CN220200438U - 一种双层行进轨道系统及自动物料搬运系统 - Google Patents

Abstract

本申请提供一种双层行进轨道系统及自动物料搬运系统，应用于自动物料搬运系统技术领域，其中双层行进轨道系统包括：第一轨道、第一吊装机构、第二轨道、第二吊装机构、第三吊装机构、吊装横梁和空中缓存装置；第一轨道通过第一吊装机构吊装于天花板，第一轨道作为第一空中运输车的行进轨道；吊装横梁通过第二吊装机构吊装于天花板，且吊装横梁的高度低于第一轨道的高度；第二轨道通过第三吊装机构吊装于吊装横梁，第二轨道作为第二空中运输车的行进轨道；以及，设置有用于临时存放晶圆盒的若干第一存储阁位的空中缓存装置与吊装横梁安装连接，以便第二空中运输车对第一存储阁位进行取放作业。因此，双层轨道可以实现多台空中运输车同时作业。

Description

一种双层行进轨道系统及自动物料搬运系统

技术领域

本申请涉及自动物料搬运系统(AMHS，Automatic Material Handing System)技术领域，具体涉及一种双层行进轨道系统及自动物料搬运系统。

背景技术

在半导体工厂中，空中运输车系统的行进轨道通常吊装固定在天花板上，运输车沿着行进轨道进行晶圆盒(FOUP)搬运作业，根据系统要求将晶圆盒搬运至指定位置进行取放。

现有轨道系统通常只有一层轨道，只能运行一台运输车进行作业，因而无法满足同一机台需要多台运输车(比如两台)进行取放作业需求。

基于此，需要一种新技术方案。

实用新型内容

有鉴于此，本申请提供一种双层行进轨道系统及自动物料搬运系统，在双轨道系统上可以满足两台运输小车对同一机台进行搬运作业，提高了工厂产品的搬运效率。

本申请实施例提供以下技术方案：

本申请提供一种双层行进轨道系统，包括：第一轨道、第一吊装机构、第二轨道、第二吊装机构、第三吊装机构、吊装横梁和空中缓存装置；

第一轨道通过第一吊装机构吊装于天花板，其中第一轨道作为第一空中运输车的行进轨道；

吊装横梁通过第二吊装机构吊装于天花板，且吊装横梁的高度低于第一轨道的高度；

第二轨道通过第三吊装机构吊装于吊装横梁，其中第二轨道作为第二空中运输车的行进轨道；

空中缓存装置与吊装横梁安装连接，其中空中缓存装置设置有用于临时存放晶圆盒的若干第一存储阁位，以便第一空中运输车或/和第二空中运输车对第一存储阁位进行取放作业。

优选地，空中缓存装置的上部延伸至吊装横梁的上方空间，且设置有用于临时存放晶圆盒的若干第二存储阁位，以便第一空中运输车对第二存储阁位进行取放作业。

优选地，朝向第一轨道的空中缓存装置的上部设置为开放空间，以便第一空中运输车在空中缓存装置的上方停靠后从空中缓存装置的上方对空中缓存装置进行取放作业。

优选地，所述双层行进轨道系统还包括斜坡轨道和第四吊装机构；其中，斜坡轨道通过第四吊装机构吊装于天花板，斜坡轨道的一端与第一轨道对接，斜坡轨道的另一端与第二轨道对接。

优选地，斜坡轨道的数量为至少二个，其中部分斜坡轨道被配置为允许第一空中运输车经过斜坡轨道进入第二轨道的单向轨道；和/或部分斜坡轨道被配置为允许第二空中运输车经过斜坡轨道进入第一轨道的单向轨道；和/或部分斜坡轨道被配置为允许第一空中运输车经过斜坡轨道进入第二轨道、允许第二空中运输车经过斜坡轨道进入第一轨道的双向轨道。

优选地，设有相邻设置的若干所述斜坡轨道，所述双层行进轨道系统还包括加若干强横梁和若干第五吊装机构，其中一所述加强横梁通过若干所述第五吊装机构吊装于天花板，若干所述加强横梁固定连接于相邻的两个所述斜坡轨道相互靠近的一侧。

优选地，所述双层行进轨道系统还包括多个斜拉机构，其中部分斜拉机构用于天花板与第一轨道之间的斜拉连接，和/或部分斜拉机构用于天花板与吊装横梁之间的斜拉连接，和/或部分斜拉机构用于吊装横梁与第二轨道之间的斜拉连接；

和/或，第二轨道位于第一轨道的正下方；

和/或，第二轨道位于第一轨道正下方的左侧或右侧；

和/或，第一轨道和第二轨道的至少部分布置于机台的相邻的临时载放工位的上方，并且沿同一方向延伸，以便运行于第一轨道上的第一空中运输车与该机台的第一临时载放工位交接，同时运行于第二轨道上的第二空中运输车与该机台的第二临时载放工位交接；

和/或，所述双层行进轨道系统还包括用于对轨道进行维修的维修桥架，其中维修桥架包括第六吊装机构和桥架横梁，桥架横梁通过第六吊装机构吊装于天花板。

优选地，斜拉机构包括第一螺杆、第二螺杆和第一双头调节螺杆；其中，第一螺杆的一端用于与第一目标位置进行连接，第一螺杆的另一端与第一双头调节螺杆的一端连接，第一双头调节螺杆的另一端与第二螺杆的一端连接，第二螺杆的另一端用于与第二目标位置连接。需要说明的是，第一目标位置和第二目标位置与斜拉机构的设置位置有关，比如斜拉机构是设置在天花板(或者顶棚)与第一轨道之间时，第一目标位置可以为天花板(或顶棚)上用于安装斜拉机构的指定位置，第二目标位置可以为第一轨道上用于安装斜拉机构的指定位置，这里不再一一列举。

优选地，本申请中任意一项所述的双层行进轨道系统中，部分或全部的吊装机构包括：第三螺杆、第四螺杆和第二双头调节螺杆；其中，第三螺杆的一端与第三目标位置连接，第三螺杆的另一端与第二双头调节螺杆的一端连接，第二双头调节螺杆的另一端与第四螺杆的一端连接，第四螺杆的另一端与第四目标位置连接。需要说明的是，第三目标位置和第四目标位置与吊装机构的设置位置有关，比如第一吊装机构是设置在天花板(或者顶棚)与第一轨道之间时，第三目标位置可以为天花板(或顶棚)上用于安装吊装机构的指定位置，第四目标位置可以为第一轨道上用于安装吊装机构的指定位置，这里不再一一列举。

本申请还提供一种自动物料搬运系统，包括：第一空中运输车、第二空中运输车和如本申请中任意一项所述的双层行进轨道系统；其中，第一空中运输车运行在所述双层行进轨道系统中的第一轨道，第二空中运输车运行在所述双层行进轨道系统中的第二轨道。

与现有技术相比，本说明书实施例采用的上述至少一个技术方案能够达到的有益效果至少包括：

为了提高晶圆盒产品的搬运作业效率，本申请提供了一种双层行进轨道结构，轨道分上下两层吊装固定，通过将轨道分为上下两层结构，并分别吊装固定在天花板上，上下两层空中运行小车各自通过下行轨道和上行轨道进行搬运作业运输，以及空中缓存装置可以用于协助搬运作业，能够满足两台运输小车同时进行搬运作业，或/和，能够满足两台运输小车可以对同一机台相邻的两个位置同时进行搬运作业，提高了工厂产品的搬运效率。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1是本申请中上下垂直布局的双层行进轨道系统结构示意图；

图2是本申请中上下错位布局的双轨道以及布设有空中缓存装置的双层行进轨道系统结构示意图；

图3是本申请中上下两层分别布设多个轨道以及布设有空中缓存装置的双层行进轨道系统结构示意图；

图4是本申请中双层行进轨道系统的侧视图结构示意图；

图5是本申请中吊装机构的结构示意图；

图6是本申请中空中缓存装置的结构示意图；

图7是本申请中布设有检修桥架的双层行进轨道系统结构示意图；

图8是本申请中有斜坡轨道的双层行进轨道系统侧视图结构示意图；

图9是本申请中斜坡轨道与上层轨道连接的结构示意图；

图10是本申请中斜坡轨道与下层轨道连接的结构示意图；

图11是本申请中相邻斜坡轨道之间设置有加强横梁的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本申请实施例进行详细描述。

以下通过特定的具体实例说明本申请的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本申请的其他优点与功效。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。本申请还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本申请的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

要说明的是，下文描述在所附权利要求书的范围内的实施例的各种方面。应显而易见，本文中所描述的方面可体现于广泛多种形式中，且本文中所描述的任何特定结构及/或功能仅为说明性的。基于本申请，所属领域的技术人员应了解，本文中所描述的一个方面可与任何其它方面独立地实施，且可以各种方式组合这些方面中的两者或两者以上。举例来说，可使用本文中所阐述的任何数目和方面来实施设备及/或实践方法。另外，可使用除了本文中所阐述的方面中的一或多者之外的其它结构及/或功能性实施此设备及/或实践此方法。

还需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本申请的基本构想，图式中仅显示与本申请中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。

另外，在以下描述中，提供具体细节是为了便于透彻理解实例。然而，所属领域的技术人员将理解，可在没有这些特定细节的情况下实践。

以下结合附图，说明本申请各实施例提供的技术方案。

如图1至图11示意，本说明书各实施例提供的一种双层行进轨道系统，该双层行进轨道系统可以应用于自动物料搬运系统(AMHS)，便于系统中同时使用多台空中运输车进行晶圆盒物料搬运作业。

如图1至图4示意，一种双层行进轨道系统可包括以下部件：第一吊装机构10、第二吊装机构20、第三吊装机构30、第一轨道40、第二轨道60和吊装横梁50。

第一轨道40通过第一吊装机构10吊装于天花板1(或者用于吊装的顶棚4)，这时第一轨道40能够作为第一空中运输车2的行进轨道。需要说明的是，行进轨道可以为平行设置的两个导轨构成的轨道，这里不作限定。

吊装横梁50通过第二吊装机构20吊装于天花板1(或者用于吊装的顶棚4)，且吊装横梁50的高度低于第一轨道40的高度，即吊装横梁50位于第一轨道40的下方空间，便于第一空中运输车2在吊装横梁50的上方空间进行搬运作业。

第二轨道60通过第三吊装机构30吊装于吊装横梁50，因而第二轨道60能够作为第二空中运输车3的行进轨道；

空中缓存装置80与吊装横梁50安装连接，空中缓存装置80设置有用于临时存放晶圆盒的若干第一存储阁位，以便第二空中运输车对第一存储阁位进行取放作业。因此，空中缓存装置80安装在吊装横梁50的下侧，第二空中运输车3天车可以对空中缓存装置80上的阁位进行取放晶圆盒作业。

通过将两层轨道分别吊装于天花板下方，且两层轨道位于不同高度位置，因而各个轨道可以自由地为空中运输车提供作业空间，使得上下两层轨道上可以同时存在空中运输车进出搬运作业，且互相不影响，从而实现同一个机台上能够运行多台运输车进行晶圆盒搬运作业，有利于提高搬运效率。

在一些实施方式中，双层轨道系统中上下两层轨道，在垂直方向上可以根据晶圆工厂的布局需要，进行上下布局、左右错开布局等

在一种布局的示例中，如图1示意，在垂直方向上，第二轨道60位于第一轨道40的正下方，这时运行于上层轨道的第一空中运输车2和运行于下层轨道的第二空中运输车3在垂直方向上形成上下布局的结构，不仅能够节约厂房空间，而且两台运输车可以在不同高度进行搬运作业。

在一些实施例中，可以针对晶圆盒存储库中的不同高度位置上的阁位进行晶圆盒搬运作业，如上层运输车对晶圆库上半部分的阁位进行作业，下层运输车对晶圆库下半部分的阁位进行作业，非常有利于提升作业效率和节省成本。

在一些实施例中，第二轨道60位于第一轨道40的正下方，其中，第一轨道40和第二轨道60的至少部分布置于机台的相邻的临时载放工位的上方，并且沿同一方向延伸。如此，假设相邻的临时载放工位的数量为二，有第一临时载放工位和第二临时载放工位，其中：运行于第一轨道40上的第一空中运输车2，可停靠于该第一轨道40上对应于第一临时载放工位的位置处，以与该第一临时载放工位交接；在同一时间，运行于第二轨道60上的第二空中运输车3，可停靠于该第二轨道60上对应于第二临时载放工位的位置处，以与该第二临时载放工位交接。能够理解，相邻的临时载放工位的数量还可以设置得更多。在第一轨道40和第二轨道60上运行的空中运输车能够同时与一机台的相邻的临时载放工位交接，进而提高搬运效率。

在一种布局的示例中，如图2示意，在垂直方向上，第二轨道60位于第一轨道40正下方的右侧(当然也可以位于左侧)，实现上下两层轨道错位布局，进而可以利用错位后的空间进行其他设置，例如图2示意，可以在错位布局后的空余位置(如第一轨道的下方空间)布设用于晶圆盒暂存的空中缓存装置80，即空中缓存装置80中设置若干存储阁位，从而第二空中运输车3(也可以是第一空中运输车2)进行晶圆盒暂存的存取作业。

在一些实施例中，参考图2所示，空中缓存装置80的上方是朝向第一轨道40开放的，如此，沿着第一轨道40行进的第一空中运输车2可以在空中缓存装置80的上方停靠，第一空中运输车2从空中缓存装置80的上方与空中缓存装置80交接。空中缓存装置80的至少朝向第二轨道60的侧面也是开放的，沿着第二轨道60行进的第二空中运输车3从侧方与空中缓存装置80交接。与空中缓存装置80交接是指，空中运输车将晶圆盒放置在空中缓存装置80的阁位上，或者从空中缓存装置80的阁位上取出晶圆盒。

在一种布局的示例中，如图3示意，可以布设多个第一轨道和多个第二轨道，上下层轨道可以是正对的上下布设，也可以是错位的上下布设，还可以是前述两种布局的结合，从而可以灵活地满足晶圆厂中针对晶圆盒搬运的布设需要。

在一些实施方式中，吊装横梁50由吊装机构吊装固定在天花板上后，还可以通过在吊装横梁与天花板之间安装斜拉机构(如斜拉杆、斜拉螺杆等)，用于对吊装横梁进行加强固定，有利于为下层轨道提供更加稳定的吊装横梁。

如图3和图4示意，所述双层行进轨道系统还包括斜拉机构，其中斜拉机构的一端连接于天花板，斜拉机构的另一端连接于吊装横梁50。

实施中，斜拉机构可以是斜拉杆、斜拉螺杆等结构形式。如图4示意，斜拉结构100可以由上螺杆101、双头调节螺杆102和下螺杆103构成。其中，双头调节螺杆102的一端设有螺孔，与上螺杆101螺纹联接，两者之间通过转动可调节双头调节螺杆102与上螺杆101的总长度，双头调节螺杆102的另一端也设有螺孔，与下螺杆103螺纹联接，同理，也可以通过旋转调节长度。双头调节螺杆102与上螺杆101及下螺杆103均通过螺纹联接，因此，能够方便通过旋转双头调节螺杆102调节这三者所构成的斜拉结构100的总长度。

需要说明的是，斜拉机构还可以设置在其他位置。例如，在天花板与第一轨道之间有斜拉机构，从而能够对第一轨道提供斜拉的加强结构；又例如，在天花板与吊装横梁之间设置有斜拉机构，从而能够对吊装横梁提供斜拉的加强结构；又例如，在吊装横梁与第二轨道之间设置有斜拉机构，从而能够对第二轨道提供斜拉的加强结构；又例如，在吊装横梁与斜坡轨道之间设置有斜拉机构，从而能够对斜坡轨道提供斜拉的加强结构；又例如，在天花板与斜坡轨道之间设置有斜拉机构，从而能够对斜坡轨道提供斜拉的加强结构。

在一些实施方式中，通过在双层行进轨道系统中布设维修桥架，便于对轨道进行检修，例如对位于上层的第一轨道进行检修。

如图7示意，所述双层行进轨道系统还包括用于对轨道进行维修的维修桥架70，其中维修桥架70包括第六吊装机构71和桥架横梁72，桥架横梁72通过第六吊装机构71吊装于天花板1。

在一些实施方式中，可以采用螺杆构成吊装用的吊装机构，简化吊装机构的结构，还方便吊装机构灵活适应晶圆厂的使用需要。下面以第二吊装机构进行示例说明，其他吊装用的机构若采用相同或相似的机构，则可以参照下述示意内容进行实施。

如图4和图5示意，在双层行进轨道系统中，第二吊装机构20包括：第一螺杆210、第二螺杆230和双头调节螺杆220；其中，第一螺杆210的一端与天花板1连接，第一螺杆210的另一端与双头调节螺杆220的一端连接，双头调节螺杆220的另一端与第二螺杆230的一端连接，第二螺杆230的另一端与吊装横梁50连接。

在一些实施方式中，空中缓存装置80的上部延伸至吊装横梁50的上方空间，且上部设置有用于临时存放晶圆盒的若干第二存储阁位，以便第一空中运输车对第二存储阁位进行取放作业。因此，空中缓存装置80的上部设置为开放空间，该空间向上延伸至吊装横梁50的上方，使得第一空中运输车2也可以对空中缓存装置的阁位进行取放晶圆盒作业，即通过在空中缓存装置上设有多个阁位(如这些阁位位于不同高度位置)，上下层运输车可以同时对空中缓存装置上不同的阁位上进行取放作业。第二存储阁位可设置于第一存储阁位的上方。

在一些实施方式中，如图8至图11示意，所述双层行进轨道系统还包括斜坡轨道110和第四吊装机构120；其中，斜坡轨道110通过第四吊装机构120吊装于天花板，斜坡轨道110的一端与第一轨道40对接(比如在第一对接处130完成对接)，斜坡轨道110的另一端与第二轨道60对接(比如在第二对接处140完成对接)。

沿第二轨道60行进的第二空中运输车可经过斜坡轨道110进入第一轨道40。同理，沿第一轨道40行进的第一空中运输车可经过斜坡轨道110进入第二轨道60。在一些实施例中，第一轨道40是设置在靠近天花板的上层轨道，第二轨道60是相对第一轨道40设置在远离天花板的下层轨道，第一轨道40可以配置为具有多段子轨道相互联通的结构，第二轨道60可以配置为具有多段子轨道相互联通的结构。

在一些实施例中，第一轨道40的部分子轨道和第二轨道60的部分子轨道设置为直轨道，第一轨道40的部分子轨道和第二轨道60的部分子轨道设置为转弯轨道。第一轨道40的直轨道与转弯轨道联通，以实现转弯或者换向行进；第一轨道40中，直轨道与转弯轨道可以进行组合，构成汇流轨道或/和分流轨道。

在一些实施例中，所述双层行进轨道系统设有若干斜坡轨道110，其中，各斜坡轨道110均连通于第一轨道40和第二轨道60之间，部分斜坡轨道110被配置为允许第一空中运输车经过斜坡轨道110进入第二轨道60的单向轨道，部分斜坡轨道110被配置为允许第二空中运输车经过斜坡轨道110进入第一轨道40的单向轨道。

需要说明的是，斜坡轨道110与第四吊装机构120之间可以采用连接件160进行连接，这里不对连接件作限定。

在一些实施方式中，在两个斜坡轨道相邻设置时，可以对这两个相邻斜坡轨道布设加强作用的加强结构。如图11示意，所述双层行进轨道系统还包括加强横梁150和第五吊装机构(图中为示出)，其中加强横梁150通过第五吊装机构吊装于天花板，加强横梁150设置于相邻的两个斜坡轨道之间，例如第一斜坡轨道1101和第二斜坡轨道1102之间设置有加强横梁150，因而加强横梁150的两端各自与对应的斜坡轨道连接。需要说明的是，图11为侧视图，第一斜坡轨道1101、第二斜坡轨道1102、加强横梁150等看起来是竖直的，但可以参考前述斜坡轨道在系统中的示意图(即不同视角下的视图)，可知斜坡轨道是倾斜布设于系统中。

在一些实施方式中，所述第二吊装机构20和/或第三吊装机构30和/或第四吊装机构120和/或第五吊装机构和/或第六吊装机构，也可以采用如前述斜拉机构的第一螺杆、双头调节螺杆和第二螺杆依次螺纹联接构成，如此，旋转联接在第一螺杆和第二螺杆中间的双头调节螺杆，就能调整第一螺杆、双头调节螺杆和第二螺杆三者的总长度，能够更加方便地根据现场安装空间/安装要求调整吊装组件的长度进而使得第一轨道40、第二轨道60和吊装横梁50被吊装在所需的高度/姿势。

在一些实施例中，部分或全部的吊装机构包括：第三螺杆、第四螺杆和第二双头调节螺杆；其中，第三螺杆的一端与第三目标位置连接，第三螺杆的另一端与第二双头调节螺杆的一端连接，第二双头调节螺杆的另一端与第四螺杆的一端连接，第四螺杆的另一端与第四目标位置连接。其中，部分或全部的吊装机构中所述的吊装机构包括第二吊装机构、第二吊装机构20、第三吊装机构30、第四吊装机构120、第五吊装机构、以及第六吊装机构。

基于相同发明构思，本申请还提供一种自动物料搬运系统。

参考前述图1至图11，该自动物料搬运系统可以包括：第一空中运输车、第二空中运输车和如本申请中任意一项实施例所述的双层行进轨道系统；其中，第一空中运输车运行在所述双层行进轨道系统中的第一轨道，第二空中运输车运行在所述双层行进轨道系统中的第二轨道。

本说明书中，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可，每个实施例侧重说明的都是与其他实施例的不同之处。尤其，对于后面说明的实施例而言，描述比较简单，相关之处参见前述实施例的部分说明即可。

以上所述，仅为本申请的具体实施方式，但本申请的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本申请揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本申请的保护范围之内。因此，本申请的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种双层行进轨道系统，其特征在于，包括：第一轨道、第一吊装机构、第二轨道、第二吊装机构、第三吊装机构、吊装横梁以及空中缓存装置；

第一轨道通过第一吊装机构吊装于天花板，其中第一轨道作为第一空中运输车的行进轨道；

吊装横梁通过第二吊装机构吊装于天花板，且吊装横梁的高度低于第一轨道的高度；

第二轨道通过第三吊装机构吊装于吊装横梁，其中第二轨道作为第二空中运输车的行进轨道；

空中缓存装置与吊装横梁安装连接，其中空中缓存装置设置有用于临时存放晶圆盒的若干第一存储阁位，以便第一空中运输车或/和第二空中运输车对第一存储阁位进行取放作业。

2.根据权利要求1所述的双层行进轨道系统，其特征在于，空中缓存装置的上部延伸至吊装横梁的上方空间，且设置有用于临时存放晶圆盒的若干第二存储阁位，以便第一空中运输车对第二存储阁位进行取放作业。

3.根据权利要求1或2所述的双层行进轨道系统，其特征在于，朝向第一轨道的空中缓存装置的上部设置为开放空间，以便第一空中运输车在空中缓存装置的上方停靠后从空中缓存装置的上方对空中缓存装置进行取放作业。

4.根据权利要求1所述的双层行进轨道系统，其特征在于，所述双层行进轨道系统还包括斜坡轨道和第四吊装机构；其中，斜坡轨道通过第四吊装机构吊装于天花板，斜坡轨道的一端与第一轨道对接，斜坡轨道的另一端与第二轨道对接。

5.根据权利要求3所述的双层行进轨道系统，其特征在于，斜坡轨道的数量为至少2个，其中部分斜坡轨道被配置为允许第一空中运输车经过斜坡轨道进入第二轨道的单向轨道；和/或部分斜坡轨道被配置为允许第二空中运输车经过斜坡轨道进入第一轨道的单向轨道；和/或部分斜坡轨道被配置为允许第一空中运输车经过斜坡轨道进入第二轨道、允许第二空中运输车经过斜坡轨道进入第一轨道的双向轨道。

6.根据权利要求4所述的双层行进轨道系统，其特征在于，设有相邻设置的若干所述斜坡轨道，所述双层行进轨道系统还包括若干加强横梁和若干第五吊装机构，其中，一所述加强横梁通过若干所述第五吊装机构吊装于天花板，若干所述加强横梁固定连接于相邻的两个所述斜坡轨道相互靠近的一侧。

7.根据权利要求1所述的双层行进轨道系统，其特征在于，所述双层行进轨道系统还包括多个斜拉机构，其中部分斜拉机构用于天花板与第一轨道之间的斜拉连接，和/或部分斜拉机构用于天花板与吊装横梁之间的斜拉连接，和/或部分斜拉机构用于吊装横梁与第二轨道之间的斜拉连接；

和/或，所述双层行进轨道系统还包括用于对轨道进行维修的维修桥架，其中维修桥架包括第六吊装机构和桥架横梁，桥架横梁通过第六吊装机构吊装于天花板；

和/或，第二轨道位于第一轨道的正下方；

和/或，第二轨道位于第一轨道正下方的左侧或右侧；

和/或，第一轨道和第二轨道的至少部分布置于机台的相邻的临时载放工位的上方，并且沿同一方向延伸，以便运行于第一轨道上的第一空中运输车与该机台的第一临时载放工位交接，同时运行于第二轨道上的第二空中运输车与该机台的第二临时载放工位交接。

8.根据权利要求7所述的双层行进轨道系统，其特征在于，斜拉机构包括第一螺杆、第二螺杆和第一双头调节螺杆；其中，第一螺杆的一端用于与第一目标位置进行连接，第一螺杆的另一端与第一双头调节螺杆的一端连接，第一双头调节螺杆的另一端与第二螺杆的一端连接，第二螺杆的另一端用于与第二目标位置连接。

9.根据权利要求1、4、6中任意一项所述的双层行进轨道系统，其特征在于，部分或全部的吊装机构包括：第三螺杆、第四螺杆和第二双头调节螺杆；其中，第三螺杆的一端与第三目标位置连接，第三螺杆的另一端与第二双头调节螺杆的一端连接，第二双头调节螺杆的另一端与第四螺杆的一端连接，第四螺杆的另一端与第四目标位置连接。

10.一种自动物料搬运系统，其特征在于，包括：第一空中运输车、第二空中运输车和如权利要求1-9中任意一项所述的双层行进轨道系统；其中，第一空中运输车运行在所述双层行进轨道系统中的第一轨道，第二空中运输车运行在所述双层行进轨道系统中的第二轨道。