KR101655887B1

KR101655887B1 - 반송 장치

Info

Publication number: KR101655887B1
Application number: KR1020130037212A
Authority: KR
Inventors: 타카시 스즈키
Original assignee: 무라다기카이가부시끼가이샤
Priority date: 2012-04-11
Filing date: 2013-04-05
Publication date: 2016-09-08
Also published as: JP2013219282A; JP5617868B2; CN103373588A; CN103373588B; KR20130115138A; TW201343530A

Abstract

두 개의 궤도간에서 반송대차의 이동을 행하는 경우에, 반송 효율의 저하를 억제할 수 있는 반송 장치를 제공하는 것. 반송 장치(1)는, 반송대차(3)를 주행시키는 궤도부(4)와, 궤도부(4)로부터 이간되어 있고, 반송대차(3)를 주행시키는 궤도부(5)와, 궤도부(4)와 접속되고 또한 궤도부(5)로부터 이간되는 위치(A1)와, 궤도부(5)와 접속되고 또한 궤도부(4)로부터 이간되는 위치(A2)와의 사이를 승강하고, 반송대차를 주행시키는 이동 궤도부(6A)와, 궤도부(4)와 접속되고 또한 궤도부(5)로부터 이간되는 위치(B1)와, 궤도부(5)와 접속되고 또한 궤도부(4)로부터 이간되는 위치(B2)와의 사이를 승강하고, 반송대차를 주행시키는 이동 궤도부(6B)를 구비한다.

Description

반송 장치{TRANSFER DEVICE}

본 발명은, 예를 들면 반도체 웨이퍼 또는 글라스 기판 등의 피반송물을 반송하기 위한 반송 장치에 관한 것이다.

종래, 반도체 웨이퍼 또는 글라스 기판 등의 피반송물을 반송하기 위한 반송 장치가 알려져 있다. 이러한 반송 장치에 관한 기술로서, 예를 들면 특허 문헌 1에는, 반송대차의 궤도를 샌드위치하는 일방측의 영역으로부터 타방측의 영역으로 각종 장치 등을 이동하기 위하여, 궤도의 일부분을 이동 가능하게 한 기술이 개시되어 있다. 또한 특허 문헌 2, 3에는, 두 개의 궤도를 구비하는 반송 장치에 있어서, 두 개의 궤도간에서 반송대차의 이동을 행하기 위하여, 궤도의 일부분을 이동 가능하게 한 기술이 개시되어 있다.

일본특허공개공보 2005－015201호 일본특허공개공보 2004－050871호 일본특허공개공보 2007－326706호

그런데, 두 개의 궤도간에서 반송대차의 이동을 행하는 반송 장치에 있어서는, 두 개의 궤도가 서로 이간되어 있을수록, 반송대차를 이동시키는 시간이 길어져, 반송 효율이 저하될 우려가 있다.

본 발명은, 이러한 과제를 해결하기 위하여 이루어진 것이며, 두 개의 궤도간에서 반송대차의 이동을 행하는 경우에, 반송 효율의 저하를 억제할 수 있는 반송 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명에 따른 반송 장치는, 반송대차와, 상기 반송대차를 주행시키는 제 1 궤도부와, 제 1 궤도부로부터 이간되어 있고, 반송대차를 주행시키는 제 2 궤도부와, 제 1 궤도부와 접속되고 또한 제 2 궤도부로부터 이간되는 제 1 위치와, 제 2 궤도부와 접속되고 또한 제 1 궤도부로부터 이간되는 제 2 위치와의 사이를 이동하고, 반송대차를 주행시키는 제 3 궤도부를 구비하고, 반송대차는, 제 3 궤도부가 제 1 위치에 있을 때, 제 1 궤도부로부터 제 3 궤도부로 진입하고, 제 3 궤도부가 이동하고 있을 때, 제 3 궤도부를 주행하고, 제 3 궤도부가 제 2 위치에 있을 때, 제 3 궤도부로부터 상기 제 2 궤도부로 퇴출한다.

이 반송 장치에서는, 제 1 궤도부와 접속되고 또한 제 2 궤도부로부터 이간되는 제 1 위치와, 제 2 궤도부와 접속되고 또한 제 1 궤도부로부터 이간되는 제 2 위치와의 사이를 이동하는 제 3 궤도부가, 반송대차를 주행시키도록 되어 있다. 따라서, 제 3 궤도부가 반송대차를 주행시키면서 제 1 위치와 제 2 위치의 사이를 이동함으로써, 반송대차가 제 1 궤도부와 제 2 궤도부의 사이의 이동에 필요로 하는 이동 시간을 저감할 수 있다. 따라서, 이 반송 장치에 의하면, 두 개의 궤도간에서 반송대차의 이동을 행하는 경우에, 반송 효율의 저하를 억제할 수 있다.

또한, 제 3 궤도부가 제 1 위치로부터 제 2 위치로 이동하는데 필요로 하는 시간을 T로 하고, 제 3 궤도부에서의 반송대차의 정상 속도를 V로 한 경우에, 제 3 궤도부의 주행 길이(L)는, V·T 이상으로 설정되어 있어도 좋다. 이 구성에 의하면, 반송대차는, 제 3 궤도부가 이동하고 있는 동안에 제 3 궤도부를 계속 주행하는 것이 가능해지기 때문에, 제 1 궤도부와 제 2 궤도부의 사이를 정지하지 않고 이동할 수 있다. 따라서, 반송대차가 제 1 궤도부와 제 2 궤도부의 사이의 이동에 필요로 하는 이동 시간을 더욱 저감할 수 있다.

또한 반송 장치는, 제 3 궤도부가 제 1 궤도부에 접속된 것을 검지하는 제 1 검지부와, 반송대차에 제동을 지령하는 제 1 제동 지령부를 더 구비하고, 제 1 궤도부를 정상 속도로 주행하는 반송대차의 제동 거리를 SI로 한 경우에, 제 1 제동 지령부는, 제 1 궤도부에서의 제 3 궤도부측의 단부로부터 제동 거리(SI) 이상 이간한 위치에 설정된 제동 포인트에 반송대차가 도달한 경우에 있어서, 제 1 검지부에 의해 제 3 궤도부가 제 1 궤도부에 접속된 것이 검지되지 않을 때에는, 반송대차에 제동을 지령해도 좋다. 이 구성에 의하면, 제 3 궤도부가 제 1 궤도부에 접속되기 전에, 반송대차가 제 1 궤도부로부터 일탈하는 것을 방지할 수 있다.

또한 반송 장치는, 제 3 궤도부가 제 2 궤도부에 접속된 것을 검지하는 제 2 검지부와, 반송대차에 제동을 지령하는 제 2 제동 지령부를 더 구비하고, 제 3 궤도부를 정상 속도로 주행하는 반송대차의 제동 거리를 SE로 한 경우에, 제 2 제동 지령부는, 제 3 궤도부에서의 제 2 궤도부측의 단부로부터 제동 거리(SE) 이상 이간한 위치에 설정된 제동 포인트에 반송대차가 도달한 경우에 있어서, 제 2 검지부에 의해 제 3 궤도부가 제 2 궤도부에 접속된 것이 검지되지 않을 때에는, 반송대차에 제동을 지령해도 좋다. 이 구성에 의하면, 제 3 궤도부가 제 2 궤도부에 접속되기 전에, 반송대차가 제 3 궤도부로부터 일탈하는 것을 방지할 수 있다.

또한, 제 1 위치는 제 2 위치와 높이가 상이하고, 제 3 궤도부는 제 1 위치와 제 2 위치의 사이를 승강하는 구성으로 해도 좋다.

본 발명에 의하면, 두 개의 궤도간에서 반송대차의 이동을 행하는 경우에, 반송 효율의 저하를 억제할 수 있는 반송 장치를 제공하는 것이 가능해진다.

도 1은 본 발명에 따른 반송 장치의 일실시예의 평면도이다.
도 2는 도 1의 반송 장치의 일방향의 측면도이다.
도 3은 도 1의 반송 장치의 타방향의 측면도이다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 반송 장치의 적합한 실시예에 대하여 상세하게 설명한다. 또한, 동일 또는 상당 요소에는 동일한 부호를 부여하고, 중복된 설명은 생략한다.

도 1에 도시한 바와 같이, 반송 장치(1)는, 예를 들면, 반도체 장치 또는 액정표시장치 등의 제조 공장의 클린 룸(100)에 설치되고, 반도체 웨이퍼 또는 글라스 기판 등의 피반송물(R)을 반송한다. 클린 룸(100)에는, 반도체 웨이퍼 또는 글라스 기판 등이 보관되는 스토커(2)가 바닥면 상에 복수 설치되어 있다. 이러한 클린 룸(100)에 설치되어 있는 반송 장치(1)는, 복수의 반송대차(3), 궤도부(제 1 궤도부, 제 2 궤도부)(4, 5) 및 이동 궤도부(제 3 궤도부)(6A, 6B)를 구비하고 있다. 또한, 스토커(2)는 설치되지 않는 경우도 있다.

반송대차(3)는, 예를 들면 궤도상을 주행하는 OHS(Overhead Shuttle) 유궤도식 무인 반송차로서, 반송원으로부터 반송처로의 주행 루트를 자차로 작성하고, 궤도부(4, 5) 및 이동 궤도부(6A, 6B)를 포함한 주행로망에서의 자차의 위치를 파악하면서, 피반송물(R)을 반송원으로부터 반송처로 반송한다. 반송원 및 반송처로서는, 스토커(2)의 외에, 피반송물에 각종 처리를 실시하기 위한 스테이션 등이 있다. 반송대차(3)는, 제어부(7)와 통신 가능하게 되어 있다. 반송대차(3)는, 예를 들면, 비접촉 전원이나 케이블에 의해 외부로부터 공급되는 전력으로 구동되어도 좋고, 배터리를 탑재하여 당해 배터리의 전력으로 구동되어도 좋다. 또한 반송대차(3)는, 궤도에 매달려 주행하는 OHT(Overhead hoist Transport) 등이라고 하는 다른 형식의 무인 반송차여도 좋다.

각 궤도부(4, 5)는, 반송대차(3)를 주행시키는 레일을 가지고 있고, 반송대차(3)가 복수의 스토커(2)의 주위를 주행할 수 있도록, 클린 룸(100)의 바닥면(101)(도 2 참조)을 따라 설치되어 있다. 궤도부(4) 및 궤도부(5)는, 수평 방향에 있어서 서로 이간하여 배치되어 있고, 각각 주회 궤도(루프)를 이루고 있다. 궤도부(4)에는, 이동 궤도부(6A)가 접속되는 접속부(41A), 및 이동 궤도부(6B)가 접속되는 접속부(41B)가 설치되어 있다. 또한 궤도부(5)에는, 이동 궤도부(6A)가 접속되는 접속부(51A), 및 이동 궤도부(6B)가 접속되는 접속부(51B)가 설치되어 있다.

도 2는, 도 1 중의 A 방향에서 본 반송 장치(1)의 측면도이다. 도 2에 도시한 바와 같이, 클린 룸(100)의 바닥면(101)으로부터 궤도부(4)까지의 높이(h1)는, 예를 들면 4 m 정도로 되어 있다. 또한, 바닥면(101)으로부터 궤도부(5)까지의 높이(h2)는, 예를 들면 6 m 정도로 되어 있다. 이와 같이, 궤도부(4) 및 궤도부(5)는, 바닥면(101)으로부터의 높이가 상이하고, 수평 방향에 더하여 수직 방향에 있어서도 서로 이간하여 배치되어 있다.

궤도부(4)에는 제동 포인트(P4)가 마련되어 있다. 반송대차(3)의 궤도부(4)에서의 정상 속도를 V4로 하고, 궤도부(4)를 정상 속도(V4)로 주행하는 반송대차(3)의 제동 거리를 S4(제동 거리(SI))로 한 경우, 제동 포인트(P4)로부터 접속부(41A)의 단부까지의 궤도상에서의 거리(D4)는, 제동 거리(S4) 이상으로 설정되어 있다. 접속부(41A)의 단부에는, 반송대차(3)가 접속부(41A)로부터 낙하하는 것을 방지하기 위한 기계식의 스토퍼가 설치되어 있다. 이 스토퍼는, 궤도부(4)와 이동 궤도부(6A)의 접속이 검지될 때까지는 궤도를 폐쇄하고, 당해 접속이 검지되면 궤도를 개방하도록 되어 있다. 또한 스토퍼는, 기계식의 것이 바람직하지만, 다른 방식의 것이어도 좋다.

도 3은, 도 1 중의 B 방향에서 본 반송 장치(1)의 측면도이다. 도 3에 도시한 바와 같이, 궤도부(5)에는 제동 포인트(P5)가 마련되어 있다. 반송대차(3)의 궤도부(5)에서의 정상 속도를 V5로 하고, 궤도부(5)를 정상 속도(V5)로 주행하는 반송대차(3)의 제동 거리를 S5(제동 거리(SI))로 한 경우, 제동 포인트(P5)로부터 접속부(51B)의 단부까지의 궤도상에서의 거리(D5)는, 제동 거리(S5) 이상으로 설정되어 있다. 접속부(51B)의 단부에는, 궤도부(4)의 단부에 설치된 스토퍼와 동일한 스토퍼가 설치되어 있다.

도 1로 돌아가서, 이동 궤도부(6A)는, 반송대차(3)를 궤도부(4)로부터 궤도부(5)로 이동시키는 것이며, 궤도부(4)와 궤도부(5)의 사이에 설치되어 있다. 또한 이동 궤도부(6B)는, 반송대차(3)를 궤도부(5)로부터 궤도부(4)로 이동시키는 것이며, 궤도부(4)와 궤도부(5)의 사이에 설치되어 있다. 한 쌍의 이동 궤도부(6A, 6B)는, 바닥면(101)을 따른 대략 직선 형상을 나타내고 있고, 서로 대략 평행하게 설치되어 있다. 각 이동 궤도부(6A, 6B)는, 반송대차(3)를 주행시키는 레일을 가지고 있다. 또한 이동 궤도부(6A, 6B)는, 반드시 서로 대략 평행하게 설치되어 있을 필요는 없다.

도 2에 도시한 바와 같이, 이동 궤도부(6A)는, 바닥면(101)으로부터 상방을 향하여 돌출된 복수의 승강부(8)에 의해 지지되어 있다. 각 승강부(8)는, 예를 들면, 바닥면(101)에 고정된 부재에 대하여 수직 방향으로 슬라이드 가능한 부재를 장착하는 구성 등에 의해, 바닥면(101)으로부터의 높이(h3)가 조정 가능하게 되어 있다. 이에 의해, 승강부(8)에 지지된 이동 궤도부(6A)는, 궤도부(4)와 동등한 높이의 위치(A1)와, 궤도부(5)와 동등한 높이의 위치(A2)와의 사이를 승강 가능하게 되어 있다. 또한, 승강부(8)는 1개여도 좋다. 또한 이동 궤도부(6A)는, 당해 이동 궤도부(6A)를 와이어에 의해 상방으로부터 매달고, 당해 와이어를 윈치로 감아서 옮기는 것 등에 의해 승강 가능한 구성으로 해도 좋다. 이 이동 궤도부(6A)의 승강은, 반송 장치(1)가 구비하는 제어부(7)에 의해 제어된다.

위치(A1)에서는, 이동 궤도부(6A)의 일방의 단부(61A)는, 궤도부(4)의 접속부(41A)와 접속된다. 이 때, 이동 궤도부(6A)의 타방의 단부(62A)는, 궤도부(5)의 접속부(51A)로부터 이간된다. 한편, 위치(A2)에서는, 이동 궤도부(6A)의 타방의 단부(62A)는, 궤도부(5)의 접속부(51A)와 접속된다. 이 때, 이동 궤도부(6A)의 일방의 단부(61A)는, 궤도부(4)의 접속부(41A)로부터 이간된다.

이동 궤도부(6A)의 주행 길이(L1)(단부(61A)와 단부(62A)의 사이의 거리)는, 이동 궤도부(6A)가 위치(A1)로부터 위치(A2)로 상승하는데 필요로 하는 시간을 T1로 하고, 반송대차(3)의 이동 궤도부(6A)에서의 정상 속도를 V1로 한 경우에, V1·T1 이상으로 설정되어 있다. 즉, 주행 길이(L1)는, 이동 궤도부(6A)가 위치(A1)로부터 위치(A2)로 상승하는 동안에, 반송대차(3)가 이동 궤도부(6A)를 정지하지 않고 정상 속도(V1)로 주행할 수 있는 길이 이상으로 되어 있다.

또한 이동 궤도부(6A)에는, 제동 포인트(P1)가 마련되어 있다. 이동 궤도부(6A)를 정상 속도(V1)로 주행하는 반송대차(3)의 제동 거리를 S1(제동 거리(SE))로 한 경우, 제동 포인트(P1)로부터 단부(62A)까지의 거리(D1)는, 제동 거리(S1) 이상으로 설정되어 있다. 이동 궤도부(6A)의 단부(62A)에는, 궤도부(4)의 단부에 설치된 스토퍼와 동일한 스토퍼가 설치되어 있다.

도 3에 도시한 바와 같이, 이동 궤도부(6B)는, 이동 궤도부(6A)와 동일한 구성에 의해, 궤도부(4)와 동등한 높이의 위치(B1)와, 궤도부(5)와 동등한 높이의 위치(B2)와의 사이를 승강 가능하게 되어 있다. 이 이동 궤도부(6B)의 승강은, 제어부(7)에 의해 제어된다.

위치(B1)에서는, 이동 궤도부(6B)의 일방의 단부(61B)는, 궤도부(4)의 접속부(41B)와 접속된다. 이 때, 이동 궤도부(6B)의 타방의 단부(62B)는, 궤도부(5)의 접속부(51B)로부터 이간된다. 한편, 위치(B2)에서는, 이동 궤도부(6B)의 타방의 단부(62B)는, 궤도부(5)의 접속부(51B)와 접속된다. 이 때, 이동 궤도부(6B)의 일방의 단부(61B)는, 궤도부(4)의 접속부(41B)로부터 이간된다.

이동 궤도부(6B)의 주행 길이(L2)(단부(61B)와 단부(62B)의 사이의 거리)는, 이동 궤도부(6B)가 위치(B2)로부터 위치(B1)로 하강하는데 필요로 하는 시간을 T2로 하고, 반송대차(3)의 이동 궤도부(6B)에서의 정상 속도를 V2로 한 경우에, V2·T2 이상으로 설정되어 있다. 즉, 주행 길이(L2)는, 이동 궤도부(6B)가 위치(B2)로부터 위치(B1)로 하강하는 동안에, 반송대차(3)가 이동 궤도부(6B)를 정지하지 않고 정상 속도(V2)로 주행할 수 있는 길이 이상으로 되어 있다.

또한 이동 궤도부(6B)에는, 제동 포인트(P2)가 마련되어 있다. 이동 궤도부(6B)를 정상 속도(V2)로 주행하는 반송대차(3)의 제동 거리를 S2(제동 거리(SE))로 한 경우, 제동 포인트(P2)로부터 단부(61B)까지의 거리(D2)는, 제동 거리(S2) 이상으로 설정되어 있다. 이동 궤도부(6B)의 단부(61B)에는, 이동 궤도부(6A)의 단부(62A)에 설치된 스토퍼와 동일한 스토퍼가 설치되어 있다.

제어부(7)는, 반송 장치(1) 전체의 제어를 행하는 것이며, 예를 들면, CPU, ROM, RAM 등으로 이루어지는 전자 제어 유닛이다. 제어부(7)는, 처리부로서, 적어도 검지부(제 1 검지부, 제 2 검지부)(71) 및 제동 지령부(제 1 제동 지령부, 제 2 제동 지령부)(72)를 가지고 있다. 제어부(7)는, ROM에 저장되어 있는 프로그램을 RAM 상에 로드하고, CPU로 실행함으로써, 검지부(71) 및 제동 지령부(72)를 소프트웨어로 구성한다. 또한, 제어부(7)의 각 처리부는, 하드웨어로 구성되어도 좋다.

검지부(71)는, 이동 궤도부(6A, 6B)가 궤도부(4) 또는 궤도부(5)에 접속된 것을 검지한다. 검지부(71)는, 이동 궤도부(6A, 6B)가 궤도부(4) 또는 궤도부(5)에 접속된 것을 검지하면, 제동 지령부(72)에 대하여 검지 신호를 송신한다. 제동 지령부(72)는, 소정 조건하에서, 반송대차(3)에 제동을 지령한다. 검지부(71) 및 제동 지령부(72)에 대해서는, 이하에서 보다 상세하게 설명한다.

이어서, 반송 장치(1)의 동작에 대하여 설명한다. 우선, 반송대차(3)가 궤도부(4)로부터 궤도부(5)로 이동하는 경우에 대하여 설명한다. 도 2에 도시한 바와 같이, 궤도부(4)를 주행 중인 반송대차(3)는, 제동 포인트(P4)를 통과할 때에 제어부(7)에 대하여, 궤도부(4)로부터 궤도부(5)로의 이동의 요구를 송신한다. 제어부(7)가 요구를 수신하면, 검지부(71)는, 예를 들면 근접 센서 등에 의해 이동 궤도부(6A)와 궤도부(4)의 접속을 검지한다. 또한, 이동 궤도부(6A)와 궤도부(5)의 접속, 및 이동 궤도부(6B)와 궤도부(4, 5)의 접속에 대해서도, 동일한 수단에 의해 검지된다. 이동 궤도부(6A)와 궤도부(4)의 접속이 검지된 경우, 제동 지령부(72)는 반송대차(3)에 제동을 지령하지 않고, 반송대차(3)는 그대로 정상 속도(V4)로 주행을 계속하여 정지 없이 접속부(41A)로부터 이동 궤도부(6A)로 진입한다.

한편, 이동 궤도부(6A)와 궤도부(4)의 접속이 검지되지 않는 경우, 제어부(7)는, 이동 궤도부(6A)에 대하여 위치(A1)까지 이동하도록 지령하고 또한, 제동 지령부(72)는, 반송대차(3)에 제동을 지령한다. 이에 의해, 반송대차(3)가 궤도부(4)로부터 일탈하는 것이 방지된다. 그리고, 제동 지령부(72)는, 검지부(71)에 의해 이동 궤도부(6A)와 궤도부(4)의 접속이 검지된 시점에서, 반송대차(3)에 주행을 지령한다. 이에 의해, 반송대차(3)는 접속부(41A)로부터 이동 궤도부(6A)로 진입한다.

계속해서, 제어부(7)는, 예를 들면, 광전 센서 등에 의해, 반송대차(3)의 단부(61A)의 통과를 검지한다. 또한, 반송대차(3)의 단부(62A, 61B, 62B), 및 제동 포인트(P1, P2)의 통과에 대해서도 동일한 수단에 의해 검지된다. 반송대차(3)의 단부(61A)의 통과가 검지된 경우, 제어부(7)는, 이동 궤도부(6A)에 대하여 위치(A2)까지 상승하도록 지령한다. 반송대차(3)는, 이동 궤도부(6A)가 상승하고 있는 동안, 이동 궤도부(6A)를 단부(62A)를 향하여 정상 속도(V1)로 주행한다.

계속해서, 검지부(71)는, 이동 궤도부(6A)와 궤도부(5)의 접속을 검지한다. 또한 제동 지령부(72)는, 반송대차(3)의 제동 포인트(P1)의 통과를 검지한다.

제동 지령부(72)에 의해 반송대차(3)의 제동 포인트(P1)의 통과가 검지된 경우에 있어서, 검지부(71)에 의해 이동 궤도부(6A)와 궤도부(5)의 접속이 검지되었을 때에는, 제동 지령부(72)는 반송대차(3)에 제동을 지령하지 않고, 반송대차(3)는 그대로 정상 속도(V1)로 주행을 계속하여 정지 없이 이동 궤도부(6A)로부터 접속부(51A)로 퇴출하고, 접속부(51A)로부터 궤도부(5)로 이동한다. 이에 의해, 반송대차(3)의 궤도부(4)로부터 궤도부(5)로의 이동은 완료된다.

한편, 제동 지령부(72)에 의해 반송대차(3)의 제동 포인트(P1)의 통과가 검지된 경우에 있어서, 검지부(71)에 의해 이동 궤도부(6A)와 궤도부(5)의 접속이 검지되지 않을 때에는, 제동 지령부(72)는, 이동 궤도부(6A)가 예정대로의 상승을 행하지 않았다고 판단하여, 반송대차(3)에 제동을 지령한다. 이에 의해, 반송대차(3)가 이동 궤도부(6A)로부터 일탈하는 것이 방지된다. 그리고, 검지부(71)에 의해 이동 궤도부(6A)와 궤도부(5)의 접속이 검지된 시점에서, 제동 지령부(72)는 반송대차(3)에 주행을 지령한다. 이에 의해, 반송대차(3)는 이동 궤도부(6A)로부터 접속부(51A)로 퇴출하여 접속부(51A)로부터 궤도부(5)로 이동하고, 반송대차(3)의 궤도부(4)로부터 궤도부(5)로의 이동은 완료된다.

이어서, 반송대차(3)가 궤도부(5)로부터 궤도부(4)로 이동하는 경우에 대하여 설명한다. 도 3에 도시한 바와 같이, 궤도부(5)를 주행 중인 반송대차(3)는, 제동 포인트(P5)를 통과할 때에 제어부(7)에 대하여, 궤도부(5)로부터 궤도부(4)로의 이동의 요구를 송신한다. 제어부(7)가 요구를 수신하면, 검지부(71)는, 이동 궤도부(6B)와 궤도부(5)의 접속을 검지한다. 이동 궤도부(6B)와 궤도부(5)의 접속이 검지된 경우, 제동 지령부(72)는 반송대차(3)에 제동을 지령하지 않고, 반송대차(3)는 그대로 정상 속도(V5)로 주행을 계속하여 정지 없이 접속부(51B)로부터 이동 궤도부(6B)로 진입한다.

한편, 이동 궤도부(6B)와 궤도부(5)의 접속이 검지되지 않는 경우, 제어부(7)는, 이동 궤도부(6B)에 대하여 위치(B2)까지 이동하도록 지령하고 또한, 제동 지령부(72)는, 반송대차(3)에 제동을 지령한다. 이에 의해, 반송대차(3)가 궤도부(5)로부터 일탈하는 것이 방지된다. 그리고, 제동 지령부(72)는, 검지부(71)에 의해 이동 궤도부(6B)와 궤도부(5)의 접속이 검지된 시점에서, 반송대차(3)에 주행을 지령한다. 이에 의해, 반송대차(3)는, 접속부(51B)로부터 이동 궤도부(6B)로 진입한다.

계속해서, 제어부(7)는, 반송대차(3)의 단부(62B)의 통과를 검지한다. 반송대차(3)의 단부(62B)의 통과가 검지된 경우, 제어부(7)는, 이동 궤도부(6B)에 대하여 위치(B1)까지 하강하도록 지령한다. 반송대차(3)는, 이동 궤도부(6B)가 하강하고 있는 동안, 이동 궤도부(6B)를 단부(61B)를 향하여 정상 속도(V2)로 주행한다.

계속해서, 검지부(71)는, 이동 궤도부(6B)와 궤도부(4)의 접속을 검지한다. 또한 제동 지령부(72)는, 반송대차(3)의 제동 포인트(P2)의 통과를 검지한다.

제동 지령부(72)에 의해 반송대차(3)의 제동 포인트(P2)의 통과가 검지된 경우에 있어서, 검지부(71)에 의해 이동 궤도부(6B)와 궤도부(4)의 접속이 검지되었을 때에는, 제동 지령부(72)는 반송대차(3)에 제동을 지령하지 않고, 반송대차(3)는 그대로 정상 속도(V2)로 주행을 계속하여 정지 없이 이동 궤도부(6B)로부터 접속부(41B)로 퇴출하고, 접속부(41B)로부터 궤도부(4)로 이동한다. 이에 의해, 반송대차(3)의 궤도부(5)로부터 궤도부(4)로의 이동은 완료된다.

한편, 제동 지령부(72)에 의해 반송대차(3)의 제동 포인트(P2)의 통과가 검지된 경우에 있어서, 검지부(71)에 의해 이동 궤도부(6B)와 궤도부(4)의 접속이 검지되지 않을 때에는, 제동 지령부(72)는, 이동 궤도부(6B)가 예정대로의 하강을 행하지 않았다고 판단하여, 반송대차(3)에 제동을 지령한다. 이에 의해, 반송대차(3)가 이동 궤도부(6B)로부터 일탈하는 것이 방지된다. 그리고, 제동 지령부(72)는, 검지부(71)에 의해 이동 궤도부(6B)와 궤도부(4)의 접속이 검지된 시점에서, 반송대차(3)에 주행을 지령한다. 이에 의해, 반송대차(3)는 이동 궤도부(6B)로부터 접속부(41B)로 퇴출하여 접속부(41B)로부터 궤도부(4)로 이동하고, 반송대차(3)의 궤도부(5)로부터 궤도부(4)로의 이동은 완료된다.

이상과 같이 구성된 반송 장치(1)에서는, 궤도부(4)와 접속되고 또한 궤도부(5)로부터 이간되는 위치(A1)와, 궤도부(5)와 접속되고 또한 궤도부(4)로부터 이간되는 위치(A2)와의 사이를 승강하는 이동 궤도부(6A)가, 반송대차(3)를 주행시키도록 되어 있다. 따라서, 이동 궤도부(6A)가 반송대차(3)를 주행시키면서 위치(A1)로부터 위치(A2)로 상승함으로써, 반송대차(3)가 궤도부(4)로부터 궤도부(5)로 이동하는데 필요로 하는 이동 시간 내에, 이 반송대차(3)를 위치(A1)로부터 위치(A2)로 상승시킬 수 있고, 이동 시간과 상승 시간이 각각 필요했던 종래와 비교하여, 대폭적인 시간의 단축을 도모할 수 있다. 또한 반송 장치(1)에서는, 궤도부(4)와 접속되고 또한 궤도부(5)로부터 이간되는 위치(B1)와, 궤도부(5)와 접속되고 또한 궤도부(4)로부터 이간되는 위치(B2)와의 사이를 승강하는 이동 궤도부(6B)가, 반송대차(3)를 주행시키도록 되어 있다. 따라서, 이동 궤도부(6B)가 반송대차(3)를 주행시키면서 위치(B2)로부터 위치(B1)로 하강함으로써, 궤도부(5)로부터 궤도부(4)로 이동하는데 필요로 하는 이동 시간 내에, 이 반송대차(3)를 위치(B2)로부터 위치(B1)로 하강시킬 수 있고, 이동 시간과 하강 시간이 각각 필요했던 종래와 비교하여, 대폭적인 시간의 단축을 도모할 수 있다. 따라서, 궤도부(4)와 궤도부(5)의 사이에 반송대차(3)의 이동을 행하는 경우에, 반송 효율의 저하를 억제할 수 있다.

또한, 이동 궤도부(6A)가 위치(A1)로부터 위치(A2)로 상승하는데 필요로 하는 시간을 T1로 하고, 반송대차(3)의 이동 궤도부(6A)에서의 정상 속도를 V1로 한 경우에, 이동 궤도부(6A)의 주행 길이(L1)는, V1·T1 이상으로 설정되어 있다. 이 때문에, 반송대차(3)는, 이동 궤도부(6A)가 이동하고 있는 동안에 이동 궤도부(6A)를 계속 주행하는 것이 가능해지기 때문에, 궤도부(4)로부터 궤도부(5)를 향하여 정지하지 않고 이동할 수 있다. 또한, 이동 궤도부(6B)가 위치(B2)로부터 위치(B1)로 하강하는데 필요로 하는 시간을 T2로 하고, 반송대차(3)의 이동 궤도부(6B)에서의 정상 속도를 V2로 한 경우에, 이동 궤도부(6B)의 주행 길이(L2)는, V2·T2 이상으로 설정되어 있다. 이 때문에, 반송대차(3)는, 이동 궤도부(6B)가 이동하고 있는 동안에 이동 궤도부(6B)를 계속 주행하는 것이 가능해지기 때문에, 궤도부(5)로부터 궤도부(4)를 향하여 정지하지 않고 이동할 수 있다. 따라서, 반송대차(3)가 궤도부(4)와 궤도부(5)의 사이의 이동에 필요로 하는 이동 시간을 더욱 저감할 수 있다.

또한 반송 장치(1)는, 이동 궤도부(6A, 6B)가 궤도부(4, 5)에 접속된 것을 검지하는 검지부(71)와, 반송대차(3)에 제동을 지령하는 제동 지령부(72)를 더 구비하고 있고, 궤도부(4)를 정상 속도(V4)로 주행하는 반송대차(3)의 제동 거리를 S4로 한 경우에, 제동 지령부(72)는, 궤도부(4)에서의 이동 궤도부(6A)측의 단부로부터 제동 거리(S4) 이상 이간한 위치에 설정된 제동 포인트(P4)에 반송대차(3)가 도달한 경우에 있어서, 검지부(71)에 의해 이동 궤도부(6A)가 궤도부(4)에 접속된 것이 검지되지 않을 때에는, 반송대차(3)에 제동을 지령한다. 또한, 궤도부(5)를 정상 속도(V5)로 주행하는 반송대차(3)의 제동 거리를 S5로 한 경우에, 제동 지령부(72)는, 궤도부(5)에서의 이동 궤도부(6B)측의 단부로부터 제동 거리(S5) 이상 이간한 위치에 설정된 제동 포인트(P5)에 반송대차(3)가 도달한 경우에 있어서, 검지부(71)에 의해 이동 궤도부(6B)가 궤도부(5)에 접속된 것이 검지되지 않을 때에는, 반송대차(3)에 제동을 지령한다. 따라서, 이동 궤도부(6A, 6B)가 궤도부(4) 또는 궤도부(5)에 접속되기 전에, 반송대차(3)가 궤도부(4) 또는 궤도부(5)로부터 일탈하는 것을 방지할 수 있다.

또한 반송 장치(1)는, 이동 궤도부(6A, 6B)가 궤도부(4, 5)에 접속된 것을 검지하는 검지부(71)와, 반송대차(3)에 제동을 지령하는 제동 지령부(72)를 더 구비하고 있고, 이동 궤도부(6A)를 정상 속도(V1)로 주행하는 반송대차(3)의 제동 거리를 S1로 한 경우에, 제동 지령부(72)는, 이동 궤도부(6A)에서의 단부(62A)로부터 제동 거리(S1) 이상 이간한 위치에 설정된 제동 포인트(P1)에 반송대차(3)가 도달한 경우에 있어서, 검지부(71)에 의해 이동 궤도부(6A)가 궤도부(5)에 접속된 것이 검지되지 않을 때에는, 반송대차(3)에 제동을 지령한다. 또한, 이동 궤도부(6B)를 정상 속도(V2)로 주행하는 반송대차(3)의 제동 거리를 S2로 한 경우에, 제동 지령부(72)는, 이동 궤도부(6B)에서의 단부(61B)로부터 제동 거리(S2) 이상 이간한 위치에 설정된 제동 포인트(P2)에 반송대차(3)가 도달한 경우에 있어서, 검지부(71)에 의해 이동 궤도부(6B)가 궤도부(4)에 접속된 것이 검지되지 않을 때에는, 반송대차(3)에 제동을 지령한다. 따라서, 이동 궤도부(6A, 6B)가 궤도부(4) 또는 궤도부(5)에 접속되기 전에, 반송대차(3)가 이동 궤도부(6A, 6B)로부터 일탈하는 것을 방지할 수 있다.

이상, 본 발명에 따른 반송 장치의 일실시예에 대하여 설명했지만, 본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않는다. 예를 들면, 상기 실시예에서는, 궤도부(4) 및 궤도부(5)는, 주회 궤도를 이루고 있지만, 직선 형상의 궤도나 망목 형상의 궤도 등이어도 좋다.

또한 상기 실시예에서는, 반송대차(3)는 자차로 주행하고, 궤도부(4), 궤도부(5) 및 이동 궤도부(6A, 6B)는 반송대차(3)를 주행시키는 레일을 가지고 있지만, 반송대차(3)는 자차로는 주행하지 않고, 궤도부(4), 궤도부(5) 및 이동 궤도부(6A)는 반송대차(3)를 운반하여 주행시키는 컨베이어 등을 가지고 있어도 좋다.

또한 상기 실시예에서는, 이동 궤도부(6A, 6B)는, 궤도부(4) 및 궤도부(5)와는 별도로 설치되어 있지만, 이동 궤도부(6A, 6B)는, 궤도부(4) 및 궤도부(5)로부터 분할된 일부분의 레일을 이동시키는 장치(소위 트래버서) 등이어도 좋다.

또한 상기 실시예에서는, 궤도부(4)와 궤도부(5)는, 수평 방향 및 수직 방향에서 이간되어 있고, 이동 궤도부(6A, 6B)는, 궤도부(4)와 동등한 높이의 위치(A1, B1)와 궤도부(5)와 동등한 높이의 위치(A2, B2)와의 사이를 승강하는 구성이지만, 이에 한정되지 않는다. 궤도부(4)와 궤도부(5)는, 이간하는 위치에 설치되고, 이동 궤도부(6A, 6B)는, 궤도부(4)와 접속되고 또한 궤도부(5)로부터 이간되는 위치와, 궤도부(5)와 접속되고 또한 궤도부(4)로부터 이간되는 위치와의 사이를 이동하고, 반송대차(3)를 주행시키는 구성이면 된다. 예를 들면, 이하와 같은 구성이어도 좋다.

예를 들면, 궤도부(4)와 궤도부(5)는, 수평 방향에서는 이간하지만 수직 방향에서는 동등한 위치에 배치되고, 이동 궤도부(6A, 6B)는, 궤도부(4)와 궤도부(5)의 사이를 수평 방향을 따라 이동하는 구성이어도 좋다. 이 구성의 경우, 이동 궤도부(6A, 6B)를, 수평 방향 중 당해 이동 궤도부(6A, 6B)의 이동 방향을 따라 연장하는 궤도로 하면, 반송대차(3)를, 이동 궤도부(6A, 6B)의 이동 방향을 따라 주행시킬 수 있다.

또한, 예를 들면, 궤도부(4)와 궤도부(5)는, 수평 방향에서 동등한 위치이지만 수직 방향에서 이간하는 위치에 배치되고, 이동 궤도부(6A, 6B)는, 궤도부(4)와 궤도부(5)의 사이를 수직 방향을 따라 이동하는 구성이어도 좋다. 이 구성의 경우, 이동 궤도부(6A, 6B)를, 수직 방향을 따라 연장하는 궤도로 하고, 반송대차(3)를 수직 방향을 따라 주행시킬 수 있다.

또한 상기 실시예에서는, 이동 궤도부(6A)의 주행 길이(L1)는, V1·T1 이상으로 설정되어 있지만, V1·T1 이하여도 좋다. 이 경우, 예를 들면, 반송대차(3)가 제동 포인트(P1)를 통과하는 시점에 있어서, 검지부(71)에 의해 이동 궤도부(6A)와 궤도부(5)의 접속은 검지되지 않는다. 따라서, 제동 지령부(72)로부터 반송대차(3)에 제동이 지령되고, 반송대차(3)는 이동 궤도부(6A) 상에서 일단 정지 또는 감속한다. 그리고, 검지부(71)에 의해 이동 궤도부(6A)와 궤도부(5)의 접속이 검지된 시점에서, 제동 지령부(72)는 반송대차(3)에 주행을 지령하고, 반송대차(3)는 접속부(51A)로부터 궤도부(5)로 이동한다. 또한, 이동 궤도부(6B)의 주행 길이(L2)에 대해서도 마찬가지이다.

또한 상기 실시예에서는, 제 1 검지부 및 제 2 검지부는, 1 개의 검지부(71)로서 설치되어 있지만, 각각 설치되어 있어도 좋다. 제 1 제동 지령부 및 제 2 제동 지령부에 대해서도 마찬가지이다.

또한 상기 실시예에서는, 반송 장치(1)는, 클린 룸(100) 내에서 반도체 웨이퍼 또는 글라스 기판 등의 피반송물(R)을 반송하는 경우에 적용되고 있지만, 일반적인 유통 분야에서도 적용 가능하다.

1 : 반송 장치
3 : 반송대차
4, 5 : 궤도부(제 1 궤도부, 제 2 궤도부)
6A, 6B : 이동 궤도부(제 3 궤도부)
71 : 검지부
72 : 제동 지령부
P1, P2 : 제동 포인트
A1, A2, B1, B2 : 위치(제 1 위치, 제 2 위치)

Claims

반송대차와,
상기 반송대차를 주행시키는 제 1 궤도부와,
상기 제 1 궤도부로부터 이간되어 있고, 상기 반송대차를 주행시키는 제 2 궤도부와,
상기 제 1 궤도부와 접속되고 또한 상기 제 2 궤도부로부터 이간되는 제 1 위치와, 상기 제 2 궤도부와 접속되고 또한 상기 제 1 궤도부로부터 이간되는 제 2 위치와의 사이를 이동하고, 상기 반송대차를 주행시키는 제 3 궤도부를 구비하고,
상기 제 1 위치는 상기 제 2 위치와 높이가 상이하고,
상기 제 3 궤도부는, 상기 제 1 위치와 상기 제 2 위치의 사이를 승강하고,
상기 반송대차는 상기 제 3 궤도부가 상기 제 1 위치에 있을 때, 상기 제 1 궤도부로부터 상기 제 3 궤도부로 진입하고, 상기 제 3 궤도부가 이동하고 있을 때, 상기 제 3 궤도부를 주행하고, 상기 제 3 궤도부가 상기 제 2 위치에 있을 때, 상기 제 3 궤도부를 주행하고 있는 상태에서 정지하지 않고 상기 제 2 궤도부로 퇴출하고,
상기 제 3 궤도부가 상기 제 1 위치로부터 상기 제 2 위치로 이동하는데 필요로 하는 시간을 T로 하고, 상기 제 3 궤도부에서의 상기 반송대차의 정상 속도를 V로 한 경우에,
상기 제 3 궤도부의 주행 길이(L)는, V·T 이상으로 설정되어 있고,
상기 반송대차는, 상기 제 3 궤도부가 이동하고 있을 때, 상기 제 3 궤도부를 상기 정상 속도로 계속하여 주행하는 반송 장치.
삭제
제 1 항에 있어서,
상기 제 3 궤도부가 상기 제 1 궤도부에 접속된 것을 검지하는 제 1 검지부와,
상기 반송대차에 제동을 지령하는 제 1 제동 지령부를 더 구비하고,
상기 제 1 궤도부를 정상 속도로 주행하는 상기 반송대차의 제동 거리를 SI로 한 경우에,
상기 제 1 제동 지령부는, 상기 제 1 궤도부에서의 상기 제 3 궤도부측의 단부로부터 상기 제동 거리(SI) 이상 이간한 위치에 설정된 제동 포인트에 상기 반송대차가 도달한 경우에 있어서, 상기 제 1 검지부에 의해 상기 제 3 궤도부가 상기 제 1 궤도부에 접속된 것이 검지되지 않을 때에는, 상기 반송대차에 제동을 지령하는 반송 장치.
제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,
상기 제 3 궤도부가 상기 제 2 궤도부에 접속된 것을 검지하는 제 2 검지부와,
상기 반송대차에 제동을 지령하는 제 2 제동 지령부를 더 구비하고,
상기 제 3 궤도부를 정상 속도로 주행하는 상기 반송대차의 제동 거리를 SE로 한 경우에,
상기 제 2 제동 지령부는, 상기 제 3 궤도부에서의 상기 제 2 궤도부측의 단부로부터 상기 제동 거리(SE) 이상 이간한 위치에 설정된 제동 포인트에 상기 반송대차가 도달한 경우에 있어서, 상기 제 2 검지부에 의해 상기 제 3 궤도부가 상기 제 2 궤도부에 접속된 것이 검지되지 않을 때에는, 상기 반송대차에 제동을 지령하는 반송 장치.
삭제