WO2017043234A1 - 搬送システム及び搬送方法 - Google Patents

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WO2017043234A1
WO2017043234A1 PCT/JP2016/073156 JP2016073156W WO2017043234A1 WO 2017043234 A1 WO2017043234 A1 WO 2017043234A1 JP 2016073156 W JP2016073156 W JP 2016073156W WO 2017043234 A1 WO2017043234 A1 WO 2017043234A1
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WO
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track
storage unit
transfer
storage
transport vehicle
Prior art date
Application number
PCT/JP2016/073156
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English (en)
French (fr)
Inventor
重紀 坂井
栄二郎 青木
Original Assignee
村田機械株式会社
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders

Definitions

  • the present disclosure relates to a transport system and a transport method.
  • the transfer system as described above is required to efficiently transfer the object to be transferred to the apparatus port of the semiconductor processing apparatus.
  • an object of one embodiment of the present disclosure is to provide a transport system and a transport method that can improve the transport efficiency of a transported object with respect to an apparatus port.
  • a transport system includes a first track and a second track, a plurality of ceiling transport vehicles that travel along each of the first track and the second track, and transport an object to be transported,
  • the first storage unit that can transfer the object to be transported by the ceiling transport vehicle stopped on the track
  • the second storage unit that can transfer the object to be transported by the ceiling transport vehicle stopped on the second track
  • the ceiling transport vehicle includes a storage device that can transfer the object to be transferred to each of the apparatus ports that can transfer the object to be transferred.
  • the ceiling transport vehicle stopped on the first track can transfer the object to be transferred to the first storage unit, and the ceiling transport vehicle stopped on the second track is transferred to the second storage unit.
  • a transferred object can be transferred.
  • the storage device is movable between the first storage unit and the second storage unit, and the mobile support table, the mobile support table, and the device port that support the object to be transported And a transfer mechanism capable of transferring the object to be transferred.
  • a transfer mechanism capable of transferring the object to be transferred.
  • the storage device includes a first fixed support base that supports the object to be transported in the first storage unit, and a second fixed support base that supports the object to be transported in the second storage part. And a transfer mechanism capable of transferring an object to be transferred to each of the first fixed support base, the second fixed support base, and the apparatus port.
  • the first track is a part of one of the loop-shaped inner track and the outer track when viewed from the vertical direction
  • the second track is the inner track and the outer track. It may be a part of the other.
  • the first track and the second track may extend in parallel to each other at the same height in the vertical direction.
  • the overhead transport vehicle has a gripping mechanism that can grip a transported object, a lifting mechanism that can lift the gripping mechanism, and a direction in which the first track and the second track are aligned.
  • a moving mechanism capable of moving the elevating mechanism, and having the same position as the first storage unit and the second storage unit in the direction in which the first track and the second track extend, and the first track and the second track
  • the third storage unit may be provided at a position different from the positions of the first storage unit and the second storage unit with respect to the direction in which the lines are arranged.
  • the overhead transportation vehicle can transfer the object to be transported to each of the first storage unit, the second storage unit, and the third storage unit at the same stop position in each of the first track and the second track. Therefore, it is possible to further improve the transfer efficiency of the object to be transferred to the apparatus port.
  • the transport system further includes a controller that controls operations of the overhead transport vehicle and the storage device, and the controller stops on the first track and transfers the transported object to the first storage unit.
  • the operation of the storage device is controlled so that the operation of the overhead transport vehicle is controlled and the object to be transferred is transferred from the first storage unit to the second storage unit, and the object to be transferred from the second storage unit to the device port.
  • movement of a storage apparatus so that it may transfer.
  • the object to be transported can be transferred to the apparatus port not only from the ceiling transport vehicle stopped on the second track, but also from the ceiling transport vehicle stopped on the first track.
  • a transport method is a transport method performed in the transport system, wherein the overhead transport vehicle stops on the first track and the transported object is transferred to the first storage unit.
  • the transfer object can be transferred to the device port not only from the ceiling transfer vehicle stopped on the second track, but also from the ceiling transfer vehicle stopped on the first track. It becomes possible to improve the conveyance efficiency of a conveyed product.
  • FIG. 1 is a plan view of a transport system according to an embodiment of the present disclosure.
  • FIG. 2 is a front view of a part of the transport system of FIG.
  • FIG. 3 is a side view of a part of the transport system of FIG.
  • FIG. 4 is a plan view of a part of the transport system of FIG.
  • FIG. 5 is a front view of a part of the transport system according to the first modification.
  • FIG. 6 is a plan view of a transport system according to a second modification.
  • FIG. 7 is a front view of a part of the transport system of the third modification.
  • FIG. 8 is a front view of a part of the transport system of the fourth modified example.
  • FIG. 9 is a plan view of a transport system according to a fourth modification.
  • FIG. 10 is a front view of a part of the transport system of the fifth modified example.
  • the transport system 1 includes a track 10, a plurality of ceiling transport vehicles 20, a plurality of storage devices 30, a plurality of storage shelves 40, and a controller 50.
  • the track 10 is laid near the ceiling of a semiconductor manufacturing factory including a plurality of semiconductor processing apparatuses 100.
  • the overhead conveyance vehicle 20 is an OHT (Overhead Hoist Transfer) and travels in one direction along the track 10 while being suspended on the track 10.
  • the ceiling transport vehicle 20 may reciprocate along the track 10 in a part of the track 10 (move in both directions with respect to the direction in which the track 10 extends).
  • the overhead conveyance vehicle 20 conveys a FOUP (Front Opening Unified Pod) containing a plurality of semiconductor wafers to the apparatus port of each semiconductor processing apparatus 100.
  • FOUP Front Opening Unified Pod
  • the storage device 30 and the storage shelf 40 are installed so as to correspond to each semiconductor processing apparatus 100.
  • the controller 50 controls the operation of each overhead transport vehicle 20 and each storage device 30. In addition, it replaces with the controller 50, and the controller which controls the operation
  • the track 10 constitutes an inter-process track 13, an in-process track 14, and a branch track 15.
  • the overhead conveyance vehicle 20 can go back and forth between the inter-process track 13 and the intra-process track 14 via the branch track 15.
  • the in-process track 14 includes an inner track 14a, an outer track 14b, and branch tracks 14c and 14d.
  • the inner track 14a and the outer track 14b have a loop shape when viewed from the vertical direction, and the outer track 14b surrounds the plurality of inner tracks 14a when viewed from the vertical direction.
  • the overhead conveyance vehicle 20 can go back and forth between the inner track 14a and the outer track 14b via the branch track 14c, and can go back and forth between the adjacent inner tracks 14a via the branch track 14d.
  • a plurality of sets of the first track 11 and the second track 12 are configured by a part of the inner track 14a and the outer track 14b.
  • the first track 11 is a part of the straight portion of the inner track 14a
  • the second track 12 is a part of the straight portion of the outer track 14b.
  • the first track 11 and the second track 12 of each group extend in parallel to each other at the same height in the vertical direction.
  • Each semiconductor processing apparatus 100 is installed outside the second track 12 when viewed from the vertical direction.
  • the storage device 30 includes a frame 31, a plurality of moving support bases 32, a plurality of fixed support bases 33, and a transfer mechanism 34. .
  • the frame 31 is installed above the plurality of device ports 101 included in the semiconductor processing apparatus 100 and below the second track 12.
  • a FOUP 90 that is an object to be transported of the ceiling transport vehicle 20 is placed. That is, each moving support base 32 and each fixed support base 33 support the FOUP 90.
  • the plurality of device ports 101 are arranged below the second track 12 along the direction A in which the first track 11 and the second track 12 extend.
  • the frame 31 is provided with opening areas 31a, 31b, 31c (see FIG. 3). Each of the plurality of opening regions 31a penetrates in the vertical direction and faces each device port 101 in the vertical direction.
  • Each movement support base 32 is installed on the frame 31 so as to be slidable between a position covering the lower end of each opening region 31 a and a position below the first track 11.
  • Each of the plurality of opening regions 31b penetrates in the vertical direction and is located on both sides of the plurality of opening regions 31a in the direction A.
  • Each fixed support base 33 is fixed to the frame 31 so as to cover the lower end of each opening region 31b.
  • the opening area 31c penetrates in the vertical direction and the direction A, and is located above the plurality of opening areas 31a and 31b.
  • the transfer mechanism 34 is installed on the frame 31 so as to be movable along the direction A in the opening region 31c.
  • the area on each moving support base 32 located at a position below the first track 11 functions as the first storage part 30a, and is located at a position covering the lower end of each opening area 31a.
  • a region on each moving support base 32 functions as the second storage unit 30b (see FIG. 4).
  • the first storage unit 30 a is a temporary storage area in which the ceiling transport vehicle 20 stopped on the first track 11 can transfer the FOUP 90.
  • the second storage unit 30 b is a temporary storage area in which the ceiling transport vehicle 20 stopped on the second track 12 can transfer the FOUP 90.
  • the storage device 30 can transfer the FOUP 90 to each of the plurality of first storage units 30a, the plurality of second storage units 30b, and the plurality of device ports 101.
  • the ceiling transport vehicle 20 stopped on the first track 11 can transfer the FOUP 90 to the moving support base 32 located at a position below the first track 11.
  • the overhead transport vehicle 20 stopped on the second track 12 can transfer the FOUP 90 to the moving support base 32 located at a position covering the lower end of the opening region 31a.
  • the overhead conveyance vehicle 20 stopped on the second track 12 has an opening region 31a (the lower end portion is covered by the movement of the movement support table 32 when the movement support table 32 is located at a position below the first track 11).
  • the FOUP 90 can be transferred to the device port 101 arranged below the open area 31a).
  • the overhead transport vehicle 20 stopped on the second track 12 can transfer the FOUP 90 to the fixed support base 33.
  • the ceiling transport vehicle 20 includes a gripping mechanism 21 that can grip the flange portion 91 of the FOUP 90, and a lifting mechanism 23 that can lift and lower the gripping mechanism 21 by feeding and unloading the belt 22 to which the gripping mechanism 21 is connected.
  • the FOUP 90 is transferred to each of the movable support base 32, the fixed support base 33, and the apparatus port 101 by moving the gripping mechanism 21 up and down by the lift mechanism 23.
  • the transfer mechanism 34 can transfer the FOUP 90 to each of the movable support base 32 and the fixed support base 33 that are located at a position covering the lower end of the opening region 31a.
  • the transfer mechanism 34 has an opening region 31a (an opening region 31a whose lower end is not covered by the movement of the moving support table 32) when the moving support table 32 is located at a position below the first track 11.
  • the FOUP 90 can be transferred to the device port 101 arranged below the device port 101.
  • the transfer mechanism 34 moves the FOUP 90 to each of the movable support base 32, the fixed support base 33, and the apparatus port 101 by moving up and down the gripping mechanism 34 a that can grip the flange portion 91 of the FOUP 90. .
  • the storage shelf 40 has a plurality of fixed support bases 41.
  • a FOUP 90 is placed on each fixed support base 41. That is, each fixed support base 41 supports the FOUP 90.
  • the area on each fixed support base 41 functions as a third storage unit 40a (see FIG. 4).
  • the third storage unit 40 a is a temporary storage area in which the ceiling transport vehicle 20 stopped on the first track 11 can transfer the FOUP 90.
  • the ceiling transport vehicle 20 further includes a moving mechanism 24 that can move the elevating mechanism 23 along a direction B (a direction in which the first track 11 and the second track 12 are arranged) parallel to the horizontal direction and perpendicular to the direction A.
  • the lifting mechanism 23 is moved inward by the moving mechanism 24 and the gripping mechanism 21 is moved up and down by the lifting mechanism 23, so that the FOUP 90 is transferred to each fixed support base 41.
  • Each third storage unit 40a has the same position as each first storage unit 30a and each second storage unit 30b of the storage device 30 in the direction A in which the first track 11 and the second track 12 extend, and The first track 11 and the second track 12 are arranged at positions different from the positions of the first storage units 30a and the second storage units 30b of the storage device 30 in the direction B in which the first track 11 and the second track 12 are arranged. That is, when viewed from the direction B, the third storage unit 40a is located on a line parallel to the vertical direction passing through the first storage unit 30a and the second storage unit 30b corresponding to the third storage unit 40a. Cage (see FIGS.
  • the third storage unit 40a is located above the first storage unit 30a and the second storage unit 30b corresponding to the third storage unit 40a, and when viewed from the direction A, the third storage unit 40a It is located inside the first storage unit 30a and the second storage unit 30b corresponding to the storage unit 40a (see FIG. 2). However, the third storage unit 40a may be located at the same height or lower than the first storage unit 30a and the second storage unit 30b corresponding to the third storage unit 40a.
  • the controller 50 stops on the first track 11 and transfers the FOUP 90 to the first storage unit 30a (that is, on the moving support base 32 positioned at a position below the first track 11).
  • the operation of the ceiling transport vehicle 20 is controlled.
  • the ceiling transport vehicle 20 stops on the first track 11 and transfers the FOUP 90 to the first storage unit 30a (first step).
  • the controller 50 transfers the FOUP 90 from the first storage unit 30a to the second storage unit 30b (that is, on the moving support base 32 located at a position covering the lower end of the opening region 31a).
  • the movement support base 32 is moved from a position corresponding to the first storage unit 30a to a position corresponding to the second storage unit 30b (second step).
  • the controller 50 controls the operation of the storage device 30 so that the FOUP 90 is transferred from the second storage unit 30b to the device port 101. That is, the storage device 30 operates the transfer mechanism 34 to transfer the FOUP 90 placed on the second storage unit 30 b to the transfer mechanism 34.
  • the storage device 30 moves the movement support base 32 from the second storage unit 30b to the first storage unit 30a.
  • the storage device 30 operates the transfer mechanism 34 to transfer the FOUP 90 to the device port 101 (third step).
  • the ceiling transport vehicle 20 stopped on the first track 11 can transfer the FOUP 90 to the first storage unit 30 a, and the ceiling transport vehicle stopped on the second track 12. 20 can transfer the FOUP 90 to the second storage unit 30b.
  • the storage device 30 capable of transferring the FOUP 90 to each of the first storage unit 30a, the second storage unit 30b, and the device port 101 the number of transports of the FOUP 90 to the device port 101 can be increased. As a result, the conveyance efficiency of the FOUP 90 with respect to the apparatus port 101 can be improved.
  • the storage device 30 includes a movement support base 32 and a transfer mechanism 34.
  • the movement support base 32 is movable between the first storage part 30a and the second storage part 30b, and the transfer mechanism 34 is FOUP 90 with respect to each of the movement support base 32 and the apparatus port 101. Can be transferred.
  • the structure of the transfer mechanism 34 can be simplified by adopting a structure that can move between the first storage part 30 a and the second storage part 30 b in the movement support base 32.
  • the first track 11 is a part of the loop-shaped inner track 14a when viewed from the vertical direction
  • the second track 12 is the loop-shaped outer track 14b when viewed from the vertical direction. It is a part.
  • the first track 11 and the second track 12 extend in parallel to each other at the same height in the vertical direction. Therefore, in the transfer system 1 in which the ceiling height is limited, the transfer efficiency of the FOUP 90 with respect to the apparatus port 101 can be improved.
  • the ceiling transport vehicle 20 includes a gripping mechanism 21, an elevating mechanism 23, and a moving mechanism 24.
  • the direction B in which the first track 11 and the second track 12 extend is the same as the position of the first storage unit 30a and the second storage unit 30b, and the direction B in which the first track 11 and the second track 12 are arranged.
  • the third storage unit 40a is provided at a position different from the positions of the first storage unit 30a and the second storage unit 30b.
  • the ceiling transport vehicle 20 moves the FOUP 90 to each of the first storage unit 30a, the second storage unit 30b, and the third storage unit 40a at the same stop position on each of the first track 11 and the second track 12. Therefore, the transport efficiency of the FOUP 90 with respect to the apparatus port 101 can be further improved.
  • the controller 50 controls the operation of the overhead transport vehicle 20 so as to stop on the first track 11 and transfer the FOUP 90 to the first storage unit 30a, and the second storage from the first storage unit 30a.
  • the operation of the storage device 30 is controlled to transfer the FOUP 90 to the unit 30b, and the operation of the storage device 30 is controlled to transfer the FOUP 90 from the second storage unit 30b to the device port 101.
  • the FOUP 90 can be transferred to the apparatus port 101 not only from the ceiling conveyance vehicle 20 stopped on the second track 12 but also from the ceiling conveyance vehicle 20 stopped on the first track 11. Therefore, it is possible to improve the transport efficiency of the FOUP 90.
  • the storage shelf 40 may not be provided. In this case, the distance between the semiconductor processing apparatuses 100 facing each other can be reduced.
  • the first track 11 and the second track 12 are one of the straight portions of the tracks 10 adjacent to each other (here, the in-process track 14 arranged in parallel to branch and merge). Part.
  • the transfer system 1 may be configured such that the first track 11 and the first storage unit 30 a are located above the semiconductor processing apparatus 100. In this case, the area above the semiconductor processing apparatus 100 can be used effectively.
  • the first track 11 may be provided at a position displaced along the direction B from the position above the first storage unit 30a.
  • the overhead transport vehicle 20 stopped on the first track 11 can transfer the FOUP 90 to the first storage unit 30a by using the moving mechanism 24.
  • common storage shelves 60 can be installed on both sides of each storage device 30 in the direction A in which the first track 11 and the second track 12 extend.
  • the FOUP 90 can be transferred to both the storage shelves 60 by both the ceiling transport vehicle 20 stopped on the first track 11 and the ceiling transport vehicle 20 stopped on the second track 12.
  • the storage device 30 includes a first fixed support base 36 that supports the FOUP 90 in the first storage section 30a, and a second fixed support base 37 that supports the FOUP 90 in the second storage section 30b.
  • a transfer mechanism 35 capable of transferring the FOUP 90 may be provided to each of the first fixed support base 36, the second fixed support base 37, and the apparatus port 101.
  • the second storage unit 30b (second fixed support base 37) and the device port 101 are provided immediately below the second track 12, but the direction in which the first track 11 and the second track 12 extend. They are provided at positions shifted from each other with respect to A. That is, the second storage unit 30 b (second fixed support base 37) is provided at a position shifted from directly above the device port 101.
  • the transfer mechanism 35 is movable along the direction A in which the first track 11 and the second track 12 extend, directly above the second storage unit 30b (second fixed support base 37) and directly above the device port 101. is there. Further, the transfer mechanism 35 can move the gripping mechanism 35 a capable of gripping the flange portion 91 of the FOUP 90 along the direction B and can be moved up and down. Thereby, the transfer mechanism 35 can transfer the FOUP 90 to each of the first fixed support base 36, the second fixed support base 37, and the apparatus port 101.
  • the overhead transport vehicle 20 traveling on the second track 12 stops immediately above the apparatus port 101 and transfers the FOUP 90 to the apparatus port 101 via the region between the traveling rails of the transfer mechanism 35. be able to. According to this example, since the 1st fixed support stand 36 and the 2nd fixed support stand 37 become fixed, those structures can be simplified.
  • the following transport method may be implemented. That is, in the storage device 30, the first storage unit 30 a and the second storage unit 30 b on the upstream side of the first track 11 and the second track 12 (for example, the two movement support bases 32 on the upstream side in FIG. 4) are connected to the ceiling. Only for receiving goods from the transport vehicle 20 (for warehousing). Then, the first storage unit 30a and the second storage unit 30b on the downstream side in the first track 11 and the second track 12 (for example, the two movement support bases 32 on the downstream side in FIG. 4) are connected to the ceiling transport vehicle 20. Only for delivery (departure). Thus, the operation of the ceiling transport vehicle 20 having the FOUP 90 placed on the upstream side movement support base 32 receiving the FOUP 90 from the downstream side movement support base 32 and shifting to the transport is efficiently performed.
  • an object to be conveyed that is conveyed by the conveyance system according to an embodiment of the present disclosure is not limited to a FOUP that accommodates a plurality of semiconductor wafers, and may be other containers that accommodate glass wafers, reticles, or the like.
  • the transfer system according to an embodiment of the present disclosure is not limited to a semiconductor manufacturing factory, and can be applied to other facilities.

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Abstract

搬送システムは、第１軌道及び第２軌道と、複数の天井搬送車と、保管装置と、を備える。天井搬送車は、第１軌道及び第２軌道のそれぞれに沿って走行し、被搬送物を搬送する。保管装置は、第１軌道において停止した天井搬送車が被搬送物を移載可能な第１保管部、第２軌道において停止した天井搬送車が被搬送物を移載可能な第２保管部、及び第２軌道において停止した天井搬送車が被搬送物を移載可能な装置ポートのそれぞれに対して、被搬送物を移載可能である。

Description

搬送システム及び搬送方法
　本開示は、搬送システム及び搬送方法に関する。
　例えば半導体製造工場に適用される搬送システムとして、第１軌道及び第２軌道と、第１軌道及び第２軌道のそれぞれに沿って走行する天井搬送車と、第１軌道及び第２軌道のそれぞれにおいて停止した天井搬送車が被搬送物を移載可能な棚装置と、を備えるものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許第４４７０５７６号公報
　上述したような搬送システムには、半導体処理装置の稼働率を向上させる観点から、半導体処理装置の装置ポートに対して被搬送物を効率良く搬送することが求められている。
　そこで、本開示の一形態は、装置ポートに対する被搬送物の搬送効率を向上させることができる搬送システム及び搬送方法を提供することを目的とする。
　本開示の一形態に係る搬送システムは、第１軌道及び第２軌道と、第１軌道及び第２軌道のそれぞれに沿って走行し、被搬送物を搬送する複数の天井搬送車と、第１軌道において停止した天井搬送車が被搬送物を移載可能な第１保管部、第２軌道において停止した天井搬送車が被搬送物を移載可能な第２保管部、及び第２軌道において停止した天井搬送車が被搬送物を移載可能な装置ポートのそれぞれに対して、被搬送物を移載可能な保管装置と、を備える。
　この搬送システムでは、第１軌道において停止した天井搬送車が第１保管部に対して被搬送物を移載することができ、第２軌道において停止した天井搬送車が第２保管部に対して被搬送物を移載することができる。これにより、第１保管部、第２保管部及び装置ポートのそれぞれに対して被搬送物を移載可能な保管装置において、装置ポートに対する被搬送物の搬送数を増加させることができ、その結果、装置ポートに対する被搬送物の搬送効率を向上させることが可能となる。
　本開示の一形態に係る搬送システムでは、保管装置は、第１保管部と第２保管部との間において移動可能であり、被搬送物を支持する移動支持台と、移動支持台及び装置ポートのそれぞれに対して、被搬送物を移載可能な移載機構と、を有してもよい。これにより、移載機構の構成を単純化することができる。
　本開示の一形態に係る搬送システムでは、保管装置は、第１保管部において被搬送物を支持する第１固定支持台と、第２保管部において被搬送物を支持する第２固定支持台と、第１固定支持台、第２固定支持台及び装置ポートのそれぞれに対して、被搬送物を移載可能な移載機構と、を有してもよい。これにより、支持台の構成を単純化することができる。
　本開示の一形態に係る搬送システムでは、第１軌道は、鉛直方向から見た場合にループ状の内側軌道及び外側軌道の一方の一部であり、第２軌道は、内側軌道及び外側軌道の他方の一部であってもよい。これにより、実用的な軌道レイアウトを有する搬送システムにおいて、装置ポートに対する被搬送物の搬送効率を向上させることができる。
　本開示の一形態に係る搬送システムでは、第１軌道及び第２軌道は、鉛直方向において互いに同じ高さで且つ互いに平行に延在していてもよい。これにより、天井高さが制限された搬送システムにおいて、装置ポートに対する被搬送物の搬送効率を向上させることができる。
　本開示の一形態に係る搬送システムでは、天井搬送車は、被搬送物を把持可能な把持機構と、把持機構を昇降可能な昇降機構と、第１軌道及び第２軌道が並ぶ方向に沿って昇降機構を移動可能な移動機構と、有し、第１軌道及び第２軌道が延在する方向に関して第１保管部及び第２保管部の位置と同じであり、且つ第１軌道及び第２軌道が並ぶ方向に関して第１保管部及び第２保管部の位置と異なる位置に、第３保管部が設けられていてもよい。これにより、第１軌道及び第２軌道のそれぞれにおける同じ停止位置で、第１保管部、第２保管部及び第３保管部のそれぞれに対して天井搬送車が被搬送物を移載することができるので、装置ポートに対する被搬送物の搬送効率をより一層向上させることが可能となる。
　本開示の一形態に係る搬送システムは、天井搬送車及び保管装置の動作を制御するコントローラを更に備え、コントローラは、第１軌道において停止して第１保管部に被搬送物を移載するように、天井搬送車の動作を制御し、第１保管部から第２保管部に被搬送物を移載するように、保管装置の動作を制御し、第２保管部から装置ポートに被搬送物を移載するように、保管装置の動作を制御してもよい。これにより、第２軌道において停止した天井搬送車からだけでなく、第１軌道において停止した天井搬送車からも、装置ポートに被搬送物を移載することができる。
　本開示の一形態に係る搬送方法は、上記搬送システムにおいて実施される搬送方法であって、天井搬送車が第１軌道において停止して第１保管部に被搬送物を移載する第１ステップと、保管装置が第１保管部から第２保管部に被搬送物を移載する第２ステップと、保管装置が第２保管部から装置ポートに被搬送物を移載する第３ステップと、を含む。
　この搬送方法では、第２軌道において停止した天井搬送車からだけでなく、第１軌道において停止した天井搬送車からも、装置ポートに被搬送物を移載することができるので、装置ポートに対する被搬送物の搬送効率を向上させることが可能となる。
　本開示の一形態によれば、装置ポートに対する被搬送物の搬送効率を向上させることができる搬送システム及び搬送方法を提供することが可能となる。
図１は、本開示の一実施形態の搬送システムの平面図である。 図２は、図１の搬送システムの一部の正面図である。 図３は、図１の搬送システムの一部の側面図である。 図４は、図１の搬送システムの一部の平面図である。 図５は、第１変形例の搬送システムの一部の正面図である。 図６は、第２変形例の搬送システムの平面図である。 図７は、第３変形例の搬送システムの一部の正面図である。 図８は、第４変形例の搬送システムの一部の正面図である。 図９は、第４変形例の搬送システムの平面図である。 図１０は、第５変形例の搬送システムの一部の正面図である。
　以下、本開示の一実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
　図１に示されるように、搬送システム１は、軌道１０と、複数の天井搬送車２０と、複数の保管装置３０と、複数の保管棚４０と、コントローラ５０と、を備えている。軌道１０は、複数の半導体処理装置１００を備える半導体製造工場の天井付近に敷設されている。天井搬送車２０は、ＯＨＴ（Overhead　Hoist　Transfer）であり、軌道１０に吊り下げられた状態で軌道１０に沿って一方向に走行する。ただし、天井搬送車２０は、軌道１０の一部において、その軌道１０を往復移動（軌道１０が延在する方向に関して双方向に移動）する場合もある。天井搬送車２０は、複数の半導体ウェハが収容されたＦＯＵＰ（Front　Opening　Unified　Pod）を各半導体処理装置１００の装置ポートに対して搬送する。保管装置３０及び保管棚４０は、各半導体処理装置１００に対応するように設置されている。コントローラ５０は、各天井搬送車２０及び各保管装置３０の動作を制御する。なお、コントローラ５０に代えて、各天井搬送車２０の動作を制御するコントローラ、及び各保管装置３０の動作を制御するコントローラが別々に設けられていてもよい。その場合、それらのコントローラが相互に通信を行うことにより、後述する搬送方法等、搬送システム１での制御が実現される。
　軌道１０は、工程間軌道１３、工程内軌道１４及び分岐軌道１５を構成している。天井搬送車２０は、分岐軌道１５を介して、工程間軌道１３と工程内軌道１４との間を行き来することができる。工程内軌道１４は、内側軌道１４ａと、外側軌道１４ｂと、分岐軌道１４ｃ，１４ｄと、を含んでいる。内側軌道１４ａ及び外側軌道１４ｂは、鉛直方向から見た場合にループ状であり、外側軌道１４ｂは、鉛直方向から見た場合に複数の内側軌道１４ａを囲んでいる。天井搬送車２０は、分岐軌道１４ｃを介して、内側軌道１４ａと外側軌道１４ｂとの間を行き来することができ、分岐軌道１４ｄを介して、隣り合う内側軌道１４ａ間を行き来することができる。
　搬送システム１では、内側軌道１４ａ及び外側軌道１４ｂの一部によって、複数組の第１軌道１１及び第２軌道１２が構成されている。第１軌道１１は、内側軌道１４ａの直線部の一部であり、第２軌道１２は、外側軌道１４ｂの直線部の一部である。各組の第１軌道１１及び第２軌道１２は、鉛直方向において互いに同じ高さで且つ互いに平行に延在している。なお、各半導体処理装置１００は、鉛直方向から見た場合に第２軌道１２の外側に設置されている。
　図２、図３及び図４に示されるように、保管装置３０は、フレーム３１と、複数の移動支持台３２と、複数の固定支持台３３と、移載機構３４と、を有している。フレーム３１は、半導体処理装置１００が備える複数の装置ポート１０１の上方且つ第２軌道１２の下方に設置されている。各移動支持台３２及び各固定支持台３３には、天井搬送車２０の被搬送物であるＦＯＵＰ９０が載置される。つまり、各移動支持台３２及び各固定支持台３３は、ＦＯＵＰ９０を支持する。なお、複数の装置ポート１０１は、第１軌道１１及び第２軌道１２が延在する方向Ａに沿って、第２軌道１２の下方に配置されている。
　フレーム３１には、開口領域３１ａ，３１ｂ，３１ｃが設けられている（図３参照）。複数の開口領域３１ａのそれぞれは、鉛直方向に貫通しており、各装置ポート１０１と鉛直方向において対向している。各移動支持台３２は、各開口領域３１ａの下端部を覆う位置と第１軌道１１の下方の位置との間でスライド移動可能となるように、フレーム３１に設置されている。複数の開口領域３１ｂのそれぞれは、鉛直方向に貫通しており、方向Ａにおいて複数の開口領域３１ａの両側に位置している。各固定支持台３３は、各開口領域３１ｂの下端部を覆うように、フレーム３１に固定されている。開口領域３１ｃは、鉛直方向及び方向Ａのそれぞれの方向に貫通しており、複数の開口領域３１ａ，３１ｂの上側に位置している。移載機構３４は、開口領域３１ｃを方向Ａに沿って移動可能となるように、フレーム３１に設置されている。
　保管装置３０においては、第１軌道１１の下方の位置に位置している各移動支持台３２上の領域が第１保管部３０ａとして機能し、各開口領域３１ａの下端部を覆う位置に位置している各移動支持台３２上の領域が第２保管部３０ｂとして機能する（図４参照）。第１保管部３０ａは、第１軌道１１において停止した天井搬送車２０がＦＯＵＰ９０を移載可能な一時保管領域である。第２保管部３０ｂは、第２軌道１２において停止した天井搬送車２０がＦＯＵＰ９０を移載可能な一時保管領域である。保管装置３０は、複数の第１保管部３０ａ、複数の第２保管部３０ｂ及び複数の装置ポート１０１のそれぞれに対して、ＦＯＵＰ９０を移載可能である。
　より具体的には、第１軌道１１において停止した天井搬送車２０は、第１軌道１１の下方の位置に位置している移動支持台３２に対して、ＦＯＵＰ９０を移載することができる。第２軌道１２において停止した天井搬送車２０は、開口領域３１ａの下端部を覆う位置に位置している移動支持台３２に対して、ＦＯＵＰ９０を移載することができる。第２軌道１２において停止した天井搬送車２０は、移動支持台３２が第１軌道１１の下方の位置に位置している際に、開口領域３１ａ（当該移動支持台３２の移動によって下端部が覆われていない開口領域３１ａ）の下方に配置された装置ポート１０１に対して、ＦＯＵＰ９０を移載することができる。第２軌道１２において停止した天井搬送車２０は、固定支持台３３に対して、ＦＯＵＰ９０を移載することができる。なお、天井搬送車２０は、ＦＯＵＰ９０のフランジ部９１を把持可能な把持機構２１と、把持機構２１が接続されたベルト２２の繰出し入れによって把持機構２１を昇降可能な昇降機構２３と、を有しており、把持機構２１を昇降機構２３で昇降させることで、移動支持台３２、固定支持台３３及び装置ポート１０１のそれぞれに対して、ＦＯＵＰ９０を移載する。
　また、移載機構３４は、開口領域３１ａの下端部を覆う位置に位置している移動支持台３２、及び固定支持台３３のそれぞれに対して、ＦＯＵＰ９０を移載することができる。移載機構３４は、移動支持台３２が第１軌道１１の下方の位置に位置している際に、開口領域３１ａ（当該移動支持台３２の移動によって下端部が覆われていない開口領域３１ａ）の下方に配置された装置ポート１０１に対して、ＦＯＵＰ９０を移載することができる。なお、移載機構３４は、ＦＯＵＰ９０のフランジ部９１を把持可能な把持機構３４ａを昇降させることで、移動支持台３２、固定支持台３３及び装置ポート１０１のそれぞれに対して、ＦＯＵＰ９０を移載する。
　保管棚４０は、複数の固定支持台４１を有している。各固定支持台４１には、ＦＯＵＰ９０が載置される。つまり、各固定支持台４１は、ＦＯＵＰ９０を支持する。保管棚４０においては、各固定支持台４１上の領域が第３保管部４０ａとして機能する（図４参照）。第３保管部４０ａは、第１軌道１１において停止した天井搬送車２０がＦＯＵＰ９０を移載可能な一時保管領域である。なお、天井搬送車２０は、水平方向に平行且つ方向Ａに垂直な方向（第１軌道１１及び第２軌道１２が並ぶ方向）Ｂに沿って昇降機構２３を移動可能な移動機構２４を更に有しており、昇降機構２３を移動機構２４で内側に移動させて把持機構２１を昇降機構２３で昇降させることで、各固定支持台４１に対して、ＦＯＵＰ９０を移載する。
　各第３保管部４０ａは、第１軌道１１及び第２軌道１２が延在する方向Ａに関して保管装置３０の各第１保管部３０ａ及び各第２保管部３０ｂの位置と同じであり、且つ第１軌道１１及び第２軌道１２が並ぶ方向Ｂに関して保管装置３０の各第１保管部３０ａ及び各第２保管部３０ｂの位置と異なる位置に、配置されている。つまり、第３保管部４０ａは、方向Ｂから見た場合に、当該第３保管部４０ａに対応する第１保管部３０ａ及び第２保管部３０ｂを通る鉛直方向に平行なライン上に位置しており（図３及び図４参照）、方向Ａから見た場合に、当該第３保管部４０ａに対応する第１保管部３０ａ及び第２保管部３０ｂのそれぞれを通る鉛直方向に平行なライン上に位置していない（図２及び図４参照）。なお、第３保管部４０ａは、当該第３保管部４０ａに対応する第１保管部３０ａ及び第２保管部３０ｂに対して上側に位置しており、方向Ａから見た場合に、当該第３保管部４０ａに対応する第１保管部３０ａ及び第２保管部３０ｂに対して内側に位置している（図２参照）。ただし、第３保管部４０ａは、当該第３保管部４０ａに対応する第１保管部３０ａ及び第２保管部３０ｂに対して同じ高さ或いは下側に位置していてもよい。
　以上のように構成された搬送システム１では、一例として、次のような搬送方法が実施される。まず、コントローラ５０が、第１軌道１１において停止して第１保管部３０ａ（すなわち、第１軌道１１の下方の位置に位置している移動支持台３２上）にＦＯＵＰ９０を移載するように、天井搬送車２０の動作を制御する。これにより、天井搬送車２０が、第１軌道１１において停止して第１保管部３０ａにＦＯＵＰ９０を移載する（第１ステップ）。続いて、コントローラ５０が、第１保管部３０ａから第２保管部３０ｂ（すなわち、開口領域３１ａの下端部を覆う位置に位置している移動支持台３２上）にＦＯＵＰ９０を移載するように、移動支持台３２を、第１保管部３０ａに対応する位置から第２保管部３０ｂに対応する位置へ移動させる（第２ステップ）。続いて、コントローラ５０が、第２保管部３０ｂから装置ポート１０１にＦＯＵＰ９０を移載するように、保管装置３０の動作を制御する。すなわち、保管装置３０が、移載機構３４を動作させて、第２保管部３０ｂに載置されたＦＯＵＰ９０を、移載機構３４に移載させる。続いて、保管装置３０が、移動支持台３２を、第２保管部３０ｂから第１保管部３０ａに移動させる。続いて、保管装置３０が、移載機構３４を動作させて、装置ポート１０１にＦＯＵＰ９０を移載する（第３ステップ）。
　以上説明したように、搬送システム１では、第１軌道１１において停止した天井搬送車２０が第１保管部３０ａに対してＦＯＵＰ９０を移載することができ、第２軌道１２において停止した天井搬送車２０が第２保管部３０ｂに対してＦＯＵＰ９０を移載することができる。これにより、第１保管部３０ａ、第２保管部３０ｂ及び装置ポート１０１のそれぞれに対してＦＯＵＰ９０を移載可能な保管装置３０において、装置ポート１０１に対するＦＯＵＰ９０の搬送数を増加させることができ、その結果、装置ポート１０１に対するＦＯＵＰ９０の搬送効率を向上させることが可能となる。
　搬送システム１では、保管装置３０が、移動支持台３２と、移載機構３４と、を有している。そして、移動支持台３２が、第１保管部３０ａと第２保管部３０ｂとの間において移動可能であり、移載機構３４が、移動支持台３２、及び装置ポート１０１のそれぞれに対して、ＦＯＵＰ９０を移載可能である。このように、第１保管部３０ａと第２保管部３０ｂとの間において移動可能な構成を移動支持台３２に採用することで、移載機構３４の構成を単純化することができる。
　搬送システム１では、第１軌道１１が、鉛直方向から見た場合にループ状の内側軌道１４ａの一部であり、第２軌道１２が、鉛直方向から見た場合にループ状の外側軌道１４ｂの一部である。これにより、実用的な軌道レイアウトを有する搬送システム１において、装置ポート１０１に対するＦＯＵＰ９０の搬送効率を向上させることができる。
　搬送システム１では、第１軌道１１及び第２軌道１２が、鉛直方向において互いに同じ高さで且つ互いに平行に延在している。これにより、天井高さが制限された搬送システム１において、装置ポート１０１に対するＦＯＵＰ９０の搬送効率を向上させることができる。
　搬送システム１では、天井搬送車２０が、把持機構２１と、昇降機構２３と、移動機構２４と、を有している。そして、第１軌道１１及び第２軌道１２が延在する方向Ａに関して第１保管部３０ａ及び第２保管部３０ｂの位置と同じであり、且つ第１軌道１１及び第２軌道１２が並ぶ方向Ｂに関して第１保管部３０ａ及び第２保管部３０ｂの位置と異なる位置に、第３保管部４０ａが設けられている。これにより、第１軌道１１及び第２軌道１２のそれぞれにおける同じ停止位置で、第１保管部３０ａ、第２保管部３０ｂ及び第３保管部４０ａのそれぞれに対して天井搬送車２０がＦＯＵＰ９０を移載することができるので、装置ポート１０１に対するＦＯＵＰ９０の搬送効率をより一層向上させることが可能となる。
　搬送システム１では、コントローラ５０が、第１軌道１１において停止して第１保管部３０ａにＦＯＵＰ９０を移載するように、天井搬送車２０の動作を制御し、第１保管部３０ａから第２保管部３０ｂにＦＯＵＰ９０を移載するように、保管装置３０の動作を制御し、第２保管部３０ｂから装置ポート１０１にＦＯＵＰ９０を移載するように、保管装置３０の動作を制御する。これにより、第２軌道１２において停止した天井搬送車２０からだけでなく、第１軌道１１において停止した天井搬送車２０からも、装置ポート１０１にＦＯＵＰ９０を移載することができるので、装置ポート１０１に対するＦＯＵＰ９０の搬送効率を向上させることが可能となる。
　以上、本開示の一実施形態について説明したが、本開示の一形態は、上記一実施形態に限定されるものではない。例えば、図５に示されるように、保管棚４０は、設けられていなくてもよい。この場合、互いに対向する半導体処理装置１００間の距離を小さくすることができる。また、図６に示されるように、第１軌道１１及び第２軌道１２は、互いに隣り合う軌道１０（ここでは、分岐及び合流するように並設された工程内軌道１４）の直線部の一部であってもよい。また、図７に示されるように、搬送システム１は、第１軌道１１及び第１保管部３０ａが半導体処理装置１００の上方に位置するように、構成されていてもよい。この場合、半導体処理装置１００の上方の領域を有効利用することができる。
　また、図８に示されるように、第１軌道１１は、第１保管部３０ａの上方の位置から方向Ｂに沿ってずれた位置に設けられていてもよい。この場合にも、第１軌道１１において停止した天井搬送車２０は、移動機構２４を用いることで、第１保管部３０ａに対してＦＯＵＰ９０を移載することができる。そして、この場合、図９に示されるように、例えば、第１軌道１１及び第２軌道１２が延在する方向Ａに関して各保管装置３０の両側に、共通の保管棚６０を設置することができる。各保管棚６０に対しては、第１軌道１１において停止した天井搬送車２０、及び第２軌道１２において停止した天井搬送車２０の両方がＦＯＵＰ９０を移載することができる。
　また、図１０に示されるように、保管装置３０は、第１保管部３０ａにおいてＦＯＵＰ９０を支持する第１固定支持台３６と、第２保管部３０ｂにおいてＦＯＵＰ９０を支持する第２固定支持台３７と、第１固定支持台３６、第２固定支持台３７及び装置ポート１０１のそれぞれに対して、ＦＯＵＰ９０を移載可能な移載機構３５と、を有していてもよい。この例では、第２保管部３０ｂ（第２固定支持台３７）及び装置ポート１０１は、第２軌道１２の直下に設けられているものの、第１軌道１１及び第２軌道１２が延在する方向Ａに関して互いにずれた位置に設けられている。つまり、第２保管部３０ｂ（第２固定支持台３７）は、装置ポート１０１の直上からはずれた位置に設けられている。移載機構３５は、第１軌道１１及び第２軌道１２が延在する方向Ａに沿って、第２保管部３０ｂ（第２固定支持台３７）の直上及び装置ポート１０１の直上に移動可能である。また、移載機構３５は、ＦＯＵＰ９０のフランジ部９１を把持可能な把持機構３５ａを方向Ｂに沿って移動させると共に昇降させることができる。これにより、移載機構３５は、第１固定支持台３６、第２固定支持台３７及び装置ポート１０１のそれぞれに対して、ＦＯＵＰ９０を移載することができる。なお、第２軌道１２を走行する天井搬送車２０は、装置ポート１０１の直上に停止し、移載機構３５の走行レールの間の領域を介して、装置ポート１０１に対してＦＯＵＰ９０を移載することができる。この例によれば、第１固定支持台３６及び第２固定支持台３７が固定となるので、それらの構成を単純化することができる。
　また、次のような搬送方法が実施されてもよい。すなわち、保管装置３０において、第１軌道１１及び第２軌道１２における上流側の第１保管部３０ａ及び第２保管部３０ｂ（例えば、図４における上流側の２つの移動支持台３２）を、天井搬送車２０からの荷受け専用（入庫専用）とする。そして、第１軌道１１及び第２軌道１２における下流側の第１保管部３０ａ及び第２保管部３０ｂ（例えば、図４における下流側の２つの移動支持台３２）を、天井搬送車２０への荷渡し専用（出庫専用）とする。これにより、上流側の移動支持台３２にＦＯＵＰ９０を載置した天井搬送車２０が、下流側の移動支持台３２からＦＯＵＰ９０を受け取って搬送に移行する動作が効率的に行われる。
　また、本開示の一形態に係る搬送システムが搬送する被搬送物は、複数の半導体ウェハが収容されたＦＯＵＰに限定されず、ガラスウェハ、レチクル等が収容されたその他の容器であってもよい。また、本開示の一形態に係る搬送システムは、半導体製造工場に限定されず、その他の施設にも適用可能である。
　１…搬送システム、１１…第１軌道、１２…第２軌道、１４ａ…内側軌道、１４ｂ…外側軌道、２０…天井搬送車、２１…把持機構、２３…昇降機構、２４…移動機構、３０…保管装置、３０ａ…第１保管部、３０ｂ…第２保管部、３２…移動支持台、３４，３５…移載機構、３６…第１固定支持台、３７…第２固定支持台、４０ａ…第３保管部、５０…コントローラ、９０…ＦＯＵＰ（被搬送物）、１０１…装置ポート。

Claims (8)

  1. 　第１軌道及び第２軌道と、
    　前記第１軌道及び前記第２軌道のそれぞれに沿って走行し、被搬送物を搬送する複数の天井搬送車と、
    　前記第１軌道において停止した前記天井搬送車が前記被搬送物を移載可能な第１保管部、前記第２軌道において停止した前記天井搬送車が前記被搬送物を移載可能な第２保管部、及び前記第２軌道において停止した前記天井搬送車が前記被搬送物を移載可能な装置ポートのそれぞれに対して、前記被搬送物を移載可能な保管装置と、を備える、搬送システム。
  2. 　前記保管装置は、
    　前記第１保管部と前記第２保管部との間において移動可能であり、前記被搬送物を支持する移動支持台と、
    　前記移動支持台及び前記装置ポートのそれぞれに対して、前記被搬送物を移載可能な移載機構と、を有する、請求項１記載の搬送システム。
  3. 　前記保管装置は、
    　前記第１保管部において前記被搬送物を支持する第１固定支持台と、
    　前記第２保管部において前記被搬送物を支持する第２固定支持台と、
    　前記第１固定支持台、前記第２固定支持台及び前記装置ポートのそれぞれに対して、前記被搬送物を移載可能な移載機構と、を有する、請求項１記載の搬送システム。
  4. 　前記第１軌道は、鉛直方向から見た場合にループ状の内側軌道及び外側軌道の一方の一部であり、
    　前記第２軌道は、前記内側軌道及び前記外側軌道の他方の一部である、請求項１～３のいずれか一項記載の搬送システム。
  5. 　前記第１軌道及び前記第２軌道は、鉛直方向において互いに同じ高さで且つ互いに平行に延在している、請求項１～４のいずれか一項記載の搬送システム。
  6. 　前記天井搬送車は、
    　前記被搬送物を把持可能な把持機構と、
    　前記把持機構を昇降可能な昇降機構と、
    　前記第１軌道及び前記第２軌道が並ぶ方向に沿って前記昇降機構を移動可能な移動機構と、有し、
    　前記第１軌道及び前記第２軌道が延在する方向に関して前記第１保管部及び前記第２保管部の位置と同じであり、且つ前記第１軌道及び前記第２軌道が並ぶ方向に関して前記第１保管部及び前記第２保管部の位置と異なる位置に、第３保管部が設けられている、請求項５記載の搬送システム。
  7. 　前記天井搬送車及び前記保管装置の動作を制御するコントローラを更に備え、
    　前記コントローラは、
    　前記第１軌道において停止して前記第１保管部に前記被搬送物を移載するように、前記天井搬送車の動作を制御し、
    　前記第１保管部から前記第２保管部に前記被搬送物を移載するように、前記保管装置の動作を制御し、
    　前記第２保管部から前記装置ポートに前記被搬送物を移載するように、前記保管装置の動作を制御する、請求項１～６のいずれか一項記載の搬送システム。
  8. 　請求項１～７のいずれか一項記載の搬送システムにおいて実施される搬送方法であって、
    　前記天井搬送車が前記第１軌道において停止して前記第１保管部に前記被搬送物を移載する第１ステップと、
    　前記保管装置が前記第１保管部から前記第２保管部に前記被搬送物を移載する第２ステップと、
    　前記保管装置が前記第２保管部から前記装置ポートに前記被搬送物を移載する第３ステップと、を含む、搬送方法。
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