JP2013219282A

JP2013219282A - 搬送装置

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Publication number: JP2013219282A
Application number: JP2012090407A
Authority: JP
Inventors: Takashi Suzuki; 高志鈴木
Original assignee: Murata Machinery Ltd
Current assignee: Murata Machinery Ltd
Priority date: 2012-04-11
Filing date: 2012-04-11
Publication date: 2013-10-24
Anticipated expiration: 2032-04-11
Also published as: TW201343530A; CN103373588B; CN103373588A; JP5617868B2; KR20130115138A; KR101655887B1

Abstract

【課題】二つの軌道間で搬送台車の移動を行う場合に、搬送効率の低下を抑制することができる搬送装置を提供すること。
【解決手段】搬送装置１は、搬送台車３を走行させる軌道部４と、軌道部４から離間されており、搬送台車３を走行させる軌道部５と、軌道部４と接続され且つ軌道部５から離間される位置Ａ１と、軌道部５と接続され且つ軌道部４から離間される位置Ａ２との間を昇降し、搬送台車を走行させる移動軌道部６Ａと、軌道部４と接続され且つ軌道部５から離間される位置Ｂ１と、軌道部５と接続され且つ軌道部４から離間される位置Ｂ２との間を昇降し、搬送台車を走行させる移動軌道部６Ｂと、を備える。
【選択図】図２

Description

本発明は、例えば半導体ウェハやガラス基板等の被搬送物を搬送するための搬送装置に関する。

従来、半導体ウェハやガラス基板等の被搬送物を搬送するための搬送装置が知られている。このような搬送装置に関する技術として、例えば特許文献１には、搬送台車の軌道を挟む一方側の領域から他方側の領域に各種装置等を移動するために、軌道の一部分を移動可能にした技術が開示されている。また、特許文献２，３には、二つの軌道を備える搬送装置において、二つの軌道間で搬送台車の移動を行うために、軌道の一部分を移動可能にした技術が開示されている。

特開２００５−１５２０１号公報特開２００４−５０８７１号公報特開２００７−３２６７０６号公報

ところで、二つの軌道間で搬送台車の移動を行う搬送装置においては、二つの軌道が互いに離間している程、搬送台車を移動させる時間が長くなり、搬送効率が低下するおそれがある。

本発明は、このような課題を解決するために成されたものであり、二つの軌道間で搬送台車の移動を行う場合に、搬送効率の低下を抑制することができる搬送装置を提供することを目的とする。

本発明に係る搬送装置は、搬送台車と、搬送台車を走行させる第１の軌道部と、第１の軌道部から離間されており、搬送台車を走行させる第２の軌道部と、第１の軌道部と接続され且つ第２の軌道部から離間される第１の位置と、第２の軌道部と接続され且つ第１の軌道部から離間される第２の位置との間を移動し、搬送台車を走行させる第３の軌道部と、を備え、搬送台車は、第３の軌道部が第１の位置にあるときに、第１の軌道部から第３の軌道部へと進入し、第３の軌道部が移動しているときに、第３の軌道部を走行し、第３の軌道部が第２の位置にあるときに、第３の軌道部から前記第２の軌道部へと退出する。

この搬送装置では、第１の軌道部と接続され且つ第２の軌道部から離間される第１の位置と、第２の軌道部と接続され且つ第１の軌道部から離間される第２の位置との間を移動する第３の軌道部が、搬送台車を走行させるようになっている。従って、第３の軌道部が搬送台車を走行させつつ第１の位置と第２の位置との間を移動することで、搬送台車が第１の軌道部と第２の軌道部との間の移動に要する移動時間を低減することができる。よって、この搬送装置によれば、二つの軌道間で搬送台車の移動を行う場合に、搬送効率の低下を抑制することができる。

また、第３の軌道部が第１の位置から第２の位置に移動するのに要する時間をＴとし、第３の軌道部における搬送台車の定常速度をＶとした場合に、第３の軌道部の走行長さＬは、Ｖ・Ｔ以上に設定されていてもよい。この構成によれば、搬送台車は、第３の軌道部が移動している間に第３の軌道部を走行し続けることが可能となるため、第１の軌道部と第２の軌道部との間を停止することなく移動することができる。従って、搬送台車が第１の軌道部と第２の軌道部との間の移動に要する移動時間をさらに低減することができる。

また、搬送装置は、第３の軌道部が第１の軌道部に接続されたことを検知する第１の検知部と、搬送台車に制動を指令する第１の制動指令部と、を更に備え、第１の軌道部を定常速度で走行する搬送台車の制動距離をＳＩとした場合に、第１の制動指令部は、第１の軌道部における第３の軌道部側の端部から制動距離ＳＩ以上離間した位置に設定された制動ポイントに搬送台車が到達した場合において、第１の検知部によって第３の軌道部が第１の軌道部に接続されたことが検知されないときには、搬送台車に制動を指令してもよい。この構成によれば、第３の軌道部が第１の軌道部に接続される前に、搬送台車が第１の軌道部から逸脱することを防止することができる。

また、搬送装置は、第３の軌道部が第２の軌道部に接続されたことを検知する第２の検知部と、搬送台車に制動を指令する第２の制動指令部と、を更に備え、第３の軌道部を定常速度で走行する搬送台車の制動距離をＳＥとした場合に、第２の制動指令部は、第３の軌道部における第２の軌道部側の端部から制動距離ＳＥ以上離間した位置に設定された制動ポイントに搬送台車が到達した場合において、第２の検知部によって第３の軌道部が第２の軌道部に接続されたことが検知されないときには、搬送台車に制動を指令してもよい。この構成によれば、第３の軌道部が第２の軌道部に接続される前に、搬送台車が第３の軌道部から逸脱することを防止することができる。

また、第１の位置は、第２の位置と高さが異なり、第３の軌道部は、第１の位置と第２の位置との間を昇降する構成としてもよい。

本発明によれば、二つの軌道間で搬送台車の移動を行う場合に、搬送効率の低下を抑制し得る搬送装置を提供することが可能となる。

本発明に係る搬送装置の一実施形態の平面図である。図１の搬送装置の一方向の側面図である。図１の搬送装置の他方向の側面図である。

以下、図面を参照しつつ本発明の搬送装置の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、同一又は相当要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。

図１に示されるように、搬送装置１は、例えば、半導体装置や液晶表示装置等の製造工場のクリーンルーム１００に設けられ、半導体ウェハやガラス基板等の被搬送物Ｒを搬送する。クリーンルーム１００には、半導体ウェハやガラス基板等が保管されるストッカ２が床面上に複数設けられている。このようなクリーンルーム１００に設けられている搬送装置１は、複数の搬送台車３、軌道部（第１の軌道部、第２の軌道部）４，５及び移動軌道部（第３の軌道部）６Ａ，６Ｂを備えている。なお、ストッカ２は、設けられていない場合もある。

搬送台車３は、例えば軌道上を走行するＯＨＳ（Overhead Shuttle）有軌道式無人搬送車であって、搬送元から搬送先への走行ルートを自車で作成し、軌道部４，５及び移動軌道部６Ａ，６Ｂを含む走行路網における自車の位置を把握しながら、被搬送物Ｒを搬送元から搬送先に搬送する。搬送元及び搬送先としては、ストッカ２の他、被搬送物に各種処理を施すためのステーション等がある。搬送台車３は、制御部７と通信可能とされている。搬送台車３は、例えば、非接触電源やケーブルにより外部から供給される電力で駆動されてもよいし、バッテリを搭載して当該バッテリの電力で駆動されてもよい。また、搬送台車３は、軌道に懸吊して走行するＯＨＴ（Overhead hoist Transport）等といった、他の形式の無人搬送車であってもよい。

各軌道部４，５は、搬送台車３を走行させるレールを有しており、搬送台車３が複数のストッカ２の周囲を走行することができるように、クリーンルーム１００の床面１０１（図２参照）に沿って設けられている。軌道部４及び軌道部５は、水平方向において互いに離間して配置されており、それぞれ周回軌道（ループ）をなしている。軌道部４には、移動軌道部６Ａが接続される接続部４１Ａ、及び移動軌道部６Ｂが接続される接続部４１Ｂが設けられている。また、軌道部５には、移動軌道部６Ａが接続される接続部５１Ａ、及び移動軌道部６Ｂが接続される接続部５１Ｂが設けられている。

図２は、図１中のＡ方向から見た搬送装置１の側面図である。図２に示されるように、クリーンルーム１００の床面１０１から軌道部４までの高さｈ１は、例えば４ｍ程度とされている。また、床面１０１から軌道部５までの高さｈ２は、例えば６ｍ程度とされている。このように、軌道部４及び軌道部５は、床面１０１からの高さが異なっており、水平方向に加えて、鉛直方向においても互いに離間して配置されている。

軌道部４には、制動ポイントＰ４が設けられている。搬送台車３の軌道部４における定常速度をＶ４とし、軌道部４を定常速度Ｖ４で走行する搬送台車３の制動距離をＳ４（制動距離ＳＩ）とした場合、制動ポイントＰ４から接続部４１Ａの端部までの軌道上における距離Ｄ４は、制動距離Ｓ４以上に設定されている。接続部４１Ａの端部には、搬送台車３が接続部４１Ａから落下するのを防止するための機械式のストッパーが設けられている。このストッパーは、軌道部４と移動軌道部６Ａとの接続が検知されるまでは軌道を閉鎖し、当該接続が検知されると軌道を開放するようになっている。なお、ストッパーは、機械式のものであることが好ましいが、他の方式のものであってもよい。

図３は、図１中のＢ方向から見た搬送装置１の側面図である。図３に示されるように、軌道部５には、制動ポイントＰ５が設けられている。搬送台車３の軌道部５における定常速度をＶ５とし、軌道部５を定常速度Ｖ５で走行する搬送台車３の制動距離をＳ５（制動距離ＳＩ）とした場合、制動ポイントＰ５から接続部５１Ｂの端部までの軌道上における距離Ｄ５は、制動距離Ｓ５以上に設定されている。接続部５１Ｂの端部には、軌道部４の端部に設けられたストッパーと同様なストッパーが設けられている。

図１に戻り、移動軌道部６Ａは、搬送台車３を軌道部４から軌道部５に移動させるものであり、軌道部４と軌道部５との間に設けられている。また、移動軌道部６Ｂは、搬送台車３を軌道部５から軌道部４に移動させるものであり、軌道部４と軌道部５との間に設けられている。一対の移動軌道部６Ａ，６Ｂは、床面１０１に沿った略直線状を呈しており、互いに略平行に設けられている。各移動軌道部６Ａ，６Ｂは、搬送台車３を走行させるレールを有している。なお、移動軌道部６Ａ，６Ｂは、必ずしも互いに略平行に設けられている必要はない。

図２に示されるように、移動軌道部６Ａは、床面１０１から上方に向かって突出した複数の昇降部８により支持されている。各昇降部８は、例えば、床面１０１に固定された部材に対して鉛直方向にスライド可能な部材を取り付ける構成等により、床面１０１からの高さｈ３が調整可能とされている。これにより、昇降部８に支持された移動軌道部６Ａは、軌道部４と同等の高さの位置Ａ１と、軌道部５と同等の高さの位置Ａ２との間を昇降可能とされている。なお、昇降部８は、１つであってもよい。また、移動軌道部６Ａは、当該移動軌道部６Ａをワイヤにより上方から吊り下げ、当該ワイヤをウインチで巻き取ること等により昇降可能な構成としてもよい。この移動軌道部６Ａの昇降は、搬送装置１が備える制御部７によって制御される。

位置Ａ１では、移動軌道部６Ａの一方の端部６１Ａは、軌道部４の接続部４１Ａと接続される。このとき、移動軌道部６Ａの他方の端部６２Ａは、軌道部５の接続部５１Ａから離間される。一方、位置Ａ２では、移動軌道部６Ａの他方の端部６２Ａは、軌道部５の接続部５１Ａと接続される。このとき、移動軌道部６Ａの一方の端部６１Ａは、軌道部４の接続部４１Ａから離間される。

移動軌道部６Ａの走行長さＬ１（端部６１Ａと端部６２Ａとの間の距離）は、移動軌道部６Ａが位置Ａ１から位置Ａ２に上昇するのに要する時間をＴ１とし、搬送台車３の移動軌道部６Ａにおける定常速度をＶ１とした場合に、Ｖ１・Ｔ１以上に設定されている。すなわち、走行長さＬ１は、移動軌道部６Ａが位置Ａ１から位置Ａ２に上昇する間に、搬送台車３が移動軌道部６Ａを停止せずに定常速度Ｖ１で走行することができる長さ以上となっている。

また、移動軌道部６Ａには、制動ポイントＰ１が設けられている。移動軌道部６Ａを定常速度Ｖ１で走行する搬送台車３の制動距離をＳ１（制動距離ＳＥ）とした場合、制動ポイントＰ１から端部６２Ａまでの距離Ｄ１は、制動距離Ｓ１以上に設定されている。移動軌道部６Ａの端部６１Ａには、軌道部４の端部に設けられたストッパーと同様なストッパーが設けられている。

図３に示されるように、移動軌道部６Ｂは、移動軌道部６Ａと同様な構成により、軌道部４と同等の高さの位置Ｂ１と、軌道部５と同等の高さの位置Ｂ２との間を昇降可能とされている。この移動軌道部６Ｂの昇降は、制御部７によって制御される。

位置Ｂ１では、移動軌道部６Ｂの一方の端部６１Ｂは、軌道部４の接続部４１Ｂと接続される。このとき、移動軌道部６Ｂの他方の端部６２Ｂは、軌道部５の接続部５１Ｂから離間される。一方、位置Ｂ２では、移動軌道部６Ｂの他方の端部６２Ｂは、軌道部５の接続部５１Ｂと接続される。このとき、移動軌道部６Ｂの一方の端部６１Ｂは、軌道部４の接続部４１Ｂから離間される。

移動軌道部６Ｂの走行長さＬ２（端部６１Ｂと端部６２Ｂとの間の距離）は、移動軌道部６Ｂが位置Ｂ２から位置Ｂ１に下降するのに要する時間をＴ２とし、搬送台車３の移動軌道部６Ｂにおける定常速度をＶ２とした場合に、Ｖ２・Ｔ２以上に設定されている。すなわち、走行長さＬ２は、移動軌道部６Ｂが位置Ｂ２から位置Ｂ１に下降する間に、搬送台車３が移動軌道部６Ｂを停止せずに定常速度Ｖ２で走行することができる長さ以上となっている。

また、移動軌道部６Ｂには、制動ポイントＰ２が設けられている。移動軌道部６Ｂを定常速度Ｖ２で走行する搬送台車３の制動距離をＳ２（制動距離ＳＥ）とした場合、制動ポイントＰ２から端部６１Ｂまでの距離Ｄ２は、制動距離Ｓ２以上に設定されている。移動軌道部６Ｂの端部６１Ｂには、移動軌道部６Ａの端部６２Ａに設けられたストッパーと同様なストッパーが設けられている。

制御部７は、搬送装置１全体の制御を行うものであり、例えば、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ等からなる電子制御ユニットである。制御部７は、処理部として、少なくとも検知部（第１の検知部、第２の検知部）７１及び制動指令部（第１の制動指令部、第２の制動指令部）７２を有している。制御部７は、ＲＯＭに格納されているプログラムをＲＡＭ上にロードし、ＣＰＵで実行することによって、検知部７１及び制動指令部７２をソフトウェアで構成する。なお、制御部７の各処理部は、ハードウェアで構成されてもよい。

検知部７１は、移動軌道部６Ａ，６Ｂが軌道部４又は軌道部５に接続されたことを検知する。検知部７１は、移動軌道部６Ａ，６Ｂが軌道部４又は軌道部５に接続されたことを検知すると、制動指令部７２に対して検知信号を送信する。制動指令部７２は、所定条件下において、搬送台車３に制動を指令する。検知部７１及び制動指令部７２については、以下でより詳細に説明する。

次に、搬送装置１の動作について説明する。まず、搬送台車３が軌道部４から軌道部５に移動する場合について説明する。図２に示されるように、軌道部４を走行中の搬送台車３は、制動ポイントＰ４を通過する際に、制御部７に対して、軌道部４から軌道部５への移動の要求を送信する。制御部７が要求を受信すると、検知部７１は、例えば、近接センサ等により、移動軌道部６Ａと軌道部４との接続を検知する。なお、移動軌道部６Ａと軌道部５との接続、及び移動軌道部６Ｂと軌道部４，５との接続についても、同様な手段により検知される。移動軌道部６Ａと軌道部４との接続が検知された場合、制動指令部７２は搬送台車３に制動を指令することなく、搬送台車３はそのまま定常速度Ｖ４で走行を続けて無停止で接続部４１Ａから移動軌道部６Ａへと進入する。

一方、移動軌道部６Ａと軌道部４との接続が検知されない場合、制御部７は、移動軌道部６Ａに対して位置Ａ１まで移動するように指令すると共に、制動指令部７２は、搬送台車３に制動を指令する。これにより、搬送台車３が軌道部４から逸脱することが防止される。そして、制動指令部７２は、検知部７１により移動軌道部６Ａと軌道部４との接続が検知された時点で、搬送台車３に走行を指令する。これにより、搬送台車３は、接続部４１Ａから移動軌道部６Ａへと進入する。

続いて、制御部７は、例えば、光電センサ等により、搬送台車３の端部６１Ａの通過を検知する。なお、搬送台車３の端部６２Ａ，６１Ｂ，６２Ｂ、及び制動ポイントＰ１，Ｐ２の通過についても、同様な手段により検知される。搬送台車３の端部６１Ａの通過が検知された場合、制御部７は、移動軌道部６Ａに対して位置Ａ２まで上昇するように指令する。搬送台車３は、移動軌道部６Ａが上昇している間、移動軌道部６Ａを端部６２Ａに向かって定常速度Ｖ１で走行する。

続いて、検知部７１は、移動軌道部６Ａと軌道部５との接続を検知する。また、制動指令部７２は、搬送台車３の制動ポイントＰ１の通過を検知する。

制動指令部７２により搬送台車３の制動ポイントＰ１の通過が検知された場合において、検知部７１により移動軌道部６Ａと軌道部５との接続が検知されたときには、制動指令部７２は搬送台車３に制動を指令することなく、搬送台車３はそのまま定常速度Ｖ１で走行を続けて無停止で移動軌道部６Ａから接続部５１Ａへと退出し、接続部５１Ａから軌道部５に移動する。これにより、搬送台車３の軌道部４から軌道部５への移動は完了する。

一方、制動指令部７２により搬送台車３の制動ポイントＰ１の通過が検知された場合において、検知部７１により移動軌道部６Ａと軌道部５との接続が検知されないときには、制動指令部７２は、移動軌道部６Ａが予定通りの上昇を行っていないと判断して、搬送台車３に制動を指令する。これにより、搬送台車３が移動軌道部６Ａから逸脱することが防止される。そして、検知部７１により移動軌道部６Ａと軌道部５との接続が検知された時点で、制動指令部７２は、搬送台車３に走行を指令する。これにより、搬送台車３は移動軌道部６Ａから接続部５１Ａへと退出して接続部５１Ａから軌道部５に移動し、搬送台車３の軌道部４から軌道部５への移動は完了する。

次に、搬送台車３が軌道部５から軌道部４に移動する場合について説明する。図３に示されるように、軌道部５を走行中の搬送台車３は、制動ポイントＰ５を通過する際に、制御部７に対して、軌道部５から軌道部４への移動の要求を送信する。制御部７が要求を受信すると、検知部７１は、移動軌道部６Ｂと軌道部５との接続を検知する。移動軌道部６Ｂと軌道部５との接続が検知された場合、制動指令部７２は搬送台車３に制動を指令することなく、搬送台車３はそのまま定常速度Ｖ５で走行を続けて無停止で接続部５１Ｂから移動軌道部６Ｂへと進入する。

一方、移動軌道部６Ｂと軌道部５との接続が検知されない場合、制御部７は、移動軌道部６Ｂに対して位置Ｂ２まで移動するように指令すると共に、制動指令部７２は、搬送台車３に制動を指令する。これにより、搬送台車３が軌道部５から逸脱することが防止される。そして、制動指令部７２は、検知部７１により移動軌道部６Ｂと軌道部５との接続が検知された時点で、搬送台車３に走行を指令する。これにより、搬送台車３は、接続部５１Ｂから移動軌道部６Ｂへと進入する。

続いて、制御部７は、搬送台車３の端部６２Ｂの通過を検知する。搬送台車３の端部６２Ｂの通過が検知された場合、制御部７は、移動軌道部６Ｂに対して位置Ｂ１まで下降するように指令する。搬送台車３は、移動軌道部６Ｂが下降している間、移動軌道部６Ｂを端部６１Ｂに向かって定常速度Ｖ２で走行する。

続いて、検知部７１は、移動軌道部６Ｂと軌道部４との接続を検知する。また、制動指令部７２は、搬送台車３の制動ポイントＰ２の通過を検知する。

制動指令部７２により搬送台車３の制動ポイントＰ２の通過が検知された場合において、検知部７１により移動軌道部６Ｂと軌道部４との接続が検知されたときには、制動指令部７２は搬送台車３に制動を指令することなく、搬送台車３はそのまま定常速度Ｖ２で走行を続けて無停止で移動軌道部６Ｂから接続部４１Ｂへと退出し、接続部４１Ｂから軌道部４に移動する。これにより、搬送台車３の軌道部５から軌道部４への移動は完了する。

一方、制動指令部７２により搬送台車３の制動ポイントＰ２の通過が検知された場合において、検知部７１により移動軌道部６Ｂと軌道部４との接続が検知されないときには、制動指令部７２は、移動軌道部６Ｂが予定通りの下降を行っていないと判断して、搬送台車３に制動を指令する。これにより、搬送台車３が移動軌道部６Ｂから逸脱することが防止される。そして、制動指令部７２は、検知部７１により移動軌道部６Ｂと軌道部４との接続が検知された時点で、搬送台車３に走行を指令する。これにより、搬送台車３は移動軌道部６Ｂから接続部４１Ｂへと退出して接続部４１Ｂから軌道部４に移動し、搬送台車３の軌道部５から軌道部４への移動は完了する。

以上のように構成された搬送装置１では、軌道部４と接続され且つ軌道部５から離間される位置Ａ１と、軌道部５と接続され且つ軌道部４から離間される位置Ａ２との間を昇降する移動軌道部６Ａが、搬送台車３を走行させるようになっている。従って、移動軌道部６Ａが搬送台車３を走行させつつ位置Ａ１から位置Ａ２に上昇することで、搬送台車３が軌道部４から軌道部５に移動するのに要する移動時間内に、この搬送台車３を位置Ａ１から位置Ａ２に上昇させることができ、移動時間と上昇時間とが各々必要であった従来と比較して、大幅に時間の短縮を図ることができる。また、搬送装置１では、軌道部４と接続され且つ軌道部５から離間される位置Ｂ１と、軌道部５と接続され且つ軌道部４から離間される位置Ｂ２との間を昇降する移動軌道部６Ｂが、搬送台車３を走行させるようになっている。従って、移動軌道部６Ｂが搬送台車３を走行させつつ位置Ｂ２から位置Ｂ１に下降することで、軌道部５から軌道部４に移動するのに要する移動時間内に、この搬送台車３を位置Ｂ２から位置Ｂ１に下降させることができ、移動時間と下降時間とが各々必要であった従来と比較して、大幅に時間の短縮を図ることができる。よって、軌道部４と軌道部５との間で搬送台車３の移動を行う場合に、搬送効率の低下を抑制することができる。

また、移動軌道部６Ａが位置Ａ１から位置Ａ２に上昇するのに要する時間をＴ１とし、搬送台車３の移動軌道部６Ａにおける定常速度をＶ１とした場合に、移動軌道部６Ａの走行長さＬ１は、Ｖ１・Ｔ１以上に設定されている。このため、搬送台車３は、移動軌道部６Ａが移動している間に移動軌道部６Ａを走行し続けることが可能となるため、軌道部４から軌道部５に向かって停止することなく移動することができる。また、移動軌道部６Ｂが位置Ｂ２から位置Ｂ１に下降するのに要する時間をＴ２とし、搬送台車３の移動軌道部６Ｂにおける定常速度をＶ２とした場合に、移動軌道部６Ｂの走行長さＬ２は、Ｖ２・Ｔ２以上に設定されている。このため、搬送台車３は、移動軌道部６Ｂが移動している間に移動軌道部６Ｂを走行し続けることが可能となるため、軌道部５から軌道部４に向かって停止することなく移動することができる。従って、搬送台車３が軌道部４と軌道部５との間の移動に要する移動時間をさらに低減することができる。

また、搬送装置１は、移動軌道部６Ａ，６Ｂが軌道部４，５に接続されたことを検知する検知部７１と、搬送台車３に制動を指令する制動指令部７２と、を更に備えており、軌道部４を定常速度Ｖ４で走行する搬送台車３の制動距離をＳ４とした場合に、制動指令部７２は、軌道部４における移動軌道部６Ａ側の端部から制動距離Ｓ４以上離間した位置に設定された制動ポイントＰ４に搬送台車３が到達した場合において、検知部７１によって移動軌道部６Ａが軌道部４に接続されたことが検知されないときには、搬送台車３に制動を指令する。また、軌道部５を定常速度Ｖ５で走行する搬送台車３の制動距離をＳ５とした場合に、制動指令部７２は、軌道部５における移動軌道部６Ｂ側の端部から制動距離Ｓ５以上離間した位置に設定された制動ポイントＰ５に搬送台車３が到達した場合において、検知部７１によって移動軌道部６Ｂが軌道部５に接続されたことが検知されないときには、搬送台車３に制動を指令する。従って、移動軌道部６Ａ，６Ｂが軌道部４又は軌道部５に接続される前に、搬送台車３が軌道部４又は軌道部５から逸脱することを防止することができる。

また、搬送装置１は、移動軌道部６Ａ，６Ｂが軌道部４，５に接続されたことを検知する検知部７１と、搬送台車３に制動を指令する制動指令部７２と、を更に備えており、移動軌道部６Ａを定常速度Ｖ１で走行する搬送台車３の制動距離をＳ１とした場合に、制動指令部７２は、移動軌道部６Ａにおける端部６２Ａから制動距離Ｓ１以上離間した位置に設定された制動ポイントＰ１に搬送台車３が到達した場合において、検知部７１により移動軌道部６Ａが軌道部５に接続されたことが検知されないときには、搬送台車３に制動を指令する。また、移動軌道部６Ｂを定常速度Ｖ２で走行する搬送台車３の制動距離をＳ２とした場合に、制動指令部７２は、移動軌道部６Ｂにおける端部６１Ｂから制動距離Ｓ２以上離間した位置に設定された制動ポイントＰ２に搬送台車３が到達した場合において、検知部７１により移動軌道部６Ｂが軌道部４に接続されたことが検知されないときには、搬送台車３に制動を指令する。従って、移動軌道部６Ａ，６Ｂが軌道部４又は軌道部５に接続される前に、搬送台車３が移動軌道部６Ａ，６Ｂから逸脱することを防止することができる。

以上、本発明に係る搬送装置の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されない。例えば、上記実施形態では、軌道部４及び軌道部５は、周回軌道をなしているが、直線状の軌道や網目状の軌道等であってもよい。

また、上記実施形態では、搬送台車３は自車で走行し、軌道部４、軌道部５及び移動軌道部６Ａ，６Ｂは搬送台車３を走行させるレールを有しているが、搬送台車３は自車では走行せず、軌道部４、軌道部５及び移動軌道部６Ａは搬送台車３を運搬して走行させるコンベア等を有していてもよい。

また、上記実施形態では、移動軌道部６Ａ，６Ｂは、軌道部４及び軌道部５とは別に設けられているが、移動軌道部６Ａ，６Ｂは、軌道部４及び軌道部５から分割された一部分のレールを移動させる装置（いわゆるトラバーサ）等であってもよい。

また、上記実施形態では、軌道部４と軌道部５とは、水平方向及び鉛直方向において離間されており、移動軌道部６Ａ，６Ｂは、軌道部４と同等の高さの位置Ａ１，Ｂ１と、軌道部５と同等の高さの位置Ａ２，Ｂ２との間を昇降する構成であるが、これに限定されない。軌道部４と軌道部５とは、離間する位置に設けられ、移動軌道部６Ａ，６Ｂは、軌道部４と接続され且つ軌道部５から離間される位置と、軌道部５と接続され且つ軌道部４から離間される位置との間を移動し、搬送台車３を走行させる構成であればよい。例えば、以下のような構成であってもよい。

例えば、軌道部４と軌道部５とは、水平方向においては離間するが鉛直方向においては同等の位置に配置され、移動軌道部６Ａ，６Ｂは、軌道部４と軌道部５との間を水平方向に沿って移動する構成であってもよい。この構成の場合、移動軌道部６Ａ，６Ｂを、水平方向のうち当該移動軌道部６Ａ，６Ｂの移動方向に沿って延在する軌道とすれば、搬送台車３を、移動軌道部６Ａ，６Ｂの移動方向に沿って走行させることができる。

また、例えば、軌道部４と軌道部５とは、水平方向においては同等の位置であるが鉛直方向において離間する位置に配置され、移動軌道部６Ａ，６Ｂは、軌道部４と軌道部５との間を鉛直方向に沿って移動する構成であってもよい。この構成の場合、移動軌道部６Ａ，６Ｂを、鉛直方向に沿って延在する軌道とし、搬送台車３を、鉛直方向に沿って走行させることができる。

また、上記実施形態では、移動軌道部６Ａの走行長さＬ１は、Ｖ１・Ｔ１以上に設定されているが、Ｖ１・Ｔ１以下であってもよい。この場合、例えば、搬送台車３が制動ポイントＰ１を通過する時点において、検知部７１により移動軌道部６Ａと軌道部５との接続は検知されない。従って、制動指令部７２から搬送台車３に制動が指令され、搬送台車３は移動軌道部６Ａ上で一旦停止又は減速する。そして、検知部７１により移動軌道部６Ａと軌道部５との接続が検知された時点で、制動指令部７２は搬送台車３に走行を指令し、搬送台車３は接続部５１Ａから軌道部５に移動する。なお、移動軌道部６Ｂの走行長さＬ２についても、同様である。

また、上記実施形態では、第１の検知部及び第２の検知部は、１つの検知部７１として設けられているが、別々に設けられていてもよい。第１の制動指令部及び第２の制動指令部についても、同様である。

また、上記実施形態では、搬送装置１は、クリーンルーム１００内において半導体ウェハやガラス基板等の被搬送物Ｒを搬送する場合に適用されているが、一般的な流通分野においても適用可能である。

１…搬送装置、３…搬送台車、４，５…軌道部（第１の軌道部、第２の軌道部）、６Ａ，６Ｂ…移動軌道部（第３の軌道部）、７１…検知部、７２…制動指令部、Ｐ１，Ｐ２…制動ポイント、Ａ１，Ａ２，Ｂ１，Ｂ２…位置（第１の位置、第２の位置）。

Claims

搬送台車と、
搬送台車を走行させる第１の軌道部と、
前記第１の軌道部から離間されており、前記搬送台車を走行させる第２の軌道部と、
前記第１の軌道部と接続され且つ前記第２の軌道部から離間される第１の位置と、前記第２の軌道部と接続され且つ前記第１の軌道部から離間される第２の位置との間を移動し、前記搬送台車を走行させる第３の軌道部と、を備え、
前記搬送台車は、
前記第３の軌道部が前記第１の位置にあるときに、前記第１の軌道部から前記第３の軌道部へと進入し、
前記第３の軌道部が移動しているときに、前記第３の軌道部を走行し、
前記第３の軌道部が前記第２の位置にあるときに、前記第３の軌道部から前記第２の軌道部へと退出する、
搬送装置。
前記第３の軌道部が前記第１の位置から前記第２の位置に移動するのに要する時間をＴとし、前記第３の軌道部における前記搬送台車の定常速度をＶとした場合に、
前記第３の軌道部の走行長さＬは、Ｖ・Ｔ以上に設定されている、請求項１に記載の搬送装置。
前記第３の軌道部が前記第１の軌道部に接続されたことを検知する第１の検知部と、
前記搬送台車に制動を指令する第１の制動指令部と、を更に備え、
前記第１の軌道部を定常速度で走行する前記搬送台車の制動距離をＳＩとした場合に、
前記第１の制動指令部は、前記第１の軌道部における前記第３の軌道部側の端部から前記制動距離ＳＩ以上離間した位置に設定された制動ポイントに前記搬送台車が到達した場合において、前記第１の検知部によって前記第３の軌道部が前記第１の軌道部に接続されたことが検知されないときには、前記搬送台車に制動を指令する、請求項１又は２に記載の搬送装置。
前記第３の軌道部が前記第２の軌道部に接続されたことを検知する第２の検知部と、
前記搬送台車に制動を指令する第２の制動指令部と、を更に備え、
前記第３の軌道部を定常速度で走行する前記搬送台車の制動距離をＳＥとした場合に、
前記第２の制動指令部は、前記第３の軌道部における前記第２の軌道部側の端部から前記制動距離ＳＥ以上離間した位置に設定された制動ポイントに前記搬送台車が到達した場合において、前記第２の検知部によって前記第３の軌道部が前記第２の軌道部に接続されたことが検知されないときには、前記搬送台車に制動を指令する、請求項１〜３のいずれか一項に記載の搬送装置。
前記第１の位置は、前記第２の位置と高さが異なり、
前記第３の軌道部は、前記第１の位置と前記第２の位置との間を昇降する、請求項１〜４のいずれか一項に記載の搬送装置。