KR20130022025A - 기판수납용기 로더 - Google Patents

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KR20130022025A
KR20130022025A KR1020110084665A KR20110084665A KR20130022025A KR 20130022025 A KR20130022025 A KR 20130022025A KR 1020110084665 A KR1020110084665 A KR 1020110084665A KR 20110084665 A KR20110084665 A KR 20110084665A KR 20130022025 A KR20130022025 A KR 20130022025A
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김종삼
김양현
이현재
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삼성전자주식회사
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Abstract

본 발명은 반도체 생산라인의 반송설비와 반도체 생산장치사이에서 기판수납용기를 임시저장하기 위한 버퍼공간을 형성하는 기판수납용기 로더를 개시한다.
기판수납용기로더는 기판수납용기가 로딩되는 로드포트와, 상기 로드포트에 로딩된 상기 기판 수납용기가 적재되는 버퍼 포트와, 내부에서 상기 기판수납용기를 반송하기 위한 반송로봇과, 상기 반송로봇에 설치되어 상기 로드포트와 상기 버퍼포트에 상기 기판 수납용기가 적재되었는지 여부를 감지하기 위한 이중반입 감지장치를 포함한다.

Description

기판수납용기 로더{Loader for substrate storage container}
본 발명은 반도체 생산라인의 반송설비와 반도체 생산설비사이에서 기판수납용기를 임시저장하기 위한 버퍼공간을 형성하는 기판수납용기 로더에 대한 것이다.
일반적으로 반도체 제조공정은 미리 설계된 회로패턴을 실리콘 웨이퍼 상에 찍는 공정인 포토리소그래피(Photolithography)공정을 포함하며, 포토리소그래피공정은 크게 감광막 도포공정, 노광공정, 현상공정 등으로 이루어진다.
이와 같이 반도체 제조공정은 웨이퍼를 여러 가공방법으로 가공하는 다양한 공정장비들을 거치게 되며, 생산이 진행되는 동안 웨이퍼는 파티클로부터의 오염을 방지하기 위하여 FOUP(Front Opening Unified Pod)와 같은 웨이퍼 수납용기내에 수용된 상태로 OHT(Overhead Hoist Transfer)와 같은 생산라인내에 설치되는 반송설비 또는 작업자에 의해 공정장치의 로드포트(load port)로 공급되고, 공급된 수납용기에서 웨이퍼를 꺼내어 작업을 진행하게 된다.
그러나, OHT나 작업자가 필요한 시점에 수납용기를 공급하지 못하거나, 설비측에서 로드포트 갯수의 제한으로 인하여 수납용기를 적기에 공급받지 못하는 경우가 발생하면, 연쇄적으로 생산설비에서 생산을 위한 웨이퍼가 적기에 공급되지 못하게 되고, 결국 장비의 가동이 중단되거나 공정이 연속적으로 이루어지지 못하는 경우가 발생하여 장비의 가동율이 저하된다.
본 발명의 일 측면에 의하면 반도체 생산라인에서 반송설비와 생산설비에서 기판수납용기를 임시 저장하는 공간을 제공하고자 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 기판수납용기로더는 기판수납용기가 로딩되는 로드포트와, 상기 로드포트에 로딩된 상기 기판 수납용기가 적재되는 버퍼 포트와, 내부에서 상기 기판수납용기를 반송하기 위한 반송로봇과, 상기 반송로봇에 설치되어 상기 로드포트와 상기 버퍼포트에 상기 기판 수납용기가 적재되었는지 여부를 감지하기 위한 이중반입 감지장치를 포함한다.
상기 이중반입 감지장치는 빛을 발광하는 발광부와, 빛을 감지하는 수광부를 포함하고, 상기 로드포트 및 상기 버퍼포트에는 상기 발광부로부터 입사되는 빛을 상기 수광부로 반사하기 위한 반사부가 마련된다.
상기 반송로봇은 상기 기판 수납용기를 로딩하기 위한 그립퍼를 포함하고, 상기 이중반입 감지장치는 상기 발광부가 상기 로드포트 및 상기 버퍼포트에 마련되는 상기 기판수납용기의 적재공간으로 빛을 조사하도록 상기 그립퍼의 상부에 설치되어 하향 경사지게 상기 빛을 조사하게 배치된다.
상기 반사부는 상기 발광부로부터 입사되는 빛을 상기 수광부로 반사시킬 수 있도록 상기 로드포트 및 상기 버퍼포트에 경사지게 배치된다.
상기 반송로봇은 상기 기판 수납용기를 로딩하기 위한 그립퍼를 포함하고, 상기 기판 수납용기의 적재를 위하여 상기 로드포트 및 상기 버퍼포트에 마련되는 적재공간 앞에 상기 그립퍼가 위치되었는지 여부를 확인하기 위한 위치 확인장치를 더 포함한다.
상기 위치 확인장치는 빛을 발광하는 발광부와, 빛을 감지하는 수광부를 포함하고, 상기 로드포트 및 상기 버퍼포트에는 상기 그립퍼가 상기 적재공간 앞에 위치된 상태에서 상기 발광부로부터 조사되는 빛을 상기 수광부로 반사시키도록 배치되는 반사부를 포함한다.
상기 위치 확인장치는 상기 그립퍼의 일측에 설치되고, 상기 반사부는 상기 적재공간의 일측에 배치된다.
상기 로드포트에는 상기 기판수납용기를 로딩하는 반송장치의 진입을 감지하기 위한 진입 감지장치와, 상기 진입장치로부터 발광되는 빛을 반사하여 복귀시키기 위한 반사부가 설치된다.
상기 로드포트와 상기 버퍼포트 중 적어도 어느 하나에는 상기 기판수납용기와의 접촉에 의해 상기 기판수납용기의 안착여부를 감지하는 안착 감지장치가 설치된다.
본 발명의 일 측면에 따른 기판수납용기로더는 프레임과, 상기 프레임에 설치되고 기판 수납용기가 로딩되는 로드포트와, 상기 프레임에 설치되고 상기 로드포트에 로딩된 상기 기판 수납용기가 적재되는 버퍼 포트와, 내부에서 상기 기판 수납용기를 반송하기 위한 반송로봇을 포함하며, 상기 반송로봇은 수평방향으로 진퇴이동하고 수직방향으로 상하 이동하며 상기 기판수납용기를 로딩 또는 언로딩하는 슬라이드 포크를 포함한다.
상기 기판 수납용기에는 상부에 플랜지부가 마련되고, 상기 슬라이드 포크는 상기 플랜지부에 대하여 수평방향으로 진퇴이동하고 수직방향으로 상하 이동하며 상기 기판수납용기를 로딩 또는 언로딩한다.
상기 반송로봇은 상기 슬라이드 포크의 로딩 및 언로딩 동작을 구동하기 위한 그립퍼와, 상기 그립퍼를 수직방향으로 이송하기 위한 수직 이송부와, 상기 수직 이송부를 상기 로드포트 및 버퍼포트의 폭방향으로 이송하기 위한 수평 이송부 를 더 포함한다.
상기 수평이송부는 상기 프레임의 상부에 설치되고, 상기 수직이송부는 상기 수평이송부에 결합되며, 상기 그립퍼는 상기 수직이송부에 결합된다.
상기 버퍼포트에는 상기 기판수납용기내부로 가스를 공급하기 위한 가스공급장치가 마련된다.
상기 가스공급장치는 가스공급을 조절하기 위한 조절밸브와, 가스공급을 위한 유로를 형성하는 오리피스와, 상기 오리피스에 설치되는 압력감지센서와, 공급되는 가스로부터 파티클을 제거하는 필터와, 상기 필터를 통과한 가스를 상기 기판수납용기의 가스공급구에 분사하는 노즐을 포함한다.
상기 프레임의 하부에는 상기 기판수납용기 로더를 연결되는 공정장비와 분리될 수 있도록 이동을 안내하는 슬라이드 장치가 설치되는 기판수납용기 로더를 포함한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판수납용기 로더의 사시도이다.
도 2는 기판수납용기 로더의 정면도이다.
도 3은 로드포트에 대한 확대도이다.
도 4는 반송로봇의 사시도이다.
도 5는 그립퍼에 대한 확대도이다.
도 6은 버퍼포트에 대한 확대도이다.
이하에서는 본 발명에 따른 일 실시예에 따른 기판수납용기 로더를 도면을 참조하여 설명한다.
도 1 내지 3에 도시한 바와 같이, 기판수납용기 로더는 외관을 형성하는 본체(10)와, 외부로부터 기판수납용기(F)가 로딩되는 로드포트(20)와, 로드포트(20)에 공급된 기판수납용기(F)를 저장하는 버퍼포트(30)와, 장치내부에서 기판수납용기(F)를 반송하기 위한 반송로봇(40)을 포함한다.
본체(10)는 뼈대인 프레임(11)를 포함하며 그 상부에는 로드포트(20)로 기판수납용기(F) 및 이를 반송하는 OHT(Overhead hoist transfer)(O)가 진입할 수 있도록 개구(12)가 형성되며, 개구(12)의 하부에는 로드포트(20)가 마련된다.
로드포트(20)에는 복수의 기판수납용기(F)를 동시에 적재될 수 있도록 구성될 수 있으며, 도시된 실시예의 경우 4개의 기판수납용기(F)가 동시에 적재될 수 있도록 구성된다.
로드포트(20)는 기판수납용기(F)가 안착될 수 있는 적재면을 형성하는 로드포트 선반(21)을 포함한다. 로트포트 선반(21)은 4개의 기판수납용기(F)가 동시에 적재될 수 있는 공간이 확보될 수 있는 폭과 길이를 갖도록 형성되며, 본체(10)의 프레임(11)에 수평방향으로 배치되도록 설치된다.
로드포트 선반(21)에서 각 기판수납용기(F)가 적재되는 부분에는 OHT(O)로부터 기판수납용기(F)가 로드포트 선반(21)에 안착될 때 정확한 위치가 안내되도록 하는 위치결정수단인 키너메틱 커플링(kinematic coupling, 22))이 삼각형상으로 배열되며, 기판수납용기(F)의 하면에는 키너메틱 커플링(22)과 대응될 수 있는 위치에 가이드홈(미도시)이 마련된다.
키너메틱 커플링(22)은 상단이 반구형이 돌기로 형성될 수 있으며, 가이드 홈은 키너메틱 커플링(22)에 의해 기판수납용기(F)가 로드포트 선반(21)의 적재공간에 정확한 위치로 안내되도록 복수의 경사면이 형성될 수 있다.
또한, 로드포트 선반(21)의 적재공간에는 기판수납용기(F)가 정확히 안착되었는지 여부를 확인하기 위한 안착 감지장치(50)가 마련된다. 안착 감지장치(50)는 기판수납용기(F)와의 접촉에 의해 안착여부를 감지할 수 있도록 접촉식 센서로 구성될 수 있으며, 안착여부를 정확하게 감지할 수 있도록 키너메틱 커플링(22)과 인접하게 배치될 수 있다. 또한, 안착 감지장치(50)는 기판수납용기(F)의 안착여부 감지에 대한 신뢰성을 향상시키기 위하여 도시된 바와 같이 각 적재공간 당 복수의 갯수로 설치될 수 있다.
또한, 로드포트(20)에는 기판수납용기(F)의 적재를 위하여 OHT(O)가 적재공간쪽으로 진입할 때 이를 감지하기 위한 진입 감지장치(60)가 설치된다. 진입 감지장치(60)는 광학식 센서로 구성되어 빛을 발광하는 발광부와 빛을 감지하는 수광부를 포함하여 구성될 수 있으며, 적재공간의 일측에 설치되는 지지대(23)의 상부에 설치될 수 있다.
진입 감지장치(60)의 발광부로부터 조사되는 빛을 수광부로 반사시키기 위하여 적재공간에 대하여 진입 감지장치(60)와 대각방향의 타측에 반사부(61)가 마련되며, 반사부(61)는 진입 감지장치(60)와 마찬가지로 지지대(23)의 상부에 설치되며, 반사부(23)는 후술할 위치 확인장치(45)로부터 조사되는 빛을 반사시킬 수 있도록 구성될 수 있다.
또한, 로드포트(20)의 각각의 적재공간에는 후술할 이중반입 감지장치(44)의 발광부로부터 조사되는 빛을 수광부로 반사시키 위한 반사부(24)가 마련된다.
반사부(24)는 로드포트 선반(21)에서 절개된 후 밴딩되어 하향 경사지게 형성되는 경사면에 배치될 수 있다.
또한, 로드포트 선반(21)의 각각의 적재공간 하부에는 기판수납용기(F)로부터 식별정보를 수신하기 위한 RFID안테나(70)가 설치된다.
버퍼포트(30)도 로드포트(20)과 유사하게 형성되어, 버퍼포트 선반(31)에도 로드포트(20)와 마찬가지로 기판수납용기(F)가 정확히 안착되었는지 여부를 확인하기 위한 안착 감지장치(50)와, 버퍼포트 선반(31)에 안착될 때 정확한 위치가 안내되도록 하는 위치결정수단인 키너메틱 커플링(32)과, 이중반입 감지장치(44)에 대응되는 반사부(34)가 마련된다.
본체(10)의 하부에는 본 발명에 따른 기판수납용기 로더가 고장 등의 원인으로 연결되는 공정장비와 분리할 필요가 있을 경우, 본체(10)의 이동을 용이하게 하기 위하여 본체(10)의 하부 양측에 슬라이드 장치(90)가 설치될 수 있다. 슬라이드 장치(90)는 LM가이드 및 수평 이동장치를 포함하여 구성될 수 있으며 장치의 고정을 위한 고정부를 포함할 수 있다.
도 1, 4 및 5를 참조하면, 본체(10)의 내부에는 로드포트(20)에 적재된 기판수납용기를 반송하기 위한 반송로봇(40)이 설치된다. 반송로봇(40)은 기판수납용기(F)에 대한 3축 이송이 가능하도록 수평이송부(47)와, 수직이송부(46) 및 그립퍼(41)를 포함한다.
수평이송부(47)는 프레임(11)의 상부에 설치되고, LM가이드, 밸트, 풀리 및 구동모터를 포함하는 직선운동장치로, 이에 대하여는 공지되어 있으므로 여기서는 자세한 설명은 생략한다.
수평이송부(47)에는 수직이송부(46)의 일단이 결합되어 수직이송부(47)를 로드포트(20) 및 버퍼포트(30)의 폭방향으로 이송할 수 있도록 구성된다.
수직이송부(46)도 수평이송부(47)와 마찬가지로 LM가이드, 밸트, 풀리 및 구동모터를 포함하는 직선운동장치로 구성될 수 있으며, 그립퍼(41)의 일단이 결합되어 그립퍼(41)를 수직방향으로 이송한다.
그립퍼(41)도 수평이송부(46)와 마찬가지로 LM가이드, 밸트, 풀리 및 구동모터를 포함하는 직선운동장치로 구성될 수 있고, 기판수납용기(F)를 로딩 및 언로딩하는 슬라이딩 포크(43)를 포함하며 이를 수평이송부(47)에 의한 이송방향에 직각이 되는, 즉 로드포트(20) 및 버퍼포트(30)의 적재공간에 대하여 진퇴하는 방향으로 이송한다. 결국, 슬라이딩 포크(43)에 로딩된 기판수납용기(F)는 장치의 내부에서 3축이송되며 로드포트(20) 및 버퍼포트(30)에 로딩 및 언로딩 될 수 있다.
슬라이딩 포크(43)는 그립퍼(41)에 의한 이송방향과 평행한 방향으로 길게 형성된 수평면을 구비하고, 기판수납용기(F)의 플랜지(F-1)의 폭에 대응되는 간격으로 이격되어 한 쌍으로 구성될 수 있다. 슬라이딩 포크(43)에 의한 로딩동작을 설명하면, 먼저 슬라이딩 포크(43)가 기판수납용기(F)의 플랜지(F-1)에 접근한 상태에서 그립퍼(41)에 의해 슬라이딩 포크(43)가 수평방향으로 전진하면 기판수납용기(F)의 플랜지(F-1)에 하부에 진입하게 된다. 이 상태에서 수직이송부(46)가 그립퍼(41)을 슬라이딩 포크(43)과 플랜지(F-1)사이의 상하방향으로 이격된 거리만큼 위로 이송하면 플랜지(F-1)가 슬라이딩 포크(43)에 안착되며 기판수납용기(F)에 대한 로딩이 수행된 후 그립퍼(41)에 의해 슬라이딩 포크(43)이 후퇴하면 로딩동작이 종료된다. 언로딩 동작은 슬라이딩 포크(43)에 기판수납용기(F)가 로딩된 상태에서 상기한 로딩동작의 역순으로 이루어진다.
또한, 그립퍼(41)에는 전술한 이중반입 감지장치(44)가 슬라이딩 포크(43) 위에 설치된다. 이중반입 감지장치(43)는 광학식 센서로 구성되어 빛을 발광하는 발광부와, 빛을 감지하는 수광부를 포함하여 구성될 수 있다. 이중반입 감지장치(43)는 적재공간에 기판수납용기(F)가 적재되지 않은 경우 발광부로부터 조사된 빛이 로드포트(20) 및 버퍼포트(30)에 마련되는 반사판(24)(34)에 의해 반사되어 다시 수광부에서 감지될 수 있도록 발광부가 하향 경사지게 적재공간의 대각방향으로 빛을 조사하도록 설치되며, 반사부(24)(34)도 발광부의 빛을 수광부로 반사시킬 수 있는 반사조건을 형성하도록 배치된다.
이러한 이중반입 감지장치(44)는 어떤 적재공간에 기판수납용기(F)를 적재하기 전에 제어부(미도시)에서 기판수납용기(F)의 적재여부를 확인할 수 있게 하여 기판수납용기(F)에 대한 이중반입을 방지할 수 있으며, 반대로 적재공간에서 기판수납용기(F)를 반출하려 하는 경우 반출전에 제어부에서 적재공간에 기판수납용기(F)의 적재여부를 확인할 수 있게 하여 공반출과 같은 동작오류발생을 방지할 수 있도록 한다.
또한, 그립퍼(41)에는 전술한 위치 확인장치(45)가 설치된다. 위치 확인장치(45)는 기판수납용기(F)의 적재 또는 반출을 위하여 로드포트(20) 및 버퍼포트(30)에 마련되는 적재공간 앞에 그립퍼(41)가 정확하게 위치되었는지 여부를 확인하기 위한 감지장치로, 이러한 위치 확인장치(45)를 통해 그립퍼(41)에 의한 기판수납용기(F)의 적재 및 반출시 오동작발생을 방지할 수 있다.
위치 확인장치(45)는 빛을 발광하는 발광부와, 빛을 감지하는 수광부를 포함하여 광학식 센서로 구성될 수 있다. 위치 확인장치(45)의 발광부로부터 조사되는 빛을 수광부로 반사시킬 수 있도록 반사부(25)(35)(61)가 각 적재공간 일측에 배치된다. 이러한 반사부는 로드포트 선반(21) 및 버퍼포트 선반(31)의 하면에 설치되어 각 적재공간 일측에 배치될 수 있으며, 로드포트(20)의 경우 상술한 진입 감지장치(60)에 대응되는 반사부(61)와 함께 사용될 수 있다.
한편, 버퍼포트(30)의 하부에는 본 발명에 따른 기판수납용기 로더에 연결되는 공정장비(미도시)의 로드포트(L)가 배치되며, 상기 로드포트(L)에 기판수납용기(F)의 적재되어 있는지 여부를 확인할 수 있도록 버퍼포트 선반(31)의 하부에는 로드포트(L)의 적재공간마다 기판수납용기 확인장치(80)와 반사부(81)가 설치된다.
기판수납용기 확인장치(80)는 빛을 발광하는 발광부와, 빛을 감지하는 수광부를 포함하여 광학식 센서로 구성될 수 있으며, 기판수납용기 확인장치(80)의 발광부로부터 조사되는 빛을 수광부로 반사시킬 수 있도록 상기 확인장치(80)와 반사부(81)는 각 적재공간의 양측에 배치될 수 있다.
또한, 버퍼포트 선반(31)의 하부에는 위치 확인장치(45)에 대응되는 반사판(35)이 설치되어 반송로봇(40)에 의해 장비의 로드포트(L)로 기판수납용기(F)가 반송될 때에도 그립퍼(41)의 위치를 확인할 수 있도록 한다.
도 6에 도시한 바와 같이, 로드포트 선반(21)의 하부에는 로드포트(20)에 적재된 기판수납용기(F)내에 웨이퍼에 악영향을 주는 화합물과 먼지가 제거된 CDA(Clean Dry Air)또는 질소(N2)로 퍼징(Purging)하여 내기를 치환하기 위한 가스공급장치(100)가 마련될 수 있다.
가스공급장치(100)는 가스공급을 조절하기 위한 조절밸브(101)와, 가스공급을 위한 유로를 형성하는 오리피스(102)와, 상기 오리피스(102)에 설치되는 압력감지센서(103)와, 공급되는 가스로부터 파티클을 제거하는 필터(104)와, 상기 필터(104)를 통과한 가스를 상기 기판수납용기(F)에 분사하는 노즐(105)을 포함하여 구성될 수 있다.
로드포트(20)에 기판수납용기(F)가 적재된 상태에서 노즐(105)에서 분사된 가스가 기판수납용기(F) 내부로 진입할 수 있도록 기판수납용기(F)의 하면에는 가스공급구(미도시)가 마련될 수 있다.
본 발명은 상기에 기재된 실시예들에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 사상에서 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 수정 및 변형할 수 있다는 점은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
10: 본체 11: 프레임
20 : 로드포트 30 : 버퍼포트
40 : 반송로봇 50 : 안착 확인장치
60 : 진입 감지장치 70 : RFID안테나
80: 기판수납용기 확인장치 90 : 슬라이드 장치

Claims (16)

  1. 기판 수납용기가 로딩되는 로드포트;와
    상기 로드포트에 로딩된 상기 기판 수납용기가 적재되는 버퍼 포트;와
    내부에서 상기 기판수납용기를 반송하기 위한 반송로봇;과
    상기 반송로봇에 설치되어 상기 로드포트와 상기 버퍼포트에 상기 기판 수납용기가 적재되었는지 여부를 감지하기 위한 이중반입 감지장치;를 포함하는 기판 수납용기 로더.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 이중반입 감지장치는 빛을 발광하는 발광부와, 빛을 감지하는 수광부를 포함하고, 상기 로드포트 및 상기 버퍼포트에는 상기 발광부로부터 입사되는 빛을 상기 수광부로 반사하기 위한 반사부가 마련되는 기판 수납용기 로더.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 반송로봇은 상기 기판 수납용기를 로딩하기 위한 그립퍼를 포함하고, 상기 이중반입 감지장치는 상기 발광부가 상기 로드포트 및 상기 버퍼포트에 마련되는 상기 기판수납용기의 적재공간으로 빛을 조사하도록 상기 그립퍼의 상부에 설치되어 하향 경사지게 상기 빛을 조사하는 기판 수납용기 로더.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 반사부는 상기 발광부로부터 입사되는 빛을 상기 수광부로 반사시킬 수 있도록 상기 로드포트 및 상기 버퍼포트에 경사지게 배치되는 기판 수납용기 로더.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 반송로봇은 상기 기판 수납용기를 로딩하기 위한 그립퍼를 포함하고,
    상기 기판 수납용기의 적재를 위하여 상기 로드포트 및 상기 버퍼포트에 마련되는 적재공간 앞에 상기 그립퍼가 위치되었는지 여부를 확인하기 위한 위치 확인장치를 더 포함하는 기판 수납용기 로더.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 위치 확인장치는 빛을 발광하는 발광부와, 빛을 감지하는 수광부를 포함하고, 상기 로드포트 및 상기 버퍼포트에는 상기 그립퍼가 상기 적재공간 앞에 위치된 상태에서 상기 발광부로부터 조사되는 빛을 상기 수광부로 반사시키도록 배치되는 반사부를 포함하는 기판 수납용기 로더.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 위치 확인장치는 상기 그립퍼의 일측에 설치되고, 상기 반사부는 상기 적재공간의 일측에 배치되는 기판 수납용기 로더.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 로드포트에는 상기 기판수납용기를 로딩하는 반송장치의 진입을 감지하기 위한 진입 감지장치와, 상기 진입장치로부터 발광되는 빛을 반사하여 복귀시키기 위한 반사부가 설치되는 기판수납용기 로더.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 로드포트와 상기 버퍼포트 중 적어도 어느 하나에는 상기 기판수납용기와의 접촉에 의해 상기 기판수납용기의 안착여부를 감지하는 안착 감지장치가 설치되는 기판수납용기 로더.
  10. 프레임;과
    상기 프레임에 설치되고 기판 수납용기가 로딩되는 로드포트;와
    상기 프레임에 설치되고 상기 로드포트에 로딩된 상기 기판 수납용기가 적재되는 버퍼 포트;와
    내부에서 상기 기판 수납용기를 반송하기 위한 반송로봇;을 포함하며,
    상기 반송로봇은 수평방향으로 진퇴이동하고 수직방향으로 상하 이동하며 상기 기판수납용기를 로딩 또는 언로딩하는 슬라이드 포크를 포함하는 기판수납용기 로더.
  11. 제10항에 있어서, 상기 기판 수납용기는 상부에 플랜지부가 마련되고, 상기 슬라이드 포크는 상기 플랜지부에 대하여 수평방향으로 진퇴이동하고 수직방향으로 상하 이동하며 상기 기판수납용기를 로딩 또는 언로딩하는 기판수납용기 로더.
  12. 제 10 항에 있어서,
    상기 반송로봇은 상기 슬라이드 포크의 로딩 및 언로딩 동작을 구동하기 위한 그립퍼와, 상기 그립퍼를 수직방향으로 이송하기 위한 수직 이송부와, 상기 수직 이송부를 상기 로드포트 및 버퍼포트의 폭방향으로 이송하기 위한 수평 이송부 를 더 포함하는 기판수납용기 로더.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 수평이송부는 상기 프레임의 상부에 설치되고, 상기 수직이송부는 상기 수평이송부에 결합되며, 상기 그립퍼는 상기 수직이송부에 결합되는 기판수납용기 로더.
  14. 제 10 항에 있어서,
    상기 버퍼포트에는 상기 기판수납용기내부로 가스를 공급하기 위한 가스공급장치가 마련되는 기판수납용기 로더.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 가스공급장치는 가스공급을 조절하기 위한 조절밸브와, 가스공급을 위한 유로를 형성하는 오리피스와, 상기 오리피스에 설치되는 압력감지센서와, 공급되는 가스로부터 파티클을 제거하는 필터와, 상기 필터를 통과한 가스를 상기 기판수납용기의 가스공급구에 분사하는 노즐을 포함하는 기판수납용기 로더.
  16. 제 10 항에 있어서,
    상기 프레임의 하부에는 상기 기판수납용기 로더를 연결되는 공정장비와 분리될 수 있도록 이동을 안내하는 슬라이드 장치가 설치되는 기판수납용기 로더.
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