JPS58129123A - 清浄作業室 - Google Patents
清浄作業室Info
- Publication number
- JPS58129123A JPS58129123A JP57010011A JP1001182A JPS58129123A JP S58129123 A JPS58129123 A JP S58129123A JP 57010011 A JP57010011 A JP 57010011A JP 1001182 A JP1001182 A JP 1001182A JP S58129123 A JPS58129123 A JP S58129123A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- unit
- clean
- room
- blow
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/163—Clean air work stations, i.e. selected areas within a space which filtered air is passed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、半導体のＩｉｌ！などに必要とする清浄な作
業環境をんり出す友めの嘴浄作ｌｉ４室（クリーンルー
ム）に関する。
業環境をんり出す友めの嘴浄作ｌｉ４室（クリーンルー
ム）に関する。
従来、半導体ｊ１１！造工程に用いられてい次清浄作ａ
′ｉｊｉの一例【第１図にボす、これは置市ダウン７０
一式クリーンルームとよばれるもので、１は雌雄、２は
グリーンルーム型内、６は尚性能フィルタ、４は照明灯
、５は天井部多孔板、６は木部多孔板、７は空調用給気
ダクト、８はグ調用戻りダクト、９は露光、エツチング
、振数、メタライズ等の各装ｆ１′ｙインの作業用機器
であり、図の矢印で示すように面注能フイルメ３で処理
しな清浄空気を天外全面かり層流状として室内２へ吹き
出し、体上を通して蚕Ｖ１空気を排出することにより、
室内全体をはｌよ−に高清浄度（たとえばクラス１ＵＯ
）に輔持し、全工程の作業をこの清浄零囲気中で行える
ようにしている。
′ｉｊｉの一例【第１図にボす、これは置市ダウン７０
一式クリーンルームとよばれるもので、１は雌雄、２は
グリーンルーム型内、６は尚性能フィルタ、４は照明灯
、５は天井部多孔板、６は木部多孔板、７は空調用給気
ダクト、８はグ調用戻りダクト、９は露光、エツチング
、振数、メタライズ等の各装ｆ１′ｙインの作業用機器
であり、図の矢印で示すように面注能フイルメ３で処理
しな清浄空気を天外全面かり層流状として室内２へ吹き
出し、体上を通して蚕Ｖ１空気を排出することにより、
室内全体をはｌよ−に高清浄度（たとえばクラス１ＵＯ
）に輔持し、全工程の作業をこの清浄零囲気中で行える
ようにしている。
この全面ダウンブロ一式りリーノルームは室全体の清浄
度を高める上からは最良の方式とされて１／２７ｔが、
次のような欠点ｔ；ある。
度を高める上からは最良の方式とされて１／２７ｔが、
次のような欠点ｔ；ある。
（１）清浄化区域および空調対象区域が広く、高価な高
性能フィルタを多量に使用しているため、Ｗｌｔ備費が
非常に高い。
性能フィルタを多量に使用しているため、Ｗｌｔ備費が
非常に高い。
（２） 空−繍持費、フィルタ交換費用などのランニ
ングコストが高い。
ングコストが高い。
（３） ｍ全体の空ｉｌＩを行うため、製造ライン８
Ｉｌ（工程別）の空調温度制御ができない。
Ｉｌ（工程別）の空調温度制御ができない。
（４） 製造ライン用機器や配管類の補修をクリーン
ルーム産肉て行うため、それによる発Ｊｌが他の製造ラ
イン（工程）に及ぼす影響が大きい。
ルーム産肉て行うため、それによる発Ｊｌが他の製造ラ
イン（工程）に及ぼす影響が大きい。
ｌｌＩ２図は従来用いられてい冷清浄作業室の他の例を
示す、これは、ａｊｌｌの天井に高性能フィルタおよび
送風機を内蔵する空気浄化ユニット１０を分散設置して
クリーンルーム家内２に清浄空気を吹き出し、Ｓ屋壁面
の下部に設は九排気口１５から室内空気を排出すること
により、室内２の清浄度全クラ１１０，０００４度に制
御し、ａｌｌタライン用機器９片ｍが開放されたクリー
ンベンチ（清浄作業台）１１をかぶせ、クリーンベンチ
１１の天井部から吹き出す清浄空気により作＊Ｓ空閲１
２の清浄度を局所的にクラス１００程度に高める方式で
ある。
示す、これは、ａｊｌｌの天井に高性能フィルタおよび
送風機を内蔵する空気浄化ユニット１０を分散設置して
クリーンルーム家内２に清浄空気を吹き出し、Ｓ屋壁面
の下部に設は九排気口１５から室内空気を排出すること
により、室内２の清浄度全クラ１１０，０００４度に制
御し、ａｌｌタライン用機器９片ｍが開放されたクリー
ンベンチ（清浄作業台）１１をかぶせ、クリーンベンチ
１１の天井部から吹き出す清浄空気により作＊Ｓ空閲１
２の清浄度を局所的にクラス１００程度に高める方式で
ある。
この方式は、全面ダウンフロ一式クリーンルームに比べ
、設備費は安−で済むが、次のような欠点があも。
、設備費は安−で済むが、次のような欠点があも。
（１５作業部空間１２の＃１囲の清浄度はクラス１四０
０程度と低≠なめ、作業者の動きにより作業部空間１２
に周囲から清浄度の低い空ｊｉＣを巻き込むことが多く
１作業部空間１２の清浄度を高レベルに安定して維持す
ることが嬉しい。
０程度と低≠なめ、作業者の動きにより作業部空間１２
に周囲から清浄度の低い空ｊｉＣを巻き込むことが多く
１作業部空間１２の清浄度を高レベルに安定して維持す
ることが嬉しい。
（２５全面ダウンフロ一方式と同称に、！Ｋｌｊ造ライ
ンうの空調温度制御ができない。
ンうの空調温度制御ができない。
（５つ クリーンベンチ１１は９両Ｉ１部に脚を有す
る自立構造（第５図れ）参照〕で、強度上から全長５〜
６ｍ程度のものが製作できる限界である丸め。
る自立構造（第５図れ）参照〕で、強度上から全長５〜
６ｍ程度のものが製作できる限界である丸め。
最近の連続した長大な半導体製造ライン（全員８〜１０
ｍ）などは収納できない。
ｍ）などは収納できない。
本発明の目的は、上記し次先行技術の欠点（１）〜（４
）シよび（１つ〜（３怜大幅に改蕾しな、半導体製造工
程のような大規倶製造ラインにも通用できる清浄作業室
を鳥供することにある。
）シよび（１つ〜（３怜大幅に改蕾しな、半導体製造工
程のような大規倶製造ラインにも通用できる清浄作業室
を鳥供することにある。
上記目的を構成するため本発明者らは、ユニットＡ、ユ
ニットＢと称する空気浄化ユニットおよび仕切り板金用
いて製造ライン部のみｔトンネル状に覆い、＃造りイン
部を周囲の保全域と区分して局所的に清浄化することを
考えた。
ニットＢと称する空気浄化ユニットおよび仕切り板金用
いて製造ライン部のみｔトンネル状に覆い、＃造りイン
部を周囲の保全域と区分して局所的に清浄化することを
考えた。
以下、本発明の＊１例を図ｄＩＪを用いて腕間する。
第３図は本発明の一冥施例ｔトンネ々状＠ｖｈの長手方
向に直角な断面で示した図、第４図はトンネル状覆いの
外観を示す＃視図である。
向に直角な断面で示した図、第４図はトンネル状覆いの
外観を示す＃視図である。
１１５図に示すように、建屋１め床上に製造ライン用ｍ
器９′ｆｔ向い合せに配列し、２ラインを１組として本
発明による清浄作業室に収納する。
器９′ｆｔ向い合せに配列し、２ラインを１組として本
発明による清浄作業室に収納する。
ユニツ）Ａ１４は、天井部と（ＩＩｌｒｋＪ部とからな
る逆り形の形状をした本体ケース１５に空気浄化要素で
ある高性能フイにり１６．送風機１７と照明灯１８を内
蔵し、本体ケース１５の空気吸込み口１９からプレフィ
ルタ２ｏを通して吸込まれた清浄度の低い外部空気を清
浄化して、天井部の清浄空気吹出し口２１から下向に吹
き出すようにしたものである。清浄空気吹出し口２１に
設置され冷格子状の散光板２２は、照明の威光と清浄気
流の整流の役目倉する。ま冷、本体ケース１５の側面Ｓ
ｔ−＊う側板２３の下部には、嵐内空３Ｋｔ外部（保全
ｆ）へ排出する友めの排気用穴２４が設けられている。
る逆り形の形状をした本体ケース１５に空気浄化要素で
ある高性能フイにり１６．送風機１７と照明灯１８を内
蔵し、本体ケース１５の空気吸込み口１９からプレフィ
ルタ２ｏを通して吸込まれた清浄度の低い外部空気を清
浄化して、天井部の清浄空気吹出し口２１から下向に吹
き出すようにしたものである。清浄空気吹出し口２１に
設置され冷格子状の散光板２２は、照明の威光と清浄気
流の整流の役目倉する。ま冷、本体ケース１５の側面Ｓ
ｔ−＊う側板２３の下部には、嵐内空３Ｋｔ外部（保全
ｆ）へ排出する友めの排気用穴２４が設けられている。
このユ三ツ）Ａは、第２図に示すクリーンベンチ１１か
ら両側部の１１４１を除いたものにほぼ相当し、脚を設
けて自立させる代わりに、その天井部を趨販１の大升か
ら吊り金具２５によって吊り下げ、中央部に作業者が通
行できる程度の開離をあけて、床上に向い合せに設置す
る。閲Ｐｊｉｔ−あけた中央部には、ユニツ１−Ｂ２６
ｔ”−その下を作業者が通行可能な高さに、建ば１の天
井から吊り金Ｊ４２５によって吊り下げ保持する。ユニ
ツ）Ｂ２＜Ｓは、空気浄化１１索である高性能フィルタ
２７．送風機Ｚを内蔵した箱形体で、下面に清浄空気吹
出しロワを有し、１ＩｌｌＩｆｉの空気吹込み口６０を
空−用給気ダクト７に接続する。このように配置したユ
ニットＡとユニツｈＢの関を仕切り板３１で連結して。
ら両側部の１１４１を除いたものにほぼ相当し、脚を設
けて自立させる代わりに、その天井部を趨販１の大升か
ら吊り金具２５によって吊り下げ、中央部に作業者が通
行できる程度の開離をあけて、床上に向い合せに設置す
る。閲Ｐｊｉｔ−あけた中央部には、ユニツ１−Ｂ２６
ｔ”−その下を作業者が通行可能な高さに、建ば１の天
井から吊り金Ｊ４２５によって吊り下げ保持する。ユニ
ツ）Ｂ２＜Ｓは、空気浄化１１索である高性能フィルタ
２７．送風機Ｚを内蔵した箱形体で、下面に清浄空気吹
出しロワを有し、１ＩｌｌＩｆｉの空気吹込み口６０を
空−用給気ダクト７に接続する。このように配置したユ
ニットＡとユニツｈＢの関を仕切り板３１で連結して。
連続したトンネル状覆いｔ−構成し、このトンネル状覆
いと床面とで囲まれたほぼ凸形の断−形状を有する室内
に、製造ライン用機器９を設置する作業部３２ａと作業
者が通行する通路＠５２’Ｆ：Ｉｆ、トンネル状覆いの
長手方向に連続して設ける１作５１１部３２ａｔ−覆う
ユニツ）Ａ１４の天井高さは。
いと床面とで囲まれたほぼ凸形の断−形状を有する室内
に、製造ライン用機器９を設置する作業部３２ａと作業
者が通行する通路＠５２’Ｆ：Ｉｆ、トンネル状覆いの
長手方向に連続して設ける１作５１１部３２ａｔ−覆う
ユニツ）Ａ１４の天井高さは。
作業に支＃Ｉ７１がない限り低くした方が、作業部空間
における気流の乱れが少なく、清浄度保持性能が艮くな
る。
における気流の乱れが少なく、清浄度保持性能が艮くな
る。
送風機１７の運転により、ユニツ）Ａ１４は周囲の保全
域５５からプレフィルタ２０倉通して空気を吸込み、送
風機１７から送り出された空ｇｃを高性能フィルタ１６
で清浄化して、清浄空気吹出し口２１から家内の作業部
５２ａの吹き出す、また、ユニツ）Ｂ２６は空調用ｌ＆
気ダクト７から供給される空気を送風機２８により加圧
し、高性能フィルタ２７で清浄化して、清浄空気吹出し
口重から家内の通路部５２ｂの吹き出す、清浄気流の麺
風速は、危とえば作Ｓ部５２ａでα４ｍ／８、通路部５
２ｂ′″ｔ’（Ｌ２ｍ／ｓというように、各部の必要清
浄度に応じて設定する。こうすることによって、ｍｔ重
要連作業部３２ａの清浄度を通路部ｎｂの清浄度よりも
高くすることができる。
域５５からプレフィルタ２０倉通して空気を吸込み、送
風機１７から送り出された空ｇｃを高性能フィルタ１６
で清浄化して、清浄空気吹出し口２１から家内の作業部
５２ａの吹き出す、また、ユニツ）Ｂ２６は空調用ｌ＆
気ダクト７から供給される空気を送風機２８により加圧
し、高性能フィルタ２７で清浄化して、清浄空気吹出し
口重から家内の通路部５２ｂの吹き出す、清浄気流の麺
風速は、危とえば作Ｓ部５２ａでα４ｍ／８、通路部５
２ｂ′″ｔ’（Ｌ２ｍ／ｓというように、各部の必要清
浄度に応じて設定する。こうすることによって、ｍｔ重
要連作業部３２ａの清浄度を通路部ｎｂの清浄度よりも
高くすることができる。
清浄空気吹出し口２１および２９から吹き出δれ冷清浄
気流り図の矢印で示すように家内を流れ、側板２５の下
部に設けられ冷排気用穴２４から保全域５３へ排出され
る。室内圧力は排気用穴２４での圧力損失分だけ外気に
対し正圧になるので、外部からの汚染空気の流入を防止
できる。排気の一部は保全域５５から空調用戻りダクト
８により排出されるが、一部はユニツ）Ａの空気吸込み
口１９へ還流する。このように空ｉ１１＃ｔ９ＩＣを循
還使用することによって、省エネルギー化と家内浦＃度
の向上がはかれる。
気流り図の矢印で示すように家内を流れ、側板２５の下
部に設けられ冷排気用穴２４から保全域５３へ排出され
る。室内圧力は排気用穴２４での圧力損失分だけ外気に
対し正圧になるので、外部からの汚染空気の流入を防止
できる。排気の一部は保全域５５から空調用戻りダクト
８により排出されるが、一部はユニツ）Ａの空気吸込み
口１９へ還流する。このように空ｉ１１＃ｔ９ＩＣを循
還使用することによって、省エネルギー化と家内浦＃度
の向上がはかれる。
製造ラインで使用さる水、ガス等の配管類や電気配線は
保全域５３に設置され、排気用穴２４を通して製造ツイ
ン用ｆｓ器９へ引き込まれる。こうすることによって、
配ｔｍや配線のメンテナンスは保全域５５で行うことが
できる。また、側板５をねじ止めあるいは引掛金具等に
より部分的に取りはずせるようにしておけば、製造ライ
ン用機器９のメンテナンスもそのほとんどか保全域５３
から行える。＊板２５は、家内の作業環境の改蕾と外部
からの作ａ’ｔｍの必要上、透明板とすることがある。
保全域５３に設置され、排気用穴２４を通して製造ツイ
ン用ｆｓ器９へ引き込まれる。こうすることによって、
配ｔｍや配線のメンテナンスは保全域５５で行うことが
できる。また、側板５をねじ止めあるいは引掛金具等に
より部分的に取りはずせるようにしておけば、製造ライ
ン用機器９のメンテナンスもそのほとんどか保全域５３
から行える。＊板２５は、家内の作業環境の改蕾と外部
からの作ａ’ｔｍの必要上、透明板とすることがある。
ｊＩｓ図は従来ムクリー・べ・チ併用方式と本発明によ
る清浄作業室のレイアウトの比較例を示しな図で、同図
（〜のようにクリーンベンチ１１ｔ−使−用した場合に
は、クリーンベンチのｇ５４Ｓｌ；や壕になって製造ラ
イン用機器９に一連続して設置することができないが、
同図０に示す本発明の方式では、トンネル状覆い３５を
構成するユニツ）Ａおよびユニツ）ＢがＩＩｍ大井から
吊り下げられているため、その室内３２に連続し次長穴
な製造サイン用１１ｉ９を設置することが可能となる。
る清浄作業室のレイアウトの比較例を示しな図で、同図
（〜のようにクリーンベンチ１１ｔ−使−用した場合に
は、クリーンベンチのｇ５４Ｓｌ；や壕になって製造ラ
イン用機器９に一連続して設置することができないが、
同図０に示す本発明の方式では、トンネル状覆い３５を
構成するユニツ）Ａおよびユニツ）ＢがＩＩｍ大井から
吊り下げられているため、その室内３２に連続し次長穴
な製造サイン用１１ｉ９を設置することが可能となる。
この図に示すように、トンネル状覆い３５の長半方向の
両端には、！ｓ付のエンドパネル５６を取付けて保全域
３３と室内５２とを仕切るのが良い。
両端には、！ｓ付のエンドパネル５６を取付けて保全域
３３と室内５２とを仕切るのが良い。
以上のｉｐ２明から明らかなように本発明によれば。
従来半導体の製造などに最良の方式とされていた全面ダ
ウンフロ一式クリーンルームに比べ、製造ライン部に必
門な清＃度倉／ｉｊ１保しながら１次の効果が得られる
。
ウンフロ一式クリーンルームに比べ、製造ライン部に必
門な清＃度倉／ｉｊ１保しながら１次の効果が得られる
。
（１） 清浄化区域および空調対象区域が大輪に減少
するため、設備黄金約半分に低減できる。
するため、設備黄金約半分に低減できる。
（２） ランニングコストも約半分に低減し、★エネ
Ｖギー化できる。
Ｖギー化できる。
（３） 全面ダウンブロ一方式およびクリーンベンチ
併用方式では雌しかった製造ライン別の空一温度−＃が
可能となる。
併用方式では雌しかった製造ライン別の空一温度−＃が
可能となる。
（４） Ｍフィンのメンテナンスが外部の保全域カら
行えるので、メンテナンス作業による発謳が他の製造ラ
インに影１１１ｒ及ぼすことを防止できる。
行えるので、メンテナンス作業による発謳が他の製造ラ
インに影１１１ｒ及ぼすことを防止できる。
また、従来のクリーンベンチ併用方式と比べても１次の
ような効果がある。
ような効果がある。
（５）室内全体の清浄度を上げることが容易であり。
友とえは作業部の必要清浄度をクラス１００とした場合
、通路部の清浄度はクラス１００〜１０００と１両区域
の清浄度の差を小さくすることができるので１作業者の
動きによって作業部の清浄度が影響を受けることが少な
く、作業部の清＃度保持性能が向上する。
、通路部の清浄度はクラス１００〜１０００と１両区域
の清浄度の差を小さくすることができるので１作業者の
動きによって作業部の清浄度が影響を受けることが少な
く、作業部の清＃度保持性能が向上する。
（６） 室内に連続した長大寸法の製造ライン用機器
を設置する仁とが可能となる。
を設置する仁とが可能となる。
第１図は先行技術である全面ダウ゛′ンフロ一式クリー
ンルームを示すｌＩｌ＃面図、ｌＩ２１！！１は先行技
術であるクリーンベンチ併用方式を示す側断面図、第５
図は本発明の一実施例を示すトンネル状覆いの長手方向
に直角な断面図、ＪＩ４図はその外観を示す斜視図、第
５図（鴫、（勢はそれぞれクリーンベンチ併用方式と本
ｌｌｉ明による清浄作＃ＩＷ１のレイアウトの比較例を
示す図である。 １ｚ＃１屋％１４ ： ユニｖｙトＡ、１１＄＋高性能
フィルタ、１７：送風機、１９：空気吸込み０．２１：
清浄空気吹出し口、２５；吊り金具、２６；ユニッ）Ｂ
、２７＋高性能フイルタ、２８！送風機、２９：清浄空
気吹出しロ、５０：空気吸込み口、３１：仕切り板、３
２：室内、３２ａ：室内の作業部％５２ｂ＝室内の通路
部、３５：ユニツｌ−Ａ。 ユニツ）Ｅと仕切り板５１とで構成されたトンネ手続補
正書（方式） 事件の表示 昭和５７年特許願第 １００１、 発明の名称 清浄作業室 補正をする者 名 １！、 ！ ５１０１株式会ｉｔ ＩＩ
立 製 作 所代 表 名 三 １） 勝
茂代 理 人 補正の対象
ンルームを示すｌＩｌ＃面図、ｌＩ２１！！１は先行技
術であるクリーンベンチ併用方式を示す側断面図、第５
図は本発明の一実施例を示すトンネル状覆いの長手方向
に直角な断面図、ＪＩ４図はその外観を示す斜視図、第
５図（鴫、（勢はそれぞれクリーンベンチ併用方式と本
ｌｌｉ明による清浄作＃ＩＷ１のレイアウトの比較例を
示す図である。 １ｚ＃１屋％１４ ： ユニｖｙトＡ、１１＄＋高性能
フィルタ、１７：送風機、１９：空気吸込み０．２１：
清浄空気吹出し口、２５；吊り金具、２６；ユニッ）Ｂ
、２７＋高性能フイルタ、２８！送風機、２９：清浄空
気吹出しロ、５０：空気吸込み口、３１：仕切り板、３
２：室内、３２ａ：室内の作業部％５２ｂ＝室内の通路
部、３５：ユニツｌ−Ａ。 ユニツ）Ｅと仕切り板５１とで構成されたトンネ手続補
正書（方式） 事件の表示 昭和５７年特許願第 １００１、 発明の名称 清浄作業室 補正をする者 名 １！、 ！ ５１０１株式会ｉｔ ＩＩ
立 製 作 所代 表 名 三 １） 勝
茂代 理 人 補正の対象
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 少なくとも空９ＩＣ浄化＃素を内蔵し、逆り形の形状を
して、その天井部に清浄空気吹出し口を有し、側板の下
部に排気用穴を有するユニツ）Ａ′に１作業者が通行で
きる程度の間障をあけて、建屋天井から吊り下げて床上
に向い合せに設置し、関ｍｔ−あけた中央部には、少な
くとも空ｇＬ＃化要素を内蔵し、下面に清浄空気吹出し
ロｔ−有する箱状のユニツ）Ｂを、その下を作業＃が通
行可能な高さに、＃１屋大井から吊り下げて保持し、ユ
ニツ）Ａとユニッ）Ｂの間を仕切り板で連結して、連続
したトンネル状覆いを構成し、このトンネル状覆いと床
面とで囲まれた室内にユニットＡとユニットＢのと 清浄空気吹出し口から清浄空気を吹−シろし、ユニツ）
Ａの排気用穴から室内空気を排出して、室内を清浄化す
るようにした清浄作業室。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57010011A JPS58129123A (ja) | 1982-01-27 | 1982-01-27 | 清浄作業室 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57010011A JPS58129123A (ja) | 1982-01-27 | 1982-01-27 | 清浄作業室 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58129123A true JPS58129123A (ja) | 1983-08-02 |
Family
ID=11738451
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57010011A Pending JPS58129123A (ja) | 1982-01-27 | 1982-01-27 | 清浄作業室 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58129123A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS597836A (ja) * | 1982-07-06 | 1984-01-17 | Oshitari Kenkyusho:Kk | 垂直層流式無塵室 |
| EP0978691A2 (de) * | 1998-08-06 | 2000-02-09 | M+W Zander Facility Engineering GmbH + Co. KG | Reinraum |
| US6264550B1 (en) * | 1997-07-11 | 2001-07-24 | Nippon Steel Semiconductor Corporation | Clean room and method of remodeling clean room |
| US6390755B1 (en) * | 2000-04-06 | 2002-05-21 | Motorola, Inc. | Exhaust device for use in a clean room, cleanroom, and method |
-
1982
- 1982-01-27 JP JP57010011A patent/JPS58129123A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS597836A (ja) * | 1982-07-06 | 1984-01-17 | Oshitari Kenkyusho:Kk | 垂直層流式無塵室 |
| US6264550B1 (en) * | 1997-07-11 | 2001-07-24 | Nippon Steel Semiconductor Corporation | Clean room and method of remodeling clean room |
| EP0978691A2 (de) * | 1998-08-06 | 2000-02-09 | M+W Zander Facility Engineering GmbH + Co. KG | Reinraum |
| EP0978691A3 (de) * | 1998-08-06 | 2005-07-20 | M+W Zander Facility Engineering GmbH + Co. KG | Reinraum |
| US6390755B1 (en) * | 2000-04-06 | 2002-05-21 | Motorola, Inc. | Exhaust device for use in a clean room, cleanroom, and method |
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