JP3335912B2

JP3335912B2 - 搬送システム

Info

Publication number: JP3335912B2
Application number: JP18100998A
Authority: JP
Inventors: 正四元; 典昭吉川
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1998-06-26
Filing date: 1998-06-26
Publication date: 2002-10-21
Anticipated expiration: 2018-06-26
Also published as: JP2000016756A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、軌道走行車により
ウエハーなどの基板を半導体製造装置間で運搬する搬送
システムに係り、特に軌道走行車を搬送物載置位置へ持
って行く際の位置決めに関する。

【０００２】

【従来の技術】図６は従来この種の搬送システムの構成
例を示した側面図である。軌道走行車２が走行軌道１に
台車２４によって懸垂され、この軌道走行車２が制御装
置３の制御により前記走行軌道１に沿って走行する。制
御装置３には図７（Ａ）に示すような搬送物の載置位置
の基準点からの位置ずれ量を示すティーチングデータが
載置台７毎に予め入力されると共に、図７（Ｂ）に示す
ような搬送物を載置する載置台７の高さを示すティーチ
ングデータが載置台７毎に予め入力されている。

【０００３】制御装置３はこのティーチングデータを参
照して、軌道走行車２を載置台７上の載置位置に移動さ
せる。ここで、軌道走行車２は装置を走行軌道に沿って
移動させる台車２４、搬送物を捕捉、解放する搬送物着
脱機構２３を昇降させる昇降機構２１、搬送物着脱機構
２３を水平面内に移動させる水平移動機構２２及び搬送
物を捕捉、解放する搬送物着脱機構２３から成ってい
る。

【０００４】図６において、軌道走行車２は走行軌道１
を走行して載置台７の所まで移動すると、後は水平移動
機構２２により、細かく水平面内を移動して、位置ずれ
量Ａがゼロになるように搬送物着脱機構２３を移動させ
て、搬送物着脱機構２３が搬送物載置位置の真上に来る
ようにしてから、これを降下させ、載置台７上に搬送物
を置く。ここで、図６（Ｂ）は図６（Ａ）を横から見た
図である。

【０００５】図８は上記した軌道走行車２を載置位置に
移動した後に、搬送物着脱機構２３により掴んで運んで
きた搬送物を載置台７上の載置位置に置く動作を説明す
る図である。図８（Ａ）は軌道走行車２を載置位置の真
上に移動した所を示している。その後、図８（Ｂ）に示
すように、軌道走行車２は昇降機構２１により搬送物４
を掴んでいる搬送物着脱機構２３を降下させる。その
際、搬送物着脱機構２３はＬａで示した範囲を速度Ｖａ
で高速下降する。次に搬送物着脱機構２３は図８（Ｃ）
に示すように、Ｌｂ＋αの範囲を速度Ｖｂで低速下降し
て、搬送物を載置台７の載置位置に置く。

【０００６】尚、載置台７の搬送物を置いた位置からこ
の搬送物を搬送物着脱機構２３により掴んで、別の場所
に移動する際も、軌道走行車２の位置決め動作は同様で
ある。但し、図８において、Ｌａは高速昇降範囲を、Ｌ
ｂは低速昇降範囲を、αを載置台の高さの違いを、Ｖａ
は高速昇降速度を、Ｖｂは低速昇降速度を示している。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】上記のような従来の搬
送システムでは、軌道走行車２の位置決めを行うには、
載置台７上の搬送物の載置位置と基準点からの位置ずれ
量をティーチングデータとして制御装置３に予め入力す
る必要があるため、全ての載置台７についての前記位置
ずれ量を示したティーチングデータを入力しなければな
らず、これに多大な労力及び時間を要し、搬送システム
が稼働するまでに多くの時間が掛かるという問題があっ
た。また、制御装置３の制御プログラムに全てのティー
チングデータを入力する必要があり、プログラムが複雑
化するという問題があった。更に、走行軌道１、軌道走
行車２、載置台７の交換及び増設、載置台７のレイアウ
ト変更等を行った場合、当然上記したティーチングデー
タに変更が生じるため、ティーチングデータを制御装置
３に再入力しなければならず、これに多大な労力及び時
間が掛かるという問題があった。また、地震等の影響に
より搬送物の載置位置がずれると、修正したティーチン
グデータを入力しなければならず、これに多大な労力及
び時間が掛かるという問題があった。

【０００８】更に、図７（Ｂ）に示したように載置台７
の高さが異なってくる場合（床状態の違い（凸凹）、地
震等の影響により）で、特に載置台が低い場合はαが大
きくなって、低速昇降範囲Ｌｂが長くなり、搬送物着脱
機構２３の昇降時間が長くなり、逆に高くなると低速昇
降範囲が短くなるという問題があった。

【０００９】本発明は、上述の如き従来の課題を解決す
るためになされたもので、その目的は、制御装置にティ
ーチングデータを入力することなく、軌道走行車の載置
位置への位置決めをできるようにして、位置決めの設定
及び変更を容易且つ短時間に行うことができるようにす
ると共に、搬送物の載置台の高さに拘らず適切な時間で
搬送物を昇降することができる搬送システムを提供する
ことである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、第１の発明の特徴は、軌道と、この軌道に懸垂して
走行することにより搬送物を目的の場所に搬送し、目的
の場所に来ると搬送物を保持する搬送物着脱機構を昇降
させる機能を有する軌道走行車と、この軌道走行車の動
作を制御する制御装置とを有する搬送システムにおい
て、前記搬送物が載置される位置を示す位置マークと、
前記搬送物が載置される場所の高さを示す高さマーク
と、前記軌道走行車に取り付けられ、前記位置マーク及
び高さマークを光学的に検出する光学式検出装置と、こ
の光学式検出装置より得られる前記位置マークの検出情
報から前記搬送物の載置位置情報を求める位置情報取得
手段と、この位置情報取得手段により得られた前記載置
位置情報に基づいて前記軌道走行車の現在位置と前記搬
送物の載置位置間の位置ずれ情報を演算する演算手段
と、この演算手段により求められた位置ずれ情報に基づ
いて前記軌道走行車を移動させて前記搬送物の載置位置
に位置合わせをする位置合わせ手段と、前記光学式検出
装置より得られる前記高さマークの検出情報から前記載
置場所の高さ情報を求める高さ情報取得手段と、この高
さ情報取得手段により得られた前記高さ情報より前記搬
送物着脱機構を昇降させる際の昇降速度を変える範囲を
求めて設定する設定手段と、この設定手段により設定さ
れた前記範囲に従って前記搬送物着脱機構の速度を変え
て昇降させる昇降手段とを備えたことにある。

【００１１】この第１の発明によれば、制御装置は、軌
道走行車を前記軌道に沿って走行させ、例えば搬送物を
置く載置場所に持ってくる。軌道走行車が載置場所に近
づくと、これに取り付けてある光学式検出装置が載置場
所に貼り付けてある位置マークを検出する。これによ
り、制御装置内の位置情報取得手段は光学式検出装置よ
り得られる前記位置マークの検出情報から前記搬送物の
載置位置情報を求め、演算手段はこの載置位置情報に基
づいて前記軌道走行車の現在位置と前記搬送物の載置位
置間の位置ずれ情報を演算し、位置合わせ手段はこの位
置ずれ情報に基づいて前記軌道走行車を移動させて前記
搬送物の載置位置に位置合わせする。これにより、制御
装置に前記載置位置の基準点からの位置ずれ量を予め入
力することなく、軌道走行車を正確に搬送物の載置位置
に移動する。

【００１２】第２の発明の特徴は、軌道と、この軌道に
懸垂して走行することにより搬送物を目的の場所に搬送
し、目的の場所に来ると前記搬送物を保持する搬送物着
脱機構を昇降させる機能を有する軌道走行車と、この軌
道走行車の動作を制御する制御装置とを有する搬送シス
テムにおいて、前記搬送物が載置される場所の高さを示
す高さマークと、前記軌道走行車に取り付けられ、前記
高さマークを光学的に検出する光学式検出装置と、この
光学式検出装置より得られる前記高さマークの検出情報
から前記載置場所の高さ情報を求める高さ情報取得手段
と、この高さ情報取得手段により得られた前記高さ情報
より前記搬送物着脱機構を昇降させる際の昇降速度を段
階的に変える範囲を求めて設定する設定手段と、この設
定手段により設定された前記範囲に従って前記搬送物着
脱機構の速度を段階的に変えて昇降させる昇降手段とを
備えたことにある。

【００１３】この第２の発明によれば、制御装置は、軌
道走行車を前記軌道に沿って走行させ、例えば搬送物を
置く載置場所に持ってくる。ここで、軌道走行車に取り
付けられた光学式検出装置は載置場所に貼り付けられた
高さマークを検出する。これにより、制御装置内の高さ
情報取得手段は前記高さマークの検出情報から前記載置
場所の高さ情報を求め、設定手段はこの高さ情報より前
記搬送物着脱機構を昇降させる際の昇降速度を段階的に
変える範囲を求めて設定し、昇降手段は設定された前記
範囲に従って前記搬送物着脱機構の速度を段階的に変え
て昇降させる。従って、搬送場所が低いと、高速昇降範
囲を広げ、搬送場所が高いと、高速昇降範囲を狭める設
定が行われる。

【００１４】

【００１５】第３の発明の特徴は、前記位置マークと高
さマークをひとつのマークで兼用することにある。

【００１６】第４の発明の特徴は、光学式検出装置を移
動させる手段と、この手段により前記光学式検出装置を
移動させて前記マークを視野に入れる手段とを設けたこ
とにある。

【００１７】この第４の発明によれば、軌道走行車を搬
送物の載置場所に持ってきた時、位置マーク又は高さマ
ークが光学式検出装置の視野に入らない場合でも、この
光学式検出装置を移動させて、前記位置マーク又は高さ
マークを確実に検出する。

【００１８】第５の発明の特徴は、前記光学式検出装置
はバーコードリーダーであり、前記マークはバーコード
バーである。

【００１９】この第５の発明によれば、バーコードバー
で搬送物の載置位置情報又は載置場所の高さ情報を記載
しておけば、バーコードリーダーである前記光学式検出
装置は前記バーコードバーを読み取って、搬送物の載置
位置情報及び載置場所の高さ情報を精度よく取得する。

【００２０】第６の発明の特徴は、前記搬送物は半導体
ウエハ基板又は液晶基板である。

【００２１】

【００２２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。図１は本発明の搬送システムの第
１の実施の形態を示した側面図である。走行軌道１に懸
垂された軌道走行車２が走行軌道１に沿って移動する。
軌道走行車２は走行軌道１を移動する台車２４を有し、
この台車２４の下部に取り付けてある昇降機構２１は搬
送物着脱機構２３を水平面内に移動する水平移動機構２
２と搬送物４を捕捉、解放する搬送物着脱機構２３を昇
降する。水平移動機構２２のサイドには、載置台７の上
に貼られている位置マーク９を検出して位置情報を得る
光学式位置読取装置（光学式検出装置の一種）２５が取
り付けられている。また、搬送物４は図示されない半導
体製造装置などに近接されて配置されている載置台７に
載置される。

【００２３】尚、位置マーク９を例えばバーコードと
し、走行軌道１とバーコードバーとが平行になるように
バーコードを貼り付ける。この場合、バーコードバーは
搬送物４の載置位置を示す位置情報及び載置台７の高さ
情報を示し、光学式位置読取装置２５をバーコードリー
ダとする。又、この例でいう搬送物とは半導体ウエハー
や液晶基板等を収容する容器である。

【００２４】次に本実施の形態の動作について説明す
る。図１（Ａ）に示すように、軌道走行車２は搬送物着
脱機構２３により搬送物４を保持し、天井面に対して平
行に設置された走行軌道１に台車２４で懸垂され、この
台車２４により走行軌道１に沿って移動する。軌道走行
車２が走行して、走行軌道１の下方の載置台７の上まで
搬送物４を搬送する。この間、制御装置３は軌道走行車
２の走行を制御するが、光学式位置読取装置２５が載置
台７上の位置マーク９を検出すると、軌道走行車２を減
速するか、一旦停止して、軌道走行車２を載置台７の上
まで移動させる。

【００２５】図１（Ｂ）に示すように、軌道走行車２が
載置台７の上まで来ると、光学式位置読取装置２５の視
野に位置マーク９が入り、そのバーコードを読み取り、
搬送物４の載置位置を示す位置情報及び載置台７の高さ
情報を得て、これら情報を制御装置３に送る。制御装置
３は搬送物４の載置位置を示す位置情報（載置位置情
報）と現在の軌道走行車２の位置から位置ずれ量を演算
し、この位置ずれ量がゼロになるような搬送物着脱機構
２３の位置決めを行う。

【００２６】即ち、台車部２４又は水平移動機構２２は
搬送物着脱機構２３を水平面内で移動して、図２（Ａ）
に示すように、保持している搬送物４を載置位置の真上
に持って行くように、制御装置３によって制御される。
次に、制御装置３は載置台７の高さ情報より高速昇降範
囲Ｌａと低速昇降範囲Ｌｂを決め、図２（Ｂ）に示すよ
うに昇降機構２１を制御して搬送物４を保持した搬送物
着脱機構２３を速度Ｖａで高速降下し、高速降下範囲Ｌ
ａの下限まで降下する。ここで、昇降機構２１の動作を
低速降下に減速し、低速降下範囲Ｌｂを低速Ｖｂで降下
する。その結果、搬送物４が載置台７の搬送物載置位置
に到達すると、制御装置３は図２（Ｃ）に示すように昇
降機構２１の動作を停止し、搬送物着脱機構２３から搬
送物４を解放した後、搬送物４を残して、搬送物着脱機
構２３を上昇させるが、上記した。低速昇降範囲Ｌｂで
は低速Ｖｂで上昇し、高速昇降範囲Ｌａでは高速Ｖａで
上昇する。

【００２７】図３は制御装置３による軌道走行車２の位
置合わせ処理手順を示したフローチャートである。制御
装置３はステップ３０１にて、軌道走行車２の光学式位
置読取装置２５が位置マーク９を検出するまで、軌道走
行車２を移動させ、位置マーク９を検出すると、軌道走
行車２の走行を停止する。次に制御装置３はステップ３
０２にて、光学式位置読取装置２５により前記位置マー
ク９のバーコードバーを読み取り、搬送物４の載置位置
を示す位置情報及び載置台７の高さ情報を得る。その
後、制御装置３はステップ３０３にて、読み取った位置
情報と現在の軌道走行車の位置情報との位置ずれ量を演
算し、ステップ３０４にて、前記位置ずれ量がゼロにな
るように台車２４又は水平移動機構２２を動作させて、
搬送物着脱機構２３の位置合わせを行う。

【００２８】図４は制御装置３による軌道走行車２の位
置合わせ後に、搬送物着脱機構２３を昇降させる処理手
順を示したフローチャートである。制御装置３はステッ
プ４０１にて、図３のステップ３０２で読み取った載置
台７の高さ情報に基づいて、最適な高速昇降範囲と低速
昇降範囲を決める。その後、制御装置３はステップ４０
２にて昇降機構２１を制御して搬送物着脱機構２３を前
記高速昇降範囲内を高速降下し、次にステップ４０３に
て、搬送物着脱機構２３を前記低速昇降範囲内を低速降
下した後、ステップ４０４にて昇降機構２１の降下を停
止する。

【００２９】搬送物載置位置から搬送物を掴んで他の場
所に移動する動作も上記と同様の制御によりなされる
が、特に軌道走行車２の位置決めは光学式位置読取装置
２５が位置マーク９のバーコードバーを読み取って得た
位置情報により行われ、搬送物着脱機構２３の昇降動作
は前記バーコードを読み取って得た高さ情報により行わ
れる。

【００３０】本実施の形態によれば、光学式位置読取装
置２５により位置マーク９のバーコードバーを読み取っ
て得た位置情報により、軌道走行車２の現在位置と搬送
物載置位置との位置ずれ量を求めて、軌道走行車２の位
置合わせを行うため、従来のように制御装置３にティー
チングデータを入力する必要がなくなり、位置決めのた
めの設定に時間及び労力を取られることなく、搬送シス
テムを直ちに動作させることができる。

【００３１】また、入力ティーチングデータをプログラ
ミング化する必要がないため、制御装置３は図３又は図
４に示すような簡単な制御プログラムで軌道走行車２の
制御を行うことができる。更に、走行軌道１、軌道走行
車２及び載置台７の交換及び増設、或いはレイアウトの
変更等を行っても、制御装置３の制御プログラムに影響
がなく、制御プログラムを組み直す必要がないため、単
に位置マーク９のバーコードバーを変更するだけで、短
時間且つ容易にシステムを動作させることができる。

【００３２】更に、地震等の影響により走行軌道１と載
置台７との間に位置ずれが生じても、制御装置３の制御
プログラムの変更をしなくてよく、位置マーク９のバー
コードバーを修正するだけで、短時間且つ容易にシステ
ムを動作させることができる。

【００３３】また、位置マーク９に載置台７の高さ情報
を入れてあるため、この高さ情報を光学式位置読取装置
２５により読み取って、その場で、適切な高速昇降範囲
Ｌａと低速昇降範囲Ｌｂを設定することができるため、
載置台７の高さによって、昇降時間が長くなることがな
く、円滑な搬送物４の搬送を行うことができる。

【００３４】尚、軌道走行車２と載置台７の位置マーク
９のずれが走行軌道に対して直角方向に大きい場合で、
光学式位置読取装置２５の視野が狭い場合には、位置マ
ーク９を読み取ることができなくなることがあるため、
光学式位置読取装置２５を前記直角方向に移動（振幅）
させる機能を持たせてもよい。

【００３５】図５は本発明の搬送システムの第２の実施
の形態を示した側面図である。但し、図１に示した第１
の実施の形態に対応する部品には同一符号を付し、適宜
その説明を省略する。

【００３６】本例は、軌道走行車２に光学式位置読取装
置２５が取り付けられ、載置台７上には位置マーク９が
貼り付けられ、また、載置台７の横に高さマーク１０が
設けられている。上記光学式位置読取装置２５は真下及
びサイドに視野を有するものとする。

【００３７】制御装置３は軌道走行車２を走行軌道１に
沿って移動させ、光学式位置読取装置２５が位置マーク
９を検出すると、軌道走行車２を減速又は停止して、載
置台７の所に持ってくる。その後、制御装置３は光学式
位置読取装置２５が位置マーク９を検出した情報から搬
送物載置位置を求め、求めた位置情報と現在の軌道走行
車の位置との位置ずれ量を演算した後、この位置ずれ量
がゼロになるように台車２４又は水平移動機構２２を動
作させて、搬送物着脱機構２３を搬送物載置位置の真上
に来るように位置決めする。

【００３８】この位置決めの後、制御装置３は昇降機構
２１を制御して、搬送物着脱機構２３を高速で下降させ
るが、この際、光学式位置読取装置２５が高さマーク１
０を検出すると、この検出位置に応じて、高速で下降す
る範囲を設定し、その下限に来ると、搬送物着脱機構２
３の下降速度を減速して、低速下降する。搬送物４が載
置台７の載置位置に届くと、昇降機構２１の動作を停止
した後、搬送物着脱機構２３を解放して、搬送物４を載
置台７上に置く。以降の動作は図１に示した第１の実施
の形態と同様である。

【００３９】本例も、光学式位置読取装置２５により位
置マーク９を検出することにより、得た位置情報によ
り、軌道走行車２の現在位置と搬送物載置位置との位置
ずれ量を求めて、軌道走行車２の位置合わせを行うた
め、制御装置３にティーチングデータの入力を行う必要
がなく、図１に示した第１の実施の形態と同様の効果が
ある。

【００４０】また、光学式位置読取装置２５により高さ
マーク１０を検出することにより、載置台７の高さ情報
を知って、高速昇降範囲及び低速昇降範囲を適切に設定
するため、載置台７の高さによって、昇降時間が長くな
ることがなく、円滑な搬送物４の搬送を行うことができ
る。

【００４１】尚、上記した第１、第２の実施の形態によ
れば、位置ずれ量の演算や高速昇降範囲及び低速昇降範
囲などの設定等を全て制御装置３で行っていたが、これ
ら演算や設定の全部又は一部を軌道走行車２の内部で行
うようにし、更に、前記位置ずれ量に基づいた搬送物着
脱機構２３の移動制御や昇降制御を軌道走行車２の内部
で行うようにしても、同様の効果がある。

【００４２】

【発明の効果】以上詳細に説明したように、第１の発明
によれば、軌道走行車に取り付けられた光学式検出装置
により位置マークを検出して得られる検出情報に基づい
て、搬送物を載置する位置と軌道走行車の現在位置との
位置ずれ量を求め、この位置ずれ量に基づいて前記軌道
走行車を前記載置位置に位置合わせすることにより、制
御装置にティーチングデータを入力することなく、軌道
走行車を前記載置位置へ位置決めすることができるの
で、搬送システムを容易且つ短時間に動作状態とするこ
とができるだけでなく、前記載置位置が変更されたり、
ずれたような場合でも、前記位置マークを取り替えるだ
けで、搬送システムを容易且つ短時間に動作させること
ができる。

【００４３】第２の発明によれば、軌道走行車に取り付
けられた光学式検出装置により高さマークを検出して得
られる検出情報に基づいて、搬送物を載置する場所の高
さ情報を得、この高さ情報に基づいて前記搬送物を昇降
する速度を段階的に変化させる範囲を求め、この範囲に
従って前記搬送物の昇降速度を変化させるため、前記場
所の高さによらず、常に適切な速度で搬送物を昇降する
ことができる。

【００４４】第４の発明によれば、軌道走行車と搬送物
の載置場所が当初かなりずれていても、その場所で光学
式検出装置を移動させてマークをその視野に入れること
ができるため、軌道走行車の位置合わせや、搬送物の昇
降速度を変化させる範囲の設定を常に円滑且つ確実に行
うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の搬送システムの第１の実施の形態を示
した側面図である。

【図２】図１に示した軌道走行車の位置合わせ及び昇降
動作を説明する図である。

【図３】図１に示した制御装置による軌道走行車の位置
合わせ処理手順を示したフローチャートである。

【図４】図１に示した制御装置による軌道走行車の位置
合わせ後に、搬送物着脱機構を昇降させる処理手順を示
したフローチャートである。

【図５】本発明の搬送システムの第２の実施の形態を示
した側面図である。

【図６】従来この種の搬送システムの構成例を示した側
面図である。

【図７】載置位置の基準点からの位置ずれ量と載置台の
高さを示したティーチングデータ設定例を示した表図で
ある。

【図８】図６に示した軌道走行車の位置合わせ時の動作
を説明する側面図である。

【符号の説明】

１走行軌道２軌道走行車３制御装置４搬送物７載置台９位置マーク１０高さマーク２１昇降機構２２水平移動機構２３搬送物着脱機構２４台車２５光学式位置読取装置

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩＨ０１Ｌ 21/68 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｇ (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B66C 13/22,13/48

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】軌道と、この軌道に懸垂して走行することにより搬送物を目的の
場所に搬送し、目的の場所に来ると搬送物を保持する搬
送物着脱機構を昇降させる機能を有する軌道走行車と、この軌道走行車の動作を制御する制御装置とを有する搬
送システムにおいて、前記搬送物が載置される位置を示す位置マークと、前記搬送物が載置される場所の高さを示す高さマーク
と、前記軌道走行車に取り付けられ、前記位置マーク及び高
さマークを光学的に検出する光学式検出装置と、この光学式検出装置より得られる前記位置マークの検出
情報から前記搬送物の載置位置情報を求める位置情報取
得手段と、この位置情報取得手段により得られた前記載置位置情報
に基づいて前記軌道走行車の現在位置と前記搬送物の載
置位置間の位置ずれ情報を演算する演算手段と、この演算手段により求められた位置ずれ情報に基づいて
前記軌道走行車を移動させて前記搬送物の載置位置に位
置合わせをする位置合わせ手段と、前記光学式検出装置より得られる前記高さマークの検出
情報から前記載置場所の高さ情報を求める高さ情報取得
手段と、この高さ情報取得手段により得られた前記高さ情報より
前記搬送物着脱機構を昇降させる際の昇降速度を変える
範囲を求めて設定する設定手段と、この設定手段により設定された前記範囲に従って前記搬
送物着脱機構の速度を変えて昇降させる昇降手段とを備
えることを特徴とする搬送システム。
【請求項２】軌道と、この軌道に懸垂して走行することにより搬送物を所定の
場所に搬送し、目的の場所に来ると前記搬送物を保持す
る搬送物着脱機構を昇降させる機能を有する軌道走行車
と、この軌道走行車の動作を制御する制御装置とを有する搬
送システムにおいて、前記搬送物が載置される場所の高さを示す高さマーク
と、前記軌道走行車に取り付けられ、前記高さマークを光学
的に検出する光学式検出装置と、この光学式検出装置より得られる前記高さマークの検出
情報から前記載置場所の高さ情報を求める高さ情報取得
手段と、この高さ情報取得手段により得られた前記高さ情報より
前記搬送物着脱機構を昇降させる際の昇降速度を段階的
に変える範囲を求めて設定する設定手段と、この設定手段により設定された前記範囲に従って前記搬
送物着脱機構の速度を段階的に変えて昇降させる昇降手
段とを備えることを特徴とする搬送システム。
【請求項３】前記位置マークと高さマークをひとつの
マークで兼用することを特徴とする請求項２記載の搬送
システム。
【請求項４】光学式検出装置を移動させる手段と、この手段により前記光学式検出装置を移動させて前記マ
ークを視野に入れる手段とを設けたことを特徴とする請
求項１乃至３いずれか１記載の搬送システム。
【請求項５】前記光学式検出装置はバーコードリーダ
ーであり、前記マークはバーコードバーであることを特
徴とする請求項１乃至４いずれか１記載の搬送システ
ム。
【請求項６】前記搬送物は半導体ウエハ基板又は液晶
基板であることを特徴とする請求項１乃至５いずれか１
記載の搬送システム。