CN213901295U - 一种洁净室系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种洁净室系统，所述洁净空间从上到下包括架构空间和洁净空间，架构空间和洁净空间之间设有天花板，所述架构空间和洁净空间的天花板为天花库板结构；天花库板结构上设有至少1个进气口和至少1个出气口，所述进气口的上方设有风机，所述出气口处密封设有高效过滤器，由风机从进气口抽出的气流经过所述高效过滤器过滤后回到洁净空间内。通过采用天花库板结构，避免了现有技术中需要采用大量的钢铁龙骨而存着的施工难、成本高等问题，大大节约了洁净室的成本，因此可以用于一些低成本的场合和低端市场。

Description

一种洁净室系统

技术领域

本实用新型涉及一种洁净室系统，主要用于半导体的生产场合。

背景技术

洁净室(Clean Room)，亦称无尘车间、无尘室或清净室。洁净室的主要功能为室内污染控制，没有洁净室，污染敏感零件不可能批量生产。在FED-STD-2里面，洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间，其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。洁净程度和控制污染的持续稳定性，是检验洁净室质量的核心标准，该标准根据区域环境、净化程度等因素，分为若干等级，常用的有国际标准和国内区域行业标准。

现有技术中，通常在洁净室中安装风机过滤机组(英文全称为Fan Filter Unit，简称FFU)来进行空气过滤。目前，FFU广泛应用于洁净室、洁净工作台、洁净生产线、组装式洁净室和局部百级等应用场合。它可以为不同尺寸大小，不同洁净度等级的洁净室、微环境提供高质量的洁净空气。现有的风机过滤机组适用于在各种环境中获得高级别的洁净环境；在新建洁净室、洁净厂房式改造翻新中，即可提高洁净度级别，降低噪音和振动，也可大大降低造价，安装维护方便，是洁净环境的理想部件。

然而，由于现有的FFU的尺寸、风机功率和过滤器都是预先定好的，因此在安装至洁净室时，只能通过调节FFU的数量来适应不同大小的空间，而且这种调配也无法做到非常的精确。此外，现有的洁净室都是采用龙骨搭建天花结构，形成四四方方的格子，格子内设置所述FFU，然而，这种结构的施工精度要求也较高，洁净室的建造成本也高，不适用于一些要求控制建筑成本的场合。

因此，开发一种低成本的洁净室系统，以用于一些低成本的场合，显然更具有积极的现实意义，更符合市场规律。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种洁净室系统，以适合低成本的场合。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种洁净室系统，所述洁净空间从上到下包括架构空间和洁净空间，架构空间和洁净空间之间设有天花板，

所述架构空间和洁净空间的天花板为天花库板结构；天花库板结构上设有至少1个进气口和至少1个出气口，所述进气口的上方设有风机，所述出气口处密封设有高效过滤器，由风机从进气口抽出的气流经过所述高效过滤器过滤后回到洁净空间内。

上文中，所述进气口是指气流从洁净空间经过进气口进入架构空间；所述进气口是指气流从架构空间经由出气口返回洁净空间。

所述风机的作用是把气流从洁净空间吸入架构空间。

优选的，所述进气口的上方密封设有风箱，风箱内设有风机。

优选的，所述风箱的侧面设有与风机配合的出风口，出风口处设有干盘管。

优选的，所述风机为叶轮风机。

上述技术方案中，所述库板结构包括复数个库板和连接结构，各个库板通过连接装置组合为一板体，组合成为天花板。

上述技术方案中，所述库板为二面具有烤漆钢板、中央设有夹层的板体结构。

上述技术方案中，所述架构空间内的气压大于所述洁净空间的气压。由于风机不停地把气流从洁净空间吸入架构空间内，因此可以使得架构空间内的气压大于所述洁净空间的气压。

上述技术方案中，所述架构空间内还设有干盘管，由风机从进气口抽出的气流经过干盘管换热后再经过所述高效过滤器过滤后回到洁净空间内。

上述技术方案中，还包括新风输送系统。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：

1.本实用新型设计了一种新的洁净室系统，通过采用天花库板结构，避免了现有技术中需要采用大量的钢铁龙骨而存着的施工难、成本高等问题，大大节约了洁净室的成本，因此可以用于一些低成本的场合和低端市场，具有积极的现实意义；

2.由于采用了天花库板结构，因此其牢固程度不如现有的龙骨天花结构，针对该新的技术问题，本实用新型通过在进气口的上方设置风机、出气口处设置高效过滤器，分散并降低了库板结构的压力，并能得到良好的洁净气流，可以满足洁净室的要求；

3.本实用新型的结构简单，成本较低，始于推广应用。

附图说明

图1是本实用新型实施一中架构空间的俯视图；

图2是本实用新型实施一的剖视图；

图3是图2的气流流动示意图。

其中：1、架构空间；2、洁净空间；3、天花板；4、风机；5、高效过滤器；6、风箱；7、干盘管。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述：

实施例一

参见图1～3，一种洁净室系统，所述洁净空间从上到下包括架构空间1和洁净空间2，架构空间和洁净空间之间设有天花板3，

所述架构空间和洁净空间的天花板为天花库板结构；天花库板结构上设有至少1个进气口和至少1个出气口，所述进气口的上方设有风机4，所述出气口处密封设有高效过滤器5，由风机从进气口抽出的气流经过所述高效过滤器过滤后回到洁净空间内。

本实施例中，所述进气口的上方密封设有风箱6，风箱内设有风机4。

本实施例中，所述风箱的侧面设有与风机配合的出风口，出风口处设有干盘管7。

本实施例中，所述风机为叶轮风机。

本实施例中，所述库板结构包括复数个库板和连接结构，各个库板通过连接装置组合为一板体，组合成为天花板。所述库板为二面具有烤漆钢板、中央设有夹层的板体结构。

本实施例中，所述架构空间内的气压大于所述洁净空间的气压。

参见图3的气流流动示意图，气流由风机抽动，从洁净空间经过进气口进入架构空间；然后，气流经过干盘管换热后经由高效过滤器过滤后从出气口返回洁净空间(此是是洁净的气流)。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (9)

1.一种洁净室系统，所述洁净室从上到下包括架构空间和洁净空间，架构空间和洁净空间之间设有天花板，其特征在于，

所述架构空间和洁净空间的天花板为天花库板结构；天花库板结构上设有至少1个进气口和至少1个出气口，所述进气口的上方设有风机，所述出气口处密封设有高效过滤器，由风机从进气口抽出的气流经过所述高效过滤器过滤后回到洁净空间内。

2.如权利要求1所述的洁净室系统，其特征在于，所述进气口的上方密封设有风箱，风箱内设有风机。

3.如权利要求2所述的洁净室系统，其特征在于，所述风箱的侧面设有与风机配合的出风口，出风口处设有干盘管。

4.如权利要求2所述的洁净室系统，其特征在于，所述风机为叶轮风机。

5.如权利要求1所述的洁净室系统，其特征在于，所述库板结构包括复数个库板和连接结构，各个库板通过连接装置组合为一板体，组合成为天花板。

6.如权利要求5所述的洁净室系统，其特征在于，所述库板为二面具有烤漆钢板、中央设有夹层的板体结构。

7.如权利要求1所述的洁净室系统，其特征在于，所述架构空间内的气压大于所述洁净空间的气压。

8.如权利要求1所述的洁净室系统，其特征在于，所述架构空间内还设有干盘管，由风机从进气口抽出的气流经过干盘管换热后再经过所述高效过滤器过滤后回到洁净空间内。

9.如权利要求1所述的洁净室系统，其特征在于，还包括新风输送系统。

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