CN1576225A - 夹持部升降式输送装置 - Google Patents

Abstract

在对由移动车悬挂支承的夹持部(20)进行升降操作、并对夹持部(20)进行切换为夹持状态和夹持解除状态的操作而将物品(3)从物品放置处(9)收取或在物品放置处(9)将物品(3)放开的输送装置中，当对夹持部(20)进行下降到用于夹持或夹持解除的目标下降位置的操作时，即使发生了下降过量，也能够自动地修正。如果被操作下降到目标下降位置的夹持部(20)发生了下降过量，则通过过量下降检测传感器(34)进行检测，并基于该检测结果，实施对夹持部(20)进行上升操作的上升修正，以使过量下降检测传感器(34)切换为非检测状态。

Description

夹持部升降式输送装置

技术领域

本发明涉及一种夹持部升降式输送装置，该夹持部升降式输送装置构成为：设有通过升降马达可升降地配备着夹持物品的夹持部的物品输送用的移动车；设有以在该移动车停止在用于移载物品的目标位置的状态下、使上述夹持部升降而进行收取放置在物品放置处的物品的收取动作、以及在上述物品放置处将物品放开的放开动作的方式，来控制上述升降马达的动作及将上述夹持部切换为夹持状态和夹持解除状态的切换动作的控制机构；该控制机构基于、检测上述夹持部在上述升降马达的作用下的升降量的升降量检测传感器的检测信息，使上述升降马达动作，并使夹持部下降到目标下降位置，该目标下降位置用于在上述收取动作时将上述夹持部切换为夹持状态，并且在上述放开动作时将上述夹持部切换为夹持解除状态。

背景技术

作为现有技术的夹持部升降式输送装置，有例如特开2003-128381号公报(【0014】-【0021】栏，图2、图4、图5)中公示的技术。在该夹持部升降式输送装置中，设有通过升降马达可升降地配备着悬挂支承对物品起夹持作用的夹持部的吊具的物品输送用的移动车；并设有以在该移动车停止于物品移载用的目标位置的状态下、使上述夹持部升降，进行收取放置于物品放置处的物品的收取动作、以及在上述物品放置处将物品放开的放开动作的方式，来控制上述升降马达的动作及将上述夹持部切换为夹持状态和夹持解除状态的夹持部切换动作的控制机构。

即、输送车备有用钢丝绳悬挂支承的夹持部，在输送车停止于容器收取处的上方位置的状态下，通过由卷筒的驱动马达对钢丝绳进行的升降操作，来操作夹持部升降，并且，进行将夹持部切换为一对的夹持用具在互相靠近的方向上摆动、夹持输送容器的边缘的状态，与一对夹持用具在相互远离的方向上摆动、对输送容器的边缘解除夹持的状态的操作，从而通过夹持部将输送容器从容器收取处收取、或在容器收取处放开。

在这种输送装置中，构成为：设有检测夹持部在升降马达的作用下的升降量的升降量检测传感器，在使夹持部进行收取动作或放开动作时，实施基于升降量检测传感器的检测信息而使升降马达动作的控制，由此，使夹持部下降到用于切换为夹持状态或夹持解除状态的目标下降位置。

在这种输送装置中，如果形成物品放置处的物品放置台发生了设置状况异常等，使得从物品放置处到移动车的移动线路的距离发生变化、或者吊具发生延伸，则基于来自检测夹持部在升降马达的作用下的升降量的升降量检测传感器的检测信息，即使判断夹持部为目标下降位置，而实际上，有时夹持部处于下降超过了目标下降位置的状态。如果夹持部下降超过了目标下降位置，则例如夹持部的夹持卡盘碰到物品部分等，而使得夹持部有时难以切换或不能切换为夹持状态或夹持解除状态。

因此，在现有技术下，构成为，设有检测被操作下降到目标下降位置的夹持部与放置于物品放置处的物品的相对上下位置关系、而检测夹持部下降超过目标下降位置的过量下降检测传感器，如果通过该过量下降传感器检测到夹持部下降过量，则停止输送装置的运转。

在上述现有技术的输送装置中，如果检测到夹持部下降过量，则每次都需要人为地调整物品放置处的设置状况、或消除吊具的延伸等，来进行消除过量下降的作业从而使输送装置的运转再次启动，有比较费事的问题。

发明内容

本发明的目的是提供一种即使发生夹持部的过量下降、也不一定需要费力地消除过量下降而使输送装置的运转继续进行的夹持部升降式输送装置。

为了达成该目的，根据技术方案1所述的发明，是如下构成的夹持部升降式输送装置：设有通过升降马达可升降地配备着夹持物品的夹持部的物品输送用的移动车；

设有以在该移动车停止于用于移载物品的目标位置的状态下、使上述夹持部升降、进行收取放置在物品放置处的物品的收取动作、以及在上述物品放置处将物品放开的放开动作的方式，来控制上述升降马达的动作及将上述夹持部切换为夹持状态和夹持解除状态的切换动作的控制机构；该控制机构基于检测上述夹持部在上述升降马达的作用下的升降量的升降量检测传感器的检测信息，使上述升降马达动作，从而使上述夹持部下降到目标下降位置，该目标下降位置用于在上述收取动作时将上述夹持部切换为夹持状态，并且在上述放开动作时将上述夹持部切换为夹持解除状态，其特征在于，构成为，设有检测下降到目标下降位置的上述夹持部与放置于上述物品放置处的物品的相对上下位置关系、并检测上述夹持部下降超过上述目标下降位置即过量下降状态的过量下降检测传感器，在使上述夹持部下降到上述目标下降位置时，如果通过上述过量下降检测传感器检测到上述过量下降状态，则上述控制机构实施使上述夹持部上升、设定上升量的上升修正处理。

即、如果发生了夹持部的过量下降，则通过过量下降检测传感器进行检测，上述控制机构基于该检测结果而实施上升修正处理，操作夹持部上升设定的上升量。由此，即使夹持部下降超过目标下降位置，也能根据其原因或大小等，自动地进行上升修正来消除下降过量，切换为夹持状态而适当地夹持物品，或切换为夹持解除状态而适当地解除物品夹持。从而，不用特别地进行消除吊具的延伸等的对策作业而继续进行输送运转，并自动地消除夹持部的过量下降、将物品从物品放置处收取、进行输送，并且，在物品放置处将物品放开。

因而，即使发生了夹持部的过量下降，也能够根据情况自动地消除过量下降，按预定的方式进行物品的收取或放开，一边省去在现有技术下消除过量下降所需的作业，并且，无需用于消除过量下降的运转中断，一边继续进行输送作业。

根据技术方案2所述的发明，构成为，上述控制机构在用上述过量下降检测传感器检测过量下降状态的期间，反复实施上述上升修正处理直到达到设定修正次数，在即使实施了该设定修正次数的修正处理后，通过上述过量下降检测传感器仍检测到过量下降状态时，判别为异常。

即、即使通过过量下降检测传感器检测到过量下降并反复实施上升修正处理，在夹持部卡住等的情况下，由于故障，不能消除夹持部的过量下降，而需要进行人为的消除作业。在即使为消除夹持部的过量下降而反复进行了设定为需要的修正次数的设定修正次数的上升修正处理，仍不能消除过量下降的情况下，判别为异常。由此，通过得知判别为异常，能够认识到需要进行人为的消除作业。

因而，根据技术方案2所述的发明，在夹持部的过量下降不能通过上升修正处理消除、而需要消除作业的情况下，能够适当地认识到这种情况、较早地实施消除作业、并较早地再次启动正常的运转。

根据技术方案3所述的发明，构成为，设有检测下降到上述目标下降位置的上述夹持部与放置于上述物品放置处的物品的相对上下位置关系、检测上述夹持部位于上述目标下降位置及该位置附近的正确范围内的正确下降状态的正确下降状态检测传感器，

当上述过量下降检测传感器在上述收取动作及上述放开动作时没有检测到过量下降状态时，并当上述正确下降状态检测传感器没有检测到正确下降状态时，上述控制机构判别为异常。

即、如果形成物品放置处的物品放置台的设置状况发生异常等、发生了从物品放置处到移动车的移动线路的距离比设定距离大的情况，则基于来自上述升降检测传感器的检测信息，即使判断为夹持部处于目标下降位置，而实际上，夹持部有时还没有下降到目标下降位置。此时，过量下降检测传感器未检测到过量下降状态，正确下降状态检测传感器未检测到正确下降状态，则通过控制机构判别为异常。由此，通过得知判别为异常，能够认识到夹持部没有下降到目标下降位置，而需要采取消除该下降不足的对策。

因而，根据技术方案3所述的发明，在发生了夹持部的下降不足时，能够适当地认识到该情况，较早地实施消除作业，较早地再次启动正常的运转。

根据技术方案4所述的特征，构成为，设有在上述放开动作时、检测通过上述夹持部对放置于上述物品放置处的物品的夹持状态，是否为将上述夹持部切换为夹持解除状态所需的、正确的夹持解除用的正确夹持状态的夹持解除确认用传感器，

在上述放开动作时，在上述过量下降检测传感器未检测到过量下降状态、且上述正确下降状态检测传感器检测到正确下降状态的状态下，当上述夹持解除确认用传感器未检测到解除用的正确夹持状态时，上述控制机构实施使上述夹持部下降所设定下降量的放开用的下降修正处理。

即、操作夹持部下降到目标下降位置时，即使夹持部未发生过量下降和下降不足，如果夹持部成为与物品接触等、不适于切换为夹持解除状态所需的正确的夹持状态，则即使进行切换为夹持解除状态的操作，也会因来自物品的摩擦等而难以分离。如果夹持部没有成为适于切换为夹持解除状态所需的正确的夹持状态，则夹持解除确认用传感器检测不到解除用的正确夹持状态，控制机构基于该检测结果实施放开用的下降修正处理，由此，夹持部进行了下降修正、成为切换为适于夹持解除状态所需的正确的夹持状态，如果进行切换操作，则平滑地解除夹持。由此，如果夹持部即使到了目标下降位置也不能成为适于夹持解除所需的正确的夹持状态，就自动地进行下降修正、修正为夹持解除所需的正确的夹持状态，随着切换操作，平滑地切换为夹持解除状态。

因而，根据技术方案4所述的特征，被操作下降到目标下降位置的夹持部即使没有成为解除物品保持所需的正确的夹持状态，也能通过下降修正处理自动修正为解除保持所需的正确的夹持状态而平滑地进行物品保持的解除，没有特别的费力操作而将物品不发生姿势混乱地卸到物品放置处。

根据技术方案5所述的特征，构成为，上述控制机构在上述夹持解除确认用传感器未检测到正确夹持状态的期间反复实施上述放开用的下降修正处理直到达到设定修正次数，在实施了该设定修正次数的下降修正处理后，用上述夹持解除用传感器还检测不到正确夹持状态时，判别为异常。

即、即使通过夹持解除确认用传感器未检测到正确夹持状态而反复实施下降修正处理，在夹持部卡住等的情况下，因为该故障，也无法消除夹持部的不正确的夹持状态，而有时需要人为的消除作业。在即使反复进行了作为解除夹持部的不正确的夹持状态所需的修正次数而设定的设定修正次数的下降修正处理后、仍不能消除不正确的夹持状态时，判别为异常。由此，通过得知判别为异常，能够认识到需要人为的消除作业。

因而，根据技术方案5所述的特征，在夹持部的不正确的夹持状态不能通过下降修正处理消除、而需要消除作业时，能够适当地认识到该情况，较早地实施消除作业、较早地再次启动正常的运转。

根据技术方案6所述的特征，构成为，设有在上述收取动作时，在将上述夹持部切换为夹持状态时、对放置于上述物品放置处的物品的夹持状态是否是正确地夹持着物品的正确夹持状态进行检测的夹持状态检测传感器，在上述收取动作时，当上述过量下降检测传感器未检测到过量下降状态、且上述正确下降状态检测传感器检测到正确下降状态时，上述控制机构将上述夹持部切换为夹持状态、且通过该切换上述夹持状态检测传感器未检测到正确夹持状态时，上述控制机构实施使上述夹持部下降所设定下降量的收取用的下降修正处理。

即、即使操作夹持部下降至目标下降位置时夹持部既未发生过量下降也未发生下降不足，如果夹持部卡在物品上等，则即使进行切换为夹持状态的操作，也难以成为收取物品所需的正确的夹持状态。此时，即使进行将夹持部切换为夹持状态的操作，夹持状态检测传感器也检测不到正确的夹持状态，控制机构基于该检测结果而实施收取用的下降修正处理，对夹持部进行下降修正，若进行切换操作则切换为正确的夹持状态。由此，如果对夹持部进行切换操作也不能切换为正确的夹持状态，则自动地进行下降修正、切换为正确的夹持状态。

因而，根据技术方案6所述的特征，即使被操作下降到目标下降位置的夹持部不能切换为正确的夹持状态，也能通过下降修正处理自动地修正以切换为收取所需的正确的夹持状态、可靠地起到夹持作用，不需要特别的费力操作而可靠地将物品从物品放置处收取、输送。

根据技术方案7所述的特征，构成为，在上述夹持状态检测传感器未检测到正确夹持状态的期间，上述控制机构反复实施上述收取用的下降修正处理直至达到设定修正次数，当实施了该设定修正次数的下降修正处理后用上述夹持状态检测传感器还检测不到正确夹持状态时，判别为异常。

即、即使通过夹持状态检测传感器检测不到正确夹持状态而反复实施下降修正处理，在夹持部卡住等情况下，因为该故障，也不能消除夹持部的不正确的夹持状态，而有时需要人为的消除作业。在反复进行了设定为消除夹持部的不正确的夹持状态所需的修正次数的设定修正次数的下降修正处理后、仍不能消除不正确的夹持状态时，判别为异常。由此，通过得知判别为异常，能够认识到需要人为的消除作业。

因而，根据技术方案7所述的特征，在通过下降修正处理不能消除夹持部的不正确的夹持状态、而需要消除作业的情况下，能够适当地认识到该情况，较早地实施消除作业、较早地再次启动正常的运转。

附图说明

图1是输送装置的立体图。

图2是输送装置的正视图。

图3是移动车及夹持部的正视图。

图4是容器的立体图。

图5是方块图。

图6是收取动作的流程图。

图7是放开动作的流程图。

图8是收取动作的说明图。

图9是放开动作的说明图。

图10是表示收取动作时的上升修正的说明图。

图11是表示收取动作时的下降修正的说明图。

图12是表示放开动作时的上升修正的说明图。

图13是表示放开动作时的下降修正的说明图。

具体实施方式

下面基于附图说明本发明的适当的实施方式。

如图1所示，夹持部升降式输送装置备有：沿着导轨1滑行的移动车10，和通过多根悬挂钢丝绳2可升降地悬挂支承在该移动车10上的夹持部20。

该输送装置，是在制造半导体基板的设备中，基于运转指令自动地运行，将装容半导体基板的容器3输送到各制造工序的制造室的物品取放窗4的外侧的装置。详细构成如下。

如图4所示，容器3由备有将多片半导体基板5装容、取出的取放口6的容器主体3a，和在输送时将取放口6密封的拆装自如的盖体3b构成。在容器主体3a的上表面上，设有能够通过夹持部20夹持的、俯视为矩形的凸缘7。

如图1所示，在各制造室的物品取放窗4的外侧，由物品放置台8的放置面形成了物品放置处9。容器3以上述凸缘7位于容器3的上侧的状态放置在该物品放置处9上。

如图3所示，移动车10备有：搭乘于导轨1的行驶面1a上的行驶轮11，抵接在导轨1的防振导向面1b上的防振轮12，和设置在具有该防振轮12和上述行驶轮11的车体10a与导轨1之间的线性马达(未图示)等。移动车10在该线性马达的驱动力的作用下沿着导轨1在各物品放置处9的上方移动。

如图3等所示，在备有上述行驶轮11和防振轮12的车体10a的下侧，备有：由在移动车10的移动方向上排列的一对贮存框13等形成的物品装容空间14，设置在位于该物品装容空间14的上部的支承框15上的旋转卷筒16及电动升降马达M1，和从上述旋转卷筒16抽出的上述多根的悬挂钢丝绳2等。

将上述多根悬挂钢丝绳2的各自的端部连结在位于上述夹持部20的夹持部框体21的上端的钢丝绳连结部21a上。上述旋转卷筒16被上述升降马达M1驱动围绕移动车上下方向的轴芯在正旋转及逆旋转方向上旋转。即、如果驱动卷筒16沿正逆旋转方向的一个方向旋转，则将上述多根的悬挂钢丝绳2抽出，如果驱动其沿另一方向旋转则将钢丝绳2卷起。这种移动车10，通过上述多根悬挂钢丝绳2悬挂支承夹持部20，通过升降马达M1使旋转卷筒16转动，从而能够进行下面的操作：

(1)通过将悬挂钢丝绳2抽出，利用夹持部20收取放置于物品放置处9上的容器3，

(2)为了通过夹持部20将容器3在物品放置处9放开，而将夹持部20从物品装容空间14向上述物品放置处9降下，

(3)通过升降马达M1操作旋转卷筒16转动、耐操作悬挂钢丝绳2卷起，从而将从物品放置处9收取的容器3装容在物品装容空间14中，以及

(4)为了使放开容器3后的空的夹持部20返回到物品装容空间14(初始位置HP)而将夹持部20拉起。

如图3所示，夹持部20备有：上述夹持部框体21，设于该夹持部框体21的下部的外侧的一对夹持卡盘22，和设置在上述夹持部框体21的内部中的电动夹持马达M2。上述夹持马达M2的输出部通过含有连杆的联动机构23分别连结到一对夹持卡盘22上。通过沿正旋转或逆旋转方向驱动夹持马达M2，操作一对夹持卡盘22围绕基端侧的连结轴24的轴芯摆动，在各夹持卡盘22的爪尖侧相互靠近的闭合位置与各夹持卡盘22的爪尖相互离开的打开位置之间操作。

由此，夹持部20如图3中实线所示，通过用夹持马达M2操作一对夹持卡盘22切换到闭合位置，各夹持卡盘22的爪尖侧进入到容器3的上述凸缘7的下表面侧，变位到通过一对夹持卡盘22夹持容器3的位置。进而，如图3中双点划线所示，通过用夹持马达M2将一对夹持卡盘变位到打开位置，各夹持卡盘22的爪尖侧从凸缘7向外侧离开，成为解除由一对夹持卡盘22夹持容器3的夹持解除状态。

如图3所示，在移动车10的升降马达M1所处的部分上设有升降量检测传感器30。在移动车10的上述支承框15上设有中心偏移传感器31。在夹持部20的夹持部框体21上设有夹持卡盘开闭传感器32。如图5所示，使连结到上述各传感器30～32上的控制机构33，连结到上述升降马达M1及上述夹持马达M2上。如图8所示，使设置在夹持部20上的过量下降检测传感器34、正确下降状态检测传感器35、夹持解除确认用传感器36、夹持状态检测传感器37也连结到上述控制机构33上。

升降量检测传感器30是感知升降马达M1的输出部的旋转的回转式编码器，在升降马达M1将悬挂钢丝绳2抽出时，检测马达输出部的转速，通过将该检测结果转变为电信号输出给控制机构33，检测夹持部20在升降马达M1的作用下的下降量。同样，在升降马达M1对悬挂钢丝绳2进行卷起操作时，升降量检测传感器30检测马达输出部的转速，将该检测结果转变为电信号输出到控制机构33，检测夹持部20在升降马达M1的作用下的上升量。

如图8所示，中心偏移传感器31向设置在夹持部框体21的上述钢丝绳连结部21a上的检测对象体38投射激光a，接收由检测对象体38的反射面反射的激光a而检测接收位置有无变化，将该检测结果转变为电信号输出给控制机构33，从而检测到夹持部20相对于物品放置处9有无位置偏移。

如图8所示，过量下降传感器34具有设置在夹持部框体21上的检测开关，在夹持部20下降到了目标下降位置时，检测是否下降超过了该目标下降位置，并将该检测结果转变为电信号输出给控制机构33。该检测开关具有与下面说明的检测对象体39接触的接触部，具有通过该接触使检测开关内的接触开关变为开启的构造。但是，检测开关也可以是具有与中心偏移传感器31同样的光的投射部和接收部的光学传感器。在此情况下，在检测对象体39遮住投射部与接收部之间的光时，检测到检测对象体39。

即、如图10所示，在夹持部框体21上可上下滑动地设有检测对象体39，随着夹持部20下降到上述目标下降位置，检测对象体39的下端侧的锥体部39a对接在放置于物品放置处9上的容器3的凸缘7的上表面侧。如图10(A)所示，如果夹持部20成为下降超过目标下降位置的状态，则检测对象体39在来自凸缘7的反作用力的作用下相对于夹持部框体21上升，检测对象体39的上端侧移动到与过量下降检测传感器34的检测部对置的位置上，过量下降检测传感器34检测到检测对象体39。如图10(B)所示，如果夹持部20处于没有超过目标下降位置的过量下降的状态，则即使检测对象体39在凸缘7的反作用力的作用下相对于夹持部框体21上升，检测对象体39的上端侧位于偏移过量下降检测传感器34的检测部的位置，过量下降检测传感器34也检测不到检测对象体39。

也就是说，过量下降检测传感器34，通过过量下降检测传感器34与检测对象体39的位置关系来检测下降到目标下降位置的夹持部20与放置于物品放置处9上的容器3的相对上下位置关系，由此来检测夹持部20是否为下降超过了目标下降位置的状态。此外，通过检测对象体39与过量下降检测传感器34的检测部对置，来检测夹持部20处于下降超过目标下降位置的状态。

如图8所示，正确下降状态检测传感器35具有设置在夹持部框体21的比上述过量下降检测传感器34低的设定距离的位置上的检测开关，检测被操作下降至上述目标下降位置的夹持部20是否处在位于目标下降位置及该位置附近的正确范围内的正确下降状态，并将该检测结果转变为电信号输出给控制机构33。可以采用与过量下降检测传感器34同样的检测开关来作为该检测开关。

即、如图8(B)、图9(B)所示，如果夹持部20处在位于目标下降位置及该位置附近的正确范围内的正确下降状态，则检测对象体39在来自凸缘7的反作用力的作用下相对于夹持部框体21上升，检测对象体39的上端侧与正确下降状态检测传感器35的检测部对置、使正确下降状态检测传感器35成为检测状态。如果夹持部20为从上述正确下降状态向上升侧离开的状态，则检测对象体39为从正确下降状态检测传感器35的检测部位置偏移到下侧的状态。

也就是说，正确下降状态检测传感器35通过正确下降状态检测传感器35与检测对象体39的位置关系来检测下降至目标下降位置的夹持部20与放置于物品放置处9上的容器3的相对上下位置关系，由此检测夹持部20是否处于正确下降状态。

如图8所示，夹持解除确认用传感器36具有：设置在上述一对夹持卡盘22的一个爪尖侧上的第1夹持卡盘传感器41，和设置在另一个夹持卡盘22的爪尖侧的第2夹持卡盘传感器42。在将容器3在物品放置处9上放开时，夹持解除确认用传感器36检测将容器3放置在物品放置处9的夹持部20是否为从夹持状态切换为夹持解除状态所需的正确的夹持解除用的正确夹持状态，即、爪尖侧不卡在容器3上而能够平滑地对夹持卡盘22进行打开操作的状态，并将该检测结果转变为电信号输出给控制机构33。第1夹持卡盘传感器41与第2夹持卡盘传感器42都是压敏传感器。如果第1夹持卡盘传感器41和第2夹持卡盘传感器42两者都为非感压状态，则检测到夹持部20为切换成夹持解除状态所需的正确的夹持状态。相反，如果第1夹持卡盘传感器41和第2夹持卡盘传感器42的至少一个为感压状态，则检测到夹持部20未成为切换到夹持解除状态所需的正确的夹持状态。

上述第1夹持卡盘传感器41和上述第2夹持卡盘传感器42也可以发挥作为夹持状态检测传感器37的功能。即、当从物品放置处9收取容器3时，将夹持部20切换成了夹持状态时，检测通过夹持部20对物品放置处9上的放置容器3的夹持状态是否为将容器3正确地夹持的状态，即是否夹持为能够无障碍地从物品放置处9收取夹持容器3的状态，将该检测结果转变为电信号并输出给控制机构33。也就是说，如果第1夹持卡盘传感器41与第2夹持卡盘传感器42两者都为非感压状态，则检测到夹持部20为收取容器3所需的正确的夹持状态。相反，如果第1夹持卡盘传感器41与第2夹持卡盘传感器42的至少一个为感压状态，则检测到夹持部20不是收取容器3所需的正确的夹持状态。

夹持卡盘开闭传感器32基于使一对夹持卡盘22与夹持马达M2连动的上述联动机构23的位置，检测一对夹持卡盘22在夹持位置还是在夹持解除位置，将该检测结果转变为电信号并输出给控制机构33。

控制机构33具有微型计算机，如果输入了运转指令，则实施使移动车10行驶的控制，使移动车10向要进行收取或放开容器3的对应物品放置处9的物品移载用目标位置S(参照图3)移动。如果移动车10到达了移载用目标位置S，则在移动车10停止在该物品移载用目标位置S的状态下使夹持部20升降，进行将放置于物品放置处9上的容器3收取的收取动作、以及在物品放置处9将容器3放开的放开动作，从而如图6、图7所示控制升降马达M1的动作及夹持部20的切换动作。

即、如图6所示，为了进行收取动作，如步骤1所示，向钢丝绳2的抽出侧驱动操作升降马达M1，使夹持部20从物品装容空间14下降。进而，如果基于升降量检测传感器30的检测信息而检测到夹持部20下降到上述目标下降位置，则对升降马达M1进行停止操作、使夹持部20停止下降。

如步骤2、3、4所示，如果夹持部20停止下降，则判断过量下降检测传感器34是否检测到夹持部20有过量下降。在判断为未检测到过量下降、且判断为正确下降状态检测传感器35检测到了正确下降状态的情况下，通过驱动夹持马达M1、将夹持卡盘22闭合，进行将夹持部20切换为夹持状态的操作。接着，如步骤5、6所示，基于来自夹持卡盘开闭传感器32的检测信息，判断夹持卡盘22的闭合动作是否结束，在判断为闭合动作已结束的情况下，向钢丝绳2的卷起侧驱动操作升降马达M1，操作夹持部20上升直至返回到物品装容空间14的初始位置HP(图3)。

在步骤2中，在过量下降检测传感器34检测到夹持部20的过量下降的情况下，如步骤7所示，基于中心偏移传感器31的检测信息判断夹持部20是否发生了相对于物品放置处9的位置偏移，在判断为发生了位置偏移的情况下，判别为异常并使运转停止。在判断未发生位置偏移的情况下，如步骤8、9所示，向钢丝绳2的卷起侧驱动操作升降马达M1，实施使夹持部20仅上升设定上升量的上升修正处理，返回步骤2。该设定上升量优选地设定为使其成为过量下降检测传感器34检测不到过量下降的量，但也可以设定为其它的量。在过量下降检测传感器34检测到过量下降的期间，反复实施上述上升修正处理直至达到设定修正次数，在实施了该设定修正次数的上升修正处理后仍判断为通过过量下降检测传感器34检测到了过量下降的情况下，判别为异常并使运转停止。

在步骤3中，在判断为正确下降状态检测传感器35未检测到正确下降状态的情况下，判别为异常并使运转停止。

在步骤5中，在判断夹持部20的闭合动作没有结束的情况下，如步骤10、11、12所示，基于夹持状态检测传感器37的检测信息来判断夹持部20是否为用于收取的正确夹持状态，在判断为不是用于收取的正确夹持状态的情况下，向钢丝绳2的抽出侧驱动操作升降马达M1，实施使夹持部20仅下降所设定下降量的下降修正处理，返回步骤10。该设定下降量优选地设定为夹持状态检测传感器37足以检测到正确夹持状态的量，但也可以设定为其它的量。在夹持状态检测传感器37检测不到用于收取的正确夹持状态的期间，反复实施上述下降修正处理直至达到设定修正次数，在实施该设定修正次数的下降修正处理后仍判断为夹持状态检测传感器37未检测到用于收取的正确夹持状态的情况下，判别为异常并使运转停止。

在步骤11中，在判断为夹持状态检测传感器37检测到用于收取的正确夹持状态的情况下，如步骤13、14所示，向夹持卡盘22的打开侧驱动操作夹持马达M2，进行将夹持部20切换为夹持解除状态的操作。然后，向钢丝绳2的抽出侧驱动操作升降马达M1，实施使夹持部20仅下降所设定下降量的夹持修正处理，返回步骤2。

如图7所示，为了进行放开动作，如步骤21所示，向钢丝绳2的抽出侧驱动操作升降马达M1，使夹持部20从物品装容空间14下降，如果基于升降量检测传感器30的检测信息而检测到夹持部20下降到上述目标下降位置，则对升降马达M1进行停止操作，使夹持部20的下降停止。

如步骤22、23、24、25所示，如果夹持部20停止下降，则判断过量下降检测传感器34是否检测到夹持部20的过量下降。在判断为未检测到过量下降、且判断为正确下降状态检测传感器35检测到了正确下降状态、进而判断为通过夹持解除确认用传感器36检测到夹持部20为夹持解除所需的正确的夹持状态的情况下，向夹持卡盘22的打开侧驱动操作夹持马达M2，进行将夹持部20切换为夹持解除状态的操作。接着，如步骤26所示，向钢丝绳2的卷起侧驱动操作升降马达M1，操作夹持部20上升直至返回到物品装容空间14的初始位置HP。

在步骤22中，在判断为过量下降检测传感器34检测到夹持部20的过量下降的情况下，如步骤27所示，基于中心偏移传感器31的检测信息来判断是否发生了夹持部20相对于物品放置处9的位置偏移。在判断为发生了位置偏移的情况下，判别为异常并使运转停止。在判断为未发生位置偏移的情况下，如步骤28、29所示，向钢丝绳2的卷起侧驱动操作升降马达M1，实施使夹持部20仅上升设定上升量的上升修正处理，返回步骤22。该设定上升量优选地设定为能充分消除通过过量下降检测传感器34检测到的过量下降的量，但也可以选择其它的量。在过量下降检测传感器34检测过量下降的期间，反复实施上述上升修正处理直至达到设定修正次数，在实施了该设定修正次数的上升修正处理后仍判断为过量下降检测传感器34检测到过量下降的情况下，判别为异常并使运转停止。

在步骤23中，在判断为正确下降状态检测传感器35未检测到正确下降状态的情况下，判别为异常并使运转停止。

在步骤24中，在判断为通过夹持解除确认用传感器36未检测到夹持部20为夹持解除所需的正确的夹持状态的情况下，如步骤30、31所示，向钢丝绳2的抽出侧驱动操作升降马达M1，实施使夹持部20仅下降所设定下降量的下降修正处理，返回步骤22。该设定下降量优选地设定为夹持解除确认用传感器36能充分检测到夹持解除用的正确夹持状态的量，但也可以选择其它的量。在通过夹持解除确认用传感器36检测不到夹持解除用的正确夹持状态的期间，反复实施上述下降修正处理直至达到设定修正次数，在实施了该设定修正次数的下降修正处理后仍判断为通过夹持解除确认用传感器36检测不到夹持解除用的正确的夹持状态的情况下，判别为异常并使运转停止。

由此，如果给予该输送装置收取的运转指令，则使移动车10成为停止在与作业对象的物品放置处9相对应的物品放置用目标位置S的状态，如图8所示那样动作。

即、如图8(A)所示，对悬挂钢丝绳2进行抽出操作，使夹持部20在一对夹持卡盘22打开的夹持解除状态下下降。

如图8(B)所示，如果夹持部20下降到用于将其切换为夹持状态的目标下降位置，则停止悬挂钢丝绳2的抽出操作，使夹持部20的下降停止。

此时，检测对象体39对接在放置于物品放置处9的容器3的凸缘7上、并相对于夹持部框体21上升，如果该上升量正确、并且正确下降状态检测传感器35成为检测状态、过量下降检测传感器34成为非检测状态，则如图8(C)所示，通过夹持马达M2对一对夹持卡盘22进行闭合操作，将夹持部20切换为夹持状态。

此时，如果通过夹持卡盘开闭传感器32检测到一对夹持卡盘22、22的任一个与凸缘7等都未发生干涉而均完全切换为闭合的状态，则如图8(D)所示，对悬挂钢丝绳2进行卷起操作，夹持部20通过一对夹持卡盘22夹持着容器3从物品放置处9收取、提起。

当夹持部20下降到目标下降位置时，如图10(A)所示，如果成为下降超过目标下降位置的状态，则检测对象体39相对于夹持部框体21大幅地上升、过量下降检测传感器34成为检测状态。于是，对悬挂钢丝绳2进行卷起操作，以一对夹持卡盘22、22打开的夹持解除状态对夹持部20进行上升操作，将夹持部20的目标下降位置向上升侧修正，以使检测对象体39下降、正确下降状态检测传感器35成为检测状态，过量下降检测传感器34切换为非检测状态。如果过量下降检测传感器34切换为非检测状态，则如图8(C)所示那样动作。在即使进行了夹持部20的上升修正、过量下降检测传感器34仍没有切换到非检测状态的情况下，反复进行夹持部20的上升修正。在即使该反复次数达到了设定修正次数而过量下降检测传感器34仍没有切换为非检测状态的情况下，以该状态停止运转。

在向闭合侧操作夹持卡盘22时，如图11(A)所示，在夹持卡盘22卡在容器3上而没有完成闭合动作的情况下，如果第1夹持卡盘传感器41与第2夹持卡盘传感器42两者都为感压状态，则夹持状态检测传感器37检测到没有正确地夹持容器3。于是，对悬挂钢丝绳2进行抽出操作而操作夹持部20下降，将夹持部20的目标下降位置向下降侧修正，以使第1夹持卡盘传感器41与第2夹持卡盘传感器42都成为非感压状态、夹持状态检测传感器37切换为正确地夹持容器3的正确夹持状态。如果夹持状态检测传感器37检测到了正确夹持状态，则如图8(C)所示那样动作。

在向闭合侧操作夹持卡盘22时，即使第1夹持卡盘传感器41与第2夹持卡盘传感器42中的一个为非感压状态，但如果另一个为感压状态，则夹持状态检测传感器37也成为检测到没有正确地夹持容器3的状态，对夹持部20进行下降操作，将夹持部20的目标下降位置向下降侧修正。

在即使进行了夹持部20的下降修正，夹持状态检测传感器37仍没有切换为检测到夹持用的正确夹持状态的情况下，反复进行夹持部20的下降修正。在即使该反复次数达到了设定修正次数，夹持状态检测传感器37也没有检测到夹持用的正确夹持状态的情况下，以该状态停止运转。

在向闭合侧操作夹持卡盘22时，如图11(B)所示，夹持卡盘22卡在容器3上，即使第1夹持卡盘传感器41与第2夹持卡盘传感器42两者都为非感压状态，在夹持卡盘22没有完成闭合动作的情况下，操作夹持卡盘22返回到打开侧、使夹持部20返回到夹持解除状态后，对悬挂钢丝绳2进行下降操作而操作夹持部20下降。在接着操作夹持卡盘22切换为闭合侧时进行夹持修正，以使夹持卡盘22完全地切换为闭合状态，夹持部20切换为正确地夹持容器3的正确夹持状态，然后，如图8(C)所示那样动作。

此外，如果给予该输送装置放开的运转指令，则使移动车10成为停止在与作业对象的物品放置处9对应的物品移载用目标位置S的状态，如图9所示那样动作。

即、如图9(A)所示，对悬挂钢丝绳2进行抽出操作，使用一对夹持卡盘22、22夹持着容器3使夹持部20下降。

如图9(B)所示，如果夹持部20下降到用于将其切换为夹持解除状态的目标下降位置，则停止悬挂钢丝绳2的抽出操作，使夹持部20的下降停止。

此时，容器3置于物品放置处9上，与该容器3的凸缘7对接并相对于夹持部框体21上升的检测对象体39的上升量正确，正确下降状态检测传感器35成为检测状态、过量下降检测传感器34成为非检测状态，进而，如果第1夹持卡盘传感器41与第2夹持卡盘传感器42都成为非感压状态、通过夹持解除确认用传感器36检测到夹持部为夹持解除用的正确夹持状态，则如图9(C)所示，通过夹持马达M2对一对夹持卡盘22进行打开操作。

如果一对夹持卡盘22成为打开状态、夹持部20切换为夹持解除状态，则如图9(D)所示，对悬挂钢丝绳2进行卷起操作、操作夹持部20上升，将容器3放置在物品放置处9上。

当夹持部20下降到目标下降位置时，如图12(A)所示，如果成为下降超过目标下降位置的状态，则检测对象体39相对于夹持部框体21大幅地上升，过量下降检测传感器34成为检测状态。于是，如图12(B)所示，对悬挂钢丝绳2进行卷起操作，操作夹持部20以一对夹持卡盘22闭合的夹持状态上升，将夹持部20的目标下降位置向上升侧修正，以使检测对象体39下降、正确下降状态检测传感器35成为检测状态，过量下降检测传感器34切换为非检测状态。如果过量下降检测传感器34切换为非检测状态，则如图9(C)所示那样动作。在即使进行了夹持部20的上升修正、过量下降检测传感器34也没有切换为非检测状态的情况下，反复进行夹持部20的上升修正。在即使该反复次数达到了设定修正次数而过量下降检测传感器34仍没有切换到非检测状态的情况下，以该状态停止运转。

如图13(A)所示，在夹持部20下降到目标下降位置时，如果正确下降状态检测传感器35为检测状态，过量下降检测传感器34为非检测状态，夹持卡盘传感器41、42为感压状态、通过夹持解除确认用传感器36检测到夹持部20不是夹持解除所需的正确的夹持状态，则如图13(B)所示，对悬挂钢丝绳2进行抽出操作、操作夹持部20下降，将夹持部20的目标下降位置向下降侧修正，以使第1夹持卡盘传感器41和第2卡盘传感器42都成为非感压状态，夹持解除确认用传感器36切换为检测到夹持解除用的正确夹持状态的状态。如果夹持解除确认用传感器36检测到了夹持解除用的正确夹持状态，则如图9(C)所示那样动作。在即使进行了夹持部20的下降修正而夹持解除确认用传感器36仍没有切换成检测到夹持解除用的正确夹持状态的状态的情况下，反复进行夹持部20的下降修正。在即使该反复次数达到了设定修正次数，夹持解除确认用传感器36仍没有切换到检测到夹持解除用的正确夹持状态的状态的情况下，以该状态停止运转。

如图3所示，开闭自如地设置在贮存框13的下部的阻挡体45，在将容器3贮存在物品装容空间14中而输送时，延伸到容器3的下方的位置；在进行容器3的收取或放开时，从容器3的下方的位置移动到后退的位置。

其他实施例

也可以采用带、链等各种悬挂部件来实施来代替悬挂钢丝绳2。

本发明除了适用于以将半导体基板5装容在容器3中输送的方式构成的装置之外，也可以适用于以输送半导体基板5以外的各种物品的方式构成的输送装置的情况，也可以适用于以不将物品放入到容器中而直接由夹持部夹持输送的方式构成的输送装置的情况。因而，将容器3或物品统称为物品3。

Claims (7)

1、一种夹持部升降式输送装置，是如下构成的夹持部升降式输送装置：设有通过升降马达可升降地配备着夹持物品的夹持部的物品输送用的移动车；

并设有以在该移动车停止于用于移载物品的目标位置的状态下、使上述夹持部升降而进行收取放置在物品放置处的物品的收取动作、以及在上述物品放置处将物品放开的放开动作的方式，来控制上述升降马达的动作及将上述夹持部切换为夹持状态和夹持解除状态的切换动作的控制机构；

该控制机构基于检测上述夹持部在上述升降马达的作用下的升降量的升降量检测传感器的检测信息，使上述升降马达动作，而使上述夹持部下降到目标下降位置，该目标下降位置用于在上述收取动作时将上述夹持部切换为夹持状态，并且在上述放开动作时将上述夹持部切换为夹持解除状态；

其特征在于，构成为：

设有检测下降到上述目标下降位置的上述夹持部与放置于上述物品放置处的物品的相对上下位置关系、并检测上述夹持部下降超过上述目标下降位置即过量下降状态的过量下降检测传感器；

在使上述夹持部下降到上述目标下降位置时，如果通过上述过量下降检测传感器检测到上述过量下降状态，则上述控制机构实施使上述夹持部上升、设定上升量的上升修正处理。

2、如权利要求1所述的夹持部升降式输送装置，其特征在于，构成为：在用上述过量下降检测传感器检测过量下降状态的期间，上述控制机构反复实施上述上升修正处理直到达到设定修正次数，在即使实施了该设定修正次数的修正处理后、通过上述过量下降检测传感器仍然检测到过量下降状态时，判别为异常。

3、如权利要求1所述的夹持部升降式输送装置，其特征在于，构成为，设有检测下降到上述目标下降位置的上述夹持部与放置于上述物品放置处的物品的相对上下位置关系、并检测上述夹持部位于上述目标下降位置及该位置附近的正确范围内的正确下降状态的正确下降状态检测传感器；

当上述过量下降检测传感器在上述收取动作及上述放开动作时没有检测到过量下降状态时，并当上述正确下降状态检测传感器没有检测到正确下降状态时，上述控制机构判别为异常。

4、如权利要求3所述的夹持部升降式输送装置，其特征在于，构成为，设有在上述放开动作时、检测上述夹持部对放置于上述物品放置处的物品的夹持状态是否为将上述夹持部切换为夹持解除状态所需的、正确的夹持解除用的正确夹持状态的夹持解除确认用传感器。

在上述放开动作时，在上述过量下降检测传感器未检测到过量下降状态、且上述正确下降状态检测传感器检测到正确下降状态的状态下，当上述夹持解除确认用传感器未检测到解除用的正确夹持状态时，上述控制机构实施使上述夹持部下降所设定下降量的放开用的下降修正处理。

5、如权利要求4所述的夹持部升降式输送装置，其特征在于，构成为，在上述夹持解除确认用传感器未检测到正确夹持状态的期间，上述控制机构反复实施上述放开用的下降修正处理直到达到设定修正次数，在即使实施了该设定修正次数的下降修正处理后，用上述夹持解除确认用传感器仍然检测不到正确夹持状态时，判别为异常。

6、如权利要求3所述的夹持部升降式输送装置，其特征在于，构成为，设有在上述收取动作时、将上述夹持部切换为夹持状态时、对放置于上述物品放置处的物品的夹持状态是否是正确地夹持着物品的正确夹持状态进行检测的夹持状态检测传感器；

在上述收取动作时，当上述过量下降检测传感器未检测到过量下降状态、且上述正确下降状态检测传感器检测到正确下降状态时，上述控制机构将上述夹持部切换为夹持状态，且通过该切换而使上述夹持状态检测传感器未检测到正确夹持状态时，上述控制机构实施使上述夹持部下降所设定下降量的收取用的下降修正处理。

7、如权利要求6所述的夹持部升降式输送装置，其特征在于，构成为，在上述夹持状态检测传感器未检测到正确夹持状态的期间、上述控制机构反复实施上述收取用的下降修正处理直至达到设定修正次数，当即使实施了该设定修正次数的下降修正处理后、用上述夹持状态检测传感器仍然检测不到正确夹持状态时，判别为异常。

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