JPH0827042B2

JPH0827042B2 - クリ−ンル−ム

Info

Publication number: JPH0827042B2
Application number: JP3497987A
Authority: JP
Inventors: 拓男石川; 幸雄増田; 哲三小沢; 秀丸船津
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 1987-02-18
Filing date: 1987-02-18
Publication date: 1996-03-21
Anticipated expiration: 2011-03-21
Also published as: JPS63201441A

Description

【発明の詳細な説明】〔概要〕層流型クリーンルームにおいて、第１の床面に形成さ
れたコンクリート束に鉄骨根太を張架することで該鉄骨
根太にはフリーアクセスパネルを保持する支柱を係止さ
せると共に、所定の機器を積載する台座を直接に係止さ
せることにより、クリーン精度の向上が図れ、且つ設置
すべき機器のレイアウトに際して融通性が得られ、更
に、鉄骨根太にフリーアクセスパネルの中央部を支持す
る中央支柱を係止させたり、鉄骨根太のコンクリート束
間の部位に補強支柱を設け第１の床面に係止させるよう
に補強させたり、台座を直接に固定させることにより、
設置すべき機器に対する振動の影響を段階的に抑えるよ
うにする構成である。

〔産業上の利用分野〕

本発明は層流型クリーンルームに係わり、特に、クリ
ーン精度の向上を図ると共に、二重床の微振動の減少お
よび機器設置に際しての融通性が得られるように形成さ
れたクリーンルームに関する。

近年、高度な技術の開発により、高精度の機器の設置
に際してはクリーンルームが使用されるようになった。

一般的に、このようなクリーンルームは微量な塵埃が
除去され、クリーン度が高く、しかも、微振動に対して
も影響されることがないように形成されることが重要で
ある。

しかし、実際に実験装置、測定装置などの機器を設置
する場合は、それぞれの機器に供給または排出すべき
水，電力などの配管スペースおよびそれ等のメンテナン
ススペースが必要となる。

そこで、クリーン度を確保するため、二重床によるク
リーンルームが用いられるようになり、また、メンテナ
ンススペースとしても利用されるようになった。

したがって、このようなクリーンルームでは、高いク
リーン度が得られることは勿論、微振動に対しても影響
されることがなく、特に、試験装置，測定装置などの機
器の設置に際して、機器レイアウト上に自由度があり、
融通性が得られることが望まれている。

〔従来の技術〕

従来は第４図の従来の側面断面図に示すように構成さ
れていた。

第４図に示すように、下階20の床面25には送風器29A,
291B,温調器30A,30B,吸込器31A,31Bをそれぞれ設置し、
上階21の天井面１にはダクト２を、床面26にはフリーア
クセスパネル８をそれぞれ配設するように構成されてい
た。

また、このような上階21には例えば、設置すべき機器
の内容によりクリーン精度の高い部屋21Aと低い部屋21B
とのクリーン精度の異なった部屋を設ける場合は、間仕
切22A,22B,22Cによって部屋21Aと21Bとに分割を行い。

一方の部屋21Aに対しては送風器29Aより送風されたエ
アが風洞27Aを介して送風ダクト２に移送され、送風ダ
クト２に設けられたヘパフィルタ2Aを通過することで送
出され、他方の部屋21Bに対しては送風器29Bより送風さ
れたエアが風洞27Bを介して送風ダクト２に移送され、
同様に送風ダクト２に設けられたヘパフィルタ2Aを通過
することで送出されるように形成される。

更に、ヘパフィルタ2Aより送風されたエアはフリーア
クセスパネル８を通過後、床面26に設けられた吸気口26
Aによって取り込まれ、それぞれ吸気ダクト28A,28Bを介
して吸込器31A,31Bによって吸引され、更に、温調器301
A,30Bにより所定の温度に調節して送風器29A,29Bに送出
することで循環されるように形成される。

また、フリーアクセスパネル８は床面26より支柱（図
示されていない）により所定の間隔で保持され、通常フ
リーアクセスパネル８には通風される通気穴および通気
穴を開閉する風量調整器が設けられている。

そこで、それぞれの部屋21Aおよび21Bに試験装置，測
定装置などの機器23A,23B〜23Eを設置する場合は、その
機器に対して微振動による影響がないように、床面26よ
り突出し、フリーアクセスパネル８と同面となるコンク
リート台24を設け、そのコンクリート台24にそれぞれの
機器23A,23B〜23Eを設置することが行われていた。

〔発明が解決しようとする問題点〕

このような構成では、コンクリート台24は床面26の予
め設定された箇所に設けられるため、機器23A,23B〜23E
をレイアウトの変更により、設置場所を移動させたい場
合が生じても、コンクリート台24がない箇所には移動で
きない。

したがって、レイアウトを自由に変更することが困難
となり、効率のよいレイアウトを行うことができない問
題を有していた。

また、レイアウトに融通性をもたすために、例えば、
コンクリート台24の配列を多くすると、エアの流通抵抗
が増加し、クリーン精度が低下する問題を有していた。

〔問題点を解決するための手段〕

第１図は本発明の原理説明図である。

第１図に示すように、第１の床面３に形成されたコン
クリート束５に張架させて鉄骨根太９を設け、該鉄骨根
太（９）に前記フリーアクセスパネル（８）を角部で保
持する支柱６を係止させると共に、所定の機器を積載す
る台座10を直接に係止させる構成のクリーンルームによ
り前述の問題点は解決される。

更に、鉄骨根太９にフリーアクセスパネル８の中央部
を保持する中央支柱15を係止させたり、鉄骨根太９のコ
ンクリート束５間の部位に補強支柱12を設け第１の床面
３に固定させるように構成したものである。

このように構成することによって前述の問題点は解決
される。

〔作用〕

即ち、第１の床面に形成されたコンクリート束に鉄骨
根太を張架することで、該鉄骨根太に支柱または台座を
係止し、支柱によってフリーアクセスパネルを、台座に
よって機器の設置をそれぞれ行うようにしたものであ
る。

したがって、機器の設置は従来のような予め設定され
たコンクリート台の上に行う必要がないため、レイアウ
ト上の融通性が得られ、また、フリーアクセスパネルに
よる床面を広くすることができエアの循環効率の効率が
良くなり、クリーン精度の向上を図ることができる。

更に、中央支柱15にてフリーアクセスパネル８の中央
部を固定支持したり、補強支柱12にて鉄骨根太９のコン
クリート束５間の部位を固定支持することにより、機器
設置部が振動に対して補強され、機器に対する微振動の
影響を抑えることができる。

〔実施例〕

以下本発明を第２図および第３図によって詳細に説明
する。第２図は本発明による一実施例の側面斜視図，第
３図は本発明の一実施例の要部拡大図，（ａ）は要部断
面図，（ｂ）は要部平面図である。全図を通じて、同一
符号は同一対象物を示す。

第２図に示すように、第１の床面３に設けられたコン
クリート束５には鉄骨根太９を張架し、鉄骨根太９には
支柱６を固着し、フリーアクセスパネル８を保持するよ
うに形成すると共に、コンクリート板によって形成され
た台座10の固着が行われるように構成したものである。

したがって、間仕切11A,11B,によって形成された、そ
れぞれの部屋には天井面１の梁に配設された送風ダクト
２によるエアの送風がヘパフィルタ2Aを介して行われ、
送風されたエアは鉄骨根太９と第１の床面３との間に配
設されたリターンダクト４の吸気口4Aより取り込みま
れ、前述のようなエアの循環が行われるように形成され
ている。

また、ヘパフィルタ2Aに内設されたブロア17は所定の
室内のエアを取り込み送風することで、エアの循環を補
足するようにしたものである。

そこで、通常、自身より振動を発生することがなく、
また、他からの振動に影響されない機器13A,13C,13Eな
どの設置を行う場合はフリーアクセスパネル８によって
形成された第２の床面７に直付けで行い、自身より振動
を発生したり、また、他からの振動に影響される機器13
Fの設置を行う場合は設置すべき箇所のフリーアクセス
パネル８と支柱６とを取り外し、その箇所の鉄骨根太９
に直に係止させた台座10によって行うようにしたもので
ある。

また、振動に対してある程度の対策を要する前述の中
間的な機器13Dの設置の場合は第１の床面より補強支柱1
2によって鉄骨根太９の中間部を支持することで補強し
た鉄骨根太９上に設けたフリーアクセスパネル８に機器
設置を行うようにする。

このような補強支柱12は第３図の（ａ）に示すよう
に、リターンダクト４と吸気口4Aとを避けた箇所に設
け、一端を第１の床面３に固着し、他端が金具12Aによ
って鉄骨根太９に係止し、コンクリート束５間に張架さ
れた鉄骨根太９の補強を行う。

また、鉄骨根太９に固着された支柱６はフリーアクセ
スパネル８のコーナ部に設けられ、（ｂ）に示すように
一つの支柱６によって４枚のフリーアクセスパネル８を
固定ボルト14により取り付けが行われている。

したがって、中央支柱15を固着する鉄骨根太９を別に
設け、中央支柱15によってフリーアクセスパネル８の中
央部を保持すると、よりフリーアクセスパネル８を強固
に保持させることも可能となる。

尚、このような鉄骨根太９の張架は振動の伝達が極力
避けられるよう、固着すべきコンクリート束５の固着部
で切断され、一つ一つが単独で形成されていることが望
ましい。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明によれば、必要に応じ
て、所定箇所に台座10を設けたり、または、補強支柱12
及び中央支柱15を設けたりすることで、それぞれの機器
13A,13B〜13Fを自在に設置させることができ、また、全
てが二重床となるため、第２図に示すように機器13Bお
よび機器13Eに配設される給水、排水などの配管16A,16
B,16C,16Dの配設は自在に、かつ、容易に行うことがで
きる。

したがって、レイアウトの条件に応じた機器の設置を
行うことができ、スペースの効率化が図れ、しかも、従
来よりもフリーアクセスパネル８による第２の床面７を
広くすることができるため、エアの流通が良くなり、ク
リーン精度の向上を図ることができ、実用的効果は大で
ある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の原理説明図，第２図は本発明による一実施例の側面断面図，第３図は本発明による一実施例の要部拡大図で、（ａ）
は要部断面図，（ｂ）は要部平面図，第４図は従来の側面断面図を示す。図において、１は天井面,2は送風ダクト,3は第１の床面,4はリターン
ダクト,5はコンクリート束,6は支柱,7は第２の床面,8は
フリーアクセスパネル,9は鉄骨根太,10は台座,12は補強
支柱,15は中央支柱を示す。

フロントページの続き (72)発明者小沢哲三神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地富士通株式会社内 (72)発明者船津秀丸東京都新宿区西新宿２丁目１番１号株式会社日本設計事務所内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】エアの送出を行う送風ダクト（２）が配設
された天井面（１）と、エアの吸込みを行うリターンダ
クト（４）が配設された第１の床面（３）と、該第１の
床面（３）より所定間隔でフリーアクセスパネル（８）
を張架することで形成された第２の床面（７）とを備
え、該送風ダクト（２）より送風されたエアが該第２の
床面（７）を通過することで該リターンダクト（４）に
よって吸込まれるクリーンルームにおいて、前記第１の床面（３）に形成されたコンクリート束
（５）に張架させて鉄骨根太（９）を設け、該鉄骨根太
（９）に前記フリーアクセスパネル（８）を角部で保持
する支柱（６）、及び中央部で保持する中央支柱（15）
を係止させると共に、所定の機器を積載する台座（10）
を直接に係止させることを特徴とするクリーンルーム。
【請求項２】鉄骨根太（９）にフリーアクセスパネル
（８）の中央部を保持する中央支柱（15）を係止させる
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のクリーン
ルーム。
【請求項３】鉄骨根太（９）のコンクリート束（５）間
の部位に補強支柱（12）を設け第１の床面（３）に固定
させることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のク
リーンルーム。