JPH10338306A - ストッカシステム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ストッカシステムの収容能力を高める。 【構成】 クリーンルームの床面に立設したメインスト
ッカ２，２間に、サブストッカ４をブリッジ部材６上に
架設する。ブリッジ部材６にはクリーンファンユニット
７を設けて、サブストッカ４の下部の通路に送風する。
また搬送経路８，１０でメインストッカ２とサブストッ
カ４とを接続する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の利用分野】この発明は、半導体工場等で使用す
るストッカシステムに関する。

【０００２】

【従来技術】半導体工場やＬＣＤ工場等の微細加工施設
では、床面にストッカを立設して仕係り品や製品を一時
的にストックすることが行われている。そしてストッカ
とストッカの間や、ストッカと成膜装置やエッチング装
置等の処理装置の間を通路として無人搬送車等が物品を
搬送する。

【０００３】これらのストッカシステムの多くはクリー
ンルーム内に置かれ、クリーンルームのスペースは貴重
である。そこでクリーンルームのスペース効率を高める
必要がある。

【０００４】

【発明の課題】請求項１の発明の課題は、通路上方の空
間をストッカに利用し、ストッカシステムの収容能力を
高めることにある。請求項２の発明での追加の課題は、
ストッカシステム内での物品の搬送能力を高め、ストッ
カシステムの柔軟性を向上させることにある。請求項３
の発明での追加の課題は、第２のストッカの下方の通路
の空気をクリーンにすることにある。

【０００５】

【発明の構成】この発明は、第１のストッカもしくは処
理装置を、間隔を開けて床面に少なくとも２個立設し、
該第１のストッカ間もしくは処理装置間に第２のストッ
カを下方に通路が形成されるように架設したことを特徴
とする。好ましくは、前記第１のストッカもしくは処理
装置と、前記第２のストッカ間とで物品を搬送するため
の手段を設ける。また好ましくは、前記第２のストッカ
をブリッジ部材上に架設し、該ブリッジ部材に下方に向
けてクリーンエアを送風するためのクリーンファンユニ
ットを設ける。

【０００６】

【発明の作用と効果】請求項１の発明では、第１のスト
ッカや処理装置間に第２のストッカを架設し、第２のス
トッカの下方に通路が形成されるようにする。このた
め、無人搬送車や人等の通路を残したまま、ストッカシ
ステムの収容能力を増強できる。

【０００７】請求項２の発明では、第１のストッカや処
理装置と第２のストッカとの間で、物品を搬送できるよ
うにする。このため例えば、第１のストッカのみに入出
庫ステーションを設けても、第１のストッカから第２の
ストッカへ物品を搬送できる。逆に第２のストッカのみ
に入出庫ステーションを設けても、第１のストッカや処
理装置へ物品を搬送できる。このように第１のストッカ
や処理装置と、第２のストッカとの間で物品を搬送でき
るようにすれば、一方の入出庫ステーションを他方の入
出庫ステーションに兼用し、またストッカシステム内で
物品を搬送できる。

【０００８】ストッカシステムをクリーンルームに配置
する場合、架設した第２のストッカの下部にはクリーン
空調が及ばず空気が汚れ易いとの問題がある。そこで請
求項３の発明では、ブリッジ部材にクリーンファンユニ
ットを設け、下方にクリーンエアを送風して通路の空気
をクリーンに保つ。

【０００９】

【実施例】図１〜図３に実施例を示す。図１に、実施例
のストッカシステムの概略の配置を示すと、２は第１の
ストッカとしてのメインストッカであり、間隔をおいて
クリーンルームの床面に多数立設してある。４はメイン
ストッカ２，２間に架設したサブストッカで、架設には
ブリッジ部材６を用いて、その下方に無人搬送車や人等
の通路が残るようにする。またブリッジ部材６にはクリ
ーンファンユニット７を設けて、下方の通路に向けてク
リーンエアを送風する。これはブリッジ部材６の下方で
はクリーン空調が及ばず、下方の通路の清浄度が低下す
ることを防止するためである。

【００１０】８はメインストッカ２に設けた搬送経路
で、１０はサブストッカ４に設けた搬送経路である。そ
して搬送経路８，１０は互いに接続されて、サブストッ
カとメインストッカ間あるいは離れたメインストッカや
サブストッカ間で物品を搬送できるようにしてある。１
２は天井走行車との間の物品の入出庫ステーションで、
１４は無人搬送車との間の入出庫ステーションであり、
１５は物品である。

【００１１】このように、複数のメインストッカ２とそ
の間を架設したサブストッカ４とでストッカシステムを
構成し、このシステムと平行に天井走行車２０をレール
２１に沿って走行させる。また２２は入出庫ステーショ
ン１４との間で物品を搬出入するための無人搬送車であ
る。

【００１２】メインストッカ２の断面を図２に示すと、
物品１５の搬送能力を高めるため、搬送経路８として左
行経路８−１と右行経路８−２の２つの経路を設け、各
経路に例えば昇降レール２６を設けて、このレール上を
台車２８を走行させる。台車２８には例えば２段アーム
３０を設けて、ストッカ内の保管場所２４との間で物品
を搬出入させる。なおサブストッカ４の搬送経路もメイ
ンストッカ２の搬送経路と同様に構成し、ストッカ２，
４内での物品の搬送装置には昇降レール２６を用いたも
の以外にも種々のものが知られ、実施例に限るものでは
ない。

【００１３】搬送経路８，１０は当初から完全に一体に
構成しても良いが、ここでは個々のメインストッカ２や
個々のサブストッカ４毎に個別の搬送経路８，１０を設
けて、その間で物品を受け渡すようにした。３２はメイ
ンストッカ２とサブストッカ４間の物品の受渡し部で、
メインストッカ側の台車２８は受渡し部３２に物品を載
置し、次いでサブストッカ４側の同様の台車が受渡し部
３２から物品を受け取るように構成した。これはメイン
ストッカ２側の台車とサブストッカ４側の台車との間で
同期をとるのを不要にするためで、サブストッカ４から
メインストッカ２への物品の搬送も同様である。

【００１４】図３に実施例での物品の流れを示すと、例
えば３個のメインストッカ２を直線状に配置し、この間
の間隔２箇所にサブストッカ４，４を設けて一体とす
る。そして左行経路８−１，１０−１を連結して全体と
しての左行経路とし、右行経路８−２，１０−２を連結
して全体としての右行経路として用いる。このためスト
ッカシステム内の任意の位置の間で、物品１５を搬送で
きる。例えばストッカシステムを取り囲むようにレール
２１を敷設し、天井走行車２０を走行させる。３４はタ
ーンテーブルで、天井走行車２０の向きを変換するため
のものである。

【００１５】このようにすると、ストッカシステムと外
部との間の物品の搬出入は入出庫ステーション１２，１
４で行われ、左行経路８−１，１０−１がシステム内で
連結され、同様に右行経路８−２，１０−２がシステム
内で連結されているので、任意の入出庫ステーション１
２から入庫した物品を任意の保管場所２４へと搬送でき
る。また同様にどの保管場所２４からでも、任意の入出
庫ステーション１２へ搬出できる。

【００１６】サブストッカ４の下方のブリッジ部材６の
下側には無人搬送車２２等の通路が確保され、例えばこ
の通路に面して入出庫ステーション１４を設けてあるの
で、同様に任意の入出庫ステーション１４と任意の保管
場所２４とを接続できる。またサブストッカ４の下方の
通路はクリーンファンユニット７によりクリーン空調が
施され、これ以外の場所はクリーンルーム本来のクリー
ン空調が施されている。このためクリーンルームの清浄
度を高く保つことができる。

【００１７】図３から明らかなように、ストッカシステ
ム内の搬送経路８，１０は、天井走行車２０や無人搬送
車２２をバックアップできる。特にストッカシステムを
さらに長くし、例えばメインストッカ２に成膜装置やエ
ッチング装置その他の処理装置を連結した場合を考え
る。このような場合、各処理装置は最も手近かのメイン
ストッカ２の入出庫ステーション１２，１４から物品の
搬出入を行う。そして隣接した処理装置間での物品の移
動を、天井走行車２０や無人搬送車２２によらずに、搬
送経路８，１０を用いて行うことができる。このように
すれば天井走行車２０や無人搬送車２２を長距離搬送用
とし、隣接工程間での短距離搬送はストッカシステム内
の搬送経路８，１０で行うことができる。

【００１８】

【変形例】図４に変形例を示す。なおこの変形例は図１
〜図３の実施例と一体であり、図１〜図３の実施例に関
する記載は特に断らない限りこの変形例にも当てはま
る。またこの変形例での開示は、特に断らない限り図１
〜図３の実施例にも適用できる。

【００１９】変形例ではメインストッカ２に替えて、例
えば３つの処理装置４１，４２，４３を間隔を置いて床
面に立設する。これらの処理装置４１，４２，４３間に
は２つのサブストッカ４，４を配置し、実施例と同様に
ブリッジ部材６で架設し、ブリッジ部材６にはクリーン
ファンユニット７を設ける。しかし変形例では入出庫ス
テーション１２をサブストッカ４側に設け、原則として
サブストッカ４で物品１５を搬出入し、サブストッカ４
から処理装置へ搬送経路１０−１，１０−２を用いて物
品を搬出入し、受渡し部３２でサブストッカ４と処理装
置間の物品の移動を行う。

【００２０】工程が処理装置４１から始まって、処理装
置４２，処理装置４３の順であるとすると、例えば最初
の保管部４４へ天井走行車２０から物品を搬入する。搬
入された物品は一時的にストックされ、左行経路１０−
１を用いて処理装置４１の受渡し部３２へと搬入され
る。処理装置４１はここから物品を受け取って成膜等の
処理を行った後、右行経路１０−２に面した受渡し部３
２に物品を載置する。すると次の保管部４５へ右行経路
１０−２を用いて物品を搬入し、一時的に物品をストッ
クした後、処理装置４２の受渡し部へと物品を搬入す
る。処理装置４２で物品の処理が終ると、次の保管部４
６へ物品を搬入し、次いで処理装置４３へと物品を搬入
する。処理装置４３での物品の処理が終了すると、最後
の保管部４７へ物品を搬入し、保管部４７の入出庫ステ
ーションから物品を搬出する。

【００２１】このようにすると、処理装置４１，４２，
４３内での物品の流れはストッカシステム内で完結し
て、天井走行車２０等の負担を軽減できる。仮に図４の
鎖線で示したように処理装置４１，４３に入出庫ステー
ション１４を設ければ、搬送経路１０を用いて図の左側
のレール２１Ｌから図の右側のレール２１Ｒまで物品を
搬送し、天井走行車２０をバックアップすることもでき
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】 実施例のストッカシステムの斜視図

【図２】 実施例でのメインストッカの断面図

【図３】 実施例のストッカシステムの配置を示す平面
図

【図４】 変形例のストッカシステムの配置を示す平面
図

【符号の説明】

２ メインストッカ ４ サブストッカ ６ ブリッジ部材 ７ クリーンファンユニット ８，１０ 搬送経路 ８−１，１０−１ 左行経路 ８−２，１０−２ 右行経路 １２，１４ 入出庫ステーション ２０ 天井走行車 ２１ レール ２２ 無人搬送車 ２４ 保管場所 ２６ 昇降レール ２８ 台車 ３０ ２段アーム ３２ 受渡し部 ３４ ターンテーブル ４１，４２，４３ 処理装置 ４４，４５，４６，４７ 保管部

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 第１のストッカもしくは処理装置を間隔
   を開けて床面に少なくとも２個立設し、該第１のストッ
   カ間もしくは処理装置間に第２のストッカを下方に通路
   が形成されるように架設したことを特徴とする、ストッ
   カシステム。
2. 【請求項２】 前記第１のストッカもしくは処理装置
   と、前記第２のストッカ間とで物品を搬送するための手
   段を設けたことを特徴とする、請求項１のストッカシス
   テム。
3. 【請求項３】 前記第２のストッカをブリッジ部材上に
   架設し、該ブリッジ部材に下方に向けてクリーンエアを
   送風するためのクリーンファンユニットを設けたことを
   特徴とする、請求項１または２のストッカシステム。