特に、クリー
ン精度の向上を図ると共に、二重床の微振動の減少およ
び機器設置に際しての融通性が得られるように形成され
たクリーンルームに関する。

近年、高度な技術の開発により、高精度の機器の設置に
際してはクリーンルームが使用されるようになった。

一般的に、このようなりリーンルームは微量な塵埃が除
去され、クリーン度が高く、しかも、微振動に対しても
影響されることがないように形成されることが重要であ
る。

しかし、実際に実験装置、測定装置などの機器を設置す
る場合は、それぞれの機器に供給または排出すべき水、
電力などの配管スペースおよびそれ等のメンテナンスス
ペースが必要となる。

そこで、クリーン度を確保するため、二重床によるクリ
ーンルームが用いられるようになり、また、メンテナン
ススペースとしても利用されるようになった。

したがって、このようなりリーンルームでは、高いクリ
ーン度が得られることは勿論、微振動に対しても影響さ
れることがな（、特に、試験装置。

測定装置などの機器の設置に際して、機器レイアウト上
に自由度があり、融通性が得られることが望まれている
。

〔従来の技術〕 従来は第４図の従来の側面断面図に示すように構成され
ていた。

第４図に示すように、下階２０の床面２５には送風器２
９Ａ、２９１Ｂ、温調器３０Ａ、３０Ｂ、吸込器３１Ａ
、３１Ｂをそ↓ れぞれ設置し、上階２１の天井面−にはダクト２を、床
面２６にはフリーアクセスパネル８をそれぞれ配設する
ように構成されていた。

また、このような上階２１には例えば、設置すべき機器
の内容によりクリーン精度の高い部屋２１Ａと低い部屋
２１Ｂとのクリーン精度の異なった部屋を設ける場合は
、間仕切２２Ａ、　２２Ｂ、　２２Ｃによって部れたエ
アが風洞２７Ａを介して送風ダクト２に移送され、送風
ダクト２に設けられたヘパフィルタ２Ａを通過すること
で送出され、他方の部屋２１Ｂに対しては送風器２９Ｂ
より送風されたエアが風洞２７Ｂを介して送風ダクト２
に移送され、同様に送風ダクト２に設けられたヘパフィ
ルタ２Ａを通過することで送出されるように形成される
。

更に、ヘパフィルタ２Ａより送風されたエアはフリーア
クセスパネル８を通過後、床面２６に設けられた吸気口
２６Ａによって取り込まれ、それぞれ吸気ダクト２８Ａ
、２８Ｂを介して吸込器３１Ａ、３１Ｂによって吸引さ
れ、更に、温潤器３０１Ａ、３０Ｂにより所定の温度に
調節して送風器２９Ａ、２９Ｂに送出することで循環さ
れるように形成される。

また、フリーアクセスパネル８は床面２６より支柱（図
示されていない）により所定の間隔で保持され、通常フ
リーアクセスパネル８には通風される通気穴および通気
穴を開閉する風量調整器が設けられている。

そこで、それぞれの部屋２１Ａおよび２１Ｂに試験装置
、測定装置などの機器２３Ａ、２３Ｂ〜２３Ｅを設置す
る場合は、その機器に対して微振動による影響がないよ
うに、床面２６より突出し、フリーアクセスパネル８と
同面となるコンクリート台２４を設け、そのコンクリー
ト台２４にそれぞれの機器２３Ａ、　２３Ｂ〜２３Ｅを
設置することが行われていた。

〔発明が解決しようとする問題点〕

このような構成では、コンクリート台２４は床面２６の
予め設定された箇所に設けられるため、機器２３Ａ　、
　２３Ｂ〜２３Ｂをレイアウトの変更により、設置場所
を移動させたい場合が生じても、コンクリート台２４が
ない箇所には移動できない。

したがって、レイアウトを自由に変更することが困難と
なり、効率のよいレイアウトを行うことができない問題
を有していた。

また、レイアウトに融通性をもたすために、例えば、コ
ンクリート台２４の配列を多くすると、エアの流通抵抗
が増加し、クリーン精度が低下する問題を有していた。

〔問題点を解決するための手段〕 第１図は本発明の原理斜視図である。

第１図に示すように、第１の床面（３）に形成されたコ
ンクリート束（５）に張架された鉄骨根太（９）を設け
ると共に、該鉄骨根太（９）には必要に応じて、前記フ
リーアクセスパネル（８）を保持する支柱（６）、また
は、所定の機器を積載する台座（１０）がそれぞれ係止
されるように構成したものである。

このように構成することによって前述の問題点は解決さ
れる。

〔作用〕

即ち、第１の床面に形成されたコンクリート束に鉄骨根
太を張架することで、該鉄骨根太に支柱または台座を係
止し、支柱によってフリーアクセスパネルを、台座によ
って機器の設置をそれぞれ行うようにしたものである。

したがって、機器の設置は従来のような予め設定された
コンクリート台の上に行う必要がないため、レイアウト
上の融通性が得られ、また、フリーアクセスパネルによ
る床面を広くすることができエアの循環効率の効率が良
くなり、クリーン精度の向上を図ることができる。

〔実施例〕

以下本発明を第２図および第３図によって詳細に説明す
る。第２図は本発明にょる一実施例の側面斜視図、第３
図は本発明の説明図、（ａ）は要部断面図、（ｂ）は要
部平面図である。企図を通じて、同一符号は同一対象物
を示す。

第２図に示すように、第１の床面３に設けられたコンク
リート束５には鉄骨根太９を張架し、鉄骨根太９には支
柱６を固着し、フリーアクセスパネル８を保持するよう
に形成すると共に、コンクリート板によって形成された
台座１ｏの固着が行われるように構成したものである。

したがって、間仕切１１Ａ、１１Ｂ、榊によって形成　
′された、それぞれの部屋には天井輯１の梁に配設され
た送風ダクト２によるエアの送風がヘパフィルタ２Ａを
介して行われ、送風されたエアは鉄骨根太９と第１の床
面３との関に配設されたリターンダクト４の吸気口４Ａ
より取り込みまれ、前述のようなエアの循環が行われる
ように形成されている。

また、ヘパフィルタ２Ａに内設されたブロア１７は所定
の室内のエアを取り込み送風することで、エアの循環を
補足するようにしたものである。

そこで、通常、自身より振動を発生することがな（、ま
た、他からの振動に影響されない機器１３Ａ、　１３Ｇ
、　１３Ｈなどの設置を行う場合はフリーアクセスパネ
ル８によって形成された第２の床面７に直付けで行い、
自身より振動を発生したり、また、他からの振動に影響
される機器１３Ｆの設置を行う場合は設置すべき箇所の
フリーアクセスパネル８と支柱６とを取り外し、その箇
所の鉄骨根太９に直に係止させた台座１０によって行う
ようにしたものである。

また、振動に対しである程度の対策を要する前述の中間
的な機器１３０の設置の場合は第１の床面より補強支柱
１２によって鉄骨根太９の中間部を支持することで補強
されたフリーアクセスパネル８に設置を行うようにした
ものである。

このような補強支柱１２は第３図の（ａ）に示すように
、リターンダクト４と吸気口４Ａとを避けた箇所に設け
、一端を第１の床面３に固着し、他端が金具１２Ａによ
って鉄骨根太９に係止し、コンクリート束５間に張架さ
れた鉄骨根太９の補強を行う。

また、鉄骨根太９に固着された支柱６はフリーアクセス
パネル８のコーナ部に設けられ、（ｂ）に示すように一
つの支柱６によって４枚のフリーアクセスパネル８を固
定ボルト１４により取り付けが行われている。

したがって、中央支柱１５を固着する鉄骨根太９を別に
設け、中央支柱１５によってフリーアクセスパネル８の
中央部を保持すると、よりフリーアクセスパネル８を強
固に保持させることも可能となる。

尚、このような鉄骨根太９の張架は振動の伝達が極力避
けられるよう、固着すべきコンクリート束５の固着部で
切断され、一つ一つが単独で形成されていることが望ま
しい。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明によれば、必要に応じて、
所定箇所に台座１０を設けたり、または、！支柱６およ
び中央支柱１５を設けたりすることで、それぞれの機器
１３＾、１３Ｂ〜１３Ｆを自在に設置させることができ
、また、全てが二重床となるため、第２図に示すように
機器１３Ｂおよび機器１３Ｈに配設される給水、排水な
どの配管１６Ａ、　１６Ｂ、　１６Ｃ。

１６０の配設は自在に、かつ、容易に行うことができる
。

したがって、レイアウトの条件に応じた機器の設置を行
うことができ、スペースの効率化が図れ、しかも、従来
よりもフリーアクセスパネル８による第２の床面７を広
くすることができるため、エアの流通が良くなり、クリ
ーン精度の向上を図ることができ、実用的効果は大であ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の原理斜視図。 第２図は本発明による一実施例の側面断面図。 第３図は本発明の説明図で、（ａ）は要部断面図。 （ｂ）は要部平面図。 第４図は従来の側面断面図を示す。 図において、 １は天井面、　　　　　２は送風タクト。 ３は第１の床面、　　　４はリターンダクト。 ５はコンクリート束、６は支柱。 ７は第２の床面、　　　８はフリーアクセスパネル。 ９は鉄骨根太、１０は台座を示す。 ／″、、 −一ノー

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 エアの送出を行う送風ダクト（２）が配設された天井面
   （１）と、エアの吸込みを行うリターンダクト（４）が
   配設された第１の床面（３）と、該第１の床面（３）よ
   り所定間隔でフリーアクセスパネル（８）を張架するこ
   とで形成された第２の床面（７）とを備え、該送風ダク
   ト（２）より送風されたエアが該第２の床面（７）を通
   過することで該リターンダクト（４）によって吸込まれ
   るクリーンルームにおいて、 前記第１の床面（３）に形成されたコンクリート束（５
   ）に張架された鉄骨根太（９）を設けると共に、該鉄骨
   根太（９）には必要に応じて、前記フリーアクセスパネ
   ル（８）を保持する支柱（６）、または、所定の機器を
   積載する台座（１０）がそれぞれ係止されることを特徴
   とするクリーンルーム。