TWI746542B - 容器支持架 - Google Patents

Abstract

容器支持架是容器的底部具備3個朝上方凹陷的被支持部。3個被支持部當中的2個為比容器的重心更位於前方的前被支持部，而3個被支持部當中的剩下的1個為比容器的重心更位於後方的後被支持部。支持體具備2個前支持部與後支持部，並藉由該等2個前支持部與後支持部，以2個前被支持部比後被支持部更位於上方的傾斜姿勢來支持容器，該等2個前支持部是以從下方卡合於2個前被支持部的狀態而從下方支持容器的底部，該後支持部是從下方支持容器之比底部中的重心更位於後方的部分。

Description

容器支持架 發明領域

本發明是有關於一種容器支持架，其具備有從下方支持收容半導體基板之容器的底部之支持體。

發明背景

如上述之容器支持架的一例，已記載在日本專利特開2015-012041號公報(專利文獻1)中。於專利文獻1的容器支持架中具備有從下方支持收容半導體基板的容器之底面的支持體(載置支持部10a)。支持體是構成為具備相對於底部的基準位置而放射狀地配置之3個支持部，在將此等3個支持部從下方卡合於容器的被支持部之狀態下，藉由3個支持部來從下方支持容器的底部。

發明概要

課題、用以解決課題之手段

收容半導體基板的容器，會因將收容收容物的收容空間形成於靠近前方等，而有從上下方向來看時之容器的重心為比底部中的基準位置更位於前方的情況。像這樣，容 器的重心相對於3個支持部的基準位置而位於前方的情況，會在因地震而使容器支持架搖晃時，使支持體所支持的容器容易朝前方翻倒。

於是，所要求的是使支持體所支持的容器難以朝前方翻倒的容器支持架。

有鑑於上述內容之容器支持架的特徵構成之點在於：具備有支持體，該支持體是從下方支持收容半導體基板的容器之底部，且在該容器支持架中，前述容器的前述底部具備3個朝上方凹陷的被支持部，前述3個被支持部是相對於前述底部的基準位置而放射狀地配置，從上下方向來看，將排列有前述容器的前述基準位置與前述容器的重心之方向設為前後方向，且將前述前後方向中的相對於前述基準位置而存在前述容器之重心的方向設為前方，並將其相反方向設為後方，前述3個被支持部當中的2個是比前述容器的重心更位於前述前方的前被支持部，前述3個被支持部當中的剩下的1個是比前述容器的重心更位於前述後方的後被支持部，前述支持體具備2個前支持部與後支持部，並藉由前述2個前支持部與前述後支持部，而以使前述2個前被支持部比前述後被支持部更位於上方的傾斜姿勢來支持前述容器，該等2個前支持部是以從下方卡合於前述2個前被支持部的狀態來從下方支持前述容器的前述底部，該後支持部是從下方支持前述容器之比前述底部中的重心更位於前述後方的部分。

藉由此特徵構成，支持體是在將2個前支持 部從下方卡合於容器中的3個被支持部當中的至少2個前被支持部之狀態下，來支持容器。由於2個前被支持部是相對於容器的底部之基準位置而放射狀地形成，因此藉由至少使2個前支持部從下方卡合於2個前被支持部，即可以藉由支持體以將容器定位在規定位置的狀態來支持容器。

又，支持體是藉由2個前支持部與後支持部，以2個前被支持部比後被支持部更位於上方的傾斜姿勢來支持容器，藉此相較於使2個前被支持部與後被支持部成為相同高度的姿勢，會使容器的重心位於前方。因此，可使支持體所支持的容器變得不容易朝前方翻倒。

1:容器收納架(容器支持架)

1A:收納部

2:堆高式起重機(搬送裝置)

4:搬送輸送帶

4A:外側位置

4B:內側位置

6:天花板搬送車

11:收容空間

12:收容部

13:凸緣部

14:開口

15:蓋體

16:底部

16A:後端部

17:被支持部

17A:前被支持部

17B:後被支持部

18:收納重複部

19:搬送重複部(搬送用被支持部)

21:第一支持體(支持體)

22:框架

22A:橫框體

22B:縱框體

23:板狀部(後支持部)

24:補強部

25:前支持部

26:緊固部

27:缺口

31:行走台車

32:桅桿

33:升降體

34:移載裝置

36:第二支持體

37:搬送支持部

41:第一對象部

42:第二對象部

43:前延伸部(延伸部)

44:前限制部(限制部)

45:第一寬度延伸部

46:第一寬度限制部

47:第二寬度延伸部

48:第二寬度限制部

K:壁體

L:間隔

P1:基準位置

P2:重心

S:移動空間

W:容器

X:架前後方向(前後方向)

X1:架前方向(前方)

X2:架後方向(後方)

Y:寬度方向

Y1:第一寬度方向

Y2:第二寬度方向

Z:上下方向

圖1是容器收納設備的側面圖。

圖2是收納部的側面圖。

圖3是收納部的平面圖。

圖4是容器收納架的平面圖。

圖5是第一支持體的立體圖。

圖6是第一支持體的分解立體圖。

用以實施發明之形態

以下，根據圖式來說明將作為容器支持架的容器收納架利用在容器收納設備的實施形態。

如圖1所示，容器收納設備具備有：容器收納架1，具備有複數個收納容器W的收納部1A；及作為搬送裝置的堆高式起重機2，於形成在容器收納架1的架前方向X1上的移 動空間S中行走並搬送容器W。又，容器收納設備具備有壁體K與搬送輸送帶4，該壁體K將設置容器收納架1及堆高式起重機2之區域的側周圍包覆，該搬送輸送帶4是以貫穿壁體K的狀態設置並搬送容器W。再者，在本實施形態中，是以FOUP(Front Opening Unified Pod(前開式晶圓傳送盒))作為容器W，且容器W是收容半導體基板(晶圓)來作為收容物。

如圖1所示，搬送輸送帶4是構成為在位於壁體K的外側之外側位置4A以及位於壁體K的內側之內側位置4B之間搬送容器W。搬送輸送帶4是設置在比容器收納架1中的上下方向之中央更高的位置、以及比容器收納架1中的上下方向之中央更低的位置。相對於設置在高的位置之搬送輸送帶4的外側位置4A，是令天花板搬送車6進行容器W的裝載卸下，且相對於設置在低的位置之搬送輸送帶4(圖未示)的外側位置4A，是讓作業者進行容器W的裝載卸下。

在容器收納設備中，是將容器W裝載在搬送輸送帶4的外側位置4A。該容器W是藉由搬送輸送帶4從外側位置4A搬送到內側位置4B之後，以堆高式起重機2從搬送輸送帶4的內側位置4B搬送到容器收納架1的收納部1A。又，在容器收納設備中，是藉由堆高式起重機2從容器收納架1的收納部1A將容器W搬送到搬送輸送帶4的內側位置4B。該容器W是在藉由搬送輸送帶4從內側位置4B搬送到外側位置4A後，藉由天花板搬送車6或作業者從外 側位置4A卸下。

以下，說明容器收納設備的各構成。將排列有容器收納架1與移動空間S的方向設為架前後方向X，並將移動空間S相對於容器收納架1而存在的方向設為架前方向X1，且將其相反方向設為架後方向X2。又，從上下方向Z來看，將相對於架前後方向X而正交的方向設為寬度方向Y，且將寬度方向Y的一方向設為第一寬度方向Y1，並將寬度方向Y的另一方向(第一寬度方向Y1的相反方向)設為第二寬度方向Y2。再者，針對容器W是根據已將容器W收納於收納部1A的狀態來定義架前後方向X及寬度方向Y。

[容器]

如圖2所示，容器W具備有：收容部12，具有收容半導體基板的收容空間11；凸緣部13，設置在容器W的上端部；及裝卸自如的蓋體15，關閉形成在收容部12的前面之開口14。如此，容器W具備有收容半導體基板之收容空間11、及相對於收容空間11而用於使半導體基板出入的開口14，開口14是相對於收容空間11而朝架前方向X1設置。

如圖2及圖3所示，容器W的底部16具備有3個朝上方凹陷的溝狀之被支持部17。3個被支持部17是形成為長條狀，且是將3個被支持部17相對於基準位置P1放射狀地配置。

收容空間11是將半導體基板收容成使該收容空間11所收容的半導體基板之中心，比容器W的架前後方向X之 中心更位於架前方向X1。因此，隨著收容在收容空間11的半導體基板之片數增加，會使容器W的重心P2朝架前方向X1移動。

基準位置P1從上下方向Z來看是比容器W的重心P2更朝架後方向X2設定。圖3所示之重心P2是收容有於容器W之收容空間11可收容的最大片數之半導體基板的狀態下的容器W的重心P2。在本實施形態中，在容器W的收容空間11中完全未收容有半導體基板的狀態之重心P2，也是比基準位置P1更位於架前方向X1。

從上下方向Z來看，容器W的基準位置P1與容器W的重心P2排列的方向為容器W的前後方向。並且，容器W的重心P2相對於容器W的前後方向中的基準位置P1而存在的方向為容器W的前方，且其相反方向為容器W的後方。在容器W收納在收納部1A的狀態下，容器W的前後方向與架前後方向X為相同方向，且容器W的前方與架前方向X1為相同方向，容器W的後方與架後方向X2為相同方向。

於底部16所具備有的3個被支持部17當中的2個是比容器W的重心P2更位於架前方向X1。此等2個被支持部17是前被支持部17A。於底部16所具備有的3個被支持部17當中的剩下的1個是比容器W的重心P2更位於架後方向X2。這1個被支持部17是後被支持部17B。

如圖3所示，2個前被支持部17A當中的一個是在寬度方向Y上，相對於底部16中的容器W之重心P2而設置在第 一寬度方向Y1上。2個前被支持部17A當中的另一個是在寬度方向Y上，相對於底部16中的容器W之重心P2而設置在第二寬度方向Y2上。這2個前被支持部17A在架前後方向X上是設置在相同的位置上。後被支持部17B在寬度方向Y上，是配置在與底部16中的容器W之重心P2相同的位置上。

在容器W被收納部1A的第一支持體21支持的狀態下，從上下方向Z來看，將容器W的底部16中的與第一支持體21重複的部分設為收納重複部18。又，在容器W被堆高式起重機2的第二支持體36支持的狀態下，從上下方向Z來看，將容器W的底部16中與第二支持體36重複的部分設為搬送重複部19。2個前被支持部17A的每一個均是橫跨收納重複部18與搬送重複部19而形成。1個後被支持部17B是至少形成在搬送重複部19上，在本實施形態中，則是橫跨於收納重複部18與搬送重複部19而形成。再者，搬送重複部19相當於「搬送用被支持部」。

[容器收納架]

如圖1及圖4所示，容器收納架1是將可收納容器W的複數個收納部1A以在上下方向Z及寬度方向Y上排列的狀態來設置複數個。複數個收納部1A的每一個具備有從下方支持容器W的底部16之第一支持體21。如此，容器收納架1具備有第一支持體21。

如圖4所示，容器收納架1具備有：複數個縱框體22B，以沿著上下方向Z的姿勢而設置；及橫框體22A，以沿著 寬度方向Y的姿勢而設置，組合這些縱框體22B與橫框體22A而形成有框架22。

框架22是設置在容器收納架1中的架後方向X2側之端部，且第一支持體21是以從橫框體22A朝架前方向X1延伸的姿勢被支持在橫框體22A上。亦即，第一支持體21是在將其架後方向X2側的端部連結於橫框體22A的狀態下被支持在框架22上。再者，壁體K是固定在容器收納架1的框架22上。

如圖5及圖6所示，第一支持體21具備有1個板狀部23、2個補強部24及2個前支持部25。板狀部23是形成為板狀，且利用緊固部26將2個補強部24連結在其面向下方之面上。在本實施形態中，是利用鉚釘(rivet)來作為連結板狀部23與補強部24的緊固部26。

具體而言，板狀部23與補強部24的每一個上均形成有鉚釘插通用的孔。並且，以在上下方向上將板狀部23與補強部24重疊的狀態，來使鉚釘從上方插通到這些鉚釘插通用的孔後，破壞鉚釘的前端(下端)並將鉚釘的前端朝架前後方向X及寬度方向Y壓扁，而形成為以鉚釘的頭與前端在上下方向上夾持板狀部23與補強部24，以連結板狀部23與補強部24。像這樣利用鉚釘來連結板狀部23與補強部24，具有以下的優點。亦即，可以避免例如像是以熔接來連結板狀部23與補強部24時之方式而使板狀部23或補強部24因熱而變形的情形，並且可以抑制於板狀部23與補強部24的連結上所需要的成本。

並且，如圖2所示，可將補強部24的後端部連結在橫框體22A上。如圖5所示，板狀部23會形成有缺口27，且從上下方向Z來看的形狀是形成為有角的U字形。前支持部25是以從板狀部23的上表面朝上方突出之狀態設置在板狀部23中的缺口27之周緣部的2個位置上。再者，針對第一支持體21會在之後描述細節。

[堆高式起重機]

如圖1所示，堆高式起重機2具備有：行走台車31，沿著寬度方向Y行走；桅桿32，豎立設置在行走台車31上；升降體33，沿著桅桿32而升降；及移載裝置34，被升降體33支持。移載裝置34是構成為可以在移載對象位置(收納部1A及搬送輸送帶4的內側位置4B)與本身之間移載容器W。

移載裝置34上具備有：從下方支持容器W的底部16之第二支持體36(參照圖3)、及使該第二支持體36進退移動至退回位置與突出位置之進退操作裝置(圖未示)。退回位置是第二支持體36位於升降體33的正上方之位置。如圖3所示，突出位置是使第二支持體36從避回位置突出到架後方向X2的位置。

並且，移載裝置34是構成為可藉由使進退操作裝置繞縱軸心旋轉，而將第二支持體36的從退回位置突出的方向，在一對容器收納架1的其中一個存在的方向、與一對容器收納架1的另一個存在的方向擇一地選擇自如。因此，移載裝置34是構成為相對於一對容器收納架1的任一 個收納部1A均可以在各收納部1A之間移載容器W。

如圖3所示，第二支持體36是形成為在已突出至突出位置的狀態下來使升降體33升降時，可以在上下方向Z上通過第一支持體21的缺口27之形狀。第二支持體36具備有3個可從下方卡合於容器W的2個被支持部17來支持容器W的底部16的搬送支持部37。第二支持體36是構成為藉由以使3個搬送支持部37卡合於容器W的被支持部17之狀態來支持容器W，而可以將容器W以定位於第二支持體36上的預先設定的支持位置之狀態來支持。順帶一提，3個搬送支持部37是從下方支持被支持部17中的位於搬送重複部19的部分，而藉由第二支持體36從下方支持容器W之底部16中的搬送重複部19。

[第一支持體的詳細內容]

接著，針對第一支持體21詳加說明。

如圖2所示，第一支持體21具備有以從下方卡合於2個前被支持部17A的狀態，來從下方支持容器W的底部16的2個前支持部25、及從下方支持容器W之比底部16中的重心P2更位於架後方向X2的部分之板狀部23。板狀部23是支持容器W中的底部16之後端部16A。此板狀部23相當於從下方支持容器W之比底部16中的重心P2更位於架後方向X2的部分之後支持部。

並且，第一支持體21是藉由2個前支持部25與板狀部23，以使2個前被支持部17A比後被支持部17B更位於上方的傾斜姿勢，來支持容器W。在此，「傾斜姿勢」 所表示的是，容器W的姿勢為相對於基準姿勢的容器W而朝後方傾斜的姿勢。進一步說明，基準姿勢是在藉由3個動力銷(kinematic pin)支持著容器W的被支持部17的狀態下，使前被支持部17A中的動力銷從下方接觸的部分、與後被支持部17B中的動力銷從下方接觸的部分為位於相同高度的姿勢。並且，傾斜姿勢是假定如上所述地藉由包含2個前支持部25(動力銷)的3個動力銷來支持容器W的被支持部17之狀態下，使前被支持部17A中的前支持部25從下方接觸的部分，比後被支持部17B中的動力銷從下方接觸的部分更位於上方的姿勢。

從上下方向Z來看，板狀部23中的與容器W重複的部分，會使其上表面形成為平坦且水平。並且，2個前支持部25是形成為使第一對象部41與第二對象部42的上下方向Z之間隔L成為超過0mm且在1mm以下的高度。第一對象部41是設為以下的部分：在容器W被第一支持體21支持的狀態下，使與容器W中的2個前被支持部17A在架前後方向X上位於相同位置且位於最下方的容器W之部分。又，第二對象部42是設為以下的部分：在容器W被第一支持體21支持的狀態下，板狀部23的上表面中的位於第一對象部41的正下方之部分。簡而言之，在容器W被第一支持體21支持的狀態下，雖然第一對象部41與第二對象部42是在上下方向Z上相分開，但其分開距離(間隔L)是抑制在1mm以下。在本實施形態中，2個前支持部25是形成為使間隔L成為1mm的高度。

第一支持體21是將其架前後方向X的長度形成得比容器W的架前後方向X之長度更長。並且，第一支持體21是將容器W支持成使容器W的前端比第一支持體21的架前方向X1之前端更位於架後方向X2，並且使容器W的前端比第一支持體21的架後方向X2之後端更位於架前方向X1。

亦即，第一支持體21具備有比由第一支持體21所支持的容器W之前端更朝架前方向X1延伸之作為延伸部的前延伸部43。此前延伸部43具有，從架前後方向X來看會與由第一支持體21所支持的容器W重複之作為限制部的前限制部44。前限制部44是將其上端形成在比由第一支持體21所支持的容器W之前被支持部17A更位於上方的高度，且不超過容器W的高度之1/5的高度。順帶一提，前限制部44的高度亦可為在支持容器W的第二支持體36從退回位置移動到突出位置時或從突出位置移動到避回位置時，不會使前限制部44干涉到第二支持體36所支持的容器W之高度。

第一支持體21是將其寬度方向Y的長度形成得比容器W的寬度方向Y之長度更長。並且，第一支持體21是將容器W支持成使容器W的第一寬度方向Y1之端部比第一支持體21的第一寬度方向Y1之端部更位於第二寬度方向Y2，且使容器W的第二寬度方向Y2之端部比第一支持體21的第二寬度方向Y2之端部更位於第一寬度方向Y1。

亦即，第一支持體21具備有第一寬度延伸部45，該第一寬度延伸部45比藉由第一支持體21所支持的容器W中的第一寬度方向Y1之端部更朝第一寬度方向Y1延伸。此第一寬度延伸部45具有從寬度方向Y來看與容器W重複之第一寬度限制部46。又，第一支持體21具備第二寬度延伸部47，該第二寬度延伸部47比藉由第一支持體21所支持的容器W中的第二寬度方向Y2之端部更朝第二寬度方向Y2延伸。此第二寬度延伸部47具有從寬度方向Y來看與容器W重複之第二寬度限制部48。第一寬度限制部46及第二寬度限制部48是形成為與前限制部44相同的高度。

第一支持體21中的第一寬度限制部46及第二寬度限制部48，僅設置在比縱框體22B更朝架前方向X1處。從寬度方向Y來看，與第一支持體21中的具備有第一寬度限制部46及第二寬度限制部48的部分相比，第一支持體21中的與縱框體22B重複的部分在寬度方向Y上會形成得較寬度狹窄。

如此，藉由在使2個前支持部25從下方卡合於容器W中的2個被支持部17的狀態下以第一支持體21來支持容器W的底部16，即可以藉由第一支持體21以將容器W定位在規定位置的狀態來支持容器W。並且，藉由2個前支持部25與板狀部23以傾斜姿勢來支持容器W，即可以在容器W難以朝前方翻倒的狀態下來支持容器W。

[其他實施形態]

(1)在上述實施形態中，雖然做成藉由後支持部從下方 支持容器之比底部中的重心更位於前方的部分之構成，且是藉由作為後支持部的板狀部從下方支持容器的後端部之構成，但藉由後支持部進行的支持容器的構成並不限定於此。亦即，例如，將後支持部形成為從板狀部朝上方突出，並且從板狀部的突出量為比前支持部更小的形狀，而以從下方卡合於後被支持部的狀態來從下方支持容器的底部亦可。又，設成在板狀部形成複數個突起，且藉由此複數個突起從下方支持容器的後端部之構成亦可。

(2)在上述實施形態中，雖然是將以第一支持部所支持的容器之姿勢，設為容器的前方為朝向架前方向的姿勢，但也可以將藉由第一支持部所支持的容器之姿勢，設為容器的前方為朝向架寬方向的第一方向之姿勢、或容器的前方為朝向架寬方向的第二方向之姿勢、或容器的前方為朝向架後方向之姿勢。

(3)在上述實施形態中，雖然在第一支持體上具備有前延伸部、第一寬度延伸部及第二寬度延伸部，但也可以是在第一支持體上僅具備前延伸部、第一寬度延伸部及第二寬度延伸部當中的一部分(例如僅有前延伸部)，又，也可以做成在第一支持體上不具備前延伸部、第一寬度延伸部及第二寬度延伸部之全部。

又，雖然在第一支持體上具備有前限制部、第一寬度限制部及第二寬度限制部，但也可以是在第一支持體上僅具備前限制部、第一寬度限制部及第二寬度限制部當中的一部分(例如僅有前限制部)，又，也可以做成在第一支持 體上不具備前限制部、第一寬度限制部及第二寬度限制部之全部。

(4)在上述實施形態中，雖然是將第一支持體以在上下方向及寬度方向上排列的狀態而在容器支持架中設置有複數個，但也可以是將第一支持體以僅在上下方向上排列的狀態而在容器支持架中設置有複數個，又，也可以是將第一支持體以僅在寬度方向上排列的狀態而在容器支持架中設置有複數個。雖然是將搬送裝置設為堆高式起重機，但將第一支持體以僅在上下方向上排列的狀態而在容器支持架中設置有複數個的情況下，也可以藉由在寬度方向上不行走的升降裝置來構成搬送裝置，又，將第一支持體以僅在寬度方向上排列的狀態而在容器支持架中設置有複數個的情況下，也可以由行走在地面上的自動搬送車來構成搬送裝置。

(5)在上述實施形態中，雖然是將容器設為在工廠內搬送的FOUP，但也可以將容器設為在工廠間搬送的FOSB等其他半導體基板用的容器。

(6)在上述實施形態中，雖然是在第一支持體上具備1個板狀部與2個補強部，且將2個補強部連結到框架上，但將第一支持體連結到框架的構成並不限定於此。亦即，例如，取代於1個板狀部與2個補強部，而在第一支持體上具備1個板狀部與1個補強構件，並將這1個補強構件連結到框架上亦可，又，取代於1個板狀部與2個補強部，而在第一支持體上具備1個板狀構件，並將這1個板狀 構件連結到框架上亦可。

[上述實施形態的概要]

以下，針對在上述所說明之半導體容器保管設備的概要加以說明。

容器支持架的特徵構成之點在於：具備有支持體，該支持體是從下方支持收容半導體基板的容器之底部，且在該容器支持架中， 前述容器的前述底部具備3個朝上方凹陷的被支持部，前述3個被支持部是相對於前述底部的基準位置而放射狀地配置，從上下方向來看，將排列有前述容器的前述基準位置與前述容器的重心之方向設為前後方向，且將前述前後方向中的相對於前述基準位置而存在前述容器之重心的方向設為前方，並將其相反方向設為後方，前述3個被支持部當中的2個是比前述容器的重心更位於前述前方的前被支持部，前述3個被支持部當中的剩下的1個是比前述容器的重心更位於前述後方的後被支持部，前述支持體具備2個前支持部與後支持部，並藉由前述2個前支持部與前述後支持部，而以使前述2個前被支持部比前述後被支持部更位於上方的傾斜姿勢來支持前述容器，該等2個前支持部是以從下方卡合於前述2個前被支持部的狀態來從下方支持前述容器的前述底部，該後支持部是從下方支持前述容器之比前述底部中的重心更位於前述後方的部分。

藉由此特徵構成，支持體是以將2個前支持部從下方卡合於容器中的3個被支持部當中的至少2個前 被支持部之狀態，來支持容器。由於2個前被支持部是相對於容器的底部之基準位置而放射狀地形成，因此藉由至少使2個前支持部從下方卡合於2個前被支持部，即可以藉由支持體以將容器定位在規定位置的狀態來支持容器。

又，支持體是藉由2個前支持部與後支持部，以2個前被支持部比後被支持部更位於上方的傾斜姿勢來支持容器，藉此相較於使2個前被支持部與後被支持部成為相同高度的姿勢，會使容器的重心位於前方。因此，可使支持體所支持的容器變得不容易朝前方翻倒。

在此，較佳的是，前述容器具備：收容前述半導體基板之收容空間、及相對於前述收容空間而用於使前述半導體基板出入的開口，前述開口是相對於前述收容空間而設置在前述前方，且是使前述後支持部支持前述底部的後端部。

根據此構成，在容器上具備有堵塞開口的蓋體之情況下，雖然因該蓋體的存在而使容器的重心容易偏向前方，但可以將這樣的容器以難以朝前方翻倒的狀態藉由支持體來支持。又，藉由後支持部支持底部的後端部，由於不需要將此後支持部形成為從下方卡合於容器的後被卡合部之形狀，因此變得容易形成後支持部。

又，較理想的是，前述支持體是以藉由前述支持體所支持的前述容器之前方，為朝向將前述容器搬送到前述支持體的搬送裝置之移動空間的姿勢，來支持前述容器。

根據此構成，藉由使支持體所支持的容器難以朝前方翻倒，即可以抑制容器掉落到搬送裝置的移動空間之情形。因此，在例如，因地震等而使容器收納架搖晃的情況下，由於可以抑制掉落到搬送裝置的移動空間之容器的數量，因此變得容易進行地震後的復原作業。

又，較佳的是，前述支持體具備板狀的板狀部、及由前述板狀部的上表面朝上方突出的前述2個前支持部，前述後支持部是由前述板狀部所構成，在前述容器支持於前述支持體的狀態下，將與前述容器中的前述2個前支持部在前述前後方向上位於相同位置且位於最下方的前述容器之部分設為第一對象部，並且將前述板狀部之上表面中的位於前述第一對象部之正下方的部分設為第二對象部，前述2個前支持部是形成為使前述第一對象部與前述第二對象部的上下方向之間隔成為1mm以下的高度。

根據此構成，被支持體所支持的容器是藉由2個前支持部來支持2個前被支持部，並以板狀部支持容器的後端部。並且，由於第一對象部與第二對象部的上下方向之間隔為1mm以下，因此可以將前支持部中的從板狀體之上表面的突出量設得較小，而使前支持部的高度比較低。因此，可易於將藉由該前支持部支持的容器穩定地支持。

又，較佳的是，前述支持體具備比藉由前述支持體支持的前述容器之前端更朝前述前方延伸的延伸部，前述延伸部具有限制部，該限制部從前述前後方向來 看是與藉由前述支持體支持的前述容器重複。

根據此構成，當容器相對於支持體而朝前方移動時，可以藉由限制體接觸於該移動的容器，而限制容器往前方之移動。因此，當容器相對於支持體而朝前方移動時，可以限制容器從支持體上掉落之情形及容器朝前方翻倒之情形。又，由於容器的前端之下方存在有支持體的延伸部，因此可以藉由延伸部從下方承受欲朝前方翻倒的容器，而限制容器朝前方翻倒之情形。

11‧‧‧收容空間

12‧‧‧收容部

13‧‧‧凸緣部

14‧‧‧開口

15‧‧‧蓋體

16‧‧‧底部

16A‧‧‧後端部

17‧‧‧被支持部

17A‧‧‧前被支持部

17B‧‧‧後被支持部

21‧‧‧第一支持體(支持體)

22‧‧‧框架

22A‧‧‧橫框體

23‧‧‧板狀部(後支持部)

25‧‧‧前支持部

26‧‧‧緊固部

41‧‧‧第一對象部

42‧‧‧第二對象部

44‧‧‧前限制部(限制部)

46‧‧‧第一寬度限制部

K‧‧‧壁體

L‧‧‧間隔

W‧‧‧容器

X‧‧‧架前後方向(前後方向)

X1‧‧‧架前方向(前方)

X2‧‧‧架後方向(後方)

Z‧‧‧上下方向

Claims (6)

1. 一種容器支持架，具備：支持體，從下方支持收容半導體基板的容器之底部；該容器支持架之特徵在於：前述容器的前述底部具備3個朝上方凹陷的被支持部，前述3個被支持部是相對於前述底部的基準位置而放射狀地配置，從上下方向來看，將排列有前述容器的前述基準位置與前述容器的重心之方向設為前後方向，且將前述前後方向中的相對於前述基準位置而存在前述容器之重心的方向設為前方，並將其相反方向設為後方，前述3個被支持部當中的2個是比前述容器的重心更位於前述前方的前被支持部，前述3個被支持部當中的剩下的1個是比前述容器的重心更位於前述後方的後被支持部，前述支持體具備2個前支持部與後支持部，並藉由前述2個前支持部與前述後支持部，而以使前述2個前被支持部比前述後被支持部更位於上方的傾斜姿勢來支持前述容器，該等2個前支持部是以從下方卡合於前述2個前被支持部的狀態來從下方支持前述容器的前述底部，該後支持部是從下方支持前述容器之比前述底部中的重心更位於前述後方的部分，前述支持體具備板狀的板狀部、及由前述板狀部的上 表面朝上方突出的前述2個前支持部，前述後支持部是由前述板狀部所構成。
2. 如請求項1之容器支持架，其中，前述容器具備：收容前述半導體基板之收容空間、及相對於前述收容空間而用於使前述半導體基板出入的開口，前述開口是相對於前述收容空間而設置在前述前方，前述後支持部是支持前述底部的後端部。
3. 如請求項1或2之容器支持架，其中，前述支持體是以藉由前述支持體所支持的前述容器之前方朝向將前述容器搬送到前述支持體的搬送裝置之移動空間的姿勢，來支持前述容器。
4. 如請求項1或2之容器支持架，其中，在前述容器支持於前述支持體的狀態下，將與前述容器中的前述2個前支持部在前述前後方向上位於相同位置且位於最下方的前述容器之部分設為第一對象部，並且將前述板狀部之上表面中的位於前述第一對象部之正下方的部分設為第二對象部，前述2個前支持部是形成為使前述第一對象部與前述第二對象部的上下方向之間隔成為1mm以下的高度。
5. 如請求項1或2之容器支持架，其中，前述支持體具備比藉由前述支持體所支持的前述容器之前端更朝前述前方延伸的延伸部，前述延伸部具有限制部，該限制部從前述前後方向來 看是與藉由前述支持體所支持的前述容器重複。
6. 如請求項1或2之容器支持架，其中，從上下方向來看，將相對於前述前後方向正交的方向設為寬度方向，且將寬度方向的一方向設為第一寬度方向，並將寬度方向的另一方向設為第二寬度方向，前述支持體具備有第一寬度方向延伸部及第二寬度方向延伸部，前述第一寬度方向延伸部比藉由前述支持體所支持的前述容器的前述第一寬度方向之端部更朝前述第一寬度方向延伸，前述第二寬度方向延伸部比藉由前述支持體所支持的前述容器的前述第二寬度方向之端部更朝前述第二寬度方向延伸，前述第一寬度方向延伸部具有從前述寬度方向來看與藉由前述支持體所支持的前述容器重複之第一寬度限制部，前述第二寬度方向延伸部具有從前述寬度方向來看與藉由前述支持體所支持的前述容器重複之第二寬度限制部。

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