JP6760405B2 - 搬送システム及び搬送方法 - Google Patents

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Description

本発明は、搬送システム及び搬送方法に関する。
例えば、半導体生産工場では、設備内のスペース効率の向上を図るため、天井近傍に敷設された軌道に沿って走行する搬送車により、物品を搬送し、かつ、物品を移載先に移載する搬送システムが利用されている。この搬送車は、軌道を走行する走行体と、物品を移載先に受け渡す移載装置とを備えており、各移載先に対応して走行体を停止させ、移送装置により移載先に対して物品の受け渡しを行っている。複数の搬送車が各移載先に正確に物品を移載させるため、各搬送車が各移載先に実際に物品を移載して、移載先の教示を行うこともできるが、搬送車の数又は移載先の数が多くなると教示作業に係る労力が多大となる。そのため、このような搬送システムにおいては、基準となる搬送車により各移載先の移載位置を決定しておき、他の搬送車は、移載先の1つに物品を載置して先に決定した移載位置との誤差を求め、基準となった搬送車に対する誤差として各移載先の移載位置を補正することにより、複数の搬送車における移載先の教示作業について労力低減を図っている(例えば、特許文献1参照)。
特開2009−035403号公報
上述した搬送システムでは、各移載先を教示する際に1つの移載先を用いて各搬送車における各移載先の補正を行っている。しかしながら、このような手法では、例えば、設備の巨大化に伴い搬送車の台数が増加すると、各搬送車の教示作業に時間が掛かり、搬送システムを稼働させるまでに長時間を要するといった問題がある。また、搬送車の搬送経路を複数のエリアに分割し、エリアごとに基準台を設置することも考えられるが、搬送車が別のエリアに移動した場合に、改めてそのエリアの基準台で教示を行う必要があり、搬送システムの稼働効率を低下させる可能性がある。また、上記した搬送システムでは、移載先ごとに停止指標を取り付け、搬送車がこの停止指標を検出して走行体を停止すれば、移載先の定められた位置に物品を移載できるように設定される場合がある。このような場合であっても、基準となった搬送車以外の搬送車は、1つの移載先を用いて各移載先の移載位置を補正するといった教示作業が必要であり、上記のように搬送車の台数が増えると教示作業に長時間を要することになる。
本発明は、上記事情に鑑み、搬送車の台数が増大した場合でも搬送車の教示作業に要する時間を短縮することが可能な搬送システム及び搬送方法を提供することを目的とする。
本発明の態様の搬送システムは、複数の移載先にわたって設置された軌道と、軌道を走行する走行体、及び走行体に設けられて物品を保持しかつ移載先に物品を受け渡す移載装置を備える複数の搬送車と、移載先ごとに移載装置により移載先の定められた位置で物品の受け渡しを可能とするために取り付けられ、走行体の停止位置を示す停止指標と、搬送車を制御するコントローラと、を備え、走行体が停止指標に基づいて停止した状態で、移載装置により移載先に対して物品の受け渡しを行う搬送システムであって、コントローラは、第1移載先の第1停止指標に基づき第1搬送車の第1走行体が停止した際の、第1移載装置により第1移載先に物品を載置した位置と、第1移載先の定められた位置との第1誤差と、第2移載先の第2停止指標に基づき第1誤差を求めるために使用する第1搬送車の第1走行体が停止した際の、第1移載装置により第2移載先に物品を載置した位置と、第2移載先の定められた位置との第2誤差と、に基づいて、第1誤差と第2誤差との差であるズレ量を求め、第1移載先及び第2移載先以外の少なくとも1つの移載先に対して、第n(n≧3かつ整数)移載先の第n停止指標に基づき第1搬送車の第1走行体が停止した際の、第1移載装置により第n移載先に物品を載置した位置と、第n移載先の定められた位置との第n誤差を取得し、第1搬送車以外の第m(m≧2かつ整数)搬送車について、第1移載先の第1停止指標に基づき第m搬送車の第m走行体が停止した際の、第m移載装置により第1移載先に物品を載置した位置と、第1移載先の定められた位置との第m−1誤差を取得した第m搬送車においては、第n移載先に対する第m走行体の停止位置を第n誤差及び第m−1誤差で補正し、第2移載先の第2停止指標に基づき第m搬送車の第m走行体が停止した際の、第m移載装置により第2移載先に物品を載置した位置と、第2移載先の定められた位置との第m−2誤差を取得した第m搬送車においては、第n移載先に対する第m走行体の停止位置を第n誤差及び第m−2誤差、さらにズレ量で補正する。
本発明の態様の搬送システムは、複数の移載先にわたって設置された軌道と、軌道を走行する走行体、及び走行体に設けられて物品を保持しかつ前記移載先に物品を受け渡す移載装置を備える複数の搬送車と、移載先ごとに移載装置により移載先の定められた位置で物品の受け渡しを可能とするために取り付けられ、走行体の停止位置を示す停止指標と、搬送車を制御するコントローラと、を備え、走行体が停止指標に基づいて停止した状態で、移載装置により移載先に対して物品の受け渡しを行う搬送システムであって、コントローラは、第1移載先の第1停止指標に基づき第1搬送車の第1走行体が停止した際の、第1移載装置により第1移載先に物品を載置した位置と、第1移載先の定められた位置との第1誤差と、第2移載先の第2停止指標に基づき第1誤差を求めるために使用する第1搬送車の第1走行体が停止した際の、第1移載装置により第2移載先に物品を載置した位置と、第2移載先の定められた位置との第2誤差と、に基づいて、第1誤差と前記第2誤差との差であるズレ量を求め、第1移載先及び第2移載先以外の少なくとも1つの移載先に対して、第n(n≧3かつ整数)移載先の第n停止指標に基づき第1搬送車の第1走行体が停止した際の、第1移載装置により第n移載先に物品を載置した位置と、第n移載先の定められた位置との第n誤差を取得し、第1搬送車以外の第m(m≧2かつ整数)搬送車について、第1移載先の第1停止指標に基づき第m搬送車の第m走行体が停止した際の、第m移載装置により第1移載先に物品を載置した位置と、第1移載先の定められた位置との第m−1誤差を用いて、第n移載先に対する第m走行体の停止位置を第n誤差及び第m−1誤差で補正するか、第2移載先の第2停止指標に基づき第m搬送車の第m走行体が停止した際の、第m移載装置により第2移載先に物品を載置した位置と、第2移載先の定められた位置との第m−2誤差を用いて、第n移載先に対する第m走行体の停止位置を第n誤差及び第m−2誤差、さらにズレ量で補正する。
また、第1誤差及び第2誤差は、1つの座標系における座標値で求められ、ズレ量は、座標系における座標値で求められてもよい。また、コントローラは、複数の搬送車を用いて求めた複数のズレ量を統計処理し、得られた値をズレ量として用いてもよい。
本発明の態様の搬送方法は、複数の移載先にわたって設置された軌道と、軌道を走行する走行体、及び走行体に設けられて物品を保持しかつ移載先に物品を受け渡す移載装置を備える複数の搬送車と、移載先ごとに移載装置により移載先の定められた位置で物品の受け渡しを可能とするために取り付けられ、走行体の停止位置を示す停止指標と、を備え、走行体が停止指標に基づいて停止した状態で、移載装置により移載先に対して物品の受け渡しを行う搬送システムにおける搬送方法であって、第1移載先の第1停止指標に基づき第1搬送車の第1走行体を停止させて、第1移載装置により第1移載先に物品を載置した位置と、第1移載先の定められた位置との第1誤差を求め、第2移載先の第2停止指標に基づき第1誤差を求めるために使用する第1搬送車の第1走行体を停止させて、第1移載装置により第2移載先に物品を載置した位置と、第2移載先の定められた位置との第2誤差を求め、第1誤差と第2誤差との差であるズレ量を求め、第1移載先及び第2移載先以外の少なくとも1つの移載先に対して、第n(n≧3かつ整数)移載先の第n停止指標に基づき第1搬送車の第1走行体を停止させて、第1移載装置により第n移載先に物品を載置した位置と、第n移載先の定められた位置との第n誤差を求め、第1搬送車以外の第m(m≧2かつ整数)搬送車について、第1移載先の第1停止指標に基づき第m搬送車の第m走行体を停止させて、第m移載装置により第1移載先に物品を載置した位置と、第1移載先の定められた位置との第m−1誤差を求めた第m搬送車においては、第n移載先に対する第m走行体の停止位置を第n誤差及び第m−1誤差で補正し、第2移載先の第2停止指標に基づき第m搬送車の第m走行体を停止させて、第m移載装置により第2移載先に物品を載置した位置と、第2移載先の定められた位置との第m−2誤差を求めた第m搬送車においては、第n移載先に対する第m走行体の停止位置を第n誤差及び第m−2誤差、さらにズレ量で補正する。
また、本発明の態様の搬送方法は、複数の移載先にわたって設置された軌道と、軌道を走行する走行体、及び走行体に設けられて物品を保持しかつ移載先に物品を受け渡す移載装置を備える複数の搬送車と、移載先ごとに移載装置により移載先の定められた位置で物品の受け渡しを可能とするために取り付けられ、走行体の停止位置を示す停止指標と、を備え、走行体が停止指標に基づいて停止した状態で、移載装置により移載先に対して物品の受け渡しを行う搬送システムにおける搬送方法であって、第1移載先の第1停止指標に基づき第1搬送車の第1走行体を停止させて、第1移載装置により第1移載先に物品を載置した位置と、第1移載先の定められた位置との第1誤差を求め、第2移載先の第2停止指標に基づき第1誤差を求めるために使用する第1搬送車の第1走行体を停止させて、第1移載装置により第2移載先に物品を載置した位置と、第2移載先の定められた位置との第2誤差を求め、第1誤差と第2誤差との差であるズレ量を求め、第1移載先及び第2移載先以外の少なくとも1つの移載先に対して、第n(n≧3かつ整数)移載先の第n停止指標に基づき第1搬送車の第1走行体を停止させて、第1移載装置により第n移載先に物品を載置した位置と、第n移載先の定められた位置との第n誤差を求め、第1搬送車以外の第m(m≧2かつ整数)搬送車について、第1移載先の第1停止指標に基づき第m搬送車の第m走行体を停止させて、第m移載装置により第1移載先に物品を載置した位置と、第1移載先の定められた位置との第m−1誤差を求め、第n移載先に対する第m走行体の停止位置を第n誤差及び第m−1誤差で補正するか、第2移載先の第2停止指標に基づき第m搬送車の第m走行体を停止させて、第m移載装置により第2移載先に物品を載置した位置と、第2移載先の定められた位置との第m−2誤差を求め、第n移載先に対する第m走行体の停止位置を第n誤差及び第m−2誤差、さらにズレ量で補正する。
本発明の搬送システム及び搬送方法によれば、第1搬送車により第1移載先及び第2移載先で検出した第1誤差及び第2誤差から両者の差であるズレ量、及び第n移載先の第n誤差を求め、第1搬送車以外の他の第m搬送車について、第1移載先又は第2移載先で第m誤差を検出することにより、第n誤差及び第m誤差を用いて、あるいは両者とズレ量を用いて走行体の停止位置を補正するので、第m搬送車は複数の移載先を用いて走行体の停止位置の補正を行うことができる。この構成により、多くの搬送車を稼働させる場合、あるいは既存の設備に搬送車を追加して投入する場合などでも、搬送車に対して教示作業に要する時間を短出することができ、搬送システムを早期に稼働させることができる。
また、ズレ量として1つの座標系における座標値を用いる場合、ズレ量の管理が容易となり、各搬送車がズレ量を容易に用いることができる。また、コントローラは、複数の搬送車により求めた複数のズレ量を統計処理し、得られた値をズレ量として用いる場合、ズレ量の精度を高めることができる。
実施形態に係る搬送システムの一例を示す図である。 搬送車の一例を示す図である。 停止指標の一例を示す図である。 移載先、停止指標、及び搬送車の関係を模式的に示す図である。 上位コントローラの機能ブロック構成の一例を示す図である。 上位コントローラのデータ格納部に格納される搬送車の誤差の情報の一例を示す図である。 搬送車の台車コントローラの機能ブロック構成の一例を示す図である。 搬送システムの動作シーケンスの一例を示す図である。 上位コントローラの動作フローの一例を示す図である。 搬送車の台車コントローラの動作フローの一例を示す図である。 搬送システムの動作シーケンスの他の例を示す図である。
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定されず、また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。また、図面においては実施形態を説明するため、一部分を大きく又は強調して記載するなど適宜縮尺を変更して表現している。また、図2では、XYZ座標系を用いて図中の方向を説明する。このXYZ座標系においては、水平面に平行な平面をXY平面とする。また、XY平面に垂直な方向はZ方向と表記する。X方向、Y方向及びZ方向のそれぞれは、図中の矢印の方向が+方向であり、矢印の方向とは反対の方向が−方向であるとして説明する。
図1は、実施形態に係る搬送システム100の一例を示す。搬送システム100は、物品2を搬送するシステムである。ここで、物品2は、例えば、半導体生産に用いられるウエハやレクチル等の物体を収容し、内部を所定ガスでパージ可能なFOUP、SMIF Pod、レクチルPod等である。搬送システム100は、第1〜第m(m≧2かつ整数)搬送車V1〜Vm(以下、搬送車Vと総称する場合がある。)と、第1移載先LP1としての第1の基準台MST1と、第2移載先LP2としての第2の基準台MST2と、第n(n≧3かつ整数)移載先LP3〜LPn(以下、第1の基準台MST1及び第2の基準台MST2を基準台MSTと総称する場合があり、この基準台MSTを含めて第3~第n移載先LP3~LPnを移載先LPと総称する場合がある。)と、搬送システム100のコントローラの1つである上位コントローラCUと、を備える。
搬送車Vは、軌道Tに沿って走行し、軌道Tの下方(下方かつ側方を含む)に配置された第1の基準台MST1、第2の基準台MST2、又は第3〜第n移載先LP3〜LPnとの間で物品2の受け渡しを行う。なお、図示では第1の基準台MST1、第2の基準台MST2、及び第3〜第n移載先LP3〜LPnが軌道Tの下方かつ側方に配置された例を示しているが、移載先LPが軌道Tの下方(直下)に配置される場合もある。軌道Tは、例えば、吊り金具等によってクリーンルーム等の設備の天井から吊り下げられた状態で設けられている。搬送車Vは、この軌道Tに沿って走行する天井搬送車である。第3〜第n移載先LP3〜LPnは、例えば、処理装置又は保管装置などの一部に設けられる。また、第3〜第n移載先LP3〜LPnの設置数は任意である。
第1の基準台MST1及び第2の基準台MST2は、搬送車Vが物品2を載置した際に、第1の基準台MST1に物品2を載置した位置と、第1の基準台MSTの定められた位置との誤差を検出するために設置される。本明細書において、誤差は、後述する停止指標Nの取付誤差と、各搬送車Vがそれぞれ有している特有の機差とを含む意味で用いている。第1の基準台MST1及び第2の基準台MST2は、軌道Tの下方(下方かつ側方を含む)に配置されている。第1の基準台MST1及び第2の基準台MST2は、互いに近傍に設置されてもよいし、互いに離れて設置されてもよい。また、第1の基準台MST1及び第2の基準台MST2は、設備側の床面等に対して固定された位置に設けられるが、例えば、車輪等が設けられて、移動可能であってもよい。また、基準台MSTは2台に限定されず、3台以上設置されてもよい。
上位コントローラCUは、搬送車Vを制御する。第1〜第m搬送車V1〜Vmには、それぞれ台車コントローラC1〜Cm(以下、台車コントローラCと総称する場合がある。)が搭載されている。台車コントローラCは、搬送システム100のコントローラの1つである。上位コントローラCUは、複数の台車コントローラCと所定の通信手段を介して通信可能に接続される。ここで、所定の通信手段とは、例えば、軌道Tに沿って設けられたフィーダー線による通信、又は無線LANネットワーク等である。
搬送システム100では、第1の基準台MST1と第2の基準台MST2とのいずれかを利用して、搬送車Vが、第1の基準台MST1又は第2の基準台MST2に物品2を載置した際の第1誤差及び第2誤差(なお、基準搬送車により検出した第1〜第n誤差、及び基準搬送車以外の搬送車Vにより検出した誤差を、単に誤差と総称する場合がある。)が検出される。第1の基準台MST1及び第2の基準台MST2は、必ずしも同一の設置条件にあるとは限らない。そのため、搬送車Vで検出した誤差は、第1の基準台MST1を利用して検出された場合と、第2の基準台MST2を利用して検出された場合とで、異なる値となる。
搬送システム100は、複数の第1〜第m搬送車V1〜Vmのうち、いずれかを基準搬送車として利用し、第1の基準台MST1(第1移載先LP1)で検出された基準搬送車の第1誤差と、第2の基準台MST2(第2移載先LP2)で検出された基準搬送車の第2誤差とを求め、第1誤差と第2誤差との差分であるズレ量を算出し、第2の基準台MST2で基準搬送車以外の搬送車Vの誤差を検出した場合、この誤差及びズレ量を用いて後述する走行体Mの停止位置(移載先LPの載置位置)を補正する。本実施形態では、第1搬送車V1、第2搬送車V2、第3搬送車V3を基準搬送車とし、それぞれ、基準搬送車V1、基準搬送車V2、基準搬送車V3と称する場合がある。なお、基準搬送車の数は任意であり、1台の基準搬送車V1が用いられてもよい。また、基準搬送車V1以外の第m搬送車Vmにおいて、第1の基準台MST1で検出された誤差は、第m−1誤差と表記し、第2の基準台MST2で検出された誤差は、第m−2誤差と表記する。
上位コントローラCUは、図1に示すように、ズレ量算出部12CUと、ズレ量配信部13CUと、マップ生成部15CUと、マップ配信部16CUと、を有する。ズレ量算出部12CUは、第1の基準台MST1で検出した基準搬送車V1等の第1誤差と、第2の基準台MST2で検出した基準搬送車V1等の第2誤差と、の差分であるズレ量を算出する。なお、ズレ量を算出するために、同じ1台の搬送車Vが用いられる。ズレ量配信部13CUは、ズレ量算出部12CUが算出したズレ量を示すズレ量を、基準搬送車を除く複数の搬送車Vにそれぞれ配信する。なお、マップ生成部15CU及びマップ配信部16CUについては後述する。
また、搬送車Vの台車コントローラCは、例えば、第1搬送車V1の台車コントローラC1を代表して説明すると、ズレ量受信部22C1と、マップ受信部23C1と、基準台判定部26C1と、補正部24C1と、を有する。なお、他の第2〜第m搬送車V2〜Vmの台車コントローラC2〜Cmについても、台車コントローラC1と同様の構成要素を有している。
ズレ量受信部22C1は、上位コントローラCUが配信したズレ量を受信する。基準台判定部26C1は、誤差を検出する際に第1の基準台MST1又は第2の基準台MST2のいずれが使用されたかを判定する。なお、基準台判定部26C1は、台車コントローラC1に備えることに代えて、上位コントローラCUが備えてもよい。この場合、上位コントローラCUは、各搬送車Vについてどの基準台MSTで誤差を検出したかを管理し、各搬送車Vに対して、誤差を検出した基準台MSTの情報を提供してもよい。補正部24C1は、第1の基準台MST1が使用されたと基準台判定部26C1が判定した場合には、移載先LP3〜LPnをマッピングしたマップを誤差で補正して、所定の移載先LPに対する走行体Mの停止位置を補正する。また、補正部24C1は、第2の基準台MST2が使用されたと基準台判定部26C1が判定した場合には、マップを、誤差及びズレ量によって示されるズレ量で補正して(あるいはマップを、後述する修正誤差(図6参照)で補正して)、所定の移載先LPに対する走行体Mの停止位置を補正する。なお、補正部24C1は、各搬送車Vの走行体Mの停止位置を補正することに併せて、さらに、移載装置Uによる物品2の移載位置、すなわち、後述する横出し機構11の横出し位置、及び昇降駆動部14の昇降位置について補正してもよい。
図2は、搬送車Vの一例を示す図である。図2では、物品2がFOUPの例を示している。物品2は、本体部2aと、蓋2cと、フランジ部2gとを備える。ウエハ等は、本体部2aの内部に収容される。蓋2cは、本体部2aの側面に着脱可能に設けられる。本体部2aは、底面に位置決め用の放射状の複数の溝部2dを備える。
搬送車Vは、走行体M(第1〜第m搬送車の走行体M1〜Mmを走行体Mと総称している。)と、本体部3とを備える。走行体Mは、不図示の走行駆動部の駆動力によって軌道Tに沿って走行する。走行駆動部は、例えば、ステッピングモータなどの電動モータあるいはリニアモータが用いられる。走行体Mの走行輪7は、軌道Tに接して配置され、また、不図示のエンコーダに接続されている。エンコーダは、走行輪7の回転数等を検出する。台車コントローラCは、例えば、ステッピングモータに供給するパルス数、あるいは上記したエンコーダの検出結果に基づいて搬送車Vの速度や停止位置の制御を行う。また、搬送車Vは、走行体Mの下方に、支持軸9を介して本体部3を備える。
本体部3は、物品2を保持する物品保持部13と、物品保持部13を鉛直方向に昇降させる昇降駆動部14と、昇降駆動部14を移動させる横出し機構11と、を備えた移載装置U(第1〜第m搬送車の第1〜第m移載装置U1〜Umを移載装置Uと総称している。)を有する。物品保持部13は、物品2のフランジ部2gを把持することにより、物品2を吊り下げて保持する。物品保持部13は、例えば、水平方向に移動可能な爪部13aを有するチャックであり、爪部13aを物品2のフランジ部2gの下方に進入させることにより、物品2を吊り下げて保持する。物品保持部13は、ワイヤあるいはベルト等の吊り下げ部材13bと接続されている。昇降駆動部14は、例えば、ホイストであり、吊り下げ部材13bを繰り出すことにより物品保持部13を降下させ、吊り下げ部材13bを巻き取ることにより物品保持部13を上昇させる。
横出し機構11は、昇降駆動部14を突出位置P2と格納位置P1との間でY方向に移動させる。横出し機構11は、複数の可動板を有している。可動板は、不図示の駆動部によってY方向に移動し、昇降駆動部14を突出位置P2と格納位置P1との間で移動させる。突出位置P2は、昇降駆動部14が本体部3から軌道Tの側方に突出する位置である。格納位置P1は、昇降駆動部14が本体部3内に格納される位置である。なお、横出し機構11、物品保持部13、及び昇降駆動部14を含む移載装置Uは、台車コントローラCによって制御される。移載装置Uを備える本体部3は、走行体Mと一体となって軌道TをX方向に移動する。
移載先LPに対して物品2を移載する場合は、搬送車Vの横出し機構11により昇降駆動部14を突出位置P2まで突出させ、物品保持部13を下降させることにより、基準台MST又は移載先LPに対して物品2を移載可能である。なお、移載先LPが軌道Tの下方(直下)に配置されている場合は、昇降駆動部14を軌道Tの側方に突出させずに物品保持部13を下降させることにより移載先LPに対して物品2を移載可能である。図2は、物品2の移載先として第1の基準台MST1又は第2の基準台MST2を示しているが、他の第3〜第n移載先LP3〜LPnであっても同様である。なお、第3〜第n移載先LP3〜LPnには、不図示の複数の(例えば3本の)ピンが設けられている。それぞれのピンが、物品2の溝部2dに嵌まり込むことで第3〜第n移載先LP3〜LPn上において物品2を位置決めする。
また、図1に示すように、走行体Mは、軌道Tに沿って配置された停止指標N1〜Nnによって各移載先LPのそれぞれに対応した位置に停止する。停止指標N1〜Nn(なお、停止指標N1〜Nnを停止指標Nと総称する場合がある。)は、各搬送車Vの移載装置Uにより第1〜第n移載先LP1〜LPnの定められた位置で物品2の受け渡しを可能とするように、例えば、軌道T又は軌道Tの近傍に取り付けられる。図3は、第1停止指標N1の一例を示す図である。なお、図3では、第1停止指標N1について示しているが、他の停止指標N2〜Nnについても同様である。また、基準搬送車V1は、停止指標N1〜Nnを検出するためのセンサS1を備えている。なお、他の第2〜第m搬送車V2〜Vmについても同様に停止指標N1〜Nnを検出するためのセンサS2〜Sm(なお、センサS1〜SmをセンサSと総称する場合がある。)を備えている。
センサSは、光学式又は磁気式などの非接触型のセンサが用いられてもよいし、接触型のセンサが用いられてもよい。なお、停止指標Nは、X方向(軌道Tに沿った方向)に長さを有しているので、X方向のいずれかを基準に設定する必要がある。以下に示す基準の設定方法は一例であって、この方法に限定されない。まず、第1走行体M1がステッピングモータで走行している場合、ステッピングモータに供給するパルス数により停止位置を設定可能である。したがって、図3に示すように、センサS1によって第1走行体M1の走行中に第1停止指標N1の端部を検出し、端部を検出した位置から、予め設定されたパルス数をステッピングモータ等に供給して停止させた位置を基準位置と設定してもよい。各搬送車Vは、各停止指標N1〜Nnに対して上記した基準位置に停止するように設定されている。また、各搬送車Vは、上位コントローラCUから移載先PLが指示されると、軌道Tを走行して、指示された移載先LPに対応する停止指標Nの基準位置で停止する。
本実施形態における搬送システム100は、走行体Mが停止指標Nに対して停止すると、各搬送車Vの台車コントローラCが移載装置Uを駆動して移載先LPに対して物品2の受け渡しを行うように設定されている。ただし、搬送システム100において、このように設定するか否かは任意である。また、各移載先LPにおいて、移載装置Uの横出し機構11による横出し位置(あるいは横出し量)、及び昇降駆動部14による昇降位置(あるいは昇降量)は、後述するマップにおいて移載先LPごとに予め設定されている。
停止指標N1〜Nnは、各移載先LPに対応して取り付けられるが、その取付位置が本来取り付けるべき位置からずれる場合がある。図4は、移載先LP、停止指標N、及び搬送車Vの関係を模式的に示す図である。図4に示すように、第1の基準台MST1(第1移載先LP1)、第2の基準台MST2(第2移載先LP2)、及び第3〜第n移載先LP3〜LPnのそれぞれに対応して軌道T又は軌道Tの近傍に停止指標N1〜Nnが取り付けられている。停止指標N1〜Nnは、指標R1〜Rn(なお、指標R1〜Rnは指標Rと総称する場合がある。)は、各移載先Lにおける基準B1〜Bn(なお、基準B1〜Bnは基準Bと総称する場合がある。)に対応した理想的な指標の取付位置である。なお、基準Bは、各移載先LPの定められた位置に物品2を載置したときの基準となる位置である。
停止指標N1〜Nnは、指標R1〜Rnの位置に走行体Mの走行方向に誤差なく取り付けられることが望ましいが、各停止指標N1〜Nnにおいて、図4に示すように、それぞれ取付誤差b1〜bnだけずれて取り付けられることがある。なお、この基準Bに対してズレがなく停止指標Nが取り付けられた場合(指標Rの場合)、走行体Mがこの停止指標Nに停止することにより、移載装置Uによって移載先LPの定められた位置に対して物品2を受け渡しすることが可能となる。
また、図4に示すように、基準搬送車V1は、物品としてのティーチングユニットTUを用いて、各移載先LP(第1の基準台MST1及び第2の基準台MST2を含む。)にティーチングユニットTUを載置し、各移載先LPにおいて、このティーチングユニットTUの載置した位置と、移載先LPの定められた位置との誤差を検出する。誤差の検出は、ティーチングユニットTUに搭載されたセンサによって行ってもよいし、ティーチングユニットTU以外のセンサによって行ってもよい。ティーチングユニットTUを用いて検出した第1〜第n移載先LP1〜LPnの第1〜第n誤差は、上記したように上位コントローラCUに送られる。なお、ティーチングユニットTUは、上位コントローラCUに対して無線通信等により誤差を送信可能であってもよい。
図4に示すように、基準搬送車(第1搬送車)V1は、第1の基準台MST1の第1停止指標N1に基づき基準搬送車V1の第1走行体M1(図1参照)を停止させた際の、第1移載装置U1(図1参照)で第1の基準台MST1にティーチングユニットTUを載置した位置と、第1の基準台MST1の定められた位置との第1誤差を、例えばティーチングユニットTUによって検出させる。この第1誤差は、基準搬送車V1が有している固有の機差a1と、上記した第1停止指標N1の取付誤差b1とを合わせた値となる。この値は、後述するように座標値で表される。
また、基準搬送車V1は、第2の基準台MST2の第2停止指標N2に基づき基準搬送車V1の第1走行体M1を停止させた際の、第1移載装置U1で第2の基準台MST2にティーチングユニットTUを載置した位置と、第2の基準台MST2の定められた位置との第2誤差を、例えばティーチングユニットTUによって検出させる。この第2誤差は、基準搬送車V1が有している固有の機差a1と、上記した第2停止指標N2の取付誤差b2とを合わせた値となる。また、基準搬送車V2、V3においても、基準搬送車V2、3が有している固有の機差a2、a3と取付誤差b1とを合わせた第1誤差の値が検出され、機差a2、a3と取付誤差b2とを合わせた第2誤差の値が検出される。また、基準搬送車以外の第m搬送車Vmは、第1の基準台MST1の第1停止指標N1に基づき第m走行体Mm(図1参照)を停止させた際の、第m移載装置Um(図1参照)で第1の基準台MST1にティーチングユニットTUを載置した位置と、第1の基準台MST1の定められた位置との誤差を第m−1誤差と表記し、同様に第2の基準台MST2に対しては第m−2誤差と表記する。第m−1誤差及び第m−2誤差についても、上記と同様に、第m搬送車Vmが有している固有の機差amと、上記した取付誤差b1又は取付誤差b2とを合わせた値となる。
上位コントローラCUは、上記した第1誤差と第2誤差との差であるズレ量を求める。 基準搬送車V1によるズレ量は、
(a1+b1)−(a1+b2)=b1−b2
であり、基準搬送車V1の機差a1がなくなって、第1停止指標N1の取付誤差b1と、第2停止指標N2の取付誤差b2との差(例えば座標値)として求められる。
また、基準搬送車V1は、第1の基準台MST1及び第2の基準台MST2以外の第3〜第n移載先LP3〜LPnに対して、第3〜第n停止指標N3〜Nnに基づき基準搬送車V1の第1走行体M1を停止させて、第1移載装置U1により第3〜第n移載先LP3〜LPnにティーチングユニットTUを載置した位置と、第3〜第n移載先LP3〜LPnの定められた位置との第3〜第n誤差を、例えばティーチングユニットTUによって検出させ、その検出結果を上位コントローラCUに送信する。上位コントローラCUは、この第3〜第n誤差をマップとして各移載先LPに関連付けて記憶してもよい。本明細書において、マップは、各移載先LPにおける第3〜第n誤差のデータであり、基準搬送車V1による第1誤差及び第2誤差を含んでもよい。
また、図4に示すように、基準搬送車V2、V3は、基準搬送車V1と同様に、第1〜第n停止指標N1〜Nnに基づき基準搬送車V2、V3の第2、第3走行体M2、M3(図1参照)を停止させて、第2、第3移載装置U2、U3(図1参照)により第1の基準台MST1及び第2の基準台MST2にティーチングユニットTUを載置し、上記と同様に第2−1誤差及び第2−2誤差、並びに第3−1誤差及び第3−2誤差をそれぞれ検出させてもよい。上位コントローラCUは、基準搬送車V2、V3によって検出した誤差を用いて、基準搬送車V2による第2−1誤差と第2−2誤差との差であるズレ量、
(a2+b1)−(a2+b2)=b1−b2
及び、基準搬送車V3による第3−1誤差と第3−2誤差との差であるズレ量、
(a3+b1)−(a3+b2)=b1−b2
を算出する。いずれの場合も、基準搬送車V2の機差a2、基準搬送車V3の機差a3がなくなって、第1停止指標N1の取付誤差b1と、第2停止指標N2の取付誤差b2との差を含んだ値(例えば座標値)として求められる。
また、図示しないが、基準搬送車V2、V3以外の第4〜第m搬送車V4〜Vmについては、第1停止指標N1又は第2停止指標N2に基づき第m搬送車Vmの第m走行体Mm(図1参照)を停止させて、第m移載装置Um(図1参照)により第1の基準台MST1又は第2の基準台MST2にティーチングユニットTUを載置し、第m−1誤差又は第m−2誤差を検出させる。なお、第m−1誤差又は第m−2誤差は、第4〜第m搬送車V4〜Vmのそれぞれが有している機差a4〜amを含んだ値である。
図5は、上位コントローラCUの機能ブロック構成の一例を示す。上位コントローラCUは、ズレ量算出部12CU、ズレ量配信部13CUの他に、誤差受信部11CUと、誤差取得部14CUと、マップ生成部15CUと、マップ配信部16CUと、データ格納部17CUと、を有する。誤差受信部11CUは、第1の基準台MST1にティーチングユニットTUを載置した際に検出された基準搬送車V1〜V3の第1誤差(第2−1誤差及び第3−1誤差を含む。)を、基準搬送車V1〜V3の台車コントローラC1〜C3から受信する。また、誤差受信部11CUは、第2の基準台MST2にティーチングユニットTUを載置した際に検出された基準搬送車V1〜V3の第1誤差(第2−1誤差及び第3−1誤差を含む。)を、基準搬送車V1〜V3の台車コントローラC1〜C3から受信する。
誤差取得部14CUは、例えば、基準搬送車V1が第3〜第n移載先LP3〜LPnにティーチングユニットTUを載置したときの第3〜第n誤差を取得する。なお、第3〜第n誤差は、誤差受信部11CUにより取得してもよく、この場合、誤差取得部14CUはなくてもよい。マップ生成部15CUは、例えば、基準搬送車V1によりティーチングユニットTUを第3〜第n移載先LP3〜LPnにそれぞれ載置したときの第3〜第n誤差を集約したマップを生成する。マップ配信部16CUは、マップを第m搬送車Vmの各台車コントローラCmに配信する。データ格納部17CUには、各種データが格納される。例えば、データ格納部17CUには、誤差受信部11CUが受信した基準搬送車V1〜V3の第1誤差及び第2誤差、第2−1誤差、第2−2誤差、第3−1誤差、第3−2誤差、ズレ量算出部12CUが算出したズレ量、マップ生成部15CUが生成したマップ、などが格納される。
図6は、データ格納部17CUに格納される搬送車Vの誤差の一例をテーブル形式で示す。データ格納部17CUには、各搬送車Vが第1の基準台MST1及び第2の基準台MST2の一方又は双方で検出した誤差が格納される。図6に示す「第1の基準台MST1」の欄は、第1の基準台MST1で検出した搬送車Vの第1誤差、第m−1誤差、又は第2の基準台MST2で検出した搬送車Vの第m−2誤差をズレ量で修正した修正誤差を示す情報である。同様に、「第2の基準台MST2」の欄は、第2の基準台MST2で検出した搬送車Vの第2誤差、第m−2誤差、又は第1の基準台MST1で検出した搬送車Vの第m−1誤差をズレ量で修正した修正誤差を示す情報である。図6では、修正誤差を四角で囲んで示している。修正誤差は、実際に誤差を検出した基準台MSTと異なる基準台MSTにおける誤差を示しており、実際に検出した誤差から、ズレ量算出部12CUで算出したズレ量を差し引いた値である。本実施形態では、図6に示す修正誤差を用いて移載先LPに対する走行体Mmの停止位置(あるいは物品2の載置位置)を補正する場合がある。
図6に示す例では、基準搬送車V1〜V3における、第1の基準台MST1で検出した第1誤差、第2−1誤差、第3−1誤差と、第2の基準台MST2で検出した第2誤差、第2−2誤差、第3−2誤差とが格納されている。また、図6に示す例では、第4搬送車V4、第5搬送車V5における、第1の基準台MST1で検出した第4−1誤差、第5−1誤差と、第1の基準台MST1で検出した第4−1誤差、第5−1誤差に基づいてそれぞれズレ量で修正した修正誤差とが格納されている。また、図6に示す例では、第6搬送車V6、第7搬送車V7における、第2の基準台MST2で検出した第6−2誤差、第7−2誤差と、第2の基準台MST2で検出した第6−2誤差、第7−2誤差に基づいてそれぞれズレ量で修正した修正誤差と、が格納されている。
図6では、搬送車Vの誤差について、XYZ座標系を用いて(X方向の誤差,Y方向の誤差,Z方向の誤差)といった座標値で表現している。なお、図6において、各座標値の単位は、例えばmmである。例えば、基準搬送車V1の第1誤差(+2,+3,0)は、第1誤差が、X方向に+2mm、Y方向に+3mm、Z方向に±0mmであることを示している。なお、第1誤差のうちX方向に関する値は、走行体Mの停止位置に関する誤差である。また、第1誤差のうちY方向に関する値は、横出し機構11による物品2の横出し位置に関する誤差である。また、第1誤差のうちZ方向に関する値は、昇降駆動部14による物品2の昇降位置に関する誤差である。
図7は、搬送車Vの台車コントローラCの機能ブロック構成の一例を示す。図7では、基準搬送車V1の台車コントローラC1を例として説明する。台車コントローラC1は、ズレ量受信部22C1、基準台判定部26C1、補正部24C1の他に、誤差取得部21C1と、マップ受信部23C1と、誤差送信部27C1と、データ格納部25C1と、を有する。なお、他の台車コントローラC2〜Cmについても台車コントローラC1と同様の構成を有している。
誤差取得部21C1は、基準台MSTにティーチングユニットTUを載置した際に検出された第1誤差及び第2誤差の一方又は双方に関する誤差を取得する。マップ受信部23C1は、上位コントローラCUから配信されたマップを受信する。誤差送信部27C1は、誤差取得部21C1が取得した誤差を、上位コントローラCUへ送信する。なお、ティーチングユニットTUが上位コントローラCUに誤差を送信可能な場合、誤差取得部21C1及び誤差送信部27C1はなくてもよい。データ格納部25C1には、各種データが格納される。例えば、データ格納部25C1には、ズレ量受信部22C1が受信したズレ量、マップ受信部23C1が受信したマップ、誤差取得部21C1が取得した誤差、などが格納される。
図8は、基準搬送車V1の台車コントローラC1と、上位コントローラCUとの動作シーケンスの一例を示す図である。図8に示す動作フローを参照して、第1の基準台MST1及び第2の基準台MST2を用いて、基準搬送車V1により第1誤差及び第2誤差を検出することに伴う上位コントローラCUの動作について説明する。この動作フローの説明では、適宜、図1〜図7を参照する。
まず、第1の基準台MST1で基準搬送車V1の第1誤差を検出するために、基準搬送車V1の第1走行体M1を第1停止指標N1に停止させ、第1移載装置U1を駆動してティーチングユニットTUを第1の基準台MST1に載置する。基準搬送車V1の動作は、例えば、オペレータが手動で操作して行ってもよいし、台車コントローラC1が第1の基準台MST1の位置を上位コントローラCUから取得して自動で行ってもよい。
基準搬送車V1によりティーチングユニットTUが第1の基準台MST1に載置されると、台車コントローラC1の誤差取得部21C1(図7参照)あるいはティーチングユニットTU(図4参照)は、第1の基準台MST1の定められた位置と、実際にティーチングユニットTUを載置した位置との第1誤差を検出し、第1誤差を取得する(ステップS101)。なお、第1の基準台MST1の定められた位置は、例えば、第1の基準台MST1に設けられた指標によって設定されてもよいし、上位コントローラCUから予め座標値として取得しておいてもよい。
また、ティーチングユニットTUを第1の基準台MST1に載置した位置は、ティーチングユニットTUに備えるセンサによって検出してもよいし、外部からティーチングユニットTUをカメラ等で撮像し、この画像から取得してもよい。画像による場合、第1の基準台MST1には、予め指標マークが設けられており、この指標マークとティーチングユニットTUとの相対位置から第1誤差を検出してもよい。また、ティーチングユニットTUの載置位置は、例えば、距離センサ等を用いて取得してもよい。
ステップS101において、誤差取得部21C1あるいはティーチングユニットTUは、第1の基準台MST1の定められた位置と、実際にティーチングユニットTUを載置した位置とを比較して、両者の誤差である第1誤差を取得する。
誤差取得部21C1あるいはティーチングユニットTUは、第1誤差について、XYZ座標系におけるX方向、Y方向、Z方向の差分をそれぞれ算出し、第1誤差として取得する。例えば、第1の基準台MST1の定められた位置に対するティーチングユニットTUの載置位置の差分が、X方向に+2mm、Y方向に+3mm、Z方向に0mmであれば、誤差取得部21C1は、第1誤差(+2、+3、0)を取得する。続いて、誤差取得部21C1は、取得した第1誤差を、データ格納部25C1(図7参照)に格納する。
データ格納部25C1に第1誤差が格納されると、誤差送信部27C1(図7参照)は、データ格納部25C1に格納された第1誤差を読み出し、上位コントローラCUへ送信する(ステップS102)。なお、ステップS102において、ティーチングユニットTUが第1誤差を上位コントローラCUへ送信してもよい。上位コントローラCUの誤差受信部11CU(図5参照)は、台車コントローラC1から送信された第1誤差を受信すると、その第1誤差を、データ格納部17CU(図3参照)に格納する。データ格納部17CUには、例えば、図6に示すように、基準搬送車V1の第1誤差(+2、+3、0)が格納される。
次に、第2の基準台MST2で基準搬送車V1の第2誤差を検出するために、基準搬送車V1によりティーチングユニットTUを第2の基準台MST2に載置する。基準搬送車V1は、第1誤差を求めるために使用した搬送車と同一の搬送車である。上記と同様に、基準搬送車V1の動作は、例えば、オペレータが手動で操作して行ってもよいし、台車コントローラC1が第2の基準台MST2の位置を上位コントローラCU等から取得して自動で行ってもよい。
基準搬送車V1によりティーチングユニットTUが第2の基準台MST2に載置されると、台車コントローラC1の誤差取得部21C1あるいはティーチングユニットTUは、第1誤差を取得したときと同様に、第2の基準台MST2の定められた位置と、ティーチングユニットTUを載置した位置との誤差である第2誤差を取得する(ステップS103)。誤差取得部21C1は、取得した第2誤差を、データ格納部25C1に格納する。
データ格納部25C1に第2誤差が格納されると、台車コントローラC1の誤差送信部27C1は、データ格納部25C1に格納された第2誤差を読み出し、上位コントローラCUへ送信する(ステップS104)。なお、ステップS104において、ティーチングユニットTUが第2誤差を上位コントローラCUへ送信してもよい。上位コントローラCUの誤差受信部11CUは、基準搬送車V1の台車コントローラC1から送信された第2誤差を受信すると、その第2誤差を、データ格納部17CUに格納する。このようにして、データ格納部17CUには、例えば、図6に示すように、基準搬送車V1の第2誤差(+3、+2、−2)が格納される。
本実施形態では、第1搬送車V1と、第2搬送車V2と、第3搬送車V3とを基準搬送車として利用している。したがって、上位コントローラCUのデータ格納部17CUには、基準搬送車V2の第2−1誤差及び第2−2誤差、基準搬送車V3の第3−1誤差及び第3−2誤差についても、基準搬送車V1と同様に取得して格納される。
データ格納部17CUに第1誤差及び第2誤差(第2−1誤差及び第2−2誤差と、第3−1誤差及び第3−2誤差とを含む。)が格納されると、上位コントローラCUのズレ量算出部12CU(図5参照)は、第1誤差と第2誤差との差であるズレ量を算出する(ステップS105)。ズレ量算出部12CUは、2つの第1誤差及び第2誤差の差として、XYZ座標系におけるX方向、Y方向、Z方向の差分をそれぞれ算出する。
例えば、図6に示すように、の第1誤差が(+2、+3、0)であり、第2誤差が(+3、+2、−2)である場合、ズレ量算出部12CUは、(+2、+3、0)−(+3、+2、−2)を求め、(−1、+1、+2)といったズレ量(座標値)を算出し、このズレ量をデータ格納部17CUに格納する。
本実施形態では、複数の基準搬送車V1〜V3を用いている。したがって、ズレ量算出部12CUは、基準搬送車V1、V2、V3ごとに第1誤差と第2誤差との差、第2−1誤差と第2−2誤差との差、第3−1誤差と第3−2誤差との差からそれぞれ3つのズレ量を算出し、いずれかのズレ量を代表値としてもよいし、3つのズレ量を統計処理した値を用いてもよい。例えば、ズレ量算出部12CUは、ズレ量がバラつく場合、3つのズレ量の平均値をズレ量としてもよいし、その中央値をズレ量としてもよい。また、3つのズレ量のバラつきの最頻値をズレ量としてもよい。データ格納部17CUにズレ量が格納されると、上位コントローラCUのズレ量配信部13CU(図5参照)は、データ格納部17CUに格納されたズレ量を読み出して、そのズレ量を、複数の搬送車Vのそれぞれに配信する(ステップS106)。なお、ステップS106において、ズレ量配信部13CUは、例えば、基準搬送車V1を除いた搬送車Vにズレ量を配信してもよい。
図9は、上位コントローラCUの動作フローの一例を示す図である。図9に示す動作フローを参照して、基準搬送車V1等が複数の移載先LPにティーチングユニットTUを載置したことに伴う上位コントローラCUの動作について説明する。この動作フローの説明では、適宜、図1〜図8を参照する。
基準台MSTによる基準搬送車V1等の第1誤差等の検出終了後、例えば、基準搬送車V1によりティーチングユニットTUを第3〜第n移載先LP3〜LPnにそれぞれ載置する。なお、本実施形態では、ティーチングユニットTUを複数の移載先LP3等に載置するのに基準搬送車V1を利用するが、本実施形態のように複数の基準搬送車V1〜V3がある場合、いずれの基準搬送車を利用してもよい。また、基準搬送車V1の動作は、例えば、オペレータが手動で操作して行ってもよいし、台車コントローラCが第n移載先LPnの停止位置に関するを上位コントローラCU等から取得して自動で行ってもよい。
基準搬送車V1によりティーチングユニットTUを第3〜第n移載先LP3〜LPnに載置すると、上位コントローラCUの誤差取得部14CUあるいは誤差受信部11CU(図5参照)は、基準搬送車V1が第3〜第n移載先LP3〜LPnにティーチングユニットTUを載置したときの第n誤差(第3〜第n誤差)を取得する(ステップS201)。誤差取得部14CUあるいは誤差受信部11CUは、例えば、第3〜第n移載先LP3〜LPnの定められた位置と、実際にティーチングユニットTUを載置した位置との差分である第3〜第n誤差を取得する。この第n誤差データは、第3〜第n移載先LP3〜LPnにおいて、XYZ座標系におけるX方向、Y方向、Z方向の値として示されてもよい。なお、第3〜第n移載先LP3〜LPnにおいて、それぞれ定められた位置は、移載先ごとに予め設定されている。
例えば、第n移載先LPnの定められた位置に対し、実際にティーチングユニットTUが載置された位置が、X方向に4(mm)、Y方向に6(mm)、Z方向に1(mm)ずれていた場合、誤差取得部14CUあるいは誤差受信部11CUは、第n移載先LPnの第n誤差として(+4、+6、+1)のように座標値を取得する。なお、誤差取得部14CUあるいは誤差受信部11CUは、このような誤差を、例えば、ティーチングユニットTUから送信されて取得してもよいし、基準搬送車V1を手動操作する操作端末あるいはキーボード等の操作により取得してもよい。また、基準搬送車V1あるいは第n移載先LPnに設けられた各種センサによって検出した結果から誤差を取得してもよい。誤差取得部14CUあるいは誤差受信部11CUは、取得した誤差をデータ格納部17CUに格納する。
データ格納部17CUに第n誤差が格納されると、上位コントローラCUのマップ生成部15CU(図5参照)は、基準搬送車V1により検出した第3〜第n移載先LP3〜LPnにおける第3〜第n誤差をマッピングしたマップを生成する(ステップS202)。
マップ生成部15CUは、このように生成したマップを、データ格納部17CUに格納する。データ格納部17CUにマップが格納されると、上位コントローラCUのマップ配信部16CU(図5参照)は、データ格納部17CUに格納されたマップを読み出し、基準搬送車V1を除く各搬送車Vの各台車コントローラCにそれぞれ配信する(ステップS203)。
図10は、搬送車Vの台車コントローラCの動作フローの一例を示す図である。図10に示す動作フローを参照して、搬送車Vにより物品2を移載先LPに載置するときの台車コントローラCの動作について説明する。この動作フローでは、基準搬送車V1〜V3以外の第4〜第m搬送車V4〜Vm(図1及び図6参照)について説明し、適宜、図1〜図9を参照する。以下では、第4搬送車V4を例とするが、第5〜第m搬送車V5〜Vmについても同様である。
まず、第4搬送車V4の台車コントローラC4のズレ量受信部22C4(図7の符号22C1参照)は、図8のステップS106で配信されたズレ量を受信する(ステップS301)。受信したズレ量は、データ格納部25C4に格納される。また、第4搬送車V4の台車コントローラC4のマップ受信部23C4(図7の符号23C1参照)は、図9のステップS203で配信されたマップを受信する(ステップS302)。受信したマップは、データ格納部25C4に格納される。
また、オペレータは、第1の基準台MST1又は第2の基準台MST2で第4搬送車V4の誤差を検出するために、第4搬送車V4を例えば手動等により操作して、第4搬送車V4によりティーチングユニットTUを第1の基準台MST1又は第2の基準台MST2のいずれかに載置する。第1の基準台MST1又は第2の基準台MST2のいずれかにティーチングユニットTUが載置されると、台車コントローラC4の誤差取得部21C4(図7の符号21C1参照)あるいはティーチングユニットTUは、図8のステップS101と同様に、第1の基準台MST1又は第2の基準台MST2のいずれかで検出された第4−1誤差又は第4−2誤差を取得する(ステップS303)。なお、第5〜第m搬送車V5〜Vmの場合、第1の基準台MST1又は第2の基準台MST2のいずれかで検出された誤差は、第5−1〜第m−1誤差又は第5−2〜第m−2誤差で示される。誤差取得部21C4は、取得した第4−1誤差又は第4−2誤差を、データ格納部25C4に格納する。
次に、台車コントローラC4の基準台判定部26C4(図7の符号26C1参照)は、誤差を検出する際に第1の基準台MST1又は第2の基準台MST2のいずれが使用されたかを判定する(ステップS304)。例えば、第4−1誤差又は第4−2誤差におけるデータのヘッダ情報として、誤差の検出に使用した基準台MSTの識別情報が記載され、基準台判定部26C4は、このヘッダ情報を参照することにより、誤差の検出に第1の基準台MST1又は第2の基準台MST2のいずれが使用されたかを判定してもよい。また、基準台判定部26C4は、第4搬送車V4の第4走行体M4(図2参照)が第1停止指標N1又は第2停止指標N2によって停止した位置から、第1の基準台MST1又は第2の基準台MST2のいずれが使用されたかを判定してもよい。基準台判定部26C4は、その判定結果を、補正部24C4(図7の符号24C1参照)へ送る。
基準台判定部26C4の判定結果により、第1の基準台MST1を使用した場合(ステップS304;YES)、補正部24C4は、各移載先LPにおいて、第4走行体M4の停止位置をデータ格納部25C4に格納されたマップ(第n誤差)及び第4−1誤差で補正する。(ステップS305)。補正部24C4は、例えば、マップの第n誤差から、第4−1誤差を差し引いて第4走行体M4の停止位置を補正する。この補正した停止位置に第4走行体M4を停止させ、第4移載装置U4を駆動することにより、第4搬送車V4は、移載先LPに対して正確に物品2の受け渡しを行うことができる。なお、ステップS305では、第4走行体M4の停止位置を補正することに加えて、各移載先LPにおける横出し機構11の横出し位置、及び昇降駆動部14の昇降位置について補正してもよい。
また、基準台判定部26C4の判定結果により、第2の基準台MST2を使用した場合(ステップS305;NO)、補正部24C4は、各移載先LPにおいて、第4走行体M4の停止位置をデータ格納部25C4に格納されたマップ(第n誤差)及び第4−2誤差、さらにデータ格納部25C4に格納されたズレ量で補正する(ステップS307)。なお、ステップS307は、第4走行体M4の停止位置をマップ(第n誤差)及び第4搬送車V4における修正誤差(図6参照)で補正してもよい。補正部24C4は、例えば、マップの第n誤差から、第4−1誤差とズレ量とを差し引いて第4走行体M4の停止位置を補正する。この補正した停止位置に第4走行体M4を停止させ、第4移載装置U4を駆動することにより、第4搬送車V4が第2の基準台MST2で第4−2誤差を検出した場合でも、移載先LPに対して正確に物品2の受け渡しを行うことができる。
また、上記では基準搬送車でない第4〜第m搬送車V4〜Vmについて説明したが、第n誤差(マップ)を検出していない基準搬送車V2、V3については、それぞれ第n誤差(マップ)及びと第1の基準台MST1で検出した第2−1誤差、第3−1誤差で第2走行体M2、第3走行体M3の停止位置を補正することにより、移載先LPに対して正確に物品2の受け渡しを行うことができる。
このように、本実施形態によれば、第2の基準台MST2で誤差を検出した場合であっても、第1の基準台MST1と第2の基準台MST2との差であるズレ量を用いて走行体Mの停止位置を補正することにより、各移載先LPに対して正確に物品2を受け渡すことができる。この構成により、多くの搬送車Vを稼働させる場合、あるいは既存の設備に新たな搬送車Vを投入する場合などでも、搬送車Vの教示に要する時間を短縮することができる。
なお、上記した上位コントローラCUの誤差受信部11CU、ズレ量算出部12CU、ズレ量配信部13CU、誤差取得部14CU、マップ生成部15CU、マップ配信部16CU、及びデータ格納部17CUは、プログラムがコンピュータに読み込まれることにより、ソフトウェアとハードウェア資源とが協働した具体的手段として実現されてもよい。同様に、搬送車Vの台車コントローラCの誤差取得部21、ズレ量受信部22、マップ受信部23、補正部24、データ格納部25、基準台判定部26、及び誤差送信部27は、プログラムがコンピュータに読み込まれることにより、ソフトウェアとハードウェア資源とが協働した具体的手段として実現されてもよい。
以上、実施形態について説明したが、本発明の技術的範囲は、上記した記載に限定されない。また、上記した実施形態に、多様な変更又は改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。そのような変更又は改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれる。例えば、上位コントローラCUは、いずれかの搬送車Vの台車コントローラCに含まれてもよい。
図11は、基準搬送車V1の台車コントローラC1が上位コントローラCUを含む場合の動作シーケンスの例を示している。台車コントローラC1が上位コントローラCUを含む場合、台車コントローラC1は、図5に示す上位コントローラCUの各構成要素を有している。なお、図8に示す動作シーケンスと重複する内容についは説明を省略又は簡略化する。まず、基準搬送車V1によりティーチングユニットTUを第1の基準台MST1に載置して第1誤差を検出する。この検出により、台車コントローラC1の誤差取得部21C1は、第1の基準台MST1での第1誤差を取得する(ステップS401)。
次に、基準搬送車V1によりティーチングユニットTUを第2の基準台MST2に載置して第2誤差を検出する。この検出により、台車コントローラC1の誤差取得部21C1は、第2の基準台MST2での第2誤差を取得する(ステップS402)。誤差取得部21C1で取得した第1誤差及び第2誤差は、データ格納部25C1に格納される。次に、台車コントローラC1(上位コントローラCU)のズレ量算出部12CUは、第1誤差と第2誤差との差であるズレ量を算出する(ステップS403)。算出されたズレ量(座標値)は、データ格納部17CUに格納される。
データ格納部17CUに格納されたズレ量は、台車コントローラC1(上位コントローラCU)のズレ量配信部13CUにより、他の搬送車V2〜Vmのそれぞれに配信される(ステップS403)。他の搬送車V2〜Vmのそれぞれは、基準搬送車V1の台車コントローラC1から配信されたズレ量を用いることにより、第1の基準台MST1又は第2の基準台MST2のいずれで誤差を検出した場合でも、移載先LPに物品2を正確に載置することができる。このように、台車コントローラC1が上位コントローラCUを含む場合であっても、搬送車Vの教示に要する時間を短縮できる。さらに、搬送車Vの台車コントローラCが上位コントローラCUとして機能するため、コストを低減することができる。
また、特許請求の範囲、明細書及び図面中において示したシステム、方法、装置、プログラム及び記録媒体における動作、ステップ等の各処理の実行順序は、前の処理の出力を後の処理で用いる構成でない限り、任意の順序で実現可能である。また、上記した実施形態における動作に関して、便宜上「まず」、「次に」、「続いて」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須ではない。また、法令で許容される限りにおいて、日本特許出願である特願2017−020227、及び本明細書で引用した全ての文献、の内容を援用して本文の記載の一部とする。
2・・・物品
100・・・搬送システム
CU・・・上位コントローラ(コントローラ)
12CU・・・ズレ量算出部
13CU・・・ズレ量配信部
C1〜Cm・・・台車コントローラ(コントローラ)
22C1・・・ズレ量受信部
24C1・・・補正部
26C1・・・基準台判定部
MST1・・・第1の基準台(第1移載先LP1)
MST2・・・第2の基準台(第2移載先LP2)
LP3〜LPn・・・第3〜第n移載先
T・・・軌道
V1〜V3・・・基準搬送車(第1〜第3搬送車)V4〜Vm・・・第4〜第m搬送車
M・・・走行体
U・・・移載装置

Claims (4)

  1. 複数の移載先にわたって設置された軌道と、
    前記軌道を走行する走行体、及び前記走行体に設けられて物品を保持しかつ前記移載先に物品を受け渡す移載装置を備える複数の搬送車と、
    前記移載先ごとに前記移載装置により前記移載先の定められた位置で物品の受け渡しを可能とするために取り付けられ、前記走行体の停止位置を示す停止指標と、
    前記搬送車を制御するコントローラと、を備え、
    前記走行体が前記停止指標に基づいて停止した状態で、前記移載装置により前記移載先に対して物品の受け渡しを行う搬送システムであって、
    前記コントローラは、
    第1移載先の第1停止指標に基づき第1搬送車の第1走行体が停止した際の、第1移載装置により前記第1移載先に物品を載置した位置と、前記第1移載先の定められた位置との第1誤差と、
    第2移載先の第2停止指標に基づき前記第1誤差を求めるために使用する前記第1搬送車の前記第1走行体が停止した際の、前記第1移載装置により前記第2移載先に物品を載置した位置と、前記第2移載先の定められた位置との第2誤差と、に基づいて、前記第1誤差と前記第2誤差との差であるズレ量を求め、
    前記第1移載先及び前記第2移載先以外の少なくとも1つの移載先に対して、第n(n≧3かつ整数)移載先の第n停止指標に基づき前記第1搬送車の前記第1走行体が停止した際の、前記第1移載装置により前記第n移載先に物品を載置した位置と、前記第n移載先の定められた位置との第n誤差を取得し、
    前記第1搬送車以外の第m(m≧2かつ整数)搬送車について、
    前記第1移載先の前記第1停止指標に基づき前記第m搬送車の第m走行体が停止した際の、第m移載装置により前記第1移載先に物品を載置した位置と、前記第1移載先の定められた位置との第m−1誤差を取得した前記第m搬送車においては、前記第n移載先に対する前記第m走行体の停止位置を前記第n誤差及び前記第m−1誤差で補正し、
    前記第2移載先の前記第2停止指標に基づき前記第m搬送車の第m走行体が停止した際の、第m移載装置により前記第2移載先に物品を載置した位置と、前記第2移載先の定められた位置との第m−2誤差を取得した前記第m搬送車においては、前記第n移載先に対する前記第m走行体の停止位置を前記第n誤差及び前記第m−2誤差、さらに前記ズレ量で補正する、搬送システム。
  2. 前記第1誤差及び前記第2誤差は、1つの座標系における座標値で求められ、
    前記ズレ量は、前記座標系における座標値で求められる、請求項1に記載の搬送システム。
  3. 前記コントローラは、複数の前記搬送車を用いて求めた複数の前記ズレ量を統計処理し、得られた値を前記ズレ量として用いる、請求項1又は請求項2に記載の搬送システム。
  4. 複数の移載先にわたって設置された軌道と、
    前記軌道を走行する走行体、及び前記走行体に設けられて物品を保持しかつ前記移載先に物品を受け渡す移載装置を備える複数の搬送車と、
    前記移載先ごとに前記移載装置により前記移載先の定められた位置で物品の受け渡しを可能とするために取り付けられ、前記走行体の停止位置を示す停止指標と、を備え、
    前記走行体が前記停止指標に基づいて停止した状態で、前記移載装置により前記移載先に対して物品の受け渡しを行う搬送システムにおける搬送方法であって、
    第1移載先の第1停止指標に基づき第1搬送車の第1走行体を停止させて、第1移載装置により前記第1移載先に物品を載置した位置と、前記第1移載先の定められた位置との第1誤差を求め、
    第2移載先の第2停止指標に基づき前記第1誤差を求めるために使用する前記第1搬送車の前記第1走行体を停止させて、前記第1移載装置により前記第2移載先に物品を載置した位置と、前記第2移載先の定められた位置との第2誤差を求め、
    前記第1誤差と前記第2誤差との差であるズレ量を求め、
    前記第1移載先及び前記第2移載先以外の少なくとも1つの移載先に対して、第n(n≧3かつ整数)移載先の第n停止指標に基づき前記第1搬送車の前記第1走行体を停止させて、前記第1移載装置により前記第n移載先に物品を載置した位置と、前記第n移載先の定められた位置との第n誤差を求め、
    前記第1搬送車以外の第m(m≧2かつ整数)搬送車について、
    前記第1移載先の前記第1停止指標に基づき前記第m搬送車の第m走行体を停止させて、第m移載装置により前記第1移載先に物品を載置した位置と、前記第1移載先の定められた位置との第m−1誤差を求めた前記第m搬送車においては、前記第n移載先に対する前記第m走行体の停止位置を前記第n誤差及び前記第m−1誤差で補正し、
    前記第2移載先の前記第2停止指標に基づき前記第m搬送車の第m走行体を停止させて、第m移載装置により前記第2移載先に物品を載置した位置と、前記第2移載先の定められた位置との第m−2誤差を求めた前記第m搬送車においては、前記第n移載先に対する前記第m走行体の停止位置を前記第n誤差及び前記第m−2誤差、さらに前記ズレ量で補正する、搬送方法。
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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3896006A4 (en) * 2018-12-14 2022-08-10 Murata Machinery, Ltd. HANDLING VEHICLE
CN113625713B (zh) * 2021-08-11 2024-04-16 北京京东振世信息技术有限公司 自动引导运输车的控制方法和装置
CN113658890B (zh) * 2021-08-17 2023-09-29 长鑫存储技术有限公司 提高半导体设备产能的方法和系统

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100485439B1 (ko) * 2001-10-19 2005-04-27 가부시키가이샤 다이후쿠 현수 반송설비와 그 학습장치
JP4296914B2 (ja) * 2003-12-08 2009-07-15 アシスト テクノロジーズ ジャパン株式会社 位置教示装置及びそれを備えた搬送システム
JP4505743B2 (ja) * 2005-01-13 2010-07-21 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP2007041687A (ja) 2005-08-01 2007-02-15 Murata Mach Ltd 搬送台車システム
JP2007323478A (ja) * 2006-06-02 2007-12-13 Murata Mach Ltd 台車
JP4858018B2 (ja) * 2006-09-01 2012-01-18 ムラテックオートメーション株式会社 被搬送物保管システム
JP5266683B2 (ja) 2007-08-03 2013-08-21 村田機械株式会社 搬送システム、及び該搬送システムにおける教示方法
JP5256810B2 (ja) * 2008-03-24 2013-08-07 村田機械株式会社 保管庫装置及び保管庫付き搬送システム
CN102105384B (zh) * 2008-07-23 2013-07-17 株式会社大福 物品输送设备的学习装置及学习方法
JP5636849B2 (ja) * 2010-09-30 2014-12-10 村田機械株式会社 移載システム
CN103964154B (zh) * 2012-10-08 2015-02-25 南京工程学院 一种组合定位控制系统的控制方法
GB201321423D0 (en) * 2013-12-04 2014-01-15 Metryx Ltd Semiconductor wafer processing methods and apparatus
EP3159923B1 (en) * 2014-06-19 2021-06-16 Murata Machinery, Ltd. Carrier buffering device and buffering method
JP6384195B2 (ja) * 2014-08-20 2018-09-05 株式会社安川電機 ロボットシステムおよびロボット教示方法
TWM534739U (zh) * 2016-06-08 2017-01-01 E-Con Automation Co Ltd 由無人搬運車所讀取之二維條碼系統

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