JP2000016578A - 搬送設備 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ビークルをレール内に入線させる以前に、あ
らかじめ荷台の位置調整を行っておくことができるよう
な搬送設備を提供する。 【解決手段】 ビークル４を、本体部９と、本体部９に
対してビークル４の進行方向に平行な方向（Ａ方向）お
よびそれと垂直な平行方向（Ｂ方向）に位置調整可能に
設けられたカセット受けゴマ１０とを有する構成とする
とともに、本体部９に、レール３に設けられた標示部と
対応してビークル４のレール３上の位置を特定可能な停
止位置読みとりセンサを設けた構成とした。さらに、搬
送設備１を、ビークル４が停止位置読みとりセンサおよ
び標示部によってレール上の所定箇所に位置していると
認識されている場合において、カセット受けゴマ１０の
位置決めを行うための位置決め装置１２を設けた構成と
した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、工場等において使
用されて、被搬送物を搬送するための搬送設備に関する
ものである。

【０００２】

【従来の技術】この種の搬送設備としては、工場や倉庫
における作業空間の上方、例えば、天井付近の搬送経路
に沿ってレール（軌道）が敷設され、このレール上に、
モータ等の駆動手段によって移動するビークル（搬送台
車）が搭載されたものが知られている。

【０００３】このような搬送設備においては、複数のビ
ークルが、レール上において自動制御運転されるととも
に、これらビークルが軌道上の各所において停止した場
合に、被搬送物の受け渡しが自動的に行われる構成とな
っている。

【０００４】また、この場合、ビークルとしては、車輪
を有する台車本体と、この台車本体上に取り付けられ被
搬送物が載置される荷台とを備えたものが通常用いられ
る。荷台は、台車本体に対してその位置が調整可能とな
るように設けられており、荷台の台車本体に対する相対
位置を、あらかじめ所定の位置に調整しておくことによ
り、ビークルをレールに入線させた際に、レール上の各
停止位置において、各ビークルの荷台位置が一定となる
ようにしている。これにより、レール上で被搬送物の受
け渡しを自動的に行う際に、荷台位置がビークルごとに
異なることに起因して被搬送物の受け渡し異常が発生し
ないようになっている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな荷台位置の調整は、ビークルを製造する工場等にお
いて出荷時等に行われるのが通常であり、工場等におい
て荷台の位置が規定の寸法誤差に入っていたとしても、
検査・調整後の運搬・開梱等の際の取り扱いの際に、荷
台の位置がずれ、寸法誤差の範囲から外れることがあっ
た。このような場合、荷台の位置がずれたままでビーク
ルをレール内に入線させると、ビークルに被搬送物を受
け渡す際に、移載異常が発生し、搬送設備が良好に機能
しないという問題が生じていた。

【０００６】本発明は、上記事情に鑑みなされたもので
あり、ビークルをレール内に入線させる以前に、あらか
じめ荷台の位置調整を行っておくことができるような搬
送設備を提供することを課題とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明においては以下の手段を採用した。すなわち、
請求項１記載の搬送設備は、被搬送物が搭載された搬送
台車が、軌道上を走行する構成とされた搬送設備におい
て、前記搬送台車は、本体部と、該本体部に対して前記
搬送台車の進行方向に位置調整可能に設けられるととも
に前記被搬送物が載置される荷台とを有する構成とさ
れ、なおかつ、前記本体部に、前記軌道に設けられた第
一の検出部と対応して前記搬送台車の前記軌道上の位置
を特定可能な第二の検出部が設けられた構成となってお
り、前記搬送設備には、前記搬送台車の本体部が前記第
一および第二の検出部によって該搬送軌道上の所定箇所
に位置していると認識されている場合において、前記荷
台の位置決めをなすための位置決め手段が設けられてい
ることを特徴としている。

【０００８】このような構成とされるために、この搬送
設備においては、軌道上において、実際の停止位置と同
条件で、位置決め手段により荷台の位置調整を行うこと
ができる。

【０００９】請求項２記載の搬送設備は、請求項１記載
の搬送設備であって、前記軌道は、前記所定箇所を含む
一定部分が、他の部分と分離可能な構成とされ、前記位
置決め手段は、該一定部分が他の部分から分離された場
合に、該一定部分上に位置する前記搬送台車における前
記荷台の位置決めをなす構成とされていることを特徴と
している。

【００１０】このような構成とされるために、この搬送
設備においては、軌道の一部を分離させて荷台の位置決
めを行うことができる。

【００１１】請求項３記載の搬送設備は、請求項２記載
の搬送設備であって、前記軌道の前記所定箇所を含む一
定部分は、該搬送台車を搭載した状態で前記他の部分と
一体化することにより、前記搬送台車を前記軌道外から
前記軌道上に入線させることのできる軌道昇降部として
形成されていることを特徴としている。

【００１２】このような構成とされるために、この搬送
設備においては、搬送台車を軌道内に入線させる以前
に、搬送台車における荷台の位置決めを行うことができ
る。

【００１３】請求項４記載の搬送設備は、請求項１から
３のいずれかに記載の搬送設備であって、前記荷台に
は、前記被搬送物に対して前記搬送台車の進行方向およ
びその逆方向から係合して前記被搬送物を支持する支持
部が設けられ、前記位置決め手段は、前記搬送軌道上の
前記所定位置に配置された前記搬送台車の搭載部に対し
て、上下方向から接近離間自在に形成された検査部を備
えた構成とされ、該検査部には、該検査部が前記荷台に
対して接近した際に、前記支持部と係合可能な突出部が
設けられていることを特徴としている。

【００１４】このような構成とされるために、この搬送
設備においては、荷台の支持部と検査部の突出部とが係
合するように、荷台の位置を調整することにより、荷台
の台車本体に対する位置を規定誤差内とすることができ
る。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
面に基づいて説明する。なお、ここで説明する実施の形
態は、本発明の搬送設備を、半導体工場内においてウェ
ーハ等が収納されたカセットの搬送に適用した場合の例
である。

【００１６】図１は、本発明の一実施の形態を模式的に
示す図であり、図中、符号１は、搬送設備を示す。搬送
設備１は、工場内の天井付近の搬送経路に沿って敷設さ
れたレール（軌道）３と、レール（軌道）３上を移動す
るビークル（搬送台車）４とを備えた構成となってい
る。

【００１７】レール３は、その一部が分離可能な軌道昇
降部５として形成されている。この軌道昇降部５は、メ
ンテナンスステーション６に設けられた昇降装置７によ
って、上下に昇降可能な構成となっており、下方に降下
した際には、図中に示すように、ビークル４を容易に搭
載できるようになっている。また、軌道昇降部５にビー
クル４を搭載した状態で、軌道昇降部５を上昇させてレ
ール３の他の部分と一体化させれば、ビークル４をレー
ル３に入線させることが可能となる。

【００１８】一方、ビークル４は、走行車輪を有する本
体部９と、本体部９上に設けられたカセット受けゴマ
（荷台）１０とを有する構成とされている。カセット受
けゴマ１０は、シリコンウェーハ等が収納されたカセッ
トを搭載することが可能とされたものであり、その上面
１０ａには、前記カセットの位置を固定するための支持
部１１が設けられた構成となっている。また、このカセ
ット受けゴマ１０は、本体部９に対してビークル４の進
行方向と平行な方向（図中Ａ方向）および進行方向と垂
直な水平方向（図中Ｂ方向）に位置調整可能とされてい
る。

【００１９】このビークル４を軌道昇降部５に搭載する
際には、図中二点鎖線によって示すように、ビークル４
を、軌道昇降部５の下面と同一のレベルに配置するとと
もに、軌道昇降部５の端部５ａ側から入線させることと
する。

【００２０】また、軌道昇降部５には、ビークル４の停
止すべき位置を表示するための図示しない標示部（第一
の検出部）が設けられている。一方、ビークル４の本体
部９には、図示しない停止位置読みとりセンサ（第二の
検出部）が備えられており、この停止位置読みとりセン
サにより標示部の位置を読みとることにより、ビークル
４が軌道昇降部５上の所定の停止位置に配置された場合
に、それを制御装置（図示略）において認識し、制御装
置からビークル４に対して停止信号を送ることができる
ようになっている。

【００２１】さらに、図中に示すように、メンテナンス
ステーション６には、上記の停止位置読みとりセンサお
よび標示部によって、ビークル４が軌道昇降部５上の所
定箇所に位置していると認識される場合において、ビー
クル４のカセット受けゴマ１０の位置決めをなすための
位置決め装置１２が設けられている。

【００２２】位置決め装置１２は、メンテナンスステー
ション６から延出するアーム１４と、アーム１４の先端
に設けられた位置決め板（検査部）１５とを備えた構成
となっている。アーム１４は、その基端部１４ａが軌道
昇降部５と平行な水平軸回りに回動自在にメンテナンス
ステーション６に対して取り付けられている。また、ア
ーム１４がその基端部１４ａを支点として回動すること
により、アーム１４の先端に取り付けられた位置決め板
１５が、軌道昇降部５上の前記所定箇所に位置するビー
クル４のカセット受けゴマ１０に対して上方から接近・
離間できるようになっている。また、位置決め板１５の
下面１５ａには、突出部１７が設けられている。この突
出部１７は、ビークル４のカセット受けゴマ１０の上面
１０ａに設けられた支持部１１と係合可能な構成となっ
ている。

【００２３】次に作用を説明する。この搬送設備１にお
いては、軌道昇降部５をレール３の他の部分から分離し
て降下させ、ビークル４を搭載した状態で再び上昇させ
ることによって、レール３にビークル４を入線させるこ
とができることは、前に述べたとおりである。ここで
は、上記のようにビークル４を入線させる際に、軌道昇
降部５を降下させたままの状態で、ビークル４を軌道昇
降部５上を走行させ、前記停止位置読みとりセンサを用
いて軌道昇降部５上の所定箇所においてビークル４を停
止させ、ビークル４のカセット受けゴマ１０の検査を行
うようにする。

【００２４】この場合、具体的には、停止したビークル
４のカセット受けゴマ１０の上方から位置決め板１５を
接近させるようにする。そして、カセット受けゴマ１０
の支持部１１と位置決め板１５の突出部１７とが、良好
に係合することができた際には、カセット受けゴマ１０
と本体部９との位置関係が規定の誤差内であるとして検
査を終了し、そのまま軌道昇降部５を上昇させてビーク
ル４をレール３に入線させるようにする。

【００２５】また、支持部１１と突出部１７とが良好に
係合しない場合には、軌道昇降部５上において、ビーク
ル４のカセット受けゴマ１０の位置を、支持部１１と突
出部１７とが係合できるように調整する。そして、この
調整により、支持部１１と突出部１７とが係合できるよ
うになったら、カセット受けゴマ１０の本体部９に対す
る位置が規定の誤差内であるとして検査を終了し、軌道
昇降部５を上昇させ、カセット受けゴマ１０の位置調整
の終了したビークル４をレール３内に入線させる。

【００２６】次に、このようにして、レール３内に入線
させたビークル４を、レール３上を走行させる。このと
き、レール３上の他の部分に設けられた前記標示部と同
様の標示部をビークル４の停止位置読みとりセンサが認
識することによって、ビークル４がレール３上の所定の
停止位置に停止することとなるが、この場合、ビークル
４のレール３への入線以前に、軌道昇降部５においてカ
セット受けゴマ１０の本体部９に対する位置を調整して
おいたため、停止位置におけるビークル４のカセット受
けゴマ１０の位置が、カセット（被搬送物）の自動受け
渡しを良好に行うことのできる所定位置とずれることが
ない。したがって、カセットの移載異常が発生する懸念
を減少させることができる。

【００２７】上述の搬送設備１においては、ビークル４
をレール３に入線させる際に、実際にビークル４がレー
ル３上を走行するのと同一の条件で、ビークル４のカセ
ット受けゴマ１０の位置決めを行うことができる。した
がって、従来のように工場出荷時にのみ検査を行う場合
に比較して、カセットの移載異常等が発生する懸念を減
少させることができる。特にこの場合、従来とは異な
り、実際に軌道昇降部５上においてビークル４を走行・
停止させることができることから、ビークル４の本体部
９に設けられた停止位置読みとりセンサとカセット受け
ゴマ１０との相対位置についてまでを検査することが可
能であり、検査精度を飛躍的に向上させることができ
る。

【００２８】また、上述の搬送設備１は、軌道昇降部５
がレール３の他の部分から分離可能な構成とされ、軌道
昇降部５を分離した状態で位置決め装置１２による検査
が行えるようになっているために、上述のようにレール
３が天井等に敷設されている場合においても、軌道昇降
部５を下方に移動させて検査を容易に行うことができる
ようにすることができる。

【００２９】また、上述の搬送設備１においては、軌道
昇降部５からビークル４の入線が行われる構成となって
いるために、ビークル４を入線させる以前に、カセット
受けゴマ１０の位置の検査を行うことができ、ビークル
４の走行時におけるカセットの移載異常を事前に防ぐこ
とができる。

【００３０】さらに、上述の搬送設備１においては、位
置決め装置１２の位置決め板１５に設けられた突出部１
７と、カセット受けゴマ１０の支持部１１とを係合させ
ることによってカセット受けゴマ１０の位置決めを行う
ことができるようになっているために、簡易な構成によ
り、容易に検査を実行することができる。

【００３１】なお、上記実施の形態において、本発明の
趣旨を逸脱しない範囲内で他の構成を採用するようにし
てもよい。例えば、上記実施の形態の位置決め装置１２
における位置決め板１５の形状は、図１に示したような
ものに限定されることなく、例えば、図２に示すよう
に、突出部１８が、下方に向けてテーパ状に突出したも
のであってもよい。この場合、図２中に示すような突出
部１８の基端部１８ａの位置を、支持部１１が係合され
るべき正規の位置として設定しておけば、カセット受け
ゴマ１０の位置調整を、位置決め板１５をいちいち離間
させることなく行うことができ、作業性の向上を図るこ
とができる。

【００３２】また、上記実施の形態においては、ビーク
ル４の停止位置を認識するための手段として、ビークル
４に設けられた停止位置読みとりセンサと、軌道昇降部
５に設けられた標示部とが用いられていたが、その代わ
りに、ビークル４側に標示部を、軌道昇降部５側に停止
位置読みとりセンサを設けるようにしてもよい。

【００３３】また、この場合、停止位置読みとりセンサ
および標示部としては、光学式センサおよび反射鏡等の
光学的手段を好適に用いることができるが、これらに代
えて、リミットスイッチ等の機械的手段を用いてビーク
ル４の停止位置を認識させるようにしてもよい。

【００３４】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１に係る搬
送設備においては、搬送台車を軌道にに入線させる際
に、実際に搬送台車が軌道上を走行するのと同一の条件
で、搬送台車の荷台の位置決めを行うことができる。し
たがって、従来のように工場出荷時にのみ検査を行う場
合に比較して、被搬送物の移載異常等が発生する懸念を
減少させることができる。特にこの場合、従来とは異な
り、搬送台車に設けられた第二の検出部と荷台との相対
位置についてまでを検査することが可能であるため、検
査精度を飛躍的に向上させることができる。

【００３５】請求項２に係る搬送設備においては、軌道
のうち、第一の検出部が設けられた部分が、軌道の他の
部分から分離可能な構成とされるとともに、このように
分離した軌道の一部の上で位置決め手段による検査が行
えるようになっているために、軌道が天井等に敷設され
ている場合においても、検査の作業性を良好なものとす
ることができる。

【００３６】請求項３に係る搬送設備においては、軌道
昇降部から搬送台車の入線が行われるとともに、この軌
道昇降部において搬送台車の荷台の位置決めを行うこと
ができるために、搬送台車を入線させる以前に、荷台位
置の検査を行うことができ、搬送台車を実際に走行させ
た際の被搬送物の移載異常を未然に防ぐことができる。

【００３７】請求項４に係る搬送設備においては、位置
決め手段の検査部に設けられた突出部と、搬送台車の荷
台に設けられた支持部とを係合させることによって、荷
台の位置決めを行うことができるようになっているため
に、簡易な構成で、容易に検査を実行することが可能で
あり、請求項１から３の発明を良好に実現することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施の形態を模式的に示す搬送設
備の要部の斜視図である。

【図２】 図１に示した搬送設備に設けられた位置決め
装置の変形例を示す斜視図である。

【符号の説明】

１ 搬送設備 ３ レール（軌道） ４ ビークル（搬送台車） ５ 軌道昇降部 ９ 本体部 １０ カセット受けゴマ（荷台） １１ 支持部 １２ 位置決め装置 １５ 位置決め板（検査部） １７ 突出部

フロントページの続き (72)発明者 永島 洋 三重県伊勢市竹ヶ鼻町100番地 神鋼電機 株式会社伊勢事業所内 Ｆターム(参考） 3F027 AA10 CA01 DA02 FA02 3F044 AA13 AB19 CA00 CE08 CE46 5H301 AA02 AA09 BB05 EE02 EE15 FF01 FF05 FF16 JJ09

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被搬送物が搭載された搬送台車が、軌道
   上を走行する構成とされた搬送設備において、 前記搬送台車は、本体部と、該本体部に対して前記搬送
   台車の進行方向に位置調整可能に設けられるとともに前
   記被搬送物が載置される荷台とを有する構成とされ、な
   おかつ、前記本体部に、前記軌道に設けられた第一の検
   出部と対応して前記搬送台車の前記軌道上の位置を特定
   可能な第二の検出部が設けられた構成となっており、 前記搬送設備には、前記搬送台車の本体部が前記第一お
   よび第二の検出部によって該搬送軌道上の所定箇所に位
   置していると認識されている場合において、前記荷台の
   位置決めをなす位置決め手段が設けられていることを特
   徴とする搬送設備。
2. 【請求項２】 請求項１記載の搬送設備であって、 前記軌道は、前記所定箇所を含む一定部分が、他の部分
   と分離可能な構成とされ、 前記位置決め手段は、該一定部分が他の部分から分離さ
   れた場合に、該一定部分上に位置する前記搬送台車にお
   ける前記荷台の位置決めをなす構成とされていることを
   特徴とする搬送設備。
3. 【請求項３】 請求項２記載の搬送設備であって、 前記軌道の前記所定箇所を含む一定部分は、該搬送台車
   を搭載した状態で前記他の部分と一体化することによ
   り、前記搬送台車を前記軌道外から前記軌道上に入線さ
   せることのできる軌道昇降部として形成されていること
   を特徴とする搬送設備。
4. 【請求項４】 請求項１から３のいずれかに記載の搬送
   設備であって、 前記荷台には、前記被搬送物に係合して前記被搬送物を
   支持する支持部が設けられ、 前記位置決め手段は、前記搬送軌道上の前記所定位置に
   配置された前記搬送台車の搭載部に対して、上下方向か
   ら接近離間自在に形成された検査部を備えた構成とさ
   れ、 該検査部には、該検査部が前記荷台に対して接近した際
   に、前記支持部と係合可能な突出部が設けられているこ
   とを特徴とする搬送設備。