JP2016047747A - 移載位置決定方法 - Google Patents
移載位置決定方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016047747A JP2016047747A JP2014172763A JP2014172763A JP2016047747A JP 2016047747 A JP2016047747 A JP 2016047747A JP 2014172763 A JP2014172763 A JP 2014172763A JP 2014172763 A JP2014172763 A JP 2014172763A JP 2016047747 A JP2016047747 A JP 2016047747A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- overhead traveling
- traveling vehicle
- respect
- transfer
- unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
Abstract
Description
dx=XP2−XP1=h×sinθF+h×sinθP・・・(1)
sinθF≒θF・・・(2)
sinθP≒θP・・・(3)
sin(θF+θP)≒θF+θP・・・(4)
dx≒h×(θF+θP)≒h×sin(θF+θP)・・・(5)
Claims (5)
- 被搬送物を搬送する天井走行車と前記被搬送物が載置される移載部とを備える天井搬送システムにおける移載位置決定方法であって、
前記天井走行車が前記被搬送物を前記移載部に載置する際における前記天井走行車の位置を示す荷降ろし位置、及び前記天井走行車が前記移載部に載置されている前記被搬送物を把持する際における前記天井走行車の位置を示す荷掴み位置のうちの一方を取得する第一工程と、
前記被搬送物が前記天井走行車に吊り下げられている際における水平面に対する前記被搬送物の傾斜角度と水平面に対する前記移載部の傾斜角度とに基づく角度パラメータを取得する第二工程と、
前記荷降ろし位置及び前記荷掴み位置のうちの一方と前記角度パラメータとに基づいて、前記荷降ろし位置及び前記荷掴み位置のうちの他方を決定する第三工程と、を含む、移載位置決定方法。 - 前記第二工程では、前記被搬送物が前記天井走行車に吊り下げられている際における水平面に対する前記被搬送物の傾斜角度と水平面に対する前記移載部の傾斜角度との和を前記角度パラメータとして取得する、請求項1記載の移載位置決定方法。
- 前記第一工程では、前記天井走行車及び前記移載部のうちの一方に搭載されるティーチングユニットを用いた測定により、前記荷降ろし位置及び前記荷掴み位置のうちの一方を取得し、
前記第二工程では、前記ティーチングユニットを用いた測定により、前記角度パラメータを取得し、
前記ティーチングユニットは、前記天井走行車及び前記移載部のうちの他方から離間した状態で前記移載部の基準位置に対する前記天井走行車の位置を検出する位置検出部と、前記天井走行車及び前記移載部のうちの前記他方から離間した状態で前記移載部の基準面に対する前記天井走行車の傾きを検出する傾き検出部と、を備える、請求項1又は2記載の移載位置決定方法。 - 前記天井搬送システムは、前記天井走行車を複数備えており、
前記第二工程では、
複数の前記天井走行車のそれぞれについて、前記被搬送物が前記天井走行車に吊り下げられている際における水平面に対する前記被搬送物の傾斜角度のうち当該天井走行車に固有の要因に基づいて生じる個体差角度を取得し、
前記被搬送物が複数の前記天井走行車のうちから選択された一の天井走行車である基準天井走行車に吊り下げられている際における水平面に対する前記被搬送物の傾斜角度と水平面に対する前記移載部の傾斜角度とに基づく基準角度パラメータを取得し、
複数の前記天井走行車のうち前記基準天井走行車でない前記天井走行車に関する前記角度パラメータを、当該天井走行車と前記基準天井走行車との前記個体差角度の差分及び前記基準角度パラメータに基づいて算出する、請求項1〜3のいずれか一項記載の移載位置決定方法。 - 前記第二工程では、前記被搬送物が前記天井走行車に吊り下げられている際における水平面に対する前記被搬送物の傾斜角度を、前記天井走行車に設けられた傾斜角度測定部により測定する、請求項1記載の移載位置決定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014172763A JP6119699B2 (ja) | 2014-08-27 | 2014-08-27 | 移載位置決定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014172763A JP6119699B2 (ja) | 2014-08-27 | 2014-08-27 | 移載位置決定方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016047747A true JP2016047747A (ja) | 2016-04-07 |
JP6119699B2 JP6119699B2 (ja) | 2017-04-26 |
Family
ID=55648899
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014172763A Active JP6119699B2 (ja) | 2014-08-27 | 2014-08-27 | 移載位置決定方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6119699B2 (ja) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2017199593A1 (ja) * | 2016-05-20 | 2019-03-14 | 村田機械株式会社 | 搬送車及び搬送方法 |
CN110235235A (zh) * | 2017-04-06 | 2019-09-13 | 村田机械株式会社 | 桥式输送车系统以及示教单元 |
JP2020193081A (ja) * | 2019-05-29 | 2020-12-03 | 村田機械株式会社 | ティーチングシステム、搬送システム、及びティーチングデータ生成方法 |
JP2021011326A (ja) * | 2019-07-03 | 2021-02-04 | 株式会社ダイフク | 検査システム |
CN112577453A (zh) * | 2019-09-27 | 2021-03-30 | 株式会社大福 | 位置关系检测系统 |
JP2021187563A (ja) * | 2020-05-26 | 2021-12-13 | 株式会社ダイフク | 天井搬送車、ティーチングユニット及び天井搬送車における移載位置学習方法 |
JP2022061622A (ja) * | 2020-10-07 | 2022-04-19 | 村田機械株式会社 | 天井搬送車及び天井搬送車における巻取ドラムの回転量算出方法 |
JPWO2022107448A1 (ja) * | 2020-11-18 | 2022-05-27 | ||
KR20230076583A (ko) * | 2021-11-24 | 2023-05-31 | 세메스 주식회사 | Oht 비히클 및 이의 동작 제어 방법 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10176916A (ja) * | 1996-12-18 | 1998-06-30 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | 多面体の位置測定方法および装置 |
JPH11349280A (ja) * | 1998-06-05 | 1999-12-21 | Shinko Electric Co Ltd | 懸垂式搬送装置 |
JP2009035403A (ja) * | 2007-08-03 | 2009-02-19 | Asyst Technologies Japan Inc | 搬送システム、及び該搬送システムにおける教示方法 |
JP2010087358A (ja) * | 2008-10-01 | 2010-04-15 | Muratec Automation Co Ltd | 搬送システム及びズレ検出用治具 |
JP2012076852A (ja) * | 2010-09-30 | 2012-04-19 | Muratec Automation Co Ltd | 移載システム |
-
2014
- 2014-08-27 JP JP2014172763A patent/JP6119699B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10176916A (ja) * | 1996-12-18 | 1998-06-30 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | 多面体の位置測定方法および装置 |
JPH11349280A (ja) * | 1998-06-05 | 1999-12-21 | Shinko Electric Co Ltd | 懸垂式搬送装置 |
JP2009035403A (ja) * | 2007-08-03 | 2009-02-19 | Asyst Technologies Japan Inc | 搬送システム、及び該搬送システムにおける教示方法 |
JP2010087358A (ja) * | 2008-10-01 | 2010-04-15 | Muratec Automation Co Ltd | 搬送システム及びズレ検出用治具 |
JP2012076852A (ja) * | 2010-09-30 | 2012-04-19 | Muratec Automation Co Ltd | 移載システム |
Cited By (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2017199593A1 (ja) * | 2016-05-20 | 2019-03-14 | 村田機械株式会社 | 搬送車及び搬送方法 |
CN110235235A (zh) * | 2017-04-06 | 2019-09-13 | 村田机械株式会社 | 桥式输送车系统以及示教单元 |
JPWO2018186021A1 (ja) * | 2017-04-06 | 2019-11-21 | 村田機械株式会社 | 天井搬送車システム及びティーチングユニット |
TWI748074B (zh) * | 2017-04-06 | 2021-12-01 | 日商村田機械股份有限公司 | 高架搬運車系統及教學裝置 |
CN110235235B (zh) * | 2017-04-06 | 2023-01-06 | 村田机械株式会社 | 桥式输送车系统以及示教单元 |
JP2020193081A (ja) * | 2019-05-29 | 2020-12-03 | 村田機械株式会社 | ティーチングシステム、搬送システム、及びティーチングデータ生成方法 |
JP2021011326A (ja) * | 2019-07-03 | 2021-02-04 | 株式会社ダイフク | 検査システム |
JP7192732B2 (ja) | 2019-09-27 | 2022-12-20 | 株式会社ダイフク | 位置関係検出システム |
CN112577453A (zh) * | 2019-09-27 | 2021-03-30 | 株式会社大福 | 位置关系检测系统 |
JP2021054552A (ja) * | 2019-09-27 | 2021-04-08 | 株式会社ダイフク | 位置関係検出システム |
CN112577453B (zh) * | 2019-09-27 | 2024-08-16 | 株式会社大福 | 位置关系检测系统 |
TWI841772B (zh) * | 2019-09-27 | 2024-05-11 | 日商大福股份有限公司 | 位置關係檢測系統 |
JP7310716B2 (ja) | 2020-05-26 | 2023-07-19 | 株式会社ダイフク | 天井搬送車、ティーチングユニット及び天井搬送車における移載位置学習方法 |
JP2021187563A (ja) * | 2020-05-26 | 2021-12-13 | 株式会社ダイフク | 天井搬送車、ティーチングユニット及び天井搬送車における移載位置学習方法 |
JP7310774B2 (ja) | 2020-10-07 | 2023-07-19 | 村田機械株式会社 | 天井搬送車及び天井搬送車における巻取ドラムの回転量算出方法 |
JP2022061622A (ja) * | 2020-10-07 | 2022-04-19 | 村田機械株式会社 | 天井搬送車及び天井搬送車における巻取ドラムの回転量算出方法 |
WO2022107448A1 (ja) * | 2020-11-18 | 2022-05-27 | 村田機械株式会社 | 搬送車システム |
JPWO2022107448A1 (ja) * | 2020-11-18 | 2022-05-27 | ||
KR20230076583A (ko) * | 2021-11-24 | 2023-05-31 | 세메스 주식회사 | Oht 비히클 및 이의 동작 제어 방법 |
KR102579642B1 (ko) * | 2021-11-24 | 2023-09-15 | 세메스 주식회사 | Oht 비히클 및 이의 동작 제어 방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6119699B2 (ja) | 2017-04-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6119699B2 (ja) | 移載位置決定方法 | |
JP6146537B2 (ja) | ティーチングユニット及びティーチング方法 | |
JP6710622B2 (ja) | 搬送装置および搬送方法 | |
US20160133502A1 (en) | Wafer transfer robot, method of controlling the same, and method of manufacturing a semiconductor device using the same | |
US10923370B2 (en) | Transport system and transport method | |
JP5544414B2 (ja) | センサキャリアにより基板処理システム内の物体の位置を自動的に測定して教示する方法および関連するセンサキャリア | |
US10494178B2 (en) | Teaching apparatus, transport system, and method for measuring positioning pins | |
US10042356B2 (en) | Substrate processing apparatus, method for correcting positional displacement, and storage medium | |
CN104979229B (zh) | 硅片分布状态图像组合检测方法及装置 | |
JP2008109027A (ja) | 基板処理装置、基板受け渡し位置の調整方法及び記憶媒体 | |
TW201611173A (zh) | 基板運送裝置、基板運送方法及記錄媒體 | |
WO2014115472A1 (ja) | 移載装置及び移載方法 | |
JP7192732B2 (ja) | 位置関係検出システム | |
US7596425B2 (en) | Substrate detecting apparatus and method, substrate transporting apparatus and method, and substrate processing apparatus and method | |
KR102220336B1 (ko) | 호이스트 모듈의 티칭 방법 및 이를 수행하기 위한 장치 | |
KR20180119967A (ko) | 호이스트 모듈의 티칭 방법 및 이를 수행하기 위한 장치 | |
KR102247038B1 (ko) | 호이스트 모듈의 위치 보정 방법 | |
CN110364461B (zh) | 晶圆状态检测设备、方法及晶圆装卸载腔室 | |
JPWO2018186021A1 (ja) | 天井搬送車システム及びティーチングユニット | |
US20220258990A1 (en) | Substrate transfer device and substrate transfer method | |
JP2017030945A (ja) | 搬送車への移載データのティーチング方法とティーチングシステム | |
CN116783127A (zh) | 空中搬送车 | |
CN116349001A (zh) | 机器人以及基板姿势检查方法 | |
CN116547112A (zh) | 机器人以及手部姿势调整方法 | |
JP6959500B2 (ja) | プローバおよびプリアライメント方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160715 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160726 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160923 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170228 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170313 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6119699 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |