CN110326097A - 桥式输送车 - Google Patents

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CN110326097A CN201880013301.4A CN201880013301A CN110326097A CN 110326097 A CN110326097 A CN 110326097A CN 201880013301 A CN201880013301 A CN 201880013301A CN 110326097 A CN110326097 A CN 110326097A
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Abstract

本发明提供一种桥式输送车，具备：行驶部，沿着行驶轨道行驶；升降部，设置于行驶部；保持部，通过升降部而升降，保持容器所具有的凸缘部；定位部，相对于保持部升降自如，且与形成于凸缘部的凹部嵌合；检测部，检测定位部相对于保持部的相对性上升动作；以及控制部，在通过升降部使保持部下降的情况下，在由检测部检测到上升动作时，识别出容器配置在移载目的地的载放面上的情况。

Description

桥式输送车
技术领域
本发明涉及一种桥式输送车。
背景技术
已知有一种桥式输送车，具备：沿着行驶轨道行驶的行驶部；设置于行驶部的升降部；通过升降部升降，保持容器所具有的凸缘部的保持部；以及设置于保持部，对凸缘部进行检测的投受光式的光传感器(例如，参照专利文献1)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本专利第4239748号公报
发明内容
发明要解决的课题
在上述那样的桥式输送车中，例如，为了回收配置在移载目的地(装载口等)的载放面上的容器(FOUP(Front Opening Unified Pod)等)，而通过升降部使保持部下降。此时，构成为，投受光式的光传感器能够检测到容器所具有的凸缘部，因此能够识别出容器配置在移载目的地的载放面上的情况。但是，根据凸缘部的形状、颜色等的不同，有时难以正确地识别出容器配置在移载目的地的载放面上的情况。
本发明的目的在于提供一种桥式输送车，能够正确地识别出容器配置在移载目的地的载放面上的情况。
用于解决课题的手段
本发明的一个方面的桥式输送车具备：行驶部，沿着行驶轨道行驶；升降部，设置于行驶部；保持部，通过升降部而升降，保持容器所具有的凸缘部；定位部，相对于保持部升降自如，且与形成于凸缘部的凹部嵌合；检测部，检测定位部相对于保持部的相对性上升动作；以及控制部，在通过升降部使保持部下降的情况下，在由检测部检测到上升动作时，识别出容器配置在移载目的地的载放面上的情况。
该桥式输送车为，通过检测定位部相对于保持部的相对性上升动作，由此识别出容器配置在移载目的地的载放面上的情况。因而，例如，不会如使用投受光式的光传感器来检测容器的凸缘部的桥式输送车那样，受到凸缘部的形状、颜色等的影响。因此，根据该桥式输送车，能够正确地识别出容器配置在移载目的地的载放面上的情况。
在本发明的一个方面的桥式输送车中也可以为，控制部为，在通过升降部使保持部进一步下降的情况下，在由检测部检测到进一步的上升动作时，识别出保持部到达了保持位置的情况。据此，能够正确地识别出保持部到达保持了位置的情况。
本发明的一个方面的桥式输送车也可以为，还具备轧头，该轧头与定位部相对于保持部的相对性升降动作连动地升降自如，检测部对轧头的位置进行检测。据此，能够通过简单的构成来检测定位部相对于保持部的相对性上升动作。
在本发明的一个方面的桥式输送车中也可以为，轧头包括具有第1上端和第1下端的第1遮光板、以及具有第2上端和第2下端的第2遮光板，检测部包括对第1遮光板的位置进行检测的第1光断续器、以及对第2遮光板的位置进行检测的第2光断续器，第1下端与第2上端位于相同高度，第1光断续器的光轴与第2光断续器的光轴位于相同高度。据此，能够基于来自第1光断续器的受光部的输出以及来自第2光断续器的受光部的输出的双方进行判断，因此，能够更正确地检测定位部相对于保持部的相对性上升动作。
发明的效果
根据本发明，能够提供一种桥式输送车，能够正确地识别出容器配置在移载目的地的载放面上的情况。
附图说明
图1是一个实施方式的桥式输送车的主视图。
图2是图1所示的中心锥体及其周边部分的立体图。
图3是沿着图2所示的III-III线的截面图。
图4的(a)以及图4的(b)是用于对图1所示的桥式输送车的动作进行说明的图。
图5的(a)以及图5的(b)是用于对图1所示的桥式输送车的动作进行说明的图。
图6的(a)以及图6的(b)是用于对图1所示的桥式输送车的动作进行说明的图。
图7的(a)以及图7的(b)是用于对图1所示的桥式输送车的动作进行说明的图。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的实施方式进行详细说明。另外，在各图中对于相同或者相当部分赋予相同的符号，并省略重复的说明。
如图1所示，桥式输送车1沿着铺设于制造半导体器件的无尘室的顶棚附近的行驶轨道101行驶。桥式输送车1输送收纳有多个半导体晶片的FOUP(容器)90。桥式输送车1相对于设置于对半导体晶片实施各种处理的处理装置的装载口(移载目的地)102进行FOUP90的移载。即，桥式输送车1回收配置在装载口102的载放面102a上的FOUP90，或者在装载口102的载放面102a上配置FOUP90。
桥式输送车1具备行驶部2、横向进给部3、转动部4、升降部5、保持部6以及控制部7。行驶部2例如从沿着行驶轨道101铺设的高频电流线以无接触的方式接受电力供给，由此沿着行驶轨道101行驶。横向进给部3使转动部4、升降部5以及保持部6相对于行驶轨道101所延伸的方向在横向上移动。转动部4使升降部5以及保持部6在水平面内转动。升降部5通过放出或者卷取在下端部安装有保持部6的多根带5a，由此使保持部6升降。保持部6通过使一对爪部件6a开闭，由此保持FOUP90所具有的凸缘部91。控制部7对桥式输送车1的各部的动作进行控制。
桥式输送车1还具备中心锥体(定位部)8、轧头10以及检测部20。中心锥体8是为了将保持部6相对于FOUP90进行定位而与形成于凸缘部91的凹部91a嵌合的部件。中心锥体8、轧头10以及检测部20设置于保持部6。更具体而言，如图2以及图3所示，中心锥体8、轧头10以及检测部20由设置于保持部6的基座61的支承部件62支承。另外，在图2中，省略了基座61的图示。
在支承部件62上固定有一对引导件63。各引导件63是沿着铅垂方向延伸的筒状部件。在各引导件63中插入有杆64。各杆64的上端通过连结部件65而相互连结。中心锥体8安装于各杆64的下端。在中心锥体8与各引导件63之间，以被各杆64插通的状态配置有螺旋弹簧66。一对螺旋弹簧66相对于支承部件62将中心锥体8朝下侧施力。根据以上构成，中心锥体8将连结部件65与各引导件63的上端抵接的位置作为初始位置，而相对于保持部6升降自如。
轧头10包括第1遮光板11以及第2遮光板12。第1遮光板11以及第2遮光板12例如由金属板一体地形成，并固定于连结部件65。由此，第1遮光板11以及第2遮光板12与中心锥体8相对于保持部6的相对性升降动作连动地升降自如。第1遮光板11具有与水平方向平行的第1上端11a以及第1下端11b。第2遮光板12具有与水平方向平行的第2上端12a以及第2下端12b。第1上端11a与第1下端11b之间的距离和第2上端12a与第2下端12b之间的距离相等。第1下端11b以及第2上端12a位于相同高度(在上下方向上相同的位置)。
检测部20包括第1光断续器21以及第2光断续器22。第1光断续器21以第1遮光板11能够在其光轴21a上(第1光断续器21的投光部与受光部之间)通过的方式安装于支承部件62。由此，第1光断续器21能够检测出第1遮光板11的位置。第2光断续器22以第2遮光板12能够在其光轴22a上(第2光断续器22的投光部与受光部之间)通过的方式安装于支承部件62。由此，第2光断续器22能够检测出第2遮光板12的位置。第1光断续器21的光轴21a以及第2光断续器22的光轴22a位于相同高度(在上下方向上相同的位置)。在中心锥体8处于初始位置(即，连结部件65与各引导件63的上端抵接的位置)的状态下，第1遮光板11的第1上端11a位于比第1光断续器21的光轴21a靠下侧的位置。
如上述那样构成轧头10的第1遮光板11以及第2遮光板12，与中心锥体8相对于保持部6的相对性升降动作连动地升降自如。构成检测部20的第1光断续器21以及第2光断续器22分别能够检测出第1遮光板11以及第2遮光板12的位置。即，检测部20通过检测轧头10的位置，由此检测中心锥体8相对于保持部6的相对性上升动作。
参照图4至图7对如以上那样构成的桥式输送车1的动作的一例进行说明。此处，对回收配置在装载口102的载放面102a上的FOUP90时的桥式输送车1的动作的一例进行说明。
如图4的(a)所示，首先，控制部7在装载口102上方的规定位置处使基于行驶部2的行驶停止，并开始基于升降部5使保持部6下降。此时，如图4的(b)所示，中心锥体8处于初始位置(即，连结部件65与各引导件63的上端抵接的位置)，第1遮光板11的第1上端11a位于比第1光断续器21的光轴21a靠下侧的位置。即，来自第1光断续器21的受光部的输出以及来自第2光断续器22的受光部的输出均处于开启的状态。
如图5的(a)所示，当通过升降部5使保持部6进一步下降时，如图5的(b)所示，中心锥体8与凸缘部91的凹部91a嵌合，中心锥体8、第1遮光板11以及第2遮光板12相对于通过自重而下降的保持部6开始相对地上升。然后，第1遮光板11的第1上端11a从下侧到达第1光断续器21的光轴21a，来自第1光断续器21的受光部的输出从开启切换成关闭。由此，控制部7识别出FOUP90配置在装载口102的载放面102a上的情况(FOUP90存在于装载口102的载放面102a的情况)。即，控制部7为，在通过升降部5使保持部6下降的情况下，当由检测部20检测到上升动作时，识别出FOUP90配置在装载口102的载放面102a上的情况。
如图6的(a)所示，当通过升降部5使保持部6进一步下降时，如图6的(b)所示，中心锥体8、第1遮光板11以及第2遮光板12相对于通过自重而下降的保持部6进一步相对地上升。然后，第2遮光板12的第2上端12a从下侧到达第2光断续器22的光轴22a，来自第2光断续器22的受光部的输出从开启切换成关闭。此时，第1遮光板11的第1下端11b从下侧到达第1光断续器21的光轴21a，来自第1光断续器21的受光部的输出从关闭切换成开启。由此，控制部7识别出保持部6到达了保持位置(通过一对爪部件6a关闭而一对爪部件6a能够进入凸缘部91下侧的位置)的情况。即，控制部7为，在通过升降部5使保持部6进一步下降的情况下，当由检测部20检测到进一步的上升动作时，识别出保持部6到达了保持位置的情况。
控制部7为，当识别出保持部6到达了保持位置的情况时，停止基于升降部5使保持部6下降，使保持部6关闭一对爪部件6a，如图7的(a)所示，开始基于升降部5使保持部6上升。然后，中心锥体8、第1遮光板11以及第2遮光板12相对于上升的保持部相对地下降，直到进入凸缘部91下侧的一对爪部件6a的上表面与凸缘部91的下表面抵接为止。当一对爪部件6a的上表面与凸缘部91的下表面抵接时，如图7的(b)所示，第1遮光板11的第1下端11b从上侧到达第1光断续器21的光轴21a，来自第1光断续器21的受光部的输出从开启切换成关闭。此时，第2遮光板12的第2上端12a从上侧到达第2光断续器22的光轴22a，来自第2光断续器22的受光部的输出从关闭切换成开启。由此，控制部7识别出保持部6保持着FOUP90的凸缘部91的情况。
通过升降部5使保持了FOUP90的凸缘部91的保持部6上升，当保持部6到达规定位置时，控制部7停止基于升降部5使保持部6上升，并开始基于行驶部2的行驶。以上是回收配置在装载口102的载放面102a上的FOUP90时的桥式输送车1的动作的一例。
向装载口102的载放面102a上配置FOUP90时的桥式输送车1的动作的一例，与回收配置在装载口102的载放面102a上的FOUP90时的桥式输送车1的动作的一例相反。
首先，控制部7在装载口102上方的规定位置处使基于行驶部2的行驶停止，并开始基于升降部5使保持部6下降。此时，来自第1光断续器21的受光部的输出处于关闭状态，来自第2光断续器22的受光部的输出处于开启状态(参照图7的(b))。当通过升降部5使保持了FOUP90的凸缘部91的保持部6下降时，FOUP90被配置于装载口102的载放面102a。在该状态下，当通过升降部5使保持部6进一步下降时，如图6的(b)所示，中心锥体8、第1遮光板11以及第2遮光板12相对于通过自重而下降的保持部6进一步相对地上升。然后，第2遮光板12的第2上端12a从下侧到达第2光断续器22的光轴22a，来自第2光断续器22的受光部的输出从开启切换成关闭。此时，第1遮光板11的第1下端11b从下侧到达第1光断续器21的光轴21a，来自第1光断续器21的受光部的输出从关闭切换成开启。由此，控制部7识别出保持部6到达了保持的解除位置(通过一对爪部件6a打开而一对爪部件6a能够从凸缘部91下侧退出的位置)的情况。控制部7为，当识别出保持部6到达了保持的解除位置的情况时，停止基于升降部5使保持部6下降，使保持部6打开一对爪部件6a，开始基于升降部5使保持部6上升。通过升降部5使保持部6上升，当保持部6到达规定位置时，控制部7停止基于升降部5使保持部6上升，使基于行驶部2的行驶开始。
如以上说明的那样，桥式输送车1为，通过检测中心锥体8相对于保持部6的相对性上升动作，由此识别出FOUP90配置在装载口102的载放面102a上的情况。因而，例如，不会如使用投受光式的光传感器来检测FOUP90的凸缘部91的桥式输送车那样，受到凸缘部91的形状、颜色等的影响。因此，根据桥式输送车1，能够正确地识别出FOUP90配置在装载口102的载放面102a上的情况。
此外，控制部7为，在通过升降部5使保持部6进一步下降的情况下，当由检测部20检测到进一步的上升动作时，识别出保持部6到达了保持位置的情况。由此，能够正确地识别出保持部6到达了保持位置的情况。
尤其是，在上述构成中，检测中心锥体8相对于保持部6的相对性上升动作，因此检测精度提高。其原因在于，例如，凸缘部91的厚度在规格上未被确定，与此相对，中心锥体8所嵌合的凹部91a的尺寸以FOUP90的底面为基准在规格上确定。
此外，检测部20检测与中心锥体8相对于保持部6的相对性升降动作连动地升降自如的轧头10的位置。由此，能够通过简单的构成检测出中心锥体8相对于保持部6的相对性上升动作。
此外，轧头10包括具有第1上端11a以及第1下端11b的第1遮光板11、以及具有第2上端12a以及第2下端12b的第2遮光板12，检测部20包括检测第1遮光板11的位置的第1光断续器21、以及检测第2遮光板12的位置的第2光断续器22。并且，第1下端11b以及第2上端12a位于相同高度，第1光断续器21的光轴21a以及第2光断续器22的光轴22a位于相同高度。由此，能够基于来自第1光断续器21的受光部的输出以及来自第2光断续器22的受光部的输出的双方进行判断，因此能够更正确地检测出中心锥体8相对于保持部6的相对性上升动作。
另外，在上述构成中，在使基于升降部5的保持部6的下降动作停止时，在切换了来自第1光断续器21的受光部的输出以及来自第2光断续器22的受光部的输出之后，使保持部6例如移动数mm而停止(参照图6的(b))。由此，能够防止在来自第1光断续器21的受光部的输出以及来自第2光断续器22的受光部的输出中产生振荡。
此外，在上述构成中，不存在来自第1光断续器21的受光部的输出以及来自第2光断续器22的受光部的输出的双方同时成为关闭状态的情况。因而，在双方同时成为关闭状态的情况下，能够识别出第1光断续器21以及第2光断续器22中的至少一个发生了某种故障。
此外，例如，当仅通过第1遮光板11与第1光断续器21的组这一组来进行判断时，可能会产生如下的问题。即，在保持部6倾斜地保持了FOUP90的凸缘部91，由此来自第1光断续器21的受光部的输出成为开启状态时(在正常的情况下，如图7的(b)所示，来自第1光断续器21的受光部的输出为关闭状态)，控制部7有可能识别为保持部6未保持FOUP90的凸缘部91，而使一对爪部件6a打开。通过第1遮光板11与第1光断续器21的组、以及第2遮光板12与第2光断续器22的组这两组进行判断，在来自第1光断续器21的受光部的输出以及来自第2光断续器22的受光部的输出中的至少一个处于关闭状态时，不使一对爪部件6a打开，通过如此地进行运用，能够防止上述那样的事态。
此外，与投受光式的光传感器相比，光断续器等光电微传感器一般较廉价，因此上述构成在成本方面也较有利。此外，第1光断续器21以及第2光断续器22在保持部6中配置于基座61上侧、即保持部6内侧，因此具有如下的优点：难以受到干扰光的影响，保护免受来自外部的物理接触，布线的设置容易，一对爪部件6a的设计自由度较高。
以上，对本发明的一个实施方式进行了说明，但本发明并不限定于上述实施方式。例如，也可以仅通过第1遮光板11与第1光断续器21的组这一组来检测中心锥体8相对于保持部6的相对性上升动作。此外，只要能够检测中心锥体8相对于保持部6的相对性上升动作，则检测部20不限定于上述构成。此外，只要能够与形成于FOUP90的凸缘部91的某个凹部嵌合，则定位部不限定于中心锥体8。此外，也可以应用FOUP90以外的容器。
标号的说明
1：桥式输送车；2：行驶部；5：升降部；6：保持部；7：控制部；8：中心锥体(定位部)；10：轧头；11：第1遮光板；11a：第1上端；11b：第1下端；12：第2遮光板；12a：第2上端；12b：第2下端；20：检测部；21：第1光断续器；21a：光轴；22：第2光断续器；22a：光轴；90：FOUP(容器)；91：凸缘部；91a：凹部；101：行驶轨道；102：装载口(移载目的地)；102a：载放面。

Claims (4)

1.一种桥式输送车，具备：
行驶部，沿着行驶轨道行驶；
升降部，设置于上述行驶部；
保持部，通过上述升降部而升降，保持容器所具有的凸缘部；
定位部，相对于上述保持部升降自如，且与形成于上述凸缘部的凹部嵌合；
检测部，检测上述定位部相对于上述保持部的相对性上升动作；以及
控制部，在通过上述升降部使上述保持部下降的情况下，在由上述检测部检测到上述上升动作时，识别出上述容器配置在移载目的地的载放面上的情况。
2.如权利要求1所述的桥式输送车，其中，
上述控制部为，在通过上述升降部使上述保持部进一步下降的情况下，在由上述检测部检测到进一步的上述上升动作时，识别出上述保持部到达了保持位置的情况。
3.如权利要求1或2所述的桥式输送车，其中，
还具备轧头，该轧头与上述定位部相对于上述保持部的相对性升降动作连动地升降自如，
上述检测部检测上述轧头的位置。
4.如权利要求3所述的桥式输送车，其中，
上述轧头包括具有第1上端和第1下端的第1遮光板、以及具有第2上端和第2下端的第2遮光板，
上述检测部包括检测上述第1遮光板的位置的第1光断续器、以及检测上述第2遮光板的位置的第2光断续器，
上述第1下端和上述第2上端位于相同高度，
上述第1光断续器的光轴以及上述第2光断续器的光轴位于相同高度。
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