JP6332133B2 - 容器搬送設備 - Google Patents
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Description
本発明は、半導体基板収容用の容器を下方から支持する支持体と、前記支持体を移動させる移動機構と、を備えた容器搬送装置に関する。
かかる容器搬送装置の従来例が、特開２００３−０７２９１７号公報（特許文献１）に記載されている。特許文献１の容器搬送装置は、容器を保管する保管設備に対して容器を入出庫するために用いられており、半導体基板収納用の容器を下方から支持する支持体（昇降体１４２）が備えられている。容器の底面には、３つの被係合部（嵌合部８）が形成されており、支持体には、容器の底面に備えられた被係合部に係合する３つの位置決めピンが備えられている。昇降体は、３つの位置決めピンを容器の３つの被係合部に係合させた状態で容器を下方から支持することで、容器を支持領域に位置決めした状態で支持できるように構成されている。
従来、半導体基板を収容する容器として、ＳＥＭＩ（Semiconductor Equipment and Materials Institute）規格に規定されたＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）が用いられている場合が多い。そして、このような容器に収納される半導体基板（ウェハー）は、直径が３００ｍｍの円板形のものが主流であった。このため、上記従来の容器搬送装置の昇降体には、３００ｍｍの半導体基板用のＦＯＵＰ（以下３００ｍｍＦＯＵＰと称する）に形成されている３つの被係合部に係合する位置に位置決めピンを備えている。
一方、近年、生産性の向上等のために、大型の半導体基板（例えば、直径が４５０ｍｍの円板形の半導体基板）が生産されるようになり、容器搬送装置では、小型の半導体基板を収納する容器である小容器（例えば、上記した３００ｍｍＦＯＵＰ）に加えて、大型の半導体基板を収納する容器である大容器（例えば、ＳＥＭＩ規格に規定された形状の４５０ｍｍの半導体基板用の容器（以下４５０ｍｍＦＯＵＰと称する））を搬送する必要が生じてきた。
一方、近年、生産性の向上等のために、大型の半導体基板（例えば、直径が４５０ｍｍの円板形の半導体基板）が生産されるようになり、容器搬送装置では、小型の半導体基板を収納する容器である小容器（例えば、上記した３００ｍｍＦＯＵＰ）に加えて、大型の半導体基板を収納する容器である大容器（例えば、ＳＥＭＩ規格に規定された形状の４５０ｍｍの半導体基板用の容器（以下４５０ｍｍＦＯＵＰと称する））を搬送する必要が生じてきた。
上記ＳＥＭＩ規格では、上記３００ｍｍＦＯＵＰ及び上記４５０ｍｍＦＯＵＰのいずれについても、底面に３つの溝状の被係合部を備えることが規定されている。説明を加えると、ＦＯＵＰの底面には、３つの溝状の被係合部が備えられており、その３つの被係合部は、長手方向が容器の底面の基準位置を中心とした放射方向に沿う状態で、容器の底面に備えられている。そして、４５０ｍｍＦＯＵＰにおける３つの被係合部（第２被係合部と称する）と基準位置との離間距離はいずれも、３００ｍｍＦＯＵＰにおける３つの被係合部（第１被係合部と称する）と基準位置との離間距離の最大のものより長くなっている。
ところで、１つの容器搬送装置に、３００ｍｍＦＯＵＰ用の支持体と４５０ｍｍＦＯＵＰ用の支持体を各別に設けると、コストの増大を招くため、３００ｍｍＦＯＵＰ用の支持体と４５０ｍｍＦＯＵＰ用の支持体とを共用することが望まれる。
しかしながら、上述のとおり、３００ｍｍＦＯＵＰにおける３つの第１被係合部の位置と、４５０ｍｍＦＯＵＰにおける３つの第２被係合部の位置と、は異なっている。そのため、支持体にて４５０ｍｍＦＯＵＰを支持するときに、４５０ｍｍＦＯＵＰの底面に位置決めピンが干渉するため、支持体にて４５０ｍｍＦＯＵＰを適切に支持することができない。また、４５０ｍｍＦＯＵＰに形成されている３つの被係合部に係合する位置に４５０ｍｍＦＯＵＰ用の位置決めピンを備えると、支持体にて３００ｍｍＦＯＵＰを支持するときに、３００ｍｍＦＯＵＰの底面に４５０ｍｍＦＯＵＰ用の位置決めピンが干渉するため、支持体にて３００ｍｍＦＯＵＰを適切に支持することができない。
このように、小容器と大容器とで底面に形成されている３つの被係合部の位置が異なる場合に、これら小容器と大容器との双方に兼用される１つの支持体にて小容器及び大容器を適切に支持できない。
しかしながら、上述のとおり、３００ｍｍＦＯＵＰにおける３つの第１被係合部の位置と、４５０ｍｍＦＯＵＰにおける３つの第２被係合部の位置と、は異なっている。そのため、支持体にて４５０ｍｍＦＯＵＰを支持するときに、４５０ｍｍＦＯＵＰの底面に位置決めピンが干渉するため、支持体にて４５０ｍｍＦＯＵＰを適切に支持することができない。また、４５０ｍｍＦＯＵＰに形成されている３つの被係合部に係合する位置に４５０ｍｍＦＯＵＰ用の位置決めピンを備えると、支持体にて３００ｍｍＦＯＵＰを支持するときに、３００ｍｍＦＯＵＰの底面に４５０ｍｍＦＯＵＰ用の位置決めピンが干渉するため、支持体にて３００ｍｍＦＯＵＰを適切に支持することができない。
このように、小容器と大容器とで底面に形成されている３つの被係合部の位置が異なる場合に、これら小容器と大容器との双方に兼用される１つの支持体にて小容器及び大容器を適切に支持できない。
そこで、兼用される１つの支持体にて小容器と大容器との双方を適切に支持できる容器搬送装置及び容器搬送設備が求められる。
本発明に係る容器搬送設備の特徴構成は、容器搬送装置と、位置固定状態で備えられて半導体基板収容用の容器を下方から支持する第１載置体と、位置固定状態で備えられて前記容器を下方から支持する第２載置体と、が備えられ、前記容器搬送装置は、前記容器を下方から支持する支持体と、前記支持体を移動させる移動機構と、を備え、
前記容器として、小容器と、上下方向に沿って見る上下方向視での大きさが前記小容器より大きい大容器と、の少なくとも２種類が含まれ、前記小容器は、その底面に３つの溝状の第１被係合部を備え、前記大容器は、その底面に３つの溝状の第２被係合部を備え、３つの前記第１被係合部の夫々は、その長手方向が前記小容器の底面における第１基準位置を中心とした放射方向に沿う状態で、前記小容器の底面に形成され、３つの前記第２被係合部の夫々は、その長手方向が前記大容器の底面における第２基準位置を中心とした放射方向に沿う状態で、前記大容器の底面に形成され、３つの前記第２被係合部の夫々と前記第２基準位置との離間距離はいずれも、３つの前記第１被係合部の夫々と前記第１基準位置との離間距離の最大のものよりも長く、前記支持体は、前記支持体に支持した前記小容器を前記上下方向視で第１支持領域に位置決めする第１位置決め部と、前記支持体に支持した前記大容器を前記上下方向視で第２支持領域に位置決めする第２位置決め部と、を備え、前記第２支持領域は、その一部が前記第１支持領域と重複するように設定され、前記第１位置決め部は、前記小容器を下方から支持する第１支持体と、３つの前記第１被係合部のうちの少なくとも２つに下方から係合する第１係合体と、を備え、前記第２位置決め部は、前記第１係合体の上端より上方に前記大容器の底面が位置する高さで前記大容器を支持する第２支持体と、前記上下方向視で前記第１支持領域の外側に備えられて３つの前記第２被係合部の一つに係合する第２係合体と、前記上下方向視で前記第１支持領域の外側に備えられて、前記第２支持領域に位置する前記大容器に対して上下方向と交差する方向から当接する当接体と、を備え、前記容器搬送装置は、前記支持体を予め設定された１つの移動経路に沿って往復移動させて、前記容器を前記第１載置体から前記第２載置体に搬送する又は前記容器を前記第２載置体から前記第１載置体に搬送するように構成されている点にある。
前記容器として、小容器と、上下方向に沿って見る上下方向視での大きさが前記小容器より大きい大容器と、の少なくとも２種類が含まれ、前記小容器は、その底面に３つの溝状の第１被係合部を備え、前記大容器は、その底面に３つの溝状の第２被係合部を備え、３つの前記第１被係合部の夫々は、その長手方向が前記小容器の底面における第１基準位置を中心とした放射方向に沿う状態で、前記小容器の底面に形成され、３つの前記第２被係合部の夫々は、その長手方向が前記大容器の底面における第２基準位置を中心とした放射方向に沿う状態で、前記大容器の底面に形成され、３つの前記第２被係合部の夫々と前記第２基準位置との離間距離はいずれも、３つの前記第１被係合部の夫々と前記第１基準位置との離間距離の最大のものよりも長く、前記支持体は、前記支持体に支持した前記小容器を前記上下方向視で第１支持領域に位置決めする第１位置決め部と、前記支持体に支持した前記大容器を前記上下方向視で第２支持領域に位置決めする第２位置決め部と、を備え、前記第２支持領域は、その一部が前記第１支持領域と重複するように設定され、前記第１位置決め部は、前記小容器を下方から支持する第１支持体と、３つの前記第１被係合部のうちの少なくとも２つに下方から係合する第１係合体と、を備え、前記第２位置決め部は、前記第１係合体の上端より上方に前記大容器の底面が位置する高さで前記大容器を支持する第２支持体と、前記上下方向視で前記第１支持領域の外側に備えられて３つの前記第２被係合部の一つに係合する第２係合体と、前記上下方向視で前記第１支持領域の外側に備えられて、前記第２支持領域に位置する前記大容器に対して上下方向と交差する方向から当接する当接体と、を備え、前記容器搬送装置は、前記支持体を予め設定された１つの移動経路に沿って往復移動させて、前記容器を前記第１載置体から前記第２載置体に搬送する又は前記容器を前記第２載置体から前記第１載置体に搬送するように構成されている点にある。
この特徴構成によれば、支持体に支持された小容器は、第１位置決め部にて上下方向視で第１支持領域に位置決めされ、支持体に支持された大容器は、第２位置決め部にて上下方向視で第２支持領域に位置決めされる。第２支持領域は、その一部が第１支持領域と重複するように設定されているため、第１支持領域と第２支持領域とを重複しないように水平方向に並べて設定する場合に比べて、支持体の小型化を図ることができる。
支持体に支持された小容器は、第１支持体にて下方から支持されるとともに第１係合体が小容器における３つの第１被係合部のうちの少なくとも２つに係合されているため、支持体にて、小容器を第１支持領域に位置決めした状態で支持することができる。
そして、支持体に支持された大容器は、第２位置決め部における第２支持体にて、第１係合体の上端より上方に大容器の底面が位置する高さで大容器が支持されるため、大容器が第１係合体に干渉することなく、支持体にて、大容器を適切に支持することができる。 また、支持体に支持された大容器は、大容器の３つの第２被係合部のうちの１つに第２係合体が係合し、上下方向と交差する方向から当接体が大容器に当接することで、大容器を第２支持領域に位置決めすることができる。特に、上下方向と交差する方向から当接体が大容器に当接することで、大容器が第２被係合部を中心とした縦軸心周りに回転することを規制できる。
そして、第２係合体は、第１支持領域の外側に備えられているため、支持体にて小容器を支持するときに小容器に第２係合体が干渉することを回避でき、支持体にて小容器を適切に支持できる。
このように、兼用される１つの支持体にて小容器と大容器との双方を適切に支持できる。
また、この構成によれば、容器搬送装置が、載置体（第１載置体又は第２載置体）に容器を降ろし、その載置体に降ろされた容器を外部の搬送装置や作業者が別の箇所に搬送する。そのため、容器搬送装置は、外部の搬送装置や作業者が所定の位置に待機していなくても、容器を降ろして、次の搬送作業に移行することができるため、容器搬送装置と外部の搬送装置や作業者との間で容器を直接授受する場合に比べて、容器を効率よく搬送できる。
そして、第２係合体は、第１支持領域の外側に備えられているため、支持体にて小容器を支持するときに小容器に第２係合体が干渉することを回避でき、支持体にて小容器を適切に支持できる。
このように、兼用される１つの支持体にて小容器と大容器との双方を適切に支持できる。
また、この構成によれば、容器搬送装置が、載置体（第１載置体又は第２載置体）に容器を降ろし、その載置体に降ろされた容器を外部の搬送装置や作業者が別の箇所に搬送する。そのため、容器搬送装置は、外部の搬送装置や作業者が所定の位置に待機していなくても、容器を降ろして、次の搬送作業に移行することができるため、容器搬送装置と外部の搬送装置や作業者との間で容器を直接授受する場合に比べて、容器を効率よく搬送できる。
ここで、前記移動機構は、前記支持体を水平方向に沿う第１移動方向に沿って移動させる第１移動機構と、前記支持体を上下方向に沿う第２移動方向に沿って移動させる第２移動機構と、を備え、前記第１移動機構は、前記支持体を前記第２移動方向に沿って移動させて前記支持体と前記第１載置体との間で前記容器を移載する場合に前記上下方向視で前記支持体が位置する第１位置と、前記支持体を前記第２移動方向に沿って移動させて前記支持体と前記第２載置体との間で前記容器を移載する場合に前記上下方向視で前記支持体が位置する第２位置と、に前記支持体を移動させるように構成され、前記第１移動方向で前記第１載置体に対して前記第２載置体が位置する方向を第１方向とし、前記第１方向とは反対の向きを第２方向として、前記第１支持領域と前記第２支持領域との位置関係は、前記第１支持領域に位置する前記小容器の前記第１基準位置が前記第２支持領域に位置する前記大容器の前記第２基準位置より前記第１方向側に位置するように設定され、前記第１位置として、前記支持体と前記第１載置体との間で前記小容器を移載するときの前記支持体の位置である小容器用位置と、前記支持体と前記第１載置体との間で前記大容器を移載するときの前記支持体の位置である大容器用位置と、が設定され、前記小容器用位置は、前記大容器用位置より前記第２方向側に設定されていると好適である。
この構成によれば、第１支持領域に位置する小容器の第１基準位置が第２支持領域に位置する大容器の第２基準位置より第１方向側に位置するように設定されている。そのため、第１基準位置と第２基準位置とを第１移動方向で同じ位置に位置させた場合に比べて、小容器は第１方向側に寄せた状態で支持される。従って、容器搬送装置が容器を第２載置体に搬送したときに小容器を第１方向側に寄せた状態で移載でき、その第２載置体に支持された小容器を、外部の搬送装置や作業者が第１方向側から降し易くなる。
また、支持体と第１載置体との間で小容器を移載するときの支持体の位置である小容器用位置が、支持体と第１載置体との間で大容器を移載するときの支持体の位置である大容器用位置より、第２方向側に設定されている。このように、小容器用位置を大容器用位置より第２方向側に設定しているため、上述の如く、支持体にて小容器を第１方向側に寄せた状態で支持したにもかかわらず、容器搬送装置が容器を第１載置体に降ろすときに小容器を大容器に比べて第２方向側に寄せた状態で降ろすことができ、その第１載置体に支持された小容器を、外部の搬送装置や作業者が第２方向側から降し易くなる。
また、支持体と第１載置体との間で小容器を移載するときの支持体の位置である小容器用位置が、支持体と第１載置体との間で大容器を移載するときの支持体の位置である大容器用位置より、第２方向側に設定されている。このように、小容器用位置を大容器用位置より第２方向側に設定しているため、上述の如く、支持体にて小容器を第１方向側に寄せた状態で支持したにもかかわらず、容器搬送装置が容器を第１載置体に降ろすときに小容器を大容器に比べて第２方向側に寄せた状態で降ろすことができ、その第１載置体に支持された小容器を、外部の搬送装置や作業者が第２方向側から降し易くなる。
本発明に係る容器搬送設備の特徴構成は、容器搬送装置と、位置固定状態で備えられて前記容器を下方から支持する第１載置体と、位置固定状態で備えられて前記容器を下方から支持する第２載置体と、が備えられ、前記容器搬送装置は、半導体基板収容用の容器を下方から支持する支持体と、前記支持体を移動させる移動機構と、を備え、
前記容器として、小容器と、上下方向に沿って見る上下方向視での大きさが前記小容器より大きい大容器と、の少なくとも２種類が含まれ、前記小容器は、その底面に３つの溝状の第１被係合部を備え、前記大容器は、その底面に３つの溝状の第２被係合部を備え、３つの前記第１被係合部の夫々は、その長手方向が前記小容器の底面における第１基準位置を中心とした放射方向に沿う状態で、前記小容器の底面に形成され、３つの前記第２被係合部の夫々は、その長手方向が前記大容器の底面における第２基準位置を中心とした放射方向に沿う状態で、前記大容器の底面に形成され、３つの前記第２被係合部の夫々と前記第２基準位置との離間距離はいずれも、３つの前記第１被係合部の夫々と前記第１基準位置との離間距離の最大のものよりも長く、前記支持体は、前記支持体に支持した前記小容器を前記上下方向視で第１支持領域に位置決めする第１位置決め部と、前記支持体に支持した前記大容器を前記上下方向視で第２支持領域に位置決めする第２位置決め部と、を備え、前記第２支持領域は、その一部が前記第１支持領域と重複するように設定され、前記第１位置決め部は、前記小容器を下方から支持する第１支持体と、３つの前記第１被係合部のうちの少なくとも２つに下方から係合する第１係合体と、を備え、前記第２位置決め部は、前記第１係合体の上端より上方に前記大容器の底面が位置する高さで前記大容器を支持する第２支持体と、前記上下方向視で前記第１支持領域の外側に備えられて３つの前記第２被係合部の一つに係合する第２係合体と、前記上下方向視で前記第１支持領域の外側に備えられて、前記第２支持領域に位置する前記大容器に対して上下方向と交差する方向から当接する当接体と、を備え、前記容器搬送装置は、前記容器を前記第１載置体から前記第２載置体に搬送する又は前記容器を前記第２載置体から前記第１載置体に搬送するように構成され、前記移動機構は、前記支持体を水平方向に沿う第１移動方向に沿って移動させる第１移動機構と、前記支持体を上下方向に沿う第２移動方向に沿って移動させる第２移動機構と、を備え、前記第１移動機構は、前記支持体を前記第２移動方向に沿って移動させて前記支持体と前記第１載置体との間で前記容器を移載する場合に前記上下方向視で前記支持体が位置する第１位置と、前記支持体を前記第２移動方向に沿って移動させて前記支持体と前記第２載置体との間で前記容器を移載する場合に前記上下方向視で前記支持体が位置する第２位置と、に前記支持体を移動させるように構成され、前記第１移動方向で前記第１載置体に対して前記第２載置体が位置する方向を第１方向とし、前記第１方向とは反対の向きを第２方向として、前記第１支持領域と前記第２支持領域との位置関係は、前記第１支持領域に位置する前記小容器の前記第１基準位置が前記第２支持領域に位置する前記大容器の前記第２基準位置より前記第１方向側に位置するように設定され、前記第１位置として、前記支持体と前記第１載置体との間で前記小容器を移載するときの前記支持体の位置である小容器用位置と、前記支持体と前記第１載置体との間で前記大容器を移載するときの前記支持体の位置である大容器用位置と、が設定され、前記小容器用位置は、前記大容器用位置より前記第２方向側に設定されている点にある。
前記容器として、小容器と、上下方向に沿って見る上下方向視での大きさが前記小容器より大きい大容器と、の少なくとも２種類が含まれ、前記小容器は、その底面に３つの溝状の第１被係合部を備え、前記大容器は、その底面に３つの溝状の第２被係合部を備え、３つの前記第１被係合部の夫々は、その長手方向が前記小容器の底面における第１基準位置を中心とした放射方向に沿う状態で、前記小容器の底面に形成され、３つの前記第２被係合部の夫々は、その長手方向が前記大容器の底面における第２基準位置を中心とした放射方向に沿う状態で、前記大容器の底面に形成され、３つの前記第２被係合部の夫々と前記第２基準位置との離間距離はいずれも、３つの前記第１被係合部の夫々と前記第１基準位置との離間距離の最大のものよりも長く、前記支持体は、前記支持体に支持した前記小容器を前記上下方向視で第１支持領域に位置決めする第１位置決め部と、前記支持体に支持した前記大容器を前記上下方向視で第２支持領域に位置決めする第２位置決め部と、を備え、前記第２支持領域は、その一部が前記第１支持領域と重複するように設定され、前記第１位置決め部は、前記小容器を下方から支持する第１支持体と、３つの前記第１被係合部のうちの少なくとも２つに下方から係合する第１係合体と、を備え、前記第２位置決め部は、前記第１係合体の上端より上方に前記大容器の底面が位置する高さで前記大容器を支持する第２支持体と、前記上下方向視で前記第１支持領域の外側に備えられて３つの前記第２被係合部の一つに係合する第２係合体と、前記上下方向視で前記第１支持領域の外側に備えられて、前記第２支持領域に位置する前記大容器に対して上下方向と交差する方向から当接する当接体と、を備え、前記容器搬送装置は、前記容器を前記第１載置体から前記第２載置体に搬送する又は前記容器を前記第２載置体から前記第１載置体に搬送するように構成され、前記移動機構は、前記支持体を水平方向に沿う第１移動方向に沿って移動させる第１移動機構と、前記支持体を上下方向に沿う第２移動方向に沿って移動させる第２移動機構と、を備え、前記第１移動機構は、前記支持体を前記第２移動方向に沿って移動させて前記支持体と前記第１載置体との間で前記容器を移載する場合に前記上下方向視で前記支持体が位置する第１位置と、前記支持体を前記第２移動方向に沿って移動させて前記支持体と前記第２載置体との間で前記容器を移載する場合に前記上下方向視で前記支持体が位置する第２位置と、に前記支持体を移動させるように構成され、前記第１移動方向で前記第１載置体に対して前記第２載置体が位置する方向を第１方向とし、前記第１方向とは反対の向きを第２方向として、前記第１支持領域と前記第２支持領域との位置関係は、前記第１支持領域に位置する前記小容器の前記第１基準位置が前記第２支持領域に位置する前記大容器の前記第２基準位置より前記第１方向側に位置するように設定され、前記第１位置として、前記支持体と前記第１載置体との間で前記小容器を移載するときの前記支持体の位置である小容器用位置と、前記支持体と前記第１載置体との間で前記大容器を移載するときの前記支持体の位置である大容器用位置と、が設定され、前記小容器用位置は、前記大容器用位置より前記第２方向側に設定されている点にある。
この特徴構成によれば、支持体に支持された小容器は、第１位置決め部にて上下方向視で第１支持領域に位置決めされ、支持体に支持された大容器は、第２位置決め部にて上下方向視で第２支持領域に位置決めされる。第２支持領域は、その一部が第１支持領域と重複するように設定されているため、第１支持領域と第２支持領域とを重複しないように水平方向に並べて設定する場合に比べて、支持体の小型化を図ることができる。
支持体に支持された小容器は、第１支持体にて下方から支持されるとともに第１係合体
が小容器における３つの第１被係合部のうちの少なくとも２つに係合されているため、支
持体にて、小容器を第１支持領域に位置決めした状態で支持することができる。
そして、支持体に支持された大容器は、第２位置決め部における第２支持体にて、第１係合体の上端より上方に大容器の底面が位置する高さで大容器が支持されるため、大容器が第１係合体に干渉することなく、支持体にて、大容器を適切に支持することができる。
また、支持体に支持された大容器は、大容器の３つの第２被係合部のうちの１つに第２係合体が係合し、上下方向と交差する方向から当接体が大容器に当接することで、大容器を第２支持領域に位置決めすることができる。特に、上下方向と交差する方向から当接体が大容器に当接することで、大容器が第２被係合部を中心とした縦軸心周りに回転することを規制できる。
そして、第２係合体は、第１支持領域の外側に備えられているため、支持体にて小容器を支持するときに小容器に第２係合体が干渉することを回避でき、支持体にて小容器を適切に支持できる。
このように、兼用される１つの支持体にて小容器と大容器との双方を適切に支持できる。
また、この構成によれば、容器搬送装置が、載置体（第１載置体又は第２載置体）に容器を降ろし、その載置体に降ろされた容器を外部の搬送装置や作業者が別の箇所に搬送する。そのため、容器搬送装置は、外部の搬送装置や作業者が所定の位置に待機していなくても、容器を降ろして、次の搬送作業に移行することができるため、容器搬送装置と外部の搬送装置や作業者との間で容器を直接授受する場合に比べて、容器を効率よく搬送できる。
また、この構成によれば、第１支持領域に位置する小容器の第１基準位置が第２支持領域に位置する大容器の第２基準位置より第１方向側に位置するように設定されている。そのため、第１基準位置と第２基準位置とを第１移動方向で同じ位置に位置させた場合に比べて、小容器は第１方向側に寄せた状態で支持される。従って、容器搬送装置が容器を第２載置体に搬送したときに小容器を第１方向側に寄せた状態で移載でき、その第２載置体に支持された小容器を、外部の搬送装置や作業者が第１方向側から降し易くなる。
また、支持体と第１載置体との間で小容器を移載するときの支持体の位置である小容器用位置が、支持体と第１載置体との間で大容器を移載するときの支持体の位置である大容器用位置より、第２方向側に設定されている。このように、小容器用位置を大容器用位置より第２方向側に設定しているため、上述の如く、支持体にて小容器を第１方向側に寄せた状態で支持したにもかかわらず、容器搬送装置が容器を第１載置体に降ろすときに小容器を大容器に比べて第２方向側に寄せた状態で降ろすことができ、その第１載置体に支持された小容器を、外部の搬送装置や作業者が第２方向側から降し易くなる。
支持体に支持された小容器は、第１支持体にて下方から支持されるとともに第１係合体
が小容器における３つの第１被係合部のうちの少なくとも２つに係合されているため、支
持体にて、小容器を第１支持領域に位置決めした状態で支持することができる。
そして、支持体に支持された大容器は、第２位置決め部における第２支持体にて、第１係合体の上端より上方に大容器の底面が位置する高さで大容器が支持されるため、大容器が第１係合体に干渉することなく、支持体にて、大容器を適切に支持することができる。
また、支持体に支持された大容器は、大容器の３つの第２被係合部のうちの１つに第２係合体が係合し、上下方向と交差する方向から当接体が大容器に当接することで、大容器を第２支持領域に位置決めすることができる。特に、上下方向と交差する方向から当接体が大容器に当接することで、大容器が第２被係合部を中心とした縦軸心周りに回転することを規制できる。
そして、第２係合体は、第１支持領域の外側に備えられているため、支持体にて小容器を支持するときに小容器に第２係合体が干渉することを回避でき、支持体にて小容器を適切に支持できる。
このように、兼用される１つの支持体にて小容器と大容器との双方を適切に支持できる。
また、この構成によれば、容器搬送装置が、載置体（第１載置体又は第２載置体）に容器を降ろし、その載置体に降ろされた容器を外部の搬送装置や作業者が別の箇所に搬送する。そのため、容器搬送装置は、外部の搬送装置や作業者が所定の位置に待機していなくても、容器を降ろして、次の搬送作業に移行することができるため、容器搬送装置と外部の搬送装置や作業者との間で容器を直接授受する場合に比べて、容器を効率よく搬送できる。
また、この構成によれば、第１支持領域に位置する小容器の第１基準位置が第２支持領域に位置する大容器の第２基準位置より第１方向側に位置するように設定されている。そのため、第１基準位置と第２基準位置とを第１移動方向で同じ位置に位置させた場合に比べて、小容器は第１方向側に寄せた状態で支持される。従って、容器搬送装置が容器を第２載置体に搬送したときに小容器を第１方向側に寄せた状態で移載でき、その第２載置体に支持された小容器を、外部の搬送装置や作業者が第１方向側から降し易くなる。
また、支持体と第１載置体との間で小容器を移載するときの支持体の位置である小容器用位置が、支持体と第１載置体との間で大容器を移載するときの支持体の位置である大容器用位置より、第２方向側に設定されている。このように、小容器用位置を大容器用位置より第２方向側に設定しているため、上述の如く、支持体にて小容器を第１方向側に寄せた状態で支持したにもかかわらず、容器搬送装置が容器を第１載置体に降ろすときに小容器を大容器に比べて第２方向側に寄せた状態で降ろすことができ、その第１載置体に支持された小容器を、外部の搬送装置や作業者が第２方向側から降し易くなる。
また、前記容器には、半導体基板を出し入れするための開口が形成され、前記容器における前記開口が形成されている部分を前記容器の前部とし、前記容器における前部とは反対側を前記容器の後部として、前記容器の前部と後部とが並ぶ方向を前後方向とし、その前後方向に対して前記上下方向視で直交する方向を左右方向として、前記小容器は、３つの前記第１被係合部として、前記第１基準位置より前方に備えられた左右一対の前側第１被係合部と、前記第１基準位置より後方で且つ前記左右方向で中央部に備えられた１つの後側第１被係合部と、を備え、前記大容器は、３つの前記第２被係合部として、前記第２基準位置より前方に備えられた左右一対の前側第２被係合部と、前記第２基準位置より後方で且つ前記左右方向で中央部に備えられた１つの後側第２被係合部と、を備え、
前記第２係合体は、前記支持体が前記大容器を下方から支持する場合に、前記後側第２被係合部に係合し、前記移動機構は、前記支持体を水平方向に沿う第１移動方向に沿って移動させる第１移動機構と、前記支持体を上下方向に沿う第２移動方向に沿って移動させる第２移動機構と、を備え、前記第２載置体は、前記第２載置体に支持した前記小容器を前記上下方向視で第３支持領域に位置決めする第３位置決め部と、前記第２載置体に支持した前記大容器を前記上下方向視で第４支持領域に位置決めする第４位置決め部と、を備え、前記第４支持領域は、その一部が前記第３支持領域と重複するように設定され、前記第３位置決め部は、前記小容器における前記左右方向の両端部を下方から支持する第３支持体と、前記一対の前記前側第１被係合部に下方から係合する一対の第３係合体と、を備え、前記第４位置決め部は、前記大容器における前記左右方向の両端部を支持して前記第３係合体の上端より上方に前記大容器の底面が位置する高さで前記大容器を支持する第４支持体と、前記後側第２被係合部に係合する第４係合体と、前記上下方向視で前記第３支持領域から外れた位置に備えられて前記第４支持領域に位置する前記大容器に対して側方から当接する第２当接体と、を備え、前記第２載置体は、前記第４支持領域に位置する前記大容器の前記第２基準位置に対して、前記上下方向視で前記第１移動方向に対して直交する方向の一方側に偏った位置に前記第４係合体を備えていると好適である。
前記第２係合体は、前記支持体が前記大容器を下方から支持する場合に、前記後側第２被係合部に係合し、前記移動機構は、前記支持体を水平方向に沿う第１移動方向に沿って移動させる第１移動機構と、前記支持体を上下方向に沿う第２移動方向に沿って移動させる第２移動機構と、を備え、前記第２載置体は、前記第２載置体に支持した前記小容器を前記上下方向視で第３支持領域に位置決めする第３位置決め部と、前記第２載置体に支持した前記大容器を前記上下方向視で第４支持領域に位置決めする第４位置決め部と、を備え、前記第４支持領域は、その一部が前記第３支持領域と重複するように設定され、前記第３位置決め部は、前記小容器における前記左右方向の両端部を下方から支持する第３支持体と、前記一対の前記前側第１被係合部に下方から係合する一対の第３係合体と、を備え、前記第４位置決め部は、前記大容器における前記左右方向の両端部を支持して前記第３係合体の上端より上方に前記大容器の底面が位置する高さで前記大容器を支持する第４支持体と、前記後側第２被係合部に係合する第４係合体と、前記上下方向視で前記第３支持領域から外れた位置に備えられて前記第４支持領域に位置する前記大容器に対して側方から当接する第２当接体と、を備え、前記第２載置体は、前記第４支持領域に位置する前記大容器の前記第２基準位置に対して、前記上下方向視で前記第１移動方向に対して直交する方向の一方側に偏った位置に前記第４係合体を備えていると好適である。
この構成によれば、第２載置体に支持された小容器は、第３位置決め部にて上下方向視で第３支持領域に位置決めされ、第２載置体に支持された大容器は、第４位置決め部にて上下方向視で第４支持領域に位置決めされる。第４支持領域は、その一部が第３支持領域と重複するように設定されているため、第３支持領域と第４支持領域とを重複しないように水平方向に並べて設定する場合に比べて、第２載置体の小型化を図ることができる。
第２載置体にて支持された小容器は、第３支持体にて小容器の左右方向の両端部が支持されるとともに、小容器における一対の前側第１被係合部に一対の第３係合体が下方から係合する。そのため、第２載置体にて、小容器を第３支持領域に位置決めした状態で支持することができる。
第２載置体にて支持された大容器は、第４支持体にて大容器の左右方向の両端部が支持されるとともに、大容器における後側第２被係合部に第４係合体が下方から係合する。そのため、第２載置体にて、大容器を第４支持領域に位置決めした状態で支持することができる。
そして、第４位置決め部は、第４支持領域に位置する大容器の第２基準位置に対して、上下方向視で第１移動方向に直交する方向の一方側に偏った位置に第４係合体を備えている。このように、上下方向視で第１移動方向に直交する方向の一方側に偏った位置に第４係合体を備えることで、移動機構等の容器搬送装置の一部を第１移動方向に移動させるための空間を、第４係合体に対して第１移動方向に直交する方向の他方側に確保し易い。
第２載置体にて支持された小容器は、第３支持体にて小容器の左右方向の両端部が支持されるとともに、小容器における一対の前側第１被係合部に一対の第３係合体が下方から係合する。そのため、第２載置体にて、小容器を第３支持領域に位置決めした状態で支持することができる。
第２載置体にて支持された大容器は、第４支持体にて大容器の左右方向の両端部が支持されるとともに、大容器における後側第２被係合部に第４係合体が下方から係合する。そのため、第２載置体にて、大容器を第４支持領域に位置決めした状態で支持することができる。
そして、第４位置決め部は、第４支持領域に位置する大容器の第２基準位置に対して、上下方向視で第１移動方向に直交する方向の一方側に偏った位置に第４係合体を備えている。このように、上下方向視で第１移動方向に直交する方向の一方側に偏った位置に第４係合体を備えることで、移動機構等の容器搬送装置の一部を第１移動方向に移動させるための空間を、第４係合体に対して第１移動方向に直交する方向の他方側に確保し易い。
本発明に係る容器搬送設備の特徴構成は、容器搬送装置と、位置固定状態で備えられて半導体基板収容用の容器を下方から支持する第１載置体と、位置固定状態で備えられて前記容器を下方から支持する第２載置体と、が備えられ、前記容器搬送装置は、前記容器を下方から支持する支持体と、前記支持体を移動させる移動機構と、を備え、
前記容器として、小容器と、上下方向に沿って見る上下方向視での大きさが前記小容器より大きい大容器と、の少なくとも２種類が含まれ、前記小容器は、その底面に３つの溝状の第１被係合部を備え、前記大容器は、その底面に３つの溝状の第２被係合部を備え、３つの前記第１被係合部の夫々は、その長手方向が前記小容器の底面における第１基準位置を中心とした放射方向に沿う状態で、前記小容器の底面に形成され、３つの前記第２被係合部の夫々は、その長手方向が前記大容器の底面における第２基準位置を中心とした放射方向に沿う状態で、前記大容器の底面に形成され、３つの前記第２被係合部の夫々と前記第２基準位置との離間距離はいずれも、３つの前記第１被係合部の夫々と前記第１基準位置との離間距離の最大のものよりも長く、前記支持体は、前記支持体に支持した前記小容器を前記上下方向視で第１支持領域に位置決めする第１位置決め部と、前記支持体に支持した前記大容器を前記上下方向視で第２支持領域に位置決めする第２位置決め部と、を備え、前記第２支持領域は、その一部が前記第１支持領域と重複するように設定され、前記第１位置決め部は、前記小容器を下方から支持する第１支持体と、３つの前記第１被係合部のうちの少なくとも２つに下方から係合する第１係合体と、を備え、前記第２位置決め部は、前記第１係合体の上端より上方に前記大容器の底面が位置する高さで前記大容器を支持する第２支持体と、前記上下方向視で前記第１支持領域の外側に備えられて３つの前記第２被係合部の一つに係合する第２係合体と、前記上下方向視で前記第１支持領域の外側に備えられて、前記第２支持領域に位置する前記大容器に対して上下方向と交差する方向から当接する当接体と、を備え、前記容器搬送装置は、前記容器を前記第１載置体から前記第２載置体に搬送する又は前記容器を前記第２載置体から前記第１載置体に搬送するように構成され、前記容器には、半導体基板を出し入れするための開口が形成され、前記容器における前記開口が形成されている部分を前記容器の前部とし、前記容器における前部とは反対側を前記容器の後部として、前記容器の前部と後部とが並ぶ方向を前後方向とし、その前後方向に対して前記上下方向視で直交する方向を左右方向として、前記小容器は、３つの前記第１被係合部として、前記第１基準位置より前方に備えられた左右一対の前側第１被係合部と、前記第１基準位置より後方で且つ前記左右方向で中央部に備えられた１つの後側第１被係合部と、を備え、前記大容器は、３つの前記第２被係合部として、前記第２基準位置より前方に備えられた左右一対の前側第２被係合部と、前記第２基準位置より後方で且つ前記左右方向で中央部に備えられた１つの後側第２被係合部と、を備え、前記第２係合体は、前記支持体が前記大容器を下方から支持する場合に、前記後側第２被係合部に係合し、前記移動機構は、前記支持体を水平方向に沿う第１移動方向に沿って移動させる第１移動機構と、前記支持体を上下方向に沿う第２移動方向に沿って移動させる第２移動機構と、を備え、前記第２載置体は、前記第２載置体に支持した前記小容器を前記上下方向視で第３支持領域に位置決めする第３位置決め部と、前記第２載置体に支持した前記大容器を前記上下方向視で第４支持領域に位置決めする第４位置決め部と、を備え、前記第４支持領域は、その一部が前記第３支持領域と重複するように設定され、前記第３位置決め部は、前記小容器における前記左右方向の両端部を下方から支持する第３支持体と、前記一対の前記前側第１被係合部に下方から係合する一対の第３係合体と、を備え、前記第４位置決め部は、前記大容器における前記左右方向の両端部を支持して前記第３係合体の上端より上方に前記大容器の底面が位置する高さで前記大容器を支持する第４支持体と、前記後側第２被係合部に係合する第４係合体と、前記上下方向視で前記第３支持領域から外れた位置に備えられて前記第４支持領域に位置する前記大容器に対して側方から当接する第２当接体と、を備え、前記第２載置体は、前記第４支持領域に位置する前記大容器の前記第２基準位置に対して、前記上下方向視で前記第１移動方向に対して直交する方向の一方側に偏った位置に前記第４係合体を備えている点にある。
前記容器として、小容器と、上下方向に沿って見る上下方向視での大きさが前記小容器より大きい大容器と、の少なくとも２種類が含まれ、前記小容器は、その底面に３つの溝状の第１被係合部を備え、前記大容器は、その底面に３つの溝状の第２被係合部を備え、３つの前記第１被係合部の夫々は、その長手方向が前記小容器の底面における第１基準位置を中心とした放射方向に沿う状態で、前記小容器の底面に形成され、３つの前記第２被係合部の夫々は、その長手方向が前記大容器の底面における第２基準位置を中心とした放射方向に沿う状態で、前記大容器の底面に形成され、３つの前記第２被係合部の夫々と前記第２基準位置との離間距離はいずれも、３つの前記第１被係合部の夫々と前記第１基準位置との離間距離の最大のものよりも長く、前記支持体は、前記支持体に支持した前記小容器を前記上下方向視で第１支持領域に位置決めする第１位置決め部と、前記支持体に支持した前記大容器を前記上下方向視で第２支持領域に位置決めする第２位置決め部と、を備え、前記第２支持領域は、その一部が前記第１支持領域と重複するように設定され、前記第１位置決め部は、前記小容器を下方から支持する第１支持体と、３つの前記第１被係合部のうちの少なくとも２つに下方から係合する第１係合体と、を備え、前記第２位置決め部は、前記第１係合体の上端より上方に前記大容器の底面が位置する高さで前記大容器を支持する第２支持体と、前記上下方向視で前記第１支持領域の外側に備えられて３つの前記第２被係合部の一つに係合する第２係合体と、前記上下方向視で前記第１支持領域の外側に備えられて、前記第２支持領域に位置する前記大容器に対して上下方向と交差する方向から当接する当接体と、を備え、前記容器搬送装置は、前記容器を前記第１載置体から前記第２載置体に搬送する又は前記容器を前記第２載置体から前記第１載置体に搬送するように構成され、前記容器には、半導体基板を出し入れするための開口が形成され、前記容器における前記開口が形成されている部分を前記容器の前部とし、前記容器における前部とは反対側を前記容器の後部として、前記容器の前部と後部とが並ぶ方向を前後方向とし、その前後方向に対して前記上下方向視で直交する方向を左右方向として、前記小容器は、３つの前記第１被係合部として、前記第１基準位置より前方に備えられた左右一対の前側第１被係合部と、前記第１基準位置より後方で且つ前記左右方向で中央部に備えられた１つの後側第１被係合部と、を備え、前記大容器は、３つの前記第２被係合部として、前記第２基準位置より前方に備えられた左右一対の前側第２被係合部と、前記第２基準位置より後方で且つ前記左右方向で中央部に備えられた１つの後側第２被係合部と、を備え、前記第２係合体は、前記支持体が前記大容器を下方から支持する場合に、前記後側第２被係合部に係合し、前記移動機構は、前記支持体を水平方向に沿う第１移動方向に沿って移動させる第１移動機構と、前記支持体を上下方向に沿う第２移動方向に沿って移動させる第２移動機構と、を備え、前記第２載置体は、前記第２載置体に支持した前記小容器を前記上下方向視で第３支持領域に位置決めする第３位置決め部と、前記第２載置体に支持した前記大容器を前記上下方向視で第４支持領域に位置決めする第４位置決め部と、を備え、前記第４支持領域は、その一部が前記第３支持領域と重複するように設定され、前記第３位置決め部は、前記小容器における前記左右方向の両端部を下方から支持する第３支持体と、前記一対の前記前側第１被係合部に下方から係合する一対の第３係合体と、を備え、前記第４位置決め部は、前記大容器における前記左右方向の両端部を支持して前記第３係合体の上端より上方に前記大容器の底面が位置する高さで前記大容器を支持する第４支持体と、前記後側第２被係合部に係合する第４係合体と、前記上下方向視で前記第３支持領域から外れた位置に備えられて前記第４支持領域に位置する前記大容器に対して側方から当接する第２当接体と、を備え、前記第２載置体は、前記第４支持領域に位置する前記大容器の前記第２基準位置に対して、前記上下方向視で前記第１移動方向に対して直交する方向の一方側に偏った位置に前記第４係合体を備えている点にある。
この特徴構成によれば、支持体に支持された小容器は、第１位置決め部にて上下方向視で第１支持領域に位置決めされ、支持体に支持された大容器は、第２位置決め部にて上下方向視で第２支持領域に位置決めされる。第２支持領域は、その一部が第１支持領域と重複するように設定されているため、第１支持領域と第２支持領域とを重複しないように水平方向に並べて設定する場合に比べて、支持体の小型化を図ることができる。
支持体に支持された小容器は、第１支持体にて下方から支持されるとともに第１係合体が小容器における３つの第１被係合部のうちの少なくとも２つに係合されているため、支持体にて、小容器を第１支持領域に位置決めした状態で支持することができる。
そして、支持体に支持された大容器は、第２位置決め部における第２支持体にて、第１係合体の上端より上方に大容器の底面が位置する高さで大容器が支持されるため、大容器が第１係合体に干渉することなく、支持体にて、大容器を適切に支持することができる。
また、支持体に支持された大容器は、大容器の３つの第２被係合部のうちの１つに第２係合体が係合し、上下方向と交差する方向から当接体が大容器に当接することで、大容器を第２支持領域に位置決めすることができる。特に、上下方向と交差する方向から当接体が大容器に当接することで、大容器が第２被係合部を中心とした縦軸心周りに回転することを規制できる。
そして、第２係合体は、第１支持領域の外側に備えられているため、支持体にて小容器を支持するときに小容器に第２係合体が干渉することを回避でき、支持体にて小容器を適切に支持できる。
このように、兼用される１つの支持体にて小容器と大容器との双方を適切に支持できる。
また、この構成によれば、容器搬送装置が、載置体（第１載置体又は第２載置体）に容器を降ろし、その載置体に降ろされた容器を外部の搬送装置や作業者が別の箇所に搬送する。そのため、容器搬送装置は、外部の搬送装置や作業者が所定の位置に待機していなくても、容器を降ろして、次の搬送作業に移行することができるため、容器搬送装置と外部の搬送装置や作業者との間で容器を直接授受する場合に比べて、容器を効率よく搬送できる。
また、この構成によれば、第２載置体に支持された小容器は、第３位置決め部にて上下方向視で第３支持領域に位置決めされ、第２載置体に支持された大容器は、第４位置決め部にて上下方向視で第４支持領域に位置決めされる。第４支持領域は、その一部が第３支持領域と重複するように設定されているため、第３支持領域と第４支持領域とを重複しないように水平方向に並べて設定する場合に比べて、第２載置体の小型化を図ることができる。
第２載置体にて支持された小容器は、第３支持体にて小容器の左右方向の両端部が支持されるとともに、小容器における一対の前側第１被係合部に一対の第３係合体が下方から係合する。そのため、第２載置体にて、小容器を第３支持領域に位置決めした状態で支持することができる。
第２載置体にて支持された大容器は、第４支持体にて大容器の左右方向の両端部が支持されるとともに、大容器における後側第２被係合部に第４係合体が下方から係合する。そのため、第２載置体にて、大容器を第４支持領域に位置決めした状態で支持することができる。
そして、第４位置決め部は、第４支持領域に位置する大容器の第２基準位置に対して、上下方向視で第１移動方向に直交する方向の一方側に偏った位置に第４係合体を備えている。このように、上下方向視で第１移動方向に直交する方向の一方側に偏った位置に第４係合体を備えることで、移動機構等の容器搬送装置の一部を第１移動方向に移動させるための空間を、第４係合体に対して第１移動方向に直交する方向の他方側に確保し易い。
支持体に支持された小容器は、第１支持体にて下方から支持されるとともに第１係合体が小容器における３つの第１被係合部のうちの少なくとも２つに係合されているため、支持体にて、小容器を第１支持領域に位置決めした状態で支持することができる。
そして、支持体に支持された大容器は、第２位置決め部における第２支持体にて、第１係合体の上端より上方に大容器の底面が位置する高さで大容器が支持されるため、大容器が第１係合体に干渉することなく、支持体にて、大容器を適切に支持することができる。
また、支持体に支持された大容器は、大容器の３つの第２被係合部のうちの１つに第２係合体が係合し、上下方向と交差する方向から当接体が大容器に当接することで、大容器を第２支持領域に位置決めすることができる。特に、上下方向と交差する方向から当接体が大容器に当接することで、大容器が第２被係合部を中心とした縦軸心周りに回転することを規制できる。
そして、第２係合体は、第１支持領域の外側に備えられているため、支持体にて小容器を支持するときに小容器に第２係合体が干渉することを回避でき、支持体にて小容器を適切に支持できる。
このように、兼用される１つの支持体にて小容器と大容器との双方を適切に支持できる。
また、この構成によれば、容器搬送装置が、載置体（第１載置体又は第２載置体）に容器を降ろし、その載置体に降ろされた容器を外部の搬送装置や作業者が別の箇所に搬送する。そのため、容器搬送装置は、外部の搬送装置や作業者が所定の位置に待機していなくても、容器を降ろして、次の搬送作業に移行することができるため、容器搬送装置と外部の搬送装置や作業者との間で容器を直接授受する場合に比べて、容器を効率よく搬送できる。
また、この構成によれば、第２載置体に支持された小容器は、第３位置決め部にて上下方向視で第３支持領域に位置決めされ、第２載置体に支持された大容器は、第４位置決め部にて上下方向視で第４支持領域に位置決めされる。第４支持領域は、その一部が第３支持領域と重複するように設定されているため、第３支持領域と第４支持領域とを重複しないように水平方向に並べて設定する場合に比べて、第２載置体の小型化を図ることができる。
第２載置体にて支持された小容器は、第３支持体にて小容器の左右方向の両端部が支持されるとともに、小容器における一対の前側第１被係合部に一対の第３係合体が下方から係合する。そのため、第２載置体にて、小容器を第３支持領域に位置決めした状態で支持することができる。
第２載置体にて支持された大容器は、第４支持体にて大容器の左右方向の両端部が支持されるとともに、大容器における後側第２被係合部に第４係合体が下方から係合する。そのため、第２載置体にて、大容器を第４支持領域に位置決めした状態で支持することができる。
そして、第４位置決め部は、第４支持領域に位置する大容器の第２基準位置に対して、上下方向視で第１移動方向に直交する方向の一方側に偏った位置に第４係合体を備えている。このように、上下方向視で第１移動方向に直交する方向の一方側に偏った位置に第４係合体を備えることで、移動機構等の容器搬送装置の一部を第１移動方向に移動させるための空間を、第４係合体に対して第１移動方向に直交する方向の他方側に確保し易い。
以下、本発明にかかる容器搬送装置を備えた容器搬送設備の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１に示すように、容器搬送設備には、複数階の間で容器１を搬送する昇降式搬送装置２と、天井近くを走行して容器１を搬送する天井搬送車３と、容器１を下方から支持した状態で容器１を搬送する容器搬送装置４と、が備えられている。
尚、容器１は、半導体基板を収容する容器であり、ＳＥＭＩ規格で規定されているＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）である。
図１に示すように、容器搬送設備には、複数階の間で容器１を搬送する昇降式搬送装置２と、天井近くを走行して容器１を搬送する天井搬送車３と、容器１を下方から支持した状態で容器１を搬送する容器搬送装置４と、が備えられている。
尚、容器１は、半導体基板を収容する容器であり、ＳＥＭＩ規格で規定されているＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）である。
昇降式搬送装置２は、筒体５の内側に配設されている。天井搬送車３は、筒体５の外側に配設されている。容器搬送装置４は、筒体５の内側から外側に亘って配設されている。図２及び図３に示すように、筒体５の内部には、容器１を収納する収納部６が備えられている。
容器搬送設備では、天井搬送車３や作業者にて容器搬送装置４の外部側箇所８に容器１が載せられると、当該容器１は、容器搬送装置４にて外部側箇所８から内部側箇所９に搬送された後、昇降式搬送装置２にて内部側箇所９から収納部６に搬送されて、容器１が収納部６に収納される。
また、収納部６に収納されている容器１は、昇降式搬送装置２にて収納部６から容器搬送装置４の内部側箇所９に搬送された後、容器搬送装置４にて内部側箇所９から外部側箇所８に載置搬送される。外部側箇所８の容器１は、天井搬送車３又は作業者にて外部側箇所８から降ろされる。
尚、昇降式搬送装置２にて容器１を内部側箇所９から別の内部側箇所９に搬送する場合もある。
容器搬送設備では、天井搬送車３や作業者にて容器搬送装置４の外部側箇所８に容器１が載せられると、当該容器１は、容器搬送装置４にて外部側箇所８から内部側箇所９に搬送された後、昇降式搬送装置２にて内部側箇所９から収納部６に搬送されて、容器１が収納部６に収納される。
また、収納部６に収納されている容器１は、昇降式搬送装置２にて収納部６から容器搬送装置４の内部側箇所９に搬送された後、容器搬送装置４にて内部側箇所９から外部側箇所８に載置搬送される。外部側箇所８の容器１は、天井搬送車３又は作業者にて外部側箇所８から降ろされる。
尚、昇降式搬送装置２にて容器１を内部側箇所９から別の内部側箇所９に搬送する場合もある。
〔容器〕
次に、容器１について説明する。
容器１には、半導体基板を出し入れするための開口が形成されている。尚、容器１における開口が形成されている部分を容器１の前部とし、容器１における前部とは反対側を容器１の後部として、容器１の前部と後部とが並ぶ方向を容器１の前後方向としている。また、容器１の前後方向に対して上下方向視で直交する方向を容器１の左右方向としている。
次に、容器１について説明する。
容器１には、半導体基板を出し入れするための開口が形成されている。尚、容器１における開口が形成されている部分を容器１の前部とし、容器１における前部とは反対側を容器１の後部として、容器１の前部と後部とが並ぶ方向を容器１の前後方向としている。また、容器１の前後方向に対して上下方向視で直交する方向を容器１の左右方向としている。
図２及び図３に示すように、容器１には、小容器１ａと、上下方向に沿って見る上下方向視（平面視）での大きさが小容器１ａより大きい大容器１ｂと、がある。
小容器１ａは、ＳＥＭＩ規格（Ｅ４７．１）で規定されたＦＯＵＰであり、直径が３００ｍｍの半導体基板を収納するためのＦＯＵＰである。大容器１ｂは、ＳＥＭＩ規格（Ｅ１５８）で規定されたＦＯＵＰであり、直径が４５０ｍｍの半導体基板を収納するためのＦＯＵＰである。
容器１は、半導体基板を出し入れするための開口が形成されている。容器１における開口が形成されている部分を容器１の前部とし、容器１における前部とは反対側を容器１の後部として、容器１の前部と後部とが並ぶ方向を容器１の前後方向としている。また、容器１の前後方向に対して上下方向視で直交する方向を容器１の左右方向としている。
小容器１ａは、ＳＥＭＩ規格（Ｅ４７．１）で規定されたＦＯＵＰであり、直径が３００ｍｍの半導体基板を収納するためのＦＯＵＰである。大容器１ｂは、ＳＥＭＩ規格（Ｅ１５８）で規定されたＦＯＵＰであり、直径が４５０ｍｍの半導体基板を収納するためのＦＯＵＰである。
容器１は、半導体基板を出し入れするための開口が形成されている。容器１における開口が形成されている部分を容器１の前部とし、容器１における前部とは反対側を容器１の後部として、容器１の前部と後部とが並ぶ方向を容器１の前後方向としている。また、容器１の前後方向に対して上下方向視で直交する方向を容器１の左右方向としている。
図５〜図１５に仮想線で示すように、小容器１ａには、その底面に３つの溝状の第１被係合部１１が備えられている。３つの第１被係合部１１の夫々は、その長手方向が小容器１ａの底面における第１基準位置Ｓ１を中心とした放射方向に沿う状態で、小容器１ａの底面に形成されている。
小容器１ａは、３つの第１被係合部１１として、第１基準位置Ｓ１より前方に備えられた左右一対の前側第１被係合部１１ｆと、第１基準位置Ｓ１より後方で且つ小容器１ａの左右方向で中央部に備えられた１つの後側第１被係合部１１ｒと、を備えている。
小容器１ａは、３つの第１被係合部１１として、第１基準位置Ｓ１より前方に備えられた左右一対の前側第１被係合部１１ｆと、第１基準位置Ｓ１より後方で且つ小容器１ａの左右方向で中央部に備えられた１つの後側第１被係合部１１ｒと、を備えている。
大容器１ｂには、その底面に３つの溝状の第２被係合部１２が備えられている。３つの第２被係合部１２の夫々は、その長手方向が大容器１ｂの底面における第２基準位置Ｓ２を中心とした放射方向に沿う状態で、大容器１ｂの底面に形成されている。
大容器１ｂは、３つの第２被係合部１２として、第２基準位置Ｓ２より前方に備えられた左右一対の前側第２被係合部１２ｆと、第２基準位置Ｓ２より後方で且つ大容器１ｂの左右方向で中央部に備えられた１つの後側第２被係合部１２ｒと、を備えている。
３つの第２被係合部１２の夫々と第２基準位置Ｓ２との離間距離はいずれも、３つの第１被係合部１１の夫々と第１基準位置Ｓ１との離間距離の最大のものよりも長くなっている。
大容器１ｂは、３つの第２被係合部１２として、第２基準位置Ｓ２より前方に備えられた左右一対の前側第２被係合部１２ｆと、第２基準位置Ｓ２より後方で且つ大容器１ｂの左右方向で中央部に備えられた１つの後側第２被係合部１２ｒと、を備えている。
３つの第２被係合部１２の夫々と第２基準位置Ｓ２との離間距離はいずれも、３つの第１被係合部１１の夫々と第１基準位置Ｓ１との離間距離の最大のものよりも長くなっている。
〔昇降式搬送装置〕
図２及び図３に示すように、昇降式搬送装置２は、昇降用モータ１４の駆動により案内レール１５に沿って昇降する昇降台１６を備えている。昇降台１６は、昇降本体１７と、リンク機構１８と、昇降支持体１９と、を備えている。
リンク機構１８の基部は、昇降本体１７に上下方向に沿う回転軸心周りに回転自在に連結されており、リンク機構１８の先端部は、昇降支持体１９に連結されている。そして、昇降台１６は、リンク機構１８の伸縮により、昇降支持体１９を昇降本体１７上に引退させた状態や昇降支持体１９を収納部６側や内部側箇所９側に突出させた状態に切り換え可能に構成されている。また、昇降台１６は、リンク機構１８を回転軸心周りに回転させることにより、リンク機構１８を伸縮させたときの昇降支持体１９の出退方向を変更可能に構成されている。
図２及び図３に示すように、昇降式搬送装置２は、昇降用モータ１４の駆動により案内レール１５に沿って昇降する昇降台１６を備えている。昇降台１６は、昇降本体１７と、リンク機構１８と、昇降支持体１９と、を備えている。
リンク機構１８の基部は、昇降本体１７に上下方向に沿う回転軸心周りに回転自在に連結されており、リンク機構１８の先端部は、昇降支持体１９に連結されている。そして、昇降台１６は、リンク機構１８の伸縮により、昇降支持体１９を昇降本体１７上に引退させた状態や昇降支持体１９を収納部６側や内部側箇所９側に突出させた状態に切り換え可能に構成されている。また、昇降台１６は、リンク機構１８を回転軸心周りに回転させることにより、リンク機構１８を伸縮させたときの昇降支持体１９の出退方向を変更可能に構成されている。
昇降支持体１９には、板状の第１支持部２０と、この第１支持部２０から上方に突出する３つの第１係合部２１と、が備えられている。昇降支持体１９は、小容器１ａの３つの第１被係合部１１に３つの第１係合部２１を下方から係合させて小容器１ａの水平方向での位置を位置決めさせた状態で、小容器１ａを第１支持部２０にて下方から支持する。
また、昇降支持体１９には、第１支持部２０から上方に突出する１つの第２係合部２２と、大容器１ｂを下方から支持し且つ大容器１ｂに対して前方向及び左右方向から当接する一対の第２支持部２３と、が備えられている。昇降支持体１９は、大容器１ｂの後側第 ２被係合部１２ｒに第２係合部２２を下方から係合させ且つ大容器１ｂの側面に第２支持部２３を当接させて大容器１ｂの水平方向での位置を位置決めさせた状態で、大容器１ｂを第２係合部２２と一対の第２支持部２３とで下方から支持する。
また、昇降支持体１９には、第１支持部２０から上方に突出する１つの第２係合部２２と、大容器１ｂを下方から支持し且つ大容器１ｂに対して前方向及び左右方向から当接する一対の第２支持部２３と、が備えられている。昇降支持体１９は、大容器１ｂの後側第 ２被係合部１２ｒに第２係合部２２を下方から係合させ且つ大容器１ｂの側面に第２支持部２３を当接させて大容器１ｂの水平方向での位置を位置決めさせた状態で、大容器１ｂを第２係合部２２と一対の第２支持部２３とで下方から支持する。
〔収納部〕
収納部６には、容器１を下方から支持する収納支持体２６が備えられている。
収納支持体２６には、板状の第３支持部２７と、この第３支持部２７から上方に突出する２つの第３係合部２８と、が備えられている。収納支持体２６は、小容器１ａの２つの前側第１被係合部１１ｆに２つの第３係合部２８を下方から係合させて小容器１ａの水平方向での位置を位置決めさせた状態で、小容器１ａを第３支持部２７にて下方から支持する。
また、収納支持体２６には、第３支持部２７から上方に突出する１つの第４係合部３０と、大容器１ｂを下方から支持する一対の第４支持部３１と、大容器１ｂに対して左右方向から当接する２つの当接部３２と、が備えられている。収納支持体２６は、大容器１ｂの後側第２被係合部１２ｒに第４係合部３０を下方から係合させ且つ大容器１ｂの左右の側面に当接部３２を当接させて大容器１ｂの水平方向での位置を位置決めさせた状態で、大容器１ｂを第４係合部３０と一対の第４支持部３１とで下方から支持する。
収納部６には、容器１を下方から支持する収納支持体２６が備えられている。
収納支持体２６には、板状の第３支持部２７と、この第３支持部２７から上方に突出する２つの第３係合部２８と、が備えられている。収納支持体２６は、小容器１ａの２つの前側第１被係合部１１ｆに２つの第３係合部２８を下方から係合させて小容器１ａの水平方向での位置を位置決めさせた状態で、小容器１ａを第３支持部２７にて下方から支持する。
また、収納支持体２６には、第３支持部２７から上方に突出する１つの第４係合部３０と、大容器１ｂを下方から支持する一対の第４支持部３１と、大容器１ｂに対して左右方向から当接する２つの当接部３２と、が備えられている。収納支持体２６は、大容器１ｂの後側第２被係合部１２ｒに第４係合部３０を下方から係合させ且つ大容器１ｂの左右の側面に当接部３２を当接させて大容器１ｂの水平方向での位置を位置決めさせた状態で、大容器１ｂを第４係合部３０と一対の第４支持部３１とで下方から支持する。
〔容器搬送装置〕
次に、容器搬送装置４について説明する。
図１及び図２に示すように、容器搬送装置４として、第１容器搬送装置４ａ、第２容器搬送装置４ｂ、第３容器搬送装置４ｃ及び第４容器搬送装置４ｄの４種の容器搬送装置４が備えられている。
第１容器搬送装置４ａは、第１載置体４３（外部側箇所８）から第２載置体４４（内部側箇所９）に容器１を搬送する入庫用の容器搬送装置４として用いられている。第２容器搬送装置４ｂは、第２載置体４４（内部側箇所９）から第１載置体４３（外部側箇所８）に容器１を搬送する出庫用の容器搬送装置４として用いられている。
第３容器搬送装置４ｃは、第１容器搬送装置４ａと同様に入庫用の容器搬送装置４として用いられているとともに、容器１を一時的に保管するバッファ部４９を備えている。第４容器搬送装置４ｄは、第２容器搬送装置４ｂと同様に出庫用の容器搬送装置４として用いられているとともに、容器１を一時的に保管するバッファ部４９を備えている。
このように、容器搬送装置４は、容器１を第１載置体４３から第２載置体４４に搬送する又は容器１を第２載置体４４から第１載置体４３に搬送するように構成されている。
次に、容器搬送装置４について説明する。
図１及び図２に示すように、容器搬送装置４として、第１容器搬送装置４ａ、第２容器搬送装置４ｂ、第３容器搬送装置４ｃ及び第４容器搬送装置４ｄの４種の容器搬送装置４が備えられている。
第１容器搬送装置４ａは、第１載置体４３（外部側箇所８）から第２載置体４４（内部側箇所９）に容器１を搬送する入庫用の容器搬送装置４として用いられている。第２容器搬送装置４ｂは、第２載置体４４（内部側箇所９）から第１載置体４３（外部側箇所８）に容器１を搬送する出庫用の容器搬送装置４として用いられている。
第３容器搬送装置４ｃは、第１容器搬送装置４ａと同様に入庫用の容器搬送装置４として用いられているとともに、容器１を一時的に保管するバッファ部４９を備えている。第４容器搬送装置４ｄは、第２容器搬送装置４ｂと同様に出庫用の容器搬送装置４として用いられているとともに、容器１を一時的に保管するバッファ部４９を備えている。
このように、容器搬送装置４は、容器１を第１載置体４３から第２載置体４４に搬送する又は容器１を第２載置体４４から第１載置体４３に搬送するように構成されている。
そして、図１に示すように、第１容器搬送装置４ａと第２容器搬送装置４ｂとは同じ高さに備えられている。第３容器搬送装置４ｃ及び第４容器搬送装置４ｄは、第１容器搬送装置４ａ等より低い高さに備えられており、第３容器搬送装置４ｃと第４容器搬送装置４ｄとは同じ高さに備えられている。
そして、第１容器搬送装置４ａや第２容器搬送装置４ｂに対して備えられている第１載置体４３には、天井搬送車３が容器１の載せ降しを行い、第３容器搬送装置４ｃや第４容器搬送装置４ｄに対して備えられている第１載置体４３には、作業者又は床面上を走行する床面搬送車が容器１の載せ降しを行うようになっている。
そして、第１容器搬送装置４ａや第２容器搬送装置４ｂに対して備えられている第１載置体４３には、天井搬送車３が容器１の載せ降しを行い、第３容器搬送装置４ｃや第４容器搬送装置４ｄに対して備えられている第１載置体４３には、作業者又は床面上を走行する床面搬送車が容器１の載せ降しを行うようになっている。
まず、４種の容器搬送装置４について、主に共通する構成について説明し、異なる構成についてはその都度説明を加える。尚、図４には、第１容器搬送装置４ａを例示している。
容器搬送装置４は、容器１を下方から支持する支持体４１と、支持体４１を第１移動方向Ｘ及び第２移動方向Ｚに沿って移動させる移動機構４２と、支持体４１を上下方向に沿う縦軸心周りに回転させる回転機構（図示せず）と、を備えている。外部側箇所８には、位置固定状態に設けられて容器１を下方から支持する第１載置体４３を備え、内部側箇所９には、位置固定状態で設けられて容器１を下方から支持する第２載置体４４を備えている。
容器搬送装置４は、容器１を下方から支持する支持体４１と、支持体４１を第１移動方向Ｘ及び第２移動方向Ｚに沿って移動させる移動機構４２と、支持体４１を上下方向に沿う縦軸心周りに回転させる回転機構（図示せず）と、を備えている。外部側箇所８には、位置固定状態に設けられて容器１を下方から支持する第１載置体４３を備え、内部側箇所９には、位置固定状態で設けられて容器１を下方から支持する第２載置体４４を備えている。
移動機構４２は、支持体４１を水平方向に沿う第１移動方向Ｘに沿って移動させる第１移動機構４５と、支持体４１を上下方向に沿う第２移動方向Ｚに沿って移動させる第２移動機構４６と、を備えている。
第１移動機構４５は、第１移動方向Ｘに沿って設定された直線状の走行経路に沿って往復走行する移動台車にて構成されており、第１移動方向Ｘに沿って走行することで支持体４１を第１移動方向Ｘに沿って移動させるように構成されている。
第２移動機構４６は、第１移動機構４５に支持されたシリンダ装置にて構成されており、第２移動機構４６の上端部に支持体４１が固定されている。そして、第２移動機構４６は、上下方向に伸縮することで支持体４１を第２移動方向Ｚに沿って移動させるように構成されている。
第１移動機構４５は、第１移動方向Ｘに沿って設定された直線状の走行経路に沿って往復走行する移動台車にて構成されており、第１移動方向Ｘに沿って走行することで支持体４１を第１移動方向Ｘに沿って移動させるように構成されている。
第２移動機構４６は、第１移動機構４５に支持されたシリンダ装置にて構成されており、第２移動機構４６の上端部に支持体４１が固定されている。そして、第２移動機構４６は、上下方向に伸縮することで支持体４１を第２移動方向Ｚに沿って移動させるように構成されている。
第２移動機構４６は、支持体４１を第２移動方向Ｚに沿って移動させることで、支持体４１を実移動高さと空移動高さとに昇降するように構成されている。
空移動高さは、支持体４１が第１載置体４３や第２載置体４４より下方に位置する高さに設定されており、支持体４１が空移動高さで第１移動方向Ｘに移動したときに支持体４１が第１載置体４３や第２載置体４４に干渉しない高さとなっている。この空移動高さは、支持体４１が容器１を支持しない状態で第１移動方向Ｘに沿って移動するときの支持体４１の高さである。
実移動高さは、支持体４１が第１載置体４３や第２載置体４４より上方に位置する高さに設定されており、支持体４１が実移動高さで第１移動方向Ｘに移動したときに支持体４１が第１載置体４３や第２載置体４４に干渉しない高さとなっている。この実移動高さは、支持体４１が容器１を支持した状態で第１移動方向Ｘに沿って移動するときの支持体４１の高さである。
なお、図４の上側に図示した容器搬送装置４や下側に図示した容器搬送装置４では、支持体４１が実移動高さと空移動高さとの間に位置する状態を図示しており、支持体４１が第１載置体４３や第２載置体４４と同じ高さに位置している。また、図４の中間に図示した容器搬送装置４では、支持体４１が空移動高さに位置する状態を図示している。
空移動高さは、支持体４１が第１載置体４３や第２載置体４４より下方に位置する高さに設定されており、支持体４１が空移動高さで第１移動方向Ｘに移動したときに支持体４１が第１載置体４３や第２載置体４４に干渉しない高さとなっている。この空移動高さは、支持体４１が容器１を支持しない状態で第１移動方向Ｘに沿って移動するときの支持体４１の高さである。
実移動高さは、支持体４１が第１載置体４３や第２載置体４４より上方に位置する高さに設定されており、支持体４１が実移動高さで第１移動方向Ｘに移動したときに支持体４１が第１載置体４３や第２載置体４４に干渉しない高さとなっている。この実移動高さは、支持体４１が容器１を支持した状態で第１移動方向Ｘに沿って移動するときの支持体４１の高さである。
なお、図４の上側に図示した容器搬送装置４や下側に図示した容器搬送装置４では、支持体４１が実移動高さと空移動高さとの間に位置する状態を図示しており、支持体４１が第１載置体４３や第２載置体４４と同じ高さに位置している。また、図４の中間に図示した容器搬送装置４では、支持体４１が空移動高さに位置する状態を図示している。
図４に示すように、第１移動機構４５は、支持体４１を第１移動方向Ｘに沿って移動させることで、支持体４１を第１位置Ｐ１と第２位置Ｐ２と第３位置Ｐ３とに水平方向に移動させるように構成されている。
第１位置Ｐ１は、支持体４１を第２移動方向Ｚに沿って移動させて支持体４１と第１載置体４３との間で容器１を移載する場合に上下方向視で支持体４１が位置する位置に設定されている。つまり、支持体４１が第１位置Ｐ１に位置する状態で支持体４１を実移動高さと空移動高さとに昇降させることで、支持体４１と第１載置体４３との間で容器１を移載できるようになっている。
第２位置Ｐ２は、支持体４１を第２移動方向Ｚに沿って移動させて支持体４１と第２載置体４４との間で容器１を移載する場合に上下方向視で支持体４１が位置する位置に設定されている。つまり、支持体４１が第２位置Ｐ２に位置する状態で支持体４１を実移動高さと空移動高さとに昇降させることで、支持体４１と第２載置体４４との間で容器１を移載できるようになっている。
第１位置Ｐ１は、支持体４１を第２移動方向Ｚに沿って移動させて支持体４１と第１載置体４３との間で容器１を移載する場合に上下方向視で支持体４１が位置する位置に設定されている。つまり、支持体４１が第１位置Ｐ１に位置する状態で支持体４１を実移動高さと空移動高さとに昇降させることで、支持体４１と第１載置体４３との間で容器１を移載できるようになっている。
第２位置Ｐ２は、支持体４１を第２移動方向Ｚに沿って移動させて支持体４１と第２載置体４４との間で容器１を移載する場合に上下方向視で支持体４１が位置する位置に設定されている。つまり、支持体４１が第２位置Ｐ２に位置する状態で支持体４１を実移動高さと空移動高さとに昇降させることで、支持体４１と第２載置体４４との間で容器１を移載できるようになっている。
第３位置Ｐ３は、第１移動方向Ｘにおいて、第１位置Ｐ１と第２位置Ｐ２との間に設定されており、回転機構により支持体４１を上下方向に沿う縦軸心周りに回転させる位置である。
図４に示すように、第１容器搬送装置４ａでは、支持体４１が実移動高さで第１位置Ｐ１から第２位置Ｐ２に移動する途中において、第３位置Ｐ３において支持体４１を平面視で時計回りに設定角度（例えば、５０°程度）回転させ、支持体４１が空移動高さで第２位置Ｐ２から第１位置Ｐ１に移動する途中において、第３位置Ｐ３において支持体４１を平面視で反時計回りに設定角度（例えば、５０°程度）回転させる。そのため、第１位置Ｐ１に位置する支持体４１に対して、第２位置Ｐ２に位置する支持体４１は平面視で時計回りに傾いた姿勢となっている。
第３容器搬送装置４ｃは、第３位置Ｐ３において支持体４１を第１容器搬送装置４ａと同じ方向に設定角度回転させるため、第１位置Ｐ１に位置する支持体４１に対して、第２位置Ｐ２に位置する支持体４１は平面視で時計回りに傾いた姿勢となっている。
第２容器搬送装置４ｂや第４容器搬送装置４ｄは、第３位置Ｐ３において支持体４１を第１容器搬送装置４ａとは反対方向に設定角度回転させるため、第１位置Ｐ１に位置する支持体４１に対して、第２位置Ｐ２に位置する支持体４１は平面視で反時計回りに傾いた姿勢となっている。
図４に示すように、第１容器搬送装置４ａでは、支持体４１が実移動高さで第１位置Ｐ１から第２位置Ｐ２に移動する途中において、第３位置Ｐ３において支持体４１を平面視で時計回りに設定角度（例えば、５０°程度）回転させ、支持体４１が空移動高さで第２位置Ｐ２から第１位置Ｐ１に移動する途中において、第３位置Ｐ３において支持体４１を平面視で反時計回りに設定角度（例えば、５０°程度）回転させる。そのため、第１位置Ｐ１に位置する支持体４１に対して、第２位置Ｐ２に位置する支持体４１は平面視で時計回りに傾いた姿勢となっている。
第３容器搬送装置４ｃは、第３位置Ｐ３において支持体４１を第１容器搬送装置４ａと同じ方向に設定角度回転させるため、第１位置Ｐ１に位置する支持体４１に対して、第２位置Ｐ２に位置する支持体４１は平面視で時計回りに傾いた姿勢となっている。
第２容器搬送装置４ｂや第４容器搬送装置４ｄは、第３位置Ｐ３において支持体４１を第１容器搬送装置４ａとは反対方向に設定角度回転させるため、第１位置Ｐ１に位置する支持体４１に対して、第２位置Ｐ２に位置する支持体４１は平面視で反時計回りに傾いた姿勢となっている。
また、第１位置Ｐ１として、支持体４１と第１載置体４３との間で小容器１ａを移載するときの支持体４１の位置である小容器用位置（図４に仮想線で示す位置）と、支持体４ １と第１載置体４３との間で大容器１ｂを移載するときの支持体４１の位置である大容器用位置（図４に実線で示す位置）と、が設定され、小容器用位置は、大容器用位置より第２方向Ｘ２側に設定されている。このように小容器用位置を大用容器位置に対して第２方向Ｘ２側に設定することで、図１２に示すように、第１載置体４３に小容器１ａを降ろしたときの小容器１ａの第１基準位置Ｓ１と、第１載置体４３に大容器１ｂを降ろしたときの大容器１ｂの第２基準位置Ｓ２とが第１移動方向Ｘにおいて同じ位置に位置するようになっている。
第３容器搬送装置４ｃや第４容器搬送装置４ｄでは、第１移動機構４５は、支持体４１を第１移動方向Ｘに沿って移動させることで、第１位置Ｐ１、第２位置Ｐ２、第３位置Ｐ３に加えて、支持体４１を第４位置Ｐ４に水平方向に移動させるように構成されている。
第４位置Ｐ４は、第１移動方向Ｘにおいて、第１位置Ｐ１と第３位置Ｐ３との間に１つ又は複数設定されており、支持体４１を第２移動方向Ｚに沿って移動させて支持体４１と第３載置体４８との間で容器１を移載する場合に上下方向視で支持体４１が位置する位置に設定されている。支持体４１が第４位置Ｐ４に位置する状態で支持体４１を実移動高さと空移動高さとに昇降させることで、支持体４１と第３載置体４８との間で容器１を移載できるようになっている。
第４位置Ｐ４は、第１移動方向Ｘにおいて、第１位置Ｐ１と第３位置Ｐ３との間に１つ又は複数設定されており、支持体４１を第２移動方向Ｚに沿って移動させて支持体４１と第３載置体４８との間で容器１を移載する場合に上下方向視で支持体４１が位置する位置に設定されている。支持体４１が第４位置Ｐ４に位置する状態で支持体４１を実移動高さと空移動高さとに昇降させることで、支持体４１と第３載置体４８との間で容器１を移載できるようになっている。
次に、支持体４１について説明するが、支持体４１にて容器１を支持した状態に基づいて、支持体４１にて支持した容器１の前後方向に沿う方向を支持体４１の前後方向と称し、支持体４１にて支持した容器１の左右方向に沿う方向を支持体４１の左右方向と称して説明する。また、前後方向や左右方向において、支持体４１にて支持した容器１の基準位置が存在する向きを内方と称し、その反対の向きを外方と称して説明する。尚、図５は、上下方向に沿って見た支持体４１の平面図であり、図６は、左右方向に沿って見た支持体４１の側面図であり、図７は、前後方向に沿って見た支持体４１の背面図である。
図５〜図７に示すように、支持体４１は、支持体４１に支持した小容器１ａを上下方向視で第１支持領域Ｔ１に位置決めする第１位置決め部５１と、支持体４１に支持した大容器１ｂを上下方向視で第２支持領域Ｔ２に位置決めする第２位置決め部５２と、を備えている。第２支持領域Ｔ２は、その一部が第１支持領域Ｔ１と重複するように設定されている。
ちなみに、第１支持領域Ｔ１は、第１位置決め部５１にて位置決めされた小容器１ａの底面が存在する領域であり、第２支持領域Ｔ２は、第２位置決め部５２にて位置決めされた大容器１ｂの底面が存在する領域である。そして、支持体４１は、容器１の前側が第１方向Ｘ１に向く姿勢で容器１を支持する。
ちなみに、第１支持領域Ｔ１は、第１位置決め部５１にて位置決めされた小容器１ａの底面が存在する領域であり、第２支持領域Ｔ２は、第２位置決め部５２にて位置決めされた大容器１ｂの底面が存在する領域である。そして、支持体４１は、容器１の前側が第１方向Ｘ１に向く姿勢で容器１を支持する。
第１位置決め部５１は、第１支持体５３と第１係合体５４とを備えている。
第１支持体５３は、平板状に形成されており、小容器１ａの底面を下方から支持する。第１支持体５３には、第１支持体５３から上方に突出する状態で３つの第１ピン５５が固定されており、３つの第１ピン５５は、第１支持領域Ｔ１の内側に位置している。そして、３つの第１ピン５５は、支持体４１にて小容器１ａを支持するときに小容器１ａの３つの第１被係合部１１に下方から係合するものであり、第１被係合部１１に係合する第１係合体５４として機能する。
第１位置決め部５１は、３つの第１ピン５５（第１係合体５４）を小容器１ａの３つの第１被係合部１１に係合させた状態で第１支持体５３にて小容器１ａを下方から支持することで、小容器１ａを第１支持領域Ｔ１に位置決めした状態で支持できるように構成されている。
第１支持体５３は、平板状に形成されており、小容器１ａの底面を下方から支持する。第１支持体５３には、第１支持体５３から上方に突出する状態で３つの第１ピン５５が固定されており、３つの第１ピン５５は、第１支持領域Ｔ１の内側に位置している。そして、３つの第１ピン５５は、支持体４１にて小容器１ａを支持するときに小容器１ａの３つの第１被係合部１１に下方から係合するものであり、第１被係合部１１に係合する第１係合体５４として機能する。
第１位置決め部５１は、３つの第１ピン５５（第１係合体５４）を小容器１ａの３つの第１被係合部１１に係合させた状態で第１支持体５３にて小容器１ａを下方から支持することで、小容器１ａを第１支持領域Ｔ１に位置決めした状態で支持できるように構成されている。
第２位置決め部５２は、第２支持体５６と第２係合体５７と当接体５８とを備えている。
第１支持体５３の上面には、第１規制支持体５９が固定されている。この第１規制支持体５９は、第１支持領域Ｔ１の外側で且つ第２支持領域Ｔ２の内側に位置しており、後述の如く、第２支持体５６及び当接体５８として機能する。第１規制支持体５９として、第１支持領域Ｔ１の右側に位置する第１規制支持体５９と、第１支持領域Ｔ１の左側に位置する第１規制支持体５９と、の一対の第１規制支持体５９が備えられている。
第１支持体５３の上面には、第１規制支持体５９が固定されている。この第１規制支持体５９は、第１支持領域Ｔ１の外側で且つ第２支持領域Ｔ２の内側に位置しており、後述の如く、第２支持体５６及び当接体５８として機能する。第１規制支持体５９として、第１支持領域Ｔ１の右側に位置する第１規制支持体５９と、第１支持領域Ｔ１の左側に位置する第１規制支持体５９と、の一対の第１規制支持体５９が備えられている。
そして、一対の第１規制支持体５９の夫々は、２段の階段状に形成されている。第１規制支持体５９における下段を形成する部分は、第２支持領域Ｔ２に位置する大容器１ｂを下方から支持する第２支持体５６として機能する。また、第１規制支持体５９における上段を形成する部分は、第２支持領域Ｔ２に位置する大容器１ｂに対して左右方向から当接する当接体５８として機能する。ちなみに、第１規制支持体５９の下段を形成する部分は、上段を形成する部分に対して左右方向で内側（支持した大容器１ｂの第２基準位置Ｓ２が存在する側）に位置している。
一対の第１規制支持体５９は、支持体４１にて大容器１ｂを第２支持領域Ｔ２に支持した状態において、前側第２被係合部１２ｆより後側で且つ後側第２被係合部１２ｒより前側に位置しており、第２基準位置Ｓ２に対して前側に存在している。そのため、一対の第１規制支持体５９は、大容器１ｂにおける前後方向の中央部で且つ左右方向の両端部を下方から支持するように備えられている。また、一対の第１規制支持体５９は、後側第２被係合部１２ｒより前側において大容器１ｂに対して左右方向の両側から当接するように備えられている。
ちなみに、一対の第１規制支持体５９における下段を形成する部分は、第１支持領域Ｔ１に位置する小容器１ａに対して左右方向から当接する部材としても機能する。
一対の第１規制支持体５９は、支持体４１にて大容器１ｂを第２支持領域Ｔ２に支持した状態において、前側第２被係合部１２ｆより後側で且つ後側第２被係合部１２ｒより前側に位置しており、第２基準位置Ｓ２に対して前側に存在している。そのため、一対の第１規制支持体５９は、大容器１ｂにおける前後方向の中央部で且つ左右方向の両端部を下方から支持するように備えられている。また、一対の第１規制支持体５９は、後側第２被係合部１２ｒより前側において大容器１ｂに対して左右方向の両側から当接するように備えられている。
ちなみに、一対の第１規制支持体５９における下段を形成する部分は、第１支持領域Ｔ１に位置する小容器１ａに対して左右方向から当接する部材としても機能する。
第１支持体５３には、第１支持体５３から上方に突出する状態で１つの第２ピン６０が固定されており、この第２ピン６０は、第１支持領域Ｔ１の外側で且つ第２支持領域Ｔ２の内側に位置している。そして、第２ピン６０は、支持体４１にて大容器１ｂを支持するときに大容器１ｂの後側第２被係合部１２ｒに下方から係合して大容器１ｂを支持するものであり、大容器１ｂを下方から支持する第２支持体５６、及び、第２被係合部１２に係合する第２係合体５７として機能する。
第２位置決め部５２は、第２係合体５７（第２ピン６０）を大容器１ｂの後側第２被係合部１２ｒに係合させ且つ大容器１ｂに対して左右方向から第１規制支持体５９が当接する状態で、第２支持体５６（第２ピン６０と一対の第１規制支持体５９）にて大容器１ｂを下方から支持することで、大容器１ｂを第２支持領域Ｔ２に位置決めした状態で支持できるように構成されている。
第２位置決め部５２は、第２係合体５７（第２ピン６０）を大容器１ｂの後側第２被係合部１２ｒに係合させ且つ大容器１ｂに対して左右方向から第１規制支持体５９が当接する状態で、第２支持体５６（第２ピン６０と一対の第１規制支持体５９）にて大容器１ｂを下方から支持することで、大容器１ｂを第２支持領域Ｔ２に位置決めした状態で支持できるように構成されている。
支持体４１（第１支持体５３）について説明を加えると、支持体４１の前端縁が左右方向に沿う直線状に形成され、支持体４１の後端部は、前後方向で後部側ほど左右方向での間隔が狭くなる先細り形状に形成されている。
そして、支持体４１は、第２位置Ｐ２に位置する状態では、支持体４１の前端縁が一対の第２規制支持体７１が並ぶ並び方向（平面視で第１移動方向Ｘに対して傾斜する方向）に沿う姿勢となるとともに、支持体４１の後端部における一方の縁部が第１移動方向Ｘに沿う姿勢となっている。
そして、支持体４１は、第２位置Ｐ２に位置する状態では、支持体４１の前端縁が一対の第２規制支持体７１が並ぶ並び方向（平面視で第１移動方向Ｘに対して傾斜する方向）に沿う姿勢となるとともに、支持体４１の後端部における一方の縁部が第１移動方向Ｘに沿う姿勢となっている。
次に、第２載置体４４について説明する。尚、図８は、上下方向に沿って見た第２載置体４４の平面図であり、図９は、幅方向Ｙに沿って見た第２載置体４４の側面図（Ａ矢視図）であり、図１０は、第１移動方向Ｘに沿って見た第２載置体４４の正面図（Ｂ矢視図）であり、図１１は、支持した容器１の前後方向に沿って見た第２載置体４４の正面図（Ｃ矢視図）である。
図８〜図１１に示すように、第２載置体４４は、第２載置体４４に支持した小容器１ａを上下方向視で第３支持領域Ｔ３に位置決めする第３位置決め部６３と、第２載置体４４に支持した大容器１ｂを上下方向視で第４支持領域Ｔ４に位置決めする第４位置決め部６４と、を備えている。第４支持領域Ｔ４は、その一部が第３支持領域Ｔ３と重複するように設定されている。また、支持体４１が第２位置Ｐ２に位置する状態では、第１支持領域Ｔ１と第３支持領域Ｔ３とが同じ領域となり、第２支持領域Ｔ２と第４支持領域Ｔ４とが同じ領域となる。
第３位置決め部６３は、第３支持体６５と第３係合体６６とを備えている。
第３支持体６５は、幅方向Ｙに間隔を空けた状態で備えられた一対の第３支持体６５を組として、２組の第３支持体６５が第１移動方向Ｘに間隔を空けた状態で備えられており、小容器１ａは２組の第３支持体６５（４つの第３支持体６５）にて下方から支持される。２組の第３支持体６５のうちの第１移動方向Ｘで第１方向側に位置する一対の第３支持体６５の夫々には、第３支持体６５から上方に突出する状態で第３ピン６７が固定されている。この２つの第３ピン６７は、第３支持領域Ｔ３内に位置している。そして、２つの第３ピン６７は、第２載置体４４にて小容器１ａを支持するときに小容器１ａの２つの前側第１被係合部１１ｆに下方から係合するものであり、一対の前側第１被係合部１１ｆに下方から係合する一対の第３係合体６６として機能する。
第３位置決め部６３は、２つの第３係合体６６を小容器１ａの２つの前側第１被係合部１１ｆに係合させた状態で第３支持体６５にて小容器１ａを下方から支持することで、小容器１ａを第３支持領域Ｔ３に位置決めした状態で支持できるように構成されている。
第３支持体６５は、幅方向Ｙに間隔を空けた状態で備えられた一対の第３支持体６５を組として、２組の第３支持体６５が第１移動方向Ｘに間隔を空けた状態で備えられており、小容器１ａは２組の第３支持体６５（４つの第３支持体６５）にて下方から支持される。２組の第３支持体６５のうちの第１移動方向Ｘで第１方向側に位置する一対の第３支持体６５の夫々には、第３支持体６５から上方に突出する状態で第３ピン６７が固定されている。この２つの第３ピン６７は、第３支持領域Ｔ３内に位置している。そして、２つの第３ピン６７は、第２載置体４４にて小容器１ａを支持するときに小容器１ａの２つの前側第１被係合部１１ｆに下方から係合するものであり、一対の前側第１被係合部１１ｆに下方から係合する一対の第３係合体６６として機能する。
第３位置決め部６３は、２つの第３係合体６６を小容器１ａの２つの前側第１被係合部１１ｆに係合させた状態で第３支持体６５にて小容器１ａを下方から支持することで、小容器１ａを第３支持領域Ｔ３に位置決めした状態で支持できるように構成されている。
第４位置決め部６４は、第４支持体６８と第４係合体６９と第２当接体７０とを備えている。
第２載置体４４には、３つの第２規制支持体７１が固定されている。この第２規制支持体７１は、第３支持領域Ｔ３の外側に位置しており、後述の如く、第４支持体６８及び第２当接体７０として機能する。第２規制支持体７１として、第３支持領域Ｔ３に対して左右方向の一方側に位置する第２規制支持体７１と、第３支持領域Ｔ３に対して左右方向の他方側に位置する第２規制支持体７１と、第３支持領域Ｔ３に対して前後方向の後方側に位置する第２規制支持体７１と、の３つの第２規制支持体７１が備えられている。
第２載置体４４には、３つの第２規制支持体７１が固定されている。この第２規制支持体７１は、第３支持領域Ｔ３の外側に位置しており、後述の如く、第４支持体６８及び第２当接体７０として機能する。第２規制支持体７１として、第３支持領域Ｔ３に対して左右方向の一方側に位置する第２規制支持体７１と、第３支持領域Ｔ３に対して左右方向の他方側に位置する第２規制支持体７１と、第３支持領域Ｔ３に対して前後方向の後方側に位置する第２規制支持体７１と、の３つの第２規制支持体７１が備えられている。
そして、３つの第２規制支持体７１の夫々は、２段の階段状に形成されている。第２規制支持体７１における下段を形成する部分は、第４支持領域Ｔ４に位置する大容器１ｂを下方から支持する第４支持体６８として機能する。また、第３支持領域Ｔ３に対して左右 方向の一方側に位置する第２規制支持体７１と、第３支持領域Ｔ３に対して左右方向の他 方側に位置する第２規制支持体７１と、を一対の第２規制支持体７１として、これら一対 の第２規制支持体７１における上段を形成する部分は、第４支持領域Ｔ４に位置する大容器１ｂに対して幅方向Ｙから当接する第２当接体７０として機能する。ちなみに、これら 一対の第２規制支持体７１の下段を形成する部分は、上段を形成する部分に対して左右方向で内側（支持した大容器１ｂの第２基準位置Ｓ２が存在する側）に位置している。
一対の第２規制支持体７１は、第２載置体４４にて大容器１ｂを第４支持領域Ｔ４に支持した状態において、第２基準位置Ｓ２より前側に位置している。そのため、一対の第２規制支持体７１は、大容器１ｂにおける前後方向の前部で且つ左右方向の両端部を下方から支持するように備えられている。また、一対の第２規制支持体７１は、後側第２被係合部１２ｒより前側において大容器１ｂに対して幅方向Ｙの両側から当接するように備えられている。
ちなみに、一対の第２規制支持体７１における下段を形成する部分は、第３支持領域Ｔ３に位置する小容器１ａに対して幅方向Ｙから当接する部材としても機能する。
一対の第２規制支持体７１は、第２載置体４４にて大容器１ｂを第４支持領域Ｔ４に支持した状態において、第２基準位置Ｓ２より前側に位置している。そのため、一対の第２規制支持体７１は、大容器１ｂにおける前後方向の前部で且つ左右方向の両端部を下方から支持するように備えられている。また、一対の第２規制支持体７１は、後側第２被係合部１２ｒより前側において大容器１ｂに対して幅方向Ｙの両側から当接するように備えられている。
ちなみに、一対の第２規制支持体７１における下段を形成する部分は、第３支持領域Ｔ３に位置する小容器１ａに対して幅方向Ｙから当接する部材としても機能する。
第２載置体４４には、その第２載置体４４から上方に突出する状態で１つの第４ピン７２が固定されており、この第４ピン７２は、第３支持領域Ｔ３の外側で且つ第４支持領域Ｔ４の内側に位置している。そして、第４ピン７２は、第２載置体４４にて大容器１ｂを支持するときに大容器１ｂの後側第２被係合部１２ｒに下方から係合して大容器１ｂを支持するものであり、大容器１ｂを下方から支持する第４支持体６８、及び、第２被係合部１２に係合する第４係合体６９として機能する。
第４位置決め部６４は、第４係合体６９を大容器１ｂの後側第２被係合部１２ｒに係合させ且つ大容器１ｂに対して左右方向から第２規制支持体７１が当接する状態で、第４支持体６８（１つの第４ピン７２と一対の第２規制支持体７１）にて大容器１ｂを下方から支持することで、大容器１ｂを第４支持領域Ｔ４に位置決めした状態で支持できるように構成されている。
第４位置決め部６４は、第４係合体６９を大容器１ｂの後側第２被係合部１２ｒに係合させ且つ大容器１ｂに対して左右方向から第２規制支持体７１が当接する状態で、第４支持体６８（１つの第４ピン７２と一対の第２規制支持体７１）にて大容器１ｂを下方から支持することで、大容器１ｂを第４支持領域Ｔ４に位置決めした状態で支持できるように構成されている。
第１支持領域Ｔ１と第２支持領域Ｔ２との位置関係は、第１支持領域Ｔ１に位置する小容器１ａの第１基準位置Ｓ１が第２支持領域Ｔ２に位置する大容器１ｂの第２基準位置Ｓ２より第１方向Ｘ１側に位置するように設定されている。このように第１支持領域Ｔ１を第２支持領域Ｔ２に対して第１方向Ｘ１側に寄った位置に設定することで、第１支持領域Ｔ１に対して第１移動方向Ｘの第２方向Ｘ２側の外側に第２ピン６０を位置させるとともに、第２載置体４４に小容器１ａを降ろしたときに第１方向Ｘ１側に寄せた状態で載せるようになっている。
次に、第１載置体４３について説明する。
第１載置体４３は、第１載置体４３に支持した小容器１ａを上下方向視で第５支持領域Ｔ５に位置決めする第５位置決め部７５と、第１載置体４３に支持した大容器１ｂを上下方向視で第６支持領域Ｔ６に位置決めする第６位置決め部７６と、を備えている。第６支持領域Ｔ６は、その一部が第５支持領域Ｔ５と重複するように設定されている。
ちなみに、第５支持領域Ｔ５は、第５位置決め部７５にて位置決めされた小容器１ａの底面が存在する領域であり、第６支持領域Ｔ６は、第６位置決め部７６にて位置決めされた大容器１ｂの底面が存在する領域である。
尚、支持体４１が第１位置Ｐ１の小容器用位置に位置する状態では、第１支持領域Ｔ１と第５支持領域Ｔ５とが同じ領域となり、支持体４１が第１位置Ｐ１の大容器用位置に位置する状態では、第２支持領域Ｔ２と第６支持領域Ｔ６とが同じ領域となる。
第１載置体４３は、第１載置体４３に支持した小容器１ａを上下方向視で第５支持領域Ｔ５に位置決めする第５位置決め部７５と、第１載置体４３に支持した大容器１ｂを上下方向視で第６支持領域Ｔ６に位置決めする第６位置決め部７６と、を備えている。第６支持領域Ｔ６は、その一部が第５支持領域Ｔ５と重複するように設定されている。
ちなみに、第５支持領域Ｔ５は、第５位置決め部７５にて位置決めされた小容器１ａの底面が存在する領域であり、第６支持領域Ｔ６は、第６位置決め部７６にて位置決めされた大容器１ｂの底面が存在する領域である。
尚、支持体４１が第１位置Ｐ１の小容器用位置に位置する状態では、第１支持領域Ｔ１と第５支持領域Ｔ５とが同じ領域となり、支持体４１が第１位置Ｐ１の大容器用位置に位置する状態では、第２支持領域Ｔ２と第６支持領域Ｔ６とが同じ領域となる。
第５位置決め部７５は、第５支持体７７と第５係合体７８とを備えている。
第５支持体７７は、幅方向Ｙに間隔を空けた状態で備えられた一対の第５支持体７７を組として、２組の第５支持体７７が第１移動方向Ｘに間隔を空けた状態で備えられており、小容器１ａは２組の第５支持体７７（４つの第５支持体７７）にて下方から支持される。２組の第５支持体７７のうちの第１移動方向Ｘで第１方向Ｘ１側に位置する一対の第５支持体７７の夫々には、第５支持体７７から上方に突出する状態で第５ピン７９が固定されている。この２つの第５ピン７９は、第５支持領域Ｔ５内に位置している。そして、２つの第５ピン７９は、第１載置体４３にて小容器１ａを支持するときに小容器１ａの２つの前側第１被係合部１１ｆに下方から係合するものであり、一対の前側第１被係合部１１ｆに下方から係合する一対の第５係合体７８として機能する。
第５位置決め部７５は、２つの第５係合体７８を小容器１ａの２つの前側第１被係合部１１ｆに係合させた状態で第５支持体７７にて小容器１ａを下方から支持することで、小容器１ａを第５支持領域Ｔ５に位置決めした状態で支持できるように構成されている。
第５支持体７７は、幅方向Ｙに間隔を空けた状態で備えられた一対の第５支持体７７を組として、２組の第５支持体７７が第１移動方向Ｘに間隔を空けた状態で備えられており、小容器１ａは２組の第５支持体７７（４つの第５支持体７７）にて下方から支持される。２組の第５支持体７７のうちの第１移動方向Ｘで第１方向Ｘ１側に位置する一対の第５支持体７７の夫々には、第５支持体７７から上方に突出する状態で第５ピン７９が固定されている。この２つの第５ピン７９は、第５支持領域Ｔ５内に位置している。そして、２つの第５ピン７９は、第１載置体４３にて小容器１ａを支持するときに小容器１ａの２つの前側第１被係合部１１ｆに下方から係合するものであり、一対の前側第１被係合部１１ｆに下方から係合する一対の第５係合体７８として機能する。
第５位置決め部７５は、２つの第５係合体７８を小容器１ａの２つの前側第１被係合部１１ｆに係合させた状態で第５支持体７７にて小容器１ａを下方から支持することで、小容器１ａを第５支持領域Ｔ５に位置決めした状態で支持できるように構成されている。
第６位置決め部７６は、第６支持体８０と第３当接体８１とを備えている。
第１載置体４３には、第３規制支持体８２が固定されている。この第３規制支持体８２は、第５支持領域Ｔ５の外側に位置しており、後述の如く、第６支持体８０及び第３当接体８１として機能する。第３規制支持体８２として、第５支持領域Ｔ５に対して幅方向Ｙの一方側に位置する一対の第３規制支持体８２と、第５支持領域Ｔ５に対して幅方向Ｙの他方側に位置する一対の第３規制支持体８２と、第５支持領域Ｔ５に対して第１移動方向Ｘの一方側に位置する一対の第３規制支持体８２と、第５支持領域Ｔ５に対して第１移動方向Ｘの他方側に位置する一対の第３規制支持体８２と、の計８つの第３規制支持体８２が備えられている。
第１載置体４３には、第３規制支持体８２が固定されている。この第３規制支持体８２は、第５支持領域Ｔ５の外側に位置しており、後述の如く、第６支持体８０及び第３当接体８１として機能する。第３規制支持体８２として、第５支持領域Ｔ５に対して幅方向Ｙの一方側に位置する一対の第３規制支持体８２と、第５支持領域Ｔ５に対して幅方向Ｙの他方側に位置する一対の第３規制支持体８２と、第５支持領域Ｔ５に対して第１移動方向Ｘの一方側に位置する一対の第３規制支持体８２と、第５支持領域Ｔ５に対して第１移動方向Ｘの他方側に位置する一対の第３規制支持体８２と、の計８つの第３規制支持体８２が備えられている。
そして、８つの第３規制支持体８２のうちの第５支持領域Ｔ５に対して幅方向Ｙの両側に位置する４つは、２段の階段状に形成されている。第３規制支持体８２における下段を形成する部分は、第６支持領域Ｔ６に位置する大容器１ｂを下方から支持する第６支持体８０として機能する。また、第３規制支持体８２における上段を形成する部分は、第６支持領域Ｔ６に位置する大容器１ｂに対して第１移動方向Ｘ又は幅方向Ｙから当接する第３当接体８１として機能する。ちなみに、第３規制支持体８２の下段を形成する部分は、上段を形成する部分に対して第１移動方向Ｘや幅方向Ｙで内側（支持した大容器１ｂの第２基準位置Ｓ２が存在する側）に位置している。
そして、８つの第３規制支持体８２のうちの残る４つ（第５支持領域Ｔ５に対して第１移動方向Ｘの両側に位置する４つ）は、大容器１ｂに対して外側の斜め下方から当接する傾斜面を備えており、第６支持体８０及び第３当接体８１として機能する。
８つの第１規制支持体５９は、第１載置体４３にて大容器１ｂを第６支持領域Ｔ６に支持した状態において、大容器１ｂにおける周縁部を下方から支持するように備えられている。また、８つの第３規制支持体８２は、大容器１ｂに対して第１移動方向Ｘの両側及び幅方向Ｙの両側から当接するように備えられている。
ちなみに、８つの第３規制支持体８２のうちの一対の第３規制支持体８２における下段を形成する部分は、第５支持領域Ｔ５に位置する小容器１ａに対して幅方向Ｙから当接する部材としても機能する。
そして、８つの第３規制支持体８２のうちの残る４つ（第５支持領域Ｔ５に対して第１移動方向Ｘの両側に位置する４つ）は、大容器１ｂに対して外側の斜め下方から当接する傾斜面を備えており、第６支持体８０及び第３当接体８１として機能する。
８つの第１規制支持体５９は、第１載置体４３にて大容器１ｂを第６支持領域Ｔ６に支持した状態において、大容器１ｂにおける周縁部を下方から支持するように備えられている。また、８つの第３規制支持体８２は、大容器１ｂに対して第１移動方向Ｘの両側及び幅方向Ｙの両側から当接するように備えられている。
ちなみに、８つの第３規制支持体８２のうちの一対の第３規制支持体８２における下段を形成する部分は、第５支持領域Ｔ５に位置する小容器１ａに対して幅方向Ｙから当接する部材としても機能する。
第６位置決め部７６は、大容器１ｂに対して第１移動方向Ｘの両側及び幅方向Ｙの両側から第３規制支持体８２が当接する状態で、第６支持体８０（８つの第２規制支持体７１）にて大容器１ｂを下方から支持することで、大容器１ｂを第６支持領域Ｔ６に位置決めした状態で支持できるように構成されている。
図１５に示すように、第３載置体４８は、第３載置体４８に支持した小容器１ａを上下方向視で第７支持領域に位置決めする第７位置決め部８７と、第３載置体４８に支持した大容器１ｂを上下方向視で第８支持領域に位置決めする第８位置決め部８８と、を備えている。第８支持領域は、その一部が第７支持領域と重複するように設定されている。
ちなみに、第７支持領域は、第７位置決め部８７にて位置決めされた小容器１ａの底面が存在する領域であり、第８支持領域は、第８位置決め部８８にて位置決めされた大容器１ｂの底面が存在する領域である。
ちなみに、第７支持領域は、第７位置決め部８７にて位置決めされた小容器１ａの底面が存在する領域であり、第８支持領域は、第８位置決め部８８にて位置決めされた大容器１ｂの底面が存在する領域である。
第７位置決め部８７は、第７支持体８９と第７係合体９０とを備えている。
第７支持体８９は、第５支持体７７と同様に２組備えられており、小容器１ａは２組の第７支持体８９（４つの第７支持体８９）にて小容器１ａを下方から支持する。２組の第 ７支持体８９のうちの一対には、第７支持体８９から上方に突出する状態で第７ピン９１が固定されている。この２つの第７ピン９１は、第７支持領域内に位置している。そして、２つの第７ピン９１は、第３載置体４８にて小容器１ａを支持するときに小容器１ａの２つの前側第１被係合部１１ｆに下方から係合するものであり、一対の前側第１被係合部１１ｆに下方から係合する一対の第７係合体９０として機能する。
第７位置決め部８７は、２つの第７係合体９０を小容器１ａの２つの前側第１被係合部１１ｆに係合させた状態で第７支持体８９にて小容器１ａを下方から支持することで、小容器１ａを第７支持領域に位置決めした状態で支持できるように構成されている。
第７支持体８９は、第５支持体７７と同様に２組備えられており、小容器１ａは２組の第７支持体８９（４つの第７支持体８９）にて小容器１ａを下方から支持する。２組の第 ７支持体８９のうちの一対には、第７支持体８９から上方に突出する状態で第７ピン９１が固定されている。この２つの第７ピン９１は、第７支持領域内に位置している。そして、２つの第７ピン９１は、第３載置体４８にて小容器１ａを支持するときに小容器１ａの２つの前側第１被係合部１１ｆに下方から係合するものであり、一対の前側第１被係合部１１ｆに下方から係合する一対の第７係合体９０として機能する。
第７位置決め部８７は、２つの第７係合体９０を小容器１ａの２つの前側第１被係合部１１ｆに係合させた状態で第７支持体８９にて小容器１ａを下方から支持することで、小容器１ａを第７支持領域に位置決めした状態で支持できるように構成されている。
第８位置決め部８８は、第８支持体９２と第４当接体９３とを備えている。
第３載置体４８には、第４規制支持体９４が固定されている。この第４規制支持体９４は、第７支持領域の外側に位置しており、後述の如く、第８支持体９２及び第４当接体９３として機能する。第４規制支持体９４として、第７支持領域に対して幅方向Ｙの両側に位置する一対の第４規制支持体９４と、第７支持領域に対して第１移動方向Ｘの第２方向Ｘ２側に位置する一対の第４規制支持体９４と、の計４つの第４規制支持体９４が備えられている。
第３載置体４８には、第４規制支持体９４が固定されている。この第４規制支持体９４は、第７支持領域の外側に位置しており、後述の如く、第８支持体９２及び第４当接体９３として機能する。第４規制支持体９４として、第７支持領域に対して幅方向Ｙの両側に位置する一対の第４規制支持体９４と、第７支持領域に対して第１移動方向Ｘの第２方向Ｘ２側に位置する一対の第４規制支持体９４と、の計４つの第４規制支持体９４が備えられている。
そして、４つの第４規制支持体９４は、２段の階段状に形成されている。第４規制支持体９４における下段を形成する部分は、第８支持領域に位置する大容器１ｂを下方から支持する第８支持体９２として機能する。また、第４規制支持体９４における上段を形成する部分は、第８支持領域に位置する大容器１ｂに対して第１移動方向Ｘ又は幅方向Ｙから当接する第４当接体９３として機能する。ちなみに、第４規制支持体９４の下段を形成する部分は、上段を形成する部分に対して第１移動方向Ｘや幅方向Ｙで内側（支持した大容器１ｂの第２基準位置Ｓ２が存在する側）に位置している。
４つの第４規制支持体９４は、第３載置体４８にて大容器１ｂを第８支持領域に支持した状態において、大容器１ｂにおける周縁部を下方から支持するように備えられている。また、４つの第４規制支持体９４は、大容器１ｂに対して第１移動方向Ｘの第２方向Ｘ２側及び幅方向Ｙの両側から当接するように備えられている。
ちなみに、４つの第４規制支持体９４のうちの一対の第４規制支持体９４における下段を形成する部分は、第７支持領域に位置する小容器１ａに対して幅方向Ｙから当接する部材としても機能する。
４つの第４規制支持体９４は、第３載置体４８にて大容器１ｂを第８支持領域に支持した状態において、大容器１ｂにおける周縁部を下方から支持するように備えられている。また、４つの第４規制支持体９４は、大容器１ｂに対して第１移動方向Ｘの第２方向Ｘ２側及び幅方向Ｙの両側から当接するように備えられている。
ちなみに、４つの第４規制支持体９４のうちの一対の第４規制支持体９４における下段を形成する部分は、第７支持領域に位置する小容器１ａに対して幅方向Ｙから当接する部材としても機能する。
このように、支持体４１に支持された小容器１ａは、第１位置決め部５１にて第１支持領域Ｔ１に位置決めされ、支持体４１に支持された大容器１ｂは、第２位置決め部５２にて第２支持領域Ｔ２に位置決めされる。
そして、支持体４１に支持された大容器１ｂは、第２位置決め部５２における第２支持体５６にて、第１係合体５４の上端より上方に大容器１ｂの底面が位置する高さで大容器１ｂが支持されるため、大容器１ｂが第１係合体５４に干渉することなく、支持体４１にて大容器１ｂを適切に支持することができる。
また、支持体４１に支持された大容器１ｂは、大容器１ｂの３つの第２被係合部１２のうちの１つに第２係合体５７が係合し、左右方向から当接体５８が大容器１ｂに当接することで、大容器１ｂを第２支持領域Ｔ２に位置決めすることができる。
このように、支持体４１にて小容器１ａと大容器１ｂとの双方を適切に支持することができる。
そして、支持体４１に支持された大容器１ｂは、第２位置決め部５２における第２支持体５６にて、第１係合体５４の上端より上方に大容器１ｂの底面が位置する高さで大容器１ｂが支持されるため、大容器１ｂが第１係合体５４に干渉することなく、支持体４１にて大容器１ｂを適切に支持することができる。
また、支持体４１に支持された大容器１ｂは、大容器１ｂの３つの第２被係合部１２のうちの１つに第２係合体５７が係合し、左右方向から当接体５８が大容器１ｂに当接することで、大容器１ｂを第２支持領域Ｔ２に位置決めすることができる。
このように、支持体４１にて小容器１ａと大容器１ｂとの双方を適切に支持することができる。
〔別実施形態〕
（１）上記実施形態では、外部側箇所８に第１載置体４３を備え、内部側箇所９に第２載置体４４を備えたが、第１載置体４３と第２載置体４４とのうちの一方又は双方を備えずに、容器搬送装置４が、外部の搬送装置や作業者との間で容器１を直接受け渡すようにしてもよい。
具体的には、例えば、第１容器搬送装置４ａの外部側箇所８に第１載置体４３を備えずに、天井搬送車３が第１位置Ｐ１に位置する支持体４１上に容器１を降ろすようにしてもよい。
（１）上記実施形態では、外部側箇所８に第１載置体４３を備え、内部側箇所９に第２載置体４４を備えたが、第１載置体４３と第２載置体４４とのうちの一方又は双方を備えずに、容器搬送装置４が、外部の搬送装置や作業者との間で容器１を直接受け渡すようにしてもよい。
具体的には、例えば、第１容器搬送装置４ａの外部側箇所８に第１載置体４３を備えずに、天井搬送車３が第１位置Ｐ１に位置する支持体４１上に容器１を降ろすようにしてもよい。
（２）上記実施形態では、容器搬送装置４にて、第１載置体４３から第２載置体４４への 容器１の搬送と第２載置体４４から第１載置体４３への容器１の搬送とのうちの一方の搬送のみを行ったが、容器搬送装置４にて、第１載置体４３から第２載置体４４への容器１ の搬送と第２載置体４４から第１載置体４３への容器１の搬送との双方の搬送を行ってもよい。
（３）上記実施形態では、第４係合体６９を、第４支持領域Ｔ４に位置する大容器１ｂの第２基準位置Ｓ２に対して幅方向Ｙの一方側に偏った位置に備えたが、第４係合体６９を、第４支持領域Ｔ４に位置する大容器１ｂの第２基準位置Ｓ２に対して第１移動方向Ｘに並ぶ位置に備えてもよい。このように第４位置決め部６４に第４係合体６９を備えて、第１載置体４３と同様に、容器１の前後方向が第１移動方向Ｘに沿う姿勢で第２載置体４４にて容器１を支持するようにしてもよい。
（４）上記実施形態では、支持体４１と第１載置体４３との間で小容器１ａを移載するときに支持体４１を停止させる位置（小容器用位置）と、支持体４１と第１載置体４３との間で大容器１ｂを移載するときに支持体４１を停止させる位置（大容器用位置）とを異ならせたが、これらの位置を第１移動方向Ｘで同じ位置に設定してもよい。
（５）上記実施形態では、支持体４１を、容器１の前側が第１方向Ｘ１に向く姿勢で容器１を支持するように構成したが、支持体４１を、容器１の前側が第２方向Ｘ２に向く姿勢で容器１を支持する、又は、容器１の前側が幅方向Ｙの一方側を向く姿勢で容器１を支持するように構成してもよい。
（６）上記実施形態では、支持体４１に、第１係合体５４を３つ備えて、支持体４１にて小容器１ａを支持したときに小容器１ａの３つの第１被係合部１１の全てに第１係合体５４を係合させたが、支持体４１に、第１係合体５４を２つのみ備えて、支持体４１にて小容器１ａを支持したときに小容器１ａの３つの第１被係合部１１のうちの２つ（例えば、２つの前側第１被係合部１１ｆ）のみに第１係合体５４を係合させてもよい。
（７）上記実施形態で示した容器１を支持する部材の形態や容器１の側面に当接する部材の形態は適宜変更してもよい。具体的には、容器１に対して当接体５８を左右方向から当接して容器１の回転を規制しているのに代えて、容器１に対して当接体５８を前後方向に当接して容器１の回転を規制してもよい。また、３つの第１ピン５５にて小容器１ａを支持するようにして第１ピン５５に第１支持体５３としての機能を備えてもよい。
（８）上記実施形態では、容器搬送装置４に、第１移動機構４５と第２移動機構４６とを備えて、支持体４１を第１移動方向Ｘと第２移動方向Ｚとの双方に移動させたが、外部の搬送装置や作業者との間で容器１を直接受け渡す場合や、第１載置体４３や第２載置体４４を昇降自在に構成した場合は、容器搬送装置４に、第１移動機構４５のみを備えて、支持体４１を第１移動方向Ｘにのみ移動させるようにしてもよい。
（９）上記実施形態では、容器搬送装置４を、同じ高さに設置された第１載置体４３と第２載置体４４との間で容器１を搬送するように構成したが、容器搬送装置４を、スタッカークレーンや上記実施形態における昇降式搬送装置２として、異なる高さに設置された第１載置体４３と第２載置体４４との間で容器１を搬送するように構成してもよい。
ちなみに、例えば、容器搬送装置４を昇降式搬送装置２とした場合は、昇降支持体１９を支持体とし、収納支持体２６を第１載置体として、容器搬送装置４にて、収納支持体２６と第２載置体４４との間で容器１を搬送するようにしてもよい。また、容器搬送装置４をスタッカークレーンとした場合は、物品収納棚の棚板を第１載置体とし、入出庫箇所に備えられた荷受台を第２載置体としてもよい。
ちなみに、例えば、容器搬送装置４を昇降式搬送装置２とした場合は、昇降支持体１９を支持体とし、収納支持体２６を第１載置体として、容器搬送装置４にて、収納支持体２６と第２載置体４４との間で容器１を搬送するようにしてもよい。また、容器搬送装置４をスタッカークレーンとした場合は、物品収納棚の棚板を第１載置体とし、入出庫箇所に備えられた荷受台を第２載置体としてもよい。
（１０）上記実施形態では、容器１を、ＦＯＵＰとしたが、容器１を、複数の工場間での搬送に用いられるＦＯＳＢ（Front Opening Shipping Box）等の他の容器であってもよい。
１ 容器
１ａ 小容器
１ｂ 大容器
４ 容器搬送装置
１１ 第１被係合部
１２ 第２被係合部
４１ 支持体
４２ 移動機構
４３ 第１載置体
４４ 第２載置体
４５ 第１移動機構
４６ 第２移動機構
５１ 第１位置決め部
５２ 第２位置決め部
５３ 第１支持体
５４ 第１係合体
５６ 第２支持体
５７ 第２係合体
５８ 当接体
Ｐ１ 第１位置
Ｐ２ 第２位置
Ｓ１ 第１基準位置
Ｓ２ 第２基準位置
Ｔ１ 第１支持領域
Ｔ２ 第２支持領域
１ａ 小容器
１ｂ 大容器
４ 容器搬送装置
１１ 第１被係合部
１２ 第２被係合部
４１ 支持体
４２ 移動機構
４３ 第１載置体
４４ 第２載置体
４５ 第１移動機構
４６ 第２移動機構
５１ 第１位置決め部
５２ 第２位置決め部
５３ 第１支持体
５４ 第１係合体
５６ 第２支持体
５７ 第２係合体
５８ 当接体
Ｐ１ 第１位置
Ｐ２ 第２位置
Ｓ１ 第１基準位置
Ｓ２ 第２基準位置
Ｔ１ 第１支持領域
Ｔ２ 第２支持領域
Claims (5)
- 容器搬送装置と、位置固定状態で備えられて半導体基板収容用の容器を下方から支持する第１載置体と、位置固定状態で備えられて前記容器を下方から支持する第２載置体と、が備えられ、
前記容器搬送装置は、前記容器を下方から支持する支持体と、前記支持体を移動させる移動機構と、を備え、
前記容器として、小容器と、上下方向に沿って見る上下方向視での大きさが前記小容器より大きい大容器と、の少なくとも２種類が含まれ、
前記小容器は、その底面に３つの溝状の第１被係合部を備え、前記大容器は、その底面に３つの溝状の第２被係合部を備え、
３つの前記第１被係合部の夫々は、その長手方向が前記小容器の底面における第１基準位置を中心とした放射方向に沿う状態で、前記小容器の底面に形成され、
３つの前記第２被係合部の夫々は、その長手方向が前記大容器の底面における第２基準位置を中心とした放射方向に沿う状態で、前記大容器の底面に形成され、
３つの前記第２被係合部の夫々と前記第２基準位置との離間距離はいずれも、３つの前記第１被係合部の夫々と前記第１基準位置との離間距離の最大のものよりも長く、
前記支持体は、前記支持体に支持した前記小容器を前記上下方向視で第１支持領域に位置決めする第１位置決め部と、前記支持体に支持した前記大容器を前記上下方向視で第２支持領域に位置決めする第２位置決め部と、を備え、
前記第２支持領域は、その一部が前記第１支持領域と重複するように設定され、
前記第１位置決め部は、前記小容器を下方から支持する第１支持体と、３つの前記第１被係合部のうちの少なくとも２つに下方から係合する第１係合体と、を備え、
前記第２位置決め部は、前記第１係合体の上端より上方に前記大容器の底面が位置する高さで前記大容器を支持する第２支持体と、前記上下方向視で前記第１支持領域の外側に備えられて３つの前記第２被係合部の一つに係合する第２係合体と、前記上下方向視で前記第１支持領域の外側に備えられて、前記第２支持領域に位置する前記大容器に対して上下方向と交差する方向から当接する当接体と、を備え、
前記容器搬送装置は、前記支持体を予め設定された１つの移動経路に沿って往復移動させて、前記容器を前記第１載置体から前記第２載置体に搬送する又は前記容器を前記第２載置体から前記第１載置体に搬送するように構成されている容器搬送設備。 - 前記移動機構は、前記支持体を水平方向に沿う第１移動方向に沿って移動させる第１移動機構と、前記支持体を上下方向に沿う第２移動方向に沿って移動させる第２移動機構と、を備え、
前記第１移動機構は、前記支持体を前記第２移動方向に沿って移動させて前記支持体と前記第１載置体との間で前記容器を移載する場合に前記上下方向視で前記支持体が位置する第１位置と、前記支持体を前記第２移動方向に沿って移動させて前記支持体と前記第２載置体との間で前記容器を移載する場合に前記上下方向視で前記支持体が位置する第２位置と、に前記支持体を移動させるように構成され、
前記第１移動方向で前記第１載置体に対して前記第２載置体が位置する方向を第１方向とし、前記第１方向とは反対の向きを第２方向として、
前記第１支持領域と前記第２支持領域との位置関係は、前記第１支持領域に位置する前記小容器の前記第１基準位置が前記第２支持領域に位置する前記大容器の前記第２基準位置より前記第１方向側に位置するように設定され、
前記第１位置として、前記支持体と前記第１載置体との間で前記小容器を移載するときの前記支持体の位置である小容器用位置と、前記支持体と前記第１載置体との間で前記大容器を移載するときの前記支持体の位置である大容器用位置と、が設定され、前記小容器用位置は、前記大容器用位置より前記第２方向側に設定されている請求項１記載の容器搬送設備。 - 容器搬送装置と、位置固定状態で備えられて前記容器を下方から支持する第１載置体と、位置固定状態で備えられて前記容器を下方から支持する第２載置体と、が備えられ、
前記容器搬送装置は、半導体基板収容用の容器を下方から支持する支持体と、前記支持体を移動させる移動機構と、を備え、
前記容器として、小容器と、上下方向に沿って見る上下方向視での大きさが前記小容器より大きい大容器と、の少なくとも２種類が含まれ、
前記小容器は、その底面に３つの溝状の第１被係合部を備え、前記大容器は、その底面に３つの溝状の第２被係合部を備え、
３つの前記第１被係合部の夫々は、その長手方向が前記小容器の底面における第１基準位置を中心とした放射方向に沿う状態で、前記小容器の底面に形成され、
３つの前記第２被係合部の夫々は、その長手方向が前記大容器の底面における第２基準位置を中心とした放射方向に沿う状態で、前記大容器の底面に形成され、
３つの前記第２被係合部の夫々と前記第２基準位置との離間距離はいずれも、３つの前記第１被係合部の夫々と前記第１基準位置との離間距離の最大のものよりも長く、
前記支持体は、前記支持体に支持した前記小容器を前記上下方向視で第１支持領域に位置決めする第１位置決め部と、前記支持体に支持した前記大容器を前記上下方向視で第２支持領域に位置決めする第２位置決め部と、を備え、
前記第２支持領域は、その一部が前記第１支持領域と重複するように設定され、
前記第１位置決め部は、前記小容器を下方から支持する第１支持体と、３つの前記第１被係合部のうちの少なくとも２つに下方から係合する第１係合体と、を備え、
前記第２位置決め部は、前記第１係合体の上端より上方に前記大容器の底面が位置する高さで前記大容器を支持する第２支持体と、前記上下方向視で前記第１支持領域の外側に備えられて３つの前記第２被係合部の一つに係合する第２係合体と、前記上下方向視で前記第１支持領域の外側に備えられて、前記第２支持領域に位置する前記大容器に対して上下方向と交差する方向から当接する当接体と、を備え、
前記容器搬送装置は、前記容器を前記第１載置体から前記第２載置体に搬送する又は前記容器を前記第２載置体から前記第１載置体に搬送するように構成され、
前記移動機構は、前記支持体を水平方向に沿う第１移動方向に沿って移動させる第１移動機構と、前記支持体を上下方向に沿う第２移動方向に沿って移動させる第２移動機構と、を備え、
前記第１移動機構は、前記支持体を前記第２移動方向に沿って移動させて前記支持体と前記第１載置体との間で前記容器を移載する場合に前記上下方向視で前記支持体が位置する第１位置と、前記支持体を前記第２移動方向に沿って移動させて前記支持体と前記第２載置体との間で前記容器を移載する場合に前記上下方向視で前記支持体が位置する第２位置と、に前記支持体を移動させるように構成され、
前記第１移動方向で前記第１載置体に対して前記第２載置体が位置する方向を第１方向とし、前記第１方向とは反対の向きを第２方向として、
前記第１支持領域と前記第２支持領域との位置関係は、前記第１支持領域に位置する前記小容器の前記第１基準位置が前記第２支持領域に位置する前記大容器の前記第２基準位置より前記第１方向側に位置するように設定され、
前記第１位置として、前記支持体と前記第１載置体との間で前記小容器を移載するときの前記支持体の位置である小容器用位置と、前記支持体と前記第１載置体との間で前記大容器を移載するときの前記支持体の位置である大容器用位置と、が設定され、前記小容器用位置は、前記大容器用位置より前記第２方向側に設定されている容器搬送設備。 - 前記容器には、半導体基板を出し入れするための開口が形成され、
前記容器における前記開口が形成されている部分を前記容器の前部とし、前記容器における前部とは反対側を前記容器の後部として、前記容器の前部と後部とが並ぶ方向を前後方向とし、その前後方向に対して前記上下方向視で直交する方向を左右方向として、
前記小容器は、３つの前記第１被係合部として、前記第１基準位置より前方に備えられた左右一対の前側第１被係合部と、前記第１基準位置より後方で且つ前記左右方向で中央部に備えられた１つの後側第１被係合部と、を備え、
前記大容器は、３つの前記第２被係合部として、前記第２基準位置より前方に備えられた左右一対の前側第２被係合部と、前記第２基準位置より後方で且つ前記左右方向で中央部に備えられた１つの後側第２被係合部と、を備え、
前記第２係合体は、前記支持体が前記大容器を下方から支持する場合に、前記後側第２被係合部に係合し、
前記移動機構は、前記支持体を水平方向に沿う第１移動方向に沿って移動させる第１移動機構と、前記支持体を上下方向に沿う第２移動方向に沿って移動させる第２移動機構と、を備え、
前記第２載置体は、前記第２載置体に支持した前記小容器を前記上下方向視で第３支持領域に位置決めする第３位置決め部と、前記第２載置体に支持した前記大容器を前記上下方向視で第４支持領域に位置決めする第４位置決め部と、を備え、
前記第４支持領域は、その一部が前記第３支持領域と重複するように設定され、
前記第３位置決め部は、前記小容器における前記左右方向の両端部を下方から支持する第３支持体と、前記一対の前記前側第１被係合部に下方から係合する一対の第３係合体と、を備え、
前記第４位置決め部は、前記大容器における前記左右方向の両端部を支持して前記第３係合体の上端より上方に前記大容器の底面が位置する高さで前記大容器を支持する第４支持体と、前記後側第２被係合部に係合する第４係合体と、前記上下方向視で前記第３支持領域から外れた位置に備えられて前記第４支持領域に位置する前記大容器に対して側方から当接する第２当接体と、を備え、
前記第２載置体は、前記第４支持領域に位置する前記大容器の前記第２基準位置に対して、前記上下方向視で前記第１移動方向に対して直交する方向の一方側に偏った位置に前記第４係合体を備えている請求項１から３の何れか一項に記載の容器搬送設備。 - 容器搬送装置と、位置固定状態で備えられて半導体基板収容用の容器を下方から支持する第１載置体と、位置固定状態で備えられて前記容器を下方から支持する第２載置体と、が備えられ、
前記容器搬送装置は、前記容器を下方から支持する支持体と、前記支持体を移動させる移動機構と、を備え、
前記容器として、小容器と、上下方向に沿って見る上下方向視での大きさが前記小容器より大きい大容器と、の少なくとも２種類が含まれ、
前記小容器は、その底面に３つの溝状の第１被係合部を備え、前記大容器は、その底面に３つの溝状の第２被係合部を備え、
３つの前記第１被係合部の夫々は、その長手方向が前記小容器の底面における第１基準位置を中心とした放射方向に沿う状態で、前記小容器の底面に形成され、
３つの前記第２被係合部の夫々は、その長手方向が前記大容器の底面における第２基準位置を中心とした放射方向に沿う状態で、前記大容器の底面に形成され、
３つの前記第２被係合部の夫々と前記第２基準位置との離間距離はいずれも、３つの前記第１被係合部の夫々と前記第１基準位置との離間距離の最大のものよりも長く、
前記支持体は、前記支持体に支持した前記小容器を前記上下方向視で第１支持領域に位置決めする第１位置決め部と、前記支持体に支持した前記大容器を前記上下方向視で第２支持領域に位置決めする第２位置決め部と、を備え、
前記第２支持領域は、その一部が前記第１支持領域と重複するように設定され、
前記第１位置決め部は、前記小容器を下方から支持する第１支持体と、３つの前記第１被係合部のうちの少なくとも２つに下方から係合する第１係合体と、を備え、
前記第２位置決め部は、前記第１係合体の上端より上方に前記大容器の底面が位置する高さで前記大容器を支持する第２支持体と、前記上下方向視で前記第１支持領域の外側に備えられて３つの前記第２被係合部の一つに係合する第２係合体と、前記上下方向視で前記第１支持領域の外側に備えられて、前記第２支持領域に位置する前記大容器に対して上下方向と交差する方向から当接する当接体と、を備え、
前記容器搬送装置は、前記容器を前記第１載置体から前記第２載置体に搬送する又は前記容器を前記第２載置体から前記第１載置体に搬送するように構成され、
前記容器には、半導体基板を出し入れするための開口が形成され、
前記容器における前記開口が形成されている部分を前記容器の前部とし、前記容器における前部とは反対側を前記容器の後部として、前記容器の前部と後部とが並ぶ方向を前後方向とし、その前後方向に対して前記上下方向視で直交する方向を左右方向として、
前記小容器は、３つの前記第１被係合部として、前記第１基準位置より前方に備えられた左右一対の前側第１被係合部と、前記第１基準位置より後方で且つ前記左右方向で中央部に備えられた１つの後側第１被係合部と、を備え、
前記大容器は、３つの前記第２被係合部として、前記第２基準位置より前方に備えられた左右一対の前側第２被係合部と、前記第２基準位置より後方で且つ前記左右方向で中央部に備えられた１つの後側第２被係合部と、を備え、
前記第２係合体は、前記支持体が前記大容器を下方から支持する場合に、前記後側第２被係合部に係合し、
前記移動機構は、前記支持体を水平方向に沿う第１移動方向に沿って移動させる第１移動機構と、前記支持体を上下方向に沿う第２移動方向に沿って移動させる第２移動機構と、を備え、
前記第２載置体は、前記第２載置体に支持した前記小容器を前記上下方向視で第３支持領域に位置決めする第３位置決め部と、前記第２載置体に支持した前記大容器を前記上下方向視で第４支持領域に位置決めする第４位置決め部と、を備え、
前記第４支持領域は、その一部が前記第３支持領域と重複するように設定され、
前記第３位置決め部は、前記小容器における前記左右方向の両端部を下方から支持する第３支持体と、前記一対の前記前側第１被係合部に下方から係合する一対の第３係合体と、を備え、
前記第４位置決め部は、前記大容器における前記左右方向の両端部を支持して前記第３係合体の上端より上方に前記大容器の底面が位置する高さで前記大容器を支持する第４支持体と、前記後側第２被係合部に係合する第４係合体と、前記上下方向視で前記第３支持領域から外れた位置に備えられて前記第４支持領域に位置する前記大容器に対して側方から当接する第２当接体と、を備え、
前記第２載置体は、前記第４支持領域に位置する前記大容器の前記第２基準位置に対して、前記上下方向視で前記第１移動方向に対して直交する方向の一方側に偏った位置に前記第４係合体を備えている容器搬送設備。
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