JP2002043387A - クリーンルーム、及びクリーンルームにおける半導体装置の搬送方法 - Google Patents
クリーンルーム、及びクリーンルームにおける半導体装置の搬送方法Info
- Publication number
- JP2002043387A JP2002043387A JP2000219433A JP2000219433A JP2002043387A JP 2002043387 A JP2002043387 A JP 2002043387A JP 2000219433 A JP2000219433 A JP 2000219433A JP 2000219433 A JP2000219433 A JP 2000219433A JP 2002043387 A JP2002043387 A JP 2002043387A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- clean room
- escalator
- self
- floors
- room according
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67724—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations by means of a cart or a vehicule
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 高さが異なる複数のフロアを有するクリーン
ルームにおいて、フロア間搬送における搬送待ち時間を
減らし、効率良く物流を行う。 【解決手段】 高さが異なる複数のフロア２１，２２を
有するクリーンルーム１において、フロア間で物品４を
搬送するためのエスカレータ３を配置した。フロア間の
物品４の搬送は、自走式搬送車５を用いた。エスカレー
タ３の踏段３３において、自走式搬送車５及びその上に
載せられた物品４は、保持部３４により上方から保持さ
れる。保持部３４は、乗降口３１，３２付近で、物品４
を介して自走式搬送車５の乗降動作を補助する。
ルームにおいて、フロア間搬送における搬送待ち時間を
減らし、効率良く物流を行う。 【解決手段】 高さが異なる複数のフロア２１，２２を
有するクリーンルーム１において、フロア間で物品４を
搬送するためのエスカレータ３を配置した。フロア間の
物品４の搬送は、自走式搬送車５を用いた。エスカレー
タ３の踏段３３において、自走式搬送車５及びその上に
載せられた物品４は、保持部３４により上方から保持さ
れる。保持部３４は、乗降口３１，３２付近で、物品４
を介して自走式搬送車５の乗降動作を補助する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、高さが異なる複数
のフロア間にエスカレータが設けられたクリーンルー
ム、及びクリーンルームにおける半導体装置の搬送方法
に関する。
のフロア間にエスカレータが設けられたクリーンルー
ム、及びクリーンルームにおける半導体装置の搬送方法
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、高さが異なる複数のフロアを有す
るクリーンルームにおいて、その上下フロア間のウェハ
キャリアの搬送には、リフターやエレベータ等の垂直搬
送装置が用いられていた。
るクリーンルームにおいて、その上下フロア間のウェハ
キャリアの搬送には、リフターやエレベータ等の垂直搬
送装置が用いられていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記垂直搬送
装置によるウェハキャリアのフロア間搬送では、上記垂
直搬送装置の容量に伴って、一度に搬送できるウェハキ
ャリアの数が制約されていた。すなわち、ウェハキャリ
アの数が多い場合や、垂直搬送装置の容量が小さい場合
には、作業者（オペレータ）が垂直搬送装置を繰り返し
使用して、ウェハキャリアをフロア間で搬送しなければ
ならなかった。また、一般的に、上記垂直搬送装置は昇
降スピードが遅いため、上記垂直搬送装置を呼び出して
から、到着するまでに時間が掛かっていた。従って、上
記垂直搬送装置によるウェハキャリアのフロア間搬送で
は、搬送待ちの時間が長く、クリーンルーム内で効率良
く物流を行うことができなかった。
装置によるウェハキャリアのフロア間搬送では、上記垂
直搬送装置の容量に伴って、一度に搬送できるウェハキ
ャリアの数が制約されていた。すなわち、ウェハキャリ
アの数が多い場合や、垂直搬送装置の容量が小さい場合
には、作業者（オペレータ）が垂直搬送装置を繰り返し
使用して、ウェハキャリアをフロア間で搬送しなければ
ならなかった。また、一般的に、上記垂直搬送装置は昇
降スピードが遅いため、上記垂直搬送装置を呼び出して
から、到着するまでに時間が掛かっていた。従って、上
記垂直搬送装置によるウェハキャリアのフロア間搬送で
は、搬送待ちの時間が長く、クリーンルーム内で効率良
く物流を行うことができなかった。
【０００４】本発明は、上記従来の課題を解決するため
になされたもので、高さが異なる複数のフロアを有する
クリーンルームにおいて、フロア間搬送における搬送待
ち時間を減らし、効率良く物流を行うことを目的とす
る。
になされたもので、高さが異なる複数のフロアを有する
クリーンルームにおいて、フロア間搬送における搬送待
ち時間を減らし、効率良く物流を行うことを目的とす
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明に係るク
リーンルームは、床の高さが異なる複数のフロアと、前
記複数のフロア間に配置され、前記フロア間で物品を搬
送するためのエスカレータと、を備えることを特徴とす
るものである。
リーンルームは、床の高さが異なる複数のフロアと、前
記複数のフロア間に配置され、前記フロア間で物品を搬
送するためのエスカレータと、を備えることを特徴とす
るものである。
【０００６】請求項２の発明に係るクリーンルームは、
請求項１に記載のクリーンルームにおいて、第１のフロ
アで載せられた前記物品を、前記エスカレータを使用し
て第２のフロアに搬送するための自走式搬送車を更に備
えることを特徴とするものである。
請求項１に記載のクリーンルームにおいて、第１のフロ
アで載せられた前記物品を、前記エスカレータを使用し
て第２のフロアに搬送するための自走式搬送車を更に備
えることを特徴とするものである。
【０００７】請求項３の発明に係るクリーンルームは、
請求項２に記載のクリーンルームにおいて、前記エスカ
レータは、各フロアにおける乗降口と、前記自走式搬送
車を載せるための複数の踏段と、前記自走式搬送車の上
に載せられた物品を上方から保持するための保持部と、
を備えることを特徴とするものである。
請求項２に記載のクリーンルームにおいて、前記エスカ
レータは、各フロアにおける乗降口と、前記自走式搬送
車を載せるための複数の踏段と、前記自走式搬送車の上
に載せられた物品を上方から保持するための保持部と、
を備えることを特徴とするものである。
【０００８】請求項４の発明に係るクリーンルームは、
請求項３に記載のクリーンルームにおいて、前記保持部
は、前記物品の上端部を保持する面が前記エスカレータ
の傾斜面と平行であり、前記踏段と同一方向に且つ同一
速度で移動するループ状のシートであることを特徴とす
るものである。
請求項３に記載のクリーンルームにおいて、前記保持部
は、前記物品の上端部を保持する面が前記エスカレータ
の傾斜面と平行であり、前記踏段と同一方向に且つ同一
速度で移動するループ状のシートであることを特徴とす
るものである。
【０００９】請求項５の発明に係るクリーンルームは、
請求項４に記載のクリーンルームにおいて、前記保持面
と、前記保持面により保持される前記物品の上端部との
距離が、３０ｍｍ以下であることを特徴とするものであ
る。
請求項４に記載のクリーンルームにおいて、前記保持面
と、前記保持面により保持される前記物品の上端部との
距離が、３０ｍｍ以下であることを特徴とするものであ
る。
【００１０】請求項６の発明に係るクリーンルームは、
請求項４に記載のクリーンルームにおいて、前記保持部
は、前記乗降口付近で、前記物品を介して前記自走式搬
送車の乗降動作を補助することを特徴とするものであ
る。
請求項４に記載のクリーンルームにおいて、前記保持部
は、前記乗降口付近で、前記物品を介して前記自走式搬
送車の乗降動作を補助することを特徴とするものであ
る。
【００１１】請求項７の発明に係るクリーンルームは、
請求項３に記載のクリーンルームにおいて、前記エスカ
レータは、前記踏段の移動方向を反転可能であることを
特徴とするものである。
請求項３に記載のクリーンルームにおいて、前記エスカ
レータは、前記踏段の移動方向を反転可能であることを
特徴とするものである。
【００１２】請求項８の発明に係るクリーンルームは、
請求項３に記載のクリーンルームにおいて、前記エスカ
レータは、前記乗降口近傍に、前記自走式搬送車を検知
するためのセンサを更に備えることを特徴とするもので
ある。
請求項３に記載のクリーンルームにおいて、前記エスカ
レータは、前記乗降口近傍に、前記自走式搬送車を検知
するためのセンサを更に備えることを特徴とするもので
ある。
【００１３】請求項９の発明に係るクリーンルームは、
請求項８に記載のクリーンルームにおいて、前記センサ
が前記自走式搬送車を所定の間検知しない場合に、前記
エスカレータを停止させる制御部を更に備えることを特
徴とするものである。
請求項８に記載のクリーンルームにおいて、前記センサ
が前記自走式搬送車を所定の間検知しない場合に、前記
エスカレータを停止させる制御部を更に備えることを特
徴とするものである。
【００１４】請求項１０の発明に係るクリーンルーム
は、請求項１に記載のクリーンルームにおいて、前記物
品が、ウェハキャリアであることを特徴とするものであ
る。
は、請求項１に記載のクリーンルームにおいて、前記物
品が、ウェハキャリアであることを特徴とするものであ
る。
【００１５】請求項１１の発明に係るクリーンルームに
おける半導体装置の搬送方法は、請求項１から１０の何
れかに記載のクリーンルームにおいて、半導体装置をフ
ロア間搬送することを特徴とするものである。
おける半導体装置の搬送方法は、請求項１から１０の何
れかに記載のクリーンルームにおいて、半導体装置をフ
ロア間搬送することを特徴とするものである。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態について説明する。図中、同一または相当する
部分には同一の符号を付してその説明を簡略化ないし省
略することがある。
施の形態について説明する。図中、同一または相当する
部分には同一の符号を付してその説明を簡略化ないし省
略することがある。
【００１７】図１は、本発明の実施の形態によるクリー
ンルームを説明するための断面図である。ここで、図１
（ａ）は、上りエスカレータを備えたクリーンルームを
示し、図１（ｂ）は、下りエスカレータを備えたクリー
ンルームを示している。
ンルームを説明するための断面図である。ここで、図１
（ａ）は、上りエスカレータを備えたクリーンルームを
示し、図１（ｂ）は、下りエスカレータを備えたクリー
ンルームを示している。
【００１８】先ず、図１を参照して、クリーンルームの
構造について説明する。図１（ａ），（ｂ）に示したエ
スカレータは、移動方向のみが異なる同一機構のエスカ
レータである。すなわち、図１（ａ），（ｂ）における
クリーンルームの構造に差はないため、以下、図１
（ａ）を参照して、クリーンルームの構造について説明
する。
構造について説明する。図１（ａ），（ｂ）に示したエ
スカレータは、移動方向のみが異なる同一機構のエスカ
レータである。すなわち、図１（ａ），（ｂ）における
クリーンルームの構造に差はないため、以下、図１
（ａ）を参照して、クリーンルームの構造について説明
する。
【００１９】図１（ａ）に示すように、クリーンルーム
１は、床の高さが異なる複数のフロア２１，２２と、こ
のフロア２１，２２間に配置されたエスカレータ３と、
を備えている。さらに、クリーンルーム１は、物品４と
してのウェハキャリアまたは半導体装置を、上記エスカ
レータ３を使用して各フロアに搬送するための自走式搬
送車５を備えている。
１は、床の高さが異なる複数のフロア２１，２２と、こ
のフロア２１，２２間に配置されたエスカレータ３と、
を備えている。さらに、クリーンルーム１は、物品４と
してのウェハキャリアまたは半導体装置を、上記エスカ
レータ３を使用して各フロアに搬送するための自走式搬
送車５を備えている。
【００２０】エスカレータ３は、第１のフロア２１にお
ける乗降口３１と、第２のフロア２２における乗降口３
２と、上記自走式搬送車５を載せるための複数の踏段３
３と、を備えている。また、エスカレータ３は、上記自
走式搬送車５の上に載せられた物品４を上方から保持す
るストッパーとしての保持部３４を備えている。
ける乗降口３１と、第２のフロア２２における乗降口３
２と、上記自走式搬送車５を載せるための複数の踏段３
３と、を備えている。また、エスカレータ３は、上記自
走式搬送車５の上に載せられた物品４を上方から保持す
るストッパーとしての保持部３４を備えている。
【００２１】さらに、エスカレータ３は、上記乗降口３
１，３２近傍に、上記自走式搬送車５を検知するための
センサ（図示省略）を備えている。また、エスカレータ
３は、このセンサによって所定の間上記自走式搬送車５
が検知されない場合に、上記エスカレータ３の運転を停
止させるための制御部（図示省略）を備えている。ここ
で、エスカレータ３が上記制御部の制御によって停止し
た後、上記センサにより自走式搬送車５が検知された場
合には、上記制御部によってエスカレータ３の運転が再
開される。
１，３２近傍に、上記自走式搬送車５を検知するための
センサ（図示省略）を備えている。また、エスカレータ
３は、このセンサによって所定の間上記自走式搬送車５
が検知されない場合に、上記エスカレータ３の運転を停
止させるための制御部（図示省略）を備えている。ここ
で、エスカレータ３が上記制御部の制御によって停止し
た後、上記センサにより自走式搬送車５が検知された場
合には、上記制御部によってエスカレータ３の運転が再
開される。
【００２２】また、エスカレータ３の運転方向、すなわ
ち踏段３３が移動する上下何れかの方向は、反転可能で
ある。ここで、エスカレータ３の運転方向の切り換え
は、搬送する物品４の量に応じて作業者が人為的に行っ
てもよく、上記センサにより自走式搬送車５の進行方向
を認識して、自動的に行ってもよい。
ち踏段３３が移動する上下何れかの方向は、反転可能で
ある。ここで、エスカレータ３の運転方向の切り換え
は、搬送する物品４の量に応じて作業者が人為的に行っ
てもよく、上記センサにより自走式搬送車５の進行方向
を認識して、自動的に行ってもよい。
【００２３】保持部３４は、その表面（以下、保持面と
称する）が、エスカレータ３の傾斜面と平行になるよう
に、クリーンルーム３の天井等に設けられた、例えば、
ループ状のシートである。このループ状のシートは、上
記踏段３３の移動方向と同一方向、並びに踏段３３の移
動速度と同一速度で移動する。ここで、上記保持面が、
上記踏段３３上に停止した自走式搬送車５の上に載せら
れた物品４の上端部４１と接することにより、自走式搬
送車５及び物品４を踏段３３上に保持する。すなわち、
図１（ａ）において、踏段３３上の自走式搬送車５及び
物品４は、上方の保持部３４（矢印Ａに対応する）と、
踏段３３の段差部３５（矢印Ｂに対応する）と、の両方
から保持される。
称する）が、エスカレータ３の傾斜面と平行になるよう
に、クリーンルーム３の天井等に設けられた、例えば、
ループ状のシートである。このループ状のシートは、上
記踏段３３の移動方向と同一方向、並びに踏段３３の移
動速度と同一速度で移動する。ここで、上記保持面が、
上記踏段３３上に停止した自走式搬送車５の上に載せら
れた物品４の上端部４１と接することにより、自走式搬
送車５及び物品４を踏段３３上に保持する。すなわち、
図１（ａ）において、踏段３３上の自走式搬送車５及び
物品４は、上方の保持部３４（矢印Ａに対応する）と、
踏段３３の段差部３５（矢印Ｂに対応する）と、の両方
から保持される。
【００２４】なお、上記保持面と、物品４の上端部４１
とは接していなくてもよく、その距離が３０ｍｍ以下で
あれば、上記自走式搬送車５及び物品４は、踏段３３上
に保持される。また、この距離は、物品４の形状やサイ
ズ等により適宜変更可能である。
とは接していなくてもよく、その距離が３０ｍｍ以下で
あれば、上記自走式搬送車５及び物品４は、踏段３３上
に保持される。また、この距離は、物品４の形状やサイ
ズ等により適宜変更可能である。
【００２５】また、上記ループ状のシートとしては、例
えば、ゴムシートが用いられる。なお、物品４の上端部
４１に引っ掛からないシート状のものであれば、上記保
持部３４として、例えば、樹脂製のシートや無塵布のシ
ート等を使用してもよい。また、保持部３４を、円柱パ
イプを複数並べて形成してもよい。
えば、ゴムシートが用いられる。なお、物品４の上端部
４１に引っ掛からないシート状のものであれば、上記保
持部３４として、例えば、樹脂製のシートや無塵布のシ
ート等を使用してもよい。また、保持部３４を、円柱パ
イプを複数並べて形成してもよい。
【００２６】また、乗降口３１，３２付近において、保
持部３４は、上記ストッパーとしてだけではなく、物品
４を介して自走式搬送車５の乗降動作を補助する。すな
わち、保持部３４により、物品４を載せた自走式搬送車
５が、乗降口３１，３２近傍における段差の影響を受け
ることなく、各フロア２１，２２に誘導される。これに
より、エスカレータ３における上記自走式搬送車５の乗
降動作がスムーズになる。また、上記乗降口３１，３２
近傍の保持部３４にスロープ等の案内部材（図示省略）
を設けることにより、自走式搬送車５の乗降動作が更に
スムーズになる。
持部３４は、上記ストッパーとしてだけではなく、物品
４を介して自走式搬送車５の乗降動作を補助する。すな
わち、保持部３４により、物品４を載せた自走式搬送車
５が、乗降口３１，３２近傍における段差の影響を受け
ることなく、各フロア２１，２２に誘導される。これに
より、エスカレータ３における上記自走式搬送車５の乗
降動作がスムーズになる。また、上記乗降口３１，３２
近傍の保持部３４にスロープ等の案内部材（図示省略）
を設けることにより、自走式搬送車５の乗降動作が更に
スムーズになる。
【００２７】自走式搬送車５は、物品４を載せて自動走
行する無人搬送車である。また、物品４が自走式搬送車
５から落下しないように、自走式搬送車５には、物品４
をはめ込むための機構や、ストッパー（共に図示省略）
等が設けられている。
行する無人搬送車である。また、物品４が自走式搬送車
５から落下しないように、自走式搬送車５には、物品４
をはめ込むための機構や、ストッパー（共に図示省略）
等が設けられている。
【００２８】次に、上述したクリーンルームにおける物
品の搬送について説明する。先ず、図１（ａ）を参照し
て、第１のフロア２１から第２のフロア２２への物品の
搬送について説明する。
品の搬送について説明する。先ず、図１（ａ）を参照し
て、第１のフロア２１から第２のフロア２２への物品の
搬送について説明する。
【００２９】図１（ａ）に示すように、第１のフロア２
１における乗降口３１に物品４を載せた自走式搬送車５
が近づくと、図示しないセンサにより自走式搬送車５が
検知される。この時、エスカレータ３が運転を停止して
いる場合には、図示しない制御部は、エスカレータ３の
運転（上り運転）を再開する。また、上記物品４は、ウ
ェハキャリアや半導体装置等である。
１における乗降口３１に物品４を載せた自走式搬送車５
が近づくと、図示しないセンサにより自走式搬送車５が
検知される。この時、エスカレータ３が運転を停止して
いる場合には、図示しない制御部は、エスカレータ３の
運転（上り運転）を再開する。また、上記物品４は、ウ
ェハキャリアや半導体装置等である。
【００３０】次に、乗降口３１付近において、保持部３
４によって踏段３３上に自走式搬送車５が誘導され、踏
段３３上に停止した自走式搬送車５及びその上に載せら
れた物品４が上記保持部３４により上方から保持され
る。
４によって踏段３３上に自走式搬送車５が誘導され、踏
段３３上に停止した自走式搬送車５及びその上に載せら
れた物品４が上記保持部３４により上方から保持され
る。
【００３１】ここで、上記保持部３４は、踏段３３と同
一方向（上り方向）及び同一速度で移動するため、物品
４並びに自走式搬送車５は、第２のフロア２２における
乗降口３２まで、踏段３３上に保持される。
一方向（上り方向）及び同一速度で移動するため、物品
４並びに自走式搬送車５は、第２のフロア２２における
乗降口３２まで、踏段３３上に保持される。
【００３２】そして、上記乗降口３２付近において、踏
段３３の段差部３５が無くなり、保持部３４によって、
自走式搬送車５が踏段３３から第２のフロア２２に誘導
される。
段３３の段差部３５が無くなり、保持部３４によって、
自走式搬送車５が踏段３３から第２のフロア２２に誘導
される。
【００３３】続いて、第２のフロア２２において、自走
式搬送車５は、フロア内の通常の搬送を行う搬送装置
（図示省略）に物品４を渡して、フロア間搬送を終了す
る。ここで、搬送装置とは、例えばＯＨＳ(Over Head S
huttle)等の天井軌道走行型の搬送装置や、例えばＡＧ
Ｖ(automatic guided vehicle)等の無人搬送車である。
式搬送車５は、フロア内の通常の搬送を行う搬送装置
（図示省略）に物品４を渡して、フロア間搬送を終了す
る。ここで、搬送装置とは、例えばＯＨＳ(Over Head S
huttle)等の天井軌道走行型の搬送装置や、例えばＡＧ
Ｖ(automatic guided vehicle)等の無人搬送車である。
【００３４】次に、図１（ｂ）を参照して、第２のフロ
ア２２から第１のフロア２１への物品の搬送について説
明する。図１（ｂ）に示すように、第２のフロア２２に
おける乗降口３２に物品４を載せた自走式搬送車５が近
づくと、図示しないセンサにより自走式搬送車５が検知
される。この時、エスカレータ３が運転を停止している
場合には、図示しない制御部は、エスカレータ３の運転
（下り運転）を再開する。
ア２２から第１のフロア２１への物品の搬送について説
明する。図１（ｂ）に示すように、第２のフロア２２に
おける乗降口３２に物品４を載せた自走式搬送車５が近
づくと、図示しないセンサにより自走式搬送車５が検知
される。この時、エスカレータ３が運転を停止している
場合には、図示しない制御部は、エスカレータ３の運転
（下り運転）を再開する。
【００３５】次に、乗降口３２付近において、保持部３
４によって踏段３３上に自走式搬送車５が誘導され、踏
段３３上に停止した自走式搬送車５及びその上に載せら
れた物品４が上記保持部３４により上方から保持され
る。
４によって踏段３３上に自走式搬送車５が誘導され、踏
段３３上に停止した自走式搬送車５及びその上に載せら
れた物品４が上記保持部３４により上方から保持され
る。
【００３６】ここで、上記保持部３４は、踏段３３と同
一方向（下り方向）及び同一速度で移動するため、物品
４並びに自走式搬送車５は、第１のフロア２１における
乗降口３１まで、踏段３３上に保持される。
一方向（下り方向）及び同一速度で移動するため、物品
４並びに自走式搬送車５は、第１のフロア２１における
乗降口３１まで、踏段３３上に保持される。
【００３７】そして、上記乗降口３１付近において、踏
段３３の段差部３５が無くなり、保持部３４によって、
自走式搬送車５が踏段３３から第１のフロア２２に誘導
される。
段３３の段差部３５が無くなり、保持部３４によって、
自走式搬送車５が踏段３３から第１のフロア２２に誘導
される。
【００３８】続いて、第１のフロア２１において、自走
式搬送車５は、フロア内の通常の搬送を行う搬送装置
（図示省略）に物品４を渡して、フロア間搬送を終了す
る。
式搬送車５は、フロア内の通常の搬送を行う搬送装置
（図示省略）に物品４を渡して、フロア間搬送を終了す
る。
【００３９】以上のように、本実施の形態１によるクリ
ーンルームは、高さが異なる複数のフロア２１，２２間
に、物品搬送用のエスカレータ３を配置した。従って、
物品４としてのウェハキャリアのフロア間搬送を、リア
ルタイムで行うことができる。また、本発明のフロア間
搬送は、搬送効率が優れているため、物品４の量が多い
場合にも対応できる。これにより、従来のリフターやエ
レベータを用いたフロア間搬送と比較して、物品４の搬
送待ち時間を短縮することができるため、クリーンルー
ム１において、効率良く物流を行うことができる。
ーンルームは、高さが異なる複数のフロア２１，２２間
に、物品搬送用のエスカレータ３を配置した。従って、
物品４としてのウェハキャリアのフロア間搬送を、リア
ルタイムで行うことができる。また、本発明のフロア間
搬送は、搬送効率が優れているため、物品４の量が多い
場合にも対応できる。これにより、従来のリフターやエ
レベータを用いたフロア間搬送と比較して、物品４の搬
送待ち時間を短縮することができるため、クリーンルー
ム１において、効率良く物流を行うことができる。
【００４０】また、エスカレータ３を使用したフロア間
搬送に、自走式搬送車５を用いることによって、フロア
間搬送を自動化でき、搬送待ち時間を更に短縮できる。
搬送に、自走式搬送車５を用いることによって、フロア
間搬送を自動化でき、搬送待ち時間を更に短縮できる。
【００４１】また、エスカレータ３による搬送中は、エ
スカレータ３にストッパーとして設けられた保持部３４
によって、自走式搬送車５及び物品４が、踏段３３上に
確実に保持される。従って、エスカレータ３による物品
４の搬送の信頼性が向上する。ここで、上記保持部３４
は、踏段の上面から突出・退入するタイプのストッパー
と比較して機構が簡単である。さらに、踏段上面からス
トッパーが突出しないような誤動作も起こらない。ま
た、保持部３４は、上方から保持を行うため、上記踏段
上面から突出・退入するタイプのストッパーを用いるよ
りも、より確実に保持できる。
スカレータ３にストッパーとして設けられた保持部３４
によって、自走式搬送車５及び物品４が、踏段３３上に
確実に保持される。従って、エスカレータ３による物品
４の搬送の信頼性が向上する。ここで、上記保持部３４
は、踏段の上面から突出・退入するタイプのストッパー
と比較して機構が簡単である。さらに、踏段上面からス
トッパーが突出しないような誤動作も起こらない。ま
た、保持部３４は、上方から保持を行うため、上記踏段
上面から突出・退入するタイプのストッパーを用いるよ
りも、より確実に保持できる。
【００４２】また、保持部４は、上記搬送中のストッパ
ーとしてだけではなく、各フロア２１，２２の乗降口３
１，３２付近において、自走式搬送車５を誘導する機能
を有する。これにより、エスカレータ３における自走式
搬送車５の乗降動作がスムーズになる。
ーとしてだけではなく、各フロア２１，２２の乗降口３
１，３２付近において、自走式搬送車５を誘導する機能
を有する。これにより、エスカレータ３における自走式
搬送車５の乗降動作がスムーズになる。
【００４３】また、フロア間搬送に用いられるエスカレ
ータ３（踏段３３）の移動方向を反転可能とすることに
より、１つのエスカレータを、上り用と下り用で併用す
ることができるため、設備コストを抑えることができ
る。
ータ３（踏段３３）の移動方向を反転可能とすることに
より、１つのエスカレータを、上り用と下り用で併用す
ることができるため、設備コストを抑えることができ
る。
【００４４】また、エスカレータ３に自走式搬送車５を
検知するためのセンサを設け、さらに、このセンサが所
定の間、上記自走式搬送車５を検知しない場合に、エス
カレータ３を停止する制御部を設けた。これにより、無
駄な電力消費を抑えることができる。
検知するためのセンサを設け、さらに、このセンサが所
定の間、上記自走式搬送車５を検知しない場合に、エス
カレータ３を停止する制御部を設けた。これにより、無
駄な電力消費を抑えることができる。
【００４５】なお、上記本実施の形態によるクリーンル
ーム１においては、高さが異なる２つのフロア２１，２
２間にエスカレータ３を配置したが、高さが異なる３つ
以上のフロア間に複数のエスカレータを配置してもよ
い。
ーム１においては、高さが異なる２つのフロア２１，２
２間にエスカレータ３を配置したが、高さが異なる３つ
以上のフロア間に複数のエスカレータを配置してもよ
い。
【００４６】また、上記実施の形態では、エスカレータ
３を使用した物品４のフロア間搬送を終了した後、自走
式搬送車５から上記搬送装置に物品４を渡し、上記搬送
装置により各フロア２１，２２内の通常搬送を行ってい
るが、上記自走式搬送車５によってそのまま上記フロア
２１，２２内の通常搬送を行ってもよい。
３を使用した物品４のフロア間搬送を終了した後、自走
式搬送車５から上記搬送装置に物品４を渡し、上記搬送
装置により各フロア２１，２２内の通常搬送を行ってい
るが、上記自走式搬送車５によってそのまま上記フロア
２１，２２内の通常搬送を行ってもよい。
【００４７】
【発明の効果】請求項１の発明によれば、エスカレータ
を使用して物品のフロア間搬送を行うことにより、従来
のエレベータやリフターを使用した場合と比較して、搬
送待ち時間を短縮できる。
を使用して物品のフロア間搬送を行うことにより、従来
のエレベータやリフターを使用した場合と比較して、搬
送待ち時間を短縮できる。
【００４８】請求項２の発明によれば、自走式搬送車に
より各フロア間の搬送を自動化できるため、搬送待ち時
間を短縮できる。
より各フロア間の搬送を自動化できるため、搬送待ち時
間を短縮できる。
【００４９】請求項３の発明によれば、エスカレータに
よる物品の搬送の信頼性が向上する。
よる物品の搬送の信頼性が向上する。
【００５０】請求項４または５の発明によれば、自走式
搬送車及び物品を踏段上に確実に保持できるため、エス
カレータによる物品の搬送の信頼性が向上する。
搬送車及び物品を踏段上に確実に保持できるため、エス
カレータによる物品の搬送の信頼性が向上する。
【００５１】請求項６の発明によれば、自走式搬送車の
乗降動作をスムーズに行うことができる。
乗降動作をスムーズに行うことができる。
【００５２】請求項７の発明によれば、１つのエスカレ
ータを、上り用と下り用で併用することができるため、
設備コストを抑えることができる。
ータを、上り用と下り用で併用することができるため、
設備コストを抑えることができる。
【００５３】請求項８または９の発明によれば、無駄な
電力消費を抑えることができる。
電力消費を抑えることができる。
【００５４】請求項１０の発明によれば、ウェハキャリ
アの搬送待ち時間を短縮できる。
アの搬送待ち時間を短縮できる。
【００５５】請求項１１の発明によれば、半導体装置を
フロア間搬送する際に、搬送待ち時間を短縮できる。
フロア間搬送する際に、搬送待ち時間を短縮できる。
【図１】 本発明の実施の形態によるクリーンルームを
説明するための断面図である。
説明するための断面図である。
１ クリーンルーム、３ エスカレータ、４ 物品（ウ
ェハキャリア）、５自走式搬送車、２１ 第１のフロ
ア、２２ 第２のフロア、３１ 乗降口、３２乗降口、
３３ 踏段、３４ 保持部（ループ状シート、ストッパ
ー）、３５段差部、４１ 上端部。
ェハキャリア）、５自走式搬送車、２１ 第１のフロ
ア、２２ 第２のフロア、３１ 乗降口、３２乗降口、
３３ 踏段、３４ 保持部（ループ状シート、ストッパ
ー）、３５段差部、４１ 上端部。
Claims (11)
- 【請求項１】 床の高さが異なる複数のフロアと、 前記複数のフロア間に配置され、前記フロア間で物品を
搬送するためのエスカレータと、 を備えることを特徴とするクリーンルーム。 - 【請求項２】 請求項１に記載のクリーンルームにおい
て、 第１のフロアで載せられた前記物品を、前記エスカレー
タを使用して第２のフロアに搬送するための自走式搬送
車を更に備えることを特徴とするクリーンルーム。 - 【請求項３】 請求項２に記載のクリーンルームにおい
て、 前記エスカレータは、 各フロアにおける乗降口と、前記自走式搬送車を載せる
ための複数の踏段と、前記自走式搬送車の上に載せられ
た物品を上方から保持するための保持部と、を備えるこ
とを特徴とするクリーンルーム。 - 【請求項４】 請求項３に記載のクリーンルームにおい
て、 前記保持部は、前記物品の上端部を保持する面が前記エ
スカレータの傾斜面と平行であり、前記踏段と同一方向
に且つ同一速度で移動するループ状のシートであること
を特徴とするクリーンルーム。 - 【請求項５】 請求項４に記載のクリーンルームにおい
て、 前記保持面と、前記保持面により保持される前記物品の
上端部との距離が、３０ｍｍ以下であることを特徴とす
るクリーンルーム。 - 【請求項６】 請求項４に記載のクリーンルームにおい
て、 前記保持部は、前記乗降口付近で、前記物品を介して前
記自走式搬送車の乗降動作を補助することを特徴とする
クリーンルーム。 - 【請求項７】 請求項３に記載のクリーンルームにおい
て、 前記エスカレータは、前記踏段の移動方向を反転可能で
あることを特徴とするクリーンルーム。 - 【請求項８】 請求項３に記載のクリーンルームにおい
て、 前記エスカレータは、前記乗降口近傍に、前記自走式搬
送車を検知するためのセンサを更に備えることを特徴と
するクリーンルーム。 - 【請求項９】 請求項８に記載のクリーンルームにおい
て、 前記センサが前記自走式搬送車を所定の間検知しない場
合に、前記エスカレータを停止させる制御部を更に備え
ることを特徴とするクリーンルーム。 - 【請求項１０】 請求項１に記載のクリーンルームにお
いて、 前記物品が、ウェハキャリアであることを特徴とするク
リーンルーム。 - 【請求項１１】 請求項１から１０の何れかに記載のク
リーンルームにおいて、半導体装置をフロア間搬送する
ことを特徴とするクリーンルームにおける半導体装置の
搬送方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000219433A JP2002043387A (ja) | 2000-07-19 | 2000-07-19 | クリーンルーム、及びクリーンルームにおける半導体装置の搬送方法 |
| US09/765,428 US6705450B2 (en) | 2000-07-19 | 2001-01-22 | Clean room having an escalator, and method of transporting a semiconductor device therein |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000219433A JP2002043387A (ja) | 2000-07-19 | 2000-07-19 | クリーンルーム、及びクリーンルームにおける半導体装置の搬送方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002043387A true JP2002043387A (ja) | 2002-02-08 |
Family
ID=18714220
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000219433A Withdrawn JP2002043387A (ja) | 2000-07-19 | 2000-07-19 | クリーンルーム、及びクリーンルームにおける半導体装置の搬送方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6705450B2 (ja) |
| JP (1) | JP2002043387A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009541178A (ja) * | 2006-06-19 | 2009-11-26 | キヴァ システムズ，インコーポレイテッド | 目録品を移送するシステムおよび方法 |
| US8265873B2 (en) | 2006-06-19 | 2012-09-11 | Kiva Systems, Inc. | System and method for managing mobile drive units |
| US8412400B2 (en) | 2006-06-19 | 2013-04-02 | Amazon Technologies, Inc. | System and method for coordinating movement of mobile drive units |
| US8649899B2 (en) | 2006-06-19 | 2014-02-11 | Amazon Technologies, Inc. | System and method for maneuvering a mobile drive unit |
| US8930133B2 (en) | 2006-06-19 | 2015-01-06 | Amazon Technologies, Inc. | Generating a path for a mobile drive unit |
| US9087314B2 (en) | 2006-06-19 | 2015-07-21 | Amazon Technologies, Inc. | System and method for positioning a mobile drive unit |
| US10093526B2 (en) | 2006-06-19 | 2018-10-09 | Amazon Technologies, Inc. | System and method for maneuvering a mobile drive unit |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8892240B1 (en) | 2011-06-29 | 2014-11-18 | Amazon Technologies, Inc. | Modular material handling system for order fulfillment |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3918367A (en) * | 1973-04-30 | 1975-11-11 | Mihai Alimanestianu | Transport system |
| JPS62206333A (ja) * | 1986-03-04 | 1987-09-10 | Shinko Kogyo Kk | エアシヤワ−室 |
| US5351801A (en) * | 1993-06-07 | 1994-10-04 | Board Of Regents - Univ. Of Nebraska | Automated laboratory conveyor system |
| JPH07315748A (ja) | 1994-05-30 | 1995-12-05 | Toshiba Corp | 車いす兼用エスカレーター |
| JP3127949B2 (ja) | 1994-12-19 | 2001-01-29 | 三菱電機株式会社 | 車椅子兼用エスカレータ装置 |
| CN1286802A (zh) * | 1998-03-11 | 2001-03-07 | 相互工程学水晶集团股份有限公司 | 集成电路的生产设施 |
| JP3653693B2 (ja) * | 1999-02-26 | 2005-06-02 | 清水建設株式会社 | クリーンルーム階段の空調方式 |
| JP4707242B2 (ja) * | 2001-01-16 | 2011-06-22 | 三機工業株式会社 | クリーンルーム階段の空調方式 |
-
2000
- 2000-07-19 JP JP2000219433A patent/JP2002043387A/ja not_active Withdrawn
-
2001
- 2001-01-22 US US09/765,428 patent/US6705450B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009541178A (ja) * | 2006-06-19 | 2009-11-26 | キヴァ システムズ，インコーポレイテッド | 目録品を移送するシステムおよび方法 |
| US8265873B2 (en) | 2006-06-19 | 2012-09-11 | Kiva Systems, Inc. | System and method for managing mobile drive units |
| US8412400B2 (en) | 2006-06-19 | 2013-04-02 | Amazon Technologies, Inc. | System and method for coordinating movement of mobile drive units |
| US8606392B2 (en) | 2006-06-19 | 2013-12-10 | Amazon Technologies, Inc. | System and method for transporting inventory items |
| US8649899B2 (en) | 2006-06-19 | 2014-02-11 | Amazon Technologies, Inc. | System and method for maneuvering a mobile drive unit |
| US8930133B2 (en) | 2006-06-19 | 2015-01-06 | Amazon Technologies, Inc. | Generating a path for a mobile drive unit |
| US9087314B2 (en) | 2006-06-19 | 2015-07-21 | Amazon Technologies, Inc. | System and method for positioning a mobile drive unit |
| US9448560B2 (en) | 2006-06-19 | 2016-09-20 | Amazon Technologies, Inc. | System and method for coordinating movement of mobile drive units |
| US9511934B2 (en) | 2006-06-19 | 2016-12-06 | Amazon Technologies, Inc. | Maneuvering a mobile drive unit |
| US9519284B2 (en) | 2006-06-19 | 2016-12-13 | Amazon Technologies, Inc. | Transporting inventory items using mobile drive units and conveyance equipment |
| US9740212B2 (en) | 2006-06-19 | 2017-08-22 | Amazon Technologies, Inc. | System and method for coordinating movement of mobile drive units |
| US10067501B2 (en) | 2006-06-19 | 2018-09-04 | Amazon Technologies, Inc. | Method and system for transporting inventory items |
| US10093526B2 (en) | 2006-06-19 | 2018-10-09 | Amazon Technologies, Inc. | System and method for maneuvering a mobile drive unit |
| US10133267B2 (en) | 2006-06-19 | 2018-11-20 | Amazon Technologies, Inc. | Method and system for transporting inventory items |
| US10809706B2 (en) | 2006-06-19 | 2020-10-20 | Amazon Technologies, Inc. | Method and system for transporting inventory items |
| US10990088B2 (en) | 2006-06-19 | 2021-04-27 | Amazon Technologies, Inc. | Method and system for transporting inventory items |
| US11066282B2 (en) | 2006-06-19 | 2021-07-20 | Amazon Technologies, Inc. | System and method for maneuvering a mobile drive unit |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6705450B2 (en) | 2004-03-16 |
| US20020008005A1 (en) | 2002-01-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TWI296604B (ja) | ||
| KR100556221B1 (ko) | 반도체 웨이퍼 캐리어를 운반하는 장치 | |
| KR102276842B1 (ko) | 층간 반송 설비 | |
| JP6428953B2 (ja) | 搬送システム及び搬送方法 | |
| TWI643805B (zh) | 物品支持裝置 | |
| KR20180044196A (ko) | 물품 반송 설비 | |
| KR20120096014A (ko) | 반송차 시스템 | |
| JP2002043387A (ja) | クリーンルーム、及びクリーンルームにおける半導体装置の搬送方法 | |
| JP2024084422A (ja) | 物品搬送設備 | |
| EP3950457A1 (en) | Traveling vehicle system | |
| JPH10250835A (ja) | 天井走行車システム | |
| JP4127138B2 (ja) | 搬送システム | |
| CN101492118B (zh) | 减少洁净室的扬尘的方法、仓储系统及其移载装置 | |
| KR102252736B1 (ko) | 반도체 제조 설비용 이송 장치 | |
| TW201343530A (zh) | 搬運裝置 | |
| CN108750852B (zh) | 物流往复式提升系统的初始化控制方法 | |
| KR20170026816A (ko) | 기판 이송 장치 | |
| KR102688264B1 (ko) | 이송대차 시스템 | |
| JPH11145243A (ja) | 半導体の生産方法 | |
| KR102718094B1 (ko) | 캐리어 주행 제어 시스템 | |
| JP2003146429A (ja) | キャリア受け渡し方法及びキャリア受け渡し装置 | |
| JP2005223031A (ja) | 半導体集積回路装置の製造方法 | |
| KR102235517B1 (ko) | 오버헤드 호이스트 방식의 스토커 시스템 | |
| KR20240025398A (ko) | 이송 시스템 및 그 제어 방법 | |
| JP2004363207A (ja) | 搬送システム及びこれに用いる搬送車とステーション |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20071002 |