TW201343530A - 搬運裝置 - Google Patents

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TW201343530A
TW201343530A TW102111684A TW102111684A TW201343530A TW 201343530 A TW201343530 A TW 201343530A TW 102111684 A TW102111684 A TW 102111684A TW 102111684 A TW102111684 A TW 102111684A TW 201343530 A TW201343530 A TW 201343530A
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Takashi Suzuki
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Murata Machinery Ltd
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B61—RAILWAYS
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    • B61J1/00—Turntables; Traversers; Transporting rail vehicles on other rail vehicles or dollies
    • B61J1/10—Traversers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
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Abstract

[課題]提供一種若在二個軌道間進行搬運台車的移動時，可抑制搬運效率降低的搬運裝置。[解決手段]搬運裝置(1)係具備有：供搬運台車(3)行走的軌道部(4)；與軌道部(4)分離，供搬運台車(3)行走的軌道部(5)；在與軌道部(4)相連接而且與軌道部(5)分離的位置(A1)、和與軌道部(5)相連接而且與軌道部(4)分離的位置(A2)之間進行升降，供搬運台車行走的移動軌道部(6A)；及在與軌道部(4)相連接而且與軌道部(5)分離的位置(B1)、和與軌道部(5)相連接而且與軌道部(4)分離的位置(B2)之間進行升降，供搬運台車行走的移動軌道部(6B)。

Description

搬運裝置
本發明係關於用以搬運例如半導體晶圓或玻璃基板等被搬運物的搬運裝置。
以往已知一種用以搬運半導體晶圓或玻璃基板等被搬運物的搬運裝置。以關於如上所示之搬運裝置的技術而言，例如在專利文獻1係揭示一種為了將各種裝置等由包夾搬運台車的軌道的其中一方側區域移動至另一方側區域，可將軌道的一部分移動的技術。此外，在專利文獻2、3係揭示一種在具備有二個軌道的搬運裝置中，為了在二個軌道間進行搬運台車的移動，可將軌道的一部分移動的技術。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2005-15201號公報
[專利文獻2]日本特開2004-50871號公報
[專利文獻3]日本特開2007-326706號公報
但是，在二個軌道間進行搬運台車的移動的搬運裝置中，二個軌道愈為彼此分離，使搬運台車移動的時間愈長，會有搬運效率降低之虞。
本發明係用以解決如上所示之課題所研創者，目的在提供一種若在二個軌道間進行搬運台車的移動時，可抑制搬運效率降低的搬運裝置。
本發明之搬運裝置係具備有：搬運台車；供搬運台車行走的第1軌道部；與第1軌道部分離，供搬運台車行走的第2軌道部；及在與第1軌道部相連接而且與第2軌道部分離的第1位置、和與第2軌道部相連接而且與第1軌道部分離的第2位置之間移動，供搬運台車行走的第3軌道部，搬運台車係當第3軌道部位於第1位置時，由第1軌道部進入至第3軌道部，第3軌道部正在移動時，在第3軌道部行走，當第3軌道部位於第2位置時，由第3軌道部朝第2軌道部退出。
在該搬運裝置中，在與第1軌道部相連接而且與第2軌道部分離的第1位置、和與第2軌道部相連接而且與第1軌道部分離的第2位置之間移動的第3軌道部 供搬運台車行走。因此，第3軌道部一面供搬運台車行走一面在第1位置與第2位置之間移動，藉此可減低搬運台車在第1軌道部與第2軌道部之間移動所需的移動時間。因此，藉由該搬運裝置，若在二個軌道間進行搬運台車的移動時，可抑制搬運效率降低。
此外，亦可若將第3軌道部由第1位置移動至第2位置所需時間設為T，第3軌道部中的搬運台車的穩定速度設為V時，第3軌道部的行走長度L係被設定為V．T以上。藉由該構成，搬運台車係可在第3軌道部正在移動的期間在第3軌道部持續行走，因此可在第1軌道部與第2軌道部之間不會停止而進行移動。因此，可更加減低搬運台車在第1軌道部與第2軌道部之間移動所需的移動時間。
此外，搬運裝置亦可另外具備有：偵測第3軌道部已被連接於第1軌道部的第1偵測部；及對搬運台車發出制動之指令的第1制動指令部，若將以穩定速度在第1軌道部行走的搬運台車的制動距離設為SI時，第1制動指令部係在搬運台車已到達被設定在第1軌道部中由第3軌道部側的端部分離制動距離SI以上的位置的制動點的情形下，當藉由第1偵測部而未被偵測第3軌道部已連接於第1軌道部時，係對搬運台車發出制動的指令。藉由該構成，在第3軌道部被連接於第1軌道部之前，可防止搬運台車由第1軌道部脫離。
此外，搬運裝置亦可另外具備有：偵測第3 軌道部已被連接於第2軌道部的第2偵測部；及對搬運台車發出制動之指令的第2制動指令部，若將以穩定速度在第3軌道部行走的搬運台車的制動距離設為SE時，第2制動指令部係在搬運台車已到達被設定在第3軌道部中由第2軌道部側的端部分離制動距離SE以上的位置的制動點的情形下，當藉由第2偵測部而未被偵測第3軌道部已連接於第2軌道部時，係對搬運台車發出制動的指令。藉由該構成，在第3軌道部被連接於第2軌道部之前，可防止搬運台車由第3軌道部脫離。
此外，亦可形成為第1位置係高度與第2位置不同，第3軌道部係在第1位置與前述第2位置之間進行升降的構成。
藉由本發明，可提供一種若在二個軌道間進行搬運台車的移動時，可抑制搬運效率降低之搬運裝置。
1‧‧‧搬運裝置
2‧‧‧貯藏庫
3‧‧‧搬運台車
4、5‧‧‧軌道部(第1軌道部、第2軌道部)
6A、6B‧‧‧移動軌道部(第3軌道部)
7‧‧‧控制部
8‧‧‧升降部
41A、41B‧‧‧連接部
51A、51B‧‧‧連接部
61A、61B、62A、62B‧‧‧端部
71‧‧‧偵測部
72‧‧‧制動指令部
100‧‧‧清淨室
101‧‧‧地板面
A1、A2、B1、B2‧‧‧位置(第1位置、第2位置)
D1、D2、D4、D5‧‧‧距離
h1、h2、h3‧‧‧高度
L1、L2‧‧‧行走長度
P1、P2、P4、P5‧‧‧制動點
R‧‧‧被搬運物
V2、V4、V5‧‧‧穩定速度
圖1係本發明之搬運裝置之一實施形態的平面圖。
圖2係圖1之搬運裝置之其中一方向的側面圖。
圖3係圖1之搬運裝置之另一方向的側面圖。
以下一面參照圖示，一面詳加說明本發明之搬運裝置之較佳實施形態。其中，對於相同或相當要素標註相同符號，且省略重複說明。
如圖1所示，搬運裝置1係被設在例如半導體裝置或液晶顯示裝置等製造工廠的清淨室100，搬運半導體晶圓或玻璃基板等被搬運物R。在清淨室100係在地板面上設有複數個保管半導體晶圓或玻璃基板等的貯藏庫2。如上所示之設在清淨室100的搬運裝置1係具備有：複數搬運台車3、軌道部(第1軌道部、第2軌道部)4、5、及移動軌道部(第3軌道部)6A、6B。其中，亦有未設置貯藏庫2的情形。
搬運台車3係例如在軌道上行走的OHS(Overhead Shuttle)有軌道式無人搬運車，在自車作成由搬運來源至搬運目的端的行走路徑，一面掌握包含軌道部4、5及移動軌道部6A、6B的行走路網的自車的位置，一面將被搬運物R由搬運來源搬運至搬運目的端。以搬運來源及搬運目的端而言，除了貯藏庫2以外，有用以對被搬運物施行各種處理的站(station)等。搬運台車3係可與控制部7進行通訊。搬運台車3係可例如以藉由非接觸電源或電纜而由外部所被供給的電力予以驅動，亦可裝載電池而以該電池的電力予以驅動。此外，搬運台車3亦可為懸吊在軌道來行走的OHT(Overhead hoist Transport，懸吊式升降運送)等其他形式的無人搬運車。
各軌道部4、5係具有供搬運台車3行走的軌 道，以搬運台車3可在複數貯藏庫2的周圍行走的方式，沿著清淨室100的地板面101(參照圖2)而設。軌道部4及軌道部5係在水平方向彼此分離來作配置，分別形成周繞軌道(迴圈)。在軌道部4係設有連接移動軌道部6A的連接部41A、及連接移動軌道部6B的連接部41B。此外，在軌道部5係設有連接移動軌道部6A的連接部51A、及連接移動軌道部6B的連接部51B。
圖2係由圖1中的A方向所觀看到的搬運裝置1的側面圖。如圖2所示，清淨室100之由地板面101至軌道部4的高度h1係被設為例如4m左右。此外，由地板面101至軌道部5的高度h2係被設為例如6m左右。如上所示，軌道部4及軌道部5係離地板面101的高度不同，除了水平方向以外，在鉛直方向亦彼此分離來作配置。
在軌道部4設有制動點P4。若將搬運台車3在軌道部4中的穩定速度設為V4，以穩定速度V4在軌道部4行走的搬運台車3的制動距離設為S4(制動距離SI)時，由制動點P4至連接部41A的端部的軌道上的距離D4係被設定為制動距離S4以上。在連接部41A的端部係設有用以防止搬運台車3由連接部41A落下的機械式止動件。該止動件係至被偵測軌道部4與移動軌道部6A的連接為止係將軌道閉鎖，若被偵測該連接時，則將軌道開放。其中，止動件係以機械式為佳，但是亦可為其他方式。
圖3係由圖1中的B方向所觀看到的搬運裝置1的側面圖。如圖3所示，在軌道部5係設有制動點P5。若將搬運台車3在軌道部5中的穩定速度設為V5，以穩定速度V5在軌道部5行走的搬運台車3的制動距離設為S5(制動距離SI)時，由制動點P5至連接部51B的端部的軌道上的距離D5係被設定為制動距離S5以上。在連接部51B的端部係設有與被設在軌道部4的端部的止動件同樣的止動件。
返回至圖1，移動軌道部6A係使搬運台車3由軌道部4移動至軌道部5者，設在軌道部4與軌道部5之間。此外，移動軌道部6B係使搬運台車3由軌道部5移動至軌道部4者，被設在軌道部4與軌道部5之間。一對移動軌道部6A、6B係呈沿著地板面101的大致直線狀，彼此大致平行設置。各移動軌道部6A、6B係具有供搬運台車3行走的軌道。其中，移動軌道部6A、6B係並不一定需要彼此大致平行設置。
如圖2所示，移動軌道部6A係藉由由地板面101朝向上方突出的複數升降部8予以支持。各升降部8係例如藉由對被固定在地板面101的構件，安裝可朝鉛直方向滑動的構件的構成等，可調整離地板面101的高度h3。藉此，被支持在升降部8的移動軌道部6A係可在與軌道部4為同等高度的位置A1、和與軌道部5為同等高度的位置A2之間進行升降。其中，升降部8亦可為1個。此外，移動軌道部6A亦可形成為藉由線材將該移動 軌道部6A由上方吊下，且以絞盤捲取該線材等來進行升降的構成。該移動軌道部6A的升降係藉由搬運裝置1所具備的控制部7予以控制。
在位置A1，移動軌道部6A的其中一方端部 61A係與軌道部4的連接部41A相連接。此時，移動軌道部6A的另一方端部62A係與軌道部5的連接部51A分離。另一方面，在位置A2，移動軌道部6A的另一方端部62A係與軌道部5的連接部51A相連接。此時，移動軌道部6A的其中一方端部61A係與軌道部4的連接部41A分離。
移動軌道部6A的行走長度L1(端部61A與端部62A之間的距離)係若將移動軌道部6A由位置A1上升至位置A2所需時間設為T1，搬運台車3在移動軌道部6A中的穩定速度設為V1時，被設定為V1．T1以上。亦即，行走長度L1係形成為在移動軌道部6A由位置A1上升至位置A2的期間，搬運台車3可在移動軌道部6A不會停止地以穩定速度V1行走的長度以上。
此外，在移動軌道部6A係設有制動點P1。若將以穩定速度V1在移動軌道部6A行走的搬運台車3的制動距離設為S1(制動距離SE)時，由制動點P1至端部62A的距離D1係被設定為制動距離S1以上。在移動軌道部6A的端部61A係設有與被設在軌道部4的端部的止動件同樣的止動件。
如圖3所示，移動軌道部6B係藉由與移動軌 道部6A相同的構成，可在與軌道部4為同等高度的位置B1、及與軌道部5為同等高度的位置B2之間進行升降。該移動軌道部6B的升降係藉由控制部7予以控制。
在位置B1，移動軌道部6B的其中一方端部61B係與軌道部4的連接部41B相連接。此時，移動軌道部6B的另一方端部62B係與軌道部5的連接部51B分離。另一方面，在位置B2，移動軌道部6B的另一方端部62B係與軌道部5的連接部51B相連接。此時，移動軌道部6B的其中一方端部61B係與軌道部4的連接部41B分離。
移動軌道部6B的行走長度L2(端部61B與端部62B之間的距離)係若將移動軌道部6B由位置B2下降至位置B1所需時間設為T2，搬運台車3在移動軌道部6B中的穩定速度設為V2時，被設定為V2．T2以上。亦即，行走長度L2係形成為在移動軌道部6B由位置B2下降至位置B1的期間，搬運台車3可在移動軌道部6B不會停止地以穩定速度V2行走的長度以上。
此外，在移動軌道部6B係設有制動點P2。若將以穩定速度V2在移動軌道部6B行走的搬運台車3的制動距離設為S2(制動距離SE)時，由制動點P2至端部61B的距離D2係被設定為制動距離S2以上。在移動軌道部6B的端部61B係設有與被設在移動軌道部6A的端部62A的止動件同樣的止動件。
控制部7係進行搬運裝置1全體的控制者， 例如由CPU、ROM、RAM等所成之電子控制單元。控制部7係至少具有偵測部(第1偵測部、第2偵測部)71及制動指令部(第1制動指令部、第2制動指令部)72作為處理部。控制部7係將被儲存在ROM的程式載入於RAM上，在CPU執行，藉此由軟體構成偵測部71及制動指令部72。其中，控制部7的各處理部亦可由硬體構成。
偵測部71係偵測移動軌道部6A、6B已被連 接於軌道部4或軌道部5。偵測部71係若移動軌道部6A、6B偵測已被連接於軌道部4或軌道部5時，對制動指令部72傳送偵測訊號。制動指令部72係在預定條件下，對搬運台車3發出制動的指令。關於偵測部71及制動指令部72，在以下更加詳細說明。
接著，說明搬運裝置1的動作。首先，說明 搬運台車3由軌道部4移動至軌道部5的情形。如圖2所示，在軌道部4行走中的搬運台車3係當通過制動點P4時，對控制部7傳送由軌道部4對軌道部5的移動的要求。若控制部7接收要求時，偵測部71係藉由例如近接感測器等，來偵測移動軌道部6A與軌道部4的連接。其中，關於移動軌道部6A與軌道部5的連接、及移動軌道部6B與軌道部4、5的連接，亦藉由相同的手段予以偵測。若被偵測到移動軌道部6A與軌道部4的連接時，制動指令部72係不會對搬運台車3發出制動的指令，搬運台車3係照原樣以穩定速度V4持續行走而無停止地由連 接部41A進入至移動軌道部6A。
另一方面，若未被偵測移動軌道部6A與軌道 部4的連接時，控制部7係對移動軌道部6A發出移動至位置A1的指令，並且制動指令部72係對搬運台車3發出制動的指令。藉此，防止搬運台車3由軌道部4脫離。接著，制動指令部72係在藉由偵測部71而被偵測到移動軌道部6A與軌道部4的連接的時點，對搬運台車3發出行走的指令。藉此，搬運台車3係由連接部41A進入至移動軌道部6A。
接著，控制部7係例如藉由光電感測器等， 來偵測搬運台車3的端部61A的通過。其中，關於搬運台車3的端部62A、61B、62B、及制動點P1、P2的通過，亦藉由相同的手段來進行偵測。若被偵測到搬運台車3的端部61A的通過時，控制部7係對移動軌道部6A發出上升至位置A2的指令。搬運台車3係在移動軌道部6A正在上升的期間，在移動軌道部6A朝向端部62A以穩定速度V1行走。
接著，偵測部71係偵測移動軌道部6A與軌 道部5的連接。此外，制動指令部72係偵測搬運台車3的制動點P1的通過。
若藉由制動指令部72而被偵測到搬運台車3 的制動點P1的通過時，藉由偵測部71被偵測到移動軌道部6A與軌道部5的連接時，制動指令部72並不會對搬運台車3發出制動的指令，搬運台車3係照原樣以穩定速度 V1持續行走而無停止地由移動軌道部6A退出至連接部51A，且由連接部51A移動至軌道部5。藉此，搬運台車3之由軌道部4至軌道部5的移動即完成。
另一方面，若藉由制動指令部72而被偵測到 搬運台車3的制動點P1的通過時，藉由偵測部71而未被偵測到移動軌道部6A與軌道部5的連接時，制動指令部72係判斷移動軌道部6A未進行按照預定的上升，且對搬運台車3發出制動的指令。藉此，防止搬運台車3由移動軌道部6A脫離。接著，在藉由偵測部71而被偵測到移動軌道部6A與軌道部5的連接的時點，制動指令部72係對搬運台車3發出行走的指令。藉此，搬運台車3係由移動軌道部6A退出至連接部51A而由連接部51A移動至軌道部5，搬運台車3之由軌道部4至軌道部5的移動即完成。
接著，說明搬運台車3由軌道部5移動至軌 道部4的情形。如圖3所示，在軌道部5行走中的搬運台車3係當通過制動點P5時，對控制部7傳送由軌道部5對軌道部4的移動的要求。若控制部7接收要求時，偵測部71係偵測移動軌道部6B與軌道部5的連接。移動軌道部6B與軌道部5的連接被偵測到時，制動指令部72並不會對搬運台車3發出制動的指令，搬運台車3係照原樣以穩定速度V5持續行走而無停止地由連接部51B進入至移動軌道部6B。
另一方面，若未被偵測移動軌道部6B與軌道 部5的連接時，控制部7係對移動軌道部6B發出移動至位置B2的指令，並且制動指令部72係對搬運台車3發出制動的指令。藉此，防止搬運台車3由軌道部5脫離。接著，制動指令部72係在藉由偵測部71而被偵測到移動軌道部6B與軌道部5的連接的時點，對搬運台車3發出行走的指令。藉此，搬運台車3係由連接部51B進入至移動軌道部6B。
接著，控制部7係偵測搬運台車3的端部 62B的通過。若搬運台車3的端部62B的通過被偵測到時，控制部7係對移動軌道部6B發出下降至位置B1的指令。搬運台車3係在移動軌道部6B正在下降的期間，在移動軌道部6B朝向端部61B以穩定速度V2行走。
接著，偵測部71係偵測移動軌道部6B與軌 道部4的連接。此外，制動指令部72係偵測搬運台車3的制動點P2的通過。
在藉由制動指令部72而被偵測到搬運台車3 的制動點P2的通過的情形下，當藉由偵測部71而被偵測到移動軌道部6B與軌道部4的連接時，制動指令部72並不會對搬運台車3發出制動的指令，搬運台車3係照原樣以穩定速度V2持續行走而無停止地由移動軌道部6B退出至連接部41B，且由連接部41B移動至軌道部4。藉此，搬運台車3之由軌道部5對軌道部4的移動即完成。
另一方面，在藉由制動指令部72而被偵測到 搬運台車3的制動點P2的通過的情形下，當藉由偵測部 71而未被偵測到移動軌道部6B與軌道部4的連接時，制動指令部72係判斷移動軌道部6B未進行按照預定的下降，而對搬運台車3發出制動的指令。藉此，防止搬運台車3由移動軌道部6B脫離。接著，制動指令部72係在藉由偵測部71而被偵測到移動軌道部6B與軌道部4的連接的時點，對搬運台車3發出行走的指令。藉此，搬運台車3係由移動軌道部6B退出至連接部41B而由連接部41B移動至軌道部4，搬運台車3之由軌道部5對軌道部4的移動即完成。
在如以上所示所構成的搬運裝置1中，在與 軌道部4相連接而且與軌道部5分離的位置A1、和與軌道部5相連接而且與軌道部4分離的位置A2之間進行升降的移動軌道部6A係供搬運台車3行走。因此，移動軌道部6A一面供搬運台車3行走，一面由位置A1上升至位置A2，藉此可在搬運台車3由軌道部4移動至軌道部5所需的移動時間內，使該搬運台車3由位置A1上升至位置A2，與原本分別需要移動時間與上升時間的習知技術相比較，可達成大幅縮短時間。此外，在搬運裝置1中，在與軌道部4相連接而且與軌道部5分離的位置B1、和與軌道部5相連接而且與軌道部4分離的位置B2之間進行升降的移動軌道部6B係供搬運台車3行走。因此，移動軌道部6B一面供搬運台車3行走，一面由位置B2下降至位置B1，藉此可在由軌道部5移動至軌道部4所需的移動時間內，使該搬運台車3由位置B2下降至位置 B1，與原本分別需要移動時間與下降時間的習知技術相比較，可達成大幅縮短時間。因此，若在軌道部4與軌道部5之間進行搬運台車3的移動時，可抑制搬運效率的降低。
此外，若將移動軌道部6A由位置A1上升至 位置A2所需時間設為T1，搬運台車3在移動軌道部6A中的穩定速度設為V1時，移動軌道部6A的行走長度L1係被設定為V1．T1以上。因此，搬運台車3係可在移動軌道部6A正在移動的期間在移動軌道部6A持續行走，因此可不會由軌道部4朝向軌道部5停止而進行移動。此外，若將移動軌道部6B由位置B2下降至位置B1所需時間設為T2，搬運台車3在移動軌道部6B中的穩定速度設為V2時，移動軌道部6B的行走長度L2係被設定為V2．T2以上。因此，搬運台車3係可在移動軌道部6B正在移動的期間在移動軌道部6B持續行走，因此可不會由軌道部5朝向軌道部4停止而進行移動。因此，可更加減低搬運台車3在軌道部4與軌道部5之間的移動所需的移動時間。
此外，搬運裝置1係另外具備有：偵測移動 軌道部6A、6B已被連接於軌道部4、5的偵測部71；及對搬運台車3發出制動之指令的制動指令部72，若將以穩定速度V4在軌道部4行走的搬運台車3的制動距離設為S4時，制動指令部72係在搬運台車3已到達被設定在軌道部4中由移動軌道部6A側的端部分離制動距離S4 以上的位置的制動點P4的情形下，藉由偵測部71而未被偵測到移動軌道部6A已被連接於軌道部4時，對搬運台車3發出制動的指令。此外，若將以穩定速度V5在軌道部5行走的搬運台車3的制動距離設為S5時，制動指令部72係若在搬運台車3已到達被設定在軌道部5中由移動軌道部6B側的端部分離制動距離S5以上的位置的制動點P5的情形下，藉由偵測部71而未被偵測到移動軌道部6B已被連接於軌道部5時，係對搬運台車3發出制動的指令。因此，在移動軌道部6A、6B被連接於軌道部4或軌道部5之前，可防止搬運台車3由軌道部4或軌道部5脫離。
此外，搬運裝置1係另外具備有：偵測移動 軌道部6A、6B已被連接於軌道部4、5的偵測部71、及對搬運台車3發出制動之指令的制動指令部72，若將以穩定速度V1在移動軌道部6A行走的搬運台車3的制動距離設為S1時，制動指令部72係在搬運台車3已到達被設定在移動軌道部6A中由端部62A分離制動距離S1以上的位置的制動點P1的情形下，當藉由偵測部71而未被偵測移動軌道部6A已被連接於軌道部5時，係對搬運台車3發出制動的指令。此外，若將以穩定速度V2在移動軌道部6B行走的搬運台車3的制動距離設為S2時，制動指令部72係在搬運台車3已到達被設定在移動軌道部6B中由端部61B分離制動距離S2以上的位置的制動點P2的情形下，當藉由偵測部71而未被偵測移動軌道部6B已 被連接於軌道部4時，係對搬運台車3發出制動的指令。因此，在移動軌道部6A、6B連接於軌道部4或軌道部5之前，可防止搬運台車3由移動軌道部6A、6B脫離。
以上說明本發明之搬運裝置之一實施形態，惟本發明並非限定於上述實施形態。例如，在上述實施形態中，軌道部4及軌道部5係形成周繞軌道，但是亦可為直線狀的軌道或網目狀的軌道等。
此外，在上述實施形態中，搬運台車3係以自車行走，軌道部4、軌道部5及移動軌道部6A、6B係具有供搬運台車3行走的軌道，但是搬運台車3亦可自車並未行走，軌道部4、軌道部5及移動軌道部6A係具有運搬搬運台車3而供其行走的運送機等。
此外，在上述實施形態中，移動軌道部6A、6B係有別於軌道部4及軌道部5而另外設置，但是移動軌道部6A、6B亦可為在由軌道部4及軌道部5所被分割的一部分的軌道移動的裝置(所謂移車台(traverser))等。
此外，在上述實施形態中，軌道部4與軌道部5係在水平方向及鉛直方向呈分離，移動軌道部6A、6B係在與軌道部4為同等高度的位置A1、B1、和與軌道部5為同等高度的位置A2、B2之間進行升降的構成，但是並非限定於此。若為軌道部4與軌道部5係被設在分離的位置，移動軌道部6A、6B係在與軌道部4相連接而且與軌道部5分離的位置、和與軌道部5相連接而且與軌道 部4分離的位置之間移動，而供搬運台車3行走的構成即可。例如，亦可為如以下所示之構成。
例如，亦可為軌道部4與軌道部5係被配置 於在水平方向為分離但在鉛直方向為同等的位置，移動軌道部6A、6B係沿著水平方向而在軌道部4與軌道部5之間移動的構成。若為該構成，若將移動軌道部6A、6B形成為在水平方向之中沿著該移動軌道部6A、6B的移動方向延伸存在的軌道，可供搬運台車3沿著移動軌道部6A、6B的移動方向行走。
此外，例如，亦可為軌道部4與軌道部5係 可被配置於在水平方向為同等的位置但在鉛直方向為分離的位置，移動軌道部6A、6B係沿著鉛直方向而在軌道部4與軌道部5之間移動的構成。若為該構成，將移動軌道部6A、6B設為沿著鉛直方向延伸存在的軌道，可供搬運台車3沿著鉛直方向行走。
此外，在上述實施形態中，移動軌道部6A的 行走長度L1係被設定為V1．T1以上，但是亦可為V1．T1以下。此時，例如在搬運台車3通過制動點P1的時點，藉由偵測部71並未偵測到移動軌道部6A與軌道部5的連接。因此，由制動指令部72對搬運台車3發出制動的指令，搬運台車3係在移動軌道部6A上暫時停止或減速。接著，在藉由偵測部71而被偵測到移動軌道部6A與軌道部5的連接的時點，制動指令部72係對搬運台車3發出行走的指令，搬運台車3係由連接部51A移動至軌道 部5。其中，關於移動軌道部6B的行走長度L2亦同。
此外，在上述實施形態中，第1偵測部及第2偵測部係設為1個偵測部71，但是亦可分別設置。關於第1制動指令部及第2制動指令部亦同。
此外，在上述實施形態中，搬運裝置1係適 用在清淨室100內搬運半導體晶圓或玻璃基板等被搬運物R的情形，但是亦可適用在一般的流通領域。
1‧‧‧搬運裝置
3‧‧‧搬運台車
4、5‧‧‧軌道部(第1軌道部、第2軌道部)
6A‧‧‧移動軌道部(第3軌道部)
7‧‧‧控制部
8‧‧‧升降部
41A‧‧‧連接部
51A‧‧‧連接部
61A、62A‧‧‧端部
71‧‧‧偵測部
72‧‧‧制動指令部
100‧‧‧清淨室
101‧‧‧地板面
A1、A2‧‧‧位置
D1、D4‧‧‧距離
h1、h2、h3‧‧‧高度
L1‧‧‧行走長度
P1、P4‧‧‧制動點
R‧‧‧被搬運物
V4‧‧‧穩定速度

Claims (5)

  1. 一種搬運裝置，其係具備有：搬運台車；供搬運台車行走的第1軌道部；與前述第1軌道部分離，供前述搬運台車行走的第2軌道部；及在與前述第1軌道部相連接而且與前述第2軌道部分離的第1位置、和與前述第2軌道部相連接而且與前述第1軌道部分離的第2位置之間移動，供前述搬運台車行走的第3軌道部，前述搬運台車係當前述第3軌道部位於前述第1位置時，由前述第1軌道部進入至前述第3軌道部，前述第3軌道部正在移動時，在前述第3軌道部行走，當前述第3軌道部位於前述第2位置時，由前述第3軌道部朝前述第2軌道部退出。
  2. 如申請專利範圍第1項之搬運裝置，其中，若將前述第3軌道部由前述第1位置移動至前述第2位置所需時間設為T，前述第3軌道部中的前述搬運台車的穩定速度設為V時，前述第3軌道部的行走長度L係被設定為V．T以上。
  3. 如申請專利範圍第1項或第2項之搬運裝置，其中，另外具備有： 偵測前述第3軌道部已被連接於前述第1軌道部的第1偵測部；及對前述搬運台車發出制動之指令的第1制動指令部，若將以穩定速度在前述第1軌道部行走的前述搬運台車的制動距離設為SI時，前述第1制動指令部係在前述搬運台車已到達被設定在前述第1軌道部中由前述第3軌道部側的端部分離前述制動距離SI以上的位置的制動點的情形下，當藉由前述第1偵測部而未被偵測前述第3軌道部已被連接於前述第1軌道部時，係對前述搬運台車發出制動的指令。
  4. 如申請專利範圍第1項至第3項中任一項之搬運裝置，其中，另外具備有：偵測前述第3軌道部已被連接於前述第2軌道部的第2偵測部；及對前述搬運台車發出制動之指令的第2制動指令部，若將以穩定速度在前述第3軌道部行走的前述搬運台車的制動距離設為SE時，前述第2制動指令部係在前述搬運台車已到達被設定在前述第3軌道部中由前述第2軌道部側的端部分離前述制動距離SE以上的位置的制動點的情形下，當藉由前述第2偵測部而未被偵測前述第3軌道部已被連接於前述第2軌道部時，係對前述搬運台車發出制動的指令。
  5. 如申請專利範圍第1項至第4項中任一項之搬運裝置，其中，前述第1位置係高度與前述第2位置不同， 前述第3軌道部係在前述第1位置與前述第2位置之間進行升降。
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