KR20110089856A - 물품 반송 장치 - Google Patents

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KR20110089856A
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Abstract

먼지의 발생을 방지할 수 있고, 또한 작업자용 이송탑재 개소에서 작업자가 쉽게 부상당하지 않는 물품 반송 장치를 제공한다. 작업자용 이송탑재 개소 P와 비작업자용 이송탑재 개소 Q와의 사이에서 연장되는 이동 경로를 왕복 이동하도록 구성된 왕복 이동체와, 이동 경로의 전체 길이에 걸쳐 이동하는 왕복 이동체의 위쪽을 부분적으로 덮는 커버체(22)와, 왕복 이동체로부터 위쪽으로 연장되어 커버체에 형성된 슬릿(24)을 상하 방향으로 관통하는 상태로 설치된 연결부에 의해 왕복 이동체와 연결되어, 커버체보다 상부 측으로 이동 경로 방향으로 이동하는 물품 탑재체(20)가 설치되고, 슬릿은, 왕복 이동체가 이동 경로를 따라 이동할 때 연결부가 커버체에 대하여 비접촉 상태로 유지되도록 형성되고, 커버체 중 슬릿의 작업자용 이송탑재 개소 측의 단부(端部)를 형성하는 단부 형성 부분(22E)에, 탄성 변형 가능하며 유연성이 있는 탄성 커버부(22S)를 구비하고 있다.

Description

물품 반송 장치{ARTICLE CONVEYING DEVICE}
본 발명은, 작업자에 의해 물품이 이송탑재되는 작업자용 이송탑재 개소와 비작업자용 이송탑재 개소에 걸쳐 설정되고, 양단(兩端)을 가지는 이동 경로를 따라 왕복 이동하도록 구성된 왕복 이동체와, 슬릿(slit)이 형성되고, 상기 이동 경로의 전체 길이에 걸쳐 이동하는 상기 왕복 이동체의 위쪽을 부분적으로 덮는 커버체와, 상기 왕복 이동체로부터 위쪽으로 연장되어 상기 슬릿을 상하 방향으로 관통하는 상태로 설치된 연결부에 의해 상기 왕복 이동체와 연결되어, 상기 왕복 이동체의 상기 이동 경로에 따르는 왕복 이동에 따라, 상기 커버체보다 위쪽에서 상기 이동 경로 방향으로 이동하도록 구성된, 물품 탑재용의 물품 탑재체가 설치되어 있는 물품 반송(搬送) 장치에 관한 것이다.
상기 물품 반송 장치는, 반송 대상 물품을 물품 반송 장치에 공급하거나, 물품 반송 장치에 의해 반송된 물품을 수취(受取)하는 이송탑재 작업을 작업자가 행하는 작업자용 이송탑재 개소와, 반송 대상 물품을 물품 반송 장치에 공급하거나, 물품 반송 장치에 의해 반송된 물품을 수취하는 이송탑재 작업을 자동기가 행하는 비작업자용 이송탑재 개소 사이에서 물품을 탑재 반송하는 것이다.
상기 물품 반송 장치에서는, 왕복 이동체가 왕복 이동하는 이동 경로 내로의 이물질의 진입이나, 왕복 이동체의 구동 부분에서 발생하는 먼지나 구동부에 주유(注油)된 윤활유의 증기의 발산을 방지하는 것 등을 목적으로, 왕복 이동체의 위쪽은 커버체에 의해 덮혀져 있다. 이 커버체에는 이동 경로를 따른 슬릿이 형성되어 있고, 물품 탑재체와 왕복 이동체를 연결하는 연결부가, 커버체에 형성된 슬릿을 상하 방향으로 관통하도록 왕복 이동체로부터 위쪽으로 연장되어 있다. 그리고, 왕복 이동체가 커버체의 하방에서 이동 경로를 따라 왕복 이동함으로써, 연결부에 의해 왕복 이동체와 연결된 물품 탑재용의 물품 탑재체가 이동 경로 방향으로 이동하도록 되어 있다.
상기 물품 반송 장치의 종래예로서 왕복 이동체가 이동 경로를 따라 이동할 때 연결부가 커버체에 대하여 접촉 상태로 유지되도록 슬릿이 형성된 것이 있다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조). 특허 문헌 1의 물품 반송 장치에서는, 커버체에서의 슬릿을 형성하는 부분이, 슬릿의 전체 길이에 걸쳐 슬릿을 닫는 측에 탄성 가압된 양 둘레부를 구비하여 구성되어 있고, 왕복 이동체의 이동에 따라 이동하는 연결부가 양 둘레부의 대응 개소를 가압하여 벌림으로써, 연결부의 위치에 따라 슬릿 폭이 확대 변경되도록 되어 있다. 특허 문헌 1의 물품 반송 장치에서는, 연결부가 양 둘레부를 가압하여 벌리면서 이동할 때의 연결부와 커버체와의 접촉 저항을 작게 하기 위하여, 양 둘레부의 단부(端部)에 마찰 계수가 작으면서 내마모성(耐磨耗性)이 우수한 경질의 수지 재료로 형성하는 것이 바람직한 것으로 되어 있다.
일본 특허출원 공개번호 평 10-231010호 공보
그러나, 상기 종래예와 같이 구성되면, 연결부가 커버체에 대하여 접촉된 상태로 이동하므로, 커버체와 연결체와의 마찰에 의해 발생하는 먼지가 발생하는 것을 전혀 방지할 수 없다. 그러므로, 예를 들면, 약간의 먼지가 발생해도 문제가 되는 반도체 제조 공장에서의 클린룸 등에 설치하는 경우에는, 바람직하지 않은 점으로서 평가된다.
또한, 왕복 이동체가 이동 경로의 작업자용 이송탑재 개소 측의 단부에 위치할 때는, 커버체 중의 작업자용 이송탑재 개소 측의 위쪽으로 물품 탑재체가 위치하므로, 작업자용 이송탑재 개소 부근에 위치하는 작업자가, 커버체 중의 작업자용 이송탑재 개소 측 부분에 조심하지 않고 손이 놓여져 있으면, 왕복 이동체가 작업자용 이송탑재 개소 측의 단부 부근에 접근할 때, 안전하다고 할 수는 없다. 또한, 먼지 방지를 위해 슬릿의 폭을 충분히 넓게 형성하면, 슬릿의 전체 길이에 걸쳐 커버체의 슬릿 형성 부분과 연결체와의 사이에 간극이 형성되는 것에 의해, 왕복 이동체가 비작업자용 이송탑재 개소 측으로부터 작업자용 이송탑재 개소로 이동할 때, 작업자용 이송탑재 개소에 위치하는 작업자의 손가락이, 작업자용 이송탑재 개소 측의 슬릿 단부 부근에 놓여져 있으면 안전하다고 할 수는 없다.
또한, 반송 장치를 보다 안전하게 하기 위해서는, 커버체의 위쪽 공간에 작업자의 손가락 등의 이물질이 진입한 것을 검출하는 복수의 센서 등으로 이루어지는 검출 수단을 설치하여, 검출 수단이 이물질의 진입을 검출하면 물품 반송 장치의 작동을 정지시키는 구성을 고려할 수 있다. 그러나, 작업자의 손가락의 진입을 검출하고자 할 경우, 특정한 방향으로부터 뿐만 아니라 다양한 방향으로부터 손가락이 진입할 가능성을 고려할 필요가 있고, 검출 수단으로서 광범위한 검출 영역을 가지는 것을 사용하지 않으면 안되므로, 검출 수단의 대형화, 설치 상 불리하거나, 고기능화에 의한 비용면 등에서 불리하다. 또한, 커버체의 위쪽 공간에 작업자의 손가락이 진입하는 동작은 예상할 수 없으므로, 커버체의 위쪽 공간으로 작업자의 손가락이 진입하는 것을 확실하게 검출하는 것은 용이하지 않다.
본 발명은, 전술한 실정을 감안하여 이루어진 것으로서, 그 목적은, 먼지의 발생을 방지할 수 있고, 또한 작업자용 이송탑재 개소에서 작업자에게 보다 안전한 물품 반송 장치를 제공하는 점에 있다.
본 발명에 따른 물품 반송 장치는, 작업자에 의해 물품이 이송탑재되는 작업자용 이송탑재 개소와 비작업자용 이송탑재 개소에 걸쳐 설정되고, 양단을 가지는 이동 경로를 따라 왕복 이동하도록 구성된 왕복 이동체와, 슬릿이 형성되고, 상기 이동 경로의 전체 길이에 걸쳐 이동하는 상기 왕복 이동체의 위쪽을 부분적으로 덮는 커버체와, 상기 왕복 이동체로부터 위쪽으로 연장되어 상기 슬릿을 상하 방향으로 관통하는 상태로 설치된 연결부에 의해 상기 왕복 이동체와 연결되어, 상기 왕복 이동체의 상기 이동 경로에 따르는 왕복 이동에 따라 상기 커버체보다 위쪽에서 상기 이동 경로 방향으로 이동하도록 구성된, 물품 탑재용의 물품 탑재체가 설치되어 있는 물품 반송 장치로서, 상기 슬릿은, 상기 왕복 이동체가 상기 이동 경로를 따라 이동할 때 상기 연결부가 상기 커버체에 대하여 비접촉 상태로 유지되도록 형성되고, 상기 커버체 중에서 상기 슬릿의 상기 작업자용 이송탑재 개소 측의 단부를 형성하는 단부 형성 부분에, 탄성 변형 가능하며 유연성이 있는 탄성 커버부가 구비되어 있다.
즉, 슬릿은, 왕복 이동체가 이동 경로를 따라 이동할 때, 연결부가 커버체에 대하여 비접촉 상태로 유지되도록 구성되어 있으므로, 연결부가 이동 경로의 어떤 위치에 위치하고 있어도, 연결부와 커버체와의 사이에 간극이 형성되는 것에 의해, 왕복 이동체가 이동 경로를 따라 이동해도 연결부가 커버체에 대하여 접촉하지 않는다. 따라서, 왕복 이동체가 이동 경로를 따라 이동할 때 연결부가 커버체에 접촉하여 스치는 것에 의한 먼지의 발생을 방지할 수 있다.
또한, 연결부가 커버체에 대하여 비접촉 상태로 유지되도록 슬릿을 구성하면, 연결부와 커버체와의 사이에 간극이 형성되지만, 커버체 중의 슬릿의 작업자용 이송탑재 개소 측의 단부를 형성하는 단부 형성 부분에, 탄성 변형 가능하며 유연성이 있는 탄성 커버부가 구비되어 있으므로, 왕복 이동체가 이동 경로의 작업자용 이송탑재 개소 측의 단부에 위치할 때는, 물품 탑재체의 아래쪽에 탄성 커버부가 위치하게 된다. 따라서, 왕복 이동체가 비작업자용 이송탑재 개소 측으로부터 작업자용 이송탑재 개소까지 이동할 때, 작업자용 이송탑재 개소에 위치하는 작업자가 조심하지 않고 커버체에서의 단부 형성 부분에 손가락을 놓고 있을 경우, 커버체와 연결부와의 사이나 커버체와 물품 탑재체와의 사이에 손가락이 끼이게 될 것 같아도, 연결체나 물품 탑재체에 의해 손가락이 가압됨으로써 이 손가락에 의해 탄성 커버부가 탄성 변형하여, 손가락은 탄성 변형한, 유연성이 있는 탄성 커버부와 물품 탑재체와의 사이에 위치하게 되어, 작업자가 보다 안전하게 된다.
이와 같이, 본 발명에 따르면, 먼지의 발생을 방지할 수 있고, 또한 작업자용 이송탑재 개소에서 작업자에게 보다 안전한 물품 반송 장치를 제공할 수 있게 되었다.
본 발명의 실시예에서는, 상기 단부 형성 부분의 일부가 상기 탄성 커버부에 의해 구성되며, 이 탄성 커버부는, 상기 슬릿의 상기 작업자용 이송탑재 개소 측의 단부로 되는 노치(notch)가 형성된 판형 탄성체에 의해 구성되며, 상기 단부 형성 부분의 상기 탄성 커버부 이외의 부분이, 상기 탄성 커버부의 주위에 위치하는 비탄성 커버부에 의해 구성되며, 상기 탄성 커버부와 상기 비탄성 커버부가 원호형으로 접속되어 있는 것이 바람직하다.
즉, 커버체에서의 단부 형성 부분의 일부가 탄성 커버부에 의해 구성되며, 이 탄성 커버부는, 슬릿의 작업자용 이송탑재 개소 측의 단부로 되는 노치가 형성된 판형 탄성체에 의해 구성되어 있으므로, 작업자용 이송탑재 개소에 위치하는 작업자의 손가락이 연결체나 물품 탑재체에 의해 가압되었을 때, 판형에 부착되어 변형되기 쉬운 탄성 커버부가 간단하게 탄성 변형된다. 따라서, 작업자의 손가락이 커버체와 연결체와의 사이나 커버체와 물품 탑재체와의 사이에 끼이게 될 것 같은 경우에, 커버체 중 판형 탄성체에 의해 구성된 탄성 커버부가, 작업자의 손가락에 의해 가압되어 적절하게 변형된다. 이로써, 작업자의 손가락은 적절하게 보호된다.
또한, 단부 형성 부분의 탄성 커버부 이외의 부분이, 탄성 커버부의 주위에 위치하는 비탄성 커버부에 의해 구성되며, 탄성 커버부와 비탄성 커버부가 원호형으로 접속되어 있으므로, 판형 탄성체에 의해 구성된 탄성 커버부는, 슬릿의 작업자용 이송탑재 개소 측의 단부로부터 방사상(放射狀)으로 벌어진 개소에 의해 커버체의 비탄성 커버부와 접속되는 것에 의해, 슬릿의 작업자용 이송탑재 개소 측의 단부로부터 비탄성 커버부까지의 거리가 일양화(一樣化)된다. 따라서, 판형 탄성체가 탄성 변형될 때, 탄성 변형시키는 힘이 변형 부분에서 일양적으로 분산됨으로써 판형 탄성체가 국소적으로 변형되는 것을 최대한 회피하여 판형 탄성체의 파괴 등의 파손을 최대한 방지할 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 실시예에서는, 탄성 커버부가 변형되기 용이하도록 하여 작업자의 손가락을 적절하게 보호할 수 있고, 또한 탄성 커버부의 파손을 최대한 방지하는 것이 바람직하다.
본 발명의 실시예에서는, 상기 물품 탑재체가, 상기 왕복 이동체에 구비된 승강 수단에 의해 상승 위치와 하강 위치로 승강하도록 구성되며, 또한 상기 이동 경로의 가로 폭 방향에서의 길이가, 반송 대상 물품의, 상기 이동 경로의 가로 폭 방향에서의 길이보다 짧은 판형의 탑재대에 의해 구성되며, 반송 대상 물품을 탑재 지지하는 물품 받이대가, 상기 작업자용 이송탑재 개소에 설치되고, 상기 물품 받이대가, 상기 하강 위치에 위치하는 상기 탑재대의 상면보다 높으면서, 상기 상승 위치에 위치하는 상기 탑재대의 하면보다 낮은 높이의 탑재면이 형성된 한쌍의 짐받이부를, 상기 작업자용 이송탑재 개소에 위치하는 상기 탑재대의 상기 이동 경로 가로 폭 방향의 양측에 위치하는 한쌍의 측면의 각각에 바깥쪽으로부터 근접하는 상태로 구비하여 구성되며, 상기 탑재대가 상기 상승 위치에 위치할 때의 상기 탑재대의 하면과 상기 한쌍의 짐받이부의 탑재면과의 사이에 형성되는 간극을 폐색(閉塞)하는 한쌍의 판형체가, 상기 탑재대에 설치되어 있는 것이 바람직하다.
즉, 물품 탑재체는, 왕복 이동체에 구비된 승강 수단에 의해 상승 위치와 하강 위치로 승강 가능하며, 또한 이동 경로의 가로 폭 방향의 길이가 동일한 방향에 대한 반송 대상 물품의 가로 폭 방향의 길이보다 짧은 판형의 탑재대에 의해 구성되어 있으므로, 반송 대상 물품은 이동 경로의 가로 폭 방향의 중앙 부분이 탑재대에 탑재 지지된 상태로, 승강 수단에 의해 승강 조작된다. 또한, 작업자용 이송탑재 개소에 설치된 물품 받이대는, 하강 위치에 위치하는 탑재대의 상면보다 높으면서, 상승 위치에 위치하는 탑재대의 하면보다 낮은 높이의 탑재면이 형성된 한쌍의 짐받이부를, 작업자용 이송탑재 개소에 위치하는 탑재대의 양 측부의 각각에 바깥쪽으로부터 근접하는 상태로 한쌍 구비하여 구성되어 있으므로, 반송 대상 물품은, 이동 경로의 가로 폭 방향의 양측 부분이 한쌍의 짐받이부의 탑재면에 탑재되는 상태로, 한쌍의 짐받이부에 의해 탑재 지지된다.
따라서, 물품을 탑재 지지하고 있는 탑재대를 상승 위치에 위치시키면서 왕복 이동체를 작업자용 이송탑재 개소까지 이동시키면, 한쌍의 짐받이부의 탑재면의 위쪽으로 물품의 바닥면이 위치하는 상태로 만들 수 있다. 이 상태에서 승강 수단을 작동시켜 탑재대를 상승 위치로부터 하강 위치로 하강 조작하면, 물품의 바닥면에서의 이동 경로의 가로 폭 방향에서의 양 단부가 한쌍의 짐받이부에 탑재 지지되고, 탑재대는, 물품의 바닥면으로부터 이격된 상태로 하강 위치에 위치하게 된다.
또한, 왕복 이동체의 이동 경로의 가로 폭 방향에서의 물품의 바닥면에서의 양 단부가 한쌍의 짐받이부에 탑재 지지된 상태로 물품을 물품 받이대에 탑재 지지시켜 두고, 탑재대를 하강 위치에 위치시키면서 왕복 이동체를 작업자용 이송탑재 개소까지 이동시키면, 물품의 바닥면에서의 왕복 이동체의 이동 경로의 가로 폭 방향에서의 중앙 부분의 아래쪽에, 탑재대가 위치하는 상태로 만들 수 있다. 이 상태에서 승강 수단을 작동시켜 탑재대를 하강 위치로부터 상승 위치로 상승 조작하면, 탑재대의 상면이 한쌍의 짐받이부의 탑재면보다 높아짐으로써, 탑재대가 물품의 바닥면에 맞닿은 후 물품이 한쌍의 짐받이부로부터 이격되어, 물품은, 물품 받이대의 위쪽에서 바닥면이 탑재대에 탑재 지지된 상태로 된다.
이와 같이, 작업자용 이송탑재 개소에 설치된 물품 받이대에 대하여 물품을 탑재 지지해 둠으로써, 상기 물품을 탑재대에 의해 떠올려서 비작업자용 이송탑재 개소까지 반송시킬 수 있다. 또한, 물품 받이대에 물품을 탑재시키지 않고 빈 상태로 해 둠으로써, 탑재대에 탑재 지지된 물품을 비작업자용 이송탑재 개소로부터 작업자용 이송탑재 개소까지 반송시켜 물품 받이대에 대하여 물품을 공급해 두고, 탑재대나 왕복 이동체를 다음 반송 작동에 적절한 위치에 위치시킬 수 있다.
또한, 탑재대에는, 탑재대가 상승 위치에 위치할 때의 탑재대의 하면과 한쌍의 짐받이부의 탑재면과의 사이에 형성되는 간극을 폐색하는 한쌍의 판형체가 형성되어 있으므로, 탑재대가 상승 위치에 위치할 때는, 탑재대의 하면과 짐받이부의 탑재면과의 사이에 형성되는 이동 경로 방향을 따른 간극을 폐색한 상태로 할 수 있다. 그리고, 이들 판형체는 탑재대에 설치되어 있으므로, 탑재대를 상승 위치로부터 하강 위치까지 하강 조작하면, 탑재대의 하면과 짐받이부의 탑재면과의 사이에 형성되는 이동 경로 방향을 따른 간극을 폐색한 상태로 탑재대 및 판형체가 일체적으로 하강한다.
따라서, 물품 받이대에 대하여 물품 탑재대에 탑재 지지되어 있는 물품을 공급하는 경우나, 왕복 이동체를 이동 경로의 작업자용 이송탑재 개소 측의 단부에 미리 이동시켜 둔 상태로 물품 받이대에 물품이 작업자에 의해 이송탑재되는 것을 기다리는 경우와 같이, 왕복 이동체가 작업자용 이송탑재 개소에 위치하고 있는 상태로 탑재대를 하강시킬 때는, 탑재대의 하면이, 물품 받이대의 각 짐받이부의 상면보다 높아져 있는 상태에서 낮아져 있는 상태로 변화하지만, 전술한 바와 같이, 탑재대를 상승 위치로부터 하강 위치까지 하강시키는 동안, 탑재대의 하면과 짐받이부의 탑재면과의 사이에 형성되는 이동 경로 방향을 따른 간극은 폐색된 상태로 유지되어 있으므로, 작업자가 보다 안전하게 된다.
이와 같이, 본 발명의 실시예에서는, 짐받이부를 통하여 물품의 이송탑재를 행하게 할 수 있으므로 사용하기 편리하게 되고, 또한 안정성이 높은 물품 반송 장치를 얻을 수 있게 되었다.
본 발명의 실시예에서는, 상기 작업자용 이송탑재 개소가, 복수의 물품을 수납하는 물품 수납체의 외부에 위치하고, 상기 비작업자용 이송탑재 개소가, 상기 물품 수납체의 내부에 위치하는 것이 바람직하다.
즉, 작업자용 이송탑재 개소가 복수의 물품을 수납하는 물품 수납체의 외부에 위치하고, 비작업자용 이송탑재 개소가 물품 수납체의 내부에 위치하므로, 물품 수납체의 내부와 외부와의 사이에서 물품을 반송할 수 있다. 따라서, 작업자는, 물품 수납체의 외부에 위치하는 작업자용 이송탑재 개소에서 물품을 취급하는 것만으로, 물품 수납체의 내부로의 물품의 반입 및 물품 수납체의 외부로의 물품의 반출을 간단하게 행할 수 있다.
이와 같이, 물품 수납대에 대한 물품의 반입 작업 및 반출 작업을 간소화할 수 있는 물품 반송 장치를 얻을 수 있게 되었다.
본 발명의 실시예에서는, 상기 비탄성 커버부는, 상기 탄성 커버부의 바닥면의 일부와 맞닿는, 위로 향한 면과, 상기 탄성 커버부의 상하로 연장되는 측면의 적어도 일부와 맞닿는 상하면을 가지는 것이 바람직하고, 또한 상기 판형체 각각은, 상기 탑재대가 상기 상승 위치에 위치할 때, 대응하는 짐받이부의 탑재면을 넘어 아래쪽으로 연장되도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.
도 1은 스토커(stocker) 및 컨베이어의 전체를 나타낸 측면도이다.
도 2는 창고 내 이송탑재 장치 및 컨베이어의 전체를 개략적으로 나타낸 평면도이다.
도 3은 컨베이어의 전체 평면도이다.
도 4는 컨베이어를 종단(縱斷)하여 나타낸 정면도이다.
도 5는 컨베이어를 종단하여 일부를 나타낸 측면도이다.
도 6은 컨베이어의 작동을 설명하기 위한 도면이다.
이하, 본 발명의 물품 반송 장치의 실시예에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 물품 반송 장치로서의 컨베이어(1)는, 반도체 기판을 복수개 수납하는 수지제(樹脂製)의 용기(2)(본원의 물품의 일례)를 물품 수납체로 하여, 스토커(3)의 내부와 외부와의 사이에 걸쳐 반입 및 반출하는 것이다. 본 명세서에 있어서, 스토커라는 표현은, 물품을 수납하기 위한 창고 등의 보관 설비를 의미한다.
스토커(3)의 외부에 위치하는 컨베이어(1)의 단부측 개소는, 스토커(3)로부터 반출하는 용기(2)를 스토커(3)의 외측에서 언로드하는(즉, 건네는) 언로드 이송탑재나, 스토커(3)에 반입하는 용기(2)를 스토커(3)의 외측에서 떠올리는(즉, 수취하는) 떠올림 이송탑재가 행해지는 작업자용 이송탑재 개소 P이다. 또한, 스토커(3)의 내부에 위치하는 컨베이어(1)의 단부측 개소는, 스토커(3)로부터 반출하는 용기(2)를 스토커(3) 내에서 떠올리는 떠올림 이송탑재나, 스토커(3)에 반입하는 용기(2)를 스토커(3) 내에서 언로드하는 언로드 이송탑재가 행해지는 비작업자용 이송탑재 개소 Q이다. 그리고, 작업자는 작업자용 이송탑재 개소 P 부근에서 컨베이어(1)의 작업자용 이송탑재 개소 P에 위치하는 용기(2)를 수취한 컨베이어(1)의 작업자용 이송탑재 개소 P에 용기(2)를 공급하는 등의 이송탑재 작업을 서있는 자세에서 행한다.
스토커(3) 및 컨베이어(1)는 공기 정화 수단을 구비한 클린룸 내에 설치되어 있다. 클린룸의 바닥 측에는, 슬래브(slab) 바닥(5)으로부터 위쪽으로 간격을 둔 상태에서 다공형(多孔型)의 그레이팅(grating) 바닥(6)이 설치되고, 클린룸의 천정 측에는 천정으로부터 아래쪽으로 간격을 두고 HEPA 필터 등으로 이루어지는 도시하지 않은 에어 필터가 설치되어 있다. 공기 정화 수단은, 그레이팅 바닥(6)의 하부 측에 형성된 흡기실과, 에어 필터의 위쪽에 형성된 챔버실과, 흡기실 및 챔버실을 연통시키는 순환로를 구비하고, 순환로에는, 통풍 팬 및 프리필터가 구비되어 있다. 그리고, 공기 정화 수단의 통풍 팬을 작동시킴으로써 천정 측으로부터 바닥 측으로 청정 공기의 다운블로우(down blow)가 형성되도록 되어 있다.
스토커(3)의 내부에는, 승강식의 고내(庫內) 이송탑재 장치(4)가 설치되어 있다. 본 명세서에 있어서, 고내는 스토커의 내부를 의미하고, 고외(庫外)는 스토커의 외부를 의미한다. 고내 이송탑재 장치(4)는, 그레이팅 바닥(6)에 세워져 설치된 고내 승강 가이드(7)를 따라 승강 가능한 승강체(8)와, 이 승강체(8)에 선회대(9) 및 링크 기구(10)를 통하여 장착된 고내 이송탑재용 탑재대(11)를 구비하고 있다. 선회대(9)는, 승강체(8)에 지지된 상하 방향 축 주위로 회전 가능하게 구성되어 있다. 링크 기구(10)는, 선회대(9)에 요동 가능하게 일단 부분이 장착된 제1 암과, 이 제1 암의 타단 부분에 요동 가능하게 장착된 제2 암을 가진다. 고내 이송탑재용 탑재대(11)는 제2 암의 타단 부분에 요동 가능하게 장착되어 있다.
승강체(8)는, 밸런스 웨이트(12)의 하단부 및 상단부에 연결되고, 도시하지 않은 상하 풀리에 권취되어 있는 타이밍 벨트에 의해 구성된 승강용 벨트(13)에 의해 그 상부 및 하부가 연결된 상태로, 매달려서 지지되어 있다. 상기 타이밍 벨트 대신, 로프나 와이어 등의 주지의 부재를 이용해도 된다. 그리고, 승강체(8)의 상단부 및 하단부에는, 고내 승강 가이드(7)에 상하 방향을 따라 형성된 평탄한 가이드면에 맞닿는 가로축심 가이드 롤러(14)가 복수개 설치되어 있고, 승강용 벨트(13)를 정역(正逆) 양 방향으로 권취 작동시킴으로써, 승강체(8)는 고내 승강 가이드(7)를 따라 상승 및 하강할 수 있도록 되어 있다. 그리고, 도 2의 부호 "17"은 승강체(8)의 작동용 전력이나 제어선 등의 케이블류를 지지하는 케이블 베이어(cable veyor)(즉, 케이블 가이드)이다.
스토커(3)의 내부에는, 용기(2)를 탑재 지지하는 복수의 수납대(15)가 설치되어 있고, 각각의 수납대(15)의 상부 공간에 용기(2)를 수납하는 수납부(16)가 형성되어 있다. 수납부(16)는, 상하 다단(多段)으로, 또한 평면에서 볼 때 고내 이송탑재 장치(4)를 에워싸도록 방사상으로 배열되어 있다. 그리고, 수납대(15)의 상면에는, 탑재 지지 대상의 용기(2)의 바닥면에 설치된 걸어맞춤용의 홈에 걸어맞추어서 수납대(15)에서의 용기(2)의 탑재 위치를 위치결정하는 위치결정용의 핀(15a)이 돌출되어 있다.
그리고, 승강체(8)의 승강 작동, 선회대(9)의 선회 작동, 및 링크 기구(10)의 굴신(屈伸) 작동을 조합함으로써 고내 이송탑재용 탑재대(11)의 위치를 이동시키고, 또한 평면에서 볼 때 자세를 변경시켜, 수납대(15)에 의해 탑재 지지된 상태로 수납부(16)에 수납되어 있는 용기(2)를 떠올려 컨베이어(1)의 비작업자용 이송탑재 개소 Q에 설치된 고내 컨베이어 탑재대(18)에 탑재 지지시키는 반출용 들어놓기 작업이나, 고내 컨베이어 탑재대(18)에 탑재 지지되어 있는 용기(2)를 떠올려 빈 상태의 수납부(16)에서의 수납대(15)에 탑재 지지시키는 반입용 들어내기 작업을 행할 수 있도록 되어 있다.
컨베이어(1)는, 그레이팅 바닥(6)으로부터 작업자의 허리의 높이에 맞춘 설정 높이만큼 위쪽으로 설치되어 있고, 작업자용 이송탑재 개소 P에서 용기(2)의 들어놓기 작업이나 들어내기 작업을 행하는 작업자의 허리 높이 부근에 위치하는 수평 방향의 반송면을 따라 왕복 이동하는 후술하는 탑재대(20)에서, 반송 대상의 용기(2)가 작업자 이송탑재 개소 P 및 비작업자용 이송탑재 개소 Q 사이에서 탑재 반송되도록 되어 있다. 그리고, 도 4에 나타낸 바와 같이, 작업자용 이송탑재 개소 P나 비작업자용 이송탑재 개소 Q에서, 탑재대(20)를, 그 상면이 반송면에 일치하는 반송용 상승 위치 Up과, 이 반송용 상승 위치 Up보다 아래쪽에 위치하는 이송탑재용 하강 위치 Dw로 승강시킴으로써, 작업자용 이송탑재 개소 P에서 용기(2)를 탑재대(20)와 고내 컨베이어 탑재대(18)와의 사이에서 이송탑재하거나, 비작업자용 이송탑재 개소 Q에서 용기(2)를 탑재대(20)와 물품 받이대 D와의 사이에서 이송탑재할 수 있도록 되어 있다.
컨베이어(1)는 스토커(3)의 벽면에 병설된 한쌍의 출입구(19) 각각에 대응시켜 한쌍 설치되어 있지만, 양자는, 비작업자용 이송탑재 개소 Q에서의 탑재 구조가 상이한 등의 차이는 있지만, 주요 부분은 동일한 구성이므로, 이하, 한쪽 컨베이어(1)에 대해서만 설명한다.
컨베이어(1)는, 도 3∼도 5에 나타낸 바와 같이, 컨베이어(1)의 상면은 대부분이 알루미늄제의 천정판(22)에 의해 덮혀 있고, 천정판(22)의 하부에 형성된 컨베이어 내부 공간에는, 제1 단부와 제2 단부와의 사이에서 연장되는 이동 경로 L을 따라 왕복 이동 가능한 왕복 이동체로서의 자주차(自走車)(23)가 구비되어 있다. 즉, 천정판(22)은, 이동 경로 L의 전체 길이에 걸쳐 이동하는 자주차(23)의 위쪽을 덮고 있으며, 본원의 커버체를 구성하고 있다. 도 4는, 작업자용 이송탑재 개소 P측으로부터 비작업자용 이송탑재 개소 Q측을 바라보는 방향에서의 종단 정면도이다. 도 4의 (a)는 천정판(22)로부터 상부 측으로 승강 가능한 탑재대(20)가 상승 위치 Up에 위치하는 경우를 나타내고, 도 4의 (b)는 탑재대(20)이 하강 위치 Dw에 위치하는 경우를 나타내고 있다.
자주차(23)에는, 탑재대(20)를 승강 조작하는 승강 수단으로서의 승강 모터(25)가 구비되어 있다. 승강 모터(25)는, 모터 샤프트의 회전축심이 세로 방향이 되도록 설치되고, 모터 샤프트와 축심을 일치시켜 일체로 회전 가능하게 연결시킨 볼나사(ball thread) 축을 구비하고 있고, 이 볼나사 축의 선단(先端)으로 치우친 부분에는, 볼을 통하여 나사결합하는 너트 및 이 너트에 고착된 이동 브래킷(25a)을 구비하고 있다.
도 5에 나타낸 바와 같이, 승강 모터(25)의 모터 커버(25b)의 일측면에는 가이드 레일(26) 및 가이드 블록(27)으로 이루어지는 롤링 직동(直動) 안내 베어링(28)이 장착되어 있다. 롤링 직동 안내 베어링(28)은, 그 안내 방향이 이동 브래킷(25a)의 이동 방향과 평행하게 되도록 가이드 레일(26) 및 가이드 블록(27)의 장착 위치가 조정되어 있다. 승강 모터(25)가 구비하는 이동 브래킷(25a)은, 탑재대(20)의 바닥면에서의 중심 개소에 연결되어 있고, 롤링 직동 안내 베어링(28)의 가이드 블록(27)은, 연결 부재(29)를 통하여 탑재대(20)의 바닥면에 연결되어 있다. 이와 같이 구성함으로써, 승강 모터(25)를 회전 구동시켜 이동 브래킷(26)을 모터 샤프트 및 볼나사 축의 회전축심 방향으로 상하로 이동시키면, 탑재대(20)을 승강 조작할 수 있도록 되어 있다.
탑재대(20)는, 이동 브래킷(25a) 및 연결 부재(29)가 접속된 원반형의 기판(20a)과, 이 기판(20a)에 크로스 롤러 베어링(30)을 통하여 상대 회전 가능하게 설치된 탑재대 본체(20b)로 구성되어 있다. 탑재대 본체(20b)의 바닥부에는, 기판(20a)과 중심을 일치시킨 환형(環形) 돌기부(21)가 형성되어 있고, 이 환형 돌기부(21)의 외주면에는 기어 톱니가 형성되어 있다. 자주차(23)의 섀시(chassis)에 구비된 선회용 모터(31)의 모터 샤프트에는 피니언 기어(32)가 스플라인 결합에 의해 승강 가능하면서, 또한 일체로 회전 가능하게 장착되어 있고, 이 피니언 기어(32)와 슈퍼 기어로서의 환형 돌기부(21)의 외주면이 맞물리도록 구성되어 있다. 이와 같이 구성함으로써, 선회용 모터(31)를 정역 회전으로 회전 구동시키면, 탑재대 본체(20b)가 기판(20a)의 중심을 회전축심으로 하여 수평면 내에서 기준 자세와 선회 자세로 회전 조작되도록 되어 있다. 그리고, 탑재대 본체(20b)의 회전 조작은 비작업자용 이송탑재 개소 Q에서 행해진다.
자주차(23)의 섀시의 바닥부에서의 주행 방향에서 전후좌우의 각 개소에는, 컨베이어 내부 공간의 바닥부를 형성하는 주행면 F에 접지하는 4개의 종동(從動) 차륜(33)이 설치되어 있다. 컨베이어 내부 공간의 주행면 F에는 이동 경로 L을 따라 주행 안내 레일(34)이 부설(敷設)되고, 자주차(23)의 섀시의 바닥부에 주행 방향으로 전후로 분산되어 2쌍 설치된 세로축심의 주행 가이드 롤러(35)가, 주행 안내 레일(34)을 좌우로부터 협지하도록 맞닿아 있다(도 4 참조). 컨베이어 내부 공간에는, 작업자용 이송탑재 개소 P측 및 비작업자용 이송탑재 개소 Q측의 벽부에서 주행면 F보다 위쪽이면서 천정판(22)보다 아래쪽에서 양단을 접속한 주행용 기어 부착 벨트(36)가 설치되어 있고, 자주차(23)의 주행용 모터(38)에 의해 회전 구동되는 기어 부착 구동 풀리(37a) 및 가이드 풀리(37b) 및 텐션 풀리(37c)에 의해 이 기어 부착 벨트(36)를 끌어들이는 조작 및 내보내는 조작을 행함으로써, 자주차(23)가, 주행 가이드 롤러(35)에 의해 주행 안내 레일(34)에 안내되면서, 이동 경로 L을 따라 왕복 주행할 수 있도록 되어 있다.
탑재대(20)는, 전술한 바와 같이, 연결부로서의 이동 브래킷(25a) 및 연결 부재(29)에 의해 자주차(23)와 연결되어, 자주차(23)가 이동 경로 L을 따라 왕복 이동함에 따라, 커버체보다 위쪽에서 이동 경로 방향으로 이동할 수 있도록 되어 있고, 탑재대(20)는 본원의 물품 탑재체를 구성하고 있다.
전술한 천정판(22)의 설치 높이는, 자주차(23)와 탑재대(20)와의 사이에 위치하고 있다. 따라서, 자주차(23)에 대하여 탑재대(20)를 승강 가능하게 연결 지지하는 연결체로서의 이동 브래킷(25a) 및 연결 부재(29)는 자주차(23)로부터 위쪽으로 연장되어, 천정판(22)에 이동 경로 L을 따라 형성된 슬릿(24)을 상하 방향으로 관통하고 있다. 또한, 슬릿(24)은, 그 개구 폭이 이동 브래킷(25a) 및 연결 부재(29)에 대한 자주차(23)의 이동 경로 가로 폭 방향의 치수보다 크게 형성되어 있으므로, 자주차(23)가 이동 경로 L을 따라 이동할 때 천정판(22)에 대하여 비접촉 상태가 유지된다. 따라서, 자주차(23)가 주행 이동해도, 이동 브래킷(25a) 및 연결 부재(29)가 천정판(22)에 접촉하지 않기 때문에, 먼지의 발생을 방지할 수 있다.
도 3에 나타낸 바와 같이, 수평으로 연장되는 천정판(22)의 작업자용 이송탑재 개소 P측 부분에서 슬릿(24)의 작업자용 이송탑재 개소 P측의 단부를 형성하는 단부 형성 부분(22E)의 일부는, 탄성 변형 가능하며 유연성이 있는 탄성 커버부(22S)에 의해 구성되어 있다. 탄성 커버부(22S)는, 길이 방향을 따른 직사각형의 노치부가 형성된 평면에서 볼 때 편자(horseshoe)형 또는 장원형(長圓形)의 실리콘 고무 제의 판형 탄성체에 의해 구성되어 있다. 이 판형 탄성체의 길이 방향을 따른 직사각형의 노치부가 슬릿(24)의 작업자용 이송탑재 개소 P측의 단부로 되어 있다. 탄성 커버부(22S)는, 천정판(22)의 작업자용 이송탑재 개소 P측 부분을 평면에서 볼 때 편자형 또는 장원형으로 컷팅하고, 컷팅된 그 주위 둘레부(22g)를 플랜지 가공하여(도 4 참조), 주위 둘레부(22g)를 따른 복수 개소에 있어서, 외주부를 나사로 고정하여 천정판(22)의 탄성 커버부(22S) 이외의 비탄성 커버부(22H)에 장착되어 있다. 본 실시예에서는, 이 노치 부분의 주위의 형상은, 일단 측에 제1 원호형 부분을 가지고, 반대측에 제2 원호형 부분을 가지고, 이들 원호형 부분이 직선형의 부분에 의해 연결되어 있다. 이 플랜지 가공이란, 도 4에 나타낸 바와 같이, 비탄성 커버부(22H)의, 노치의 주위 둘레부(22g)의 부분을 절삭함으로써 일정한 수평 방향의 폭 만큼 비탄성 커버부(22H)의 두께를 얇게 하는 것이다. 이와 같이 주위 둘레부(22g)에 있는 비탄성 커버부(22H)의 부분은, 평면에서 볼 때 탄성 커버부(22S)의 일부와 오버랩하고 있고, 탄성 커버부(22S)의 상기 일부의 바닥면과 맞닿는, 위로 향하는 면과 탄성 커버부(22S)의 상하 방향으로 연장되는 측면과 맞닿는 상하면이 형성되어 있다. 탄성 커버부(22S)로서의 판형 탄성체는, 주위 둘레부(22g)와 평면에서 볼 때 형상이 동일한 형상이며, 또한 장착용 나사 구멍을 상기 복수 개소에 대응하여 구비한 금속제의 가압 프레임(39)을 상면에 부가하는 상태로 접시 나사(40)에 의해 주위 둘레부(22g)에 나사로 고정되어 있다. 나사 고정 개소는, 인접하는 것 사이의 간격이 가능한 한 등간격이 되도록 분산되어 설치되어 있다.
이와 같이, 단부 형성 부분(22E)의 일부가 탄성 커버부(22S)에 의해 구성되며, 이 탄성 커버부(22S)는, 슬릿(24)의 작업자용 이송탑재 개소 P측의 단부로 되는 노치가 형성된 판형 탄성체에 의해 구성되며, 단부 형성 부분(22E)의 탄성 커버부(22S) 이외의 부분이, 탄성 커버부의 주위에 위치하는 비탄성 커버부(22H)에 의해 구성되며, 탄성 커버부(22S)와 비탄성 커버부(22H)가 원호형으로 접속되어 있다.
이로써, 탑재대(20)가 작업자용 이송탑재 개소 P에 위치할 때는, 탑재대(20)의 아래쪽에 탄성 커버부(22S)가 위치하도록 되어 있다. 또한, 탄성 커버부(22S)와 비탄성 커버부(22H)와의 접속 개소 중 적어도 작업자용 이송탑재 개소 P측의 부분에서는, 탄성 커버부(22S)와 비탄성 커버부(22H)가 원호형으로 접속되어 있다.
또한, 도 4에 나타낸 바와 같이, 이동 경로 L의 가로 폭 방향(즉, 이동 경로 L이 연장되는 방향과 직교하는 방향)에서의 탑재대 본체(20b)의 폭은, 용기(2)의 가로 폭 방향의 폭보다 짧게 구성되어 있다. 이와 같이, 탑재대(20)는, 이동 경로 L의 가로 폭 방향의 길이가, 용기(2)의 이동 경로 L의 가로 폭 방향의 길이보다 짧은 판형으로 구성되어 있다.
다음으로, 작업자용 이송탑재 개소 P에 설치된 물품 받이대 D에 대하여 설명한다. 물품 받이대 D는 한쌍의 수평의 짐받이부(41)에 의해 구성되어 있고, 각 짐받이부(41)는, 길이 방향이 이동 경로 L을 따르는 직육면체 형상을 하고 있으므로, 서로 평행한 자세로 천정판(22) 상에 고정되어 있다. 물품 받이대 D의 상면(41s)은, 이송탑재용 하강 위치 Dw에 위치하는 탑재대(20)의 상면보다 높으면서, 또한 반송용 상승 위치 Up에 위치하는 탑재대(20)의 하면보다 낮아져 있다. 각 짐받이부(41)의 내측면(41in) 사이의 간격은, 탑재대(20)이 각 짐받이부(41) 사이를 접촉하지 않고 이동할 수 있도록, 천정판(22) 상을 왕복 이동하는 탑재대(20)의 이동 경로 L의 가로 폭 방향의 길이보다 약간 넓게 되어 있다.
이와 같이, 물품 받이대 D는, 이송탑재용 하강 위치 Dw에 위치하는 탑재대(20)의 상면보다 높으면서, 또한 반송용 상승 위치 Up에 위치하는 탑재대(20)의 하면보다 낮은 높이의 탑재면(41s)이 형성된 한쌍의 짐받이부(41)를, 작업자용 이송탑재 개소 P에 위치하는 탑재대(20)의 이동 경로 가로 폭 방향의 양측에 위치하는 한쌍의 측면의 각각에 바깥쪽으로부터 근접하는 상태로 구비하여 구성되어 있다.
짐받이부(41)의 탑재면(41s)에는, 작업자용 이송탑재 개소 P측 단부의 외측면(41out) 측에 면받이체(42)가 위치 조절 기능을 가지는 면받이체 장착 브래킷(42b)을 통하여 장착되고, 면받이체(42)보다, 비작업자용 이송탑재 개소 Q에 치우친 내측면(41in) 측에는 짐받이부측 위치결정핀(43)이 위치 조절 기능을 가지는 핀 장착 브래킷(43b)을 통하여 장착되어 있다. 도 4에 나타낸 바와 같이, 한쌍의 면받이체(42) 각각은, 위로 갈수록, 가로 폭 방향의 외측으로 연장되는 가이드 경사면을 가진다. 이로써, 물품 받이대 D가 용기(2)를 탑재 지지할 때는, 한쌍의 면받이체(42)가 용기(2)의 바닥면의 둘레부를 지지하고, 한쌍의 짐받이부측 위치결정핀(43)이, 용기(2)의 바닥면의 중심 개소에 방사상으로 형성된 3개의 오목 걸어맞춤용 장공(長孔) 중 양 측부측의 2개에 걸어맞추어짐으로써, 용기(2)가 작업자용 이송탑재 개소 P에서의 이송탑재용 위치로 위치 결정되도록 되어 있다. 도 3에서의 부호"45"는, 작업자용 이송탑재 개소 P에서의 이송탑재용 위치에 존재하고 있는 용기(2)를 검출하는 고외 재하(在荷) 센서이다. 고외 재하 센서(45)는, 위치 조정 기능을 가지는 고외 센서 장착 브래킷(45b)에 의해 검출 광이 위쪽 경사 방향으로 위치 조정된 상태로 장착되어 있다.
도 3에 나타낸 바와 같이, 탑재대(20)의 탑재대 본체(20b)에서의 상면에는, 3개의 탑재대 측 위치결정핀(44)이 돌출되어 있다. 이들 위치결정핀(44)은, 용기(2)의 바닥면에 방사상으로 형성된 3개의 오목 걸어맞춤용 장공의 각각에 걸어맞추어지도록 배치되어 있다. 그리고, 왕복 이동하는 탑재대(20)가 가장 작업자용 이송탑재 개소 P측의 위치[도 3에서 쇄선으로 나타낸 탑재대(20)의 위치]에 위치할 때는, 3개의 위치결정핀(44) 중 탑재대(20)의 왕복 이동 방향의 좌우 양측에 위치하는 측부 핀(44s) 각각과, 전술한 짐받이부측 위치결정핀(43)의 대응하는 것의 배열된 방향이, 평면에서 볼 때, 작업자용 이송탑재 개소 P에서의 이송탑재용 위치에 위치하는 용기(2)의 양 측부측의 대응하는 오목 걸어맞춤용 장공의 길이 방향과 일치하도록 되어 있다.
이로써, 반송용 상승 위치 Up에 위치하는 탑재대(20)에 탑재 지지되어 있는 용기(20)는, 작업자용 이송탑재 개소 P에서 탑재대(20)를 하강 조작함으로써, 양 측부측의 오목 걸어맞춤용 장공에 대하여 바닥면의 중심으로 치우친 내측 개소 및 바닥면 외주에 치우친 바깥쪽 개소에서 측부 핀(44s) 및 짐받이부측 위치결정핀(43)의 양쪽 위치결정핀이 걸어맞춘 상태를 거쳐, 작업자용 이송탑재 개소 P에서의 이송탑재용 위치로 위치결정된 상태로 물품 받이대 D에 탑재 지지되도록 되어 있다. 또한, 반대로, 작업자용 이송탑재 개소 P에서의 이송탑재용 위치에 위치결정된 상태로 물품 받이대 D에 탑재 지지되어 있는 용기(20)는, 이송탑재용 하강 위치 Dw에 위치하는 탑재대(20)를 작업자용 이송탑재 개소 P에서 상승 조작함으로써, 양 측부측의 오목 걸어맞춤용 장공에 대하여 바닥면 중심으로 치우친 내측 개소 및 바닥면 외주에 치우친 바깥쪽 개소에서 측부 핀(44s) 및 짐받이부측 위치결정핀(43)의 양쪽의 위치결정핀이 걸어맞춘 상태를 거쳐, 3개의 탑재대 측 위치결정핀(44)에 의해 위치결정된 상태로 탑재대(20)에 탑재 지지되도록 되어 있다.
그리고, 컨베이어(1)에서의 비작업자용 이송탑재 위치 Q측의 단부에는, 3개의 고내 위치결정핀(46)이, 위치 조정 기능을 가지는 핀 장착 브래킷(46b)에 의해 위치 조정된 상태로 장착되어 있고, 이들 3개의 고내 위치결정핀(46)이 용기(2)의 바닥면에서의 3개의 오목 걸어맞춤용 장공에 각각 별도로 걸어맞추어지므로, 용기(2)가 비작업자용 이송탑재 개소 Q에서의 이송탑재용 위치에 위치 결정되도록 되어 있다. 그리고, 작업자용 이송탑재 개소 P에서의 경우와 마찬가지로, 탑재대(20)로부터 비작업자용 이송탑재 개소 Q에서의 이송탑재용 위치에, 또한, 비작업자용 이송탑재 개소 Q에서의 이송탑재용 위치로부터 탑재대(20)에 용기(20)를 이송탑재할 수 있도록 되어 있다. 그리고, 도 3에서의 부호 "47"은, 비작업자용 이송탑재 개소 Q에서의 이송탑재용 위치에 존재하는 용기(2)를 검출하는 고내 재하 센서이다. 고내 재하 센서(47)는, 검출이 위치 조정 기능을 가지는 반사판 장착 브래킷(47Rb)에 의해 장착된 반사판(47R)에 조사(照射)되도록, 위치 조정 기능을 가지는 고내 센서 장착 브래킷(47b)에 의해 위치 조정된 상태로 장착되어 있다.
탑재대(20)의 이동 경로 L의 가로 폭 방향의 양측에 위치하는 한쌍의 측면(20s)에는, 탑재대(20)가 작업자용 이송탑재 개소 P에서 반송용 상승 위치 Up에 위치할 때의 탑재대(20)의 하면과, 한쌍의 짐받이부(41)의 탑재면(41s)과의 거리 t보다 길게 탑재대(20)의 하면으로부터 하부 측으로 연장되고, 또한 탑재대(20)의 한쌍의 측면(20s)에 대한 이동 경로 L 방향의 길이로 이루어지는 한쌍의 판형체(48)가 장착되어 있다. 판형체(48)는, 탑재대(20)의 두께에 상당하는 중첩 부분의 측면(20s)의 길이 방향을 따른 복수 개소에서 나사로 고정되어 장착되어 있다. 이 판형체(48)를 장착함으로써, 짐받이부(41)와 탑재대(20)와의 사이에 형성되는 간극에 작업자의 손가락이 들어가지 않기 때문에, 탑재대(20)가 도 4의 (a)에 나타내는 반송용 상승 위치 Up으로부터 도 4의 (b)에 나타내는 이송탑재용 하강 위치 Dw까지 하강했을 때, 작업자의 안전성의 향상이 도모된다.
이상과 같이 구성된 컨베이어(1)의 동작에 대하여 도 6에 따라 설명한다. 그리고, 이하의 컨베이어(1)의 동작은, 각종 센서 종류나 인코더 종류의 검출 정보에 기초하여, 제어 장치가 각 액츄에이터를 작동시킴으로써 행해진다. 이 제어 장치는, CPU, 메모리, 센서 종류나 인코더 종류와의 통신을 행하기 위한 통신 유닛 등을 가지고 있고, 본 명세서에서 기재되는 기능을 실행하기 위한 알고리즘이 메모리에 기억되어 있다.
먼저, 용기(2)를 스토커(3)에 반입할 때의 동작을 설명한다. 비작업자용 이송탑재 개소 Q에 용기(2)가 탑재되어 있지 않은 상태로 탑재대(20)를 기준 자세로 하여 반송용 상승 위치 Up에 위치시킨 상태로 자주차(23)를 이동 경로 L의 작업자용 이송탑재 개소 P측의 단부까지 주행시킨다[도 6의 (a) 참조]. 탑재대(20)를 이송탑재용 하강 위치 Dw에 하강시키고[도 6의 (b) 참조], 작업자에 의해 용기(2)가 물품 받이대 D에 세팅될 때까지 대기한다. 자주차(23)가 이동 경로 L의 비작업자용 이송탑재 개소 Q측의 단부에 위치하고 있는 시점에서 용기(2)가 세팅되어 있는 경우에는, 탑재대(20)를 이송탑재용 하강 위치 Dw에 하강시킨 상태로, 자주차(23)를 이동 경로 L의 작업자용 이송탑재 개소 P측의 단부까지 주행시키면 된다. 어떤 경우라도, 이송탑재용 하강 위치 Dw에 하강되어 있는 탑재대(20)의 위쪽으로 용기(2)가 세팅된 상태[도 6의 (c) 참조]로 되면, 탑재대(20)를 반송용 상승 위치 Up까지 상승시켜 용기(20)를 떠올린다(즉, 수취한다). 그리고, 자주차(23)를 이동 경로 L의 비작업자용 이송탑재 개소 Q측의 단부까지 주행시킨 후, 탑재대(20)를 선회 자세로 전환하고 나서, 이송탑재용 하강 위치 Dw까지 하강시키고, 비작업자용 이송탑재 개소 Q에서의 이송탑재용 위치에 용기(2)를 언로드한다(즉 건넨다) 그 후에는, 고내 이송탑재 장치(4)가 작동하여 용기(2)를 빈 상태의 수납부(16)로부터 선택된 목표 수납부에 수납한다.
다음으로, 용기(2)를 스토커(3)로부터 반출할 때의 동작을 설명한다. 고내 이송탑재 장치(4)가 반출 대상의 용기(2)를 수납부(16)로부터 떠올리고, 비작업자용 이송탑재 개소 Q에서의 이송탑재용 위치에 용기(2)를 언로드한다. 이 때, 자주차(23)가 이동 경로 L의 비작업자용 이송탑재 개소 Q측의 단부에 위치하고 있을 때는, 탑재대(23)는 선회 자세로 이송탑재용 하강 위치 Dw에 하강시켜 둔다. 자주차(23)가 이동 경로 L의 비작업자용 이송탑재 개소 Q측의 단부에 위치하고 있지 않으면, 용기(2)가 비작업자용 이송탑재 개소 Q에서의 이송탑재용 위치에 세팅된 후, 자주차(23)를 이동 경로 L의 비작업자용 이송탑재 개소 Q측의 단부까지 주행시키게 되지만, 그런 경우에는, 미리 탑재대(23)는 이송탑재용 하강 위치 Dw에 하강시켜 두고, 비작업자용 이송탑재 개소 Q측의 단부에 정지한 후, 탑재대(23)를 선회 자세로 전환한다. 어떤 경우라도, 비작업자용 이송탑재 개소 Q에서 선회 자세로 이송탑재용 하강 위치 Dw에 하강되어 있는 탑재대(20)의 위쪽으로 용기(2)가 세팅된 상태로 되면, 탑재대(20)를 반송용 상승 위치 Up까지 상승시켜 용기(20)를 떠올린다. 그리고, 탑재대(20)를 기준 자세로 전환한 후, 자주차(23)를 이동 경로 L의 작업자용 이송탑재 개소 P측의 단부까지 주행시킨 후, 이송탑재용 하강 위치 Dw까지 하강시키고, 작업자용 이송탑재 개소 P에서의 이송탑재용 위치에 용기(2)를 언로드한다. 그 후에는, 작업자가 용기(2)를 들어낸다.
이상과 같은 용기(2)의 스토커(3)로 반입하는 반입 작업자나 스토커(3)로부터의 반출 작업 시에는, 작업자가 작업자용 이송탑재 개소 P 부근에서 컨베이어(1)의 천정판(22) 상에 손을 대거나 하는 경우가 있지만, 천정판(22)의 작업자용 이송탑재 개소 P측 부분에서 슬릿(24)의 작업자용 이송탑재 개소 P측의 단부를 형성하는 단부 형성 부분(22E)은, 탄성 변형 가능하며 유연성이 있는 탄성 커버부(22S)로서의 실리콘 고무제의 판형 탄성체에 의해 구성되어 있으므로, 천정판(22)에서의 작업자용 이송탑재 개소 P측 개소에 작업자가 조심하지 않고 손가락을 놓고 있을 경우에 자주차(23)의 주행에 의한 탑재대(20)의 이동이나 탑재대(20)의 승강 작동에 의해 손가락이 가압되더라도, 탄성 커버부(22S)가 탄성 변형되는 것에 의해 손가락이 쉽게 부상당하지 않는다.
[다른 실시예]
이하, 다른 실시예를 기재한다.
(1) 상기 실시예에서는, 탄성 커버부가 판형 탄성체로 구성한 것을 예시했지만, 이것으로 한정되지 않고, 종단면이 관형(管形)인 튜브형 탄성체나 빗살형으로 형성된 탄성체로 구성해도 된다.
(2) 상기 실시예에서는, 탄성 커버부와 비탄성 커버부를 원호형으로 접속한 것을 예시했지만, 이것으로 한정되지 않고, 탄성 커버부와 비탄성 커버부와의 접속 형태는, 예를 들면, コ자형이나 V자형이나 U자형 등의 형태라도 된다.
(3) 상기 실시예에서는, 연결부가 이동 브래킷(25a) 및 연결 부재(29)의 2개의 부재로 구성한 것을 예시했지만, 이것으로 한정되지 않고, 연결부를 3개 이상 또는 단일 부재로 구성해도 된다.
(4) 상기 실시예에서는, 승강 수단으로서 볼 나사축 및 이동 브래킷을 구비한 승강 모터에 의해 구성한 것을 예시했지만, 이것으로 한정되지 않고, 전동 실린더나 랙앤피니언(rack and pinion) 기구를 구비한 전동 모터에 의해 구성하는 등, 승강 수단의 구체 구성은 적절하게 변경 가능하다.
(5) 상기 실시예에서는, 천정판이 알루미늄제의 것을 예시했지만, 천정판으로서는, 예를 들면, 스테인레스 등의 다른 금속이나 플라스틱 등의 경질의 수지로 형성한 것이라도 된다.
(6) 상기 실시예에서는, 왕복 이동체로서 주행용의 구동 수단이 이동체 본체에 설치된 것을 예시했지만, 이것으로 한정되지 않고, 왕복 이동체로서는, 이동체 본체에 주행용의 구동 수단을 구비하지 않고, 고정 측에 주행용의 구동 수단을 구비하고, 이동체 본체에 체인이나 벨트를 접속하여, 이들을 권회(wind around) 구동하거나 풀어내거나 및 권취(wind) 구동시키는 등을 행하여, 왕복 이동체를 주행 작동시키는 것일 수도 있다.
(7) 상기 실시예에서는, 탑재체가 선회 및 승강 가능한 탑재대(20)에 의해 구성된 것을 예시했지만, 탑재대로서는, 선회 작동하지 않는 것이나, 승강 작동하지 않는 것일 수도 있고, 또한, 탑재체는, 탑재대로 구성하지 않고, 프레임 구조를 가지는 프레임체로 구성해도 된다.
(8) 상기 실시예에서는, 절곡 가공되어 있지 않은 판형체(48)를 탑재대(20)의 측면(20s)에 나사로 고정하여 장착한 것을 예시했지만, 이에 대신하여, 판형체(48)를 L자 가공하여 플랜지부를 형성하고, 플랜지부를 탑재대의 바닥면에 용착 또는 나사로 고정하여 장착한 것일 수도 있다.
(9) 상기 실시예에서는, 커버체의 단부 형성 부분이, 탄성 커버부와 비탄성 커버부로 구성된 것을 예시했지만, 커버체의 단부 형성 부분 전체가 탄성 커버부에 의해 구성된 것일 수도 있다.
[산업상 이용 가능성]
발명은, 물품을 보관하는 선반 등에서 이용 가능하다.
P: 작업자용 이송탑재 개소
Q: 비작업자용 이송탑재 개소
L: 이동 경로 D: 물품 받이대
2: 물품 3: 물품 수납체
20: 탑재대(물품 탑재체) 22: 커버체
22E: 단부 형성 부분 22H: 비탄성 커버부
22S: 탄성 커버부(판형 탄성체)
23: 왕복 이동체 24: 슬릿
25: 승강 수단 25a, 29: 연결부
41: 짐받이부 41s: 탑재면
48: 판형체

Claims (6)

  1. 작업자에 의해 물품이 이송탑재되는 작업자용 이송탑재 개소와 비작업자용 이송탑재 개소에 걸쳐 설정되고, 양단(兩端)을 가지는 이동 경로를 따라 왕복 이동하도록 구성된 왕복 이동체;
    슬릿(slit)이 형성되고, 상기 이동 경로의 전체 길이에 걸쳐 이동하는 상기 왕복 이동체의 위쪽을 부분적으로 덮는 커버체; 및
    상기 왕복 이동체로부터 위쪽으로 연장되어 상기 슬릿을 상하 방향으로 관통하는 상태로 설치된 연결부에 의해 상기 왕복 이동체와 연결되어, 상기 왕복 이동체의 상기 이동 경로를 따른 왕복 이동에 따라, 상기 커버체보다 위쪽에서 상기 이동 경로 방향으로 이동하도록 구성된, 물품 탑재용의 물품 탑재체
    가 설치되어 있는 물품 반송 장치로서,
    상기 슬릿은, 상기 왕복 이동체가 상기 이동 경로를 따라 이동할 때 상기 연결부가 상기 커버체에 대하여 비접촉 상태로 유지되도록 형성되고,
    상기 커버체 중의 상기 슬릿의 상기 작업자용 이송탑재 개소 측의 단부(端部)를 형성하는 단부 형성 부분에, 탄성 변형 가능하며 유연성이 있는 탄성 커버부가 포함되어 있는, 물품 반송 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 단부 형성 부분의 일부가 상기 탄성 커버부에 의해 구성되며, 상기 탄성 커버부는, 상기 슬릿의 상기 작업자용 이송탑재 개소 측의 단부로 되는 노치(notch)가 형성된 판형 탄성체에 의해 구성되며,
    상기 단부 형성 부분의 상기 탄성 커버부 이외의 부분은, 상기 탄성 커버부의 주위에 위치하는 비탄성 커버부에 의해 구성되며,
    상기 탄성 커버부와 상기 비탄성 커버부가 원호형으로 접속되어 있는, 물품 반송 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 물품 탑재체는, 상기 왕복 이동체에 구비된 승강 수단에 의해 상승 위치와 하강 위치로 승강하도록 구성되며, 또한 상기 이동 경로의 가로 폭 방향에서의 길이가, 반송 대상 물품의, 상기 이동 경로의 가로 폭 방향에서의 길이보다 짧은 판형의 탑재대에 의해 구성되며,
    상기 반송 대상 물품을 탑재 지지하는 물품 받이대는, 상기 작업자용 이송탑재 개소에 설치되고,
    상기 물품 받이대는,
    상기 하강 위치에 위치하는 상기 탑재대의 상면보다 높으면서, 또한 상기 상승 위치에 위치하는 상기 탑재대의 하면보다 낮은 높이의 탑재면이 형성된 한쌍의 짐받이부를, 상기 작업자용 이송탑재 개소에 위치하는 상기 탑재대의 상기 이동 경로 가로 폭 방향의 양측에 위치하는 한쌍의 측면의 각각에 바깥쪽으로부터 근접하는 상태로 구비하여 구성되며,
    상기 탑재대가 상기 상승 위치에 위치할 때의 상기 탑재대의 하면과 상기 한쌍의 짐받이부의 탑재면과의 사이에 형성되는 간극을 폐색(閉塞)하는 한쌍의 판형체는, 상기 탑재대에 설치되어 있는, 물품 반송 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 작업자용 이송탑재 개소는, 복수의 물품을 수납하는 물품 수납체의 외부에 위치하고, 상기 비작업자용 이송탑재 개소는, 상기 물품 수납체의 내부에 위치하는, 물품 반송 장치.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 비탄성 커버부는, 상기 탄성 커버부의 바닥면의 일부와 맞닿는, 위로 향하는 면과, 상기 탄성 커버부의 상하로 연장되는 측면 중 적어도 일부와 맞닿는 상하면을 가지는, 물품 반송 장치.
  6. 제3항에 있어서,
    각각의 상기 판형체는, 상기 탑재대가 상기 상승 위치에 위치할 때, 대응하는 짐받이부의 탑재면을 넘어 아래쪽으로 연장되도록 구성되어 있는, 물품 반송 장치.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160134507A (ko) * 2015-05-14 2016-11-23 가부시키가이샤 다이후쿠 용기 반송 장치 및 용기 반송 설비

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NO332631B1 (no) * 2011-04-29 2012-11-26 Robotic Drilling Systems As Anordning og fremgangsmate for overforing av objekter til og fra et ubemannet anleggsomrade
DE102014001406A1 (de) * 2014-02-04 2015-08-06 Festo Ag & Co. Kg Transportvorrichtung
JP6747522B2 (ja) * 2017-01-23 2020-08-26 村田機械株式会社 物品中継装置及びストッカ
JP6969512B2 (ja) * 2018-07-05 2021-11-24 株式会社ダイフク 物品搬送装置
DE102020202912A1 (de) * 2020-03-06 2021-09-09 Kardex Produktion Deutschland Gmbh Lagersystem mit zwei schräg zueinander ausgerichteten Übergabepositionen

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0832829B1 (en) 1996-09-23 2002-05-02 Jervis B. Webb International Company Conveyor track seal
JP3832293B2 (ja) * 2001-08-31 2006-10-11 株式会社ダイフク 荷保管設備
JP3832294B2 (ja) 2001-08-31 2006-10-11 株式会社ダイフク 荷保管設備
JP4155781B2 (ja) * 2001-11-26 2008-09-24 日本トムソン株式会社 スライド装置のシール構造
US7083041B1 (en) * 2006-01-18 2006-08-01 Keith Investments, Llc Slat conveyor having conveying slats and lifting slats
JP2008120586A (ja) * 2006-11-15 2008-05-29 Daifuku Co Ltd 物品収納装置
CN201134423Y (zh) * 2007-08-10 2008-10-15 亿尚精密工业股份有限公司 移载容器及应用于移载容器的承托结构

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160134507A (ko) * 2015-05-14 2016-11-23 가부시키가이샤 다이후쿠 용기 반송 장치 및 용기 반송 설비

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