KR20190016697A - 용기 이송 장치 - Google Patents

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Abstract

용기 이송 장치는 기판들이 수납된 용기가 안착되는 로딩 포트와, 상기 로딩 포트에 안착된 용기를 일정한 경로를 따라 이송하는 이송부와, 상기 용기의 이송 경로 상에 상기 로딩 포트와 인접하도록 배치되며, 상기 용기의 안착 정위치를 확인하기 위해 OHT에 구비된 센서로부터 조사되는 광을 반사시키는 반사판 및 상기 용기가 로딩 포트에 안착될 때는 상기 반사판이 상기 이송 경로 상의 반사 위치에 위치시키고, 상기 용기가 이송될 때는 상기 반사판이 상기 용기의 이송을 간섭하는 것을 방지하기 위해 상기 반사판을 상기 이송 경로 상에서 회피된 회피 위치에 위치시키는 구동부를 포함할 수 있다.

Description

용기 이송 장치{Apparatus for transferring container}
본 발명은 용기 이송 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 OHT(Overhead Hoist Transport)로부터 기판들이 적재된 용기를 전달받아 이송하기 위한 용기 이송 장치에 관한 것이다.
일반적으로, OHT는 기판들이 적재된 용기를 상기 기판에 대한 가공 공정을 수행하는 가공 장치의 로딩 포트로 로딩하거나, 상기 용기를 보관하기 위한 스토크의 로딩 포트로 로딩한다. 이때, 상기 OHT는 상기 가공 장치나 상기 스토크의 상방에 배치될 수 있다.
상기 OHT가 상기 용기를 상기 로딩 포트에 정확하게 로딩하도록 상기 용기를 상기 로딩 포트로 로딩하기 전에 상기 OHT에서 상기 용기를 파지하는 핸드 유닛의 위치를 정렬한다.
그러나, 상기 핸드 유닛의 위치 정렬은 작업자에 의해 수작업으로 이루어진다. 그러므로, 작업자의 숙련도에 따라 상기 핸드 유닛의 위치 오차가 발생하며, 상기 핸드 유닛의 위치 정렬에 소요되는 시간이 길어질 수 있다.
본 발명은 OHT에 파지된 용기를 정확한 위치에 안착시켜 이송할 수 있는 용기 이송 장치를 제공한다.
본 발명에 따른 용기 이송 장치는 기판들이 수납된 용기가 안착되는 로딩 포트와, 상기 로딩 포트에 안착된 용기를 일정한 경로를 따라 이송하는 이송부와, 상기 용기의 이송 경로 상에 상기 로딩 포트와 인접하도록 배치되며, 상기 용기의 안착 정위치를 확인하기 위해 OHT에 구비된 센서로부터 조사되는 광을 반사시키는 반사판 및 상기 용기가 로딩 포트에 안착될 때는 상기 반사판이 상기 이송 경로 상의 반사 위치에 위치시키고, 상기 용기가 이송될 때는 상기 반사판이 상기 용기의 이송을 간섭하는 것을 방지하기 위해 상기 반사판을 상기 이송 경로 상에서 회피된 회피 위치에 위치시키는 구동부를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 구동부는 상기 반사판을 상기 이송 경로와 평행한 방향이나 상기 이송 경로와 수직한 방향을 따라 회전시킬 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 구동부는 상기 반사판을 상기 이송 경로와 수직한 수평 방향이나 상기 이송 경로와 수직한 수직 방향을 따라 직선 이동시킬 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 용기 이송 장치는 상기 로딩 포트의 일측에 구비되며, 광을 조사하는 발광 센서 및 상기 일측과 반대되는 상기 로딩 포트의 타측에 구비되며, 상기 발광 센서에서 조사된 광을 수신하는 수광 센서로 이루어지는 감지부를 더 포함하며, 상기 감지부를 이용하여 상기 로딩 포트에 안착되기 위해 상기 OHT로부터 전달되는 상기 용기를 감지할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 감지부가 상기 용기를 서로 다른 높이에서 감지할 수 있도록 상기 발광 센서 및 상기 수광 센서는 각각 서로 다른 높이에 복수로 구비될 수 있다.
본 발명에 따른 용기 이송 장치는 용기가 이송되는 이송 경로 상에 로딩 포트와 인접하도록 반사판을 배치하여 OHT의 센서로부터 조사된 광을 반사한다. 상기 OHT에서 상기 반사광에 수신하고 수신된 광에 대한 정보를 이용하여 상기 OHT는 상기 용기의 수평 위치 및 수직 위치를 조절한다. 상기 OHT의 용기가 상기 수평 위치 및 상기 수직 위치가 조절된 상태로 상기 로딩 포트에 안착되므로, 상기 용기가 상기 정위치에 정확하게 안착될 수 있으며, 상기 용기가 상기 로딩 포트에 안착할 때 발생하는 충격을 최소화할 수 있다.
또한 상기 용기 이송 장치는 상기 용기가 상기 로딩 포트에 안착될 때는 상기 반사판이 상기 이송 경로 상의 반사 위치에 위치하도록 하고, 이송부에 의해 상기 용기가 이송될 때는 상기 반사판을 상기 이송 경로 상에서 회피된 회피 위치에 위치시킨다. 따라서, 상기 용기가 상기 반사판의 간섭없이 이송될 수 있다.
그리고, 상기 용기 이송 장치는 감지부를 이용하여 상기 로딩 포트에 안착되기 위해 상기 OHT로부터 전달되는 상기 용기를 감지한다. 상기 감지부가 서로 다른 여러 높이에서 상기 용기를 감지함으로써 상기 OHT로부터 상기 용기가 상기 로딩 포트로 전달되는 과정의 진행 상태를 용이하게 확인할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 용기 이송 장치를 설명하기 위한 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 용기 이송 장치에 용기가 안착된 상태를 설명하기 위한 정면도이다.
도 3은 도 2에 도시된 용기 이송 장치를 설명하기 위한 정면도이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 용기 이송 장치에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 용기 이송 장치를 설명하기 위한 평면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 용기 이송 장치에 용기가 안착된 상태를 설명하기 위한 정면도이며, 도 3은 도 2에 도시된 용기 이송 장치를 설명하기 위한 정면도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 용기 이송 장치(100)는 OHT(미도시)로부터 용기(10)를 전달받아 용기(10)에 적재된 기판에 대한 가공 공정을 수행하는 가공 장치나 용기(10)를 보관하기 위한 스토크로 이송한다.
용기(10)의 예로는 전면 개방 운반 용기(FOSB, Front Opening Shipping Box)와 전면 개방 일체식 포드(FOUP, Front Open Unified Pod)를 들 수 있다. 이외에도 용기(10)의 예로는 상기 OHT에 의해 이송될 수 있으면 어느 것이나 무방하다.
용기 이송 장치(100)는 로딩 포트(110), 이송부(120), 반사판(130), 구동부(140) 및 감지부(150)를 포함한다.
로딩 포트(110)는 상기 OHT로부터 전달되는 용기(10)가 안착된다. 로딩 포트(110)는 대략 중앙과 용기(10)가 이송되는 이송 방향의 일측이 개방된 사각의 평판 형태를 갖는다.
로딩 포트(110)에는 한 쌍의 전방 가이드 부재(112)들 및 한 쌍의 후방 가이드 부재(114)들이 구비될 수 있다.
전방 가이드 부재(112)들은 로딩 포트(110)의 상면에서 상기 이송 방향의 전방 양측에 각각 구비된다. 후방 가이드 부재(114)들은 로딩 포트(110)의 상면에서 상기 이송 방향의 후방 양측에 각각 구비된다. 따라서, 전방 가이드 부재(112)들과 후방 가이드 부재(114)들은 로딩 포트(110)의 네 모서리 부위에 배치될 수 있다.
전방 가이드 부재(112)들과 후방 가이드 부재(114)들은 용기(10)가 로딩 포트(110)에 안착될 때 용기(10)를 가이드한다. 따라서, 용기(10)가 로딩 포트(110)의 정위치에 안착될 수 있다.
전방 가이드 부재(112)들의 높이는 후방 가이드 부재(114)들의 높이보다 상대적으로 낮을 수 있다. 전방 가이드 부재(112)들의 높이가 상대적으로 낮으므로, 용기(10)의 이송을 위해 용기(10)를 상대적으로 적게 상승시킬 수 있다. 또한, 후방 가이드 부재(114)들의 높이가 상대적으로 높으므로 용기(10)의 안착시 용기(10)를 보다 안정적으로 가이드할 수 있다.
한편, 전방 가이드 부재(112)들과 후방 가이드 부재(114)들은 내측면에 로딩 포트(110)의 중앙 부위를 향해 경사지는 경사면을 각각 갖는다. 따라서, 용기(10)의 위치가 약간 틀어지더라도 용기가 전방 가이드 부재(112)들과 후방 가이드 부재(114)들은 내측면에 형성된 경사면을 따라 미끄러지면서 상기 정위치에 안착될 수 있다. 그러므로, 용기(10)를 보다 정확하게 상기 정위치에 안착시킬 수 있다.
로딩 포트(110)에는 적어도 하나의 센서(114)가 구비될 수 있다. 센서(114)는 전방 가이드 부재(112)들과 후방 가이드 부재(114)들 사이의 로딩 포트(110)의 상부면에 구비된다. 센서(114)의 예로는 용기(10)의 하중을 감지하는 하중 센서, 용기(10)의 접근을 감지하는 근접 센서 등을 들 수 있다.
센서(114)를 이용하여 로딩 포트(110)에 용기(10)가 안착되었는지 여부를 확인할 수 있다. 로딩 포트(110)에 용기(10)가 감지되는 경우, 상기 OHT에서 로딩 포트(10)로 용기(10)가 전달되는 것을 차단하여 로딩 포트(110)에 용기(10)가 이중으로 안착되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 로딩 포트(110)에 용기(10)가 감지되지 않는 경우, 상기 OHT에서 로딩 포트(10)로 용기(10)가 전달되도록 하여 로딩 포트(110)에 용기(10)가 신속하게 안착되도록 할 수 있다.
이송부(120)는 로딩 포트(110)에 안착된 용기(10)를 상기 이송 방향으로 일정한 이송 경로를 따라 이송한다.
구체적으로, 이송부(120)는 로딩 포트(110)의 하방에 구비된다. 이송부(120)는 상하 방향으로 승강 가능하고, 상기 이송 경로를 따라 주행이 가능하다. 이송부(120)는 상기 이송 경로를 따라 형성된 주행 레일(122)을 따라 주행할 수 있다.
로딩 포트(110)에 용기(10)가 안착되면, 로딩 포트(110)의 하방에 구비된 이송부(120)가 상승하면서 용기(10)를 지지하고, 용기(10)를 전방 가이드 부재(112)들의 높이보다 높게 상승시킨다. 이후, 이송부(120)가 상기 이송 경로를 따라 주행하면서 용기(10)를 이송한다.
반사판(130)은 용기(10)가 이송되는 상기 이송 경로 상에 로딩 포트(110)와 인접하도록 배치된다. 반사판(130)은 상기 OHT로부터 용기(10)가 전달될 때 용기(10)의 안착 정위치를 확인하는데 이용된다. 반사판(130)은 대략 직사각형 모양을 가지며, 수평 방향을 따라 길게 배치되며 상하로 세워질 수 있다.
상기 OHT에는 용기(10)를 파지하는 핸드 유닛이 구비되고, 상기 핸드 유닛에는 센서가 구비된다. 용기(10)의 전달을 위해 상기 핸드 유닛이 하강하고, 하강한 상기 핸드의 센서가 반사판(130)을 향해 광을 조사하면, 반사판(130)은 상기 광을 반사한다. 상기 센서는 반사판(130)으로부터 반사된 광을 수신하고, 수신된 광에 대한 정보를 이용하여 상기 OHT는 용기(10)가 로딩 포트(110)의 정위치에 안착될 수 있도록 상기 핸드 유닛에 파지된 용기(10)의 수평 위치 및 수직 위치를 조절한다.
상기 OHT의 용기(10)가 상기 수평 위치 및 상기 수직 위치가 조절된 상태로 로딩 포트(110)에 안착되므로, 용기(10)가 상기 정위치에 정확하게 안착될 수 있으며, 용기(10)가 로딩 포트(110)에 안착할 때 발생하는 충격을 최소화할 수 있다.
구동부(140)는 반사판(130)을 고정하며, 상기 이송 경로 상의 반사 위치와 상기 이송 경로 상에서 회피된 회피 위치 사이에서 반사판(130)을 이동시킨다.
구체적으로, 구동부(140)는 용기(10)가 로딩 포트(110)에 안착될 때는 반사판(130)이 상기 이송 경로 상의 반사 위치에 위치시킨다. 따라서 상기 OHT로부터 용기(10)가 전달될 때 용기(10)의 안착 정위치를 확인하기 위해 반사판(130)을 이용할 수 있다.
또한, 구동부(140)는 이송부(120)에 의해 용기(10)가 이송될 때는 반사판(130)을 상기 이송 경로 상에서 회피된 회피 위치에 위치시킨다. 따라서, 반사판(130)이 용기(10)의 이송을 간섭하는 것을 방지할 수 있다.
예를 들면, 구동부(140)는 반사판(130)을 회전시키는 회전 구동부일 수 있다. 일 예로, 도 2에 도시된 바와 같이 구동부(140)는 반사판(130)을 상기 이송 경로와 평행한 방향, 즉 수평 방향을 따라 회전시켜 상기 반사 위치와 상기 회피 위치로 이동시킬 수 있다. 다른 예로, 도시되지는 않았지만 구동부(140)는 반사판(130)을 상기 이송 경로와 수직인 방향, 즉 수직 방향을 따라 회전시켜 상기 반사 위치와 상기 회피 위치로 이동시킬 수 있다.
다른 예를 들면, 구동부(140)는 반사판(130)을 직선 이동시키는 직선 구동부일 수 있다. 일 예로, 도시되지는 않았지만 구동부(140)는 반사판(130)을 상기 이송 경로와 수직인 수평 방향을 따라 직선 이동시켜 상기 반사 위치와 상기 회피 위치로 이동시킬 수 있다. 다른 예로, 도시되지는 않았지만 구동부(140)는 반사판(130)을 상기 이송 경로와 수직인 수직 방향을 따라 직선 이동시켜 상기 반사 위치와 상기 회피 위치로 이동시킬 수 있다.
감지부(150)는 로딩 포트(110)의 일측에 구비되며, 광을 조사하는 발광 센서(152) 및 상기 일측과 반대되는 로딩 포트(110)의 타측에 구비되며, 발광 센서(152)에서 조사된 광을 수신하는 수광 센서(154)로 이루어질 수 있다. 이때, 발광 센서(152) 및 수광 센서(154)는 반사판(130)의 높이보다 높은 위치와 반사판(130)의 높이보다 낮은 위치 등 다양한 높이에 복수로 구비될 수 있다.
감지부(150)는 로딩 포트(110)에 안착되기 위해 상기 OHT로부터 전달되는 용기(10)를 감지한다. 감지부(150)가 서로 다른 여러 높이에서 용기(10)를 감지함으로써 상기 OHT로부터 용기(10)가 로딩 포트(110)로 전달되는 과정의 진행 상태를 용이하게 확인할 수 있다.
또한, 감지부(150)가 서로 다른 여러 높이에서 용기(10)를 감지하므로, 감지부(150)의 감지 결과에 따라 상기 OHT를 제어함으로써 용기(10)가 로딩 포트(110)에 안착할 때 발생하는 충격을 더욱 줄일 수 있다. 따라서, 상기 충격으로 인해 용기(10)가 손상되거나 용기(10)에 적재된 기판이 손상되는 것을 방지할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 용기 이송 장치는 반사판과 OHT에 구비된 센서를 이용하여 상기 OHT의 용기를 로딩 포트의 정위치에 신속하고 정확하게 안착될 수 있으며, 상기 용기가 상기 로딩 포트에 안착할 때 발생하는 충격을 최소화할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100 : 용기 이송 장치 110 : 로딩 포트
120 : 이송부 130 : 반사판
140 : 구동부 150 : 감지부
10 : 용기

Claims (5)

  1. 기판들이 수납된 용기가 안착되는 로딩 포트;
    상기 로딩 포트에 안착된 용기를 일정한 경로를 따라 이송하는 이송부;
    상기 용기의 이송 경로 상에 상기 로딩 포트와 인접하도록 배치되며, 상기 용기의 안착 정위치를 확인하기 위해 OHT에 구비된 센서로부터 조사되는 광을 반사시키는 반사판; 및
    상기 용기가 로딩 포트에 안착될 때는 상기 반사판이 상기 이송 경로 상의 반사 위치에 위치시키고, 상기 용기가 이송될 때는 상기 반사판이 상기 용기의 이송을 간섭하는 것을 방지하기 위해 상기 반사판을 상기 이송 경로 상에서 회피된 회피 위치에 위치시키는 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 용기 이송 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 구동부는 상기 반사판을 상기 이송 경로와 평행한 방향이나 상기 이송 경로와 수직한 방향을 따라 회전시키는 것을 특징으로 하는 용기 이송 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 구동부는 상기 반사판을 상기 이송 경로와 수직한 수평 방향이나 상기 이송 경로와 수직한 수직 방향을 따라 직선 이동시키는 것을 특징으로 하는 용기 이송 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 로딩 포트의 일측에 구비되며, 광을 조사하는 발광 센서 및 상기 일측과 반대되는 상기 로딩 포트의 타측에 구비되며, 상기 발광 센서에서 조사된 광을 수신하는 수광 센서로 이루어지는 감지부를 더 포함하며,
    상기 감지부를 이용하여 상기 로딩 포트에 안착되기 위해 상기 OHT로부터 전달되는 상기 용기를 감지하는 것을 특징으로 하는 용기 이송 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 감지부가 상기 용기를 서로 다른 높이에서 감지할 수 있도록 상기 발광 센서 및 상기 수광 센서는 각각 서로 다른 높이에 복수로 구비되는 것을 특징으로 하는 용기 이송 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH0543036A (ja) * 1991-08-12 1993-02-23 Daifuku Co Ltd 走行台車試験装置
KR100636601B1 (ko) * 1998-12-02 2006-10-20 아시스트 신꼬, 인코포레이티드 천정주행 반송장치

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