CN1257827C - 同位多轨式自动化传送系统及方法 - Google Patents

Abstract

一种同位多轨式自动化传送系统。该同位多轨式自动化传送系统包括一主轨道、多个搬运台车、一装卸轨道、一仓储装置、一节流轨道以及一紧急退出轨道。搬运台车在主轨道上行进。装卸轨道连接于主轨道，并且具有一第一入口端以及一第一出口端。仓储装置设置在装卸轨道旁，搬运台车经由装卸轨道而停靠于仓储装置，以装载或卸载一物料。节流轨道连接于主轨道，并且具有一第二入口端以及一第二出口端。紧急退出轨道连接于主轨道，搬运台车可经由紧急退出轨道而离开主轨道。

Description

同位多轨式自动化传送系统及方法

技术领域

本发明涉及一种自动化传送系统及方法，特别是关于一种可使传送效率更加提高的同位多轨式自动化传送系统及方法。

背景技术

一般来说，目前半导体工厂主要采用高架吊车架设起重机(OHTover-head hoist)型或高架梭车架设输送机(OHS over-head shuttle)型的自动化传送系统来搬运晶片。

参阅图1，为便于说明，一公知的自动化传送系统1具有一传送轨道11以及数个搬运台车12、13、14、15。这些搬运台车12、13、14、15可以是OHT型或OHS型的搬运台车，并且装载有晶片装卸模块(foup)16。在传送轨道11旁边则设置有数个前开式晶片标准容器仓储装置17、18。当搬运台车12、13、14、15行进至前开式晶片标准容器仓储装置17、18之旁时，可将其所装载的前开式晶片标准容器16移置在前开式晶片标准容器仓储装置17、18中，然后搬运台车12、13、14、15再沿着传送轨道11继续前进。

然而，这种公知的自动化传送系统1具有诸多缺点，分别叙述如下。首先，当搬运台车14行进至前开式晶片标准容器仓储装置17旁以执行移置前开式晶片标准容器16的动作时，其后方的搬运台车15必须停下等候，直到搬运台车14的卸载动作完成，因此会使自动化传送系统1产生堵塞停顿情况。再有，当搬运台车14已在前开式晶片标准容器仓储装置17卸下其所装载的前开式晶片标准容器16后，搬运台车14仍必须沿着传送轨道11前进，直到走完整个传送流程为止，这就增加了搬运台车14不必要的行进路程。此外，如搬运台车(例如搬运台车13)发生故障而停止不动时，则会连代其后方的搬运台车14、15跟着一起无法前进，因此严重影响制造过程的进行。

因此，本发明的目的是提供一种同位多轨式自动化传送系统，其可大幅度提高前开式晶片标准容器的传送效率，即使当搬运台车发生故障时，也不至于影响整个制造过程的进行，进而有效的改善制造的效率。

发明内容

本发明的一目的提供一种同位多轨式自动化传送系统。该同位多轨式自动化传送系统包括一主轨道；多个搬运台车，其在该主轨道上行进；一装卸轨道，具有一第一入口端以及一第一出口端，其中该第一入口端以及第一出口端连接在该主轨道上，搬运台车经由第一入口端进入装卸轨道，并且经由第一出口端再进入主轨道；一仓储装置，设置在装卸轨道旁，其中，这些搬运台车经由装卸轨道而停靠于仓储装置，以便装载或卸载一物料；一节流轨道，具有一第二入口端以及一第二出口端，其中，该第二入口端以及第二出口端连接在主轨道上，这些搬运台车经由第二入口端进入节流轨道，并且经由第二出口端再进入主轨道；以及一紧急退出轨道，连接于主轨道，其中这些搬运台车经由紧急退出轨道而离开主轨道。

同时，根据本发明的同位多轨式自动化传送系统，还包括一第一程序控制装置，设置在第一出口端与主轨道的连接处，用以控制搬运台车的通过顺序。

根据如上所述的系统，还包括一第二顺序控制装置，设置在第二出口端与主轨道的连接处，用以控制搬运台车的通过顺序。

根据如上所述的系统，该物料是一前开式晶片标准容器。

根据如上所述的系统，该仓储装置是一前开式晶片标准容器仓储装置

根据如上所述的系统，搬运台车是OHS型搬运台车。

根据如上所述的系统，搬运台车是OHT型搬运台车。

根据如上所述的系统，还包括一机械手，设置于装卸轨道与仓储装置之间，用以将物料装载或卸载在搬运台车上。

本发明的另一目的是提供一种同位多轨式自动化传送方法，适用于包括一主轨道、多个搬运台车、一装卸轨道、一仓储装置、一节流轨道以及一紧急退出轨道的同位多轨式自动化传送系统中，其中，搬运台车在主轨道上行进，该装卸轨道具有一第一入口端以及一第一出口端，第一入口端以及第一出口端连接于主轨道，仓储装置设置在装卸轨道旁，节流轨道具有一第二入口端以及一第二出口端，该第二入口端以及第二出口端连接于主轨道，紧急退出轨道连接于主轨道，该方法包括下列步骤：当搬运台车需要装载或卸载一物料时，将搬运台车经由第一入口端导入装卸轨道；将搬运台车停靠在仓储装置，以便装载或卸载物料；将搬运台车经由第一出口端导入主轨道；将搬运台车经由第二入口端导入节流轨道，以便节省搬运台车的行进时间；将搬运台车经由第二出口端导入主轨道；以及当搬运台车发生故障时，将搬运台车导入紧急退出轨道，以便离开主轨道。

同时，根据本发明的同位多轨式自动化传送方法，还包括一步骤：即用一机械手将物料装载或卸载在搬运台车上。

根据上述方法，还包括一步骤：即用一第一顺序控制装置来控制经由第一出口端导入该主轨道以及在该主轨道上行进的搬运台车的通过顺序。

根据如上所述的方法，还包括一步骤：即用一第二顺序控制装置来控制经由第二出口端导入该主轨道以及在主轨道上行进的搬运台车的通过顺序。

为使本发明的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例并配合附图做详细说明。

附图说明

图1显示一公知的自动化传送系统的示意图；以及

图2显示本发明的同位多轨式自动化传送系统的示意图。

具体实施方式

配合附图说明本发明的较佳实施例。

参阅图2，本发明的同位多轨式自动化传送系统100主要包括一主轨道110、多个搬运台车120、多个装卸轨道130、多个仓储装置140、多个节流轨道150以及多个紧急退出轨道160。每一个装卸轨道130都具有一第一入口端131以及一第一出口端132，并且第一入口端131以及第一出口端132连接于主轨道110。仓储装置140设置在装卸轨道130旁边。每一个节流轨道150都具有一第二入口端151以及一第二出口端152，并且第二入口端151以及第二出口端152也连接于主轨道110。紧急退出轨道160则是连接于主轨道110，并可设置在主轨道110的任何部分。

在该实施例中，搬运台车120可以是OHT型或OHS型的搬运台车，在搬运台车120上可装载有一前开式晶片标准容器(foup)170，而仓储装置140则为一前开式晶片标准容器仓储装置。

参阅图2，搬运台车120主要是在主轨道110上行进，当一搬运台车120被要求在前开式晶片标准容器仓储装置140处卸载前开式晶片标准容器170时，该搬运台车120将经由第一入口端131进入装卸轨道130，而其余的搬运台车120则继续沿主轨道110行进，所以不会造成主轨道110上的搬运台车120堵塞等候的情况。同时，当搬运台车120停靠在前开式晶片标准容器仓储装置140时，可以利用一机械手(未显示)来卸载搬运台车120上的前开式晶片标准容器170。接着，卸载后的搬运台车120可以经由第一出口端132再进入主轨道110。

此后，由于卸载后的搬运台车120已完成其传送任务，所以没有必要再继续沿着主轨道110行进，因此，卸载后的搬运台车120可经由第二入口端151进入节流轨道150，然后再经由第二出口端152进入主轨道110，并返回至主轨道110的出发点。值得注意的是，在主轨道110上可设置有多个节流轨道150，因此任何一台搬运台车120在完成其传送任务后，都可经由距其最近的节流轨道150返回至主轨道110的出发点。而这些先完成传送任务并先返回的搬运台车120，可以再装载前开式晶片标准容器170，以进行另一次传送任务，因此，所需的时间可以大幅度减少。

此外，如图2所示，由于主轨道110上还设置有多个紧急退出轨道160，所以万一有搬运台车120发生故障而无法行进时，可以将发生故障的搬运台车120引导至最近的紧急退出轨道160上，以便于进行维修。因此，即使搬运台车120发生故障而无法行进时，也不会影响同位多轨式自动化传送系统100的全部运作。

如上所述，本发明的同位多轨式自动化传送系统100还具有另一特点，如图2所示，在装卸轨道130的第一出口端132与主轨道110的连接处，还具有一第一顺序控制装置180，该第一顺序控制装置180用于控制搬运台车120的通过顺序。也就是说，当卸载后的搬运台车120准备经由装卸轨道130的第一出口端132进入主轨道110的同时，主轨道110上也可能会有搬运台车120通过第一出口端132与主轨道110的连接处，因此，当卸载后的搬运台车120或主轨道110上的搬运台车120到达第一顺序控制装置180时，通过第一顺序控制装置180的分析对比，来决定哪一台搬运台车120可以先行通过第一出口端132与主轨道110的连接处，这样即可避免二搬运台车120发生碰撞。

同样，在节流轨道150的第二出口端152与主轨道110的连接处也具有一第二顺序控制装置190，该第二顺序控制装置190也是用来控制搬运台车120的通过顺序。换句话说，当搬运台车120准备经由节流轨道150的第二出口端152进入主轨道110的同时，主轨道110上也可能会有搬运台车120通过第二出口端152与主轨道110的连接处，因此，当来自节流轨道150的搬运台车120或主轨道110上的搬运台车120到达第二顺序控制装置190时，通过第二顺序控制装置190的分析对比，来决定哪一台搬运台车120可以先行通过第二出口端152与主轨道110的连接处，因此即可避免二搬运台车120发生碰撞。

综上所述，本发明的同位多轨式自动化传送系统100具有以下的优点：

(1)可大幅度提高传送效率，并节省运作时间。

(2)在系统或搬运台车发生故障时可降低影响范围，不至于影响自动化传送的全面运作。

虽然本发明已以较佳实施例揭示，但其并非用以限制本发明，任何本领域的技术人员，在不脱离本发明的实质和范围内，可作出更动与修改，因此本发明的保护范围是以后附的权利要求书所界定。

Claims (19)

1.一种同位多轨式自动化传送系统，包括：

一主轨道；

多个搬运台车，其在所述主轨道上行进；

一装卸轨道，具有一第一入口端以及一第一出口端，其中，所述第一入口端以及第一出口端连接于主轨道，所述搬运台车经由第一入口端进入装卸轨道，并且经由第一出口端再进入主轨道；

一仓储装置，设置在装卸轨道旁，其中搬运台车经由装卸轨道而停靠于仓储装置，以便装载或卸载一物料；

一节流轨道，具有一第二入口端以及一第二出口端，其中所述第二入口端以及第二出口端连接于主轨道，搬运台车经由第二入口端进入节流轨道，并且经由第二出口端再进入主轨道；以及

一紧急退出轨道，连接于主轨道，其中搬运台车经由紧急退出轨道而离开主轨道。

2.如权利要求1所述的同位多轨式自动化传送系统，还包括一第一顺序控制装置，设置在第一出口端与该主轨道的连接处，用以控制搬运台车的通过顺序。

3.如权利要求1所述的同位多轨式自动化传送系统，还包括一第二顺序控制装置，设置在第二出口端与主轨道的连接处，用以控制搬运台车的通过顺序。

4.如权利要求1所述的同位多轨式自动化传送系统，其中所述物料是一前开式晶片标准容器。

5.如权利要求1所述的同位多轨式自动化传送系统，其中所述仓储装置是一前开式晶片标准容器仓储装置。

6.如权利要求1所述的同位多轨式自动化传送系统，其中所述搬运台车为高架梭车型搬运台车。

7.如权利要求1所述的同位多轨式自动化传送系统，其中所述搬运台车为高架吊车型搬运台车。

8.如权利要求1所述的同位多轨式自动化传送系统，还包括一机械手，设置于装卸轨道与仓储装置之间，用以将物料装载或卸载于搬运台车。

9.一种同位多轨式自动化传送方法，适用于具有一主轨道、多个搬运台车、一装卸轨道、一仓储装置、一节流轨道以及一紧急退出轨道的一同位多轨式自动化传送系统中，其中，所述搬运台车在主轨道上行进，装卸轨道具有一第一入口端以及一第一出口端，第一入口端以及第一出口端连接于主轨道，仓储装置设置在装卸轨道旁，节流轨道具有一第二入口端以及一第二出口端，第二入口端以及第二出口端连接于主轨道，以及紧急退出轨道连接于该主轨道，该方法包括下列步骤：

当搬运台车需要装载或卸载一物料时，将搬运台车经由第一入口端导入装卸轨道；

将搬运台车停靠在仓储装置以便装载或卸载物料；

将搬运台车经由第一出口端导入主轨道；

将搬运台车经由第二入口端导入节流轨道，以节省搬运台车的行进时间；

将搬运台车经由第二出口端导入主轨道；以及

当搬运台车发生故障时，将搬运台车导入紧急退出轨道，以便离开主轨道。

10.如权利要求9所述的同位多轨式自动化传送方法，其中在停靠搬运台车于仓储装置以装载或卸载物料的步骤中，还包括一步骤：

用一机械手将物料装载或卸载在搬运台车。

11.如权利要求10所述的同位多轨式自动化传送方法，其中所述机械手设置在装卸轨道与仓储装置之间。

12.如权利要求9所述的同位多轨式自动化传送方法，其中在将搬运台车经由第一出口端导入主轨道的步骤中，还包括一步骤：

用一第一顺序控制装置来控制经由第一出口端导入主轨道的搬运台车以及在主轨道上行进的搬运台车的通过顺序。

13.如权利要求12所述的同位多轨式自动化传送方法，其中所述第一顺序控制装置设置在第一出口端与主轨道的连接处。

14.如权利要求9所述的同位多轨式自动化传送方法，其中在将搬运台车经由第二出口端导入主轨道的步骤中，还包括一步骤：

用一第二顺序控制装置来控制经由第二出口端导入主轨道的搬运台车以及在主轨道上行进的搬运台车的通过顺序。

15.如权利要求14所述的同位多轨式自动化传送方法，其中所述第二顺序控制装置设置在第二出口端与主轨道的连接处。

16.如权利要求9所述的同位多轨式自动化传送方法，其中所述物料是一前开式晶片标准容器。

17.如权利要求9所述的同位多轨式自动化传送方法，其中所述仓储装置是一前开式晶片标准容器仓储装置。

18.如权利要求9所述的同位多轨式自动化传送方法，其中所述搬运台车是高架梭车型搬运台车。

19.如权利要求9所述的同位多轨式自动化传送方法，其中所述搬运台车是高架吊车型搬运台车。

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