JP2020193081A - ティーチングシステム、搬送システム、及びティーチングデータ生成方法 - Google Patents

Abstract

【課題】移動体に保持される撮像装置が傾いた場合でも、正確なティーチングデータを生成する。【解決手段】ティーチングシステムＴＳは、移載先ＬＰに対して上方に設けられた軌道Ｔに沿って走行して移載先ＬＰに対して物品１を移載する移動体Ｖに保持される撮像装置１１と、撮像装置１１により上方から移載先を撮像した画像を用いて、その移載先に対して移動体が物品を移載するためのティーチングデータを生成する生成部２０と、を備え、鉛直方向に対する撮像装置１１の傾きを検出する傾斜検出部２１と、撮像装置と移載先との距離を検出する距離検出部と、傾斜検出部の検出結果及び距離検出部の検出結果に基づいて、生成部により生成されたティーチングデータを補正する補正部２６と、を備える。【選択図】図１

Description

本発明は、ティーチングシステム、搬送システム、及びティーチングデータ生成方法に関する。

半導体生産工場では、天井近傍に敷設された軌道に沿って走行する搬送車により物品を搬送し、物品を移載先に移載する搬送システムが利用されている。この搬送車が各移載先に対して正確に物品を載置又は受け取るため、複数の搬送車の教示（ティーチング）を行うことが必要となる。この教示作業は、各移載先に物品を載置して行うため時間がかかり、移載先の数が多いと教示作業に長時間を要してシステムの稼働開始を遅延させる要因となる。この教示作業を短時間で行うため、搬送車から撮像した画像を用いて各移載先のティーチングデータ（教示データ）を取得する搬送システムが提案されている（例えば、特許文献１参照）。

国際公開第２０１８／２０７４６２号公報

特許文献１に記載のティーチングシステムでは、搬送車に保持された撮像装置により上方から移載先を撮像した画像を用いてティーチングデータを得ている。しかしながら、移動体が走行する軌道の傾斜等により、移動体に保持された撮像装置も傾いてしまい、その撮像光軸が必ずしも鉛直下方に向けられていない場合が生じる。このような撮像装置の傾きが生じると、移載先を撮像した画像から正確なティーチングデータを得ることができないといった問題がある。

本発明は、移動体に保持される撮像装置が傾いた場合でも、正確なティーチングデータを生成することが可能なティーチングシステム、搬送システム、及びティーチングデータ生成方法を提供することを目的とする。

本発明の態様に係るティーチングシステムは、移載先に対して上方に設けられた軌道に沿って走行して移載先に対して物品を移載する移動体に保持される撮像装置と、撮像装置により上方から移載先を撮像した画像を用いて、その移載先に対して移動体が物品を移載するためのティーチングデータを生成する生成部と、を備えるティーチングシステムであって、鉛直方向に対する撮像装置の傾きを検出する傾斜検出部と、撮像装置と移載先との距離を検出する距離検出部と、傾斜検出部の検出結果及び距離検出部の検出結果に基づいて、生成部により生成されたティーチングデータを補正する補正部と、を備える。

また、水平方向に対する移載先の傾きを検出する移載先傾斜検出部を備え、補正部は、移載先傾斜検出部の検出結果に基づいて、生成部により生成されたティーチングデータを補正してもよい。また、移載先傾斜検出部は、撮像装置により撮像された移載先の画像を用いて、移載先の水平方向に対する傾きを検出してもよい。また、撮像装置により上方から撮像可能な位置に複数の目印が設けられ、ティーチングデータを取得する際の移載先に載置されるターゲット部材を備え、移載先傾斜検出部は、ターゲット部材に設けられてもよい。

本発明の態様に係る搬送システムは、物品を搬送しかつ移載先に対して物品を移載する移動体を含む搬送システムであって、上記のティーチングシステムを備える。また、複数の移載先にわたって設置された軌道を含み、移動体は、軌道を走行する走行部と、物品を保持する保持部と、走行部から吊り下げて保持部を支持しかつ保持部を昇降させる昇降部と、を有し、撮像装置は、保持部に保持されてもよい。

本発明の態様に係るティーチングデータ生成方法は、移動体に保持される撮像装置により上方から移載先を撮像した画像を用いて、その移載先に対して移動体が物品を移載するためのティーチングデータを生成する方法であって、鉛直方向に対する撮像装置の傾きを傾斜検出部により検出することと、撮像装置と移載先との距離を距離検出部により検出することと、傾斜検出部の検出結果及び距離検出部の検出結果に基づいて、生成されたティーチングデータを補正することと、を含む。

上記したティーチングシステム及びティーチングデータ生成方法によれば、撮像装置が傾いた場合であっても、鉛直方向からの撮像装置の傾き及び撮像装置と移載先との距離に基づいて、撮像装置により撮像された移載先の画像に基づいて生成されるティーチングデータを補正することができる。この結果、移載先に関する正確なティーチングデータを得ることができ、その移載先に対して物品を正確に受け渡しすることができる。

また、水平方向に対する移載先の傾きを検出する移載先傾斜検出部を備え、補正部が、移載先傾斜検出部の検出結果に基づいて、生成部により生成されたティーチングデータを補正する構成では、移載先が傾いている場合であっても、水平方向からの移載先の傾きに基づいて、撮像装置により撮像された移載先の画像に基づくティーチングデータを補正することで、正確なティーチングデータを得ることができる。また、移載先傾斜検出部が、撮像装置により撮像された移載先の画像を用いて、移載先の水平方向に対する傾きを検出する構成では、別途センサを設ける必要がなく、ティーチングシステムのコスト増加を防止できる。また、撮像装置により上方から撮像可能な位置に複数の目印が設けられ、ティーチングデータを取得する際の移載先に載置されるターゲット部材を備え、移載先傾斜検出部が、ターゲット部材に設けられる構成では、簡単な構成により水平方向に対する移載先の傾きを検出することができる。

上記した搬送システムによれば、上記したティーチングシステムにより正確なティーチングデータが得られるので、移載先に対して移動体により物品を正確に受け渡しすることができる。また、複数の移載先にわたって設置された軌道を含み、移動体が、軌道を走行する走行部と、物品を保持する保持部と、走行部から吊り下げて保持部を支持し、かつ保持部を昇降させる昇降部と、を有し、撮像装置が、保持部に保持される搬送システムの構成では、軌道を走行する移動体が、上記したティーチングシステムの撮像装置を容易に保持することができる。

実施形態に係るティーチングシステムを有する搬送システムの一例を示す図である。 搬送システムの移動体の一例を示す図である。 移動体により物品を移載先に搬送する動作の一例を示す図である。 ティーチングシステムの一例を示すブロック図である。 撮像装置で撮像した画像の一例を示す図である。 画像におけるずれと画素との関係を示す図である。 移動体が傾いた状態の一例を示す図である。 ティーチングデータの一例をテーブル形式で示した図である。 車載コントローラの機能ブロック構成の一例を示す。 実施形態に係るティーチングデータ生成方法の一例を示すフローチャートである。 ターゲット部材の一例を示し、（Ａ）は側面図、（Ｂ）は平面図である。 （Ａ）及び（Ｂ）は、画像から移載先の傾きを算出する一例を説明する図である。 （Ａ）及び（Ｂ）は、図１２に続いて、画像から移載先の傾きを算出する一例を説明する図である。 ティーチングシステムの他の例を示すブロック図である。 ティーチングシステムの他の例を示すブロック図である。 各移動体の機差データの生成について説明する図である。

以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。ただし、本発明はこの形態に限定されない。また、図面においては実施形態を説明するため、一部分を大きく又は強調して記載するなど適宜縮尺を変更して表現している。図２、３、７、１３、１４、１６では、ＸＹＺ座標系を用いて図中の方向を説明する。このＸＹＺ座標系は、水平面に平行な平面をＸＹ平面とする。このＸＹ平面において移動体Ｖが走行する方向をＸ方向と表記し、Ｘ方向に直交する方向をＹ方向と表記する。また、ＸＹ平面に垂直な方向はＺ方向と表記する。Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向のそれぞれは、図中の矢印の指す方向が＋方向であり、矢印と反対の方向が−方向であるとして説明する。

図１は、実施形態に係るティーチングシステムＴＳが適用される搬送システム１００の一例を示す図である。図１では、ティーチングシステムＴＳの要部を拡大した図を併せて示している。図２は、搬送システム１００の移動体の一例を示す図である。図３は、移動体Ｖにより物品１を移載先ＬＰに搬送する動作の一例を示す図である。図１から図３に示す搬送システム１００は、物品１を搬送するシステムである。

物品１は、例えば、半導体生産に用いられるウエハ又はレクチル等の物体を収容するＦＯＵＰ、ＳＭＩＦ Ｐｏｄ、レクチルＰｏｄ等である。搬送システム１００は、第１〜第ｎ（ｎ≧２かつ整数）移動体Ｖ１〜Ｖｎ（以下、移動体Ｖと総称する場合がある。）と、第１〜第ｍ（ｍ≧２かつ整数）移載先ＬＰ１〜ＬＰｍ（以下、移載先ＬＰと総称する場合がある。）と、上位コントローラＣＵと、を備える。本実施形態では、ティーチングシステムＴＳが搬送システム１００に適用されている例について説明する。なお、本実施形態では、搬送システム１００において、第１移載先ＬＰ１が基準移載先ＭＳＴとして用いられる例について説明する。

移動体Ｖは、軌道Ｔに沿って走行する天井搬送車であり、軌道Ｔの鉛直下方に配置された移載先ＬＰとの間で物品１の受け渡しを行う。軌道Ｔ又は軌道Ｔの近傍には、移載先ＬＰごとに停止指標Ｎ１〜Ｎｍ（図３参照）が設けられている。各移動体Ｖは、第１〜第ｍ移載先ＬＰ１〜ＬＰｍそれぞれに対して物品１の移載を行う際、停止指標Ｎ１〜Ｎｍを後述の停止指標検出部Ｆで検出して後述の走行部Ｍを停止させ、後述の移載装置Ｕにより物品１を昇降させることで第１〜第ｍ移載先ＬＰ１〜ＬＰｍに対して物品１の受け渡しを行う。停止指標Ｎ１〜Ｎｍを検出して停止した移動体Ｖの位置が初期位置である。なお、移動体Ｖの詳細については後述する。また、図示では移載先ＬＰが軌道Ｔの鉛直下方に配置された例を示しているが、移載先ＬＰが軌道Ｔの下方かつ側方に配置されてもよい。移載先ＬＰは、例えば、処理装置又は保管装置などの一部に設けられるロードポート、あるいは物品１を一時保管するために設けられた棚部（バッファ）である。また、移載先ＬＰの設置数は任意である。

各移動体Ｖは、上記した停止指標Ｎ１〜Ｎｍを停止指標検出部Ｆで検出することにより、この検出をきっかけとして、後述する走行部Ｍが予め定められた位置（Ｘ方向の位置）で停止し、後述する移動体Ｖの移載装置Ｕが予め定められた量（Ｙ方向への移動量、Ｚ方向まわりの回転量など）だけ移動して物品１を下降させるように予め設定されている。以下に詳述する機差データ及びティーチングデータは、この移動量を定めるために予め取得されるデータである。

基準移載先ＭＳＴ（第１移載先ＬＰ１）は、各移動体Ｖにおける機差を検出するために用いられる。上記の設定において移動体Ｖが基準移載先ＭＳＴに対応して停止し、物品１を下降させて基準移載先ＭＳＴに載置される物品１の水平方向の位置と、基準移載先ＭＳＴの予め定められた水平方向の基準載置位置との差が、各移動体Ｖに特有の誤差（機差）である。この機差の検出には、ティーチングユニット１１０が用いられる。このティーチングユニット１１０による機差の取得（機差データの生成）については、図１６を用いて後述する。

なお、停止指標Ｎ１〜Ｎｍは、各移載先ＬＰに対応して取り付けられるが、その取付位置が本来取り付けるべき位置からずれる場合がある。本実施形態において、機差は、このような取付位置の誤差を含んだ値として検出される。すなわち、本明細書において、機差は、各移動体Ｖがそれぞれ有している特有の誤差と、上記した停止指標Ｎ１〜Ｎｍの取付誤差などの他の誤差とを含む意味で用いている。

なお、基準移載先ＭＳＴは、処理装置等のロードポートである第１移載先ＬＰ１が用いられることに代えて、各移動体Ｖにおける機差を検出するための専用の移載先として設けられてもよい。この場合、基準移載先ＭＳＴは、設備側の床面等に固定されてもよいし、例えば、車輪等が設けられて、移動可能であってもよい。また、基準移載先ＭＳＴは２台以上設置されてもよい。

図２では、物品１がＦＯＵＰの例を示している。物品１は、本体部１ａと、蓋１ｂと、フランジ部１ｃと、溝部１ｄとを備える。本体部１ａは、内部にウエハ等を収容する。蓋１ｂは、本体部１ａの側面に着脱可能に設けられる。フランジ部１ｃは、本体部１ａの天頂部分に設けられ、後述する移載装置Ｕの保持部２に保持される。溝部１ｄは、本体部１ａの底面に放射状に複数設けられ、物品１の位置決めに用いられる。

移動体Ｖは、走行部Ｍと、本体部ＢＯとを備える。走行部Ｍは、不図示の走行駆動部によって走行輪６を駆動し、軌道Ｔに沿ってＸ方向（一方向）に走行する。走行駆動部は、例えば、サーボモータなどの電動モータ又はリニアモータが用いられる。軌道Ｔは、例えば、吊り金具等によってクリーンルーム等の設備の天井５から吊り下げられて設けられる。走行輪６は、軌道Ｔに接して配置され、例えば、上記した電動モータ等により駆動する駆動輪と従動輪とを有し、エンコーダにより走行距離又は走行輪６（例えば従動輪）の回転数等が検出される。車載コントローラＣは、例えば、サーボモータ（ステッピングモータ）に供給するパルス数、又は上記したエンコーダの検出結果に基づいて移動体Ｖの速度及び停止位置の一方又は双方の制御を行う。

本体部ＢＯは、支持軸７を介して走行部Ｍの下方に取り付けられる。本体部ＢＯは、物品１を保持する保持部２と、保持部２を鉛直方向に昇降させる昇降部３と、昇降部３を軌道Ｔと直行する方向に移動させる横出し機構８と、を備えた移載装置Ｕと、電源部ＢＴとを有する。保持部２は、物品１のフランジ部１ｃを把持することにより、物品１を吊り下げて保持する。保持部２は、例えば、水平方向に移動可能な複数の爪部２ａを有し、爪部２ａをフランジ部１ｃの下方に進入させることにより、物品１を吊り下げて保持する。保持部２は、ワイヤ又はベルト等の吊り下げ部材２ｂと接続されている。昇降部３は、例えば、ホイストであり、吊り下げ部材２ｂを繰り出すことにより保持部２を下降させ、吊り下げ部材２ｂを巻き取ることにより保持部２を上昇させる。

横出し機構８は、本体部ＢＯに対して昇降部３を軌道Ｔと直交するＹ方向に移動させる。横出し機構８は、例えば、複数の可動板を有し、不図示の駆動部により＋Ｙ方向又は−Ｙ方向に昇降部３を移動させる。なお、横出し機構８により昇降部３をＹ方向に移動させるか否かは任意である。なお、保持部２、昇降部３、及び横出し機構８を含む移載装置Ｕは、車載コントローラＣによって制御される。移載装置Ｕを備える本体部ＢＯは、走行部Ｍと一体となって軌道ＴをＸ方向に移動する。

移載先ＬＰ（基準移載先ＭＳＴ）に対して物品１を移載する場合は、走行部Ｍを停止させ、移載装置Ｕの昇降部３により保持部２を下降させることにより、移載先ＬＰに対して物品１を移載可能である。なお、保持部２の下降に先だって、横出し機構８により昇降部３を軌道Ｔと直交する方向（Ｙ方向）に横出ししてもよい。図２に示すように、移載先ＬＰには、位置決め部材として複数の（例えば３本の）ピン９が設けられている。ピン９は、物品１の溝部１ｄに入り込むことにより、移載先ＬＰ上において物品１を位置決めする。

また、走行部Ｍは、軌道Ｔ又は軌道Ｔの近傍に取り付けられた停止指標Ｎ１〜Ｎｍ（図３参照）を検出する停止指標検出部Ｆを備える。走行部Ｍは、停止指標検出部Ｆで停止指標Ｎ１〜Ｎｍを検出することにより、各移載先ＬＰのそれぞれに対応して予め定められた位置（初期位置）に停止する。この停止指標Ｎ１〜Ｎｍは、例えばバーコードなどが用いられ、各移動体Ｖに搭載されたバーコードリーダ等の停止指標検出部Ｆにより検出される。なお、停止指標Ｎ１〜Ｎｍは、移載先ＬＰごとに設けられる形態に限定されない。例えば、１つの停止指標が複数の移載先ＬＰに関連付けられて設けられる形態であってもよい。

本実施形態における搬送システム１００は、走行部Ｍが停止指標Ｎ１〜Ｎｍに対応する初期位置に停止すると、各移動体Ｖの車載コントローラＣが移載装置Ｕを駆動して移載先ＬＰに対して物品１の受け渡しを行うように設定されている。ただし、搬送システム１００において、このように設定するか否かは任意である。

図１６は、ティーチングユニット１１０を用いた機差の取得（機差データの生成）の一例を説明する図である。図１６では、ティーチングユニット１１０の要部を拡大した図を併せて示している。上記したように、複数の移動体Ｖのそれぞれは、固有の機差を有している。本実施形態では、図１６に示すようなティーチングユニット１１０を用いて複数の移動体Ｖそれぞれの機差データを生成する。ティーチングユニット１１０は、例えば、物品１と同様の外形上の構成を有し、後述するティーチングシステムＴＳと同様に天頂部にフランジ部１４を備えている。このフランジ部１４が移動体Ｖの保持部２により把持されることで、ティーチングユニット１１０が移動体Ｖに保持される。ティーチングユニット１１０は、底部（底面）に設けられたタッチパネル１３０と、そのタッチパネル１３０から供給されるデータを用いて、移動体Ｖの機差データを生成する生成部１２０と、を備える。

本実施形態における、ティーチングユニット１１０を用いた機差データの取得においては、先ず、保持部２によりティーチングユニット１１０を把持した移動体Ｖが軌道Ｔに沿って、基準移載先ＭＳＴに対応する停止指標Ｎ１が検出される位置まで走行する。停止指標Ｎ１が検出される初期位置で移動体Ｖ（走行部Ｍ）が停止すると、移動体Ｖはその初期位置から基準移載先ＭＳＴに対して昇降部３によりティーチングユニット１１０を下降させ、基準移載先ＭＳＴにティーチングユニット１１０を載置させる。ここで、図１６の破線で示すように、ティーチングユニット１１０の底部に設けられたタッチパネル１３０が、基準移載先ＭＳＴに備えられた位置決め部材としての複数のピン９に接触し、各ピン９の水平方向（ＸＹ面内）の位置座標が取得される。生成部１２０は、このようにして取得された位置座標と、予め設定されている基準移載先ＭＳＴの基準位置（座標）とのずれから、移動体ＶのＸ方向及びＹ方向における機差データを生成する。また、ティーチングユニット１１０が基準移載先ＭＳＴに載置された際（タッチパネル１３０がピン９に接触した際）の、移載装置Ｕ（昇降部３）によるティーチングユニット１１０の下降量と、予め設定されている基準移載先ＭＳＴの基準下降量とのずれから、移動体ＶのＺ方向における機差データを生成する。このようにして、搬送システム１００に備えられた複数の移動体Ｖそれぞれについて機差データを得ることができる。

図２に戻って、ティーチングシステムＴＳは、移載先ＬＰに対して移動体Ｖが物品１を移載するためのティーチングデータを生成する。ティーチングシステムＴＳは、本体部１０と、撮像装置１１と、傾斜検出部１２と、距離検出部１３と、生成部２０とを備える。本体部１０は、例えば、物品１と同様の外形上の構成を有する。本体部１０は、天頂部にフランジ部１４を備えている。このフランジ部１４が移動体Ｖの保持部２により把持されることで、本体部１０が移動体Ｖに保持される。フランジ部１４の形状は、例えば、物品１のフランジ部１ｃと同一又はほぼ同一であってもよい。

ティーチングシステムＴＳは、電力供給線ＢＬを介して、移動体Ｖの電源部ＢＴから電力が供給されているが、この構成に限定されず、電力供給線ＢＬを介して移動体Ｖ以外の電源部から電力が供給されてもよいし、ティーチングシステムＴＳの一部にバッテリ等の電源部を備えていてもよい。

本体部１０は、撮像装置１１、傾斜検出部１２、距離検出部１３、及び生成部２０を備える。撮像装置１１は、撮像光軸ＡＸが鉛直下方となるように設定され、移載先ＬＰを上方（鉛直上方）から撮像する。撮像装置１１は、例えばデジタルカメラが用いられる。撮像装置１１が撮像する画像は、静止画又は動画のいずれであってもよい。また、撮像装置１１が撮像する画像は、ＲＧＢ画像又はグレースケールのいずれであってもよい。また、撮像装置１１は、特定波長の光（例えば、赤外光など）の像を取得する構成であってもよい。撮像装置１１は、本体部１０が最も上昇した位置（すなわち保持部２が最も上昇した位置）において移載先ＬＰを撮像する。

撮像装置１１は、撮像した移載先ＬＰの画像を生成部２０に送信する。撮像装置１１は、画像を生成部２０に送信する前に、その画像に対して画像処理を施してもよい。撮像装置１１は、撮像した画像に対して、例えば、ホワイトバランス、ガンマ補正等の画像処理を施した後に、画像処理後の画像を生成部２０に送信してもよい。

傾斜検出部１２は、鉛直方向に対する撮像装置１１の傾きθ（すなわち、鉛直方向に対する撮像光軸ＡＸの傾きθ（図７参照））を検出する。傾斜検出部１２としては、例えば加速度センサが用いられる。傾斜検出部１２は、鉛直方向に対する撮像装置１１のＸ方向の傾きθＸ及びＹ方向の傾きθＹを検出する。なお、傾斜検出部１２は、本体部１０に１つ設けられることに限定されず、複数設けられてもよい。複数の傾斜検出部１２が用いられる場合、例えば、複数の傾斜検出部１２から出力された検出結果の平均値を用いて撮像装置１１の傾きθとしてもよいし、１つをメインの傾斜検出部１２とし、他を参照用又はバックアップ用の傾斜検出部１２として用いる形態であってもよい。傾斜検出部１２は、検出した撮像装置１１の傾きθを生成部２０に送信する。

距離検出部１３は、撮像装置１１と移載先ＬＰとの距離Ｈを検出する。距離検出部１３は、例えば非接触式の距離センサが用いられる。非接触式の距離センサは、例えば、光学式、磁気式、静電容量式などの各種センサが用いられる。なお、距離検出部１３は、本体部１０に１つ設けられることに限定されず、複数設けられてもよい。複数の距離検出部１３が用いられる場合、例えば、複数の距離検出部１３から出力された検出結果の平均値を用いて距離Ｈとしてもよいし、１つをメインの距離検出部１３とし、他を参照用又はバックアップ用の距離検出部１３として用いる形態であってもよい。距離検出部１３は、検出した距離Ｈを生成部２０に送信する。

生成部２０は、撮像装置１１により上方から移載先ＬＰを撮像した画像を用いて、その移載先ＬＰに対して移動体Ｖが物品１を移載するためのティーチングデータを生成する。ティーチングデータは、対象となる移載先ＬＰの上方において移動体Ｖが停止し、予め定められた設定により移載装置Ｕを動作させて物品１をその移載先ＬＰに載置した際に、その移載先ＬＰの定められた載置位置と、実際の物品１の載置位置との位置ずれ（Ｘ方向のずれ及びＹ方向のずれ）を補正するためのデータである。図１に示すように、生成部２０は、補正部２６を備える。なお、補正部２６の詳細については後述する。

生成部２０は、距離検出部１３の検出結果に基づいて、移載先ＬＰに対して物品１を移載するための高さ方向（Ｚ方向）のティーチングデータを生成する。移載先ＬＰの高さ（例えば、床面からの高さ）の情報を、予め移載先ＬＰの情報の一つとして搬送システム１００が取得しているが、距離検出部１３の検出結果である距離Ｈを用いることで、先に取得している移載先ＬＰの高さの情報と、実際の高さとのずれが明らかとなる。生成部２０は、この高さ方向のずれを補正するための高さ方向のティーチングデータを生成する。なお、生成部２０は、高さ方向のティーチングデータを生成するか否かは任意である。

図４は、ティーチングシステムＴＳの一例を示すブロック図である。図４に示すように、生成部２０は、画像受信部２１と、傾斜受信部２２と、距離受信部２３と、データ格納部２４と、データ算出部２５と、補正部２６と、データ出力部２７とを有する。画像受信部２１は、撮像装置１１によって撮像された画像に関するデータを受信し、データ格納部２４に格納する。傾斜受信部２２は、傾斜検出部１２によって検出された傾きθ（傾斜角度）に関する情報を受信し、データ格納部２４に格納する。距離受信部２３は、距離検出部１３によって検出された距離Ｈに関する情報を受信し、データ格納部２４に格納する。

データ格納部２４は、各種データを格納する。データ格納部２４は、後述のデータ算出部２５で算出されたティーチングデータ、及び後述の補正部２６で補正された補正ティーチングデータを格納する。

データ算出部２５は、データ格納部２４に格納された画像に関するデータに基づいて、ティーチングデータを生成するための演算処理を行う。データ算出部２５は、先に取得している機差データと、第２〜第ｍ移載先ＬＰ２〜ＬＰｍの画像とに基づいて、第２〜第ｍ移載先ＬＰ２〜ＬＰｍのそれぞれにおける基準位置とのずれであるティーチングデータを生成する。

図５は、撮像装置１１で撮像した画像の一例を示す図である。図５を参酌しながら、ティーチングデータを生成する処理について説明する。なお、各移動体Ｖの機差データは、上記したように、ティーチングユニット１１０及び基準移載先ＭＳＴ（第１移載先ＬＰ１）を用いて取得している（図１６参照）。この機差データは、例えば、Ｘ方向に＋１．０ｍｍ、Ｙ方向に−１．０ｍｍ、Ｚ方向に＋２．０ｍｍ等を示すデータである。機差データは、例えば、ティーチングユニット１１０から送られて移動体Ｖの車載コントローラＣの記憶部等に記憶されている。

続いて、機差データを取得した移動体Ｖを用いて、第２〜第ｍ移載先ＬＰ２〜ＬＰｍのティーチングデータを取得する処理について説明する。ティーチングデータを取得する移動体Ｖは、基準移動体とも称される。この移動体Ｖは、ティーチングシステムＴＳを保持して軌道Ｔを走行し、第１〜第ｍ移載先ＬＰ１〜ＬＰｍにそれぞれ停止した状態で、撮像装置１１により第１〜第ｍ移載先ＬＰ１〜ＬＰｍをそれぞれ撮像する。例えば、保持部２を、移動体Ｖの走行時と同じ高さに維持した状態（換言すれば、昇降部３により保持部２を下降させず、最も高い位置とした状態）において、その保持部２に保持されるティーチングシステムＴＳの撮像装置１１により第２〜第ｍ移載先ＬＰ２〜ＬＰｍをそれぞれ撮像する。あるいは、ティーチングシステムＴＳを、第２〜第ｍ移載先ＬＰ２〜ＬＰｍに載置させない（接触させない）高さまで下降させた状態において撮像する形態であってもよい。移動体Ｖは、停止指標Ｎ１〜Ｎｍ（図３参照）を検出して走行部Ｍが予め定められた位置（Ｘ方向の位置）で停止し、移載装置Ｕが第１〜第ｍ移載先ＬＰ１〜ＬＰｍにおいて予め定められた量（Ｙ方向への移動量、Ｚ方向まわりの回転量など）だけ移動した状態で撮像装置１１により第１〜第ｍ移載先ＬＰ１〜ＬＰｍをそれぞれ撮像する。

移動体Ｖは、先ず、第１移載先ＬＰ１に停止した状態で、撮像装置１１により第１移載先ＬＰ１（ＭＳＴ）を撮像する。例えば、停止指標Ｎ１を検出して走行部Ｍが予め定められた位置で停止した後、前述のティーチングユニット１１０により得られた機差データに基づいてＸ方向及びＹ方向に移動する。この移動後の状態は、第１移載先ＬＰ１に対する機差補正後の移載位置であり、この状態に位置する移動体Ｖが保持部２により保持した物品１を鉛直方向に下降させることで、第１移載先ＬＰ１におけるピン９にその物品１が正しく位置決めされる。移動体Ｖは、上記移動後の状態において、撮像装置１１により第１移載先ＬＰ１（ＭＳＴ）を鉛直方向に撮像する。このようにして撮像された画像ＩＭ１が、以降、第２〜第ｍ移載先ＬＰ２〜ＬＰｍにおけるティーチングデータを取得する際の基準（基準画像）として用いられる。

続いて、移動体Ｖは、第２移載先ＬＰ２に停止した状態で、撮像装置１１により第２移載先ＬＰ２を撮像する。例えば、停止指標Ｎ２を検出して走行部Ｍが予め定められた位置で停止した後、前述のティーチングユニット１１０により得られた機差データに基づいてＸ方向及びＹ方向に移動した後、撮像装置１１により第２移載先ＬＰ２を撮像する。図５（Ａ）に、このようにして撮像された画像ＩＭ２を示す。画像ＩＭ２には第２移載先ＬＰ２における３本のピン９の像９Ａが撮像されている。

図５（Ｂ）は、前述した基準画像としての第１移載先ＬＰ１の画像ＩＭ１を例示している。この図に示すように、画像ＩＭ１は、第１移載先ＬＰ１における３本のピン９の位置を示す像９Ｂを含んでおり、データ格納部２４に格納されている。データ算出部２５は、画像ＩＭ２における３つの像９Ａと、画像ＩＭ１における３つの像９Ｂとに基づいて、像９Ａと像９Ｂとのずれを算出する。データ算出部２５は、算出したずれをデータ格納部２４に格納する。

図６は、画像におけるずれと画素との関係を示す図である。データ算出部２５は、画像ＩＭ１及び画像ＩＭ２から、図６に示すように、まず、像９Ａの重心位置９ＡＧを算出し、同様に像９Ｂの重心位置９ＢＧを算出する。図６では１つの重心位置９ＡＧ、９ＢＧについて示しているが、３つの像９Ａ、９Ｂのそれぞれについて重心位置９ＡＧ、９ＢＧが算出される。重心位置の算出は、パターンマッチングなど、任意の手法を用いることができる。また、重心位置を用いることに代えて、像９Ａ、９Ｂの所定位置、例えば同一方向におけるエッジなどが用いられてもよい。

図６に示すように、１つの画素Ｐは、Ｘ方向とＹ方向とでサイズが異なる。また、像９Ａの重心位置９ＡＧは画素ＰＡの位置にあり、像９Ｂの重心位置９ＢＧは画素ＰＢの位置にある。従って、重心位置９ＡＧから重心位置９ＢＧまでの画素数は、Ｘ方向で６ピクセル（Ｐｉｘｅｌ）であり、Ｙ方向で２ピクセルとなる。なお、画像上の間隔はピクセル数から実際のずれに換算される。例えば、１画素のＹ方向の間隔が１．０ｍｍ、Ｘ方向の間隔が０．５ｍｍとすると、重心位置９ＢＧに対する重心位置９ＡＧのずれは、
Ｘ方向：＋方向の６ピクセル×０．５ｍｍ＝＋３．０ｍｍ
Ｙ方向：−方向の２ピクセル×１．０ｍｍ＝−２．０ｍｍ
となる。従って、画像上のずれは、Ｘ方向に＋３．０ｍｍ、Ｙ方向に−２．０ｍｍとなる。このずれ量はデータ格納部２４に格納される。

データ算出部２５は、第２移載先ＬＰ２の画像上における３本のピン９の位置と、ピン９の基準位置とのずれ量から第２移載先ＬＰ２のティーチングデータを生成する。例えば、上記のように、ピン９の位置と、ピン９の基準位置とのずれ量がＸ方向に＋３．０ｍｍ、Ｙ方向−２．０ｍｍである場合、第２移載先ＬＰ２のティーチングデータは、Ｘ方向に＋３．０ｍｍ、Ｙ方向に−２．０ｍｍと生成される。

なお、本実施形態においては、第２移載先ＬＰ２において画像ＩＭ１を撮像する際、停止指標Ｎ２を検出して走行部Ｍが予め定められた位置で停止し、機差データに基づいてＸ方向及びＹ方向に移動した後、撮像装置１１により第２移載先ＬＰ２を撮像するが、停止指標Ｎ２を検出して走行部Ｍが予め定められた位置で停止した後、機差データに基づく移動を行うことなく撮像装置１１により第２移載先ＬＰ２を撮像してもよい。この場合、データ算出部２５は、第２移載先ＬＰ２の画像上における３本のピン９の位置と、ピン９の基準位置とのずれ量から移動体Ｖの機差を差し引くことにより、第２移載先ＬＰ２のティーチングデータを生成する。

このような処理を第２〜第ｍ移載先ＬＰ２〜ＬＰｍにおいてそれぞれ行うことにより、第２〜第ｍ移載先ＬＰ２〜ＬＰｍについてのティーチングデータが生成される。すなわち、第２〜第ｍ移載先ＬＰ２〜ＬＰｍそれぞれについて、停止指標Ｎ２〜Ｎｍを検出して走行部Ｍが予め定められた位置で停止した後、Ｘ方向及びＹ方向にどれだけ移動すれば保持部２の昇降を開始するための正しい位置となるかを示すティーチングデータを得ることができる。例えば、各移動体Ｖは、停止指標Ｎ２〜Ｎｍを検出して走行部Ｍが予め定められた位置で停止した後、Ｘ方向及びＹ方向に、（ａ）機差データに基づく移動量と、（ｂ）ティーチングデータに基づく移動量との和に相当する移動量だけ移動した状態で、保持部２の昇降を行うことで、第２〜第ｍ移載先ＬＰ２〜ＬＰｍそれぞれとの間で位置ずれなく物品１を受け渡しできる。また、上記した説明では水平方向（Ｘ方向及びＹ方向）についてのティーチングデータの生成について説明している。高さ方向（Ｚ方向）については、ティーチングシステムＴＳの距離検出部１３で検出される距離Ｈにより、高さ方向のティーチングデータが生成される。

データ算出部２５は、第１〜第ｍ移載先ＬＰ１〜ＬＰｍについて、予め高さ（距離）に関する情報を取得している。例えば、第１移載先ＬＰ１（基準移載先ＭＳＴ）について予め取得している高さ（距離）に関する情報と、ティーチングユニット１１０を第１移載先ＬＰ１に載置したときの下降量（距離）とのずれがその移動体Ｖにおける高さ方向の機差である。この機差に関する情報は、上記した移動体Ｖの機差データに含まれる。第２〜第ｍ移載先ＬＰ２〜ＬＰｍについての高さ方向のティーチングデータは、第２〜第ｍ移載先ＬＰ２〜ＬＰｍについて予め取得している高さ（距離）に関する情報と、距離検出部１３で検出した第２〜第ｍ移載先ＬＰ２〜ＬＰｍまでの距離Ｈとのずれ量から高さ方向の機差を差し引くことでそれぞれ生成される。

また、データ算出部２５は、３つの像９Ａと像９Ｂとのそれぞれの移動量から鉛直方向（Ｚ方向）まわりのずれを算出することができる。データ算出部２５は、第１移載先ＬＰ１（基準移載先ＭＳＴ）にティーチングユニット１１０を載置した際に、鉛直方向（Ｚ方向）まわりのずれから、その移動体Ｖにおける鉛直方向まわりの機差を取得する。この鉛直方向まわりの機差に関する情報は、上記した移動体Ｖの機差データに含まれる。第２〜第ｍ移載先ＬＰ２〜ＬＰｍについての鉛直方向まわりのティーチングデータは、撮像装置１１により撮像された第２〜第ｍ移載先ＬＰ２〜ＬＰｍの画像から、基準位置に対するずれ量（回転量）が算出され、このずれ量から鉛直方向まわりの機差を差し引くことでそれぞれ生成される。

補正部２６は、生成部２０（データ算出部２５）が生成した機差データ及びティーチングデータを、傾斜検出部１２によって検出された傾きθと、距離検出部１３によって検出された距離Ｈとに基づいて補正する。図７は、移動体Ｖが傾いた状態の一例を示す図である。図７に示すように、搬送システム１００では、軌道Ｔが水平面に対して例えば角度θで傾いている場合がある。この移動体ＶがティーチングシステムＴＳを保持していると、撮像装置１１の撮像光軸ＡＸは、撮像装置１１の鉛直線Ｒに対してＸ方向に角度θ（＝θＸ）だけ傾いてしまう。この角度θ（傾きθ）は、傾斜検出部１２によって検出される。撮像光軸ＡＸが鉛直線Ｒに対して傾いた状態で撮像された画像には、ピン９の像９Ａの位置が、画像ＩＭ１内においてずれてしまう。撮像装置１１が鉛直線Ｒに対してＹ方向に傾く場合もあるが、以下の実施例においては上記のように撮像装置１１の撮像光軸ＡＸが鉛直線Ｒに対してＸ方向に角度θＸ（傾きθＸ）だけ傾いている態様におけるティーチングデータの補正について説明する。

ここで、距離検出部１３によって検出された撮像装置１１とピン９との鉛直方向（Ｚ方向）の距離ＨをＺ１とし、撮像装置１１の撮像光軸ＡＸと撮像対象面（移載先ＬＰの上面）ＰＦとの交点をＸ１とする。この場合、撮像装置１１の撮像光軸Ａ０が鉛直方向から傾いていない場合（すなわち鉛直線Ｒと一致する場合）における撮像光軸Ａ０と撮像対象面ＰＦとの交点Ｘ０と、上記Ｘ１とのＸ方向における距離Ａ１は、次の数式（１）で求められる。

Ａ１＝Ｚ１・ｔａｎθＸ・・・数式（１）

補正部２６は、生成部２０（データ算出部２５）が生成したティーチングデータにおけるＸ方向の値を、上記したずれ量で補正する。例えば、ピン９の基準位置に対する実際のピン９の位置のずれ量がＸ方向に＋３．０ｍｍであり、撮像装置１１の傾きに起因する上記距離Ａ１がＸ方向に−２．０ｍｍである場合、データ算出部２５により算出される移載先ＬＰのティーチングデータは、Ｘ方向に＋５．０ｍｍとなる。補正部２６は、データ算出部２５が生成したティーチングデータにおけるＸ方向の値から、撮像装置１１の傾きによるＸ方向のずれ量（上記距離Ａ１）を差し引く。これにより、移載先ＬＰのティーチングデータは、Ｘ方向に＋３．０ｍｍとなり、ピン９の基準位置に対する実際のピン９の位置のずれ量と等しくなる。

Ｙ方向についても、上記したＸ方向と同様の処理により、撮像装置１１の傾きに起因するＹ方向のずれ量が求められる。補正部２６は、生成部２０が生成したティーチングデータにおけるＹ方向の値を、このずれ量で補正する。この処理により、Ｘ方向及びＹ方向のティーチングデータを、ピン９の基準位置に対する実際のピン９の位置のずれ量と等しいものとすることができる。換言すれば、生成部２０（データ算出部２５）が生成したティーチングデータから、撮像装置１１の傾きに起因する水平方向のずれ量を差し引くことで、ピン９の基準位置に対する実際のピン９の位置のずれ量と等しいティーチングデータを算出することができる。

補正部２６は、第２〜第ｍ移載先ＬＰ２〜ＬＰｍのそれぞれにおいて、傾斜検出部１２により検出された傾きθと、距離検出部１３により検出された距離Ｈとに基づいて、第２〜第ｍ移載先ＬＰ２〜ＬＰｍのそれぞれのティーチングデータを補正する。補正部２６により補正された補正ティーチングデータは、データ格納部２４に格納される。

図８は、上記した補正ティーチングデータの一例をテーブル形式で示した図である。図８に示す「補正ティーチングデータ」の欄は、第２〜第ｍ移載先ＬＰ２〜ＬＰｍにおけるティーチングデータについて、ＸＹＺ座標系の座標値で表している。図８において、各座標値の単位は、Ｘ方向、Ｙ方向、及びＺ方向が例えばｍｍであり、Ｚ方向まわりが°である。例えば、第２移載先ＬＰ２における第２補正量（＋２、−３、−１、０）は、Ｘ方向に＋２ｍｍ、Ｙ方向に−３ｍｍ、Ｚ方向に−１ｍｍ、Ｚ方向まわりに０°であることを示している。なお、Ｚ方向まわりは、例えば、上方から見て反時計回りを＋方向とし、時計回りを−方向として設定される。

補正ティーチングデータのうちＸ方向に関する値は、走行部Ｍの停止位置に関する誤差を含む。また、補正ティーチングデータのうちＹ方向に関する値は、移載装置Ｕの横出し機構８による昇降部３の横出し位置に関する誤差を含む。また、補正ティーチングデータのうちＺ方向に関する値は、移載装置Ｕの昇降部３８による保持部２の下降量に関する誤差を含む。また、補正ティーチングデータのうちＺ方向まわりに関する値は、保持部２又は昇降部３をＺ方向まわりに回転させる不図示の回転駆動部の回転量に関する誤差を含む。なお、補正ティーチングデータ（ティーチングデータ）としてＺ方向まわりの値を加えるか否かは任意であり、補正ティーチングデータにＺ方向まわりの値を加えなくてもよい。

図４に示すデータ出力部２７は、データ格納部２４に格納された補正ティーチングデータを出力する。データ出力部２７は、有線又は無線の通信回線により移動体Ｖの車載コントローラＣに補正ティーチングデータを出力する。なお、図２では総称して車載コントローラＣと表記し、図４及び図９では、複数の移動体Ｖ１〜Ｖｍに対応して移動体Ｖ１の車載コントローラＣ１を表記している。各移動体Ｖ１〜Ｖｍは、データ出力部２７から送られた補正ティーチングデータを用いて、第２〜第ｍ移載先ＬＰ２〜ＬＰｍに対する物品１の受け渡しを行う。なお、第１移載先ＬＰ１を基準移載先ＭＳＴとして用いる場合、各移動体Ｖを自身の機差データを用いて第１移載先ＬＰ１に対する物品１の受け渡しを行う。補正ティーチングデータは、データ出力部２７から上位コントローラＣＵに送られ、上位コントローラＣＵから各移動体Ｖ１〜Ｖｍに送られてもよい。

また、複数の移動体Ｖのうち、ティーチングデータを生成するために第２〜第ｍ移載先ＬＰ２〜ＬＰｍの画像取得に用いられた移動体Ｖ（基準移動体）以外の移動体Ｖは、ティーチングユニット１１０を用いて自身の機差データを取得すればよく、第２〜第ｍ移載先ＬＰ２〜ＬＰｍの画像を取得する動作は行わない。ただし、基準移動体としての移動体Ｖは１台であることに限定されず、２台以上の移動体Ｖが基準移動体として用いられてもよい。この場合、それぞれの移動体ＶがティーチングシステムＴＳを用いることで生成された複数のティーチングデータを平均化してもよい。

図９は、車載コントローラＣ１〜Ｃｍの機能ブロック構成の一例を示す。図１では、移動体Ｖ１の車載コントローラＣ１を例として説明するが、他の移動体Ｖ２〜Ｖｍについても同様の構成を有している。車載コントローラＣ１は、機差受信部３１と、データ受信部３２と、データ格納部３３と、調整部３４とを有する。機差受信部３１は、例えば、ティーチングユニット１１０から送られた機差データを受信する。データ受信部３２は、データ出力部２７から送られた補正ティーチングデータを受信する。

データ格納部３３は、機差受信部３１で受信した機差データ、及びデータ受信部３２で受信した補正ティーチングデータを格納する。また、データ格納部３３には、第１〜第ｍ移載先ＬＰ１〜ＬＰｍの位置（座標値）に関するマップ情報が格納されている。調整部３４は、データ格納部３３に格納されている機差データ及び補正ティーチングデータに基づいて、マップ情報から得られた第２〜第ｍ移載先ＬＰ２〜ＬＰｍの位置を補正し、第２〜第ｍ移載先ＬＰ２〜ＬＰｍに対して物品１を移載するための移動体Ｖの停止位置、及び移載装置Ｕの駆動量を調整する。

図１０は、実施形態に係るティーチングデータ生成方法の一例を示すフローチャートである。ティーチングデータ生成方法は、上記したように複数の移動体Ｖのうちの１台または複数台である基準移動体がティーチングシステムＴＳを保持して軌道Ｔを走行し、第１〜第ｍ移載先ＬＰ１〜ＬＰｍの画像をティーチングシステムＴＳの撮像装置１１で撮像することにより行われる。なお、図１０に示すフローチャートの説明では、適宜、図１〜図９を参照する。

まず、移動体Ｖ（基準移動体）は、ティーチングシステムＴＳを保持して走行し、第１〜第ｍ移載先ＬＰ１〜ＬＰｍ上に停止する。ティーチングシステムＴＳは、撮像装置１１により移載先ＬＰの画像を撮像する（ステップＳ０１）。続いて、ティーチングシステムＴＳは、撮像装置１１が撮像した画像に基づいて、データ算出部２５によりティーチングデータを生成する（ステップＳ０２）。ステップＳ０２において，データ算出部２５は、上記したように、撮像装置１１が撮像した第２〜第ｍ移載先ＬＰ２〜ＬＰｍの画像に基づいて得られる基準画像（機差補正後の第１移載先ＬＰ１の画像）とのずれから、第２〜第ｍ移載先ＬＰ２〜ＬＰｍにおける各ティーチングデータを生成する。

ティーチングシステムＴＳは、撮像装置１１により第１〜第ｍ移載先ＬＰ１〜ＬＰｍを撮像する際、傾斜検出部１２により撮像装置１１の傾きθを検出し、距離検出部１３により撮像装置１１と移載先ＬＰとの距離Ｈを検出する（ステップＳ０３）。続いて、ティーチングシステムＴＳは、傾斜検出部１２で検出された傾きθと、距離検出部１３で検出された距離Ｈとに基づいて、ティーチングデータを補正する（ステップＳ０４）。ステップＳ０４において、補正部２６は、上記したように、傾きθと距離Ｈとから撮像装置１１の傾きによる水平方向のずれ量を算出し、ティーチングデータをずれ量で補正する。第２〜第ｍ移載先ＬＰ２〜ＬＰｍにおけるティーチングデータの補正は、それぞれでの傾きθ及び距離Ｈから得られるずれ量で補正する。このような一連の処理により補正されたティーチングデータ（補正ティーチングデータ）が生成される。

このように、本実施形態に係るティーチングシステムＴＳ及びティーチングデータ生成方法によれば、撮像装置１１が傾いている場合であっても、撮像装置１１により撮像された移載先ＬＰの画像ＩＭに基づいて生成されるティーチングデータを、鉛直方向からの撮像装置１１の傾きθ、及び撮像装置１１と移載先ＬＰとの距離Ｈに基づいて補正するので、第２〜第ｍ移載先ＬＰ１〜ＬＰｍにおける正確なティーチングデータを取得することができる。また、搬送システム１００は、ティーチングシステムＴＳにより得られた正確なティーチングデータを用いることで、移動体Ｖにより移載先ＬＰに対して確実に物品１を受け渡すことができる。

図１１は、ターゲット部材４０の一例を示し、（Ａ）は側面図、（Ｂ）は平面図である。上記した実施形態では、撮像装置１１により移載先ＬＰのピン９を撮像した画像を用いて機差データ又はティーチングデータを生成しているが、移載先ＬＰを含む周辺の明るさによっては画像においてピン９の像が判別できない場合がある。ターゲット部材４０は、このような場合において、移載先ＬＰにおける目印を付与する。ターゲット部材４０は、ティーチングシステムＴＳに含まれる。

ターゲット部材４０は、撮像装置１１により上方から撮像可能な位置に複数の目印が設けられ、ティーチングデータを取得する際の移載先ＬＰに載置される。ターゲット部材４０は、図１１（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、脚部４１と、本体部４２と、発光部（目印）４３と、移載先傾斜検出部４４と、バッテリ４５と、を有する。脚部４１は、本体部４２の下面側に複数設けられ、移載先ＬＰのピン９を差し込み可能な不図示の凹部が設けられている。脚部４１にピン９を差し込んだ状態では、本体部４２は移載先ＬＰに対して位置決めされる。

発光部４３は、本体部４２の上面側に複数設けられる。発光部４３は、本体部４２から上方に向けて光を出射する。図１１（Ｂ）に示すように、発光部４３は、上方から見て正方形の各角部である４カ所に配置されている。４カ所の発光部４３は、同一であってもよいし、少なくとも１つを異ならせてもよい。発光部４３の配置は、移載先ＬＰのピン９の配置に関連付けられている。発光部４３は、例えばＬＥＤが用いられる。発光部４３は、例えば、撮像装置１１により撮像可能な波長の光を出射するＬＥＤが選択される。

移載先傾斜検出部４４は、水平面に対する移載先ＬＰの傾きを検出する。移載先傾斜検出部４４は、例えば加速度センサ等が用いられる。移載先傾斜検出部４４が検出した移載先ＬＰの傾きに関する情報は、ターゲット部材４０に備える不図示の通信部により、生成部２０に送られる。補正部２６は、移載先傾斜検出部４４が検出した移載先ＬＰの傾きに基づいて、生成部２０で生成したティーチングデータを補正してもよいし、ティーチングデータに移載先ＬＰの傾きに関する情報を加えてもよい。なお、ターゲット部材４０は、移載先傾斜検出部４４を備えなくてもよい。移載先傾斜検出部４４を備えない場合、ティーチングシステムＴＳは、撮像装置１１により撮像した移載先ＬＰの画像から移載先ＬＰの傾きを算出することができる。

図１２（Ａ）及び（Ｂ）、並びに図１３（Ａ）及び（Ｂ）は、撮像装置１１による画像から移載先ＬＰの傾きを検出する一例を説明する図である。図１２（Ａ）に示すように、矩形の中心及び各角部に配置されたターゲットＴＧ１〜ＴＧ５のうち、矩形の中心に配置されたターゲットＴＧ３の鉛直上方に撮像装置１１が配置される場合を例に挙げる。ターゲットＴＧ１とターゲットＴＧ２との間隔、及びターゲットＴＧ４とターゲットＴＧ５との隔間は、それぞれ距離２ｅである。ターゲットＴＧ１とターゲットＴＧ４との間隔、及びターゲットＴＧ２とターゲットＴＧ５との隔間は、それぞれ距離２ｈである。ターゲットＴＧ１、ＴＧ２、ＴＧ４、ＴＧ５とターゲットＴＧ２とのＸ方向の間隔は、それぞれ距離ｅである。ターゲットＴＧ１、ＴＧ２、ＴＧ４、ＴＧ５とターゲットＴＧ２とのＹ方向の間隔は、それぞれ距離ｈである。

この状態で撮像装置１１により撮像された画像は、図１２（Ｂ）に示すように、ターゲットＴＧ１、ＴＧ２、ＴＧ４、ＴＧ５が矩形の各角部に配置され、ターゲットＴＧ３が矩形の中心に配置された像として取得される。

次に、図１３（Ａ）に示すように、図１２（Ａ）に示す状態から、撮像装置１１がターゲットＴＧ３の上方の位置ＡからＸＺ平面に沿って角度αだけ傾いて位置Ｂに変位した場合、撮像装置１１は、位置Ａから位置Ｂに距離ｄだけ−Ｘ側に変位することになる。なお、撮像装置１１とターゲットＴＧ３との距離Ｌは、位置Ａと位置Ｂとで変化しない。位置Ｂの撮像装置１１により撮像された画像は、図１３（Ｂ）に示すように、ターゲットＴＧ１とターゲットＴＧ２との間隔、及びターゲットＴＧ４とターゲットＴＧ５との隔間は、それぞれ距離２ｅより小さくなる。また、ターゲットＴＧ１とターゲットＴＧ４との間隔は距離２ｈより大きくなり、ターゲットＴＧ２とターゲットＴＧ５との隔間は距離２ｈより小さくなる。なお、撮像装置１１とターゲットＴＧ３との距離Ｌは変化しないことを前提する。

すなわち、位置Ｂの撮像装置１１を基準とすると、ターゲットＴＧ１、ＴＧ２、ＴＧ４、ＴＧ５で形成される矩形の平面は、撮像装置１１の撮像光軸ＡＸに直交する平面に対して傾いていることになる。また、撮像光軸ＡＸに直交する平面に対する傾きは、位置Ａから位置Ｂに変位した角度αに相当する。従って、図１３（Ｂ）の画像から、例えば、距離２ｈに対するターゲットＴＧ１とターゲットＴＧ４との間隔変化量、及び距離２ｈに対するターゲットＴＧ２とターゲットＴＧ５との間隔変化量に基づいて、演算により角度αを算出することができる。

なお、図１２及び図１３では、撮像装置１１がＸＺ平面に沿って傾いた場合について説明しているが、撮像装置１１がＹＺ平面に沿って傾いた場合についても同様に撮像光軸ＡＸに直交する平面に対する傾きを算出できる。この手法を用いることにより、ティーチングシステムＴＳは、撮像装置１１により撮像した移載先ＬＰ（ターゲット部材４０）の画像から、水平面に対する移載先ＬＰの傾きを算出することができる。その結果、ターゲット部材４０において移載先傾斜検出部４４が不要となり、ティーチングシステムＴＳのコスト増加を防止できる。

図１４及び図１５は、ティーチングシステムＴＳの他の例を示すブロック図である。上記した実施形態の構成では、生成部２０が本体部１０に設けられ、本体部１０により生成部２０が撮像装置１１、傾斜検出部１２、及び距離検出部１３と一体化された構成を例に挙げて説明しているが、この構成に限定されない。図１４に示すティーチングシステムＴＳ１は、生成部２０が移動体Ｖの車載コントローラＣにおける一部の機能として設けられている。すなわち、ティーチングシステムＴＳ１は、車載コントローラＣを含めて構成される。

図１４のティーチングシステムＴＳ１では、移動体Ｖに保持される本体部１０に撮像装置１１、傾斜検出部１２、及び距離検出部１３が設けられる。撮像装置１１により撮像した画像に関する情報、傾斜検出部１２により検出した撮像装置１１の傾きθに関する情報、及び距離検出部１３により検出した撮像装置１１から移載先ＬＰまでの距離Ｈに関する情報は、本体部１０に備える不図示の通信部により車載コントローラＣに送られ、各情報を生成部２０が取得する。

なお、移動体Ｖ１が本体部１０を保持する場合、移動体Ｖ１の車載コントローラＣ１に生成部２０が設けられてもよいし、移動体Ｖ１以外の移動体Ｖ２〜Ｖｎの車載コントローラＣ２〜Ｃｎのいずれかに生成部２０が設けられてもよい。生成部２０により生成されたティーチングデータ（補正ティーチングデータ）は、生成部２０が設けられた車載コントローラＣから、他の移動体Ｖの車載コントローラＣに配信される。

このティーチングシステムＴＳ１によれば、車載コントローラＣの機能の一部を用いてティーチングデータ（補正ティーチングデータ）を生成するので、ティーチングシステムＴＳ１の構成を簡略化できる。

図１５に示すティーチングシステムＴＳ２は、生成部２０が上位コントローラＣＵにおける一部の機能として設けられている。すなわち、ティーチングシステムＴＳ２は、上位コントローラＣＵを含めて構成される。なお、移動体Ｖに保持される本体部１０に撮像装置１１、傾斜検出部１２、及び距離検出部１３が設けられる点は、図１４のティーチングシステムＴＳ１と同様である。なお、生成部２０により生成されたティーチングデータ（補正ティーチングデータ）は、上位コントローラＣＵから各移動体Ｖの車載コントローラＣに配信される。図１５のティーチングシステムＴＳ２では、生成部２０が上位コントローラＣＵに設けられているが、上位コントローラＣＵ以外の処理装置に生成部２０が設けられてもよいし、本体部１０とは別の生成部２０専用の処理装置であってもよい。

このティーチングシステムＴＳ２によれば、上位コントローラＣＵ等の処理装置の機能の一部を用いてティーチングデータ（補正ティーチングデータ）を生成するので、ティーチングシステムＴＳ２の構成を簡略化できる。また、高性能な処理装置によりティーチングデータを生成するので、ティーチングデータ（補正ティーチングデータ）を早く生成することができる。

以上、実施形態について説明したが、本発明の技術的範囲は、上記した記載に限定されない。また、上記した実施形態に、多様な変更又は改良を加えることが可能であることが当業者において明らかである。そのような変更又は改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれる。例えば、上記した実施形態では、ティーチングシステムＴＳを用いて移動体Ｖの機差データを生成しているが、この形態に限定されない。例えば、移動体Ｖの機差データは、他の装置等で生成させ、この機差データをティーチングシステムＴＳが取得してティーチングデータを生成させる構成であってもよい。

また、特許請求の範囲、明細書及び図面中において示したシステム、方法、装置、プログラム及び記録媒体における動作、ステップ等の各処理の実行順序は、前の処理の出力を後の処理で用いるものでない限り、任意の順序で実現可能である。また、上記した実施形態における動作に関して、便宜上「まず」、「次に」、「続いて」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須ではない。

ＡＸ・・・撮像光軸
Ｃ、Ｃ１〜Ｃｍ・・・車載コントローラ
ＩＭ１、ＩＭ２・・・画像
ＬＰ・・・移載先
ＬＰ１・・・第１移載先
ＬＰ２・・・第２移載先
ＬＰｍ・・・第ｍ移載先
ＭＳＴ・・・基準移載先
Ｔ・・・軌道
ＴＳ、ＴＳ１、ＴＳ２・・・ティーチングシステム
Ｕ・・・移載装置
Ｖ、Ｖ１〜Ｖｎ・・・移動体
１・・・物品
２・・・保持部
３・・・昇降部
８・・・横出し機構
９・・・ピン
９Ａ、９Ｂ・・・像
１１・・・撮像装置
１２・・・傾斜検出部
１３・・・距離検出部
２０・・・生成部
２６・・・補正部
４０・・・ターゲット部材
４３・・・発光部（目印）
４４・・・移載先傾斜検出部
１００・・・搬送システム
１１０・・・ティーチングユニット

Claims (8)

1. 移載先に対して上方に設けられた軌道に沿って走行して前記移載先に対して物品を移載する移動体に保持される撮像装置と、前記撮像装置により上方から前記移載先を撮像した画像を用いて、その移載先に対して前記移動体が物品を移載するためのティーチングデータを生成する生成部と、を備えるティーチングシステムであって、
   鉛直方向に対する前記撮像装置の傾きを検出する傾斜検出部と、
   前記撮像装置と前記移載先との距離を検出する距離検出部と、
   前記傾斜検出部の検出結果及び前記距離検出部の検出結果に基づいて、前記生成部により生成された前記ティーチングデータを補正する補正部と、を備える、ティーチングシステム。
2. 前記生成部は、前記距離検出部の検出結果に基づいて、前記移載先に対して物品を移載するための高さ方向の前記ティーチングデータを生成する、請求項１に記載のティーチングシステム。
3. 水平方向に対する前記移載先の傾きを検出する移載先傾斜検出部を備え、
   前記補正部は、前記移載先傾斜検出部の検出結果に基づいて、前記生成部により生成された前記ティーチングデータを補正する、請求項１又は請求項２に記載のティーチングシステム。
4. 前記移載先傾斜検出部は、前記撮像装置により撮像された前記移載先の画像を用いて、前記移載先の水平方向に対する傾きを検出する、請求項３に記載のティーチングシステム。
5. 前記撮像装置により上方から撮像可能な位置に複数の目印が設けられ、前記ティーチングデータを取得する際の前記移載先に載置されるターゲット部材を備え、
   前記移載先傾斜検出部は、前記ターゲット部材に設けられる、請求項３に記載のティーチングシステム。
6. 物品を搬送しかつ移載先に対して物品を移載する移動体を含む搬送システムであって、
   請求項１から請求項５のいずれか一項に記載のティーチングシステムを備える、搬送システム。
7. 複数の前記移載先にわたって設置された軌道を含み、
   前記移動体は、前記軌道を走行する走行部と、物品を保持する保持部と、前記走行部から吊り下げて前記保持部を支持しかつ前記保持部を昇降させる昇降部と、を有し、
   前記撮像装置は、前記保持部に保持される、請求項６に記載の搬送システム。
8. 移動体に保持される撮像装置により上方から移載先を撮像した画像を用いて、その移載先に対して前記移動体が物品を移載するためのティーチングデータを生成する方法であって、
   鉛直方向に対する前記撮像装置の傾きを傾斜検出部により検出することと、
   前記撮像装置と前記移載先との距離を距離検出部により検出することと、
   前記傾斜検出部の検出結果及び前記距離検出部の検出結果に基づいて、生成された前記ティーチングデータを補正することと、を含む、ティーチングデータ生成方法。

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