KR101564543B1 - 세이프티 가이드 시스템 및 이를 가지는 웨이퍼박스의 수평 및 수직 이송 시스템 - Google Patents
세이프티 가이드 시스템 및 이를 가지는 웨이퍼박스의 수평 및 수직 이송 시스템 Download PDFInfo
- Publication number
- KR101564543B1 KR101564543B1 KR1020150080426A KR20150080426A KR101564543B1 KR 101564543 B1 KR101564543 B1 KR 101564543B1 KR 1020150080426 A KR1020150080426 A KR 1020150080426A KR 20150080426 A KR20150080426 A KR 20150080426A KR 101564543 B1 KR101564543 B1 KR 101564543B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- vehicle
- rail
- safety guide
- sensor
- control unit
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67715—Changing the direction of the conveying path
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67718—Changing orientation of the substrate, e.g. from a horizontal position to a vertical position
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
본 발명은 웨이퍼박스를 장착한 비히클이 주행하도록 설치되는 고정레일에 상기 비히클의 승강을 위한 승강레일이 일렬로 위치하는지를 감지하는 레일센서; 상기 비히클을 상기 승강레일로 진입하기 전에 각각 감지하도록, 전후로 간격을 두고서 각각 설치되는 프론트센서 및 리어센서; 상기 비히클이 상기 승강레일로 진입하도록 허용하거나 금지하는 세이프티가이드; 및 상기 레일센서와, 상기 프론트센서 및 상기 리어센서의 감지신호를 각각 수신받아, 상기 세이프티가이드의 동작을 제어하는 제어부;를 포함하도록 한 세이프티 가이드 시스템 및 이를 가지는 웨이퍼박스의 수평 및 수직 이송 시스템에 관한 것이다.
본 발명에 따르면, 웨이퍼박스를 적재한 비히클이 복층의 제조라인으로 상하 이동시, 비히클이 승강 위치인 수직의 통로부에서 추락하거나, 다수의 비히클이 동시에 승강 위치로 진입하여 서로 충돌함으로써 파손되는 사고를 미연에 방지하도록 하고, 이로 인한 웨이퍼의 수율 저하 및 반도체 제조 장비의 가동률 저하를 방지할 수 있다.
본 발명에 따르면, 웨이퍼박스를 적재한 비히클이 복층의 제조라인으로 상하 이동시, 비히클이 승강 위치인 수직의 통로부에서 추락하거나, 다수의 비히클이 동시에 승강 위치로 진입하여 서로 충돌함으로써 파손되는 사고를 미연에 방지하도록 하고, 이로 인한 웨이퍼의 수율 저하 및 반도체 제조 장비의 가동률 저하를 방지할 수 있다.
Description
본 발명은 세이프티 가이드 시스템 및 이를 가지는 웨이퍼박스의 수평 및 수직 이송 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 웨이퍼박스를 적재한 비히클이 복층의 제조라인으로 상하 이동시, 웨이퍼박스 또는 비히클이 추락하는 사고를 미연에 방지하도록 하는 세이프티 가이드 시스템 및 이를 가지는 웨이퍼박스의 수평 및 수직 이송 시스템에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 소자를 제조하기 위하여, 여러 단위 공정을 수행하게 되는데, 이로 인해 반도체 제조라인에서는 웨이퍼(wafer)가 단위 공정 간에 빈번하게 이송된다. 이러한 웨이퍼의 이송을 위하여, 다수의 웨이퍼가 장착된 웨이퍼박스(wafer box)를 비히클(vehicle)에 적재하고, 이러한 비히클이 레일(rail)을 따라 이동함으로써 웨이퍼를 이송시키도록 하는 시스템이 사용된다.
종래의 웨이퍼 이송에 사용되는 기술로는, 한국공개특허 제10-2000-0002397호의 "자동반송시스템의 비히클 운행방법"이 제시된 바 있는데, 이는 물품을 적재하기 위한 복수의 스토커를 따라 양측에 포설되어 각각 스토커 위치에 대응하는 복수의 정차지점들을 가지는 2개의 이송레일, 각 이송레일상에서 운행되는 복수의 비히클을 포함하여 스토커간 물품을 반송하는 자동반송시스템에 있어서의 비히클을 운행함에 있어서, 상기한 일측 이송레일상의 비히클과 타측 이송레일상의 비히클이 상기한 복수의 스토커에 대하여 서로 중복되지 않는 위치의 각 정차지점에서만 정차될 수 있게 하고, 각 이송레일상에서는 비히클들이 적어도 2개의 정차지점 간격을 유지할 수 있게 운행하는 것을 특징으로 하고 있다.
한편, 이러한 종래 기술 외에도, 웨이퍼박스가 적재된 비히클을 이송시, 비히클의 이송 위치 및 이송 동작의 신뢰성이 매우 중요한데, 특히 웨이퍼박스를 적재한 비히클을 복층의 제조라인으로 수직 이동시, 비히클의 추락이나 비히클 간의 충돌 등이 발생하는 문제점을 가지고 있었다.
상기한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 웨이퍼박스를 적재한 비히클이 복층의 제조라인으로 상하 이동시, 비히클이 승강 위치인 수직의 통로부에서 추락하거나, 다수의 비히클이 동시에 승강 위치로 진입하여 서로 충돌함으로써 파손되는 사고를 미연에 방지하도록 하는데 목적이 있다.
본 발명의 다른 목적들은 이하의 실시례에 대한 설명을 통해 쉽게 이해될 수 있을 것이다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 일측면에 따르면, 웨이퍼박스를 장착한 비히클이 주행하도록 설치되는 고정레일에 상기 비히클의 승강을 위한 승강레일이 일렬로 위치하는지를 감지하는 레일센서; 상기 비히클을 상기 승강레일로 진입하기 전에 각각 감지하도록, 전후로 간격을 두고서 각각 설치되는 프론트센서 및 리어센서; 상기 비히클이 상기 승강레일로 진입하도록 허용하거나 금지하는 세이프티가이드; 및 상기 레일센서와, 상기 프론트센서 및 상기 리어센서의 감지신호를 각각 수신받아, 상기 세이프티가이드의 동작을 제어하는 제어부;를 포함하는, 웨이퍼박스 이송 시스템의 세이프티 가이드 시스템이 제공된다.
상기 세이프티가이드는, 상기 제어부에 의해 제어되는 모터; 상기 모터에 의해 회전하도록 설치되고, 회전 각도에 따라 상기 비히클의 통과를 허용하거나 차단하는 차단부재; 및 상기 차단부재가 상기 비히클의 통과를 허용하는 회전 위치와 상기 비히클의 통과를 차단하는 회전 위치를 각각 감지하여, 상기 제어부에 감지신호를 출력하는 회전위치감지부;를 포함할 수 있다.
상기 제어부는, 상기 레일센서에 의해, 상기 승강레일이 상기 고정레일에 일렬로 위치하는 것으로 판단시, 상기 비히클이 상기 승강레일로 진입하도록 상기 세이프티가이드를 제어하되, 상기 프론트센서와 상기 리어센서에 의해 각각 감지되는 구간 사이에 상기 비히클이 다수로 존재하는 것으로 판단시, 상기 다수의 비히클 중에서 최초 진입한 비히클만 상기 승강레일로 진입하도록 상기 세이프티가이드를 제어하고, 상기 레일센서에 의해, 상기 승강레일이 상기 고정레일에 일렬로 위치하지 않는 것으로 판단시, 상기 비히클이 상기 승강레일 측으로 진입하지 못하도록 상기 세이프티가이드를 제어할 수 있다.
경보를 외부로 디스플레이하거나, 음으로 출력하는 경보발생부; 및 사용자의 조작에 의해 리셋신호를 출력하는 리셋조작부;를 더 포함하고, 상기 제어부는, 상기 다수의 비히클 중에서 최초 진입한 비히클을 제외한 나머지 비히클이 상기 승강레일로 진입하지 못하도록 상기 세이프티가이드를 제어한 경우와, 상기 비히클이 상기 승강레일 측으로 진입하지 못하도록 상기 세이프티가이드를 제어한 상태에서 상기 프론트센서 또는 상기 리어센서에 의해 비히클을 감지하는 경우, 상기 경보발생부를 통해서 경보를 발생시키도록 제어함과 아울러, 상기 리셋신호를 수신할 때까지 상기 세이프티가이드의 동작을 정지시킬 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 웨이퍼박스의 경로를 따라 설치되는 고정레일; 상기 고정레일에 일렬로 위치할 수 있도록 승강구동부에 의해 승강하는 승강레일; 상기 고정레일과 상기 승강레일을 따라 주행하고, 웨이퍼박스가 장착되는 다수의 비히클; 및 상기 승강레일이 상기 고정레일에 일렬로 위치하는지 여부에 따라, 상기 고정레일을 따라 주행하는 비히클이 상기 승강레일로 진입하도록 하용하거나 금지하고, 본 발명의 일측면에 따른 웨이퍼박스 이송 시스템의 세이프티 가이드 시스템;을 포함하는, 웨이퍼박스의 수평 및 수직 이송 시스템이 제공된다.
상기 고정레일은, 제 1 위치로 상승한 상기 승강레일의 양측에 각각 위치하도록 설치되고, 제 2 위치로 하강한 상기 승강레일의 양측에 각각 위치하도록 설치됨으로써, 다층으로 배치될 수 있다.
본 발명에 따른 세이프티 가이드 시스템 및 이를 가지는 웨이퍼박스의 수평 및 수직 이송 시스템에 의하면, 웨이퍼박스를 적재한 비히클이 복층의 제조라인으로 상하 이동시, 비히클이 승강 위치인 수직의 통로부에서 추락하거나, 다수의 비히클이 동시에 승강 위치로 진입하여 서로 충돌함으로써 파손되는 사고를 미연에 방지하도록 하고, 이로 인한 웨이퍼의 수율 저하 및 반도체 제조 장비의 가동률 저하를 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시례에 따른 세이프티 가이드 시스템 및 이를 가지는 웨이퍼박스의 수평 및 수직 이송 시스템을 도시한 평면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시례에 따른 세이프티 가이드 시스템 및 이를 가지는 웨이퍼박스의 수평 및 수직 이송 시스템을 도시한 측면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시례에 따른 웨이퍼박스 이송 시스템의 세이프티 가이드 시스템을 도시한 구성도이다.
도 4는 도 2의 A부분을 확대하여 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시례에 따른 웨이퍼박스 이송 시스템의 세이프티 가이드 시스템에서 세이프티가이드의 동작을 설명하기 위한 평면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시례에 따른 웨이퍼박스 이송 시스템의 세이프티 가이드 시스템에서 세이프티가이드의 동작을 설명하기 위한 측면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시례에 따른 세이프티 가이드 시스템 및 이를 가지는 웨이퍼박스의 수평 및 수직 이송 시스템을 도시한 측면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시례에 따른 웨이퍼박스 이송 시스템의 세이프티 가이드 시스템을 도시한 구성도이다.
도 4는 도 2의 A부분을 확대하여 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시례에 따른 웨이퍼박스 이송 시스템의 세이프티 가이드 시스템에서 세이프티가이드의 동작을 설명하기 위한 평면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시례에 따른 웨이퍼박스 이송 시스템의 세이프티 가이드 시스템에서 세이프티가이드의 동작을 설명하기 위한 측면도이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고, 여러 가지 실시례를 가질 수 있는 바, 특정 실시례들을 도면에 예시하고, 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니고, 본 발명의 기술 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 식으로 이해되어야 하고, 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시례에 한정되는 것은 아니다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시례를 상세히 설명하며, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 대응하는 구성요소에 대해서는 동일한 참조 번호를 부여하고, 이에 대해 중복되는 설명을 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시례에 따른 세이프티 가이드 시스템 및 이를 가지는 웨이퍼박스의 수평 및 수직 이송 시스템을 도시한 평면도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시례에 따른 세이프티 가이드 시스템 및 이를 가지는 웨이퍼박스의 수평 및 수직 이송 시스템을 도시한 측면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시례에 따른 웨이퍼박스의 수평 및 수직 이송 시스템(200)은 고정레일(210), 승강레일(220), 비히클(vehicle; 230) 및 세이프티 가이드 시스템(100)을 포함할 수 있다. 여기서 세이프티 가이드 시스템(100)은 본 발명의 일 실시례에 따른 웨이퍼박스 이송 시스템의 세이프티 가이드 시스템으로서, 해당부분에서 설명하기로 한다.
고정레일(210)은 웨이퍼박스(10)의 경로를 따라 설치되고, 간격을 두고서 각각 설치되는 레일고정부(210)에 의해 고정되는데, 본 실시례에서처럼 다층으로 배치됨으로써, 복층 구조를 가진 제조시스템 각각에 대해서 각 층에 대한 웨이퍼박스(10)의 이송 경로를 제공하도록 설치될 수 있고, 본 실시례에서처럼 제 1 위치, 예컨대 최대 높이로 상승한 승강레일(220)의 양측에 각각 위치하도록 설치됨으로써 제 1 위치에 도달한 승강레일(220)과 함께 웨이퍼박스(10)의 이송 경로를 제공할 수 있고, 제 2 위치, 예컨대 최소 높이로 하강한 승강레일(220)의 양측에 각각 위치하도록 설치됨으로써 제 2 위치에 도달한 승강레일(220)과 함께 웨이퍼박스(10)의 이송 경로를 제공할 수 있다.
고정레일(210)은 일례로 2층으로 배치될 수 있고, 이에 한하지 않고 3층 이상의 복층으로 배치될 수 있고, 단일의 레일로 이루어질 수 있으며, 이에 한하지 않고 서로 나란하게 배치되는 복수의 레일로 이루어질 수 있다. 이 경우 승강레일(220)은 고정레일(210)이 각각 배치되는 층에 정지 내지 승강할 수 있도록 구성될 수 있고, 고정레일(210)의 개수와 동일한 개수의 레일로 이루어질 수 있다. 따라서, 세이프티 가이드 시스템(100)은 고정레일(210)이 다층으로 구성되는 경우, 고정레일(210)이 위치하는 각 층마다 마련될 수 있음은 물론이며, 본 실시례에서는 도 1 및 도 4에서와 같이 상기의 제 1 위치에서의 세이프티 가이드 시스템(100)을 예로 들어 설명하기로 한다.
승강레일(220)은 비히클(230)이 승강할 수 있도록 고정레일(210)과 동일 내지 유사한 단면구조를 가질 수 있고, 고정레일(210)에 일렬로 위치할 수 있도록 승강구동부(미도시)에 의해 승강하는데, 이로 인해 고정레일(210)의 불연속적인 부분에 위치하여 승강구동부(미도시)에 의해 하강 또는 상승 또는 승강하도록 설치될 수 있다. 여기서 승강구동부는 일례로 모터의 구동력에 의한 권선되는 와이어에 의해 승강레일(220)을 승강시키거나, 다른 예로서 모터의 구동력에 의해 회전하는 리드스크루가 승강레일(220)에 마련되는 볼스크루에 나사 결합됨으로써 승강레일(220)을 승강시키거나, 또 다른 예로서, 모터의 구동력에 의해 회전하도록 승강레일(220)에 설치되는 피니언이 수직되게 고정되는 래크를 따라 이동함으로써 승강레일(220)을 승강시키거나, 또 다른 예로서, 실린더의 구동에 의해 승강레일(220)을 승강시키거나, 또 다른 예로서 리니어모터의 구동에 의해 승강레일(220)을 승강시키거나, 그 밖에 다양한 구동수단의 구동력을 직선운동으로 전환함으로써 승강레일(220)을 승강시킬 수 있다. 한편, 승강레일(220)은 스테이션(240) 내에 마련되는 수직의 통로부(241)를 승강하도록 설치될 수 있고, 수직의 가이드부재에 슬라이딩 가능하게 결합됨으로써 수직 운동이 가이드되도록 할 수도 있다.
승강레일(220)은 제어부(150)나 웨이퍼박스의 수평 및 수직 이송 시스템(200)의 메인 제어부 등에 의해, 구동수단의 구동량, 예컨대 모터의 회전량이나 실린더의 행정 등을 제어함으로써 고정레일(210)과 일렬을 이루는 위치 또는 목표 위치에 정지할 수 있고, 이와 달리, 승강레일(220)의 위치를 검출하도록 각각의 정지 위치에 설치되는 센서의 감지신호를 수신받은 제어부(150) 또는 웨이퍼박스의 수평 및 수직 이송 시스템(200)의 메인 제어부 등에 의해 승강 위치가 제어될 수 있다.
비히클(230)은 다수로 이루어져서, 각각에 웨이퍼박스(10)가 착탈 가능하게 장착될 수 있고, 자신에 마련되는 주행구동부의 구동력에 의해 고정레일(210)과 승강레일(220)을 따라 주행할 수 있으며, 제어부(150)나 웨이퍼박스의 수평 및 수직 이송 시스템(200)의 메인 제어부 등의 제어신호나, 주행 경로 상에 설치되는 센서의 감지신호에 의해 주행과 정지가 제어될 수 있다. 웨이퍼박스(10)는 예컨대 다수의 웨이퍼가 나란하게 적재되기 위한 슬롯 내지 적재부를 가질 수 있고, 개폐 가능한 커버가 마련될 수 있다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 세이프티 가이드 시스템(100)은 승강레일(220)이 고정레일(210)에 일렬로 위치하는지 여부에 따라, 고정레일(210)을 따라 주행하는 비히클(230)이 승강레일(220)로 진입하도록 하용하거나 금지하는데, 예컨대 레일센서(110), 프론트센서(120) 및 리어센서(130), 세이프티가이드(140) 및 제어부(150)를 포함할 수 있다.
레일센서(110)은 웨이퍼박스(10)를 장착한 비히클(230)이 주행하도록 설치되는 고정레일(210)에 비히클(230)의 승강을 위한 승강레일(220)이 일렬로 위치하는지를 감지한다.
프론트센서(120) 및 리어센서(130)는 비히클(230)을 승강레일(220)로 진입하기 전에 각각 감지하도록, 비히클(230)의 주행 경로에서 승강레일(220)의 전단에 전후로 간격을 두고서 각각 설치될 수 있다. 여기서 프론트센서(120) 및 리어센서(130)의 간격은 예컨대 프론트센서(120) 및 리어센서(130) 사이에 다수의 비히클(230), 예컨대 2개의 비히클(230)이 주행시, 세이프티가이드(140)가 이들 중 최초 진입한 비히클(230)을 통과시키되, 다른 비히클(230)의 통과를 안정적으로 차단할 수 있도록 하는 시간을 고려하여 정해질 수 있다.
레일센서(110), 프론트센서(120) 및 리어센서(130)는 예컨대 근접센서, 접촉센서 등을 비롯하여 다양한 감지센서로 이루어질 수 있으며, 일례로 광센서로 이루어질 수 있고, 상기한 위치에 피감지물을 감지하도록 센서브라켓 등에 의해 정해진 위치에 고정될 수 있다.
도 5 및 도 6을 참조하면, 세이프티가이드(140)는 비히클(230)이 승강레일(220)로 진입하도록 허용하거나 금지하는데, 예컨대 제어부(150)에 의해 제어되는 모터(141)와, 모터(141)에 의해 회전하도록 설치되고, 회전 각도에 따라 비히클(230)의 통과를 허용하거나 차단하는 차단부재(142)와, 차단부재(142)가 비히클(230)의 통과를 허용하는 회전 위치와 비히클(230)의 통과를 차단하는 회전 위치를 각각 감지하여, 제어부(140)에 감지신호를 출력하는 회전위치감지부(143,144)를 포함할 수 있다. 여기서 모터(141)는 브라켓(146)에 의해 설치되는 감속기(145)를 통해서 차단부재(142)의 회전축에 회전력을 전달하도록 설치될 수 있다. 차단부재(142)는 예컨대 고정레일(210)의 측부에 이격되게 설치되어 고정레일(210)과 나란하게 배치시, 비히클(230)이 고정레일(210)을 따라 통과하도록 허용하고, 고정레일(210)에 수직되게 교차하는 방향으로 배치시, 비히클(230)이 고정레일(210)을 따라 통과하지 못하도록 차단하게 되는데, 수직을 이루는 차단판(142a)을 가질 수 있다. 또한 회전위치감지부(143,144)는 예컨대 본 실시례에서처럼 한 쌍으로 이루어짐으로써 상기의 회전 위치 각각을 감지할 수 있는데, 일례로 차단부재(142)에 설치된 감지편(142b)이 접속편(143a,144a)에 접촉됨으로써 스위칭되는 접촉식 센서로 이루어질 수 있고, 다른 예들로서 감지편(142b)을 감지하는 말굽형태의 광센서를 비롯하여 근접센서 등과 같은 비접촉식 센서로도 이루어질 수 있다.
제어부(150)는 레일센서(110)와, 프론트센서(120) 및 리어센서(130)의 감지신호를 각각 수신받아, 세이프티가이드(140)의 동작을 제어하는데, 예컨대 레일센서(110)에 의해, 승강레일(220)이 고정레일(210)에 일렬로 위치하는 것으로 판단시, 비히클(230)이 승강레일(220)로 진입하도록 세이프티가이드(140)를 제어하되, 프론트센서(120)와 리어센서(130)에 의해 각각 감지되는 구간 사이에 비히클(230)이 다수로 존재하는 것으로 판단시, 다수의 비히클(230) 중에서 최초 진입한 비히클(230)만 승강레일(220)로 진입하도록 세이프티가이드(140)를 제어할 수 있다. 또한 제어부(150)는 레일센서(110)에 의해, 승강레일(220)이 고정레일(210)에 일렬로 위치하지 않는 것으로 판단시, 비히클(230)이 승강레일(220) 측으로 진입하지 못하도록 세이프티가이드(140)를 제어할 수 있다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시례에 따른 웨이퍼박스 이송 시스템의 세이프티 가이드 시스템(100)은 경보를 외부로 디스플레이하거나, 음으로 출력하는 경보발생부(160)와, 사용자의 조작에 의해 리셋신호를 출력하는 리셋조작부(170)가 마련될 수 있다. 경보발생부(160)는 웨이퍼박스의 수평 및 수직 이송 시스템(200)의 조작이나 동작 상태 등을 디스플레이하는 디스플레이장치나 별도의 디스플레이장치 또는 경보발생용 램프 등으로 이루어질 수 있고, 이와 달리 경보음을 출력하는 스피커 등으로 이루어질 수도 있다. 이때 제어부(150)는 다수의 비히클(230) 중에서 최초 진입한 비히클(230)을 제외한 나머지 비히클(230)이 승강레일(220)로 진입하지 못하도록 세이프티가이드(140)를 제어한 경우와, 비히클(230)이 승강레일(220) 측으로 진입하지 못하도록 세이프티가이드(140)를 제어한 상태에서 프론트센서(120) 또는 리어센서(130)에 의해 비히클(230)을 감지하는 경우, 경보발생부(160)를 통해서 경보를 발생시키도록 제어함과 아울러, 리셋조작부(170)의 리셋신호를 수신할 때까지 세이프티가이드(140)의 동작을 정지시킬 수 있다.
이와 같은 본 발명에 따른 세이프티 가이드 시스템 및 이를 가지는 웨이퍼박스의 수평 및 수직 이송 시스템의 작용을 설명하기로 한다.
먼저, 비히클(230)이 스테이션(240) 내에서 정지하고, 웨이퍼박스의 수평 및 수직 이송 시스템(200)의 메인 제어부에서 비히클(230)의 층간 이송 명령을 수령해서, 승강레일(220)이 승강구동부의 구동에 의해 고정레일(210)로 이동하고, 레일센서(110)가 고정레일(210)에 일렬로 배치되는 승강레일(220)을 감지하면, 제어부(150)는 세이프티가이드(140)가 비히클(230)이 승강레일(220)로 진입할 수 있도록 허용함으로써 오픈(open)되도록 한다. 이때 제어부(150)는 비히클(230)이 지나가면서 프론트센서(120)에 감지되면, 비히클(230)의 반입 대수를 확인하고, 비히클(230)이 리어센서(130)를 지나면서 감지되면, 비히클(230)의 반입 대수를 리셋하게 되는데, 이 과정을 통해 프론트센서(120)와 리어센서(130) 사이에 비히클(230)이 몇 대 존재하는지를 판단하게 된다. 한편, 제어부(150)는 승강레일(220)이 정해진 위치로 이동해서 레일센서(110)가 승강레일(220)을 감지하지 못하면, 세이프티가이드(140)가 비히클(230)의 통과를 금지하도록 클로즈(close)되도록 한다.
한편, 레일센서(110)가 승강레일(220)을 감지하지 못한 상태에서 프론트센서(120)와 리어센서(130)에 비히클(230)이 감지되면, 세이프티가이드(140)는 클로즈되고, 이 상태에서는 레일센서(110)가 승강레일(220)을 감지하여도 세이프티가이드(140)가 오픈되지 않도록 제어된다. 이러한 이상 상태에서의 처리는 사용자가 확인후에 수동으로 리셋조작부(170)의 조작에 의해 리셋함으로써 세이프티가이드(140)가 동작되도록 할 수 있다. 이러한 이상 상태는 경보발생부(160)를 통해서 확인할 수 있도록 한다.
또한 레일센서(110)가 승강레일(220)을 감지한 상태에서 프론트센서(120)가 비히클(230)를 감지한 후에, 다른 비히클(230)이 진입해서 프론트센서(120)가 이를 감지하면, 첫 번째 진입한 비히클(230)을 리어센서(130)에서 감지한 후, 세이프티가이드(140)는 레일센서(110)가 비록 승강레일(220)을 감지하더라도 즉시 클로즈되도록 제어될 수 있다. 이러한 이상 상태의 처리는 사용자가 확인후에 수동으로 리셋조작부(170)의 조작에 의해 리셋함으로써 세이프티가이드(140)가 동작되도록 할 수 있다. 이러한 이상 상태는 경보발생부(160)를 통해서 확인할 수 있도록 한다.
이와 같이, 본 발명에 따른 세이프티 가이드 시스템 및 이를 가지는 웨이퍼박스의 수평 및 수직 이송 시스템에 따르면, 웨이퍼박스를 적재한 비히클이 복층의 제조라인으로 상하 이동시, 비히클이 승강 위치인 수직의 통로부에서 추락하거나, 다수의 비히클이 동시에 승강 위치로 진입하여 서로 충돌함으로써 파손되는 사고를 미연에 방지하도록 하고, 이로 인한 웨이퍼의 수율 저하 및 반도체 제조 장비의 가동률 저하를 방지할 수 있다.
이와 같이 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 설명하였으나, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 이루어질 수 있음은 물론이다. 그러므로, 본 발명의 범위는 설명된 실시례에 한정되어서는 아니되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이러한 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
10 : 웨이퍼박스 110 : 레일센서
120 : 프론트센서 130 : 리어센서
140 : 세이프티가이드 141 : 모터
142 : 차단부재 142a : 차단판
142b : 감지편 143,144 : 회전위치감지부
143a,144a : 접속편 145 : 감속기
146 : 브라켓 150 : 제어부
160 : 경보발생부 170 : 리셋조작부
210 : 고정레일 211 : 레일고정부
220 : 승강레일 230 : 비히클
240 : 스테이션 241 : 통로부
120 : 프론트센서 130 : 리어센서
140 : 세이프티가이드 141 : 모터
142 : 차단부재 142a : 차단판
142b : 감지편 143,144 : 회전위치감지부
143a,144a : 접속편 145 : 감속기
146 : 브라켓 150 : 제어부
160 : 경보발생부 170 : 리셋조작부
210 : 고정레일 211 : 레일고정부
220 : 승강레일 230 : 비히클
240 : 스테이션 241 : 통로부
Claims (6)
- 웨이퍼박스를 장착한 비히클이 주행하도록 설치되는 고정레일에 상기 비히클의 승강을 위한 승강레일이 일렬로 위치하는지를 감지하는 레일센서;
상기 비히클을 상기 승강레일로 진입하기 전에 각각 감지하도록, 전후로 간격을 두고서 각각 설치되는 프론트센서 및 리어센서;
상기 비히클이 상기 승강레일로 진입하도록 허용하거나 금지하는 세이프티가이드; 및
상기 레일센서와, 상기 프론트센서 및 상기 리어센서의 감지신호를 각각 수신받아, 상기 세이프티가이드의 동작을 제어하는 제어부;를 포함하고,
상기 세이프티가이드는,
상기 제어부에 의해 제어되는 모터;
상기 모터에 의해 회전하도록 설치되고, 회전 각도에 따라 상기 비히클의 통과를 허용하거나 차단하는 차단부재; 및
상기 차단부재가 상기 비히클의 통과를 허용하는 회전 위치와 상기 비히클의 통과를 차단하는 회전 위치를 각각 감지하여, 상기 제어부에 감지신호를 출력하는 회전위치감지부;
를 포함하는, 웨이퍼박스 이송 시스템의 세이프티 가이드 시스템. - 삭제
- 청구항 1에 있어서,
상기 제어부는,
상기 레일센서에 의해, 상기 승강레일이 상기 고정레일에 일렬로 위치하는 것으로 판단시, 상기 비히클이 상기 승강레일로 진입하도록 상기 세이프티가이드를 제어하되, 상기 프론트센서와 상기 리어센서에 의해 각각 감지되는 구간 사이에 상기 비히클이 다수로 존재하는 것으로 판단시, 상기 다수의 비히클 중에서 최초 진입한 비히클만 상기 승강레일로 진입하도록 상기 세이프티가이드를 제어하고, 상기 레일센서에 의해, 상기 승강레일이 상기 고정레일에 일렬로 위치하지 않는 것으로 판단시, 상기 비히클이 상기 승강레일 측으로 진입하지 못하도록 상기 세이프티가이드를 제어하는, 웨이퍼박스 이송 시스템의 세이프티 가이드 시스템. - 청구항 3에 있어서,
경보를 외부로 디스플레이하거나, 음으로 출력하는 경보발생부; 및
사용자의 조작에 의해 리셋신호를 출력하는 리셋조작부;를 더 포함하고,
상기 제어부는,
상기 다수의 비히클 중에서 최초 진입한 비히클을 제외한 나머지 비히클이 상기 승강레일로 진입하지 못하도록 상기 세이프티가이드를 제어한 경우와, 상기 비히클이 상기 승강레일 측으로 진입하지 못하도록 상기 세이프티가이드를 제어한 상태에서 상기 프론트센서 또는 상기 리어센서에 의해 비히클을 감지하는 경우, 상기 경보발생부를 통해서 경보를 발생시키도록 제어함과 아울러, 상기 리셋신호를 수신할 때까지 상기 세이프티가이드의 동작을 정지시키는, 웨이퍼박스 이송 시스템의 세이프티 가이드 시스템. - 웨이퍼박스의 경로를 따라 설치되는 고정레일;
상기 고정레일에 일렬로 위치할 수 있도록 승강구동부에 의해 승강하는 승강레일;
상기 고정레일과 상기 승강레일을 따라 주행하고, 웨이퍼박스가 장착되는 다수의 비히클; 및
상기 승강레일이 상기 고정레일에 일렬로 위치하는지 여부에 따라, 상기 고정레일을 따라 주행하는 비히클이 상기 승강레일로 진입하도록 하용하거나 금지하고, 청구항 1, 3, 4 중 어느 한 항에 기재된 웨이퍼박스 이송 시스템의 세이프티 가이드 시스템;
을 포함하는, 웨이퍼박스의 수평 및 수직 이송 시스템. - 청구항 5에 있어서,
상기 고정레일은,
제 1 위치로 상승한 상기 승강레일의 양측에 각각 위치하도록 설치되고, 제 2 위치로 하강한 상기 승강레일의 양측에 각각 위치하도록 설치됨으로써, 다층으로 배치되는, 웨이퍼박스의 수평 및 수직 이송 시스템.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020150080426A KR101564543B1 (ko) | 2015-06-08 | 2015-06-08 | 세이프티 가이드 시스템 및 이를 가지는 웨이퍼박스의 수평 및 수직 이송 시스템 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020150080426A KR101564543B1 (ko) | 2015-06-08 | 2015-06-08 | 세이프티 가이드 시스템 및 이를 가지는 웨이퍼박스의 수평 및 수직 이송 시스템 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR101564543B1 true KR101564543B1 (ko) | 2015-11-02 |
Family
ID=54599736
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020150080426A KR101564543B1 (ko) | 2015-06-08 | 2015-06-08 | 세이프티 가이드 시스템 및 이를 가지는 웨이퍼박스의 수평 및 수직 이송 시스템 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR101564543B1 (ko) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107634025A (zh) * | 2017-11-02 | 2018-01-26 | 湖南艾博特机器人系统有限公司 | 一种光伏硅晶电池片花篮输送机构 |
| KR20200073488A (ko) * | 2018-12-14 | 2020-06-24 | 세메스 주식회사 | 센서 간섭 방지 장치 |
| CN117412197A (zh) * | 2023-12-14 | 2024-01-16 | 浙江大族富创得科技有限公司 | 晶圆传输装置的通信方法及电路控制模块 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007176377A (ja) * | 2005-12-28 | 2007-07-12 | Nakanishi Metal Works Co Ltd | 昇降装置 |
-
2015
- 2015-06-08 KR KR1020150080426A patent/KR101564543B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007176377A (ja) * | 2005-12-28 | 2007-07-12 | Nakanishi Metal Works Co Ltd | 昇降装置 |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107634025A (zh) * | 2017-11-02 | 2018-01-26 | 湖南艾博特机器人系统有限公司 | 一种光伏硅晶电池片花篮输送机构 |
| CN107634025B (zh) * | 2017-11-02 | 2024-04-16 | 湖南艾博特机器人技术有限公司 | 一种光伏硅晶电池片花篮输送机构 |
| KR20200073488A (ko) * | 2018-12-14 | 2020-06-24 | 세메스 주식회사 | 센서 간섭 방지 장치 |
| KR102141194B1 (ko) | 2018-12-14 | 2020-08-04 | 세메스 주식회사 | 센서 간섭 방지 장치 |
| CN117412197A (zh) * | 2023-12-14 | 2024-01-16 | 浙江大族富创得科技有限公司 | 晶圆传输装置的通信方法及电路控制模块 |
| CN117412197B (zh) * | 2023-12-14 | 2024-03-15 | 浙江大族富创得科技有限公司 | 晶圆传输装置的通信方法及电路控制模块 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR102276842B1 (ko) | 층간 반송 설비 | |
| US9905448B2 (en) | Article transport facility | |
| TWI751129B (zh) | 物品搬送設備 | |
| CN102725218B (zh) | 设置有安全位置传感器的电梯 | |
| TWI641549B (zh) | Carrier handling system and handling method | |
| TWI400187B (zh) | 物品收納設備及其控制方法 | |
| JP2017120510A (ja) | 物品搬送設備 | |
| KR101564543B1 (ko) | 세이프티 가이드 시스템 및 이를 가지는 웨이퍼박스의 수평 및 수직 이송 시스템 | |
| US20160329226A1 (en) | Transfer Apparatus and Control Method Thereof | |
| JP6237910B2 (ja) | 自動倉庫、及び自動倉庫の制御方法 | |
| TW201819267A (zh) | 物品搬送設備 | |
| EP3159921B1 (en) | Carrier buffering device and storage method | |
| JP2019214438A (ja) | 搬送車の走行設備 | |
| KR102500718B1 (ko) | 물품 보관 설비 | |
| JP4711116B2 (ja) | 天井走行車 | |
| KR102061188B1 (ko) | 기판 검출 장치 | |
| US7665403B2 (en) | Carrying system | |
| JP7283640B2 (ja) | ストッカ | |
| KR20170049658A (ko) | 자동 주차 안내장치 | |
| JP2011079612A (ja) | 昇降式の物品搬送装置 | |
| JP2006138110A (ja) | 機械式駐車装置の安全装置 | |
| JP2017208437A (ja) | 物品搬送設備 | |
| TWI834958B (zh) | 移行車系統 | |
| JP4640607B2 (ja) | 物品搬送設備 | |
| US20230294916A1 (en) | Traveling vehicle system |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant | ||
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20180808 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20190822 Year of fee payment: 5 |