JP2005035770A

JP2005035770A - 把持部昇降式搬送装置

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Publication number: JP2005035770A
Application number: JP2003276751A
Authority: JP
Inventors: Masayuki Iketani; 政之池谷
Original assignee: Daifuku Co Ltd
Current assignee: Daifuku Co Ltd
Priority date: 2003-07-18
Filing date: 2003-07-18
Publication date: 2005-02-10
Anticipated expiration: 2023-07-18
Also published as: CN1576225A; CN100406370C; KR101080100B1; US20050011851A1; TWI314913B; US7255238B2; KR20050009249A; TW200508139A; JP4224784B2

Abstract

【課題】移動車によって吊下げ支持される把持部２０が昇降操作されて、かつ、把持部２０が把持状態と把持解除状態に切り換え操作されて物品３を物品載置箇所９から掬い取ったり、物品３を物品載置箇所９に卸していく搬送装置において、把持部２０が把持や把持解除のための目標下降位置に下降操作されたときに下がり過ぎが発生しても、自動的に補正されるようにする。
【解決手段】目標下降位置に下降操作された把持部２０に下がり過ぎが発生すると、過剰下降検出センサ３４によって検出され、この検出結果に基づいて、過剰下降検出センサ３４が非検出状態に切り換わるように把持部２０を上昇操作する上昇補正が実行される。
【選択図】図８

Description

本発明は、物品に把持作用する把持部を吊下げ支持する吊下げ具を昇降モータにて昇降操作自在に備えた物品搬送用の移動車が設けられ、
その移動車が物品移載用目標位置に停止した状態で、前記把持部を昇降させて、物品載置箇所に載置された物品を掬い取る掬い取り動作、及び、前記物品載置箇所に物品を卸す卸し動作を行うように、前記昇降モータの作動及び前記把持部を把持状態と把持解除状態とに切り換える把持部の切換え作動を制御する制御手段が設けられ、
その制御手段が、前記昇降モータによる前記把持部の昇降量を検出する昇降量検出センサの検出情報に基づいて、前記掬い取り動作において前記把持部を把持状態に切換え且つ前記卸し動作において前記把持部を把持解除状態に切換えるための目標下降位置に下降させるべく、前記昇降モータを作動させるように構成されている把持部昇降式搬送装置に関する。

物品に把持作用する把持部を吊下げ支持する吊下げ具を昇降モータにて昇降操作自在に備えた物品搬送用の移動車が設けられ、その移動車が物品移載用目標位置に停止した状態で、前記把持部を昇降させて、物品載置箇所に載置された物品を掬い取る掬い取り動作、及び、前記物品載置箇所に物品を卸す卸し動作を行うように、前記昇降モータの作動及び前記把持部を把持状態と把持解除状態とに切り換える把持部の切換え作動を制御する制御手段が設けられた把持部昇降式搬送装置として、従来、たとえば特許文献１に示されるものがあった。
すなわち、搬送車８（移動車に相当）がワイヤ２６（吊下げ具に相当）で吊下げ支持する把持部２２を備え、搬送車８が容器受け取り箇所Ｈの上方位置（物品移載用目標位置に相当）に停止した状態で、ドラム駆動用モータＭ１（昇降モータに相当）によってワイヤ２６を昇降操作することによって把持部２２を昇降操作し、かつ、把持部２２を一対の把持具２８が互い近づく方向に揺動して搬送容器２（物品に相当）のフランジ５を把持した状態と、一対の把持具２８が互いに離れる方向に揺動して搬送容器２のフランジ５に対する把持を解除した状態に切り換え操作し、把持部２２によって搬送容器２を容器受け取り箇所Ｈから掬い取ったり、容器受け取り箇所Ｈに卸すようになったものがあった。

この種の搬送装置にあっては、昇降モータによる把持部の昇降量を検出する昇降量検出センサを設け、把持部に掬い取り動作や卸し動作を行わせる際、昇降量検出センサの検出情報に基づいて昇降モータを作動させる制御を実行させ、これによって、把持部を把持状態であるとか把持解除状態に切換えるための目標下降位置に下降させるように構成される。

すなわち、把持部と、物品載置箇所に載置された物品との相対上下位置関係を検出するセンサを設け、このセンサによる検出情報に基づいて昇降モータを作動させる制御を実行させ、これによって、把持部を把持状態に切り換えるための目標下降位置に下降させるように構成すると、この場合、把持部が目標下降位置に到達したことを検出されて把持部の下降を停止させるように昇降モータを停止操作することになり、停止遅延が発生しやすくなったり、把持部が目標下降位置に精度よく停止しにくくなる。
また、物品を物品載置箇所に卸す場合、把持部は物品を把持しながら下降するために前記センサは検出状態のままになり、このセンサの検出情報を採用できなくなる。
このため、把持部を把持状態や把持解除状態に切り換えるための目標下降位置に極力迅速に精度よく下降操作できるように、昇降モータによる把持部の昇降量を検出する昇降量検出センサの検出情報に基づいて把持部を目標下降位置に下降させるという下降操作を採用される。

この種搬送装置において、物品載置箇所を形成する物品載置台の設置具合に異常が発生するなどして物品載置箇所から移動車の移動経路までの距離に変化が発生したり、吊下げ具に延びが発生したりすると、昇降モータによる把持部の昇降量を検出する昇降量検出センサからの検出情報を基に、把持部が目標下降位置になったと判断されても、実際には、把持部が目標下降位置よりも下がり過ぎになっていることがある。把持部が目標下降位置よりも下がり過ぎると、たとえば把持部の把持チャックが物品部分に当たるなどして、把持部が把持状態や把持解除状態に切り換わりにくくなったり切り換わらなくなることがある。

このため、従来、目標下降位置に下降操作された把持部と、物品載置箇所に載置された物品との相対上下位置関係を検出して、把持部が目標下降位置より下降し過ぎたことを検出する過剰下降検出センサを設け、この過剰下降検出センサによって把持部の過剰下降が検出されると、搬送装置の運転が停止されるように構成されていた。

特開２００３−１２８３８１号公報（〔００１４〕−〔００２１〕欄、図２，４，５）

上記した従来の搬送装置にあっては、把持部の過剰下降を検出されると、その都度、物品載置箇所の設置具合を調整したり、吊下げ具の延びを解消するなど、過剰下降を解消する作業を行うことによって搬送装置の運転を再開させる必要があり、手間面などで問題があった。

本発明の目的は、把持部の過剰下降が発生しても、それを解消する手間を必ずしも掛けなくとも搬送装置の運転を続行させることができる把持部昇降式搬送装置を提供することにある。

目的を達成するために、本第１発明にあっては、物品に把持作用する把持部を吊下げ支持する吊下げ具を昇降モータにて昇降操作自在に備えた物品搬送用の移動車が設けられ、その移動車が物品移載用目標位置に停止した状態で、前記把持部を昇降させて、物品載置箇所に載置された物品を掬い取る掬い取り動作、及び、前記物品載置箇所に物品を卸す卸し動作を行うように、前記昇降モータの作動及び前記把持部を把持状態と把持解除状態とに切り換える把持部の切換え作動を制御する制御手段が設けられ、その制御手段が、前記昇降モータによる前記把持部の昇降量を検出する昇降量検出センサの検出情報に基づいて、前記掬い取り動作において前記把持部を把持状態に切換え且つ前記卸し動作において前記把持部を把持解除状態に切換えるための目標下降位置に下降させるべく、前記昇降モータを作動させるように構成されている把持部昇降式搬送装置において、
前記目標下降位置に下降された前記把持部と前記物品載置箇所に載置された物品との相対上下位置関係を検出して、前記把持部が前記目標下降位置よりも下降し過ぎである過剰下降状態であることを検出する過剰下降検出センサが設けられ、
前記制御手段が、前記把持部を前記目標下降位置に下降させたときに、前記過剰下降検出センサにて前記過剰下降状態であることが検出されると、前記把持部を設定上昇量上昇させる上昇補正処理を実行するように構成されている。

すなわち、把持部の過剰下降が発生すると、過剰下降検出センサによって検出されてこの検出結果を基に制御手段が上昇補正処理を実行し、把持部が設定上昇量を上昇操作されるものである。これにより、前記設定上昇量として、把持部の過剰下降を解消するのに必要な上昇操作量を設定しておけば、把持部が目標下降位置から下がり過ぎても、その原因や大きさなどによっては、自動的に上昇補正されて下がり過ぎを解消し、把持状態に支障なく切り換わって物品を適切に把持するようになったり、把持解除状態に支障なく切り換わって物品把持を適切に解除するようになり、吊下げ具の延びを解消するなどの対策作業を特別に行わなくとも、把持部の過剰下降が自動的に解消されて物品を物品載置箇所から掬い取って搬送していくように、かつ、物品を物品載置箇所に卸していくように搬送運転を続行されるようになる。

従って、本第１発明によれば、把持部の過剰下降が発生しても、場合によっては過剰下降が自動的に解消されて物品の掬い取りや卸しが所定どおり行なわれ、従来にあっては過剰下降の解消に必要となっていた作業を不要にしながら、かつ、過剰下降の解消のための運転中断も不要にしながら搬送作業を続行して行なうことができる。

本第２発明にあっては、本第１発明の構成において、前記制御手段が、前記過剰下降検出センサにて過剰下降状態が検出される間は前記上昇補正処理を設定補正回数に達するまで繰り返し実行して、その設定補正回数分の実行後においても前記過剰下降検出センサにより過剰下降状態が検出されたときは異常であると判別するように構成されている。

すなわち、過剰下降検出センサによって過剰下降が検出されて上昇補正処理を繰り返して実行されても、把持部が引っ掛かるなどした場合、トラブルによっては、把持部の過剰下降が解消されず、人為的な解消作業が必要になることがある。把持部の過剰下降の解消に必要な補正回数として設定した設定補正回数を繰り返して上昇補正処理が行われも、過剰下降が解消されない場合には、異常であると判断されるものである。これにより、異常と判断されたことを知ることにより、人為的な解消作業が必要になっていると認識することができる。

従って、本第２発明によれば、把持部の過剰下降が上昇補正処理によって解消されなくて、解消作業が必要になった場合、そのことを適切に認識させ、解消作業を早期に実行させて正常な運転を早期に再開させることができる。

本第３発明にあっては、本第１又は第２発明の構成において、前記目標下降位置に下降された前記把持部と前記物品載置箇所に載置された物品との相対上下位置関係を検出して、前記把持部が前記目標下降位置及びそれに近い適正範囲に位置する適正下降状態であることを検出する適正下降状態検出センサが設けられ、
前記制御手段が、前記掬い取り動作及び前記卸し動作において、前記過剰下降検出センサが過剰下降状態を検出しないときに、前記適正下降状態検出センサが適正下降状態を検出しないときには異常であると判別するように構成されている。

すなわち、物品載置箇所を形成する物品載置台の設置具合に異常が発生するなど、物品載置箇所から移動車の移動経路までの距離が設定距離よりも大になった事態が発生すると、前記昇降量検出センサからの検出情報を基に、把持部が目標下降位置になったと判断されても、実際には、把持部がまだ目標下降位置まで下降していないことがある。この場合、過剰下降検出センサが過剰下降状態を検出せず、適正下降状態検出センサが適正下降状態を検出せず、制御手段によって異常であると判断されるものである。これにより、異常と判断されたことを知ることにより、把持部が目標下降位置まで下降されておらず、その下がり不足を解消する対策が必要であると認識することができる。

従って、本第３発明によれば、把持部の下げ不足が発生した場合、そのことを適切に認識させ、解消作業を早期に実行させて正常な運転を早期に再開させることができる。

本第４発明にあっては、本第３発明の構成において、前記卸し動作において、前記把持部による前記物品載置箇所に載置された物品に対する把持状態が前記把持部を把持解除状態に切り換えるのに適正な把持解除用の適正把持状態であるか否かを検出する把持解除確認用検出センサが設けられ、
前記制御手段が、前記卸し動作においては、前記過剰下降検出センサが過剰下降状態を検出しないでかつ前記適正下降状態検出センサが適正下降状態を検出する状態において、前記把持解除確認用検出センサが解除用の適正把持状態を検出しないときには、前記把持部を設定下降量下降させる卸し用の下降補正処理を実行するように構成されている。

すなわち、把持部が目標下降位置に下降操作され、把持部に過剰下降も下げ不足も発生していなくても、把持部が物品に接触しているなど、把持解除状態に切り換えるのに適正な把持状態になっていなければ、把持解除状態に切り換えるべく操作されても、物品から摩擦などで外れにくくなることがある。ところが、把持部が把持解除状態に切り換えるのに適切な把持状態になっていないと、把持解除確認用検出センサが解除用の適正把持状態を検出せず、この検出結果を基に制御手段が卸し用の下降補正処理を実行し、これにより、把持部が下降補正されて把持解除状態に切り換えるのに適正な把持状態になり、切り換え操作されると、スムーズに把持解除するようになるものである。これにより、把持部が目標下降位置になっても把持解除するのに適正な把持状態になっていなければ、自動的に下降補正されて保持解除に適正な把持状態に補正され、切り換え操作されるに伴い、保持解除状態にスムーズに切り換わるようになる。

従って、本第４発明によれば、目標下降位置に下降操作された把持部が、物品保持を解除するのに適正な把持状態になっていなくても、下降補正処理によって保持解除に適正な把持状態に自動的に補正されて物品保持の解除をスムーズに行い、特別な解消手間を掛けなくとも物品が物品載置箇所に姿勢乱れが出ないように卸される。

本第５発明にあっては、本第４発明の構成において、前記制御手段が、前記把持解除確認用検出センサが適正把持状態を検出しない間は前記卸し用の下降補正処理を設定補正回数に達するまで繰り返し実行して、その設定補正回数分の実行後においても前記把持解除確認用検出センサにて解除用の適正把持状態が検出されないときには異常であると判別するように構成されている。

すなわち、把持解除確認用検出センサによって適正把持状態が検出されなくて下降補正処理を繰り返して実行されても、把持部が引っ掛かるなどした場合、そのトラブルによっては、把持部の不適正な把持状態が解消されず、人為的な解消作業が必要になることがある。把持部の不適正な把持状態の解消に必要な補正回数として設定した設定補正回数を繰り返して下降補正処理が行われも、不適正な把持状態が解消されない場合には、異常であると判断されるものである。これにより、異常と判断されたことを知ることにより、人為的な解消作業が必要になっていると認識することができる。

従って、本第５発明によれば、把持部の不適正な把持状態が下降補正処理によって解消されなくて、解消作業が必要になった場合、そのことを適切に認識させ、解消作業を早期に実行させて正常な運転を早期に再開することができる。

本第６発明にあっては、本第３〜５発明のいずれか一つの構成において、前記掬い取り動作において、前記把持部を把持状態に切り換えたときに前記物品載置箇所に載置された物品に対する把持状態が物品を適正に把持している適正把持状態であるか否かを検出する把持状態検出センサが設けられ、
前記制御手段は、前記掬い取り動作においては、前記過剰下降検出センサが過剰下降状態を検出しないでかつ前記適正下降状態検出センサが適正下降状態を検出するときに、前記把持部を把持状態に切換え、且つ、その切換えにより前記把持状態検出センサが適正把持状態を検出しないときには、前記把持部を設定下降量下降させる掬い取り用の下降補正処理を実行するように構成されている。

すなわち、把持部が目標下降位置に下降操作され、把持部に過剰下降も下げ不足も発生していなくても、把持部が物品に引っ掛かるなどすると、把持状態に切り換えるべく操作されても、物品の掬い取りに適正な把持状態になりにくいことがある。この場合、把持部を把持状態に切り換える操作が行なわれても、把持状態検出センサが適正把持状態を検出せず、この検出結果を基に制御手段が掬い取り用の下降補正処理を実行し、把持部が下降補正され、切り換え操作されれば適正な把持状態に切り換わるようになるものである。これにより、把持部が切り換え操作されても適正な把持状態に切り換わらなければ、自動的に下降補正されて適正な把持状態に切り換わるようになる。

従って、本第６発明によれば、目標下降位置に下降操作された把持部が、掬い取りに適正な把持状態に切り換わらなくなっていても、下降補正処理によって掬い取りに適正な把持状態に切り換わるように自動的に補正されて確実に把持作用するようになり、特別な手間を掛けなくとも物品が物品載置箇所から確実に掬い取られて搬送されていく。

本第７発明にあっては、本第６発明の構成において、前記制御手段が、前記把持状態検出センサが適正把持状態を検出しない間は前記掬い取り用の下降補正処理を設定補正回数に達するまで繰り返し実行して、その設定補正回数分の実行後においても前記把持状態検出センサにて適正把持状態が検出されないときには異常であると判別するように構成されている。

すなわち、把持状態検出センサによって適正把持状態が検出されなくて下降補正処理を繰り返して実行されても、把持部が引っ掛かるなどした場合、そのトラブルによっては、把持部の不適正な把持状態が解消されず、人為的な解消作業が必要になることがある。把持部の不適正な把持状態の解消に必要な補正回数として設定した設定補正回数を繰り返して下降補正処理が行われも、不適正な把持状態が解消されない場合には、異常であると判断されるものである。これにより、異常と判断されたことを知ることにより、人為的な解消作業が必要になっていると認識することができる。

従って、本第７発明によれば、把持部の不適正な把持状態が下降補正処理によって解消されなくて、解消作業が必要になった場合、そのことを適切に認識させ、解消作業を早期に実行させて正常な運転を早期に再開することができる。

以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
図１に示すように、案内レール１に沿って自走する移動車１０、この移動車１０に複数本の吊下げワイヤ２を介して昇降操作自在に吊下げ支持されるようにして設けた把持部２０を備えて、把持部昇降式搬送装置を構成してある。

この搬送装置は、半導体基板を製造する設備において、運転指令に基づいて自動的に運転されて、半導体基板を容器３に収容した状態で各製造工程の製造室の物品出し入れ窓４の外側に搬送していくものであり、詳しくは、次の如く構成してある。

図４に示すように、容器３は、複数枚の半導体基板５を収容したり取り出したりする出し入れ口６を備えた容器本体３ａと、搬送の際に出し入れ口６を密封する着脱自在な蓋体３ｂとによって構成してある。容器本体３ａの天板の上面側に、把持部２０による把持を可能にする容器上下方向視で矩形のフランジ７を設けてある。

図１に示すように、各製造室の物品出し入れ窓４の外側に、物品載置台８の載置面によって物品載置箇所９を形成するとともに、この物品載置箇所９は、容器３を前記フランジ７が容器３の上側に位置する載置向きにして載置するように構成してある。

図３に示すように、移動車１０は、案内レール１の走行面１ａに載った走行輪１１、案内レール１の振れ止め案内面１ｂに作用する振れ止め輪体１２、この振れ止め輪体１２や前記走行輪１１を有する移動車部分と案内レール１の間に設けたリニアモータ（図示せず）などを備えており、このリニアモータの駆動力によって案内レール１に沿って各物品載置箇所９の上方を自走する。

図３などに示すように、移動車１０の前記走行輪１１や振れ止め輪体１２を備える車体部分の下側に、移動車１０の移動方向に並ぶ一対の収納枠１３などによって形成される物品収納室１４、この物品収納室１４の上部に位置する支持枠１５に設けた回転ドラム１６及び電動昇降モータＭ１、前記回転ドラム１６から繰出される前記複数本の吊下げワイヤ２を備えてある。

前記複数本の吊下げワイヤ２それぞれの繰り出し端部を、前記把持部２０の把持部枠体２１の上端側に位置するワイヤ連結部２１ａに連結してある。前記回転ドラム１６は、前記昇降モータＭ１によって移動車上下方向の軸芯まわりで正回転及び逆回転方向に回転駆動されるように構成し、かつ、正逆回転方向の一方に回転駆動されると、前記複数本の吊下げワイヤ２を繰出し操作し、正逆回転方向の他方に回転駆動されると、前記複数本の吊下げワイヤ２を巻き上げ操作するようになっている。

これにより、移動車１０は、前記複数本の吊下げワイヤ２によって把持部２０を吊下げ支持し、昇降モータＭ１によって回転ドラム１６を回動操作して吊下げワイヤ２を繰り出し操作することにより、物品載置箇所９に載置の容器３を把持部２０によって掬い取るように、及び、把持部２０によって容器３を物品載置箇所９に卸すように把持部２０を物品収容室１４から前記物品載置箇所９に向けて下降操作し、昇降モータＭ１によって回転ドラム１６を回動操作して吊下げワイヤ２を巻き上げ操作することにより、物品載置箇所９から掬い取った容器３を物品収容室１４に収容するように、及び、容器３を卸した空の把持部２０を物品収容室１４（ホームポジションＨＰ）に戻すように把持部２０を上昇操作する。

図３に示すように、把持部２０は、前記把持部枠体２１、この把持部枠体２１の下部の外側に設けた一対の把持チャック２２、前記把持部枠体２１の内部に設けた電動把持モータＭ２を備えて構成してある。

図３に示すように、前記把持モータＭ２の出力部は、リンク利用の連動機構２３によって一対の把持チャック２２それぞれの操作部に連動しており、把持モータＭ２は、正回転や逆回転方向に駆動されることにより、一対の把持チャック２２を基端側の連結軸２４の軸芯まわりで揺動操作して、各把持チャック２２の爪先側が互いに寄り合った閉じ状態や各把持チャック２２の爪先側が互いに離れ合った開き状態に操作する。

これにより、把持部２０は、図３に実線で示すように、一対の把持チャック２２が把持モータＭ２によって閉じ状態に切り換え操作されることにより、各把持チャック２２の爪先側が容器３の前記フランジ７の下面側に入り込み、一対の把持チャック２２によって容器３を把持するように把持状態になり、図３に二点鎖線で示すように、一対の把持チャック２２が把持モータＭ２によって開き状態に切り換え操作されることにより、各把持チャック２２の爪先側がフランジ７から外側に外れて、一対の把持チャック２２による容器３の把持を解除するように把持解除状態になる。

図３に示すように、移動車１０の昇降モータＭ１が位置する部分に昇降量検出センサ３０を設け、移動車１０の前記支持枠１５に中心ずれセンサ３１を設け、把持部２０の把持部枠体２１に把持チャック開閉センサ３２を設け、図５に示すように、前記各センサ３０〜３２に連係させた制御手段３３を、前記昇降モータＭ１及び前記把持モータＭ２に連係させてある。前記制御手段３３には、図８に示す如く把持部２０に設けた過剰下降検出センサ３４、適正下降状態検出センサ３５、把持解除確認用検出センサ３６、把持状態検出センサ３７も連係させてある。

昇降量検出センサ３０は、昇降モータ１の出力部に検出作用するロータリエンコーダで成り、昇降モータＭ１が吊下げワイヤ２を繰り出し操作する際、モータ出力部の回転数を検出し、この検出結果を電気信号にして制御手段３３に出力して昇降モータＭ１による把持部２０の下降量を検出させ、昇降モータＭ１が吊下げワイヤ２を巻き上げ操作する際、モータ出力部の回転数を検出し、この検出結果を電気信号にして制御手段３３に出力して昇降モータＭ１による把持部２０の上昇量を検出させる。

中心ずれセンサ３１は、把持部枠体２１の前記ワイヤ連結部２１ａに設けた検出対象体３８に向けてレーザ光ａを投光し、検出対象体３８の反射面で反射したレーザ光ａを受光して受光位置の変化の有無を検出し、この検出結果を電気信号にして制御手段３３に出力して把持部２０の物品載置箇所９に対する位置ずれの有無を検出させる。

過剰下降検出センサ３４は、図８などに示す如く把持部枠体２１に設けた検出スイッチで成り、物品載置箇所９から容器３を掬い取るように、及び、物品載置箇所９に容器３を卸すように下降操作された把持部２０が、容器３を把持するように把持解除状態から把持状態に切り換えたり、容器３を離すように把持状態から把持解除状態に切り換えるための目標下降位置に下降した際、この目標下降位置より下降し過ぎているか否かを検出してこの検出結果を電気信号にして制御手段３３に出力する。

すなわち、図１０などに示すように把持部枠体２１に検出対象体３９を上下摺動自在に設けてあり、把持部２０が前記目標下降位置に下降するに伴い、検出対象体３９の下端側のコーン部３９ａが物品載置箇所９に載置の容器３のフランジ７の上面側に当接する。図１０（イ）に示すように、把持部２０が目標下降位置より過剰下降した状態になると、検出対象体３９がフランジ７からの当接反力によって把持部枠体２１に対して上昇し、検出対象体３９の上端側が過剰下降検出センサ３４の検出部に対向して過剰下降検出センサ３４を検出状態にする。図１０（ロ）に示すように、把持部２０が目標下降位置より過剰下降しない状態にあると、検出対象体３９がフランジ７からの当接反力によって把持部枠体２１に対して上昇しても、検出対象体３９の上端側が過剰下降検出センサ３４の検出部から外れた位置になり、過剰下降検出センサ３４を非検出状態にする。
つまり、過剰下降検出センサ３４は、目標下降位置に下降された把持部２０と、物品載置箇所９に載置の容器３との相対上下位置関係を過剰下降検出センサ３４と検出対象体３９の位置関係によって検出することによって把持部２０が目標下降位置より過剰下降した状態にあるか否かを検出する。また、過剰下降検出センサ３４の検出部に検出対象体３９が対向することにより、把持部２０が目標下降位置より過剰下降した状態にあると検出する。

適正下降状態検出センサ３５は、図８などに示す如く把持部枠体２１の前記過剰下降検出センサ３４より若干低レベルに位置する部位に設けた検出スイッチで成り、前記目標下降位置に下降操作された把持部２０が目標下降位置及びそれに近い適正範囲に位置する適正下降状態にあるか否かを検出してこの検出結果を電気信号にして制御手段３３に出力する。

すなわち、図８（ロ）、図９（ロ）に示すように、把持部２０が目標下降位置及びそれに近い適正範囲に位置する適正下降状態にあると、検出対象体３９がフランジ７からの当接反力によって把持部枠体２１に対して上昇し、検出対象体３９の上端側が適正下降状態検出センサ３５の検出部に対向して適正下降状態検出センサ３５を検出状態にする。把持部２０が前記適正下降状態より上昇側に外れた状態になると、検出対象体３９が適正下降状態検出センサ３５の検出部から下側に位置ずれした状態になる。

つまり、適正下降状態検出センサ３５は、目標下降位置に下降された把持部２０と、物品載置箇所９に載置の容器３との相対上下位置関係を適正下降状態検出センサ３５と検出対象体３９の位置関係によって検出することによって把持部２０が適正下降状態にあるか否かを検出する。また、適正下降状態検出センサ３５は、検出対象体３９を検出することにより、把持部２０が適正下降状態にあると検出する。

把持解除確認用検出センサ３６は、図８などに示す如く前記一対の把持チャック２２の一方の爪先側に設けた第１把持チャックセンサ４１と、他方の把持チャック２２の爪先側に設けた第２把持チャックセンサ４２を備えて成り、物品載置箇所９に容器３を卸す際、物品載置箇所９に容器２を載置した把持部２０が把持状態から把持解除状態に切り換えるのに適正な把持解除用の適正把持状態、すなわち、把持チャック２２を爪先側が容器３に引っ掛からないようにスムーズに開き操作できる状態になっているか否かを検出し、この検出結果を電気信号にして制御手段３３に出力する。

すなわち、第１把持チャックセンサ４１も第２把持チャックセンサ４２も感圧センサで成り、第１把持チャックセンサ４１と第２把持チャックセンサ４２の両方が非感圧状態になっていると、把持部２０が把持解除状態に切り換えるのに適正な把持状態になっていると検出し、第１把持チャックセンサ４１と第２把持チャックセンサ４２の少なくとも一方が感圧状態になっていると、把持部２０が把持解除状態に切り換えるのに適正な把持状態になっていないと検出するようになっている。

把持状態検出センサ３７は、前記第１把持チャックセンサ４１と前記第２把持チャックセンサ４２を備えて成り、物品載置箇所９から容器３を掬い取る際、把持部２０を把持状態に切り換えたとき、把持部２０による物品載置箇所９の載置容器３に対する把持状態が容器３を適正に把持している適正把持状態、すなわち、容器３を物品載置箇所９から掬い上げることが支障なく行なえるように把持している状態になっているか否かを検出し、この検出結果を電気信号にして制御手段３３に出力する。

すなわち、第１把持チャックセンサ４１と第２把持チャックセンサ４２の両方が非感圧状態になっていると、把持部２０が容器３の掬い上げに適正な把持状態になっていると検出し、第１把持チャックセンサ４１と第２把持チャックセンサ４２の少なくとも一方が感圧状態になっていると、把持部２０が容器３の掬い上げに適正な把持状態になっていないと検出するようになっている。

把持チャック開閉センサ３２は、把持モータＭ２と一対の把持チャック２２を連動させている前記連動機構２３を構成している連動部材の作動位置に基づいて一対の把持チャック２２が把持状態や把持解除状態に作動したことを検出し、この検出結果を電気信号にして制御手段３３に出力する。

制御手段３３は、マイクロコンピュータを利用して構成してあり、運転指令を入力すると、移動車１０が容器３の掬い取りや卸しを行なうべき物品載置箇所９に対応する物品移載用目標位置Ｓ（図３参照）に移動するように移動車１０を走行させる制御を実行し、移動車１０が物品移載用目標位置Ｓに到達すると、移動車１０がその物品移載用目標位置Ｓに停止した状態で把持部２０を昇降させて、物品載置箇所９に載置された容器３を掬い取る掬い取り動作、及び、物品載置箇所９に容器３を卸す卸し動作を行なうように、昇降モータＭ１の作動及び把持部２０の切り換え作動を図６、７に示す如く制御するように構成してある。

すなわち、図６に示すように、掬い取り動作を行なわせるには、ステップ１に示すように、昇降モータＭ１をワイヤ２の繰り出し側に駆動操作して把持部２０を物品収容室１４から下降させ、昇降量検出センサ３０による検出情報に基づいて把持部２０が前記下降目標位置に下降したと検出すると、昇降モータＭ１を停止操作して把持部２０の下降を停止させる。
ステップ２，３，４に示すように、把持部２０が下降停止すると、過剰下降検出センサ３４が把持部２０の過剰下降を検出しているか否かを判断する。過剰下降が検出されていないと判断し、かつ、適正下降状態検出センサ３５が適正下降状態を検出していると判断した場合、把持モータＭ１を把持チャック２２の閉じ側に駆動操作して把持部２０を把持状態に切り換える操作を行なう。次に、ステップ５，６に示すように、把持チャック開閉センサ３２からの検出情報を基に、把持チャック２２の閉じ作動が完了したか否かを判断し、閉じ作動が完了したと判断した場合、昇降モータＭ１をワイヤ２の巻き上げ側に駆動操作して把持部２０を物品収容室１４（ホームポジションＨＰ）に戻るまで上昇操作する。

ステップ２において、過剰下降検出センサ３４が把持部２０の過剰下降を検出していると判断した場合、ステップ７に示すように、中心ずれセンサ３１による検出情報を基に把持部２０の物品載置箇所９に対する位置ずれが発生しているか否かを判断し、位置ずれが発生していると判断した場合、異常であると判別して運転を停止させる。位置ずれが発生していないと判断した場合、ステップ８，９に示すように、昇降モータＭ１をワイヤ２の巻き上げ側に駆動操作して、過剰下降検出センサ３４による過剰下降の検出が解消されるものとして設定した設定上昇量だけ把持部２０を上昇させる上昇補正処理を実行してステップ２に戻る。過剰下降検出センサ３４が過剰下降を検出する間は、前記上昇補正処理を設定補正回数に達するまで繰り返し実行し、その設定補正回数分の実行後においても過剰下降検出センサ３４によって過剰下降が検出されていると判断した場合、異常であると判別して運転を停止させる。

ステップ３において、適正下降状態検出センサ３５が適正下降状態を検出していないと判断した場合、異常であると判別して運転を停止させる。

ステップ５において、把持部２０の閉じ作動が完了していないと判断した場合、ステップ１０，１１，１２に示すように、把持状態検出センサ３７による検出情報を基に把持部２０が掬い用の適正把持状態になっているか否かを判断し、掬い用の適正把持状態になっていないと判断した場合、昇降モータＭ１をワイヤ２の繰り出し側に駆動操作して、把持状態検出センサ３７が掬い用の適正把持状態を検出することになるものとして設定した設定下降量だけ把持部２０を下降させる下降補正処理を実行してステップ１０に戻る。把持状態検出センサ３７が掬い用の適正把持状態を検出しない間は、前記下降補正処理を設定補正回数に達するまで繰り返し実行し、その設定補正回数分の実行後においても把持状態検出センサ３７が掬い用の適正把持状態を検出しないと判断した場合、異常であると判別して運転を停止させる。

ステップ１１において、把持状態検出センサ３７が掬い用の適正把持状態を検出していると判断した場合、ステップ１３，１４に示すように、把持モータＭ２を把持チャック２２の開き側に駆動操作して把持部２０を把持解除状態に切り換え操作し、この後、昇降モータＭ１をワイヤ２の繰り出し側に駆動操作して、把持状態検出センサ３７が掬い用の適正把持状態を検出することになるものとして設定した設定下降量だけ把持部２０を下降させる把持補正処理を実行してステップ２に戻る。

図７に示すように、卸し動作を行なわせるには、ステップ２１に示すように、昇降モータＭ１をワイヤ２の繰り出し側に駆動操作して把持部２０を物品収容室１４から下降させ、昇降量検出センサ３０による検出情報に基づいて把持部２０が前記下降目標位置に下降したと検出すると、昇降モータＭ１を停止操作して把持部２０の下降を停止させる。
ステップ２２，２３，２４，２５に示すように、把持部２０が下降停止すると、過剰下降検出センサ３４が把持部２０の過剰下降を検出しているか否かを判断する。過剰下降を検出されていないと判断し、かつ、適正下降状態検出センサ３５が適正下降状態を検出していると判断し、さらに、把持解除確認用検出センサ３６によって把持部２０が把持解除に適正な把持状態にあることを検出されていると判断した場合、把持モータＭ２を把持チャック２２の開き側に駆動操作して把持部２０を把持解除状態に切り換え操作する。次に、ステップ２６に示すように、昇降モータＭ１をワイヤ２の巻き上げ側に駆動操作して把持部２０を物品収容室１４（ホームポジションＨＰ）に戻るまで上昇操作する。

ステップ２２において、過剰下降検出センサ３４が把持部２０の過剰下降を検出していると判断した場合、ステップ２７に示すように、中心ずれセンサ３１による検出情報を基に把持部２０の物品載置箇所９に対する位置ずれが発生しているか否かを判断し、位置ずれが発生していると判断した場合、異常であると判別して運転を停止させる。位置ずれが発生していないと判断した場合、ステップ２８，２９に示すように、昇降モータＭ１をワイヤ２の巻き上げ側に駆動操作して、過剰下降検出センサ３４による過剰下降の検出が解消されるものとして設定した設定上昇量だけ把持部２０を上昇させる上昇補正処理を実行してステップ２２に戻る。過剰下降検出センサ３４が過剰下降を検出する間は、前記上昇補正処理を設定補正回数に達するまで繰り返し実行し、その設定補正回数分の実行後においても過剰下降検出センサ３４が過剰下降を検出していると判断した場合、異常であると判別して運転を停止させる。

ステップ２３において、適正下降状態検出センサ３５が適正下降状態を検出していないと判断した場合、異常であると判別して運転を停止させる。

ステップ２４において、把持解除確認用検出センサ３６によって把持部２０が把持解除に適正な把持状態にあることを検出されていないと判断した場合、ステップ３０，３１に示すように、昇降モータＭ１をワイヤ２の繰り出し側に駆動操作して、把持解除確認用検出センサ３６が把持解除用の適正把持状態を検出することになるものとして設定した設定下降量だけ把持部２０を下降させる下降補正処理を実行してステップ２２に戻る。把持解除確認用検出センサ３６によって把持解除用の適正把持状態を検出されない間は、前記下降補正処理を設定補正回数に達するまで繰り返し実行し、その設定補正回数分の実行後においても把持解除確認用検出センサ３６によって把持解除用の適正な把持状態が検出されないと判断した場合、異常であると判別して運転を停止させる。

これにより、この搬送装置にあっては、掬い取りの運転指令を付与されると、移動車１０を作業対象の物品載置箇所９に対応する物品移載用目標位置Ｓに停止させた状態にして、図８に示すように作動する。

すなわち、図８（イ）に示すように、吊下げワイヤ２を繰り出し操作し、把持部２０を一対の把持チャック２２が開いた把持解除状態で下降させる。
図８（ロ）に示すように、把持部２０がこれを把持状態に切り換えるための目標下降位置に下降すると、吊下げワイヤ２の繰り出し操作を停止して把持部２０の下降を停止させる。
このとき、検出対象体３９が物品載置箇所９に載置されている容器３のフランジ７に当接して把持部枠体２１に対して上昇するが、この上昇量が適正で、適正下降状態検出センサ３５が検出状態になり、過剰下降検出センサ３４が非検出状態になっていると、図８（ハ）に示すように、把持モータＭ２によって一対の把持チャック２２を閉じ操作して把持部２０を把持状態に切り換え操作する。
このとき、一対の把持チャック２２，２２のいずれもフランジ７などに干渉しなくて共に閉じ状態に完全に切り換わったことを把持チャックセンサ３２によって検出されると、図８（ニ）に示すように、吊下げワイヤ２を引き上げ操作し、把持部２０が一対の把持チャック２２によって容器３を把持して物品載置箇所９から掬い取って持ち上げていく。

把持部２０が目標下降位置に下降したとき、図１０（イ）に示すように目標下降位置より下降し過ぎた状態になると、検出対象体３９が把持部枠体２１に対して大幅に上昇して過剰下降検出センサ３４が検出状態になる。すると、吊下げワイヤ２を引き上げ操作して、把持部２０を一対の把持チャック２２，２２が開いた把持解除状態のままで上昇操作し、検出対象体３９が下降して適正下降状態検出センサ３５が検出状態のままになり、過剰下降検出センサ３４が非検出状態に切り換わるように把持部２０の目標下降位置を上昇側に補正する。過剰下降検出センサ３４が非検出状態に切り換わると、図８（ハ）に示すように作動していく。把持部２０の上昇補正を行なっても過剰下降検出センサ３４が非検出状態に切り換わらない場合、把持部２０の上昇補正を繰り返して行なう。その繰り返し回数が設定補正回数に達しても過剰下降検出センサ３４が非検出状態に切り換わらない場合は、その状態で運転を停止する。

把持チャック２２を閉じ側に操作したとき、図１１（イ）に示すように把持チャック２２が容器３に引っ掛かって閉じ作動を完了しない場合、第１把持チャックセンサ４１と第２把持チャックセンサ４２の両方が感圧状態になっていると、把持状態検出センサ３７が容器３を適正に把持していないことの検出状態になる。すると、吊下げワイヤ２を繰り出し操作して把持部２０を下降操作し、第１把持チャックセンサ４１も第２把持チャックセンサ４２も非感圧状態になって把持状態検出センサ３７が容器３を適正に把持した適正把持状態に切り換わるように把持部２０の目標下降位置を下降側に補正する。把持状態検出センサ３７が適正把持状態を検出するようになると、図８（ハ）に示すように作動していく。
把持チャック２２を閉じ側に操作したとき、第１把持チャックセンサ４１と第２把持チャックセンサ４２の一方が非感圧状態になっていても、他方が感圧状態になっていると、把持状態検出センサ３７が容器３を適正に把持していないことの検出状態になり、把持部２０を下降操作して、把持部２０の目標下降位置を下降側に補正する。
把持部２０の下降補正を行なっても把持状態検出センサ３７が把持用の適正把持状態の検出に切り換わらない場合、把持部２０の下降補正を繰り返して行なう。その繰り返し回数が設定補正回数に達しても把持状態検出センサ３７が把持用の適正把持状態を検出するようにならない場合は、その状態で運転を停止する。

把持チャック２２を閉じ側に操作したとき、図１１（ロ）に示すように把持チャック２２が容器３に引っ掛かり、第１把持チャックセンサ４１と第２把持チャックセンサ４２の両方が非感圧状態になっていても、把持チャック２２が閉じ作動を完了していない場合、把持チャック２２を開き側に戻し操作して把持部２０を把持解除状態に戻してから、吊下げワイヤ２を下げ操作して把持部２０を下降操作し、次に把持チャック２２を閉じ側に切り換え操作したときに把持チャック２２が閉じ状態に完全に切り換わって把持部２０が容器３を適正に把持する適正把持状態に切り換わるように把持補正を行い、この後、図８（ハ）に示すように作動していく。

また、この搬送装置にあっては、卸しの運転指令を付与されると、移動車１０を作業対象の物品載置箇所９に対応する物品移載用目標位置Ｓに停止させた状態にして、図９に示すように作動する。

すなわち、図９（イ）に示すように、吊下げワイヤ２を繰り出し操作し、容器３を一対の把持チャック２２，２２で把持している把持部２０を下降させる。
図９（ロ）に示すように、把持部２０がこれを把持解除状態に切り換えるための目標下降位置に下降すると、吊下げワイヤ２の繰り出し操作を停止して把持部２０の下降を停止させる。
このとき、容器３が物品載置箇所９に載り、この容器３のフランジ７に当接して把持部枠体２１に対して上昇した検出対象体３９の上昇量が適正で、適正下降状態検出センサ３５が検出状態に、過剰下降検出センサ３４が非検出状態にそれぞれなり、さらに、第１把持チャックセンサ４１も第２把持チャックセンサ４２も非感圧状態になって把持解除確認用検出センサ３６によって把持部２０が把持解除用の適正把持状態になっていると検出されると、図９（ハ）に示すように、把持モータＭ２によって一対の把持チャック２２を開き操作する。
一対の把持チャック２２が開き状態になって把持部２０が把持解除状態に切り換わると、図９（ニ）に示すように、吊下げワイヤ２を引き上げ操作して把持部２０を上昇操作し、容器３を物品載置箇所９に載置していく。

把持部２０が目標下降位置に下降したとき、図１２（イ）に示すように目標下降位置より下降し過ぎた状態になると、検出対象体３９が把持部枠体２１に対して大幅に上昇して過剰下降検出センサ３４が検出状態になる。すると、図１２（ロ）に示すように、吊下げワイヤ２を引き上げ操作して、把持部２０を一対の把持チャック２２が閉じた把持状態のままで上昇操作し、検出対象体３９が下降して適正下降状態検出センサ３５が検出状態のままになり、過剰下降検出センサ３４が非検出状態に切り換わるように把持部２０の目標下降位置を上昇側に補正する。過剰下降検出センサ３４が非検出状態に切り換わると、図９（ハ）に示すように作動していく。把持部２０の上昇補正を行なっても過剰下降検出センサ３４が非検出状態に切り換わらない場合、把持部２０の上昇補正を繰り返して行なう。その繰り返し回数が設定補正回数に達しても過剰下降検出センサ３４が非検出状態に切り換わらない場合は、その状態で運転を停止する。

図１３（イ）に示すように、把持部２０が目標下降位置に下降したとき、適正下降状態検出センサ３５が検出状態に、過剰下降検出センサ３４が非検出状態にそれぞれあり、把持チャックセンサ４１，４２が感圧状態にあって把持解除確認用検出センサ３６によって把持部２０が把持解除に適正な把持状態にないと検出されていると、図１３（ロ）に示すように、吊下げワイヤ２を繰り出し操作して把持部２０を下降操作し、第１把持チャックセンサ４１も第２把持チャックセンサ４２も非感圧状態になって把持解除確認用検出センサ３６が把持解除用の適正把持状態を検出する状態に切り換わるように把持部２０の目標下降位置を下降側に補正する。把持解除確認用検出センサ３６が把持解除用の適正把持状態を検出するようになると、図９（ハ）に示すように作動していく。把持部２０の下降補正を行なっても把持解除確認用検出センサ３６が把持解除用の適正把持状態を検出する状態に切り換わらない場合、把持部２０の下降補正を繰り返して行なう。その繰り返し回数が設定補正回数に達しても把持解除確認用検出センサ３６が把持解除用の適正把持状態を検出する状態にならない場合は、その状態で運転を停止する。

図３に示すように収納枠１３の下部に開閉操作自在に設けた受け止め体４５は、容器３を物品収納室１４に収納して搬送する際、閉じ操作されて容器３を受け止め支持するものである。容器３の掬い取りや卸しを行なう際は、開放操作される。

〔別実施例〕
吊下げワイヤ２に替えて、ベルト、チェーンなど各種の吊下げ部材を採用して実施してもよい、従って、これら吊下げワイヤ２、ベルト、チェーンなどを総称して吊下げ具２と呼称する。

本発明は、半導体基板５を容器３に収容して搬送するように構成した搬送装置の他、半導体基板５以外の各種の物品を搬送するように構成した搬送装置の場合にも、物品を容器に入れないで直接に把持部で把持して搬送するように構成した搬送装置の場合にも適用できる。従って、容器３や物品を総称して物品３と呼称する。

搬送装置の斜視図搬送装置の正面図移動車及び把持部の正面図容器の斜視図ブロック図掬い動作のフロー図卸し動作のフロー図掬い動作の説明図卸し動作の説明図掬い動作時の上昇補正を示す説明図掬い動作時の下降補正を示す説明図卸し動作時の上昇補正を示す説明図卸し動作時の下降補正を示す説明図

符号の説明

２吊下げ具
３物品
９物品載置箇所
１０移動車
２０把持部
３０昇降量検出センサ
３３制御手段
３４過剰下降検出センサ
３５適正下降状態検出センサ
３６把持解除確認用検出センサ
３７把持状態検出センサ
Ｍ１昇降モータ
Ｓ物品移載用目標位置

Claims

物品に把持作用する把持部を吊下げ支持する吊下げ具を昇降モータにて昇降操作自在に備えた物品搬送用の移動車が設けられ、
その移動車が物品移載用目標位置に停止した状態で、前記把持部を昇降させて、物品載置箇所に載置された物品を掬い取る掬い取り動作、及び、前記物品載置箇所に物品を卸す卸し動作を行うように、前記昇降モータの作動及び前記把持部を把持状態と把持解除状態とに切り換える把持部の切換え作動を制御する制御手段が設けられ、
その制御手段が、前記昇降モータによる前記把持部の昇降量を検出する昇降量検出センサの検出情報に基づいて、前記掬い取り動作において前記把持部を把持状態に切換え且つ前記卸し動作において前記把持部を把持解除状態に切換えるための目標下降位置に下降させるべく、前記昇降モータを作動させるように構成されている把持部昇降式搬送装置であって、
前記目標下降位置に下降された前記把持部と前記物品載置箇所に載置された物品との相対上下位置関係を検出して、前記把持部が前記目標下降位置よりも下降し過ぎである過剰下降状態であることを検出する過剰下降検出センサが設けられ、
前記制御手段が、前記把持部を前記目標下降位置に下降させたときに、前記過剰下降検出センサにて前記過剰下降状態であることが検出されると、前記把持部を設定上昇量上昇させる上昇補正処理を実行するように構成されている把持部昇降式搬送装置。
前記制御手段が、前記過剰下降検出センサにて過剰下降状態が検出される間は前記上昇補正処理を設定補正回数に達するまで繰り返し実行して、その設定補正回数分の実行後においても前記過剰下降検出センサにより過剰下降状態が検出されたときは異常であると判別するように構成されている請求項１記載の把持部昇降式搬送装置。
前記目標下降位置に下降された前記把持部と前記物品載置箇所に載置された物品との相対上下位置関係を検出して、前記把持部が前記目標下降位置及びそれに近い適正範囲に位置する適正下降状態であることを検出する適正下降状態検出センサが設けられ、
前記制御手段が、前記掬い取り動作及び前記卸し動作において、前記過剰下降検出センサが過剰下降状態を検出しないときに、前記適正下降状態検出センサが適正下降状態を検出しないときには異常であると判別するように構成されている請求項１又は２記載の把持部昇降式搬送装置。
前記卸し動作において、前記把持部による前記物品載置箇所に載置された物品に対する把持状態が前記把持部を把持解除状態に切り換えるのに適正な把持解除用の適正把持状態であるか否かを検出する把持解除確認用検出センサが設けられ、
前記制御手段が、前記卸し動作においては、前記過剰下降検出センサが過剰下降状態を検出しないでかつ前記適正下降状態検出センサが適正下降状態を検出する状態において、前記把持解除確認用検出センサが解除用の適正把持状態を検出しないときには、前記把持部を設定下降量下降させる卸し用の下降補正処理を実行するように構成されている請求項３に記載の把持部昇降式搬送装置。
前記制御手段が、前記把持解除確認用検出センサが適正把持状態を検出しない間は前記卸し用の下降補正処理を設定補正回数に達するまで繰り返し実行して、その設定補正回数分の実行後においても前記把持解除確認用検出センサにて解除用の適正把持状態が検出されないときには異常であると判別するように構成されている請求項４記載の把持部昇降式搬送装置。
前記掬い取り動作において、前記把持部を把持状態に切り換えたときに前記物品載置箇所に載置された物品に対する把持状態が物品を適正に把持している適正把持状態であるか否かを検出する把持状態検出センサが設けられ、
前記制御手段は、前記掬い取り動作においては、前記過剰下降検出センサが過剰下降状態を検出しないでかつ前記適正下降状態検出センサが適正下降状態を検出するときに、前記把持部を把持状態に切換え、且つ、その切換えにより前記把持状態検出センサが適正把持状態を検出しないときには、前記把持部を設定下降量下降させる掬い取り用の下降補正処理を実行するように構成されている請求項３〜５のいずれか１項記載の把持部昇降式搬送装置。
前記制御手段が、前記把持状態検出センサが適正把持状態を検出しない間は前記掬い取り用の下降補正処理を設定補正回数に達するまで繰り返し実行して、その設定補正回数分の実行後においても前記把持状態検出センサにて適正把持状態が検出されないときには異常であると判別するように構成されている請求項６記載の把持部昇降式搬送装置。