CN110235235A - 桥式输送车系统以及示教单元 - Google Patents

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Abstract

本发明提供桥式输送车系统以及示教单元。桥式输送车系统具备：桥式输送车，输送被输送物；以及示教单元，用于通过桥式输送车向载放被输送物的移载部移载被输送物时的示教。示教单元具有：单元主体部，具有通过与设置于移载部的定位部件接触来检测该定位部件的位置的检测部；以及凸缘部，相对于单元主体部被设置为升降自如，保持于通过桥式输送车的升降部来升降的保持部。

Description

桥式输送车系统以及示教单元
技术领域
本发明的一个方面涉及桥式输送车系统以及示教单元。
背景技术
作为现有的桥式输送车系统，已知有具备输送被输送物的桥式输送车、以及用于通过桥式输送车向载放被输送物的移载部移载被输送物时的示教的示教单元的系统(例如参照专利文献1)。在这样的桥式输送车系统中，示教单元的凸缘部保持于通过桥式输送车的升降部来升降的保持部。在示教单元中设置有触摸面板等检测部，该检测部与移载部的定位部件接触而检测定位部件的位置。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本专利第3479969号公报
发明内容
发明要解决的课题
在上述那样的桥式输送车系统中，当在示教时使示教单元的检测部与定位部件接触时，由于通过该接触而施加的冲击载荷等而示教单元上下移动，凸缘部有可能从保持部分离或者偏离等。在该情况下，难以正确地进行示教。
因此，本发明的一个方面的目的在于提供能够可靠地保持示教单元的凸缘部并正确地进行示教的桥式输送车系统以及示教单元。
用于解决课题的手段
本发明的一个方面所涉及的桥式输送车系统具备：桥式输送车，输送被输送物；以及示教单元，用于通过桥式输送车向载放被输送物的移载部移载被输送物时的示教，示教单元具有：单元主体部，具有通过与设置于移载部的定位部件接触来检测该定位部件的位置的检测部；以及凸缘部，相对于单元主体部被设置为升降自如，保持于通过桥式输送车的升降部来升降的保持部。
在该桥式输送车系统中，由保持部保持的凸缘部相对于单元主体部被设置为升降自如。因此，当在示教时使示教单元的检测部与定位部件接触时，即便通过该接触而对示教单元施加了冲击载荷，也能够抑制保持部与凸缘部分离或者偏离。因而，能够可靠地保持示教单元的凸缘部，并正确地进行示教。
本发明的一个方面所涉及的桥式输送车系统也可以具备：动作检测部，在由保持部保持有凸缘部的状态下，对单元主体部相对于保持部的相对性上升动作进行检测；以及识别部，基于动作检测部的检测结果，对示教单元载放于定位部件且定位部件承受示教单元的重量的状态进行识别。根据该构成，在示教时，能够识别出示教单元达到了完全载放于定位部件的状态(所谓的示教水平)。
在本发明的一个方面所涉及的桥式输送车系统中也可以为，动作检测部具有：被检测部件，升降自如地设置于保持部，与单元主体部接触，并且与该单元主体部的上升连动而相对于保持部相对地上升；以及传感器，检测被检测部件相对于保持部的相对性上升。在该情况下，能够通过简单的构成来识别出示教水平的情况。
在本发明的一个方面所涉及的桥式输送车系统中也可以为，凸缘部经由可动机构相对于单元主体部被设置为在一定范围内升降自如。在该情况下，能够利用可动机构具体地实现凸缘部相对于单元主体部的升降自如的构成。
本发明的一个方面所涉及的示教单元为，在具备输送被输送物的桥式输送车的桥式输送车系统中，用于通过桥式输送车向载放被输送物的移载部移载被输送物时的示教，该示教单元具有：单元主体部，具有通过与设置于移载部的定位部件接触来检测该定位部件的位置的检测部；以及凸缘部，相对于单元主体部被设置为升降自如，保持于通过桥式输送车的升降部来升降的保持部。
在该示教单元中，由通过桥式输送车的升降部来升降的保持部保持的凸缘部，也相对于单元主体部被设置为升降自如。因此，当在示教时使示教单元的检测部与定位部件接触时，即便通过该接触而对示教单元施加了冲击载荷，也能够抑制保持部与凸缘部分离或者偏离。因而，能够可靠地保持示教单元的凸缘部，并正确地进行示教。
在本发明的一个方面所涉及的示教单元中也可以为，桥式输送车系统具备动作检测部，该动作检测部在由保持部保持有凸缘部的状态下检测单元主体部相对于保持部的相对性上升动作，动作检测部具有：被检测部件，升降自如地设置于保持部，与单元主体部接触，并且与该单元主体部的上升连动而相对于保持部相对地上升；以及传感器，检测被检测部件相对于保持部的相对性上升，在单元主体部上竖立设置有与动作检测部的被检测部件接触的接触部件。根据该构成，通过在示教时使接触部件与动作检测部的被检测部件接触，由此能够通过动作检测部检测单元主体部相对于保持部的相对性上升动作。基于动作检测部的检测结果，能够识别出在示教时示教单元达到了示教水平的情况。
发明的效果
根据本发明的一个方面，能够提供能够可靠地保持示教单元的凸缘部并正确地进行示教的桥式输送车系统以及示教单元。
附图说明
图1是表示一个实施方式所涉及的桥式输送车系统的图。
图2是从上方观察图1的示教单元的立体图。
图3是表示图1的示教单元的内部的立体图。
图4是从下方观察图1的示教单元的立体图。
图5(a)是表示在图1的示教单元中凸缘部位于上限位置时的可动机构的立体图。图5(b)是表示在图1的示教单元中凸缘部位于下限位置时的可动机构的立体图。
图6(a)是对通常时的示教单元的保持状态进行说明的截面图。图6(b)是对上下移动时的示教单元的保持状态进行说明的截面图。
图7是表示图1的示教单元的动作检测部的截面图。
图8是表示图1的目标板的立体图。
图9(a)是对在图1的桥式输送车系统中实施的示教进行说明的图。图9(b)是表示图9(a)的后续的图。
图10(a)是表示图9(b)的后续的图。图10(b)是表示图10(a)的后续的图。
具体实施方式
以下，参照附图对实施方式进行详细说明。在各图中，对于相同或者相当的部分赋予相同的符号，并省略重复的说明。“上”以及“下”的用语分别对应于铅垂方向的上方以及下方。
如图1所示，桥式输送车系统1具备行驶轨道2以及桥式输送车10。行驶轨道2例如铺设于制造半导体器件的无尘室内的顶棚附近。桥式输送车10沿着行驶轨道2行驶，例如，将掩模传输盒作为被输送物进行输送，并且在装载口(移载部)3进行被输送物的移载。装载口3例如设置于对半导体晶片实施各种处理的处理装置。以下，将与桥式输送车10的行驶方向平行的方向设为X方向，将与水平面平行且与桥式输送车10的行驶方向垂直的方向设为Y方向，将与铅垂方向平行的方向设为Z方向。
桥式输送车10具备行驶部11、横向进给部12、转动部13、升降部14、保持部15以及控制器16。行驶部11从沿着行驶轨道2铺设的高频电流线非接触地接受电力供给，由此沿着行驶轨道2行驶。横向进给部12使转动部13、升降部14以及保持部15沿着Y方向移动。转动部13使升降部14以及保持部15在水平面内转动。升降部14通过放出或者卷取在下端部安装有保持部15的多根带14a，由此使保持部15相对于装载口3升降。保持部15具有一对爪部件15a。保持部15通过使一对爪部件15a开闭来保持被输送物。
控制器16对桥式输送车10的各部的动作进行控制。控制器16基于所设定的移载条件对桥式输送车10的动作进行控制，使被输送物向装载口3移载。移载条件是用于将被输送物向装载口3移载的控制参数。例如，移载条件也可以包含将被输送物向装载口3移载时的、保持部15在X方向、Y方向以及Z方向上的各位置、以及保持部15在水平面内的旋转方向上的位置即θ方向位置。此外，例如，移载条件也可以包含将被输送物向装载口3移载时的、行驶部11的X方向位置(行驶部11的驱动量)、转动部13、升降部14以及保持部15的Y方向位置(横向进给部12的驱动量)、升降部14以及保持部15的θ方向位置(转动部13的驱动量)、以及保持部15的Z方向位置(升降部14的驱动量)。移载条件被记载于控制器16。作为移载条件，并无特别限定，也可以包含其他参数。
在桥式输送车系统1中，实施通过桥式输送车10向装载口3移载被输送物时的移载条件的示教。所谓示教是指：使桥式输送车10存储应实施的动作，以便在桥式输送车10为了在装载口3进行被输送物的移载而使行驶部11停止在行驶轨道2的规定位置并使保持部15下降了规定距离的状态下，能够得知保持部15的位置从目标位置偏离何种程度，并在桥式输送车系统1的运转时使从目标位置的偏离消失。桥式输送车系统1具备用于示教的示教单元20以及目标板30。
如图2～图4所示，示教单元20具备单元主体部21、凸缘部22、可动机构23、接触部件24、减速开始用传感器25以及单元控制器UC。此处的示教单元20是掩模传输盒用的单元。示教单元20具有与掩模传输盒相同的尺寸。
单元主体部21呈矩形箱状的外形。单元主体部21具有盖部21a以及底板21b。盖部21a构成为能够相对于底板21b安装以及拆卸。单元主体部21包括并列设置于底板21b的下表面的触摸面板(检测部)26a、26b。触摸面板26a、26b通过与设置于装载口3的目标板30的定位销32(参照图1)的前端接触来检测该定位销32的位置。触摸面板26a、26b具有沿着底板21b的下表面的触摸面。在底板21b的下表面上形成有较浅地凹陷为矩形状的凹部27，作为与另一个定位销32抵接的抵接部分，该另一个定位销32不同于与触摸面板26a、26b接触的定位销32。
凸缘部22保持于通过桥式输送车10的升降部14来升降的保持部15(参照图1)。凸缘部22呈与底板21b平行的矩形框板状。凸缘部22配置于示教单元20的上部中央。凸缘部22经由可动机构23在一定范围内升降自如地固定于底板21b。
可动机构23设置于底板21b上的规定方向的一侧以及另一侧。如图5所示，可动机构23是包括轨道23a以及升降块23b的线性引导机构。轨道23a竖立设置在底板21b上。升降块23b沿着轨道23a升降。升降块23b以能够沿着该轨道23a的长度方向滑动的方式安装于轨道23a的外侧。升降块23b固定于凸缘部22的下表面。
在轨道23a上设置有以朝向该轨道23a的侧方(图5的左右方向的一方)突出的方式延伸的上方限制部29a以及下方限制部29b。上方限制部29a以及下方限制部29b在上下方向上分离一定长度地设置。在升降块23b的下部设置有朝向轨道23a的内侧突出的止挡件28。止挡件28位于上方限制部29a与下方限制部29b之间。
由此，在升降块23b沿着轨道23a上升，且升降块23b与上方限制部29a接触的情况下，升降块23b的进一步的上升被限制，升降块23b位于上限位置(参照图5(a))。另一方面，在升降块23b沿着轨道23a下降，且升降块23b与下方限制部29b接触的情况下，升降块23b的进一步的下降被限制，升降块23b位于下限位置(参照图5(b))。根据这样的可动机构23，凸缘部22相对于单元主体部21被设置为，在与上方限制部29a以及下方限制部29b所分离的一定长度相应的一定范围内升降自如。
如图3所示，接触部件24具有支柱24a以及单元侧接触部24b。支柱24a竖立设置于底板21b的中央部。单元侧接触部24b是设置于支柱24a的前端、且将该支柱24a的轴向作为厚度方向的板部件。单元侧接触部24b与后述的被检测部件41(参照图7)接触。
如图1以及图3所示，减速开始用传感器25是如下的传感器：在通过升降部14使保持部15下降而使示教单元20接近目标板30时，对使其速度减速的开始定时进行检测。减速开始用传感器25为，在与目标板30之间的距离成为规定距离以下的情况下，向控制器16输出开启信号。作为减速开始用传感器25，并无特别限定，能够使用各种距离传感器。
单元控制器UC是对示教单元20的各种功能进行控制的控制部。单元控制器UC将与由触摸面板26a、26b(参照图4)检测到的定位销32的位置相关的信息向控制器16输出。
如图6(a)所示，示教单元20以其凸缘部22的外缘部由保持部15的一对爪部件15a从下方支承的方式被保持。此处，即便由于某种原因而保持部15相对于示教单元20进行了上下运动，凸缘部22也通过可动机构23而与该上下运动连动地升降。由此，如图6(b)所示，在凸缘部22中，与一对爪部件15a持续接触，而维持由保持部15保持的状态。
如图7以及图9所示，桥式输送车10具备动作检测部40。动作检测部40为，在由保持部15保持有凸缘部22的状态下，检测单元主体部21相对于保持部15的相对性上升动作。动作检测部40具有被检测部件41以及传感器42。
被检测部件41经由支承部件43升降自如地设置于保持部15的基座15c。被检测部件41包括杆44、夹具侧接触部45、螺旋弹簧46以及轧头47。杆44沿着上下方向延伸，并插通于支承部件43。夹具侧接触部45安装于杆44的下端。夹具侧接触部45与单元主体部21中的接触部件24的单元侧接触部24b抵接。螺旋弹簧46配置于杆44的周围。螺旋弹簧46相对于支承部件43将夹具侧接触部45朝下侧施力。
轧头47包括第1遮光板47a以及第2遮光板47b。第1遮光板47a以及第2遮光板47b例如由金属板一体地形成。轧头47的上端部经由连结部件48固定于杆44的上端而一体化。这样的被检测部件41与单元主体部51的接触部件24接触，并且与该单元主体部51的上升连动而相对于保持部15相对地上升。
传感器42检测被检测部件41相对于保持部15的相对性上升。传感器42包括第1光断续器42a以及第2光断续器42b。第1光断续器42a以第1遮光板47a能够在其光轴La上(第1光断续器42a的投光部与受光部之间)通过的方式安装于支承部件43。由此，第1光断续器42a能够检测第1遮光板47a的位置。第2光断续器42b以第2遮光板47b能够在其光轴Lb上(第2光断续器42b的投光部与受光部之间)通过的方式安装于支承部件43。由此，第2光断续器42b能够检测第2遮光板47b的位置。第1光断续器42a的光轴La以及第2光断续器42b的光轴Lb位于相同高度(在上下方向上为相同位置)。
构成传感器42的第1光断续器42a以及第2光断续器42b分别能够检测第1遮光板47a以及第2遮光板47b的位置。第1光断续器42a在检测到第1遮光板47a的情况下，其输出从关闭切换成开启。第2光断续器42b在检测到第2遮光板47b的情况下，其输出从关闭切换成开启。即，传感器42通过检测轧头47的位置，来检测被检测部件41(与被检测部件41连动的单元主体部21)相对于保持部15的相对性上升动作。传感器42将其检测结果向控制器16输出。
返回到图1，桥式输送车10在控制器16中包括识别部16a。识别部16a基于动作检测部40的检测结果，识别示教单元20载放于目标板30的定位销32且定位销32承受示教单元20的重量的状态。具体而言，识别部16a为，在第2光断续器42b的输出为开启的情况下，识别出示教单元20达到了完全载放于定位销32的状态(所谓的示教水平)。
如图8所示，目标板30具备基板31以及三个定位销32。基板31在被定位于装载口3的状态下安装于装载口3。定位销32是竖立设置于基板31的规定位置的定位部件。三个定位销32以其中两个与触摸面板26a、26b(参照图4)分别接触且另一个与凹部27(参照图4)接触的位置关系配置。
在如以上那样构成的桥式输送车系统1中，在实施示教时，如图1以及图9(a)所示，在桥式输送车10上搭载示教单元20，在装载口3设置目标板30。此时，凸缘部22由保持部15保持，动作检测部40的被检测部件41与单元主体部21的接触部件24抵接。然后，基于所设定的移载条件，行驶部11停止在行驶轨道2的规定位置，通过升降部14使保持部15下降规定距离。由此，示教单元20接近装载口3上的目标板30的定位销32。
在示教单元20与目标板30之间的距离成为规定距离以下的情况下，从减速开始用传感器25向控制器16输出开启信号，使保持部15的下降速度减速。如图9(b)所示，示教单元20与定位销32接触，示教单元20载放在定位销32上。
如图10(a)所示，当保持部15继续下降时，与接触部件24接触的被检测部件41被顶起。由此，如图7所示，轧头47的第2遮光板47b上升至第2光断续器42b的光轴Lb上，第2光断续器42b的输出成为开启。当第2光断续器42b的输出成为开启时，通过识别部16a(参照图1)识别为示教单元20达到了示教水平的状态。之后，如图10(b)所示，通过升降部14使保持部15上升，直到示教单元20从定位销32分离为止。这样的下降以及上升被进行规定次数，示教单元20的摆动被抑制。
接着，使保持部15下降，定位销32与示教单元20的触摸面板26a、26b(参照图4)接触，进行定位销32的位置检测。在反复实施了多次该位置检测之后，基于该检测结果，取得移载条件、针对移载条件的校正量作为示教数据。
以上，在桥式输送车系统1以及示教单元20中，由保持部15保持的凸缘部22相对于单元主体部21被设置为升降自如。因此，在使示教单元20的触摸面板26a、26b与定位销32接触时，即便通过该接触而对示教单元20施加了冲击载荷，或者保持部15相对于示教单元20进行了上下运动，也能够抑制保持部15与凸缘部22分离或者偏离。此外，能够抑制凸缘部22勾挂于保持部15。因而，能够可靠地保持示教单元20的凸缘部22，并能够正确地进行示教。
在桥式输送车系统1中，在由保持部15保持有凸缘部22的状态下，通过动作检测部40检测单元主体部21相对于保持部15的相对性上升动作。识别部16a基于动作检测部40的检测结果(第2光断续器42b的输出是否为开启)，来识别示教单元20载放于定位销32且定位销32承受示教单元20的重量的状态。由此，能够识别出示教水平、即在示教时达到了示教单元20完全载放于定位销32的状态。
在桥式输送车系统1中，动作检测部40具有升降自如地设置于保持部15的被检测部件41、以及检测被检测部件41相对于保持部15的相对性上升的传感器42。被检测部件41与单元主体部21接触，并且与该单元主体部21的上升连动而相对于保持部15相对地上升。传感器42检测被检测部件41相对于保持部15的相对性上升。由此，能够通过简单的构成来识别示教水平。
在桥式输送车系统1中，凸缘部22相对于单元主体部21经由可动机构23被设置为在一定范围内升降自如。由此，利用可动机构23，能够具体地实现凸缘部22相对于单元主体部21的升降自如的构成。
在示教单元20中，在单元主体部21竖立设置有接触部件24。通过在示教时使接触部件24与动作检测部40的被检测部件41接触，由此能够通过动作检测部40检测出单元主体部21相对于保持部15的相对性上升动作。其结果，基于动作检测部40的检测结果，能够识别出在示教时示教单元20达到了示教水平的情况。
另外，示教单元20是仅通过触摸面板26a、26b来检测定位销32的位置的触摸面板式的单元，因此与摄像机式以及激光式的单元相比，能够实现低成本化。在示教单元20为掩模传输盒用的情况下，该掩模传输盒的重心处于中心，桥式输送车10也被调整为水平。因此，在本实施方式中，无需进行相对于水平面的倾斜(角度)的示教。
以上，对实施方式进行了说明，但本发明的一个方案并不限定于上述实施方式。在上述实施方式中，将凸缘部22经由可动机构23设置于单元主体部21，但并不限定于此。只要凸缘部22相对于单元主体部21升降自如，则可以通过各种机构或者构成来设置凸缘部22。
在上述实施方式中，动作检测部40的构成并无特别限定。例如，动作检测部40也可以为，仅通过第2遮光板47b与第2光断续器42b的组来检测单元主体部21相对于保持部15的相对性上升动作。在上述实施方式中，作为检测部而使用了触摸面板26a、26b，但只要能够通过与定位销32接触来检测该定位销32的位置，则可以使用各种检测部。
在上述实施方式中，将示教单元20作为掩模传输盒用的单元，但并不限定于此。只要无需进行相对于水平面的倾斜(角度)的示教，则示教单元20也可以是FOUP(FrontOpening Unified Pod)用的单元。
符号的说明
1：桥式输送车系统；3：装载口(移载部)；10：桥式输送车；14：升降部；15：保持部；16a：识别部；20：示教单元；21：单元主体部；22：凸缘部；23：可动机构；24：接触部件；26a、26b：触摸面板(检测部)；32：定位销(定位部件)；40：动作检测部；41：被检测部件；42：传感器。

Claims (6)

1.一种桥式输送车系统，具备：
桥式输送车，输送被输送物；以及
示教单元，用于通过上述桥式输送车向载放上述被输送物的移载部移载上述被输送物时的示教，
上述示教单元具有：
单元主体部，具有通过与设置于上述移载部的定位部件接触来检测该定位部件的位置的检测部；以及
凸缘部，相对于上述单元主体部被设置为升降自如，保持于通过上述桥式输送车的升降部来升降的保持部。
2.如权利要求1所述的桥式输送车系统，还具备：
动作检测部，在由上述保持部保持有上述凸缘部的状态下，检测上述单元主体部相对于上述保持部的相对性上升动作；以及
识别部，基于上述动作检测部的检测结果，识别上述示教单元载放于上述定位部件且上述定位部件承受上述示教单元的重量的状态。
3.如权利要求2所述的桥式输送车系统，其中，
上述动作检测部具有：
被检测部件，升降自如地设置于上述保持部，与上述单元主体部接触，并且与该单元主体部的上升连动而相对于上述保持部相对地上升；以及
传感器，检测上述被检测部件相对于上述保持部的相对性上升。
4.如权利要求1至3中任一项所述的桥式输送车系统，其中，
上述凸缘部相对于上述单元主体部经由可动机构被设置为在一定范围内升降自如。
5.一种示教单元，在具备输送被输送物的桥式输送车的桥式输送车系统中，用于通过上述桥式输送车向载放上述被输送物的移载部移载上述被输送物时的示教，上述示教单元具有：
单元主体部，具有通过与设置于上述移载部的定位部件接触来检测该定位部件的位置的检测部；以及
凸缘部，相对于上述单元主体部被设置为升降自如，保持于通过上述桥式输送车的升降部来升降的保持部。
6.如权利要求5所述的示教单元，其中，
上述桥式输送车系统具备动作检测部，该动作检测部在由上述保持部保持有上述凸缘部的状态下检测上述单元主体部相对于上述保持部的相对性上升动作，
上述动作检测部具有：
被检测部件，升降自如地设置于上述保持部，与上述单元主体部接触，并且与该单元主体部的上升连动而相对于上述保持部相对地上升；以及
传感器，检测上述被检测部件相对于上述保持部的相对性上升，
在上述单元主体部竖立设置有与上述动作检测部的上述被检测部件接触的接触部件。
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