CN103373588B

CN103373588B - 搬送装置

Info

Publication number: CN103373588B
Application number: CN201310055464.8A
Authority: CN
Inventors: 铃木高志
Original assignee: Murata Machinery Ltd
Current assignee: Murata Machinery Ltd
Priority date: 2012-04-11
Filing date: 2013-02-21
Publication date: 2016-08-31
Anticipated expiration: 2033-02-21
Also published as: CN103373588A; TW201343530A; JP2013219282A; JP5617868B2; KR101655887B1; KR20130115138A

Abstract

本发明提供在两条轨道之间进行搬送台车的移动时能够抑制搬送效率低下的搬送装置。搬送装置（1）具备：使搬送台车（3）行驶的轨道部（4）；与轨道部（4）分离、使搬送台车（3）行驶的轨道部（5）；在与轨道部（4）连接并且与轨道部（5）分离的位置（A1）以及与轨道部（5）连接并且与轨道部（4）分离的位置（A2）之间升降、使搬送台车行驶的移动轨道部（6A）；在与轨道部（4）连接并且与轨道部（5）分离的位置（B1）以及与轨道部（5）连接并且与轨道部（4）分离的位置（B2）之间升降、使搬送台车行驶的移动轨道部（6B）。

Description

搬送装置

技术领域

本发明涉及用来搬送例如半导体晶片或玻璃基板等被搬送物的搬送装置。

背景技术

以往，用来搬送半导体晶片或玻璃基板等被搬送物的搬送装置为我们所知。作为有关这样的搬送装置的技术，例如专利文献1中公开了为了将各种装置等从搬送台车的夹着轨道的一侧的区域移动到另一侧的区域，使轨道的一部分能够移动的技术。并且，专利文献2、3中公开了在具备2条轨道的搬送装置中为了在2条轨道之间进行搬送台车的移动而使轨道的一部分能够移动的技术。

[专利文献1]日本特开2005-15201号公报

[专利文献2]日本特开2004-50871号公报

[专利文献3]日本特开2007-326706号公报

但是，在于2条轨道之间进行搬送台车的移动的搬送装置中，存在随着2条轨道互相离开的距离而使搬送台车移动的时间变长，搬送效率低下之虞。

发明内容

本发明就是为了解决这样的问题而作成的，以提供一种在2条轨道之间进行搬送台车的移动时能够抑制搬送效率低下的搬送装置为目的。

本发明的搬送装置具备：搬送台车；使搬送台车行驶的第1轨道部；从第1轨道部分离、使搬送台车行驶的第2轨道部；以及，在与第1轨道部连接并且从第2轨道部分离的第1位置以及与第2轨道部连接并且从第1轨道部分离的第2位置之间移动、使搬送台车行驶的第3轨道部；搬送台车在第3轨道部位于第1位置时从第1轨道部向第3轨道部进入；在第3轨道部移动时在第3轨道部上行驶；在第3轨道部位于第2位置时从第3轨道部向第2轨道部退出。

该搬送装置中，在与第1轨道部连接并且从第2轨道部分离的第1位置以及与第2轨道部连接并且从第1轨道部分离的第2位置之间移动的第3轨道部使搬送台车行驶。因此，通过第3轨道部使搬送台车行驶的同时在第1位置与第2位置之间移动，能够减少搬送台车在第1轨道部与第2轨道部之间移动所需要的移动时间。由此，根据该搬送装置，在于两条轨道之间进行搬送台车的移动时能够抑制搬送效率的低下。

并且，在设第3轨道部从第1位置移动到第2位置所需要的时间为T、在第3轨道部中的搬送台车的恒定速度为V的情况下，第3轨道部的行驶长度L被设定在V·T以上就可以。根据该结构，由于搬送台车能够在第3轨道部移动的期间继续在第3轨道部上行驶，因此能够不在第1轨道部与第2轨道部之间停止地进行移动。因此，能够进一步减少搬送台车在第1轨道部与第2轨道部之间移动所需要的移动时间。

并且，搬送装置可以还具备检测第3轨道部被连接到第1轨道部上的第1检测部以及对搬送台车指令制动的第1制动指令部；在设在第1轨道部上以恒定速度行驶的搬送台车的制动距离为SI的情况下，第1制动指令部在搬送台车到达了制动点的情况下，在用第1检测部没有检测到第3轨道部被连接到第1轨道部上时对搬送台车指令制动，制动点被设定在第1轨道部中的从第3轨道部侧的端部离开制动距离SI以上的位置。根据该结构，能够防止在第3轨道部被连接到第1轨道部之前搬送台车从第1轨道部脱离。

并且，搬送装置可以还具备检测第3轨道部被连接到第2轨道部上的第2检测部以及对搬送台车指令制动的第2制动指令部；在设在第3轨道部上以恒定速度行驶的搬送台车的制动距离为SE的情况下，第2制动指令部在搬送台车到达了制动点的情况下，在用第2检测部没有检测到第3轨道部被连接到第2轨道部上时对搬送台车指令制动，制动点被设定在第3轨道部中的从第2轨道部侧的端部离开制动距离SE以上的位置。根据该结构，能够防止在第3轨道部被连接到第2轨道部之前搬送台车从第3轨道部脱离。

并且，还可以采用上述第1位置与第2位置高度不同，第3轨道部在第1位置与第2位置之间升降的结构。

发明的效果：根据本发明，能够提供在2条轨道之间进行搬送台车的移动时能够抑制搬送效率低下的搬送装置。

附图说明

图1为本发明的搬送装置的一个实施形态的俯视图；

图2为图1的搬送装置的一个方向的侧视图；

图3为图1的搬送装置的另外方向的侧视图。

标记说明

1．搬送装置；3．搬送台车；4、5．轨道部（第1轨道部、第2轨道部）；6A、6B．移动轨道部（第3轨道部）；71．检测部；72．制动指令部；P1、P2．制动点；A1、A2、B1、B2．位置（第1位置，第2位置）

具体实施方式

以下参照附图详细地说明本发明的搬送装置的优选实施形态。另外，对于相同或相当的要素附加相同的附图标记，并省略重复的说明。

如图1所示，搬送装置1设置在例如半导体装置或液晶显示装置等的制造工厂的清洁室100中，搬送半导体晶片或玻璃基板等被搬送物R。在清洁室100中于地面上设置有多个保管半导体晶片或玻璃基板等的储料器2。这样的设置在清洁室100中的搬送装置1具备有多个搬送台车3、轨道部（第1轨道部、第2轨道部）4、5以及移动轨道部（第3轨道部）6A、6B。另外，也有不设置储料器2的时候。

搬送台车3为例如在轨道上行驶的OHS（Overhead Shuttle，天车）有轨式无人搬送车，由车辆自身作成从搬送起点向搬送目的地的行驶路线，把握在包含轨道部4、5和移动轨道部6A、6B的行驶路径网中车辆自身的位置，并将被搬送物R从搬送起点搬送到搬送目的地。作为搬送起点和搬送目的地除储料器2外，还有对被搬送物实施各种处理的工作站等。搬送台车3能够与控制部7进行通信。搬送台车3既可以例如利用由非接触电源或用电缆从外部提供的电力被驱动，也可以搭载电池而由该电池的电力被驱动。并且，搬送台车3也可以是悬吊在轨道上行驶的OHT（Overheadhoist Transport，高架提升传输系统）等其他形式的无人搬送车。

各轨道部4、5具有供搬送台车3行驶的轨道，搬送台车3能够在多个储料器2周围行驶地沿着清洁室100的地面101（参照图2）设置。轨道部4和轨道部5在水平方向上互相分离配置，分别构成环形轨道（loop）。在轨道部4上设置有连接移动轨道部6A的连接部41A和连接移动轨道部6B的连接部41B。并且，在轨道部5上设置有连接移动轨道部6A的连接部51A以及连接移动轨道部6B的连接部51B。

图2为从图1中的A方向看的搬送装置1的侧视图。如图2所示，从清洁室100的地面101到轨道部4的高度h1为例如4m左右。并且，从地面101到轨道部5的高度h2为例如6m左右。这样，轨道部4和轨道部5离地面101的高度不同，水平方向之外铅垂方向也互相分离配置。

在轨道部4上设置有制动点P4。在假设搬送台车3在轨道部4上的恒定速度为V4、在轨道部4上以恒定速度V4行驶的搬送台车3的制动距离为S4（制动距离SI）的情况下，从制动点P4到连接部41A的端部的轨道上的距离D4被设定在制动距离S4以上。在连接部41A的端部设置有用来防止搬送台车3从连接部41A落下的机械式制动器。该制动器在检测到轨道部4与移动轨道部6A的连接之前将轨道闭锁，如果检测到该连接则将轨道开放。另外，制动器最好是机械式的，但也可以是其他方式的。

图3为从图1的B方向看的搬送装置1的侧视图。如图3所示，轨道部5上设置有制动点P5。在假设搬送台车3的轨道部5中的恒定速度为V5，在轨道部5上以恒定速度V5行驶的搬送台车3的制动距离为S5（制动距离SI）的情况下，从制动点P5到连接部51B的端部的轨道上的距离D5被设定在制动距离S5以上。在连接部51B的端部设置有与轨道部4的端部上设置的制动器相同的制动器。

回到图1，移动轨道部6A为使搬送台车3从轨道部4移动到轨道部5的部分，被设置在轨道部4与轨道部5之间。并且，移动轨道部6B为使搬送台车3从轨道部5移动到轨道部4的部分，被设置在轨道部4与轨道部5之间。一对移动轨道部6A、6B呈沿着地面101的大致直线状，互相大致平行地设置。各移动轨道部6A、6B具有供搬送台车3行驶的轨道。另外，移动轨道部6A、6B不一定需要互相大致平行地设置。

如图2所示，移动轨道部6A由从地面101向上方突出的多个升降部8支承着。各升降部8例如利用安装能够相对于固定在地面101上的部件沿铅垂方向滑动的部件的结构等，使离地面101的高度h3能够调整。由此，被支承在升降部8上的移动轨道部6A能够在与轨道部4相同的高度位置A1以及与轨道部5相同的高度位置A2之间升降。另外，升降部8也可以是一个。并且，移动轨道部6A也可以采用利用钢丝从上方悬吊该移动轨道部6A，通过卷扬机卷绕该钢丝等能够升降的结构。该移动轨道部6A的升降由搬送装置1所具备的控制部7控制。

在位置A1，移动轨道部6A的一个端部61A与轨道部4的连接部41A连接。此时，移动轨道部6A的另一个端部62A从轨道部5的连接部51A分离。另一方面，在位置A2，移动轨道部6A的另一个端部62A与轨道部5的连接部51A连接。此时，移动轨道部6A的一个端部61A从轨道部4的连接部41A分离。

移动轨道部6A的行驶长度L1（端部61A与端部62A之间的距离），在设移动轨道部6A从位置A1上升到位置A2所需要的时间为T1、搬送台车3在移动轨道部6A中的恒定速度为V1时，被设定为V1·T1以上。即，行驶长度L1为在移动轨道部6A从位置A1上升到位置A2期间，搬送台车3能够在移动轨道部6A上不停止地以恒定速度V1行驶的长度以上。

并且，在移动轨道部6A上设置有制动点P1。在设在移动轨道部6A上以恒定速度V1行驶的搬送台车3的制动距离为S1（制动距离SE）的情况下，从制动点P1到端部62A的距离D1被设定在制动距离S1以上。在移动轨道部6A的端部61A上设置有与设置在轨道部4的端部的制动器相同的制动器。

如图3所示，移动轨道部6B通过采用与移动轨道部6A相同的结构，能够在与轨道部4相等的高度位置B1、以及与轨道部5相等的高度位置B2之间升降。该移动轨道部6B的升降由控制部7控制。

在位置B1，移动轨道部6B的一个端部61B与轨道部4的连接部41B连接。此时，移动轨道部6B的另一个端部62B从轨道部5的连接部51B分离。另一方面，在位置B2，移动轨道部6B的另一个端部62B与轨道部5的连接部51B连接。此时，移动轨道部6B的一个端部61B从轨道部4的连接部41B分离。

移动轨道部6B的行驶长度L2（端部61B与端部62B之间的距离），在设移动轨道部6B从位置B2下降到位置B1所需要的时间为T2、搬送台车3在移动轨道部6B上的恒定速度为V2时，被设定在V2·T2以上。即，行驶长度L2为在移动轨道部6B从位置B2下降到位置B1期间，搬送台车3能够在移动轨道部6B上不停止地以恒定速度V2行驶的长度以上。

并且，在移动轨道部6B上设置有制动点P2。在设在移动轨道部6B以恒定速度V2行驶的搬送台车3的制动距离为S2（制动距离SE）的情况下，从制动点P2到端部61B的距离D2被设定为制动距离S2以上。在移动轨道部6B的端部61B设置有与设置在移动轨道部6A的端部62A上的制动器相同的制动器。

控制部7为进行整个搬送装置1的控制的部分，为例如由CPU、ROM、RAM等构成的电子控制单元。控制部7作为处理部至少具有检测部（第1检测部、第2检测部）71和制动指令部（第1制动指令部、第2制动指令部）72。控制部7通过将储存在ROM中的程序加载到RAM上利用CPU执行，用软件构成检测部71和制动指令部72。另外，控制部7的各处理部也可以利用硬件来构成。

检测部71检测移动轨道部6A、6B连接到了轨道部4或轨道部5上的情况。如果检测部71检测到移动轨道部6A、6B被连接到了轨道部4或轨道部5上，则对制动指令部72发送检测信号。制动指令部72在规定的条件下对搬送台车3指令制动。有关检测部71和制动指令部72以下更详细地说明。

接着说明搬送装置1的动作。首先说明搬送台车3从轨道部4移动到轨道部5时的情况。如图2所示，在轨道部4上行驶中的搬送台车3经过制动点P4时对控制部7发送从轨道部4向轨道部5移动的请求。如果控制部7接收到请求，检测部71用例如近接传感器等检测移动轨道部6A与轨道部4的连接。另外，对于移动轨道部6A与轨道部5的连接以及移动轨道部6B与轨道部4、5的连接也利用同样的方法被检测。在检测到移动轨道部6A与轨道部4连接的情况下，制动指令部72对搬送台车3不指令制动，搬送台车3原样地以恒定速度V4继续行驶，不停止地从连接部41A进入移动轨道部6A。

另一方面，在没有被检测到移动轨道部6A与轨道部4的连接的情况下，控制部7对于移动轨道部6A移动到位置A1地进行指令，同时制动指令部72对搬送台车3指令制动。由此，防止搬送台车3从轨道部4脱离。并且，制动指令部72在用检测部71检测到移动轨道部6A与轨道部4的连接的时刻，对搬送台车3指令行驶。由此，搬送台车3从连接部41A向移动轨道部6A进入。

接着，控制部7例如用光电传感器等检测搬送台车3通过端部61A。另外，对于搬送台车3通过端部62A、61B、62B及制动点P1、P2也利用同样的方法被检测。在检测到搬送台车3通过端部61A的情况下，控制部7对于移动轨道部6A上升到位置A2地进行指令。搬送台车3在移动轨道部6A上升的期间在移动轨道部6A上向着端部62A以恒定速度V1行驶。

接着，检测部71检测移动轨道部6A与轨道部5的连接。并且，制动指令部72检测搬送台车3通过制动点P1。

在利用制动指令部72检测到搬送台车3通过制动点P1的情况下，当用检测部71检测到移动轨道部6A与轨道部5的连接时，制动指令部72对搬送台车3不指令制动，搬送台车3原样地以恒定速度V1继续行驶，不停止地从移动轨道部6A向连接部51A退出，从连接部51A移动到轨道部5。由此，搬送台车3从轨道部4向轨道部5的移动结束。

另一方面，在用制动指令部72检测到搬送台车3通过制动点P1的情况下，当用检测部71没有检测到移动轨道部6A与轨道部5的连接时，制动指令部72判定为移动轨道部6A没有进行预定那样的上升，对搬送台车3指令制动。由此，防止搬送台车3从移动轨道部6A脱离。并且，在用检测部71检测到移动轨道部6A与轨道部5的连接时，制动指令部72对搬送台车3指令行驶。由此，搬送台车3从移动轨道部6A向连接部51A退出，从连接部51A移动到轨道部5，搬送台车3从轨道部4向轨道部5的移动结束。

接着说明搬送台车3从轨道部5移动到轨道部4的情况。如图3所示，在轨道部5上行驶中的搬送台车3通过制动点P5时，对控制部7发送从轨道部5向轨道部4的移动的请求。如果控制部7接收到请求，检测部71检测移动轨道部6B与轨道部5的连接。在检测到移动轨道部6B与轨道部5的连接的情况下，制动指令部72对搬送台车3不指令制动，搬送台车3原样地以恒定速度V5继续行驶，不停止地从连接部51B向移动轨道部6B进入。

另一方面，在没有检测到移动轨道部6B与轨道部5的连接的情况下，控制部7对于移动轨道部6B移动到位置B2地进行指令，同时制动指令部72对搬送台车3指令制动。由此，防止搬送台车3从轨道部5脱离。并且，制动指令部72在用检测部71检测到移动轨道部6B与轨道部5的连接的时刻，对搬送台车3指令行驶。由此，搬送台车3从轨道部5向移动轨道部6B进入。

接着，控制部7检测搬送台车3通过端部62B。在检测到搬送台车3通过端部62B的情况下，控制部7对于移动轨道部6B下降到位置B1地进行指令。搬送台车3在移动轨道部6B下降的期间在移动轨道部6B上向端部61B以恒定速度V2行驶。

接着，检测部71检测移动轨道部6B与轨道部4的连接。并且，制动指令部72检测搬送台车3通过制动点P2。

在用制动指令部72检测到搬送台车3通过制动点P2的情况下，当用检测部71检测到移动轨道部6B与轨道部4的连接时，制动指令部72对搬送台车3不指令制动，搬送台车3原样地以恒定速度V2继续行驶，无停止地从移动轨道部6B向连接部41B退出，从连接部41B移动到轨道部4。由此，搬送台车3从轨道部5向轨道部4的移动结束。

另一方面，在用制动指令部72检测到搬送台车3通过制动点P2的情况下，当用检测部71没有检测到移动轨道部6B与轨道部4的连接时，制动指令部72判定移动轨道部6B没有进行预定那样的下降，对搬送台车3指令制动。由此，防止搬送台车3从移动轨道部6B脱离。并且，制动指令部72在用检测部71检测到移动轨道部6B与轨道部4的连接时，对搬送台车3指令行驶。由此，搬送台车3从移动轨道部6B向连接部41B退出，从连接部41B移动到轨道部4，搬送台车3从轨道部5向轨道部4的移动结束。

以上那样构成的搬送装置1中，在与轨道部4连接并且从轨道部5分离的位置A1、以及与轨道部5连接并且从轨道部4分离的位置A2之间升降的移动轨道部6A供搬送台车3行驶。因此，通过移动轨道部6A供搬送台车3行驶并且从位置A1上升到位置A2，在搬送台车3从轨道部4移动到轨道部5所需要的移动时间内，能够使该搬送台车3从位置A1上升到位置A2，移动时间和上升时间与各自需要的现有技术相比，能够谋求大幅度的时间缩短。并且，搬送装置1中在与轨道部4连接并且从轨道部5分离的位置B1、以及与轨道部5连接并且从轨道部4分离的位置B2之间升降的移动轨道部6B供搬送台车3行驶。因此，通过移动轨道部6B供搬送台车3行驶的同时从位置B2下降到位置B1，能够在从轨道部5移动到轨道部4所需要的移动时间内使该搬送台车3从位置B2下降到位置B1，移动时间和上升时间与各自需要的现有技术相比，能够谋求大幅度的时间缩短。由此，在于轨道部4与轨道部5之间进行搬送台车3的移动的情况下，能够抑制搬送效率的低下。

并且，在设移动轨道部6A从位置A1上升到位置A2所需要的时间为T1，搬送台车3在移动轨道部6A中的恒定速度为V1的情况下，在移动轨道部6A的行驶长度L1被设定在V1·T1以上。因此，由于搬送台车3在移动轨道部6A移动的期间能够在移动轨道部6A上继续行驶，因此能够从轨道部4向着轨道部5不停止地移动。并且，在设移动轨道部6B从位置B2下降到位置B1所需要的时间为T2、搬送台车3在移动轨道部6B中的恒定速度为V2的情况下，移动轨道部6B的行驶长度L2被设定在V2·T2以上。因此，由于搬送台车3在移动轨道部6B移动的期间能够在移动轨道部6B上继续行驶，因此能够从轨道部5向着轨道部4不停止地移动。因此，能够进一步减少搬送台车3在轨道部4与轨道部5之间移动所需要的移动时间。

并且，搬送装置1还具备检测移动轨道部6A、6B被连接到了轨道部4、5上的检测部71和对搬送台车3指令制动的制动指令部72，在设在轨道部4以恒定速度V4行驶的搬送台车3的制动距离为S4的情况下，制动指令部72在搬送台车3到达了被设置在轨道部4中的离开移动轨道部6A侧的端部制动距离S4以上的位置上的制动点P4的情况下，当用检测部71没有检测到移动轨道部6A被连接到轨道部4上时，对搬送台车3指令制动。并且，在设在轨道部5上以恒定速度V5行驶的搬送台车3的制动距离为S5的情况下，制动指令部72在搬送台车3到达被设置在轨道部5中的离开移动轨道部6B侧的端部制动距离S5以上的位置上的制动点P5的情况下，当利用检测部71没有检测到移动轨道部6B被连接到轨道部5上时，对搬送台车3指令制动。因此，在移动轨道部6A、6B被连接到轨道部4或轨道部5上之前能够防止搬送台车3从轨道部4或轨道部5脱离。

并且，搬送装置1还具备检测移动轨道部6A、6B被连接到了轨道部4、5上的检测部71和对搬送台车3指令制动的制动指令部72，在设在移动轨道部6A上以恒定速度V1行驶的搬送台车3的制动距离为S1的情况下，制动指令部72在搬送台车3到达了被设置在移动轨道部6A中的离开端部62A制动距离S1以上的位置上的制动点P1的情况下，当利用检测部71没有检测到移动轨道部6A被连接到轨道部5上时，对搬送台车3指令制动。并且，在设在移动轨道部6B上以恒定速度V2行驶的搬送台车3的制动距离为S2的情况下，制动指令部72在搬送台车3到达了设置在移动轨道部6B中的离开端部61B制动距离S2以上的位置上的制动点P2的情况下，当利用检测部71没有检测到移动轨道部6B被连接到轨道部4上时，对搬送台车3指令制动。因此，在移动轨道部6A、6B被连接到轨道部4或轨道部5上之前能够防止搬送台车3从移动轨道部6A、6B脱离。

虽然以上说明了本发明的搬送装置的一个实施形态，但本发明并不局限于上述实施形态。例如，上述实施形态中轨道部4和轨道部5呈环形轨道，但也可以是直线状的轨道或网状的轨道等。

并且，上述实施形态中搬送台车3自行行驶，轨道部4、轨道部5和移动轨道部6A、6B具有供搬送台车3行驶的轨道，但也可以是搬送台车3不自行行驶，轨道部4、轨道部5和移动轨道部6A、6B具有运送搬送台车3行驶的输送机等。

并且，虽然上述实施形态中移动轨道部6A、6B与轨道部4和轨道部5分别另外设置，但移动轨道部6A、6B也可以是使从轨道部4和轨道部5分割来的一部分轨道移动的装置（所谓移车台）等。

并且，虽然上述实施形态中，是轨道部4和轨道部5在水平方向和铅垂方向分离，移动轨道部6A、6B在与轨道部4相同高度的位置A1、B1、以及与轨道部5相同高度的位置A2、B2之间升降的结构，但并不局限于此。也可以是轨道部4和轨道部5被设置在分离的位置上，移动轨道部6A、6B在与轨道部4连接并且从轨道部5分离的位置、以及与轨道部5连接并且从轨道部4分离的位置之间移动，供搬送台车3行驶的结构。例如，也可以是以下的结构。

例如，也可以是轨道部4和轨道部5被配置在水平方向上分离、铅垂方向上相同的位置上，移动轨道部6A、6B沿水平方向在轨道部4与轨道部5之间移动的结构。在该结构的情况下，如果使移动轨道部6A、6B为沿水平方向中该移动轨道部6A、6B的移动方向延伸的轨道的话，则能够使搬送台车3沿移动轨道部6A、6B的移动方向行驶。

并且，也可以是例如轨道部4和轨道部5被配置在水平方向上相同的位置、但铅垂方向上分离的位置上，移动轨道部6A、6B沿铅垂方向在轨道部4与轨道部5之间移动的结构。在该结构的情况下，使移动轨道部6A、6B为沿铅垂方向延伸的轨道，能够使搬送台车3沿铅垂方向行驶。

并且，上述实施形态中移动轨道部6A的行驶长度L1被设定在V1·T1以上，但也可以是V1·T1以下。此时，例如在搬送台车3通过制动点P1的时刻利用检测部71没有检测到移动轨道部6A与轨道部5的连接。因此，从制动指令部72对搬送台车3指令制动，搬送台车3在移动轨道部6A上临时停止或者减速。并且，在用检测部71检测到了移动轨道部6A与轨道部5的连接的时刻，制动指令部72对搬送台车3指令行驶，搬送台车3从连接部51A移动到轨道部5。另外，对于移动轨道部6B的行驶长度L2也同样。

并且，虽然上述实施形态中第1检测部和第2检测部作为一个检测部71而设置，但也可以分别设置。对于第1制动指令部和第2制动指令部也同样。

并且，虽然上述实施形态中搬送装置1被应用于在清洁室100内搬送半导体晶片或玻璃基板等被搬送物R的场合，但也可以应用于一般的流通领域。

Claims

1.一种搬送装置，具备：搬送台车；使搬送台车行驶的第1轨道部；从上述第1轨道部分离、使上述搬送台车行驶的第2轨道部；以及，在与上述第1轨道部连接并且从上述第2轨道部分离的第1位置以及与上述第2轨道部连接并且从上述第1轨道部分离的第2位置之间移动、使上述搬送台车行驶的第3轨道部；

上述搬送台车在上述第3轨道部位于上述第1位置时从上述第1轨道部向上述第3轨道部进入；在上述第3轨道部移动时以恒定速度在上述第3轨道部上继续行驶；在上述第3轨道部位于上述第2位置时从在上述第3轨道部上行驶的状态无停止地向上述第2轨道部退出；

在设上述第3轨道部从上述第1位置移动到上述第2位置所需要的时间为T、在上述第3轨道部中的上述搬送台车的恒定速度为V的情况下，上述第3轨道部的行驶长度L被设定在V·T以上。

2.如权利要求1所述的搬送装置，还具备检测上述第3轨道部被连接到上述第1轨道部上的第1检测部以及对上述搬送台车指令制动的第1制动指令部；

在设在上述第1轨道部上以恒定速度行驶的上述搬送台车的制动距离为SI的情况下，上述第1制动指令部在上述搬送台车到达了制动点的情况下，在用上述第1检测部没有检测到上述第3轨道部被连接到上述第1轨道部上时对上述搬送台车指令制动，上述制动点被设定在上述第1轨道部中的从上述第3轨道部侧的端部离开上述制动距离SI以上的位置。

3.如权利要求1所述的搬送装置，还具备检测上述第3轨道部被连接到上述第2轨道部上的第2检测部以及对上述搬送台车指令制动的第2制动指令部；

在设在上述第3轨道部上以恒定速度行驶的上述搬送台车的制动距离为SE的情况下，上述第2制动指令部在上述搬送台车到达了制动点的情况下，在用上述第2检测部没有检测到上述第3轨道部被连接到上述第2轨道部上时对上述搬送台车指令制动，上述制动点被设定在上述第3轨道部中的从上述第2轨道部侧的端部离开上述制动距离SE以上的位置。

4.如权利要求2所述的搬送装置，还具备检测上述第3轨道部被连接到上述第2轨道部上的第2检测部以及对上述搬送台车指令制动的第2制动指令部；

5.如权利要求1至4中的任一项所述的搬送装置，上述第1位置与上述第2位置高度不同；

上述第3轨道部在上述第1位置与上述第2位置之间升降。