KR20160134507A - 용기 반송 장치 및 용기 반송 설비 - Google Patents

용기 반송 장치 및 용기 반송 설비 Download PDF

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Abstract

지지체는, 소용기를 위치결정하는 제1 위치 결정부와, 대용기를 위치결정하는 제2 위치 결정부를 구비한다. 제1 위치 결정부는, 소용기를 지지하는 제1 지지체와, 제1 피걸어맞춤부에 걸어맞추어지는 제1 걸어맞춤체를 구비한다. 제2 위치 결정부는, 제1 걸어맞춤체의 상단보다 위쪽에 대용기의 바닥면이 위치하는 높이에서 대용기를 지지하는 제2 지지체와, 제1 지지 영역의 외측에 구비되어 제2 피걸어맞춤부에 걸어맞추어지는 제2 걸어맞춤체와, 제1 지지 영역의 외측에 구비되어 대용기에 대하여 측방으로부터 맞닿는 접촉체를 구비한다.

Description

용기 반송 장치 및 용기 반송 설비{CONTAINER TRANSPORT DEVICE AND CONTAINER TRANSPORT FACILITY}
본 발명은, 반도체 기판 수용용의 용기를 아래쪽으로부터 지지하는 지지체와, 지지체를 이동시키는 이동 기구(機構)를 구비한 용기 반송 장치(container transport device), 및 그 용기 반송 장치를 구비한 용기 반송 설비에 관한 것이다.
상기와 같은 용기 반송 장치의 일례가, 일본 공개특허 제2003―072917호 공보(특허 문헌 1)에 기재되어 있다. 특허 문헌 1의 용기 반송 장치는, 용기를 보관하는 보관 설비에 대하여 용기를 입출고(入出庫)하기 위해 사용되고 있고, 반도체 기판 수납용의 용기를 아래쪽으로부터 지지하는 지지체[승강체(142)]가 구비되어 있다. 용기의 바닥면에는, 3개의 피걸어맞춤부[끼워맞춤부(8)]가 설치되어 있고, 지지체에는, 용기의 바닥면에 구비된 피걸어맞춤부에 걸어맞추어지는 3개의 위치결정핀이 구비되어 있다. 승강체는, 3개의 위치결정핀을 용기의 3개의 피걸어맞춤부에 걸어맞추어진 상태로 용기를 아래쪽으로부터 지지함으로써, 용기를 지지 영역에 위치 결정한 상태에서 지지할 수 있도록 구성되어 있다.
종래, 반도체 기판을 수용하는 용기로서, SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International) 규격에 규정된 FOUP(Front Opening Unified Pod)가 사용되고 있는 경우가 많다. 그리고, 이와 같은 용기에 수납되는 반도체 기판(웨이퍼)은, 직경이 300㎜의 원판형의 것이 주류였다. 그러므로, 상기 특허 문헌 1의 용기 반송 장치의 승강체에는, 300㎜의 반도체 기판용의 FOUP(이하 300㎜ FOUP라고 함)에 형성되어 있는 3개의 피걸어맞춤부에 걸어맞추어지는 위치에 위치결정핀을 구비하고 있다.
한편, 최근, 생산성의 향상 등을 위해, 대형의 반도체 기판(예를 들면, 직경이 450㎜의 원판형의 반도체 기판)이 생산되게 되어, 용기 반송 장치에서는, 소형의 반도체 기판을 수납하는 용기인 소용기(예를 들면, 상기한 300㎜ FOUP)에 더하여, 대형의 반도체 기판을 수납하는 용기인 대용기(예를 들면, SEMI 규격에 규정된 형상의 450㎜의 반도체 기판용의 용기(이하 450㎜ FOUP라고 함)]를 반송할 필요가 생겨 왔다.
상기 SEMI 규격에서는, 상기 300㎜ FOUP 및 상기 450㎜ FOUP의 어딘가에 대해서도, 바닥면에 3개의 홈형의 피걸어맞춤부를 구비하는 것이 규정되어 있다. 설명을 추가하면, FOUP의 바닥면에는, 3개의 홈형의 피걸어맞춤부가 구비되어 있고, 그 3개의 피걸어맞춤부는, 길이 방향이 용기의 바닥면의 기준 위치를 중심으로 한 방사 방향을 따른 상태로, 용기의 바닥면에 구비되어 있다. 그리고, 450㎜ FOUP에서의 3개의 피걸어맞춤부(제2 피걸어맞춤부라고 함)와 기준 위치와의 이격 거리는 모두, 300㎜ FOUP에서의 3개의 피걸어맞춤부(제1 피걸어맞춤부라고 함)와 기준 위치와의 이격 거리의 최대의 것보다 길게 되어 있다.
일본 공개특허 제2003―072917호 공보
그런데, 1개의 용기 반송 장치에, 300㎜ FOUP용의 지지체와 450㎜ FOUP용의 지지체를 별개로 설치하면, 비용의 증대를 초래하므로, 300㎜ FOUP용의 지지체와 450㎜ FOUP용의 지지체를 공용하는 것이 요구된다.
그러나, 전술한 바와 같이, 300㎜ FOUP에서의 3개의 제1 피걸어맞춤부의 위치와, 450㎜ FOUP에서의 3개의 제2 피걸어맞춤부의 위치와는 상이하게 되어 있다. 그러므로, 300㎜ FOUP용의 지지체에 의해 450㎜ FOUP를 지지하려고 하면, 450㎜ FOUP의 바닥면에 상기 지지체에 설치된 위치결정핀(300㎜ FOUP용의 위치결정핀)이 간섭하므로, 상기 지지체에 의해 450㎜ FOUP를 적절히 지지할 수 없다. 또한, 지지체에서의 450㎜ FOUP에 형성되어 있는 3개의 피걸어맞춤부에 걸어맞추어지는 위치에 450㎜ FOUP용의 위치결정핀을 구비하면, 상기 지지체에 의해 300㎜ FOUP를 지지할 때, 300㎜ FOUP의 바닥면에 450㎜ FOUP용의 위치결정핀이 간섭하므로, 상기 지지체에 의해 300㎜ FOUP를 적절히 지지할 수 없다.
이와 같이, 소용기와 대용기에서 바닥면에 형성되어 있는 3개의 피걸어맞춤부의 위치가 상이한 경우에, 이들 소용기와 대용기와의 양쪽에 겸용되는 1개의 지지체에 의해 소용기 및 대용기를 적절히 지지할 수 없다.
그래서, 겸용되는 1개의 지지체에 의해 소용기와 대용기와의 양쪽을 적절히 지지할 수 있는 용기 반송 장치 및 용기 반송 설비가 요구된다.
전술한 문제를 해결하기 위하여, 용기 반송 장치의 특징적 구성은, 반도체 기판 수용용의 용기를 아래쪽으로부터 지지하는 지지체와, 상기 지지체를 이동시키는 이동 기구를 구비한 용기 반송 장치에 있어서,
상기 용기로서, 소용기와, 상하 방향에서 볼 때의 크기가 상기 소용기보다 큰 대용기 중, 적어도 2종류가 포함되고, 상기 소용기는, 그 바닥면에 3개의 홈형의 제1 피걸어맞춤부를 구비하고, 상기 대용기는, 그 바닥면에 3개의 홈형의 제2 피걸어맞춤부를 구비하고, 3개의 상기 제1 피걸어맞춤부의 각각은, 그 길이 방향이 상기 소용기의 바닥면에서의 제1 기준 위치를 중심으로 한 방사 방향을 따른 상태로, 상기 소용기의 바닥면에 형성되고, 3개의 상기 제2 피걸어맞춤부의 각각은, 그 길이 방향이 상기 대용기의 바닥면에서의 제2 기준 위치를 중심으로 한 방사 방향을 따른 상태로, 상기 대용기의 바닥면에 형성되고, 3개의 상기 제2 피걸어맞춤부의 각각과 상기 제2 기준 위치와의 이격 거리는 모두, 3개의 상기 제1 피걸어맞춤부의 각각과 상기 제1 기준 위치와의 이격 거리의 최대의 것보다 길고, 상기 지지체는, 상기 지지체에 지지된 상기 소용기를 상기 상하 방향에서 볼 때 제1 지지 영역에 위치결정하는 제1 위치 결정부와, 상기 지지체에 지지된 상기 대용기를 상기 상하 방향에서 볼 때 제2 지지 영역에 위치결정하는 제2 위치 결정부를 구비하고, 상기 제2 지지 영역은, 그 일부가 상기 제1 지지 영역과 중복되도록 설정되고, 상기 제1 위치 결정부는, 상기 소용기를 아래쪽으로부터 지지하는 제1 지지체와, 3개의 상기 제1 피걸어맞춤부 중 2개 이상에 아래쪽으로부터 걸어맞추어지는 제1 걸어맞춤체를 구비하고, 상기 제2 위치 결정부는, 상기 제1 걸어맞춤체의 상단(上端)보다 위쪽에 상기 대용기의 바닥면이 위치하는 높이에서 상기 대용기를 지지하는 제2 지지체와, 상기 상하 방향에서 볼 때 상기 제1 지지 영역의 외측에 구비되어 3개의 상기 제2 피걸어맞춤부 중 하나에 걸어맞추어지는 제2 걸어맞춤체와, 상기 상하 방향에서 볼 때 상기 제1 지지 영역의 외측에 구비되어, 상기 제2 지지 영역에 위치하는 상기 대용기에 대하여 상하 방향과 교차하는 방향으로부터 맞닿는 접촉체를 구비하고 있는 점에 있다.
이 특징적 구성에 의하면, 지지체에 지지된 소용기는, 제1 위치 결정부에 의해 상하 방향에서 볼 때 제1 지지 영역에 위치결정되고, 지지체에 지지된 대용기는, 제2 위치 결정부에 의해 상하 방향에서 볼 때 제2 지지 영역에 위치 결정된다. 제2 지지 영역은, 그 일부가 제1 지지 영역과 중복되도록 설정되어 있으므로, 제1 지지 영역과 제2 지지 영역을 중복되지 않도록 수평 방향으로 배열하여 설정하는 경우와 비교하여, 지지체의 소형화를 도모할 수 있다.
지지체에 지지된 소용기는, 제1 지지체에 의해 아래쪽으로부터 지지되는 동시에 제1 걸어맞춤체가 소용기에서의 3개의 제1 피걸어맞춤부 중 2개 이상에 걸어맞추어져 있으므로, 지지체에 의해, 소용기를 제1 지지 영역에 위치 결정한 상태에서 지지할 수 있다.
그리고, 지지체에 지지된 대용기는, 제2 위치 결정부에서의 제2 지지체에 의해, 제1 걸어맞춤체의 상단보다 위쪽에 대용기의 바닥면이 위치하는 높이에서 대용기가 지지되므로, 대용기가 제1 걸어맞춤체에 간섭하지 않고, 지지체에 의해, 대용기를 적절히 지지할 수 있다.
또한, 지지체에 지지된 대용기는, 대용기의 3개의 제2 피걸어맞춤부 중 1개에 제2 걸어맞춤체가 걸어맞추어지고, 상하 방향과 교차하는 방향으로부터 접촉체가 대용기와 맞닿음으로써, 대용기를 제2 지지 영역에 위치결정할 수 있다. 특히, 상하 방향과 교차하는 방향으로부터 접촉체가 대용기와 맞닿음으로써, 대용기가 제2 피걸어맞춤부를 중심으로 한 세로 축심 주위로 회전하는 것을 규제할 수 있다.
그리고, 제2 걸어맞춤체는, 제1 지지 영역의 외측에 구비되어 있으므로, 지지체에 의해 소용기를 지지할 때 소용기에 제2 걸어맞춤체가 간섭하는 것을 회피할 수 있어, 지지체에 의해 소용기를 적절히 지지할 수 있다.
이와 같이, 겸용되는 1개의 지지체에 의해 소용기와 대용기와의 양쪽을 적절히 지지할 수 있다.
도 1은, 용기 반송 설비의 주요부를 나타낸 사시도이며,
도 2는, 승강식 반송 장치 및 용기 반송 장치를 나타낸 평면도이며,
도 3은, 승강식 반송 장치 및 수납부를 나타낸 평면도이며,
도 4는, 제1 용기 반송 장치의 동작 설명도이며,
도 5는, 지지체의 평면도이며,
도 6은, 지지체의 측면도이며,
도 7은, 지지체의 배면도이며,
도 8은, 제2 탑재체(receiving member)의 평면도이며,
도 9는, 제2 탑재체의 A에서 바라본 도면이며,
도 10은, 제2 탑재체의 B에서 바라본 도면이며,
도 11은, 제2 탑재체의 C에서 바라본 도면이며,
도 12는, 제1 탑재체의 평면도이며,
도 13은, 제1 탑재체의 측면도이며,
도 14는, 제1 탑재체의 배면도이며,
도 15는, 제3 용기 반송 장치의 사시도이며,
도 16은, 제3 탑재체의 측면도이다.
이하, 용기 반송 장치를 구비한 용기 반송 설비의 실시형태를 도면을 참조하여 설명한다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 용기 반송 설비에는, 복수 층의 사이에서 용기(1)를 반송하는 승강식 반송 장치(2)와, 천정 근처를 주행하여 용기(1)를 반송하는 천정 반송차(搬送車)(3)와, 용기(1)를 아래쪽으로부터 지지한 상태로 용기(1)를 반송하는 용기 반송 장치(4)가 구비되어 있다.
그리고, 용기(1)는, 반도체 기판을 수용하는 용기이며, SEMI 규격으로 규정되어 있는 FOUP(Front Opening Unified Pod)이다.
승강식 반송 장치(2)는, 통체(5)의 내측에 설치되어 있다. 천정 반송차(3)는, 통체(5)의 외측에 설치되어 있다. 용기 반송 장치(4)는, 통체(5)의 내측으로부터 외측에 걸쳐 설치되어 있다. 도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 통체(5)의 내부에는, 용기(1)를 수납하는 수납부(6)가 구비되어 있다.
용기 반송 설비에서는, 천정 반송차(3)나 작업자에 의해 용기 반송 장치(4)의 외부측 개소(箇所)(8)에 용기(1)가 탑재되면, 상기 용기(1)는, 용기 반송 장치(4)에 의해 외부측 개소(8)로부터 내부측 개소(9)로 반송된 후, 승강식 반송 장치(2)에 의해 내부측 개소(9)로부터 수납부(6)로 반송되어, 용기(1)가 수납부(6)에 수납된다.
또한, 수납부(6)에 수납되어 있는 용기(1)는, 승강식 반송 장치(2)에 의해 수납부(6)로부터 용기 반송 장치(4)의 내부측 개소(9)로 반송된 후, 용기 반송 장치(4)에 의해 내부측 개소(9)로부터 외부측 개소(8)로 탑재 반송된다. 외부측 개소(8)의 용기(1)는, 천정 반송차(3) 또는 작업자에 의해 외부측 개소(8)로부터 하강한다.
그리고, 승강식 반송 장치(2)에 의해 용기(1)를 내부측 개소(9)로부터 별개의 내부측 개소(9)로 반송하는 경우도 있다.
[용기]
다음에, 용기(1)에 대하여 설명한다.
용기(1)에는, 반도체 기판을 출입시키기 위한 개구가 형성되어 있다. 그리고, 용기(1)에서의 개구가 형성되어 있는 부분을 용기(1)의 전부(前部)로 하고, 용기(1)에서의 전부와는 반대측을 용기(1)의 후부(後部)로 하여, 용기(1)의 전부와 후부가 배열되는 방향을 용기(1)의 전후 방향으로 하고 있다. 또한, 용기(1)의 전후 방향에 대하여 상하 방향에서 볼 때 직교하는 방향을 용기(1)의 좌우 방향으로 하고 있다.
도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 또한 도 5에 가상선으로 나타낸 바와 같이, 용기(1)에는, 소용기(1a)와, 상하 방향에서 볼 때(평면에서 볼 때)에서의 크기가 소용기(1a)보다 큰 대용기(1b)가 있다.
소용기(1a)는, SEMI 규격(E47.1)에 의해 규정된 FOUP이며, 직경이 300㎜의 반도체 기판을 수납하기 위한 FOUP이다. 대용기(1b)는, SEMI 규격(E158)에 의해 규정된 FOUP이며, 직경이 450㎜의 반도체 기판을 수납하기 위한 FOUP이다.
도 5∼도 15에 가상선으로 나타낸 바와 같이, 소용기(1a)에는, 그 바닥면에 3개의 홈형의 제1 피걸어맞춤부(11)가 구비되어 있다. 3개의 제1 피걸어맞춤부(11)의 각각은, 그 길이 방향이 소용기(1a)의 바닥면에서의 제1 기준 위치(S1)를 중심으로 한 방사 방향을 따른 상태로, 소용기(1a)의 바닥면에 형성되어 있다.
소용기(1a)는, 3개의 제1 피걸어맞춤부(11)로서, 제1 기준 위치(S1)보다 전방에 구비된 좌우 한 쌍의 전방측 제1 피걸어맞춤부(11f)와, 제1 기준 위치(S1)보다 후방이면서 또한 소용기(1a)의 좌우 방향으로 중앙부에 구비된 1개의 후방측 제1 피걸어맞춤부(11r)를 구비하고 있다.
대용기(1b)에는, 그 바닥면에 3개의 홈형의 제2 피걸어맞춤부(12)가 구비되어 있다. 3개의 제2 피걸어맞춤부(12)의 각각은, 그 길이 방향이 대용기(1b)의 바닥면에서의 제2 기준 위치(S2)를 중심으로 한 방사 방향을 따른 상태로, 대용기(1b)의 바닥면에 형성되어 있다.
대용기(1b)는, 3개의 제2 피걸어맞춤부(12)로서, 제2 기준 위치(S2)보다 전방에 구비된 좌우 한 쌍의 전방측 제2 피걸어맞춤부(12f)와, 제2 기준 위치(S2)보다 후방이면서 또한 대용기(1b)의 좌우 방향으로 중앙부에 구비된 1개의 후방측 제2 피걸어맞춤부(12r)를 구비하고 있다.
3개의 제2 피걸어맞춤부(12)의 각각과 제2 기준 위치(S2)와의 이격 거리는 모두, 3개의 제1 피걸어맞춤부(11)의 각각과 제1 기준 위치(S1)와의 이격 거리의 최대의 것보다 길게 되어 있다.
[승강식 반송 장치]
도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 승강식 반송 장치(2)는, 승강용 모터(14)의 구동에 의해 안내 레일(15)을 따라 승강하는 승강대(16)를 구비하고 있다. 승강대(16)는, 승강 본체(17)와, 링크 기구(18)와, 승강 지지체(19)를 구비하고 있다.
링크 기구(18)의 베이스부는, 승강 본체(17)에 상하 방향을 따르는 회전 축심 주위로 회전 가능하게 연결되어 있고, 링크 기구(18)의 선단부는, 승강 지지체(19)에 연결되어 있다. 그리고, 승강대(16)는, 링크 기구(18)의 신축(伸縮)에 의해, 승강 지지체(19)를 승강 본체(17) 상으로 퇴피시킨 상태나 승강 지지체(19)를 수납부(6) 측이나 내부측 개소(9) 측으로 돌출된 상태로 전환 가능하게 구성되어 있다. 또한, 승강대(16)는, 링크 기구(18)를 회전 축심 주위로 회전시킴으로써, 링크 기구(18)를 신축시켰을 때의 승강 지지체(19)의 출퇴(出退) 방향을 변경할 수 있도록 구성되어 있다.
승강 지지체(19)에는, 판형의 제1 지지부(20)와, 이 제1 지지부(20)로부터 위쪽으로 돌출하는 3개의 제1 걸어맞춤부(21)가 구비되어 있다. 승강 지지체(19)는, 소용기(1a)의 3개의 제1 피걸어맞춤부(11)에 3개의 제1 걸어맞춤부(21)를 아래쪽으로부터 걸어맞추어 소용기(1a)의 수평 방향에서의 위치를 위치 결정시킨 상태에서, 소용기(1a)를 제1 지지부(20)에 의해 아래쪽으로부터 지지한다.
또한, 승강 지지체(19)에는, 제1 지지부(20)로부터 위쪽으로 돌출하는 1개의 제2 걸어맞춤부(22)와, 대용기(1b)를 아래쪽으로부터 지지하고 또한 대용기(1b)에 대하여 전방향 및 좌우 방향으로부터 맞닿는 한 쌍의 제2 지지부(23)가 구비되어 있다. 승강 지지체(19)는, 대용기(1b)의 후방측 제2 피걸어맞춤부(12r)에 제2 걸어맞춤부(22)를 아래쪽으로부터 걸어맞추고 또한 대용기(1b)의 측면에 제2 지지부(23)를 맞닿게 하여 대용기(1b)의 수평 방향에서의 위치를 위치 결정시킨 상태에서, 대용기(1b)를 제2 걸어맞춤부(22)와 한 쌍의 제2 지지부(23)에 의해 아래쪽으로부터 지지한다.
[수납부]
수납부(6)에는, 용기(1)를 아래쪽으로부터 지지하는 수납 지지체(26)가 구비되어 있다.
수납 지지체(26)에는, 판형의 제3 지지부(27)와, 이 제3 지지부(27)로부터 위쪽으로 돌출하는 2개의 제3 걸어맞춤부(28)가 구비되어 있다. 수납 지지체(26)는, 소용기(1a)의 2개의 전방측 제1 피걸어맞춤부(11f)에 2개의 제3 걸어맞춤부(28)를 아래쪽으로부터 걸어맞추어 소용기(1a)의 수평 방향에서의 위치를 위치 결정시킨 상태에서, 소용기(1a)를 제3 지지부(27)에 의해 아래쪽으로부터 지지한다.
또한, 수납 지지체(26)에는, 제3 지지부(27)로부터 위쪽으로 돌출하는 1개의 제4 걸어맞춤부(30)과, 대용기(1b)를 아래쪽으로부터 지지하는 한 쌍의 제4 지지부(31)와, 대용기(1b)에 대하여 좌우 방향으로부터 맞닿는 2개의 맞닿음부(32)가 구비되어 있다. 수납 지지체(26)는, 대용기(1b)의 후방측 제2 피걸어맞춤부(12r)에 제4 걸어맞춤부(30)를 아래쪽으로부터 걸어맞추고 또한 대용기(1b)의 좌우의 측면에 맞닿음부(32)를 맞닿게 하여 대용기(1b)의 수평 방향에서의 위치를 위치 결정시킨 상태에서, 대용기(1b)를 제4 걸어맞춤부(30)와 한 쌍의 제4 지지부(31)에 의해 아래쪽으로부터 지지한다.
[용기 반송 장치]
다음에, 용기 반송 장치(4)에 대하여 설명한다.
도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 용기 반송 장치(4)로서, 제1 용기 반송 장치(4a), 제2 용기 반송 장치(4b), 제3 용기 반송 장치(4c) 및 제4 용기 반송 장치(4d)의 4종의 용기 반송 장치(4)가 구비되어 있다.
제1 용기 반송 장치(4a)는, 제1 탑재체(43)[외부측 개소(8)]로부터 제2 탑재체(44)[내부측 개소(9)]로 용기(1)를 반송하는 입고용(入庫用) 용기 반송 장치(4)로서 사용되고 있다. 제2 용기 반송 장치(4b)는, 제2 탑재체(44)[내부측 개소(9)]로부터 제1 탑재체(43)[외부측 개소(8)]로 용기(1)를 반송하는 출고용(出庫用)의 용기 반송 장치(4)로서 사용되고 있다.
제3 용기 반송 장치(4c)는, 제1 용기 반송 장치(4a)와 마찬가지로 입고용의 용기 반송 장치(4)로서 사용되고 있는 동시에, 용기(1)를 일시적으로 보관하는 버퍼부(49)를 구비하고 있다(도 15 참조). 제4 용기 반송 장치(4d)는, 제2 용기 반송 장치(4b)와 마찬가지로 출고용의 용기 반송 장치(4)로서 사용되고 있는 동시에, 용기(1)를 일시적으로 보관하는 버퍼부(49)를 구비하고 있다.
이와 같이, 용기 반송 장치(4)는, 용기(1)를 제1 탑재체(43)로부터 제2 탑재체(44)로 반송하거나 또는 용기(1)를 제2 탑재체(44)로부터 제1 탑재체(43)로 반송하도록 구성되어 있다.
그리고, 도 1에 나타낸 바와 같이, 제1 용기 반송 장치(4a)와 제2 용기 반송 장치(4b)와는 같은 높이에 구비되어 있다. 제3 용기 반송 장치(4c) 및 제4 용기 반송 장치(4d)는, 제1 용기 반송 장치(4a) 등보다 낮은 높이에 구비되어 있고, 제3 용기 반송 장치(4c)와 제4 용기 반송 장치(4d)와는 같은 높이에 구비되어 있다.
그리고, 제1 용기 반송 장치(4a)나 제2 용기 반송 장치(4b)에 대하여 구비되어 있는 제1 탑재체(43)에는, 천정 반송차(3)가 용기(1)의 탑재 하강을 행하고, 제3 용기 반송 장치(4c)나 제4 용기 반송 장치(4d)에 대하여 구비되어 있는 제1 탑재체(43)에는, 작업자 또는 바닥면 상을 주행하는 바닥면 반송차가 용기(1)의 탑재 하강을 행하도록 되어 있다.
먼저, 4종의 용기 반송 장치(4)에 대하여, 주로 공통되는 구성에 대하여 설명하고, 상이한 구성에 대해서는 그 때마다 설명을 추가한다. 그리고, 도 4에는, 제1 용기 반송 장치(4a)를 예시하고 있다.
용기 반송 장치(4)는, 용기(1)를 아래쪽으로부터 지지하는 지지체(41)와, 지지체(41)를 제1 이동 방향 X 및 제2 이동 방향 Z를 따라 이동시키는 이동 기구(42)와, 지지체(41)를 상하 방향을 따르는 세로 축심 주위로 회전시키는 회전 기구(도시하지 않음)를 구비하고 있다. 외부측 개소(8)에는, 위치 고정 상태로 설치되어 용기(1)를 아래쪽으로부터 지지하는 제1 탑재체(43)를 구비하고, 내부측 개소(9)에는, 위치 고정 상태로 설치되어 용기(1)를 아래쪽으로부터 지지하는 제2 탑재체(44)를 구비하고 있다.
이동 기구(42)는, 지지체(41)를 수평 방향을 따른 제1 이동 방향 X를 따라 이동시키는 제1 이동 기구(45)와, 지지체(41)를 상하 방향을 따르는 제2 이동 방향 Z를 따라 이동시키는 제2 이동 기구(46)를 구비하고 있다. 도 4에 나타낸 바와 같이, 제1 이동 방향 X와 제1 탑재체(43)에 대하여 제2 탑재체(44)가 위치하는 방향[제1 이동 방향 X를 따라 제1 탑재체(43)로부터 제2 탑재체(44)를 향하는 방향]을 제1 방향 X1이라고 하고, 제1 방향 X1과는 반대의 방향을 제2 방향 X2이라고 한다.
제1 이동 기구(45)는, 제1 이동 방향 X를 따라 설정된 직선형의 주행 경로를 따라 왕복 주행하는 이동 캐리지에 의해 구성되어 있고, 제1 이동 방향 X를 따라 주행함으로써 지지체(41)를 제1 이동 방향 X를 따라 이동시키도록 구성되어 있다.
제2 이동 기구(46)는, 제1 이동 기구(45)에 지지된 실린더 장치에 의해 구성되어 있고, 제2 이동 기구(46)의 상단부에 지지체(41)가 고정되어 있다. 그리고, 제2 이동 기구(46)는, 상하 방향으로 신축됨으로써 지지체(41)를 제2 이동 방향 Z를 따라 이동시키도록 구성되어 있다.
제2 이동 기구(46)는, 지지체(41)를 제2 이동 방향 Z를 따라 이동시킴으로써, 지지체(41)를 실 이동 높이(occupied moving height)와 공 이동 높이(non-occupied moving height)로 승강하도록 구성되어 있다.
공 이동 높이는, 지지체(41)가 제1 탑재체(43)나 제2 탑재체(44)보다 아래쪽에 위치하는 높이로 설정되어 있고, 지지체(41)가 공 이동 높이에서 제1 이동 방향 X로 이동했을 때 지지체(41)가 제1 탑재체(43)나 제2 탑재체(44)에 간섭하지 않는 높이로 되어 있다. 이 공 이동 높이는, 지지체(41)가 용기(1)를 지지하지 않는 상태로 제1 이동 방향 X를 따라 이동할 때의 지지체(41)의 높이이다.
실 이동 높이는, 지지체(41)가 제1 탑재체(43)나 제2 탑재체(44)보다 위쪽에 위치하는 높이로 설정되어 있고, 지지체(41)가 실 이동 높이에서 제1 이동 방향 X로 이동했을 때 지지체(41)가 제1 탑재체(43)나 제2 탑재체(44)에 간섭하지 않는 높이로 되어 있다. 이 실 이동 높이는, 지지체(41)가 용기(1)를 지지한 상태에서 제1 이동 방향 X를 따라 이동할 때의 지지체(41)의 높이이다.
그리고, 도 4의 위쪽에 도시한 용기 반송 장치(4)나 아래쪽에 도시한 용기 반송 장치(4)에서는, 지지체(41)가 실 이동 높이와 공 이동 높이와의 사이의 높이에 위치하는 상태를 도시하고 있고, 지지체(41)가 제1 탑재체(43)나 제2 탑재체(44)와 같은 높이에 위치하고 있다. 또한, 도 4의 중간에 도시한 용기 반송 장치(4)에서는, 지지체(41)가 공 이동 높이에 위치하는 상태를 도시하고 있다.
도 4에 나타낸 바와 같이, 제1 이동 기구(45)는, 지지체(41)를 제1 이동 방향 X를 따라 이동시킴으로써, 지지체(41)를 제1 위치 P1와 제2 위치 P2와 제3 위치 P3로 수평 방향으로 이동시키도록 구성되어 있다.
제1 위치 P1은, 지지체(41)를 제2 이동 방향 Z를 따라 이동시켜 지지체(41)와 제1 탑재체(43)와의 사이에서 용기(1)를 이송탑재(transfer)하는 경우에, 상하 방향에서 볼 때 지지체(41)가 위치하는 위치로 설정되어 있다. 즉, 지지체(41)가 제1 위치 P1에 위치하는 상태에서 지지체(41)를 실 이동 높이와 공 이동 높이로 승강시킴으로써, 지지체(41)와 제1 탑재체(43)와의 사이에서 용기(1)를 이송탑재(移載; transfer) 가능하게 되어 있다.
제2 위치 P2는, 지지체(41)를 제2 이동 방향 Z를 따라 이동시켜 지지체(41)와 제2 탑재체(44)와의 사이에서 용기(1)를 이송탑재하는 경우에, 상하 방향에서 볼 때 지지체(41)가 위치하는 위치로 설정되어 있다. 즉, 지지체(41)가 제2 위치 P2에 위치하는 상태에서 지지체(41)를 실 이동 높이와 공 이동 높이로 승강시킴으로써, 지지체(41)와 제2 탑재체(44)와의 사이에서 용기(1)를 이송탑재 가능하게 되어 있다.
제3 위치 P3는, 제1 이동 방향 X에 있어서, 제1 위치 P1와 제2 위치 P2와의 사이에 설정되어 있고, 회전 기구에 의해 지지체(41)를 상하 방향을 따르는 세로 축심 주위로 회전시키는 위치이다.
도 4에 나타낸 바와 같이, 입고용의 용기 반송 장치(4)로서 사용되는 제1 용기 반송 장치(4a)에서는, 지지체(41)가 실 이동 높이에서 제1 위치 P1로부터 제2 위치 P2로 이동하는 도중에, 제3 위치 P3에 있어서 지지체(41)를 평면에서 볼 때 시계 방향으로 설정 각도(예를 들면, 50°정도) 회전시키고, 지지체(41)가 공 이동 높이에서 제2 위치 P2로부터 제1 위치 P1로 이동하는 도중에, 제3 위치 P3에 있어서 지지체(41)를 평면에서 볼 때 반시계 방향으로 설정 각도(예를 들면, 50°정도) 회전시킨다. 그러므로, 제1 위치 P1에 위치하는 지지체(41)에 대하여, 제2 위치 P2에 위치하는 지지체(41)는 평면에서 볼 때 시계 방향으로 경사진 자세로 되어 있다.
제3 용기 반송 장치(4c)는, 제3 위치 P3에 있어서 지지체(41)를 제1 용기 반송 장치(4a)와 같은 방향으로 설정 각도 회전시키므로, 제1 위치 P1에 위치하는 지지체(41)에 대하여, 제2 위치 P2에 위치하는 지지체(41)는 평면에서 볼 때 시계 방향으로 경사진 자세로 되어 있다.
제2 용기 반송 장치(4b)나 제4 용기 반송 장치(4d)는, 제3 위치 P3에 있어서 지지체(41)를 제1 용기 반송 장치(4a)와는 반대 방향으로 설정 각도 회전시키기 위해, 제1 위치 P1에 위치하는 지지체(41)에 대하여, 제2 위치 P2에 위치하는 지지체(41)는 평면에서 볼 때 반시계 방향으로 경사진 자세로 되어 있다.
또한, 제1 위치 P1로서, 지지체(41)와 제1 탑재체(43)와의 사이에서 소용기(1a)를 이송탑재할 때의 지지체(41)의 위치인 소용기용 위치(도 4에 가상선으로 나타낸 위치)와, 지지체(41)와 제1 탑재체(43)와의 사이에서 대용기(1b)를 이송탑재할 때의 지지체(41)의 위치인 대용기용 위치(도 4에 실선으로 나타낸 위치)가 설정되고, 소용기용 위치는, 대용기용 위치보다 제2 방향 X2 측으로 설정되어 있다. 이와 같이, 소용기용 위치를 대용기 위치에 대하여 제2 방향 X2 측으로 설정함으로써, 도 12에 나타낸 바와 같이, 제1 탑재체(43)에 소용기(1a)를 내렸을 때의 소용기(1a)의 제1 기준 위치(S1)와, 제1 탑재체(43)에 대용기(1b)를 내렸을 때의 대용기(1b)의 제2 기준 위치(S2)가, 제1 이동 방향 X에 있어서 같은 위치에 위치하게 되어 있다.
도 15에 나타낸 바와 같이, 제3 용기 반송 장치(4c)나 제4 용기 반송 장치(4d)에서는, 제1 이동 기구(45)는, 지지체(41)를 제1 이동 방향 X를 따라 이동시킴으로써, 제1 위치 P1, 제2 위치 P2, 제3 위치 P3에 더하여, 지지체(41)를 제4 위치 P4로 수평 방향으로 이동시키도록 구성되어 있다.
제4 위치 P4는, 제1 이동 방향 X에 있어서, 제1 위치 P1와 제3 위치 P3와의 사이에 1개 또는 복수 개 설정되어 있고, 지지체(41)를 제2 이동 방향 Z를 따라 이동시켜 지지체(41)와 제3 탑재체(48)와의 사이에서 용기(1)를 이송탑재하는 경우에, 상하 방향에서 볼 때 지지체(41)가 위치하는 위치로 설정되어 있다. 즉, 지지체(41)가 제4 위치 P4에 위치하는 상태에서 지지체(41)를 실 이동 높이와 공 이동 높이로 승강시킴으로써, 지지체(41)와 제3 탑재체(48)와의 사이에서 용기(1)를 이송탑재 가능하게 되어 있다.
다음에, 지지체(41)에 대하여 설명하지만, 지지체(41)에 의해 용기(1)를 지지한 상태에 기초하여, 지지체(41)에 의해 지지한 용기(1)의 전후 방향을 따른 방향을 지지체(41)의 전후 방향이라고 하고, 지지체(41)에 의해 지지한 용기(1)의 좌우 방향을 따른 방향을 지지체(41)의 좌우 방향이라고 하여 설명한다. 또한, 전후 방향이나 좌우 방향에 있어서, 지지체(41)에 의해 지지한 용기(1)의 기준 위치가 존재하는 방향을 내측이라고 하고, 그 반대의 방향을 외측이라고 하여 설명한다. 또한, 용기(1)의 전후 방향에서의 전방을, 지지체(41)의 전후 방향에서의 전방으로 한다. 그리고, 도 5는, 상하 방향을 따라 본 지지체(41)의 평면도이며, 도 6은, 좌우 방향을 따라 본 지지체(41)의 측면도이며, 도 7은, 전후 방향을 따라 본 지지체(41)의 배면도이다.
도 5∼도 7에 나타낸 바와 같이, 지지체(41)는, 지지체(41)에 지지한 소용기(1a)를 상하 방향에서 볼 때 제1 지지 영역 T1에 위치결정하는 제1 위치 결정부(51)와, 지지체(41)에 지지한 대용기(1b)를 상하 방향에서 볼 때 제2 지지 영역 T2에 위치결정하는 제2 위치 결정부(52)를 구비하고 있다. 제2 지지 영역 T2는, 그 일부가 제1 지지 영역 T1과 중복되도록 설정되어 있다.
또한, 제1 지지 영역 T1은, 제1 위치 결정부(51)에 의해 위치결정된 소용기(1a)의 바닥면이 존재하는 영역이며, 제2 지지 영역 T2는, 제2 위치 결정부(52)에 의해 위치결정된 대용기(1b)의 바닥면이 존재하는 영역이다. 그리고, 지지체(41)는, 용기(1)의 전방이 제1 방향 X1을 향하는 자세로 용기(1)를 지지한다.
제1 위치 결정부(51)는, 제1 지지체(53)와 제1 걸어맞춤체(54)를 구비하고 있다.
제1 지지체(53)는, 평판형으로 형성되어 있고, 소용기(1a)의 바닥면을 아래쪽으로부터 지지한다.
제1 지지체(53)에는, 제1 지지체(53)로부터 위쪽으로 돌출하는 상태로 3개의 제1 핀(55)이 고정되어 있고, 3개의 제1 핀(55)은, 제1 지지 영역 T1의 내측에 위치하고 있다. 그리고, 3개의 제1 핀(55)은, 지지체(41)에 의해 소용기(1a)를 지지할 때 소용기(1a)의 3개의 제1 피걸어맞춤부(11)에 아래쪽으로부터 걸어맞추어지는 것이며, 제1 피걸어맞춤부(11)에 걸어맞추어지는 제1 걸어맞춤체(54)로서 기능한다.
제1 위치 결정부(51)는, 3개의 제1 핀(55)[제1 걸어맞춤체(54)]를 소용기(1a)의 3개의 제1 피걸어맞춤부(11)에 걸어맞추어진 상태에서 제1 지지체(53)에 의해 소용기(1a)를 아래쪽으로부터 지지함으로써, 소용기(1a)를 제1 지지 영역 T1에 위치 결정한 상태에서 지지할 수 있도록 구성되어 있다.
제2 위치 결정부(52)는, 제2 지지체(56)와 제2 걸어맞춤체(57)와 접촉체(58)를 구비하고 있다. 도 7에 나타낸 바와 같이, 제2 지지체(56)는, 제1 걸어맞춤체(54)의 상단보다 위쪽에 대용기(1b)의 바닥면이 위치하는 높이에서, 대용기(1b)를 지지한다.
제1 지지체(53)의 상면에는, 제1 규제 지지체(59)가 고정되어 있다. 이 제1 규제 지지체(59)는, 제1 지지 영역 T1의 외측이면서 또한 제2 지지 영역 T2의 내측에 위치하고 있고, 후술하는 바와 같이, 제2 지지체(56) 및 접촉체(58)로서 기능한다. 제1 규제 지지체(59)로서, 제1 지지 영역 T1의 우측에 위치하는 제1 규제 지지체(59)와, 제1 지지 영역 T1의 좌측에 위치하는 제1 규제 지지체(59)와의 한 쌍의 제1 규제 지지체(59)가 구비되어 있다.
그리고, 한 쌍의 제1 규제 지지체(59)의 각각은, 2단의 계단형으로 형성되어 있다. 제1 규제 지지체(59)에서의 하단(下段)을 형성하는 부분은, 제2 지지 영역 T2에 위치하는 대용기(1b)를 아래쪽으로부터 지지하는 제2 지지체(56)로서 기능한다. 또한, 제1 규제 지지체(59)에서의 상단(上段)을 형성하는 부분은, 제2 지지 영역 T2에 위치하는 대용기(1b)에 대하여 좌우 방향으로부터 맞닿는 접촉체(58)로서 기능한다. 또한, 제1 규제 지지체(59)의 하단을 형성하는 부분은, 상단을 형성하는 부분에 대하여 좌우 방향으로 내측[지지한 대용기(1b)의 제2 기준 위치(S2)가 존재하는 측]에 위치하고 있다.
한 쌍의 제1 규제 지지체(59)는, 전후 방향에서의 서로 같은 위치에 설치되어 있다. 그리고, 도 5에 나타낸 바와 같이, 지지체(41)에 의해 대용기(1b)를 제2 지지 영역 T2에 지지한 상태에 있어서, 제1 규제 지지체(59)[본 예에서는 제1 규제 지지체(59)의 일부]는, 전방측 제2 피걸어맞춤부(12f)보다 후방측에 위치하고 있다. 또한, 지지체(41)에 의해 대용기(1b)를 제2 지지 영역 T2에 지지한 상태에 있어서, 제1 규제 지지체(59)는, 후방측 제2 피걸어맞춤부(12r)보다 전방에 위치하고 있고, 본 예에서는, 제2 기준 위치(S2)에 대하여 전방에 위치하고 있다. 또한, 본 예에서는, 제1 규제 지지체(59)는, 대용기(1b)에서의 전후 방향의 중앙부보다 전방에 위치하고 있다. 그러므로, 한 쌍의 제1 규제 지지체(59)는, 대용기(1b)에서의 전후 방향의 중앙부보다 전방이면서 또한 좌우 방향의 양 단부를 아래쪽으로부터 지지하도록 구비되어 있다. 또한, 한 쌍의 제1 규제 지지체(59)는, 후방측 제2 피걸어맞춤부(12r)보다 전방[본 예에서는, 대용기(1b)에서의 전후 방향의 중앙부보다 전방]에 있어서 대용기(1b)에 대하여 좌우 방향의 양측으로부터 맞닿도록 구비되어 있다.
또한, 한 쌍의 제1 규제 지지체(59)에서의 하단을 형성하는 부분은, 제1 지지 영역 T1에 위치하는 소용기(1a)에 대하여 좌우 방향으로부터 맞닿는 부재로서도 기능한다.
제1 지지체(53)에는, 제1 지지체(53)로부터 위쪽으로 돌출하는 상태로 1개의 제2 핀(60)이 고정되어 있고, 이 제2 핀(60)은, 제1 지지 영역 T1의 외측이면서 또한 제2 지지 영역 T2의 내측에 위치하고 있다. 그리고, 제2 핀(60)은, 지지체(41)에 의해 대용기(1b)를 지지할 때 대용기(1b)의 후방측 제2 피걸어맞춤부(12r)에 아래쪽으로부터 걸어맞추어져 대용기(1b)를 지지하는 것이며, 대용기(1b)를 아래쪽으로부터 지지하는 제2 지지체(56), 및 제2 피걸어맞춤부(12)에 걸어맞추어지는 제2 걸어맞춤체(57)로서 기능한다.
제2 위치 결정부(52)는, 제2 걸어맞춤체(57)[제2 핀(60)]을 대용기(1b)의 후방측 제2 피걸어맞춤부(12r)에 걸어맞추고 또한 대용기(1b)에 대하여 좌우 방향으로부터 제1 규제 지지체(59)가 맞닿는 상태에서, 제2 지지체(56)[제2 핀(60)]과 한 쌍의 제1 규제 지지체(59)에 의해 대용기(1b)를 아래쪽으로부터 지지함으로써, 대용기(1b)를 제2 지지 영역 T2에 위치 결정한 상태에서 지지할 수 있도록 구성되어 있다.
지지체(41)[제1 지지체(53)]에 대하여 설명을 추가하면, 지지체(41)의 전단(前端) 에지가 좌우 방향을 따르는 직선형으로 형성되고, 지지체(41)의 후단부는, 전후 방향에서 후방측으로 갈수록 좌우 방향에서의 간격이 좁아지는 끝이 좁은 형상으로 형성되어 있다.
그리고, 지지체(41)는, 제2 위치 P2에 위치하는 상태에서는, 지지체(41)의 전단 에지가 한 쌍의 제2 규제 지지체(71)가 배열되는 배열 방향(평면에서 볼 때 제1 이동 방향 X에 대하여 경사지는 방향)을 따르는 자세로 되는 동시에, 지지체(41)의 후단부에서의 한쪽의 에지부가 제1 이동 방향 X를 따르는 자세로 되어 있다.
다음에, 제2 탑재체(44)에 대하여 설명한다. 그리고, 도 8은, 상하 방향을 따라 본 제2 탑재체(44)의 평면도이며, 도 9는, 폭 방향 Y(제1 이동 방향 X와 직교하는 수평 방향)을 따라 본 제2 탑재체(44)의 측면도(A에서 바라본 도면)이며, 도 10은, 제1 이동 방향 X를 따라 본 제2 탑재체(44)의 정면도(B에서 바라본 도면)이며, 도 11은, 지지한 용기(1)의 전후 방향을 따라 본 제2 탑재체(44)의 정면도(C에서 바라본 도면)이다. 이하에서는, 제2 위치 P2에 위치하는 지지체(41)를 기준으로 하는 각각의 방향(전후 방향 및 좌우 방향)을 사용하여, 제2 탑재체(44)의 구성에 대하여 설명한다. 전술한 바와 같이, 본 실시형태에서는 제3 위치 P3에 있어서 지지체(41)가 설정 각도만큼 회전되므로, 제2 위치 P2에 위치하는 지지체(41)의 전후 방향은, 제1 이동 방향 X에 대하여 상기 설정 각도로 교차한 방향으로 되고, 제2 위치 P2에 위치하는 지지체(41)의 좌우 방향은, 폭 방향 Y에 대하여 상기 설정 각도로 교차한 방향으로 된다.
도 8∼도 11에 나타낸 바와 같이, 제2 탑재체(44)는, 제2 탑재체(44)에 지지한 소용기(1a)를 상하 방향에서 볼 때 제3 지지 영역 T3에 위치결정하는 제3 위치 결정부(63)와, 제2 탑재체(44)에 지지한 대용기(1b)를 상하 방향에서 볼 때 제4 지지 영역 T4에 위치결정하는 제4 위치 결정부(64)를 구비하고 있다. 제4 지지 영역 T4은, 그 일부가 제3 지지 영역 T3과 중복되도록 설정되어 있다. 또한, 지지체(41)가 제2 위치 P2에 위치하는 상태에서는, 제1 지지 영역 T1과 제3 지지 영역 T3이 같은 영역으로 되고, 제2 지지 영역 T2과 제4 지지 영역 T4이 같은 영역으로 된다.
제3 위치 결정부(63)는, 제3 지지체(65)와 제3 걸어맞춤체(66)를 구비하고 있다.
제3 지지체(65)는, 지지체(41)의 좌우 방향[제3 위치 P3에서의 지지체(41)의 회전이 없는 경우에는 폭 방향 Y와 일치]으로 간격을 둔 상태로 구비된 한 쌍의 제3 지지체(65)를 조(組)로 하여, 2조의 제3 지지체(65)가 지지체(41)의 전후 방향[제3 위치 P3에서의 지지체(41)의 회전이 없는 경우에는 제1 이동 방향 X와 일치]으로 간격을 둔 상태로 구비되어 있고, 소용기(1a)는 2조의 제3 지지체(65)[4개의 제3 지지체(65)]에 의해 아래쪽으로부터 지지된다. 2조의 제3 지지체(65) 중의 지지체(41)의 전후 방향에서 전방측[제3 위치 P3에서의 지지체(41)의 회전이 없는 경우에는 제1 이동 방향 X와 제1 방향 X1 측)에 위치하는 한 쌍의 제3 지지체(65)의 각각에는, 제3 지지체(65)로부터 위쪽으로 돌출하는 상태로 제3 핀(67)이 고정되어 있다. 이 2개의 제3 핀(67)은, 제3 지지 영역 T3 내에 위치하고 있다. 그리고, 2개의 제3 핀(67)은, 제2 탑재체(44)에 의해 소용기(1a)를 지지할 때 소용기(1a)의 2개의 전방측 제1 피걸어맞춤부(11f)에 아래쪽으로부터 걸어맞추어지는 것이며, 한 쌍의 전방측 제1 피걸어맞춤부(11f)에 아래쪽으로부터 걸어맞추어지는 한 쌍의 제3 걸어맞춤체(66)로서 기능한다.
제3 위치 결정부(63)는, 2개의 제3 걸어맞춤체(66)를 소용기(1a)의 2개의 전방측 제1 피걸어맞춤부(11f)에 걸어맞추어진 상태에서 제3 지지체(65)에 의해 소용기(1a)를 아래쪽으로부터 지지함으로써, 소용기(1a)를 제3 지지 영역 T3에 위치 결정한 상태에서 지지할 수 있도록 구성되어 있다.
제4 위치 결정부(64)는, 제4 지지체(68)와 제4 걸어맞춤체(69)와 제2 접촉체(70)를 구비하고 있다.
제2 탑재체(44)에는, 3개의 제2 규제 지지체(71)가 고정되어 있다. 이 제2 규제 지지체(71)는, 제3 지지 영역 T3의 외측에 위치하고 있고, 후술하는 바와 같이, 제4 지지체(68) 및 제2 접촉체(70)로서 기능한다. 제2 규제 지지체(71)로서, 제3 지지 영역 T3에 대하여 지지체(41)의 좌우 방향의 한쪽 측에 위치하는 제2 규제 지지체(71)와, 제3 지지 영역 T3에 대하여 지지체(41)의 좌우 방향의 다른 쪽 측에 위치하는 제2 규제 지지체(71)와, 제3 지지 영역 T3에 대하여 지지체(41)의 전후 방향의 후방측에 위치하는 제2 규제 지지체(71)의 3개의 제2 규제 지지체(71)가 구비되어 있다. 이하에서는, 제3 지지 영역 T3에 대하여 지지체(41)의 좌우 방향의 한쪽 측에 위치하는 제2 규제 지지체(71)와, 제3 지지 영역 T3에 대하여 지지체(41)의 좌우 방향의 다른 쪽 측에 위치하는 제2 규제 지지체(71)를, 한 쌍의 제2 규제 지지체(71)라고 한다.
그리고, 3개의 제2 규제 지지체(71)의 각각은, 2단의 계단형으로 형성되어 있다. 제2 규제 지지체(71)의 각각에서의 하단을 형성하는 부분은, 제4 지지 영역 T4에 위치하는 대용기(1b)를 아래쪽으로부터 지지하는 제4 지지체(68)로서 기능한다. 또한, 한 쌍의 제2 규제 지지체(71)에서의 상단을 형성하는 부분은, 제4 지지 영역 T4에 위치하는 대용기(1b)에 대하여 지지체(41)의 좌우 방향[제3 위치 P3에서의 지지체(41)의 회전이 없는 경우에는 폭 방향 Y와 일치]으로부터 맞닿는 제2 접촉체(70)로서 기능한다. 또한, 한 쌍의 제2 규제 지지체(71)의 하단을 형성하는 부분은, 상단을 형성하는 부분에 대하여 지지체(41)의 좌우 방향으로 내측[지지한 대용기(1b)의 제2 기준 위치(S2)가 존재하는 측]에 위치하고 있다.
한 쌍의 제2 규제 지지체(71)는, 제2 탑재체(44)에 의해 대용기(1b)를 제4 지지 영역 T4에 지지한 상태에 있어서, 제2 기준 위치(S2)보다 지지체(41)의 전후 방향에서 전방에 위치하고 있다. 그러므로, 한 쌍의 제2 규제 지지체(71)는, 대용기(1b)에서의 전후 방향의 전부에서 또한 좌우 방향의 양 단부를 아래쪽으로부터 지지하도록 구비되어 있다. 또한, 한 쌍의 제2 규제 지지체(71)는, 후방측 제2 피걸어맞춤부(12r)보다 지지체(41)의 전후 방향에서 전방에 있어서, 대용기(1b)에 대하여 지지체(41)의 좌우 방향[제3 위치 P3에서의 지지체(41)의 회전이 없는 경우에는 폭 방향 Y와 일치]의 양측으로부터 맞닿도록 구비되어 있다.
또한, 한 쌍의 제2 규제 지지체(71)에서의 하단을 형성하는 부분은, 제3 지지 영역 T3에 위치하는 소용기(1a)에 대하여 지지체(41)의 좌우 방향[제3 위치 P3에서의 지지체(41)의 회전이 없는 경우에는 폭 방향 Y와 일치]으로부터 맞닿는 부재로서도 기능한다.
제2 탑재체(44)에는, 그 제2 탑재체(44)로부터 위쪽으로 돌출하는 상태로 1개의 제4 핀(72)이 고정되어 있고, 이 제4 핀(72)은, 제3 지지 영역 T3의 외측이면서 또한 제4 지지 영역 T4의 내측에 위치하고 있다. 그리고, 제4 핀(72)은, 제2 탑재체(44)에 의해 대용기(1b)를 지지할 때 대용기(1b)의 후방측 제2 피걸어맞춤부(12r)에 아래쪽으로부터 걸어맞추어져 대용기(1b)를 지지하는 것이며, 대용기(1b)를 아래쪽으로부터 지지하는 제4 지지체(68), 및 제2 피걸어맞춤부(12)에 걸어맞추어지는 제4 걸어맞춤체(69)로서 기능한다.
제4 위치 결정부(64)는, 제4 걸어맞춤체(69)를 대용기(1b)의 후방측 제2 피걸어맞춤부(12r)에 걸어맞추고 또한 대용기(1b)에 대하여 좌우 방향으로부터 제2 규제 지지체(71)가 맞닿는 상태에서, 제4 지지체(68)[1개의 제4 핀(72)과 한 쌍의 제2 규제 지지체(71)]에 의해 대용기(1b)를 아래쪽으로부터 지지함으로써, 대용기(1b)를 제4 지지 영역 T4에 위치 결정한 상태에서 지지할 수 있도록 구성되어 있다.
도 5에 나타낸 바와 같이, 제1 지지 영역 T1과 제2 지지 영역 T2과의 위치 관계는, 제1 지지 영역 T1에 위치하는 소용기(1a)의 제1 기준 위치(S1)가 제2 지지 영역 T2에 위치하는 대용기(1b)의 제2 기준 위치(S2)보다 제1 방향 X1 측에 위치하도록 설정되어 있다. 이와 같이, 제1 지지 영역 T1을 제2 지지 영역 T2에 대하여 제1 방향 X1 측으로 치우친 위치에 설정함으로써, 제1 지지 영역 T1에 대하여 제1 이동 방향 X의 제2 방향 X2 측의 외측에 제2 핀(60)을 위치시키는 동시에, 제2 탑재체(44)에 소용기(1a)를 내렸을 때 제1 방향 X1 측에 위치한 상태로 탑재하게 되어 있다.
다음에, 제1 탑재체(43)에 대하여 설명한다.
제1 탑재체(43)는, 제1 탑재체(43)에 지지한 소용기(1a)를 상하 방향에서 볼 때 제5 지지 영역 T5에 위치결정하는 제5 위치 결정부(75)와, 제1 탑재체(43)에 지지한 대용기(1b)를 상하 방향에서 볼 때 제6 지지 영역 T6에 위치결정하는 제6 위치 결정부(76)를 구비하고 있다. 제6 지지 영역 T6은, 그 일부가 제5 지지 영역 T5과 중복되도록 설정되어 있다.
또한, 제5 지지 영역 T5은, 제5 위치 결정부(75)에 의해 위치결정된 소용기(1a)의 바닥면이 존재하는 영역이며, 제6 지지 영역 T6은, 제6 위치 결정부(76)에 의해 위치결정된 대용기(1b)의 바닥면이 존재하는 영역이다.
그리고, 지지체(41)가 제1 위치 P1의 소용기용 위치에 위치하는 상태에서는, 제1 지지 영역 T1과 제5 지지 영역 T5이 같은 영역으로 되고, 지지체(41)가 제1 위치 P1의 대용기용 위치에 위치하는 상태에서는, 제2 지지 영역 T2과 제6 지지 영역 T6이 같은 영역으로 된다.
제5 위치 결정부(75)는, 제5 지지체(77)와 제5 걸어맞춤체(78)를 구비하고 있다.
제5 지지체(77)는, 폭 방향 Y에 간격을 둔 상태로 구비된 한 쌍의 제5 지지체(77)를 조로 하여, 2조의 제5 지지체(77)가 제1 이동 방향 X로 간격을 둔 상태로 구비되어 있고, 소용기(1a)는 2조의 제5 지지체(77)[4개의 제5 지지체(77)]에 의해 아래쪽으로부터 지지된다. 2조의 제5 지지체(77) 중의 제1 이동 방향 X에서 제1 방향 X1 측에 위치하는 한 쌍의 제5 지지체(77)의 각각에는, 제5 지지체(77)로부터 위쪽으로 돌출하는 상태로 제5 핀(79)이 고정되어 있다. 이 2개의 제5 핀(79)은, 제5 지지 영역 T5 내에 위치하고 있다. 그리고, 2개의 제5 핀(79)은, 제1 탑재체(43)에 의해 소용기(1a)를 지지할 때 소용기(1a)의 2개의 전방측 제1 피걸어맞춤부(11f)에 아래쪽으로부터 걸어맞추어지는 것이며, 한 쌍의 전방측 제1 피걸어맞춤부(11f)에 아래쪽으로부터 걸어맞추어지는 한 쌍의 제5 걸어맞춤체(78)로서 기능한다.
제5 위치 결정부(75)는, 2개의 제5 걸어맞춤체(78)를 소용기(1a)의 2개의 전방측 제1 피걸어맞춤부(11f)에 걸어맞추어진 상태에서 제5 지지체(77)에 의해 소용기(1a)를 아래쪽으로부터 지지함으로써, 소용기(1a)를 제5 지지 영역 T5에 위치 결정한 상태에서 지지할 수 있도록 구성되어 있다.
제6 위치 결정부(76)는, 제6 지지체(80)와 제3 접촉체(81)를 구비하고 있다.
제1 탑재체(43)에는, 제3 규제 지지체(82)가 고정되어 있다. 이 제3 규제 지지체(82)는, 제5 지지 영역 T5의 외측에 위치하고 있고, 후술하는 바와 같이, 제6 지지체(80) 및 제3 접촉체(81)로서 기능한다. 제3 규제 지지체(82)로서, 제5 지지 영역 T5에 대하여 폭 방향 Y의 한쪽 측에 위치하는 한 쌍의 제3 규제 지지체(82)와, 제5 지지 영역 T5에 대하여 폭 방향 Y의 다른 쪽 측에 위치하는 한 쌍의 제3 규제 지지체(82)와, 제5 지지 영역 T5에 대하여 제1 이동 방향 X의 한쪽 측에 위치하는 한 쌍의 제3 규제 지지체(82)와, 제5 지지 영역 T5에 대하여 제1 이동 방향 X의 다른 쪽 측에 위치하는 한 쌍의 제3 규제 지지체(82)와의 합계 8개의 제3 규제 지지체(82)가 구비되어 있다.
그리고, 8개의 제3 규제 지지체(82) 중의 제5 지지 영역 T5에 대하여 폭 방향 Y의 양측에 위치하는 4개는, 2단의 계단형으로 형성되어 있다. 제3 규제 지지체(82)에서의 하단을 형성하는 부분은, 제6 지지 영역 T6에 위치하는 대용기(1b)를 아래쪽으로부터 지지하는 제6 지지체(80)로서 기능한다. 또한, 제3 규제 지지체(82)에서의 상단을 형성하는 부분은, 제6 지지 영역 T6에 위치하는 대용기(1b)에 대하여 제1 이동 방향 X 또는 폭 방향 Y로부터 맞닿는 제3 접촉체(81)로서 기능한다. 또한, 제3 규제 지지체(82)의 하단을 형성하는 부분은, 상단을 형성하는 부분에 대하여 제1 이동 방향 X나 폭 방향 Y에서 내측[지지한 대용기(1b)의 제2 기준 위치(S2)가 존재하는 측]에 위치하고 있다.
그리고, 8개의 제3 규제 지지체(82) 중의 남은 4개(제5 지지 영역 T5에 대하여 제1 이동 방향 X의 양측에 위치하는 4개)는, 대용기(1b)에 대하여 외측의 경사 하방으로부터 맞닿는 경사면을 구비하고 있고, 제6 지지체(80) 및 제3 접촉체(81)로서 기능한다.
8개의 제1 규제 지지체(59)는, 제1 탑재체(43)에 의해 대용기(1b)를 제6 지지 영역 T6에 지지한 상태에 있어서, 대용기(1b)에서의 주위 에지부를 아래쪽으로부터 지지하도록 구비되어 있다. 또한, 8개의 제3 규제 지지체(82)는, 대용기(1b)에 대하여 제1 이동 방향 X의 양측 및 폭 방향 Y의 양측으로부터 맞닿도록 구비되어 있다.
또한, 8개의 제3 규제 지지체(82) 중의 한 쌍의 제3 규제 지지체(82)에서의 하단을 형성하는 부분은, 제5 지지 영역 T5에 위치하는 소용기(1a)에 대하여 폭 방향 Y로부터 맞닿는 부재로서도 기능한다.
제6 위치 결정부(76)는, 대용기(1b)에 대하여 제1 이동 방향 X의 양측 및 폭 방향 Y의 양측으로부터 제3 규제 지지체(82)가 맞닿는 상태에서, 제6 지지체(80)[8개의 제2 규제 지지체(71)]에 의해 대용기(1b)를 아래쪽으로부터 지지함으로써, 대용기(1b)를 제6 지지 영역 T6에 위치 결정한 상태에서 지지할 수 있도록 구성되어 있다.
도 15 및 도 16에 나타낸 바와 같이, 제3 탑재체(48)는, 제3 탑재체(48)에 지지한 소용기(1a)를 상하 방향에서 볼 때 제7 지지 영역에 위치결정하는 제7 위치 결정부(87)와, 제3 탑재체(48)에 지지한 대용기(1b)를 상하 방향에서 볼 때 제8 지지 영역에 위치결정하는 제8 위치 결정부(88)를 구비하고 있다. 제8 지지 영역은, 그 일부가 제7 지지 영역과 중복되도록 설정되어 있다.
또한, 제7 지지 영역은, 제7 위치 결정부(87)에 의해 위치결정된 소용기(1a)의 바닥면이 존재하는 영역이며, 제8 지지 영역은, 제8 위치 결정부(88)에 의해 위치결정된 대용기(1b)의 바닥면이 존재하는 영역이다.
제7 위치 결정부(87)는, 제7 지지체(89)와 제7 걸어맞춤체(90)를 구비하고 있다.
제7 지지체(89)는, 제5 지지체(77)와 마찬가지로 2조 구비되어 있고, 소용기(1a)는 2조의 제7 지지체(89)[4개의 제7 지지체(89)]에 의해 소용기(1a)]를 아래쪽으로부터 지지한다. 2조의 제7 지지체(89) 중의 제1 이동 방향 X와 제1 방향 X1 측에 위치하는 한 쌍의 제7 지지체(89)의 각각에는, 제7 지지체(89)로부터 위쪽으로 돌출하는 상태로 제7 핀(91)이 고정되어 있다. 이 2개의 제7 핀(91)은, 제7 지지 영역 내에 위치하고 있다. 그리고, 2개의 제7 핀(91)은, 제3 탑재체(48)에 의해 소용기(1a)를 지지할 때 소용기(1a)의 2개의 전방측 제1 피걸어맞춤부(11f)에 아래쪽으로부터 걸어맞추어지는 것이며, 한 쌍의 전방측 제1 피걸어맞춤부(11f)에 아래쪽으로부터 걸어맞추어지는 한 쌍의 제7 걸어맞춤체(90)로서 기능한다.
제7 위치 결정부(87)는, 2개의 제7 걸어맞춤체(90)를 소용기(1a)의 2개의 전방측 제1 피걸어맞춤부(11f)에 걸어맞추어진 상태에서 제7 지지체(89)에 의해 소용기(1a)를 아래쪽으로부터 지지함으로써, 소용기(1a)를 제7 지지 영역에 위치 결정한 상태에서 지지할 수 있도록 구성되어 있다.
제8 위치 결정부(88)는, 제8 지지체(92)와 제4 접촉체(93)를 구비하고 있다.
제3 탑재체(48)에는, 제4 규제 지지체(94)가 고정되어 있다. 이 제4 규제 지지체(94)는, 제7 지지 영역의 외측에 위치하고 있고, 후술하는 바와 같이, 제8 지지체(92) 및 제4 접촉체(93)로서 기능한다. 제4 규제 지지체(94)로서, 제7 지지 영역에 대하여 폭 방향 Y의 양측에 위치하는 한 쌍의 제4 규제 지지체(94)와, 제7 지지 영역에 대하여 제1 이동 방향 X의 제2 방향 X2 측에 위치하는 한 쌍의 제4 규제 지지체(94)와의 합계 4개의 제4 규제 지지체(94)가 구비되어 있다.
그리고, 4개의 제4 규제 지지체(94)는, 2단의 계단형으로 형성되어 있다. 제4 규제 지지체(94)에서의 하단을 형성하는 부분은, 제8 지지 영역에 위치하는 대용기(1b)를 아래쪽으로부터 지지하는 제8 지지체(92)로서 기능한다. 또한, 제4 규제 지지체(94)에서의 상단을 형성하는 부분은, 제8 지지 영역에 위치하는 대용기(1b)에 대하여 제1 이동 방향 X 또는 폭 방향 Y로부터 맞닿는 제4 접촉체(93)로서 기능한다. 또한, 제4 규제 지지체(94)의 하단을 형성하는 부분은, 상단을 형성하는 부분에 대하여 제1 이동 방향 X나 폭 방향 Y에서 내측[지지한 대용기(1b)의 제2 기준 위치(S2)가 존재하는 측]에 위치하고 있다.
4개의 제4 규제 지지체(94)는, 제3 탑재체(48)에 의해 대용기(1b)를 제8 지지 영역에 지지한 상태에 있어서, 대용기(1b)에서의 주위 에지부를 아래쪽으로부터 지지하도록 구비되어 있다. 또한, 4개의 제4 규제 지지체(94)는, 대용기(1b)에 대하여 제1 이동 방향 X의 제2 방향 X2 측 및 폭 방향 Y의 양측으로부터 맞닿도록 구비되어 있다.
또한, 4개의 제4 규제 지지체(94) 중의 한 쌍의 제4 규제 지지체(94)에서의 하단을 형성하는 부분은, 제7 지지 영역에 위치하는 소용기(1a)에 대하여 폭 방향 Y로부터 맞닿는 부재로서도 기능한다.
이와 같이, 지지체(41)에 지지된 소용기(1a)는, 제1 위치 결정부(51)에 의해 제1 지지 영역 T1에 위치결정되고, 지지체(41)에 지지된 대용기(1b)는, 제2 위치 결정부(52)에 의해 제2 지지 영역 T2에 위치 결정된다.
그리고, 지지체(41)에 지지된 대용기(1b)는, 제2 위치 결정부(52)에서의 제2 지지체(56)에 의해, 제1 걸어맞춤체(54)의 상단보다 위쪽에 대용기(1b)의 바닥면이 위치하는 높이에서 대용기(1b)가 지지되므로, 대용기(1b)가 제1 걸어맞춤체(54)에 간섭하지 않고, 지지체(41)에 의해 대용기(1b)를 적절히 지지할 수 있다.
또한, 지지체(41)에 지지된 대용기(1b)는, 대용기(1b)의 3개의 제2 피걸어맞춤부(12) 중의 1개에 제2 걸어맞춤체(57)가 걸어맞추어지고, 좌우 방향으로부터 접촉체(58)가 대용기(1b)와 맞닿음으로써, 대용기(1b)를 제2 지지 영역 T2에 위치결정할 수 있다.
이와 같이, 지지체(41)에 의해 소용기(1a)와 대용기(1b)와의 양쪽을 적절히 지지할 수 있다.
[다른 실시형태]
(1) 상기 실시형태에서는, 외부측 개소(8)에 제1 탑재체(43)를 구비하고, 내부측 개소(9)에 제2 탑재체(44)를 구비하였지만, 제1 탑재체(43)와 제2 탑재체(44) 중의 한쪽 또는 양쪽을 구비하지 않고, 용기 반송 장치(4)가, 외부의 반송 장치나 작업자와의 사이에서 용기(1)를 직접 받아건네도록 해도 된다.
구체적으로는, 예를 들면, 제1 용기 반송 장치(4a)의 외부측 개소(8)에 제1 탑재체(43)를 구비하지 않고, 천정 반송차(3)가 제1 위치 P1에 위치하는 지지체(41) 상에 용기(1)를 내려놓도록 해도 된다.
(2) 상기 실시형태에서는, 용기 반송 장치(4)에 의해, 제1 탑재체(43)로부터 제2 탑재체(44)에 대한 용기(1)의 반송과, 제2 탑재체(44)로부터 제1 탑재체(43)에 대한 용기(1)의 반송 중 한쪽의 반송만을 행하였으나, 용기 반송 장치(4)에 의해, 제1 탑재체(43)로부터 제2 탑재체(44)에 대한 용기(1)의 반송과, 제2 탑재체(44)로부터 제1 탑재체(43)에 대한 용기(1)의 반송과의 양쪽의 반송을 행해도 된다.
(3) 상기 실시형태에서는, 제4 걸어맞춤체(69)를, 제4 지지 영역 T4에 위치하는 대용기(1b)의 제2 기준 위치(S2)에 대하여 폭 방향 Y의 한쪽 측으로 치우친 위치에 구비하였지만, 제4 걸어맞춤체(69)를, 제4 지지 영역 T4에 위치하는 대용기(1b)의 제2 기준 위치(S2)에 대하여 제1 이동 방향 X로 배열되는 위치에 구비해도 된다. 이와 같이, 제4 위치 결정부(64)에 제4 걸어맞춤체(69)를 구비하여, 제1 탑재체(43)와 마찬가지로, 용기(1)의 전후 방향이 제1 이동 방향 X를 따르는 자세로 제2 탑재체(44)에 의해 용기(1)를 지지하도록 해도 된다.
(4) 상기 실시형태에서는, 지지체(41)와 제1 탑재체(43)와의 사이에서 소용기(1a)를 이송탑재할 때 지지체(41)를 정지시키는 위치(소용기용 위치)와, 지지체(41)와 제1 탑재체(43)와의 사이에서 대용기(1b)를 이송탑재할 때 지지체(41)를 정지시키는 위치(대용기용 위치)를 상이하게 하였으나, 이들 위치를 제1 이동 방향 X와 같은 위치로 설정해도 된다.
(5) 상기 실시형태에서는, 지지체(41)를, 용기(1)의 전방이 제1 방향 X1을 향하는 자세로 용기(1)를 지지하도록 구성하였지만, 지지체(41)를, 용기(1)의 전방이 제2 방향 X2를 향하는 자세로 용기(1)를 지지하거나, 또는 용기(1)의 전방이 폭 방향 Y의 한쪽 측을 향하는 자세로 용기(1)를 지지하도록 구성해도 된다.
(6) 상기 실시형태에서는, 지지체(41)에, 제1 걸어맞춤체(54)를 3개 구비하여, 지지체(41)에 의해 소용기(1a)를 지지했을 때 소용기(1a)의 3개의 제1 피걸어맞춤부(11)의 모두에 제1 걸어맞춤체(54)를 걸어맞추었지만, 지지체(41)에, 제1 걸어맞춤체(54)를 2개만 구비하여, 지지체(41)에 의해 소용기(1a)를 지지했을 때 소용기(1a)의 3개의 제1 피걸어맞춤부(11) 중의 2개[예를 들면, 2개의 전방측 제1 피걸어맞춤부(11f)]에만 제1 걸어맞춤체(54)를 걸어맞추어도 된다.
(7) 상기 실시형태에서 나타낸 용기(1)를 지지하는 부재의 형태나 용기(1)의 측면에 맞닿은 부재의 형태는, 적절히 변경해도 된다. 구체적으로는, 용기(1)에 대하여 접촉체(58)를 좌우 방향으로부터 맞닿아 용기(1)의 회전을 규제하고 있는 데 대신하여, 용기(1)에 대하여 접촉체(58)를 전후 방향으로 맞닿아 용기(1)의 회전을 규제해도 된다. 또한, 3개의 제1 핀(55)에 의해 소용기(1a)를 지지하도록 하여 제1 핀(55)에 제1 지지체(53)로서의 기능을 구비해도 된다.
(8) 상기 실시형태에서는, 용기 반송 장치(4)에, 제1 이동 기구(45)와 제2 이동 기구(46)를 구비하여, 지지체(41)를 제1 이동 방향 X와 제2 이동 방향 Z와의 양쪽으로 이동시켰으나, 외부의 반송 장치나 작업자와의 사이에서 용기(1)를 직접 받아건네는 경우나, 제1 탑재체(43)나 제2 탑재체(44)를 승강 가능하게 구성한 경우에는, 용기 반송 장치(4)에, 제1 이동 기구(45)만을 구비하여, 지지체(41)를 제1 이동 방향 X로만 이동시키도록 해도 된다.
(9) 상기 실시형태에서는, 용기 반송 장치(4)를, 같은 높이로 설치된 제1 탑재체(43)와 제2 탑재체(44)와의 사이에서 용기(1)를 반송하도록 구성하였지만, 용기 반송 장치(4)를, 스태커 크레인(stacker crane)이나 상기 실시형태에 있어서의 승강식 반송 장치(2)로서, 용기 반송 장치(4)가, 서로 다른 높이에 설치된 제1 탑재체(43)와 제2 탑재체(44)와의 사이에서 용기(1)를 반송하도록 구성해도 된다.
또한, 예를 들면, 용기 반송 장치(4)를 승강식 반송 장치(2)로 한 경우에는, 승강 지지체(19)를 지지체로 하고, 수납 지지체(26)를 제1 탑재체로 하여, 용기 반송 장치(4)에 의해, 수납 지지체(26)와 제2 탑재체(44)와의 사이에서 용기(1)를 반송하도록 해도 된다. 또한, 용기 반송 장치(4)를 스태커 크레인으로 한 경우에는, 물품 수납 선반의 선반판을 제1 탑재체로 하고, 입출고 개소에 구비된 하수대(荷受臺; loading platform)를 제2 탑재체로 해도 된다.
(10) 상기 실시형태에서는, 용기(1)를, FOUP로 하였으나, 용기(1)가, 복수의 공장 간에서의 반송에 사용되는 FOSB(Front Opening Shipping Box) 등의 다른 용기라도 된다.
[상기 실시형태의 개요]
이하, 상기에 있어서 설명한 용기 반송 장치 및 용기 반송 설비의 개요에 대하여 설명한다.
용기 반송 장치는, 반도체 기판 수용용의 용기를 아래쪽으로부터 지지하는 지지체와, 상기 지지체를 이동시키는 이동 기구를 구비하고,
상기 용기로서, 소용기와, 상하 방향에서 볼 때의 크기가 상기 소용기보다 큰 대용기 중, 적어도 2종류가 포함되고, 상기 소용기는, 그 바닥면에 3개의 홈형의 제1 피걸어맞춤부를 구비하고, 상기 대용기는, 그 바닥면에 3개의 홈형의 제2 피걸어맞춤부를 구비하고, 3개의 상기 제1 피걸어맞춤부의 각각은, 그 길이 방향이 상기 소용기의 바닥면에서의 제1 기준 위치를 중심으로 한 방사 방향을 따른 상태로, 상기 소용기의 바닥면에 형성되고, 3개의 상기 제2 피걸어맞춤부의 각각은, 그 길이 방향이 상기 대용기의 바닥면에서의 제2 기준 위치를 중심으로 한 방사 방향을 따른 상태로, 상기 대용기의 바닥면에 형성되고, 3개의 상기 제2 피걸어맞춤부의 각각과 상기 제2 기준 위치와의 이격 거리는 모두, 3개의 상기 제1 피걸어맞춤부의 각각과 상기 제1 기준 위치와의 이격 거리의 최대의 것보다 길고, 상기 지지체는, 상기 지지체에 지지된 상기 소용기를 상기 상하 방향에서 볼 때 제1 지지 영역에 위치결정하는 제1 위치 결정부와, 상기 지지체에 지지된 상기 대용기를 상기 상하 방향에서 볼 때 제2 지지 영역에 위치결정하는 제2 위치 결정부를 구비하고, 상기 제2 지지 영역은, 그 일부가 상기 제1 지지 영역과 중복되도록 설정되고, 상기 제1 위치 결정부는, 상기 소용기를 아래쪽으로부터 지지하는 제1 지지체와, 3개의 상기 제1 피걸어맞춤부 중 2개 이상에 아래쪽으로부터 걸어맞추어지는 제1 걸어맞춤체를 구비하고, 상기 제2 위치 결정부는, 상기 제1 걸어맞춤체의 상단보다 위쪽에 상기 대용기의 바닥면이 위치하는 높이에서 상기 대용기를 지지하는 제2 지지체와, 상기 상하 방향에서 볼 때 상기 제1 지지 영역의 외측에 구비되어 3개의 상기 제2 피걸어맞춤부 중 하나에 걸어맞추어지는 제2 걸어맞춤체와, 상기 상하 방향에서 볼 때 상기 제1 지지 영역의 외측에 구비되어, 상기 제2 지지 영역에 위치하는 상기 대용기에 대하여 상하 방향과 교차하는 방향으로부터 맞닿는 접촉체를 구비하고 있다.
이 구성에 의하면, 지지체에 지지된 소용기는, 제1 위치 결정부에 의해 상하 방향에서 볼 때 제1 지지 영역에 위치결정되고, 지지체에 지지된 대용기는, 제2 위치 결정부에 의해 상하 방향에서 볼 때 제2 지지 영역에 위치 결정된다. 제2 지지 영역은, 그 일부가 제1 지지 영역과 중복되도록 설정되어 있으므로, 제1 지지 영역과 제2 지지 영역을 중복되지 않도록 수평 방향으로 배열하여 설정하는 경우와 비교하여, 지지체의 소형화를 도모할 수 있다.
지지체에 지지된 소용기는, 제1 지지체에 의해 아래쪽으로부터 지지되는 동시에 제1 걸어맞춤체가 소용기에서의 3개의 제1 피걸어맞춤부 중 2개 이상에 걸어맞추어져 있으므로, 지지체에 의해, 소용기를 제1 지지 영역에 위치 결정한 상태에서 지지할 수 있다.
그리고, 지지체에 지지된 대용기는, 제2 위치 결정부에서의 제2 지지체에 의해, 제1 걸어맞춤체의 상단보다 위쪽에 대용기의 바닥면이 위치하는 높이에서 대용기가 지지되므로, 대용기가 제1 걸어맞춤체에 간섭하지 않고, 지지체에 의해, 대용기를 적절히 지지할 수 있다.
또한, 지지체에 지지된 대용기는, 대용기의 3개의 제2 피걸어맞춤부 중 1개에 제2 걸어맞춤체가 걸어맞추어지고, 상하 방향과 교차하는 방향으로부터 접촉체가 대용기와 맞닿음으로써, 대용기를 제2 지지 영역에 위치결정할 수 있다. 특히, 상하 방향과 교차하는 방향으로부터 접촉체가 대용기와 맞닿음으로써, 대용기가 제2 피걸어맞춤부를 중심으로 한 세로 축심 주위로 회전하는 것을 규제할 수 있다.
그리고, 제2 걸어맞춤체는, 제1 지지 영역의 외측에 구비되어 있으므로, 지지체에 의해 소용기를 지지할 때 소용기에 제2 걸어맞춤체가 간섭하는 것을 회피할 수 있어, 지지체에 의해 소용기를 적절히 지지할 수 있다.
이와 같이, 겸용되는 1개의 지지체에 의해 소용기와 대용기와의 양쪽을 적절히 지지할 수 있다.
용기 반송 설비는, 용기 반송 장치와, 위치 고정 상태로 구비되어 상기 용기를 아래쪽으로부터 지지하는 제1 탑재체와, 위치 고정 상태로 구비되어 상기 용기를 아래쪽으로부터 지지하는 제2 탑재체로가 구비되고, 상기 용기 반송 장치는, 상기 용기를 상기 제1 탑재체로부터 상기 제2 탑재체로 반송하거나 또는 상기 용기를 상기 제2 탑재체로부터 상기 제1 탑재체로 반송하도록 구성되어 있다.
이 구성에 의하면, 용기 반송 장치가, 탑재체(제1 탑재체 또는 제2 탑재체)에 용기를 내리고(unload), 그 탑재체에 내려진 용기를 외부의 반송 장치나 작업자가 별개의 개소로 반송한다. 그러므로, 용기 반송 장치는, 외부의 반송 장치나 작업자가 소정의 위치에 대기하고 있지 않아도, 용기를 내리고, 다음의 반송 작업으로 이행할 수 있기 때문에, 용기 반송 장치와 외부의 반송 장치나 작업자 간에서 용기를 직접 수수(授受)하는 경우와 비교하여, 용기를 효율적으로 반송할 수 있다.
여기서, 상기 이동 기구는, 상기 지지체를 수평 방향을 따른 제1 이동 방향을 따라 이동시키는 제1 이동 기구와, 상기 지지체를 상하 방향을 따르는 제2 이동 방향을 따라 이동시키는 제2 이동 기구를 구비하고, 상기 제1 이동 기구는, 상기 지지체를 상기 제2 이동 방향을 따라 이동시켜 상기 지지체와 상기 제1 탑재체와의 사이에서 상기 용기를 이송탑재하는 경우에, 상기 상하 방향에서 볼 때 상기 지지체가 위치하는 제1 위치와, 상기 지지체를 상기 제2 이동 방향을 따라 이동시켜 상기 지지체와 상기 제2 탑재체와의 사이에서 상기 용기를 이송탑재하는 경우에, 상기 상하 방향에서 볼 때 상기 지지체가 위치하는 제2 위치로 상기 지지체를 이동시키도록 구성되며, 상기 제1 이동 방향에서 상기 제1 탑재체에 대하여 상기 제2 탑재체가 위치하는 방향을 제1 방향으로 하고, 상기 제1 방향과는 반대의 방향을 제2 방향으로 하여, 상기 제1 지지 영역과 상기 제2 지지 영역과의 위치 관계는, 상기 제1 지지 영역에 위치하는 상기 소용기의 상기 제1 기준 위치가 상기 제2 지지 영역에 위치하는 상기 대용기의 상기 제2 기준 위치보다 상기 제1 방향 측에 위치하도록 설정되고, 상기 제1 위치로서, 상기 지지체와 상기 제1 탑재체와의 사이에서 상기 소용기를 이송탑재할 때의 상기 지지체의 위치인 소용기용 위치와, 상기 지지체와 상기 제1 탑재체와의 사이에서 상기 대용기를 이송탑재할 때의 상기 지지체의 위치인 대용기용 위치가 설정되고, 상기 소용기용 위치는, 상기 대용기용 위치보다 상기 제2 방향 측으로 설정되어 있는 것이 바람직하다.
이 구성에 의하면, 제1 지지 영역에 위치하는 소용기의 제1 기준 위치가 제2 지지 영역에 위치하는 대용기의 제2 기준 위치보다 제1 방향 측에 위치하도록 설정되어 있다. 그러므로, 제1 기준 위치와 제2 기준 위치를 제1 이동 방향에서 같은 위치에 위치시킨 경우와 비교하여, 소용기는 제1 방향 측에 위치한 상태로 지지된다. 따라서, 용기 반송 장치가 용기를 제2 탑재체에 반송했을 때 소용기를 제1 방향 측에 위치한 상태로 이송탑재할 수 있어, 그 제2 탑재체에 지지된 소용기를, 외부의 반송 장치나 작업자가 제1 방향 측으로부터 내리기(pick up) 용이해진다.
또한, 지지체와 제1 탑재체와의 사이에서 소용기를 이송탑재할 때의 지지체의 위치인 소용기용 위치가, 지지체와 제1 탑재체와의 사이에서 대용기를 이송탑재할 때의 지지체의 위치인 대용기용 위치보다, 제2 방향 측으로 설정되어 있다. 이와 같이, 소용기용 위치를 대용기용 위치보다 제2 방향 측으로 설정하고 있으므로, 전술한 바와 같이, 지지체에 의해 소용기를 제1 방향 측에 위치한 상태로 지지하였음에도 불구하고, 용기 반송 장치가 용기를 제1 탑재체에 내려놓을 때 소용기를 대용기에 비교하여 제2 방향 측에 위치한 상태로 내려놓을 수 있어, 그 제1 탑재체에 지지된 소용기를, 외부의 반송 장치나 작업자가 제2 방향 측으로부터 내리기 용이해진다.
또한, 상기 용기에는, 반도체 기판을 출입시키기 위한 개구가 형성되고, 상기 용기에서의 상기 개구가 형성되어 있는 부분을 상기 용기의 전부로 하고, 상기 용기에서의 전부와는 반대측을 상기 용기의 후부로 하여, 상기 용기의 전부와 후부가 배열되는 방향을 전후 방향이라고 하고, 그 전후 방향에 대하여 상기 상하 방향에서 볼 때 직교하는 방향을 좌우 방향으로 하여, 상기 소용기는, 3개의 상기 제1 피걸어맞춤부로서, 상기 제1 기준 위치보다 전방에 구비된 좌우 한 쌍의 전방측 제1 피걸어맞춤부와, 상기 제1 기준 위치보다 후방이면서 또한 상기 좌우 방향으로 중앙부에 구비된 1개의 후방측 제1 피걸어맞춤부를 구비하고, 상기 대용기는, 3개의 상기 제2 피걸어맞춤부로서, 상기 제2 기준 위치보다 전방에 구비된 좌우 한 쌍의 전방측 제2 피걸어맞춤부와, 상기 제2 기준 위치보다 후방이면서 또한 상기 좌우 방향으로 중앙부에 구비된 1개의 후방측 제2 피걸어맞춤부를 구비하고,
상기 제2 걸어맞춤체는, 상기 지지체가 상기 대용기를 아래쪽으로부터 지지하는 경우에, 상기 후방측 제2 피걸어맞춤부에 걸어맞추어지고, 상기 이동 기구는, 상기 지지체를 수평 방향을 따른 제1 이동 방향을 따라 이동시키는 제1 이동 기구와, 상기 지지체를 상하 방향을 따르는 제2 이동 방향을 따라 이동시키는 제2 이동 기구를 구비하고, 상기 제2 탑재체는, 상기 제2 탑재체에 지지된 상기 소용기를 상기 상하 방향에서 볼 때 제3 지지 영역에 위치결정하는 제3 위치 결정부와, 상기 제2 탑재체에 지지된 상기 대용기를 상기 상하 방향에서 볼 때 제4 지지 영역에 위치결정하는 제4 위치 결정부를 구비하고, 상기 제4 지지 영역은, 그 일부가 상기 제3 지지 영역과 중복되도록 설정되고, 상기 제3 위치 결정부는, 상기 소용기에서의 상기 좌우 방향의 양 단부를 아래쪽으로부터 지지하는 제3 지지체와, 상기 한 쌍의 상기 전방측 제1 피걸어맞춤부에 아래쪽으로부터 걸어맞추어지는 한 쌍의 제3 걸어맞춤체를 구비하고, 상기 제4 위치 결정부는, 상기 대용기에서의 상기 좌우 방향의 양 단부를 지지하여 상기 제3 걸어맞춤체의 상단보다 위쪽에 상기 대용기의 바닥면이 위치하는 높이에서 상기 대용기를 지지하는 제4 지지체와, 상기 후방측 제2 피걸어맞춤부에 걸어맞추어지는 제4 걸어맞춤체와, 상기 상하 방향에서 볼 때 상기 제3 지지 영역으로부터 벗어난 위치에 구비되어 상기 제4 지지 영역에 위치하는 상기 대용기에 대하여 측방으로부터 맞닿는 제2 접촉체를 구비하고, 상기 제2 탑재체는, 상기 제4 지지 영역에 위치하는 상기 대용기의 상기 제2 기준 위치에 대하여, 상기 상하 방향에서 볼 때 상기 제1 이동 방향에 대하여 직교하는 방향의 한쪽 측으로 치우친 위치에 상기 제4 걸어맞춤체를 구비하고 있는 것이 바람직하다.
이 구성에 의하면, 제2 탑재체에 지지된 소용기는, 제3 위치 결정부에 의해 상하 방향에서 볼 때 제3 지지 영역에 위치결정되고, 제2 탑재체에 지지된 대용기는, 제4 위치 결정부에 의해 상하 방향에서 볼 때 제4 지지 영역에 위치 결정된다. 제4 지지 영역은, 그 일부가 제3 지지 영역과 중복되도록 설정되어 있으므로, 제3 지지 영역과 제4 지지 영역을 중복되지 않도록 수평 방향으로 배열하여 설정하는 경우와 비교하여, 제2 탑재체의 소형화를 도모할 수 있다.
제2 탑재체에 의해 지지된 소용기는, 제3 지지체에 의해 소용기의 좌우 방향의 양 단부가 지지되는 동시에, 소용기에서의 한 쌍의 전방측 제1 피걸어맞춤부에 한 쌍의 제3 걸어맞춤체가 아래쪽으로부터 걸어맞추어진다. 그러므로, 제2 탑재체에 의해, 소용기를 제3 지지 영역에 위치 결정한 상태에서 지지할 수 있다.
제2 탑재체에 의해 지지된 대용기는, 제4 지지체에 의해 대용기의 좌우 방향의 양 단부가 지지되는 동시에, 대용기에서의 후방측 제2 피걸어맞춤부에 제4 걸어맞춤체가 아래쪽으로부터 걸어맞추어진다. 그러므로, 제2 탑재체에 의해, 대용기를 제4 지지 영역에 위치 결정한 상태에서 지지할 수 있다.
그리고, 제4 위치 결정부는, 제4 지지 영역에 위치하는 대용기의 제2 기준 위치에 대하여, 상하 방향에서 볼 때 제1 이동 방향에 직교하는 방향의 한쪽 측으로 치우친 위치에 제4 걸어맞춤체를 구비하고 있다. 이와 같이, 상하 방향에서 볼 때 제1 이동 방향에 직교하는 방향의 한쪽 측으로 치우친 위치에 제4 걸어맞춤체를 구비함으로써, 이동 기구 등의 용기 반송 장치의 일부를 제1 이동 방향으로 이동시키기 위한 공간을, 제4 걸어맞춤체에 대하여 제1 이동 방향에 직교하는 방향의 다른 쪽 측으로 확보하기 용이하다.
1: 용기
1a: 소용기
1b: 대용기
4: 용기 반송 장치
11: 제1 피걸어맞춤부
12: 제2 피걸어맞춤부
41: 지지체
42: 이동 기구
43: 제1 탑재체
44: 제2 탑재체
45: 제1 이동 기구
46: 제2 이동 기구
51: 제1 위치 결정부
52: 제2 위치 결정부
53: 제1 지지체
54: 제1 걸어맞춤체
56: 제2 지지체
57: 제2 걸어맞춤체
58: 접촉체
P1: 제1 위치
P2: 제2 위치
S1: 제1 기준 위치
S2: 제2 기준 위치
T1: 제1 지지 영역
T2: 제2 지지 영역

Claims (4)

  1. 반도체 기판 수용용의 용기를 아래쪽으로부터 지지하는 지지체; 및
    상기 지지체를 이동시키는 이동 기구(機構);
    를 포함하고.
    상기 용기로서, 소용기와, 상하 방향에서 볼 때의 크기가 상기 소용기보다 큰 대용기 중, 적어도 2종류가 포함되고,
    상기 소용기는, 그 바닥면에 3개의 홈형의 제1 피걸어맞춤부를 구비하고, 상기 대용기는, 그 바닥면에 3개의 홈형의 제2 피걸어맞춤부를 구비하고,
    3개의 상기 제1 피걸어맞춤부의 각각은, 그 길이 방향이 상기 소용기의 바닥면에서의 제1 기준 위치를 중심으로 한 방사 방향을 따른 상태로, 상기 소용기의 바닥면에 형성되고,
    3개의 상기 제2 피걸어맞춤부의 각각은, 그 길이 방향이 상기 대용기의 바닥면에서의 제2 기준 위치를 중심으로 한 방사 방향을 따른 상태로, 상기 대용기의 바닥면에 형성되고,
    3개의 상기 제2 피걸어맞춤부의 각각과 상기 제2 기준 위치와의 이격 거리는 모두, 3개의 상기 제1 피걸어맞춤부의 각각과 상기 제1 기준 위치와의 이격 거리의 최대의 것보다 길고,
    상기 지지체는, 상기 지지체에 지지된 상기 소용기를 상기 상하 방향에서 볼 때 제1 지지 영역에 위치결정하는 제1 위치 결정부와, 상기 지지체에 지지된 상기 대용기를 상기 상하 방향에서 볼 때 제2 지지 영역에 위치결정하는 제2 위치 결정부를 구비하고,
    상기 제2 지지 영역은, 그 일부가 상기 제1 지지 영역과 중복되도록 설정되고,
    상기 제1 위치 결정부는, 상기 소용기를 아래쪽으로부터 지지하는 제1 지지체와, 3개의 상기 제1 피걸어맞춤부 중 2개 이상에 아래쪽으로부터 걸어맞추어지는 제1 걸어맞춤체를 구비하고,
    상기 제2 위치 결정부는, 상기 제1 걸어맞춤체의 상단(上端)보다 위쪽에 상기 대용기의 바닥면이 위치하는 높이에서 상기 대용기를 지지하는 제2 지지체와, 상기 상하 방향에서 볼 때 상기 제1 지지 영역의 외측에 구비되어 3개의 상기 제2 피걸어맞춤부 중 하나에 걸어맞추어지는 제2 걸어맞춤체와, 상기 상하 방향에서 볼 때 상기 제1 지지 영역의 외측에 구비되어, 상기 제2 지지 영역에 위치하는 상기 대용기에 대하여 상하 방향과 교차하는 방향으로부터 맞닿는 접촉체를 구비하고 있는,
    용기 반송 장치.
  2. 제1항에 기재된 용기 반송 장치;
    위치 고정 상태로 구비되어 상기 용기를 아래쪽으로부터 지지하는 제1 탑재체(receiving member); 및
    위치 고정 상태로 구비되어 상기 용기를 아래쪽으로부터 지지하는 제2 탑재체;
    를 포함하고,
    상기 용기 반송 장치는, 상기 용기를 상기 제1 탑재체로부터 상기 제2 탑재체로 반송하거나 또는 상기 용기를 상기 제2 탑재체로부터 상기 제1 탑재체로 반송하도록 구성되어 있는, 용기 반송 설비.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 이동 기구는, 상기 지지체를 수평 방향을 따른 제1 이동 방향을 따라 이동시키는 제1 이동 기구와, 상기 지지체를 상하 방향을 따르는 제2 이동 방향을 따라 이동시키는 제2 이동 기구를 구비하고,
    상기 제1 이동 기구는, 상기 지지체를 상기 제2 이동 방향을 따라 이동시켜 상기 지지체와 상기 제1 탑재체 사이에서 상기 용기를 이송탑재(移載; transfer)하는 경우에, 상기 상하 방향에서 볼 때 상기 지지체가 위치하는 제1 위치와, 상기 지지체를 상기 제2 이동 방향을 따라 이동시켜 상기 지지체와 상기 제2 탑재체와의 사이에서 상기 용기를 이송탑재하는 경우에, 상기 상하 방향에서 볼 때 상기 지지체가 위치하는 제2 위치로 상기 지지체를 이동시키도록 구성되며,
    상기 제1 이동 방향에서 상기 제1 탑재체에 대하여 상기 제2 탑재체가 위치하는 방향을 제1 방향으로 하고, 상기 제1 방향과는 반대의 방향을 제2 방향으로 하고,
    상기 제1 지지 영역과 상기 제2 지지 영역과의 위치 관계는, 상기 제1 지지 영역에 위치하는 상기 소용기의 상기 제1 기준 위치가 상기 제2 지지 영역에 위치하는 상기 대용기의 상기 제2 기준 위치보다 상기 제1 방향 측에 위치하도록 설정되고,
    상기 제1 위치로서, 상기 지지체와 상기 제1 탑재체 사이에서 상기 소용기를 이송탑재할 때의 상기 지지체의 위치인 소용기용 위치와, 상기 지지체와 상기 제1 탑재체 사이에서 상기 대용기를 이송탑재할 때의 상기 지지체의 위치인 대용기용 위치가 설정되고, 상기 소용기용 위치는, 상기 대용기용 위치보다 상기 제2 방향 측으로 설정되어 있는, 용기 반송 설비.
  4. 제2항 또는 제3항에 있어서,
    상기 용기에는, 반도체 기판을 출입시키기 위한 개구가 형성되고,
    상기 용기에서의 상기 개구가 형성되어 있는 부분을 상기 용기의 전부(前部)로 하고, 상기 용기에서의 전부와는 반대측을 상기 용기의 후부(後部)로 하여, 상기 용기의 전부와 후부가 배열되는 방향을 전후 방향으로 하고, 그 전후 방향에 대하여 상기 상하 방향에서 볼 때 직교하는 방향을 좌우 방향으로 하고,
    상기 소용기는, 3개의 상기 제1 피걸어맞춤부로서, 상기 제1 기준 위치보다 전방에 구비된 좌우 한 쌍의 전방측 제1 피걸어맞춤부와, 상기 제1 기준 위치보다 후방이면서 또한 상기 좌우 방향으로 중앙부에 구비된 1개의 후방측 제1 피걸어맞춤부를 구비하고,
    상기 대용기는, 3개의 상기 제2 피걸어맞춤부로서, 상기 제2 기준 위치보다 전방에 구비된 좌우 한 쌍의 전방측 제2 피걸어맞춤부와, 상기 제2 기준 위치보다 후방이면서 또한 상기 좌우 방향으로 중앙부에 구비된 1개의 후방측 제2 피걸어맞춤부를 구비하고,
    상기 제2 걸어맞춤체는, 상기 지지체가 상기 대용기를 아래쪽으로부터 지지하는 경우에, 상기 후방측 제2 피걸어맞춤부에 걸어맞추어지고,
    상기 이동 기구는, 상기 지지체를 수평 방향을 따른 제1 이동 방향을 따라 이동시키는 제1 이동 기구와, 상기 지지체를 상하 방향을 따르는 제2 이동 방향을 따라 이동시키는 제2 이동 기구를 구비하고,
    상기 제2 탑재체는, 상기 제2 탑재체에 지지된 상기 소용기를 상기 상하 방향에서 볼 때 제3 지지 영역에 위치결정하는 제3 위치 결정부와, 상기 제2 탑재체에 지지된 상기 대용기를 상기 상하 방향에서 볼 때 제4 지지 영역에 위치결정하는 제4 위치 결정부를 구비하고,
    상기 제4 지지 영역은, 그 일부가 상기 제3 지지 영역과 중복되도록 설정되고,
    상기 제3 위치 결정부는, 상기 소용기에서의 상기 좌우 방향의 양 단부를 아래쪽으로부터 지지하는 제3 지지체와, 상기 한 쌍의 상기 전방측 제1 피걸어맞춤부에 아래쪽으로부터 걸어맞추어지는 한 쌍의 제3 걸어맞춤체를 구비하고,
    상기 제4 위치 결정부는, 상기 대용기에서의 상기 좌우 방향의 양 단부를 지지하여 상기 제3 걸어맞춤체의 상단보다 위쪽에 상기 대용기의 바닥면이 위치하는 높이에서 상기 대용기를 지지하는 제4 지지체와, 상기 후방측 제2 피걸어맞춤부에 걸어맞추어지는 제4 걸어맞춤체와, 상기 상하 방향에서 볼 때 상기 제3 지지 영역으로부터 벗어난 위치에 구비되어 상기 제4 지지 영역에 위치하는 상기 대용기에 대하여 측방으로부터 맞닿는 제2 접촉체를 구비하고,
    상기 제2 탑재체는, 상기 제4 지지 영역에 위치하는 상기 대용기의 상기 제2 기준 위치에 대하여, 상기 상하 방향에서 볼 때 상기 제1 이동 방향에 대하여 직교하는 방향의 한쪽 측으로 치우친 위치에 상기 제4 걸어맞춤체를 구비하고 있는,
    용기 반송 설비.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180097465A (ko) * 2017-02-23 2018-08-31 가부시키가이샤 다이후쿠 물품 반송차

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10672639B2 (en) 2016-12-07 2020-06-02 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Method for automatic sending cassette pod
US10409814B2 (en) * 2017-01-26 2019-09-10 International Business Machines Corporation Network common data form data management
US10734268B1 (en) * 2017-08-30 2020-08-04 Murata Machinery, Ltd. Modularity of Tec-Cell, FOUP and substrate containers and carriers
US10622236B2 (en) 2017-08-30 2020-04-14 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Apparatus and method for handling wafer carrier doors
JP6969512B2 (ja) * 2018-07-05 2021-11-24 株式会社ダイフク 物品搬送装置
TW202235351A (zh) * 2021-02-28 2022-09-16 艾迪森科技有限公司 半導體晶圓盒滾輪式運輸結構系統
CN114873304B (zh) * 2022-03-30 2023-01-31 西南交通大学 一种适用于不同货物包装尺寸的车载巷道式装载装置

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003072917A (ja) 2001-08-31 2003-03-12 Daifuku Co Ltd 荷保管設備
JP2005197431A (ja) * 2004-01-07 2005-07-21 Shinko Electric Co Ltd ロードポート装置
KR20110089856A (ko) * 2008-12-02 2011-08-09 가부시키가이샤 다이후쿠 물품 반송 장치
JP2016183011A (ja) * 2015-03-26 2016-10-20 村田機械株式会社 物品の支持装置及び支持方法
US9685361B2 (en) * 2014-03-11 2017-06-20 Daifuku Co., Ltd. Container transport facility

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09221203A (ja) * 1996-02-19 1997-08-26 Hitachi Ltd 自動搬送システム
JP5207079B2 (ja) * 2009-09-28 2013-06-12 株式会社ダイフク 容器搬送設備
JP5321913B2 (ja) * 2009-12-07 2013-10-23 株式会社ダイフク 物品保管設備
JP5522477B2 (ja) * 2010-12-17 2014-06-18 株式会社ダイフク 搬送設備
WO2014141563A1 (ja) * 2013-03-15 2014-09-18 株式会社日立国際電気 基板処理装置、半導体装置の製造方法、基板収納器搬送方法及びプログラム
US9142437B2 (en) * 2013-04-10 2015-09-22 Globalfoundries Inc. System for separately handling different size FOUPs
WO2015045583A1 (ja) * 2013-09-27 2015-04-02 村田機械株式会社 物品の支持装置及び支持装置への２種類の物品の載置方法
EP3275809B1 (en) * 2015-03-26 2019-10-23 Murata Machinery, Ltd. Supporting device and supporting method for articles

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003072917A (ja) 2001-08-31 2003-03-12 Daifuku Co Ltd 荷保管設備
JP2005197431A (ja) * 2004-01-07 2005-07-21 Shinko Electric Co Ltd ロードポート装置
KR20110089856A (ko) * 2008-12-02 2011-08-09 가부시키가이샤 다이후쿠 물품 반송 장치
US9685361B2 (en) * 2014-03-11 2017-06-20 Daifuku Co., Ltd. Container transport facility
JP2016183011A (ja) * 2015-03-26 2016-10-20 村田機械株式会社 物品の支持装置及び支持方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180097465A (ko) * 2017-02-23 2018-08-31 가부시키가이샤 다이후쿠 물품 반송차

Also Published As

Publication number Publication date
JP2016216137A (ja) 2016-12-22
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US10081494B2 (en) 2018-09-25
TW201700371A (zh) 2017-01-01

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