CN105593142B - 顶棚输送车 - Google Patents

Abstract

实现一种顶棚输送车，所述顶棚输送车即使在将较大的物品作为输送对象的情况下，也能够在抑制顶棚输送车的大型化的同时适当地检测升降体的下方的障碍物。障碍物检测部（S1）在比被位于输送用位置的升降体（30）支承的物品（B）靠上方、并且在俯视观察中位于物品（B）的存在范围内的部位处，相对于主体部（21）以检测光等的发射方向向物品（B）的外侧倾斜的状态被固定。控制部构成为，在使升降体（30）在输送用位置与交接用位置（Pd）之间升降的情况下，在升降体（30）位于对象范围内的期间中，不进行基于障碍物检测部（S1）的检测信息的障碍物（W）的有无的判别，在不位于对象范围内的期间中，判别障碍物（W）的有无。将障碍物检测部（S1）的检测光等对被升降体（30）支承的物品（B）发挥检测作用的范围作为检测作用范围，对象范围被设定为包含检测作用范围。

Description

顶棚输送车

技术领域

本发明涉及一种顶棚输送车，所述顶棚输送车具备行进部、主体部和升降体，所述行进部沿着从顶棚悬挂的行进轨道行进自如，所述主体部被从前述行进部悬挂支承并与前述行进部一体行进，所述升降体将输送对象的物品自如地支承，并且在输送用位置与交接用位置之间相对于前述主体部升降自如，所述输送用位置位于前述主体部的内部，所述交接用位置比前述主体部靠下方，所述顶棚输送车在用位于前述输送用位置的前述升降体支承着物品的状态下，借助前述行进部的行进动作，沿着行进轨道输送物品，借助前述输送用位置与前述交接用位置之间的前述升降体的升降动作，在与物品交接部位之间自如地移载物品。

背景技术

上述那样的顶棚输送车构成为，进行卸下动作和捞起动作，所述卸下动作使被升降体支承并位于输送用位置的物品下降到交接用位置，所述捞起动作为了输送位于交接用位置的输送对象的物品而用升降体支承并使其上升到输送用位置。

在这样的顶棚输送车中，如果在升降体的下方存在障碍物的状态下使升降体下降移动，则有下述可能：被升降体支承的物品与存在于其下方的障碍物发生干扰。因此，为了对升降体的下方的障碍物发挥检测作用，已知有设有朝下发射检测光来检测障碍物的障碍物检测部的顶棚输送车（例如，参照专利文献1）。

在专利文献1的顶棚输送车中，障碍物检测部构成为，在主体部中设置于在俯视观察中处于输送对象的物品的存在区域的外侧的部位，朝向正下方发挥检测作用。并且构成为，在由该障碍物检测部检测出在升降体的下方存在障碍物的情况下，进行使该升降体的升降动作停止等的异常对应动作。

专利文献1：日本特许第3371897号公报。

但是，专利文献1的顶棚输送车中的障碍物检测部的配设位置在俯视观察中位于物品的存在区域的外侧，所以若输送对象的物品大型化，则障碍物检测部的配设位置对应于物品在俯视观察中的大小，在俯视观察中从车体的中心远离。

因此，在使障碍物检测部在俯视观察中位于顶棚输送车的范围内的情况下，有下述可能：顶棚输送车在俯视观察中的外形对应于物品的大小而变大。

发明内容

所以，即使在将较大的物品作为输送对象的情况下，也希望实现一种顶棚输送车，所述顶棚输送车能够在抑制顶棚输送车的大型化的同时适当地检测升降体的下方的障碍物。

用来解决上述问题的涉及本发明的顶棚输送车具备行进部、主体部和升降体，所述行进部沿着从顶棚悬挂的行进轨道行进自如，所述主体部被从前述行进部悬挂支承并与前述行进部一体行进，所述升降体将输送对象的物品自如地支承，并且在输送用位置与交接用位置之间相对于前述主体部升降自如，所述输送用位置位于前述主体部的内部，所述交接用位置比前述主体部靠下方，所述顶棚输送车在用位于前述输送用位置的前述升降体支承着物品的状态下，借助前述行进部的行进动作，沿着行进轨道输送物品，借助前述输送用位置与前述交接用位置之间的前述升降体的升降动作，在与物品交接部位之间自如地移载物品，其特征在于，

设置有障碍物检测部、升降位置检测部和控制部，所述障碍物检测部，为了对障碍物发挥检测作用，朝下发射检测光或检测声波来检测该障碍物，所述障碍物在与前述物品交接部位之间的物品的移载时构成障碍，所述升降位置检测部检测前述升降体的升降位置，所述控制部基于前述升降位置检测部的检测信息，控制前述升降体的升降动作，前述障碍物检测部在比被位于前述输送用位置的前述升降体支承的物品靠上方、并且在俯视观察中位于该物品的存在范围内的部位处，相对于前述主体部以前述检测光或前述检测声波的发射方向向该物品的外侧倾斜的状态被固定，前述控制部构成为，在使前述升降体在前述输送用位置与前述交接用位置之间升降的情况下，在前述升降体位于对象范围内的期间中，不进行基于前述障碍物检测部的检测信息的障碍物的有无的判别，在前述升降体不位于前述对象范围内的期间中，进行基于前述障碍物检测部的检测信息的障碍物的有无的判别，将前述障碍物检测部的前述检测光或前述检测声波对被前述升降体支承的物品发挥检测作用的范围作为检测作用范围，前述对象范围设定为包含前述检测作用范围。

即，在顶棚输送车上，在主体部上固定设有障碍物检测部，所述障碍物检测部用来在使升降体下降的情况下检测存在于该升降体的下方的障碍物。

障碍物检测部在比被位于输送用位置的升降体支承的物品靠上方、并且在俯视观察中位于该物品的存在范围内的部位处，以检测光或检测声波的发射方向向该物品的外侧倾斜的状态被设置，所以即使在用升降体支承较大的物品的情况下，就该物品处于某个高度以下的位置的情况而言，该物品也从障碍物检测部的检测作用范围偏离。由此，障碍物检测部的检测光或检测声波不对该物品发挥检测作用，在存在障碍物的情况下，对该障碍物发挥检测作用。

所以，在使升降体在输送用位置与交接用位置之间升降的情况下，将障碍物检测部的检测光或检测声波对被升降体支承的物品发挥检测作用的范围作为检测作用范围，构成为，在升降体位于被设定成包含该检测作用范围的对象范围内的期间中，不进行基于障碍物检测部的检测信息的障碍物的有无的判别，在升降体不位于对象范围内的期间中，进行基于障碍物检测部的检测信息的障碍物的有无的判别，由此，能够在避免障碍物检测部将物品检测为障碍物的状况的同时，适当地检测升降体的下方的障碍物。

并且，障碍物检测部设在比被位于输送用位置的升降体支承的物品在俯视观察中更位于该物品的存在范围内的部位，所以能够抑制顶棚输送车在俯视观察中的大小变得大型化。

这样，能够实现下述顶棚运输车：即使在将较大的物品作为输送对象的情况下，也能够在抑制顶棚输送车的大型化的同时适当地检测升降体的下方的障碍物。

以下，对涉及本发明的顶棚输送车的优选的实施方式的例子进行说明。

在涉及本发明的顶棚输送车的实施方式中，优选的是，前述障碍物是在前述主体部的下方进行作业的作业者，在与前述行进轨道正交的前述行进部的横宽方向上，在前述物品交接部位的一侧设定作业者作业区域，在另一侧设定作业者非作业区域，在所述作业者作业区域中进行由前述作业者处理的作业，在所述作业者非作业区域中不进行由前述作业者处理的作业，前述障碍物检测部配设为，在前述行进部的横宽方向上向前述作业者作业区域侧偏位。

即，障碍物检测部在与行进轨道正交的行进部的横宽方向上，配设为与作业者作业区域和作业者非作业区域侧中的作业者作业区域接近，所以能够适当地检测在处于主体部的下方的物品交接部位的周边进行作业的作业者。

在涉及本发明的顶棚输送车的实施方式中，优选的是，前述对象范围的下限值是设定得比障碍物高度高的判定基准高度，所述障碍物高度作为前述障碍物的高度被设定，前述控制部以前述升降体位于比前述判定基准高度高的高度为条件，判别前述升降体位于前述对象范围内。

即，控制部以升降体位于比判定基准高度高的高度为条件，判别升降体位于对象范围内，所述判定基准高度设定得比障碍物高度高，由此，在升降体位于障碍物有可能存在的高度的期间中，能够基于障碍物检测部的检测信息来判别障碍物的有无。因此，能够适当地检测障碍物。

在涉及本发明的顶棚输送车的实施方式中，优选的是，前述障碍物是在前述主体部的下方进行作业的作业者，前述障碍物高度是作为前述作业者的身高被设定的作业者身高高度。

即，障碍物高度是作为作业者的身高被设定的作业者身高高度，所述作业者在处于主体部的下方的物品交接部位的周边进行作业，因此，在升降体位于在地板面上步行等而进行作业的作业者有可能存在的高度的期间中，能够进行基于障碍物检测部的检测信息的障碍物的有无的判别。因此，能够适当地检测在物品交接部位进行作业的作业者。

在涉及本发明的顶棚输送车的实施方式中，优选的是，前述判定基准高度被设定成比前述障碍物高度高出被前述升降体支承的物品的高度以上。

即，判定基准高度被设定成比障碍物高度高出被升降体支承的物品的高度以上，因此，适当考虑物品的高度，能够抑制被升降体支承的物品与存在于其下方的障碍物的干扰。

在涉及本发明的顶棚输送车的实施方式中，优选的是，前述输送对象的物品包括小物品，所述小物品在俯视观察中的存在范围的外缘比前述障碍物检测部的安装位置靠内侧，设置有获得物品识别信息的物品识别信息获得部，所述物品识别信息识别被前述升降体支承的前述输送对象的物品是否是前述小物品，前述控制部构成为，在基于由前述物品识别信息获得部获得的前述物品识别信息判别出前述输送对象的物品是小物品的情况下，即使是前述升降体位于前述对象范围内的期间，也进行基于前述障碍物检测部的检测信息的障碍物的有无的判别。

即，关于不是小物品的物品、即在俯视观察中的存在范围的外缘比障碍物检测部的安装位置靠外侧的物品，如上述那样，在升降体位于检测作用范围内的期间中，障碍物检测部发射的检测光或检测声波被该物品遮挡。

因此，如上述那样，在升降体位于设定为包含检测作用范围的对象范围内的期间中，需要进行下述控制：不进行基于障碍物检测部的检测信息的障碍物的有无的判别。

另一方面，关于在俯视观察中的存在范围的外缘比障碍物检测部的安装位置靠内侧的小物品，即使在升降体位于对象范围内时，障碍物检测部发射的检测光或检测声波也不被该小物品遮挡。因而，在此情况下，在升降体位于对象范围内的期间中不需要进行下述控制：不进行基于障碍物检测部的检测信息的障碍物的有无的判别。

因此，在基于由物品识别信息获得部获得的物品识别信息判别出输送对象的物品是小物品的情况下，即使是升降体位于对象范围内的期间，也进行基于障碍物检测部的检测信息的障碍物的有无的判别，由此能够提供一种顶棚输送车，所述顶棚输送车能够对应被升降体支承的物品的尺寸更适当地检测障碍物。

附图说明

图1是实施方式的顶棚输送车及具备它的半导体基板处理设备的立体图。

图2是顶棚输送车的局部切除主视图。

图3是表示具备以往的障碍物检测部的顶棚输送车的小物品及大物品与检测光的关系的图。

图4是表示本实施方式的顶棚输送车的障碍物检测部的检测光发射方向的图。

图5是表示使物品升降时的障碍物检测部的检测光与物品的关系的图。

图6是控制块图。

图7是表示控制部执行的控制的流程图。

图8是其他实施方式的顶棚输送车及具备它的半导体基板处理设备的立体图。

图9是表示判定基准高度的另一设定例的图。

具体实施方式

基于附图对将本发明的顶棚输送车应用到半导体基板处理设备中的情况进行说明。

在半导体基板处理设备中，如图1所示，行进轨道2以经由处理装置3的站点3S的状态设置在顶棚侧，设有沿着行进轨道2移动自如的顶棚输送车1。顶棚输送车1构成为，将收纳半导体基板的容器B作为输送对象的物品，顶棚输送车1在多个处理装置3之间输送容器B。例如，在处理装置中，构成为，相对于半导体基板的制造中途的半成品等进行既定的处理。行进轨道2借助行进轨道用托架以固定状态设置在顶棚部。

顶棚输送车1如图2所示，构成为具备行进部50、主体部21、升降体30和升降驱动部19，所述行进部50具备在行进轨道2上转动的一对行进车轮52和驱动该一对行进车轮52的行进驱动部51，所述主体部21以悬挂状态被行进部50支承，所述升降体30具备将容器B的凸缘部Bf以悬挂状态把持的把持部32，并被升降驱动部19升降驱动，所述升降驱动部19固定在主体部21的上部，并升降驱动升降体30。升降驱动部19具备金属线卷取滚筒和滚筒驱动用马达，所述金属线卷取滚筒卷绕有一端连接于升降体30的金属线19a，升降驱动部19能够通过使滚筒驱动用马达正转并将金属线19a卷取来使升降体30上升，通过使滚筒驱动用马达反转并将金属线19a放出来使升降体30下降。在升降驱动部19中的滚筒驱动用马达的附近，设有旋转编码器S2，所述旋转编码器S2作为升降位置检测部，通过检测滚筒驱动用马达的转速来检测升降体30的升降位置。

主体部21被主体罩C覆盖，使得当升降体30位于升降上限位置时，该升降体30及被其支承的容器B在侧面观察中位于该主体罩C的内部。此外，主体罩C的在俯视观察中与行进部50的行进方向正交的横宽方向的两侧是开口的。

升降驱动部19为了使容器在容器B被作为物品交接部位的站点3S的载置台3D支承的位置（交接用位置Pd）与上述升降上限位置（输送用位置Pu）之间升降，使升降体30升降移动。

即，顶棚输送车1构成为，具备行进部50、主体部21和升降体30，所述行进部50沿着从顶棚悬挂的行进轨道2行进自如，所述主体部21被从行进部50悬挂支承并与行进部50一体行进，所述升降体30将输送对象的容器B自如地支承，并且在位于主体部21的内部的输送用位置Pu与比主体部21靠下方的交接用位置Pd之间相对于主体部21升降自如，在用位于输送用位置Pu的升降体30支承着容器B的状态下，借助行进部50的行进动作，沿着行进轨道2输送容器B，借助输送用位置Pu与交接用位置Pd之间的升降体30的升降动作，在与载置台3D之间自如地移载容器B。

在本实施方式的半导体基板处理设备中，构成为，可自如地处理450mm晶片。但是，若将以往的300mm晶片用的处理设备的布局（layout）进行变更，则会导致设备的更新成本的高涨，所以使设备布局及顶棚输送车1的设计与300mm晶片用的处理设备共通化。

这里，将以往的300mm晶片用的处理设备中的顶棚输送车1B作为比较例表示在图3中。在图3中，由附图标记B1表示的是300mm晶片用的容器（以下称作小容器B1）。

在顶棚输送车1B中，障碍物检知传感器S1构成为，向自己的正下方发射检测光L1来检测障碍物。

此外，在图3中，用双点划线表示将450mm晶片用的容器（以下称作大容器B2）支承在该顶棚输送车1B的升降体30上的状态。

由图3可知，若要在以往的顶棚输送车1B上输送大容器B2，则障碍物检知传感器S1的检测光被大容器B2遮挡，无法检测存在于大容器B2的下方的障碍物。

所以，在本实施方式中，如图1及图4、图5所示，在升降驱动部19的横侧部且在主体罩C的内侧，为了对在与载置台3D之间的容器B的移载时构成障碍的障碍物发挥检测作用，设有朝下发射检测光来检测该障碍物的作为障碍物检测部的障碍物检知传感器S1。

障碍物检知传感器S1如图2所示，设在下述部位：所述部位比被位于输送用位置Pu的升降体30支承的大容器B2（以下作为容器B进行说明）靠上方，并且在俯视观察中位于容器B的存在范围内。障碍物检知传感器S1的配设部位在俯视观察中位于升降体30的存在范围外。此外，在图4中将向铅直下方引导的线设为L1，检测光的发射方向如图4的L2所示，在朝向容器B的外侧并以角度θ倾斜的状态下相对于主体部21被固定。

在本实施方式中，检测在主体部21的下方进行作业的作业者W作为障碍物。

此外，在本实施方式中，如图1所示，在与行进轨道2正交的行进部50的横宽方向上，在站点3S的一侧设定进行由作业者W处理的作业的作业者作业区域E，在另一侧设定不进行由作业者W处理的作业的作业者非作业区域，障碍物检知传感器S1配设为在行进部50的横宽方向上向作业者作业区域E侧偏位。

如图6所示，在主体部21上装备有控制部H，所述控制部H控制本实施方式的顶棚输送车1的动作。在控制部H上，通信自如地连接有行进驱动部51、升降驱动部19、障碍物检知传感器（障碍物检测部）S1、旋转编码器（升降位置检测部）S2及上位管理装置H2，所述上位管理装置H2向该控制部H发出容器B的输送的指令。控制部H构成为自如地输入障碍物检知传感器S1及旋转编码器S2的检测信息，并且构成为控制行进驱动部51及升降驱动部19的动作。

控制部H构成为，基于旋转编码器S2的检测信息控制升降驱动部19的动作，由此控制升降体30的升降动作。

并且，该控制部H构成为，基于旋转编码器S2的检测信息，如图5（a）所示，在判别出容器B的容器主体部Bh的上端位于距地板F的上表面（以下称作地板面）高度h0以上的高度的情况下，不进行基于障碍物检知传感器S1的检测信息的障碍物的有无的判别，在判别出容器B的容器主体部Bh的上端位于距地板面比高度h0低的位置的情况下，进行基于前述障碍物检知传感器S1的检测信息的障碍物的有无的判别。另外，高度h0被设定为比障碍物高度高，所述障碍物高度作为障碍物的高度被设定。障碍物高度例如被设定为设想的障碍物的最大高度、或障碍物的标准的高度（设想的障碍物的高度的平均值等）等。在本实施方式中，障碍物是作业者W，所以障碍物高度是作为作业者W的身高被设定的作业者身高高度。

这里，高度h0相当于判定基准高度，从升降体30的升降位置位于输送用位置Pu的位置到容器B的容器主体部Bh的上端距地板面高度h0的位置之间的范围相当于对象范围。在本实施方式中，如图5（a）所示，高度h0是障碍物检知传感器S1的检测光对容器B发挥检测作用的下限的高度。即，若将障碍物检知传感器S1的检测光对被升降体30支承的容器B发挥检测作用的范围作为检测作用范围，则高度h0被设定为检测作用范围的下限值。由此，被设定为包含检测作用范围的对象范围在本实施方式中，被设定为与检测作用范围相同的范围。另外，这里将被升降体30支承的容器B的容器主体部Bh的上端的位置作为升降体30的升降位置来定义高度h0，但也可以将把持部32的位置或升降体30的主体部31（支承把持部32的部分）的位置等作为升降体30的升降位置来定义高度h0。

即，控制部H构成为，在使升降体30在输送用位置Pu与交接用位置Pd之间升降的情况下，在升降体30位于对象范围内的期间中，不进行基于障碍物检知传感器S1的检测信息的障碍物的有无的判别，在升降体30不位于对象范围内的期间中，进行基于障碍物检知传感器S1的检测信息的障碍物的有无的判别。

在升降体30的升降位置处于检测作用范围内的期间中，如图5（b）所示，障碍物检知传感器S1检测到容器B的上表面。控制部H将对象范围设定为包含障碍物检知传感器S1的检测光对被升降体30支承的容器B发挥检测作用的检测作用范围，由此，如图5（a）所示，仅在升降体30不位于检测作用范围内的期间，即仅在障碍物检知传感器没有检测到容器B的上表面的期间中，进行基于障碍物检知传感器S1的检测信息的障碍物的有无的判别。

进而，当升降体30呈位于比判定基准高度高的高度的状态时，控制部H判别升降体30位于对象范围内，所述判定基准高度被设定为比作为作业者W的身高被设定的作业者身高高度高。

即，障碍物检知传感器S1的检测光的发射方向的从铅直线的倾斜角度θ被设定为下述这样的角度：当使升降体30下降时，能够检测到在下方的作业者作业区域E中进行作业的作业者W。

此外，上述倾斜角度θ被设定为下述这样的角度：当升降体30位于比判定基准高度低的位置时，升降体30及被其支承的容器B不进入到该检测光的检测范围内。在本实施方式中，上述判定基准高度为下述这样的高度：比作为作业者的身高被设定的作业者身高高度高。由此，能够适当地检测在升降体30的下方的作业者作业区域E中进行作业的作业者W。另外，如在图9中表示的与图1不同的判定基准高度（高度h0）的设定例那样，也可以将判定基准高度设定为，比障碍物高度（在本例中是作业者身高高度）高出被升降体30支承的物品（容器B）的高度以上。

接着，基于图7的流程图，对控制部H执行的控制进行说明。

控制部H首先检测升降体30的升降高度（步骤#1），接着，判别升降体30是否属于对象范围（在本例中是与检测作用范围相同的范围）（步骤#2）。若在步骤#2中判别出升降体30不属于对象范围（检测作用范围）（步骤#2：No），则将障碍物检知传感器S1的检知功能设为ON（步骤#3），若障碍物检知传感器S1没有检知到障碍物（步骤#4：No），则使升降驱动部19驱动（步骤#7），若障碍物检知传感器S1检知到障碍物（步骤#4：Yes），则使升降驱动部19的驱动停止（步骤#5）。

另一方面，若在步骤#2中判别出升降体30属于对象范围（检测作用范围）（步骤#2：Yes），则将障碍物检知传感器S1的检知功能设为OFF（步骤#6），使升降驱动部19驱动（步骤#7）。

在进行了步骤#7的处理的情况下，接着基于旋转编码器S2的检测信息来判别升降体30是否到达了目标升降位置（步骤#8），在判别出升降体30到达了目标升降位置的情况下（步骤#8：Yes），使升降驱动部19的驱动停止（步骤#5）。此外，在步骤#8中判别出升降体30没有到达目标升降位置的情况下（步骤#8：No），返回至步骤#1的处理。

这样，即使在将较大的物品（大容器B2）作为输送对象的情况下，也能够提供一种顶棚输送车1，所述顶棚输送车1在抑制顶棚输送车1的大型化的同时能够适当地检测升降体30的下方的作业者W。

（其他实施方式）

（1）在上述实施方式中，示出了顶棚输送车1构成为将容纳半导体基板的容器B作为输送对象的物品进行输送的例子，但并不限定于这样的技术方案，例如也可以是，代替容纳半导体基板的容器B而输送掩模版（reticle）容器，所述掩模版容器容纳用于向半导体基板的图案转印的掩模版。此外，也可以构成为，输送容纳半导体基板的容器B和掩模版容器这两者。

（2）在上述实施方式中，示出了将由顶棚输送车1进行输送的输送对象的容器B设为大容器B2的例子，所述大容器B2在俯视观察中的存在范围的外缘比障碍物检测部的安装位置靠外侧，但作为输送对象的容器B，也可以构成为，包含在俯视观察中的存在范围的外缘比障碍物检测部的安装位置靠内侧的小容器B1。

在此情况下，设置获得物品识别信息（例如，来自上位管理装置H2的输送指令信息、或存储在安装于容器B的RFID中的信息等）的物品识别信息获得部（在物品识别信息是来自上位管理装置H2的输送指令信息的情况下相当于控制部H的通信模块等，在物品识别信息是RFID的情况下相当于无线读取装置等），所述物品识别信息识别被升降体30支承的输送对象的容器B是否是作为小物品的小容器B1，控制部H也可以构成为，在基于由物品识别信息获得部获得的物品识别信息判别出输送对象的容器B是小容器B1的情况下，即使是升降体30位于对象范围内的期间，也进行基于障碍物检知传感器S1的检测信息的障碍物的有无的判别。

（3）在上述实施方式中，示出了障碍物检知传感器S1发射检测光来检测该障碍物的例子，但也可以将障碍物检知传感器S1设为发射超声波等检测声波来检测障碍物。除此以外，还可以应用下述传感器：所述传感器发射有指向性的检测介质来检测是否存在检测对象。

（4）在上述实施方式中，说明了用旋转编码器S2检测升降体30的升降位置的例子，但并不限定于这样的技术方案，也可以使用其他的方式检测升降体30的升降位置，所述其他的方式为，例如使用激光测距计或超声波测距计等无接触测距传感器、或者读取附加在吊挂升降体30的金属线19a上的刻度等。此外，也可以构成为，将障碍物检知传感器S1构成为自如地判别检测对象物的形状及属性的装置、例如照相机等，控制部H基于照相机拍摄的图像信息来判别障碍物和升降体30，并且在是升降体30的情况下计测该升降位置。

（5）在上述实施方式中，如图1所示，示出了使被升降体30支承的容器B在主体罩C的正下方的交接用位置Pd与主体罩C内部的输送用位置Pu（参照图2）之间升降移动的例子，但并不限定于这样的技术方案，例如如图8所示，也可以构成为，设置滑动部20，所述滑动部20在退避位置和突出位置之间切换自如，并且支承着升降体30的升降驱动部19，所述退避位置在沿行进部50的行进方向的方向观察与主体罩C重叠，所述突出位置在主体罩C的外侧且向处理装置3的非存在侧（作业者作业区域侧）突出，在该滑动部20处于突出位置时使升降体30升降动作。在此情况下，将障碍物检知传感器S1配设为，位于滑动部20的作业者作业区域侧端部，并且在滑动部20位于退避位置时该障碍物检知传感器在沿行进部50的行进方向的方向观察位于S1与主体罩C重叠的位置。这样，作为将障碍物检知传感器S1向主体部21固定的技术方案，还包括向滑动自如地安装在主体部21上的滑动部20固定的技术方案。

（6）在上述实施方式中，说明了在障碍物检知传感器S1检知到障碍物的情况下使升降驱动部19的驱动停止的技术方案，但并不限定于这样的技术方案，也可以构成为，在障碍物检知传感器S1检知到障碍物的情况下，以将升降体30的升降速度减速的方式控制升降驱动部19的动作。

（7）在上述实施方式中，以下述技术方案为例进行了说明：高度h0被设定为检测作用范围的下限值的技术方案，即对象范围是与检测作用范围相同的范围的技术方案，但并不限定于这样的技术方案，也可以是下述技术方案：高度h0被设定为比检测作用范围的下限值低的高度的技术方案，即设定为对象范围包含比检测作用范围低的范围的技术方案。

附图标记说明

1 顶棚输送车；2 行进轨道；21 主体部；30 升降体；50 行进部；

B 物品；B1 小物品；E 作业者作业区域；H 控制部；L1 检测光；Pd 交接用位置；Pu输送用位置；S1 障碍物检测部；W 障碍物。

Claims (6)

1.一种顶棚输送车，所述顶棚输送车具备行进部、主体部和升降体，所述行进部沿着从顶棚悬挂的行进轨道行进自如，所述主体部被从前述行进部悬挂支承并与前述行进部一体行进，所述升降体将输送对象的物品自如地支承，并且在输送用位置与交接用位置之间相对于前述主体部升降自如，所述输送用位置位于前述主体部的内部，所述交接用位置比前述主体部靠下方，所述顶棚输送车在位于前述输送用位置的前述升降体支承着物品的状态下，借助前述行进部的行进动作，沿着行进轨道输送物品，借助前述输送用位置与前述交接用位置之间的前述升降体的升降动作，在与物品交接部位之间自如地移载物品，其特征在于，

设置有障碍物检测部、升降位置检测部和控制部，

所述障碍物检测部，为了对障碍物发挥检测作用，朝下发射检测光或检测声波来检测该障碍物，所述障碍物在与前述物品交接部位之间的物品的移载时构成障碍，

所述升降位置检测部检测前述升降体的升降位置，

所述控制部基于前述升降位置检测部的检测信息，控制前述升降体的升降动作，

前述障碍物检测部位于前述输送用位置的前述升降体支承的物品靠上方、并且在俯视观察中位于该物品的存在范围内的部位处，相对于前述主体部以前述检测光或前述检测声波的发射方向向该物品的外侧倾斜的状态被固定，

前述控制部构成为，在使前述升降体在前述输送用位置与前述交接用位置之间升降的情况下，在前述升降体位于对象范围内的期间，不进行基于前述障碍物检测部的检测信息的障碍物的有无的判别，在前述升降体不位于前述对象范围内的期间，进行基于前述障碍物检测部的检测信息的障碍物的有无的判别，

将前述障碍物检测部的前述检测光或前述检测声波对被前述升降体支承的物品发挥检测作用的范围作为检测作用范围，前述对象范围设定为包含前述检测作用范围。

2.如权利要求1所述的顶棚输送车，其特征在于，

前述障碍物是在前述主体部的下方进行作业的作业者，

在与前述行进轨道正交的前述行进部的横宽方向上，在前述物品交接部位的一侧设定作业者作业区域，在另一侧设定作业者非作业区域，在所述作业者作业区域中进行由前述作业者处理的作业，在所述作业者非作业区域中不进行由前述作业者处理的作业，

前述障碍物检测部配设为，在前述行进部的横宽方向上向前述作业者作业区域侧偏位。

3.如权利要求1所述的顶棚输送车，其特征在于，

前述对象范围的下限值是设定得比障碍物高度高的判定基准高度，所述障碍物高度作为前述障碍物的高度被设定，

前述控制部以前述升降体位于比前述判定基准高度高的高度为条件，判别前述升降体位于前述对象范围内。

4.如权利要求3所述的顶棚输送车，其特征在于，

前述障碍物是在前述主体部的下方进行作业的作业者，

前述障碍物高度是作为前述作业者的身高被设定的作业者身高高度。

5.如权利要求3所述的顶棚输送车，其特征在于，

前述判定基准高度被设定成比前述障碍物高度高出被前述升降体支承的物品的高度以上。

6.如权利要求1～5中任一项所述的顶棚输送车，其特征在于，

前述输送对象的物品包括小物品，所述小物品在俯视观察中的存在范围的外缘比前述障碍物检测部的安装位置靠内侧，

设置有获得物品识别信息的物品识别信息获得部，所述物品识别信息识别被前述升降体支承的前述输送对象的物品是否是前述小物品，

前述控制部构成为，在基于由前述物品识别信息获得部获得的前述物品识别信息判别出前述输送对象的物品是小物品的情况下，即使是前述升降体位于前述对象范围内的期间，也进行基于前述障碍物检测部的检测信息的障碍物的有无的判别。