JP2007326706A - メンテナンスステーション - Google Patents

Abstract

【課題】省コスト、省スペースを実現することができるようにする。
【解決手段】上層分岐軌道１１及び下層分岐軌道１２はメンテナンスステーション１の内部で分断されており、昇降レール２７により昇降される分割レール２８が、どちらかの分岐軌道１１，１２に継合されるようにされている。分岐軌道１１，１２から搬送台車７を確保した分割レール２８は下降されて、搬出入レール２９に継合される。搬出入レール２９は、搬送台車７をメンテナンスステーション１の外部に搬出する一方、搬送台車７をメンテナンスステーション１の内部に搬入する。搬出入レール２９から搬送台車７を確保した分割レール２８は上昇されて、どちらかの分岐軌道１１，１２に継合される。
【選択図】図３

Description

本発明は、搬送台車を軌道から摘出及び軌道に投入するメンテナンスステーションに関する。

従来、半導体製造工場、液晶表示パネル製造工場等の製造工場において、被収納物（例えば、半導体基板や液晶表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等の処理対象物）を収納したカセットを搬送する搬送台車は、天井に敷設された軌道に案内されて走行する。

このような搬送台車に対してメンテナンスを行う際には、軌道から分岐した分岐軌道に設けられたメンテナンスステーションに搬送台車を案内させる。メンテナンスステーションに設けられ、分岐軌道の一部を成す分割レールは垂直方向に昇降可能にされており、分割レール上の搬送台車は分割レールごと地上に降下されて、保守点検に付される。

このように、搬送台車を昇降させるものとして、特許文献１には、上下２段構造の収容手段を備え、その一方に、常時、空荷搬送車を待機させておくことで、迅速に空荷搬送車の搬送を行う一方、その他方を空にして実荷搬送車を常時搬送できるようにしておくことで、状況に応じた柔軟な対応を行うことが可能な垂直搬送システムが開示されている。

特開平１１−３３４８６４号公報

また、近年、天井に敷設する軌道を複層化して、搬送密度を高める方策が検討されている。

しかしながら、天井に敷設する軌道を複層化した場合、軌道毎にメンテナンスステーションを設けることになり、コスト、スペースの肥大化を招くという問題がある。

本発明の目的は、省コスト、省スペースを実現することが可能なメンテナンスステーションを提供することである。

課題を解決するための手段及び効果

本発明のメンテナンスステーションは、垂直方向に複数層に敷設された軌道に係合するように設けられ、前記軌道に案内されて走行する搬送台車を前記軌道から摘出及び前記軌道に投入するメンテナンスステーションであって、各軌道の一部を成していずれかの前記軌道に継合し、前記搬送台車を確保可能な軌道部材と、前記軌道部材を各軌道の位置と地上の所定位置との間で昇降させる昇降部材と、前記地上の所定位置において前記軌道部材に継合して、前記搬送台車を前記軌道部材から搬出及び前記軌道部材に搬入する搬出入部材と、を有することを特徴とする。

上記の構成によれば、搬送台車を確保して昇降される軌道部材は、各軌道の一部を成しているから、複数層の軌道毎に軌道部材を設ける必要がない。よって、軌道毎にメンテナンスステーションを設ける必要がないから、省コスト、省スペースを実現することができる。

また、本発明のメンテナンスステーションにおいては、前記搬送台車を確保した前記軌道部材を、一の軌道の位置から他の軌道の位置に移動させるように前記昇降部材を制御する昇降部材制御手段を更に有していてよい。上記の構成によれば、搬送台車を確保した軌道部材が、一の軌道の位置から他の軌道の位置に移動されるから、搬送台車を案内する軌道を変更することができて、搬送ルートを多様化することができる。これにより、例えば、ある軌道で搬送台車が不足した状況が発生したとき、メンテナンスステーションを介して他の軌道の搬送台車をその軌道に投入させることで、係る状況を解消させるといったことが可能となる。

また、本発明のメンテナンスステーションにおいて、各軌道は垂直方向に等間隔で敷設されているとともに、軌道部材及び搬出入部材は、各軌道間と同じ間隔で垂直方向に複数設けられていてよい。上記の構成によれば、複数の軌道部材の各々が、同時に別々の軌道に継合するから、各軌道から確保した複数の搬送台車を同時に摘出したり、複数の搬送台車の各々を同時に別々の軌道に投入したりすることができて、作業効率を向上させることができる。

［第１の実施の形態］
本発明の第１の実施の形態を図１ないし図３に基づいて以下に説明する。

（軌道１００の構成）
軌道のレイアウト図である図１に示すように、軌道１００は、垂直方向に２層に敷設された上層軌道４と下層軌道５とを有しており、半導体基板等を収納したカセット６を搬送可能な搬送台車７は、これら軌道４，５に案内されて走行する。また、これら軌道４，５の周りには工程内軌道８が複数設けられており、各工程内軌道８は分岐軌道１５と合流軌道１６とにより、上層軌道４と下層軌道５のどちらかに連結されている。各工程内軌道８には、半導体等の処理装置９が複数設けられており、各処理装置９は、入庫ポート１７及び出庫ポート１８を備えている。

また、上層軌道４及び下層軌道５の周りには、カセット６を一時的に保管するためのストッカ１０が複数設けられている。各ストッカ１０は、カセット６を内部に入庫させるための入庫ポート１３と、カセット６を内部から出庫させるための出庫ポート１４とを備えており、上層軌道４から分岐した上層分岐軌道１１により上層軌道４に連結されるか、下層軌道５から分岐した下層分岐軌道１２により下層軌道５に連結されている。上層軌道４と下層軌道５とが垂直方向に重なり敷設されている部分の一角（図の左下）に、メンテナンスステーション１が配置されている。

（メンテナンスステーション１の構成）
図２に示すように、メンテナンスステーション１は、上層軌道４から分岐した上層分岐軌道１１と、下層軌道５から分岐した下層分岐軌道１２とを挟むように配置されている。各軌道４，５，１１，１２には、搬送台車７が係合するレール溝３７が設けられている。各軌道４，５を走行する搬送台車７は、メンテナンス時等に分岐軌道１１，１２を通ってメンテナンスステーション１に案内される。メンテナンスステーション１の筐体１ａには、台車投入口２０とメンテナンス扉１９とが設けられており、台車投入口２０から搬出されたメンテナンス対象の搬送台車７は、台車投入口２０の手前に待機する台車受け台２１に移載される一方、台車受け台２１により搬送されてきたメンテナンス済みの搬送台車７は、台車投入口２０からメンテナンスステーション１内に搬入される。メンテナンス扉１９は、台車投入口２０から搬出入される搬送台車７の状況を確認したり、必要に応じて搬出入される搬送台車７の姿勢を調整したりする際に開閉される。なお、メンテナンス扉１９は、筐体１ａの図示する面とは反対側の面にも設けられていてよい。

図３は、メンテナンスステーション１の内部を示す断面図であり、図３（ａ）は、正面図、図３（ｂ）は側面図である。図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、各軌道４，５，１１，１２は、天井２から垂下された吊り部材２５によって支持された支持部材２６上に敷設されている。そして、メンテナンスステーション１に係合する軌道としての上層分岐軌道１１及び下層分岐軌道１２は、メンテナンスステーション１の内部を貫通している。

図３（ｂ）に示すように、上層分岐軌道１１及び下層分岐軌道１２は、メンテナンスステーション１の内部において分断されており、垂直方向に敷設された昇降部材としての昇降レール２７に沿って昇降されるレール台３１上に設けられた軌道部材としての分割レール２８が、上層分岐軌道１１又は下層分岐軌道１２のどちらかに継合されるようにされている。また、床２２上の所定位置には、昇降レール２７により降下された分割レール２８が継合可能な搬出入部材としての搬出入レール２９及び補助レール３０が設けられている。

図３に示すように、上層分岐軌道１１又は下層分岐軌道１２に継合した分割レール２８上には、メンテナンス対象の搬送台車７が停止される。昇降レール２７は、分割レール２８上にメンテナンス対象の搬送台車７が停止された場合に、レール台３１を下降させて、分割レール２８を搬出入レール２９に継合させる。これにより、分割レール２８によって確保されていたメンテナンス対象の搬送台車７は、搬出入レール２９を介して図示しない台車投入口２０からメンテナンスステーション１の外部に搬出されることとなる。

また、搬出入レール２９に継合した分割レール２８上には、図示しない台車投入口２０から搬入されたメンテナンス済みの搬送台車７が、搬出入レール２９によって移載される。昇降レール２７は、分割レール２８上にメンテナンス済みの搬送台車７が移載された場合に、レール台３１を上昇させて、分割レール２８を上層分岐軌道１１又は下層分岐軌道１２に継合させる。これにより、分割レール２８によって確保されていたメンテナンス済みの搬送台車７は、上層分岐軌道１１又は下層分岐軌道１２を走行して、上層軌道４又は下層軌道５に復帰されることとなる。

このように、搬送台車７を確保して昇降される分割レール２８は、上層分岐軌道１１及び下層分岐軌道１２の一部を成しているから、２層の分岐軌道１１，１２毎に分割レール２８を設ける必要がない。よって、分岐軌道１１，１２毎にメンテナンスステーション１を設ける必要がないから、省コスト、省スペースを実現することができる。

なお、本実施の形態においては、搬送台車７の搬出入に搬出入レール２９が使用される構成にされているが、図３（ｂ）において、搬送台車７の搬出入に補助レール３０が使用される構成であってもよいし、状況に応じて搬出入レール２９と補助レール３０のどちらかが搬送台車７の搬出入を行う構成であってもよい。ここで、搬出入レール２９と補助レール３０とは同様の構成にされている。この場合、図２において、筐体１ａの台車投入口２０が設けられている面とは反対側の面にも台車投入口が設けられることとなる。

また、昇降レール２７は、上層分岐軌道１１に継合した分割レール２８上に搬送台車７が停止された場合に、レール台３１を下降させて、分割レール２８を下層分岐軌道１２に継合させるように、昇降部材制御手段としての図示しないコンピュータによって制御される。同様にして、昇降レール２７は、下層分岐軌道１２に継合した分割レール２８上に搬送台車７が停止された場合に、レール台３１を上昇させて、分割レール２８を上層分岐軌道１１に継合させるように制御される。これにより、上層軌道４に案内されていた搬送台車７は、下層分岐軌道１２を走行して下層軌道５に案内されるようになる一方、下層軌道５に案内されていた搬送台車７は、上層分岐軌道１１を走行して上層軌道４に案内されるようになる。

このように、搬送台車７を確保した分割レール２８が、上層分岐軌道１１の位置から下層分岐軌道１２の位置に移動されるか、その逆に、下層分岐軌道１２の位置から上層分岐軌道１１の位置に移動されるから、搬送台車７を案内する軌道を上層軌道４と下層軌道５との間で変更することができて、搬送ルートを多様化することができる。これにより、例えば、上層軌道４で搬送台車が不足した状況が発生したとき、メンテナンスステーション１を介して下層軌道５に案内されていた搬送台車７を上層軌道４に投入させることで、係る状況を解消させるといったことが可能となる。

また、搬出入レール２９の端に位置する図示しない台車投入口２０に対向する筐体１ａの外部側方には、自走する台車受け台２１が停止される。搬出入レール２９は、搬出入レール２９に継合した分割レール２８によって確保されているメンテナンス対象の搬送台車７を図示しない台車投入口２０から搬出して台車受け台２１に移載する一方、台車受け台２１により搬送されてきたメンテナンス済みの搬送台車７を図示しない台車投入口２０から搬入して、搬出入レール２９に継合した分割レール２８上に移載する。搬送台車７を確保した台車受け台２１は、自走して、保守点検等のメンテナンスが行われる図示しない施設とメンテナンスステーション１との間を往復する。

（メンテナンスステーション１の動作）
上記の構成において、図３を参照して、メンテナンスステーション１の動作について説明する。

まず、メンテナンス対象の搬送台車７の摘出動作について説明する。上層軌道４から分岐した上層分岐軌道１１上を走行してきたメンテナンス対象の搬送台車７は、上層分岐軌道１１に継合した分割レール２８上で停止される。その後、搬送台車７を確保した分割レール２８は昇降レール２７により下降されて、搬出入レール２９に継合される。搬出入レール２９は、メンテナンスステーション１の外部側方に待機していた台車受け台２１に、分割レール２８上の搬送台車７を移載する。台車受け台２１は、メンテナンス対象の搬送台車７を確保して、図示しない施設まで移動する。下層軌道５から分岐した下層分岐軌道１２上を走行してきたメンテナンス対象の搬送台車７についても同様である。

次に、メンテナンス済みの搬送台車７の投入動作について説明する。台車受け台２１は、メンテナンス済みの搬送台車７を確保してメンテナンスステーション１の外部側方まで移動する。搬出入レール２９は、搬出入レール２９に継合する分割レール２８上に、台車受け台２１上の搬送台車７を移載する。その後、搬送台車７を確保した分割レール２８は昇降レール２７により上昇されて、上層分岐軌道１１又は下層分岐軌道１２に継合される。メンテナンス済みの搬送台車７は、分割レール２８が継合した上層分岐軌道１１又は下層分岐軌道１２を走行して、上層軌道４又は下層軌道５に復帰される。

このように、搬送台車７を確保して昇降される分割レール２８は、上層分岐軌道１１及び下層分岐軌道１２の一部を成しているから、２層の分岐軌道１１，１２毎に分割レール２８を設ける必要がない。よって、分岐軌道１１，１２毎にメンテナンスステーション１を設ける必要がないから、省コスト、省スペースを実現することができる。

次に、搬送台車７が走行される軌道の変更動作について説明する。上層軌道４から分岐した上層分岐軌道１１上を走行してきた軌道変更対象の搬送台車７は、上層分岐軌道１１に継合した分割レール２８上で停止される。その後、搬送台車７を確保した分割レール２８は昇降レール２７により下降されて、下層分岐軌道１２に継合される。搬送台車７は下層分岐軌道１２を走行して、下層軌道５に案内されるようになる。一方、下層軌道５から分岐した下層分岐軌道１２上を走行してきた軌道変更対象の搬送台車７は、下層分岐軌道１２に継合した分割レール２８上で停止される。その後、搬送台車７を確保した分割レール２８は昇降レール２７により上昇されて、上層分岐軌道１１に継合される。搬送台車７は上層分岐軌道１１を走行して、上層軌道４に案内されるようになる。

このように、搬送台車７を確保した分割レール２８が、上層分岐軌道１１の位置から下層分岐軌道１２の位置に移動されるか、その逆に、下層分岐軌道１２の位置から上層分岐軌道１１の位置に移動されるから、搬送台車７を案内する軌道を上層軌道４と下層軌道５との間で変更することができて、搬送ルートを多様化することができる。これにより、例えば、上層軌道４で搬送台車が不足した状況が発生したとき、メンテナンスステーション１を介して下層軌道５に案内されていた搬送台車７を上層軌道４に投入させることで、係る状況を解消させるといったことが可能となる。

（本実施の形態の概要）
以上のように、本実施の形態のメンテナンスステーション１は、垂直方向に複数層に敷設された軌道（例えば、上層分岐軌道１１、下層分岐軌道１２）に係合するように設けられ、軌道に案内されて走行する搬送台車７を軌道から摘出及び軌道に投入するメンテナンスステーション１であって、各軌道の一部を成していずれかの軌道に継合し、搬送台車７を確保可能な軌道部材（例えば、分割レール２８）と、軌道部材を各軌道の位置と地（例えば、床２２）上の所定位置との間で昇降させる昇降部材（例えば、昇降レール２７）と、地上の所定位置において軌道部材に継合して、搬送台車７を軌道部材から搬出及び軌道部材に搬入する搬出入部材（例えば、搬出入レール２９）と、を有する構成にされている。

上記の構成によれば、搬送台車７を確保して昇降される軌道部材は、各軌道の一部を成しているから、複数層の軌道毎に軌道部材を設ける必要がない。よって、軌道毎にメンテナンスステーション１を設ける必要がないから、省コスト、省スペースを実現することができる。

また、本実施の形態のメンテナンスステーション１においては、搬送台車７を確保した軌道部材を、一の軌道の位置から他の軌道の位置に移動させるように昇降部材を制御する昇降部材制御手段（例えば、コンピュータ）を更に有する構成にされている。上記の構成によれば、搬送台車７を確保した軌道部材が、一の軌道の位置から他の軌道の位置に移動されるから、搬送台車７を案内する軌道を変更することができて、搬送ルートを多様化することができる。これにより、例えば、ある軌道で搬送台車が不足した状況が発生したとき、メンテナンスステーション１を介して他の軌道の搬送台車をその軌道に投入させることで、係る状況を解消させるといったことが可能となる。

［第２の実施の形態］
次に、本発明の第２の実施の形態を図４に基づいて以下に説明する。

（メンテナンスステーション１の構成）
第２の実施の形態が第１の実施の形態と異なる点は、図４に示すように、レール台３１の上方に別のレール台４１が設けられ、このレール台４１上に分割レール４８が設けられているとともに、搬出入レール２９及び補助レール３０の上方に、別の搬出入レール４９及び補助レール４０が設けられている点である。また、台車受け台５１は、垂直方向に積んだ２つの搬送台車７，４７を同時に搬送することができるようにされている。

レール台４１はレール台３１と同時に昇降レール２７により昇降され、レール台３１上の分割レール２８が下層分岐軌道１２に継合した際に、レール台４１上の分割レール４８が上層分岐軌道１１に継合する。また、レール台３１上の分割レール２８が搬出入レール２９に継合した際に、レール台４１上の分割レール４８が搬出入レール４９に継合する。このように、分割レール２８と分割レール４８との間隔は、上層分岐軌道１１と下層分岐軌道１２との間隔に一致しているとともに、搬出入レール２９と搬出入レール４９との間隔に一致している。

第１の実施の形態と同様に、下層分岐軌道１２に継合した分割レール２８上には、メンテナンス対象の搬送台車７が停止されるが、本実施の形態においては、これと同時に、上層分岐軌道１１に継合した分割レール４８上にメンテナンス対象の搬送台車４７が停止される場合がある。昇降レール２７は、分割レール２８上と分割レール４８上に夫々メンテナンス対象の搬送台車７，４７が停止された場合に、レール台３１及びレール台４１を下降させて、分割レール２８を搬出入レール２９に継合させるとともに、分割レール４８を搬出入レール４９に継合させる。これにより、メンテナンス対象の搬送台車７，４７は、搬出入レール２９，４９を介してメンテナンスステーション１の外部に搬出されることとなる。

また、第１の実施の形態と同様に、搬出入レール２９に継合した分割レール２８上には、メンテナンス済みの搬送台車７が移載されるが、本実施の形態においては、これと同時に、搬出入レール４９に継合した分割レール４８上にメンテナンス済みの搬送台車４７が移載される場合がある。昇降レール２７は、分割レール２８上と分割レール４８上に夫々メンテナンス済みの搬送台車７，４７が移載された場合に、レール台３１を上昇させて、分割レール２８を下層分岐軌道１２に継合させるとともに、分割レール４８を上層分岐軌道１１に継合させる。これにより、メンテナンス済みの搬送台車７は、下層分岐軌道１２を走行して下層軌道５に復帰されるとともに、メンテナンス済みの搬送台車４７は、上層分岐軌道１１を走行して上層軌道４に復帰されることとなる。

このように、分割レール２８が下層分岐軌道１２に継合するのと同時に、分割レール４８が上層分岐軌道１１に継合するから、上層分岐軌道１１から確保した搬送台車４７と、下層分岐軌道１２から確保した搬送台車７とを同時にメンテナンスステーション１の外部に摘出したり、搬送台車４７の上層分岐軌道１１への投入と、搬送台車７の上層分岐軌道１１への投入とを同時に行ったりすることができて、作業効率を向上させることができる。

搬出入レール４９は、搬出入レール２９と同様の構成にされており、台車受け台５１に対して搬送台車４７の搬出入を行う。また、補助レール４０は、補助レール３０と同様の構成にされている。台車受け台５１は、第１の実施の形態における台車受け台２１と同様に、自走して、保守点検等のメンテナンスが行われる図示しない施設とメンテナンスステーション１との間を往復する。

その他の点については、第１の実施の形態と同様であるため、その説明を省略する。

（本実施の形態の概要）
以上のように、本実施の形態のメンテナンスステーション１において、各軌道は垂直方向に等間隔で敷設されているとともに、軌道部材（例えば、分割レール２８、分割レール４８）及び搬出入部材（例えば、搬出入レール２９、搬出入レール４９）は、各軌道間と同じ間隔で垂直方向に複数設けられている構成にされている。上記の構成によれば、複数の軌道部材の各々が、同時に別々の軌道に継合するから、各軌道から確保した複数の搬送台車７，４７を同時に摘出したり、複数の搬送台車７，４７の各々を同時に別々の軌道に投入したりすることができて、作業効率を向上させることができる。

（本発明の実施の形態の変形例）
また、本発明を好適な実施の形態に基づいて説明したが、本発明はその趣旨を超えない範囲において変更が可能である。即ち、第１及び第２の実施の形態において、上層分岐軌道１１と下層分岐軌道１２の２層構造の構成にされているが、この構成に限定されるものではなく、３層以上の軌道が敷設された構成であってもよい。

また、第２の実施の形態において、分割レール２８は下層分岐軌道１２に、分割レール４８は上層分岐軌道１１に、それぞれ対応する構成にされているが、この構成に限定されるものではなく、例えば、下層分岐軌道１２に継合した分割レール２８が搬送台車７を確保すると、続いて分割レール４８が下層分岐軌道１２に継合されて、分割レール４８が次の搬送台車を確保するといったように、同じ軌道から連続して搬送台車を確保するように制御される構成であってもよい。

軌道のレイアウト図である。 メンテナンスステーションの斜視図である。 第１の実施の形態に係るメンテナンスステーションの断面図である。 第２の実施の形態に係るメンテナンスステーションの断面図である。

符号の説明

１ メンテナンスステーション
７ 搬送台車
１１ 上層分岐軌道
１２ 下層分岐軌道
２２ 床
２７ 昇降レール
２８ 分割レール
２９ 搬出入レール
４７ 搬送台車
４８ 分割レール
４９ 搬出入レール

Claims (3)

1. 垂直方向に複数層に敷設された軌道に係合するように設けられ、前記軌道に案内されて走行する搬送台車を前記軌道から摘出及び前記軌道に投入するメンテナンスステーションであって、
   各軌道の一部を成していずれかの前記軌道に継合し、前記搬送台車を確保可能な軌道部材と、
   前記軌道部材を各軌道の位置と地上の所定位置との間で昇降させる昇降部材と、
   前記地上の所定位置において前記軌道部材に継合して、前記搬送台車を前記軌道部材から搬出及び前記軌道部材に搬入する搬出入部材と、
   を有することを特徴とするメンテナンスステーション。
2. 前記搬送台車を確保した前記軌道部材を、一の軌道の位置から他の軌道の位置に移動させるように前記昇降部材を制御する昇降部材制御手段を更に有することを特徴とする請求項１に記載のメンテナンスステーション。
3. 各軌道は垂直方向に等間隔で敷設されているとともに、
   前記軌道部材及び前記搬出入部材は、各軌道間と同じ間隔で垂直方向に複数設けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載のメンテナンスステーション。
   
   

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