JP7456518B2 - 天井搬送車 - Google Patents

Description

本発明の一側面は、天井搬送車に関する。

特許文献１には、容器を移載する昇降台（保持部）と、昇降台に設けられ容器の上面に接触する容器接触部（位置決め部）と、を備えた天井搬送車が記載されている。特許文献１に記載された天井搬送車では、容器接触部が昇降台に対して高さ方向に移動自在に設けられ、昇降台に対する容器接触部の相対的な高さ位置が高さ検出部（検出部）により検出される。

国際公開２０１８／１７９９３１号

上述したような天井搬送車では、昇降台で容器を移載する際、容器が水平方向にずれた場合に、容器の上面に接触している容器接触部が高さ方向に動いてしまう（例えば、容器の上面の凹部、凸部又は傾き等によって、当該ずれが容器接触部の高さ方向への動きに変換されてしまう）可能性がある。この場合、高さ検出部により容器接触部の高さ位置を正確に求めることは困難である。

そこで、本発明の一側面は、昇降台に対する容器接触部の相対的な高さ位置を正確に求めることが可能な天井搬送車を提供することを目的とする。

本発明の一側面に係る天井搬送車は、容器を移載する昇降台と、容器の上面に接触し、昇降台に対して高さ方向に沿って移動自在に設けられた容器接触部と、昇降台に対する容器接触部の相対的な高さ位置を検出する高さ検出部と、を備え、容器接触部は、昇降台に対して水平方向に沿って移動自在に設けられている。

この天井搬送車では、容器が水平方向にずれた場合、当該ずれに応じて容器接触部が水平方向に動くことができる。その結果、当該ずれが容器接触部の高さ方向への動きへと変換されてしまうことを抑制することができる。よって、昇降台に対する容器接触部の相対的な高さ位置を正確に求めることが可能となる。

本発明の一側面に係る天井搬送車では、容器接触部は、容器の上面に形成された凹部に嵌まり込む位置決め部であってもよい。この場合、容器接触部により、容器に対して昇降台を位置決めすることが可能となる。

本発明の一側面に係る天井搬送車は、昇降台に取り付けられ、容器接触部に対して水平方向に沿って摺動可能な摺動部材を備え、容器接触部は、摺動部材を収容する収容空間を含んでいてもよい。これにより、容器接触部が昇降台に対して水平方向に沿って移動自在となる構成を具体的に実現できる。

本発明の一側面に係る天井搬送車は、摺動部材が収容空間内の所定位置に位置されるように容器接触部を付勢する付勢部を備えていてもよい。これにより、例えば容器接触部が容器の上面に接触していない無負荷時には、昇降台に対する容器接触部の位置を一定に維持させることができる。

本発明の一側面に係る天井搬送車では、付勢部は、摺動部材に設けられた第１磁石と、容器接触部に設けられた第２磁石と、を含んでいてもよい。この場合、第１磁石及び第２磁石の磁力を利用して、昇降台に対する容器接触部の位置を一定に維持させることができる。

本発明の一側面に係る天井搬送車では、収容空間は、容器接触部に設けられ上方に開口する開口部により画設され、開口部の開口の一部を塞ぐ蓋部材を更に備えていてもよい。この場合、蓋部材により、収容空間からの摺動部材の抜け外れを阻止することが可能となる。

本発明の一側面に係る天井搬送車では、容器接触部と摺動部材との間には、容器接触部よりも摩擦係数の小さいシート部材が設けられていてもよい。この場合、例えば容器の上面に容器接触部が接触している状態において、当該容器が水平方向にずれた場合に、シート部材により摺動部材と容器接触部とが摺動しやすくなる。これにより、容器の上面と容器接触部とが摺動することを抑制することができ、容器の上面の損傷を抑制することが可能となる。

本発明の一側面に係る天井搬送車では、容器接触部は、容器接触部よりも摩擦係数の大きい摩擦部材を介して容器の上面に接触してもよい。これにより、例えば容器の上面に容器接触部が接触している状態において、当該容器が水平方向にずれた場合に、摩擦部材により容器の上面と容器接触部とが摺動することを抑制することができ、容器の上面の損傷を抑制することが可能となる。

本発明の一側面に係る天井搬送車では、容器接触部は、昇降台に対して、水平方向に沿う第１方向、及び、水平方向に沿い且つ第１方向に直交する第２方向に移動自在であってもよい。これにより、容器が水平方向に沿う第１方向だけでなく第２方向にもずれた場合でも、当該ずれに応じて容器接触部が水平方向に動くことができる。

本発明の一側面によれば、昇降台に対する容器接触部の相対的な高さ位置を正確に求めることが可能な天井搬送車を提供することが可能となる。

図１は、第１実施形態に係る天井搬送車を示す正面図である。 図２は、図１のセンターコーンの周辺構成を示す断面図である。 図３は、図１の昇降台を示す下方斜視図である。 図４は、図１のセンターコーンの周辺構成を示す一部切欠き斜視断面図である。 図５（ａ）は、通常時の図１のセンターコーンの周辺構成を示す断面図である。図５（ｂ）は、図５（ａ）の一部を拡大して示す断面図である。 図６（ａ）は、ＦＯＵＰが水平方向にずれた場合における図１のセンターコーンの周辺構成を示す断面図である。図６（ｂ）は、図６（ａ）の一部を拡大して示す断面図である。 図７は、第２実施形態に係るセンターコーンの周辺構成を示す概略断面図である。 図８は、ＰＯＤが水平方向にずれた場合における図７のセンターコーンの周辺構成を示す概略断面図である。

以下、実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。

［第１実施形態］
第１実施形態について説明する。図１に示されるように、第１実施形態に係る天井搬送車１は、半導体デバイスが製造されるクリーンルームの天井付近に敷設された走行レール１０１に沿って走行する。天井搬送車１は、複数枚の半導体ウェハが収容されたＦＯＵＰ（容器）９０を搬送する。天井搬送車１は、半導体ウェハに各種処理を施す処理装置に設けられたロードポート（移載先）１０２に対してＦＯＵＰ９０の移載を行う。すなわち、天井搬送車１は、ロードポート１０２の載置面１０２ａに配置されているＦＯＵＰ９０を回収したり、ロードポート１０２の載置面１０２ａにＦＯＵＰ９０を配置したりする。

天井搬送車１は、走行部２と、ラテラルユニット３と、シータユニット４と、昇降駆動ユニット５と、昇降台６と、制御部７と、を備える。走行部２は、例えば、走行レール１０１に沿って敷設された高周波電流線から無接触で電力の供給を受けることにより、走行レール１０１に沿って走行する。ラテラルユニット３は、走行レール１０１が延在する方向に対して横方向に、シータユニット４、昇降駆動ユニット５及び昇降台６を移動させる。シータユニット４は、昇降駆動ユニット５及び昇降台６を水平面内において回動させる。

昇降駆動ユニット５は、下端部に昇降台６が取り付けられた複数本のベルト５ａを繰り出す又は巻き取ることにより、昇降台６を昇降（高さ方向に移動）させる。昇降台６は、ＦＯＵＰ９０を移載する。昇降台６は、一対の爪部材６ａを開閉させることにより、ＦＯＵＰ９０が有するフランジ部９１を保持又は開放する。制御部７は、天井搬送車１の各部の動作を制御する。

天井搬送車１は、センターコーン８と、ドグ１０と、高さ検出部２０と、を更に備えている。センターコーン８は、ＦＯＵＰ９０の上面に接触する容器接触部である。センターコーン８は、ＦＯＵＰ９０に対する昇降台６の位置決めのために、フランジ部９１の上面に形成された凹部９１ａに嵌まり込む位置決め部である。ここでは、センターコーン８は、下方から見て昇降台６の中央に位置しており、ＦＯＵＰ９０に対して昇降台６の中心位置を位置決め（センタリング）するセンタリング部材を構成する。センターコーン８、ドグ１０及び高さ検出部２０は、昇降台６に設けられている。

図２及び図３に示されるように、センターコーン８、ドグ１０及び高さ検出部２０は、昇降台６のベース６１に設けられた支持部材６２によって支持されている。支持部材６２には、一対のガイド６３が固定されている。各ガイド６３は、鉛直方向に延在する筒状の部材である。各ガイド６３には、ロッド６４が挿入されている。各ロッド６４の上端は、連結部材６５によって互いに連結されている。センターコーン８は、各ロッド６４の下端に取り付けられている。センターコーン８と各ガイド６３との間には、各ロッド６４が挿通された状態でコイルスプリング６６が配置されている。一対のコイルスプリング６６は、支持部材６２に対して下側にセンターコーン８を付勢している。

以上の構成により、センターコーン８、ロッド６４及び連結部材６５は、連結部材６５が各ガイド６３の上端に当接する位置を初期位置として、昇降台６に対して高さ方向（上下方向及び昇降方向）に沿って移動自在である。換言すると、センターコーン８、ロッド６４及び連結部材６５は、昇降台６に対して上下動自在である。

図２に示されるように、ドグ１０は、第１遮光板１１と、第２遮光板１２と、を含む。第１遮光板１１及び第２遮光板１２は、例えば金属板によって一体的に形成されており、連結部材６５に固定されている。これにより、第１遮光板１１及び第２遮光板１２は、昇降台６に対するセンターコーン８の相対的な昇降動作に連動して昇降自在である。第１遮光板１１は、水平方向に平行な第１上端１１ａ及び第１下端１１ｂを有している。第２遮光板１２は、水平方向に平行な第２上端１２ａ及び第２下端１２ｂを有している。第１上端１１ａと第１下端１１ｂとの距離は、第２上端１２ａと第２下端１２ｂとの距離と等しい。第１下端１１ｂ及び第２上端１２ａは、同一高さ（上下方向において同一の位置）に位置している。

高さ検出部２０は、第１フォトインタラプタ２１と、第２フォトインタラプタ２２と、を含んでいる。第１フォトインタラプタ２１は、その光軸２１ａ上（第１フォトインタラプタ２１の投光部と受光部との間）を第１遮光板１１が通過し得るように、支持部材６２に取り付けられている。これにより、第１フォトインタラプタ２１は、第１遮光板１１の位置を検出可能である。第２フォトインタラプタ２２は、その光軸２２ａ上（第２フォトインタラプタ２２の投光部と受光部との間）を第２遮光板１２が通過し得るように、支持部材６２に取り付けられている。これにより、第２フォトインタラプタ２２は、第２遮光板１２の位置を検出可能である。第１フォトインタラプタ２１の光軸２１ａ及び第２フォトインタラプタ２２の光軸２２ａは、同一高さ（上下方向において同一の位置）に位置している。センターコーン８が初期位置（すなわち、連結部材６５が各ガイド６３の上端に当接する位置）にある状態では、第１遮光板１１の第１上端１１ａは、第１フォトインタラプタ２１の光軸２１ａよりも下側に位置している。

上述したようにドグ１０を構成する第１遮光板１１及び第２遮光板１２は、昇降台６に対するセンターコーン８の相対的な昇降の動作に連動して昇降自在である。高さ検出部２０を構成する第１フォトインタラプタ２１及び第２フォトインタラプタ２２は、それぞれ、第１遮光板１１及び第２遮光板１２の位置（第１フォトインタラプタ２１及び第２フォトインタラプタ２２の各受光部からの出力のＯＮ／ＯＦＦ）を検出可能である。つまり、高さ検出部２０は、ドグ１０の位置を検出することにより、昇降台６に対するセンターコーン８の相対的な高さ位置を検出する。これにより、制御部７は、昇降台６に対するセンターコーン８の相対的な高さ位置に基づいて、例えば、ＦＯＵＰ９０がロードポート１０２に存在しているか否か、昇降台６が保持位置に到達したか否か、及び、昇降台６がＦＯＵＰ９０のフランジ部９１を保持しているか否かを認識する。

次に、センターコーン８の周辺構成について詳説する。

図４、図５（ａ）及び図５（ｂ）に示されるように、天井搬送車１は、センターコーン８、摺動部材３５、蓋部材９２、第１磁石９３、第２磁石９４及びシート部材９５を有する。センターコーン８は、下側に凸の外形を呈し、放物面状の下面８ａを含む。センターコーン８は、非磁性体で形成され、例えば樹脂で形成されている。センターコーン８の上面８ｂには、その縁部以外が凹んでなる段差８１が形成されている。段差８１の底面には、上方視におけるセンターコーン８の中央を含む位置に、上方に開口する開口部８２が形成されている。開口部８２は、上方視においてセンターコーン８と同心の円形状を呈する。開口部８２内には、摺動部材３５が収容されている。開口部８２は、摺動部材３５を収容する収容空間Ｒを画設する。

摺動部材３５は、円柱状を呈する部材である。摺動部材３５は、非磁性体で形成され、例えば樹脂で形成されている。摺動部材３５は、例えばステンレス鋼で形成された固定フランジ９６を介して、各ロッド６４（図２参照）の下端を連結する不図示の連結部材に固定されている。これにより、摺動部材３５は、昇降台６に取り付けられる。摺動部材３５は、上述したように、開口部８２（収容空間Ｒ）の内部に配置されている。摺動部材３５の径は、開口部８２の径よりも小さい。摺動部材３５の厚さは、開口部８２の深さよりも小さい。摺動部材３５は、収容空間Ｒの内部において、センターコーン８に対して水平方向に沿って摺動可能（移動可能）である。

蓋部材９２は、開口部８２の開口の一部を塞ぐ部材である。蓋部材９２は、孔９２ａを中心に有する円板状を呈する部材である。蓋部材９２は、非磁性体で形成され、例えば樹脂で形成されている。蓋部材９２は、センターコーン８と同軸となる状態で段差８１内に配置されると共に、センターコーン８に固定されている。蓋部材９２は、開口部８２の開口の外周部を塞ぐ。孔９２ａには、摺動部材３５に固定された固定フランジ９６の一部が挿通される。蓋部材９２は、摺動部材３５を収容する収容空間Ｒを画設する。

第１磁石９３は、円柱状を呈する部材である。第１磁石９３は、例えばネオジウムで形成されている。第１磁石９３は、摺動部材３５の中央に埋設されている。第２磁石９４は、円柱状を呈する部材である。第２磁石９４は、例えばネオジウムで形成されている。第２磁石９４は、センターコーン８の底面における中央に埋設されている。第２磁石９４は、第１磁石９３の磁極とは異なる磁極を有している。これにより、第１磁石９３と第２磁石９４との間には、引き合う力（吸引力）が作用している。第１磁石９３及び第２磁石９４は、摺動部材３５が収容空間Ｒ内の中央（所定位置）に位置するように、センターコーン８を付勢する付勢部を構成する。

シート部材９５は、センターコーン８と摺動部材３５との間に設けられている。シート部材９５は、センターコーン８よりも摩擦係数の小さい円形シート状の部材である。シート部材９５は、開口部８２の底面に敷設されている。

このような本実施形態の構成では、ＦＯＵＰ９０のフランジ部９１と接触していない無負荷時には、第１磁石９３と第２磁石９４との間の吸引力により、センターコーン８の位置が摺動部材３５と同軸になる中心位置を維持（中心位置に復帰）するように自動的に調心される。この状態では、センターコーン８は、摺動部材３５及び摺動部材３５が取り付けられた昇降台６に対して、水平方向に沿う第１方向、及び、水平方向に沿い且つ第１方向に直交する第２方向に移動自在である。つまり、センターコーン８は、昇降台６に対して水平方向のあらゆる方向に、一定量（収容空間Ｒの半径と摺動部材３５の半径との差）だけ移動自在（水平動自在）である。

次に、昇降台６の一対の爪部材６ａによりＦＯＵＰ９０を保持する動作を例示する。

昇降台６が下降され、フランジ部９１の凹部９１ａにセンターコーン８が嵌合する。昇降台６が保持位置に到達したとき、昇降台６の下降が停止される。一対の爪部材６ａが閉じ、一対の爪部材６ａがフランジ部９１の下側に進出する。その後、昇降台６が上昇され、フランジ部９１の下側に進出した一対の爪部材６ａとフランジ部９１の下面とが当接し、ＦＯＵＰ９０が持ち上げられる。これにより、図５（ａ）に示されるように、ＦＯＵＰ９０が保持される。通常時では、水平方向において各爪部材６ａとフランジ部９１との間には、例えば１ｍｍ程度のクリアランスが設けられている。通常時では、図５（ｂ）に示されるように、センターコーン８は、開口部８２の底面にシート部材９５を介して当接すると共に、摺動部材３５と同軸になる中心位置に位置している。

このとき、図６（ａ）に示されるように、ＦＯＵＰ９０に何らかの力が加わり、例えば爪部材６ａとフランジ部９１との間のクリアランスの分、水平方向にフランジ部９１がずれしてしまう場合がある。この点、本実施形態は、上述したように、センターコーン８の内部に水平方向に沿って摺動可能な構造を有しており、すなわち、センターコーン８が摺動部材３５（昇降台６）に対して水平方向に移動自在である。よって、当該ずれが発生した場合でも、センターコーン８は、摺動部材３５に対して水平方向に摺動し、フランジ部９１の動きに追従するようにフランジ部９１と一体で水平方向に移動する。その結果、センターコーン８の凹部９１ａへの嵌合をそのまま維持でき、凹部９１ａ外に向かってセンターコーン８が乗り上がる又は凹部９１ａ内に向かってセンターコーン８が降下することを抑制できる。

以上、本実施形態の天井搬送車１によれば、ＦＯＵＰ９０が水平方向にずれた場合、当該ずれに応じてセンターコーン８が水平方向に動くことができる。その結果、当該ずれがセンターコーン８の高さ方向への動きへと変換されてしまうことを抑制することができる。よって、高さ検出部２０により、昇降台６に対するセンターコーン８の相対的な高さ位置を正確に求めることが可能となる。フランジ部９１の水平方向の動きにセンターコーン８を追従させることで、高さ検出部２０の誤検知を防止することができる。また、水平方向においてセンターコーン８を介した振動伝達を低減することができる。また、フランジ部９１の上面とセンターコーン８とが摺動することを抑制することができ、フランジ部９１の上面の損傷（擦れ）を抑制することが可能となる。

天井搬送車１では、センターコーン８は、ＦＯＵＰ９０のフランジ部９１の上面に形成された凹部９１ａに嵌まり込む位置決め部である。この場合、センターコーン８により、ＦＯＵＰ９０に対して昇降台６を位置決めすることが可能となる。

天井搬送車１は、昇降台６に取り付けられセンターコーン８に対して水平方向に沿って摺動可能な摺動部材３５を備える。センターコーン８は、摺動部材３５を収容する収容空間Ｒを含む。これにより、センターコーン８が昇降台６に対して水平方向に沿って移動自在となる構成を具体的に実現できる。

天井搬送車１は、摺動部材３５が収容空間Ｒ内の中央に位置されるようにセンターコーン８を付勢する付勢部として、第１磁石９３及び第２磁石９４を備える。これにより、例えばセンターコーン８がフランジ部９１の上面に接触していない無負荷時には、昇降台６に対するセンターコーン８の位置を一定に維持させることができる。ここでは、センターコーン８が摺動部材３５と同軸になる中心位置を維持するように自動的に調心することができる。また、付勢部として第１磁石９３及び第２磁石９４を備えることから、第１磁石９３及び第２磁石９４の磁力を利用して、昇降台６に対するセンターコーン８の位置を一定に維持させることができる。無負荷での天井搬送車１の走行時において、異音の発生を抑制することができる。

天井搬送車１では、収容空間Ｒを画設する開口部８２の開口の一部を塞ぐ蓋部材９２を備える。この場合、蓋部材９２により、収容空間Ｒからの摺動部材３５の抜け外れを阻止することが可能となる。

天井搬送車１では、センターコーン８と摺動部材３５との間には、センターコーン８よりも摩擦係数の小さいシート部材９５が設けられている。この場合、例えばフランジ部９１の上面にセンターコーン８が接触している状態において、当該フランジ部９１が水平方向にずれた場合に、シート部材９５により摺動部材３５とセンターコーン８とが摺動しやすくなる。これにより、フランジ部９１の上面とセンターコーン８とが摺動することを抑制することができる。フランジ部９１の上面の損傷を抑制することが可能となる。

天井搬送車１では、センターコーン８は、昇降台６に対して、水平方向に沿う第１方向、及び、水平方向に沿い且つ第１方向に直交する第２方向に移動自在である。これにより、フランジ部９１が水平方向に沿う第１方向だけでなく第２方向にもずれた場合でも、当該ずれに応じてセンターコーン８が水平方向に動くことができる。

［第２実施形態］
第２実施形態について説明する。本実施形態の説明では、第１実施形態と異なる点につて説明し、重複する説明は省略する。

図７及び図８に示されるように、第２実施形態に係る天井搬送車１００が第１実施形態と異なる点は、容器としてＰＯＤ１９０を対象とし、センターコーン８（図２参照）に代えてセンターパッド１０８を容器接触部として備える点である。センターパッド１０８は、円柱状の外形を呈し、平面状の下面１０８ａを含む。センターパッド１０８は、ＰＯＤ１９０の平面状の上面１９１に当接する。センターパッド１０８の下面１０８ａには、センターパッド１０８よりも摩擦係数の大きいシート状の摩擦部材１０５が設けられている。センターパッド１０８は、摩擦部材１０５を介してＰＯＤ１９０の上面１９１に接触する。摩擦部材１０５は、例えばウレタンゴムにより形成されている。

本実施形態において、一対の爪部材６ａによりＰＯＤ１９０を保持する場合には、昇降台６が下降されてＰＯＤ１９０の上面１９１にセンターパッド１０８が当接した後、一対の爪部材６ａが閉じ、ＰＯＤ１９０の側面のフランジ部１９２の下側に一対の爪部材６ａが進出する。昇降台６が上昇され、一対の爪部材６ａによりフランジ部１９２を介してＰＯＤ１９０が持ち上げられる。

ここで、図７に示されるように、例えば一対の爪部材６ａが閉じる際、爪部材６ａがＰＯＤ１９０に接触してしまう場合がある。この場合、一般的な天井搬送車の構成では、一対の爪部材６ａが閉じ切らずにエラーとなったり、センターパッド１０８が上面１９１に対して擦れてしまったりする可能性がある。この点、本実施形態では、センターパッド１０８の内部に水平方向に沿って摺動可能な構造を有しており、すなわち、センターパッド１０８が摺動部材３５（昇降台６）に対して水平方向に移動自在である。よって、図８に示されるように、一対の爪部材６ａが閉じる際に爪部材６ａがＰＯＤ１９０に接触した場合、爪部材６ａにより水平方向にＰＯＤ１９０が押し込まれてずれるのに併せて、センターパッド１０８は、摺動部材３５に対して水平方向に摺動し、ＰＯＤ１９０の動きに追従するように当該ＰＯＤ１９０と一体で水平方向に移動する。その結果、センターパッド１０８とＰＯＤ１９０の上面１９１と当接を、両者を摺動させずにそのまま維持することができる。

以上、本実施形態の天井搬送車１００においても、昇降台６に対するセンターパッド１０８の相対的な高さ位置を正確に求めることが可能となる。また、ＰＯＤ１９０の上面１９１とセンターパッド１０８とが摺動することを抑制することができ、ＰＯＤ１９０の上面１９１の損傷（擦れ）を抑制することが可能となる。

天井搬送車１００では、センターパッド１０８よりも摩擦係数の大きい摩擦部材１０５を介して、センターパッド１０８がＰＯＤ１９０の上面１９１に接触している。これにより、ＰＯＤ１９０の上面１９１にセンターパッド１０８が接触している状態において、ＰＯＤ１９０が水平方向にずれた場合に、摩擦部材１０５によりＰＯＤ１９０の上面１９１とセンターパッド１０８とが摺動することを抑制することができ、ＰＯＤ１９０の上面１９１の損傷を抑制することが可能となる。

以上、実施形態について説明したが、本発明の一態様は上記実施形態に限定されない。

上記実施形態では、昇降台６に対するセンターコーン８の相対的な上昇動作を検出することが可能であれば、高さ検出部２０は上述した構成に限定されない。上記実施形態では、容器の上面に接触することが可能であれば、容器接触部はセンターコーン８及びセンターパッド１０８に限定されず、ＦＯＵＰ９０及びＰＯＤ１９０以外の容器が適用されてもよい。

上記実施形態は、容器接触部を付勢する付勢部として第１磁石９３及び第２磁石９４を備えるが、付勢部は特に限定されない。容器接触部を付勢する（力を加える）ことができれば、種々の構成を付勢部として採用してもよい。例えばバネ又はゴムを付勢部として備え、その弾性力を利用して容器接触部を付勢してもよい。

上記実施形態及び変形例における各構成には、上述した材料及び形状に限定されず、様々な材料及び形状を適用することができる。上記実施形態又は変形例における各構成は、他の実施形態又は変形例における各構成に任意に適用することができる。上記実施形態又は変形例における各構成の一部は、本発明の一態様の要旨を逸脱しない範囲で適宜に省略可能である。

１，１００…天井搬送車、６…昇降台、８…センターコーン（容器接触部）、２０…高さ検出部、３５…摺動部材、８２…開口部、９０…ＦＯＵＰ（容器）、９１ａ…凹部、９２…蓋部材、９３…第１磁石（付勢部）、９４…第２磁石（付勢部）、９５…シート部材、１０５…摩擦部材、１０８…センターパッド（容器接触部）、１９０…ＰＯＤ（容器）、１９１…上面、Ｒ…収容空間。

Claims (8)

1. 容器を移載する昇降台と、
   前記容器の上面に接触し、前記昇降台に対して高さ方向に沿って移動自在に設けられた容器接触部と、
   前記昇降台に対する前記容器接触部の相対的な高さ位置を検出する高さ検出部と、
   前記昇降台に取り付けられ、前記容器接触部に対して水平方向に沿って摺動可能な摺動部材と、を備え、
   前記容器接触部は、前記昇降台に対して水平方向に沿って移動自在に設けられており、
   前記容器接触部は、前記摺動部材を収容する収容空間を含む、天井搬送車。
2. 前記容器接触部は、前記容器の上面に形成された凹部に嵌まり込む位置決め部である、請求項１に記載の天井搬送車。
3. 前記摺動部材が前記収容空間内の所定位置に位置されるように前記容器接触部を付勢する付勢部を備える、請求項１又は２に記載の天井搬送車。
4. 前記付勢部は、前記摺動部材に設けられた第１磁石と、前記容器接触部に設けられた第２磁石と、を含む、請求項３に記載の天井搬送車。
5. 前記収容空間は、前記容器接触部に設けられ上方に開口する開口部により画設され、
   前記開口部の開口の一部を塞ぐ蓋部材を更に備える、請求項１～４の何れか一項に記載の天井搬送車。
6. 前記容器接触部と前記摺動部材との間には、前記容器接触部よりも摩擦係数の小さいシート部材が設けられている、請求項１～５の何れか一項に記載の天井搬送車。
7. 前記容器接触部は、前記容器接触部よりも摩擦係数の大きい摩擦部材を介して前記容器の上面に接触する、請求項１～６の何れか一項に記載の天井搬送車。
8. 前記容器接触部は、前記昇降台に対して、水平方向に沿う第１方向、及び、水平方向に沿い且つ前記第１方向に直交する第２方向に移動自在である、請求項１～７の何れか一項に記載の天井搬送車。

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