CN106927206A - 物品输送设备 - Google Patents

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Abstract

提供一种容易将支承机构修正为适当的姿势的物品输送设备。具备检测被升降体（22）支承的物品（Wb）的第1基准面（P1）相对于水平面的角度的角度传感器（8）、卷绕机构（37）、驱动卷绕机构（37）的第2驱动部（11）和控制装置（9）；卷绕机构（37）构成为，有选择地进行对象细长柔性构件（30b、30c）的卷取及抽出；控制装置（9）基于角度传感器（8）的检测信息控制第2驱动部（11），使得将第1基准面（P1）相对于水平面的角度调节为设定角度。

Description

物品输送设备
技术领域
本发明涉及使支承物品的升降体相对于基部升降的物品输送设备。
背景技术
在特开2013－110370号公报中，记载有具备基部、支承物品的升降体、悬挂升降体的多个细长柔性构件（索条体）、和有选择地进行细长柔性构件的卷取及抽出而使升降体相对于基部升降的驱动部的物品输送设备。在这样的物品输送设备中，因老化等而在多个细长柔性构件中发生伸长，此外，由于多个细长柔性构件的伸长量在多个细长柔性构件的各自中不同，所以有由多个细长柔性构件悬挂的升降体及被该升降体支承的物品倾斜的情况。所以，在该物品输送设备中，在升降体的上部固定高度调节机构，将细长柔性构件连接在高度调节机构上。即，在该物品输送设备中，细长柔性构件经由该高度调节机构连接在升降体上。作业者使用角度传感器检测升降体的角度，在升降体相对于设定角度倾斜的情况下，作业者操作高度调节机构来调整升降体的倾斜。
角度的调整通过作业者基于由角度传感器检测出的角度操作对于多个细长柔性构件的高度调节机构、以使由升降体的细长柔性构件支承的部分的高度成为相同高度来进行。因此，根据作业者的熟练度等，有在将升降体的角度调整为适当的角度的作业中需要较长的时间的情况。
发明内容
鉴于上述背景，要求有容易将升降体的角度调整为适当的角度的物品输送设备。
作为1个技术方案，物品输送设备具备基部、升降体、细长柔性构件、第1驱动部，前述升降体支承物品，前述细长柔性构件连接在前述升降体上，悬挂前述升降体，前述细长柔性构件有多个，前述第1驱动部有选择地进行前述细长柔性构件的卷取及抽出，使前述升降体相对于前述基部升降，还具备角度传感器、高度调节机构、第2驱动部、控制装置，前述角度传感器检测被前述升降体支承的前述物品的第1基准面相对于水平面的角度或前述升降体的第2基准面相对于水平面的角度，前述第2驱动部使前述高度调节机构驱动，将多个前述细长柔性构件中的除了1个前述细长柔性构件以外的前述细长柔性构件作为对象细长柔性构件，前述高度调节机构由卷绕机构或位置变更机构构成，前述卷绕机构有选择地进行前述对象细长柔性构件的卷取及抽出，前述位置变更机构变更前述对象细长柔性构件与前述升降体或前述基部的上下方向的相对位置关系，前述控制装置执行基于前述角度传感器的检测信息控制前述第2驱动部的调节控制，使得将前述第1基准面相对于水平面的角度或前述第2基准面相对于水平面的角度调节为设定角度。
根据该结构，例如通过在物品的第1基准面上设置角度传感器，能够用角度传感器检测第1基准面相对于水平面的角度。此外，例如通过在升降体的第2基准面上设置角度传感器，能够用角度传感器检测第2基准面相对于水平面的角度。
并且，在用角度传感器检测第1基准面相对于水平面的角度的情况下，在将高度调节机构用卷绕机构构成的情况下，通过控制装置执行调节控制，由第2驱动部的驱动操作卷绕机构而有选择地进行对象细长柔性构件的卷取及抽出。由此，能够将第1基准面相对于水平面的角度调节为设定角度，能够将升降体的姿势修正，使得抑制被该升降体支承的物品的倾斜。
此外，在由角度传感器检测第1基准面相对于水平面的角度的情况下，在将高度调节机构用位置变更机构构成的情况下，通过控制装置执行调节控制，借助第2驱动部的驱动操作位置变更机构，将对象细长柔性构件与升降体或基部的上下方向上的相对位置关系变更，由此将第1基准面相对于水平面的角度调整为设定角度。因此，升降体的姿势被修正，使得被该升降体支承的物品的倾斜被抑制。
同样，在由角度传感器检测第2基准面相对于水平面的角度的情况下，在将高度调节机构用卷绕机构构成的情况下，通过控制装置执行调节控制，将第2基准面相对于水平面的角度调整为设定角度，所以能够将升降体的姿势修正。此外，在由角度传感器检测第2基准面相对于水平面的角度的情况下，在将高度调节机构用位置变更机构构成的情况下，通过控制装置执行调节控制，将第2基准面相对于水平面的角度调整为设定角度，所以能够将升降体的姿势修正。
这样，通过控制装置执行调整控制，第1基准面或第2基准面相对于水平面的角度被调整为设定角度，升降体的姿势被修正，所以不依赖作业者的熟练度就足够，所以容易将升降体修正为正确的姿势。
附图说明
图1是支承着输送物的物品输送车的侧视图。
图2是支承着输送物的物品输送车的侧视图。
图3是将罩体的一部分切掉的物品输送车的侧视图。
图4是将罩体的一部分切掉的物品输送车的主视图。
图5是卷绕机构的纵剖侧视图。
图6是卷绕机构的纵剖主视图。
图7是支承着调整装置的物品输送车的侧视图。
图8是卷绕机构及调整装置的侧视图。
图9是支承机构的俯视图。
图10是位置变更机构的分解立体图。
图11是位置变更机构的侧视图。
图12是位置变更机构的侧视图。
具体实施方式
以下，基于附图说明有关本发明的物品输送设备的实施方式。如图1及图2所示，在物品输送设备中，设有在顶棚附近沿着行进路径行进而输送作为输送物的容器Wa的物品输送车1、和对收纳在容器Wa中的基板进行处理的处理装置2、和以与该处理装置2相邻的状态设置在地面上的支承台3。另外，在本实施方式中，将收纳半导体基板的末端开启式晶圆传送盒（FOUP，Front Opening Unified Pod）作为容器Wa（输送物）。此外，将沿着行进路径的方向设为行进方向，将相对于该行进方向在俯视中正交的方向称作宽度方向而进行说明。
如图3及图4所示，在容器Wa中具备：容器凸缘部6a（参照图4），装备在容器Wa的上端部，被物品输送车1的支承机构22支承；容器主体部5a，位于比容器凸缘部6a靠下方的位置，收纳多片半导体基板；拆装自如的盖体（未图示），将形成在容器主体部5a的前表面上的基板取放用的基板出入口关闭。物品输送车1构成为，在将容器凸缘部6a悬挂支承的状态下输送容器Wa。
接着，对物品输送车1进行说明。另外，当说明物品输送车1时，设想物品输送车1在水平的直线状的行进路径中行进的状态来进行说明。此外，在从物品输送车1的后方观察前方的状态下确定左右方向来进行说明。如图2及图3所示，物品输送车1具备在从顶棚悬挂支承的行进轨道14上沿着该行进轨道14行进的行进部15、和位于左右一对的行进轨道14的下方而支承容器Wa的主体部16。
如图3所示，行进部15由在行进方向上排列的前方行进部15F和后方行进部15R构成。前方行进部15F位于比后方行进部15R靠前方。并且，前方行进部15F及后方行进部15R分别绕纵轴心旋转自如地连结在主体部16的基部21上。
在前方行进部15F上，装备有被电动式的驱动马达18旋转驱动的左右一对行进轮19，使得在由左右一对行进轨道14的各自的上表面形成的行进面上行进。此外，在前方行进部15F上装备有绕沿着车体上下宽度方向的轴心（绕上下轴心）自由旋转的左右一对导引轮20，使得其在左右一对行进轨道14的内侧面上转动。另外，关于左右一对导引轮20，以在行进方向上排列的状态在前方行进部15F上装备有2组。在后方行进部15R上，与前方行进部15F同样，装备有1组左右一对的行进轮19和2组的左右一对的导引轮20。
物品输送车1构成为，通过前方行进部15F的导引轮20及后方行进部15R的导引轮20被一对行进轨道14导引，在宽度方向上的位置被限制的同时，前方行进部15F的行进轮19及后方行进部15R的行进轮19被旋转驱动，由此沿着行进路径行进。此外，物品输送车1通过前方行进部15F及后方行进部15R相对于主体部16绕沿着上下方向的轴心摆动，即使行进路径是圆弧状也能够沿着行进路径行进。
如图3所示，在主体部16上，具备与行进部15连结的基部21、支承物品W的作为升降体的支承机构22、使支承机构22相对于行进部15升降移动的升降操作机构23、使支承机构22相对于行进部15绕纵轴心旋转的旋转操作机构24、和将被上升到上升设定位置（图1等中表示的位置）的支承机构22支承的容器Wa的上方侧及行进方向两侧覆盖的罩体25。
旋转操作机构24构成为，通过由旋转用马达28的驱动使旋转体27绕纵轴心旋转，使被旋转体27支承的支承机构22绕纵轴心旋转。
在升降操作机构23中，具备末端部连接在支承机构22上而悬挂支承机构22的多个带30、卷绕着带30的卷绕体31、和使卷绕体31旋转的升降用马达32。升降操作机构23构成为，通过由升降用马达32使卷绕体31向正方向或反方向旋转、有选择地进行多个带30的卷取及抽出操作，使支承机构22升降移动。另外，卷绕体31和升降用马达32相对于被基部21支承且将带30卷取抽出操作而使支承机构22相对于基部21升降的第1驱动部。此外，多个带30相当于连接在支承机构22上而悬挂支承机构22的多个细长柔性构件。
如图4所示，支承机构22构成为，借助把持用马达34的驱动，使一对把持爪35相互接近或离开。支承机构22通过使一对把持爪35接近，将一对把持爪35切换为支承容器Wa的容器凸缘部6a的支承状态，通过使把持爪35相互离开移动，切换为将一对把持爪35对于容器Wa的容器凸缘部6a的支承解除的支承解除状态。这样，支承机构22构成为，借助把持用马达34的驱动而向支承状态和支承解除状态切换自如。
如图3、图4及图8所示，在升降操作机构23中，作为多个带30而具备第1带30a、第2带30b和第3带30c的3条带30。在支承机构22上固定着卷绕机构37，3条带30通过连接在卷绕机构37上而经由该卷绕机构37连接在支承机构22上。另外，多个带30相当于多个细长柔性构件，第1带30a相当于第1细长柔性构件，第2带30b相当于第2细长柔性构件，第3带30c相当于第3细长柔性构件。
如图5所示，卷绕机构37具备卷绕着带30的卷绕部38、被卷绕部38相对旋转自如地支承且固定在支承机构22上的固定部39、用来由作业者或参照图8后述的操作机构11使卷绕部38旋转的操作部40、和用来保持操作部40的固定工具41。如图6所示，卷绕机构37具备连接带30的第1部位371和连结在支承机构22上的第2部位372，卷绕部38具有第1部位371，固定部39具有第2部位372。
操作部40形成为圆筒形状，在操作部40内插入着卷绕部38的轴部38a。如图5及图6所示，在操作部40的外周面及固定部39的内周面上形成有花键齿。卷绕部38的轴部38a与操作部40连结，使得绕轴心一体地旋转且在轴心方向上相对移动。并且，通过使操作部40沿着轴心方向移动，能够使操作部40移动到与固定部39嵌合的位置（参照图5）和从固定部39在轴向上脱离的位置（图示省略）。
如上述那样，在操作部40的外周面及固定部39的内周面上形成有花键齿，在使操作部40嵌合在固定部39上的状态下，操作部40的绕轴心的旋转被限制。并且，在使操作部40嵌合在固定部39上的状态下，为了防止操作部40在轴向上移动，能够用固定工具41将操作部40固定到固定部39上。
另一方面，在使操作部40从固定部39在轴向上脱离的状态下，能够使操作部40绕轴心旋转。随着由作业者或后述的操作机构11使操作部40旋转，卷绕部38向正方向或反方向旋转。借助该旋转，有选择地进行带30的卷取及抽出。通过有选择地进行带30的卷取及抽出，能够调节支承机构22的连接着该带30的部分的高度。通过将这样的操作对3条带30中的至少2条带30进行，能够修整支承机构22及支承在支承机构22上的物品W的倾斜。
如图8所示，在物品输送设备中，除了具备基部21和多个带30的物品输送车1以外，还具备检测支承在支承机构22上的物品W的第1基准面P1相对于水平面的角度的角度传感器8、驱动卷绕机构37的作为第2驱动部的操作机构11和控制装置9。操作机构11或控制装置9装备在调整装置Wb中。在将被支承机构22支承的物品W的倾斜修整的情况下，如图7所示那样用支承机构22支承调整装置Wb，并且如图8所示那样在卷绕机构37的操作部40上连接操作机构11。
第1基准面P1是调整装置Wb的设置角度传感器8的设置面。此外，将作为固定卷绕机构37的面的支承机构22的上表面设为第2基准面P2。在支承机构22或调整装置Wb中没有发生因老化等带来的歪斜的情况下，第1基准面P1与第2基准面P2为平行。此外，在行进部15是水平的姿势且由3条带30等适当地支承着支承机构22的情况下，第1基准面P1及第2基准面P2为水平。操作机构11具备与卷绕机构37的操作部40（参照图5）卡合的卡合部、和使卡合部旋转驱动的马达。操作机构11为了有选择地进行带30的卷取及抽出，借助马达的驱动使卡合部旋转而进行操作部40的操作，使卷绕部38旋转。
接着，对调整装置Wb进行说明。如图8所示，在调整装置Wb中，具备装备在调整装置Wb的上端部而被物品输送车1的支承机构22支承（被把持爪35把持）的调整装置凸缘部（未图示）、和位于比调整装置凸缘部靠下方的位置而支承检测用的装置的调整装置主体部5b。在调整装置Wb的调整装置主体部5b中，作为检查用的装置，具备角度传感器8、控制装置9和电池10。
调整装置Wb构成为与收纳有能够收纳的片数的基板的容器Wa的重量相同的重量。此外，调整装置凸缘部形成为与容器凸缘部6a同样的形状，使得能够由支承机构22支承（能够由把持爪35把持）。即，在支承机构22支承的物品W中，有调整装置Wb和容器Wa。
角度传感器8设置为，检测调整装置Wb的第1基准面P1相对于水平面的角度，详细地讲，角度传感器8如图9所示，检测第1基准面P1的第1检测方向A1及第2检测方向A2相对于水平面的角度。这样，作为角度传感器8，使用检测第1检测方向A1和第2检测方向A2的2方向的角度的2轴检测用的角度传感器8。以相对于第1基准面P1正交的方向（铅直方向、角度传感器8的上下方向）观察，第2检测方向A2为相对于第1检测方向A1正交的方向。
设连接着第1带30a的卷绕机构37为第1卷绕机构37a，设连接着第2带30b的卷绕机构37为第2卷绕机构37b，设连接着第3带30c的卷绕机构37为第3卷绕机构37c，在由支承机构22支承调整装置Wb来将该调整装置Wb的角度修正的情况下，在第2卷绕机构37b及第3卷绕机构37c上连接操作机构11（参照图8、图9）。3条带30中的除了1条带30（第1带30a）以外的细长柔性构件（第2带30b及第3带30c）为被卷绕机构37调节的对象细长柔性构件。
以下，将连接在第2卷绕机构37b上的操作机构11称作第2操作机构11b，将连接在第3卷绕机构37c上的操作机构11称作第3操作机构11c来进行说明。另外，第2操作机构11b相当于驱动第2高度调节机构的第2调节驱动部，第3操作机构11c相当于驱动第3高度调节机构的第3调节驱动部。此外，如图9所示，以铅直方向观察，将第2带30b相对于第1带30a存在的方向设为第1存在方向B1，将第3带30c相对于第1带30a存在的方向为第2存在方向B2来进行说明。
角度传感器8以角度传感器8的上下方向相对于第1基准面P1正交的状态配置。此外，角度传感器8在第1基准面P1和第2基准面P2为水平的状态下，如图9所示那样配置为，以相对于第1基准面P1垂直交叉的方向（铅直方向、角度传感器8的上下方向）观察，第1检测方向A1为第1存在方向B1，第2检测方向A2为与第1检测方向A1正交的方向。角度传感器8检测作为第1基准面P1的第1检测方向A1（相当于第1存在方向B1及第1方向）的第1基准面P1相对于水平面的角度的第1角度、和作为第2检测方向A2（相当于与第1存在方向B1正交的方向及第2方向）的第1基准面P1相对于水平面的角度的第2角度。
控制装置9执行基于角度传感器8的检测信息控制操作机构11的调节控制，以将第1基准面P1相对于水平面的角度调节为设定角度。在调节控制中，在基于由角度传感器8检测出的第1角度控制第2调节驱动部后，基于由角度传感器8检测出的第1角度及第2角度控制第3调节驱动部。顺便说一下，设定角度使相对于水平面的角度为0°。
另外，在执行调节控制之前，预先在控制装置9中，作为调整信息而存储有与由角度传感器8检测的与第1角度对应的第2操作机构11b的驱动量（第2带30b的卷取量及抽出量）、和与由角度传感器8检测的与第2角度对应的第3操作机构11c的驱动量（第3带30c的卷取及抽出量）。
在调节控制中，首先，基于由角度传感器8检测出的第1角度和存储在控制装置9中的调整信息控制第2操作机构11b，使得第1基准面P1的第1检测方向A1的相对于水平面的角度为设定角度。借助该第2操作机构11b的控制，支承机构22绕第1基准面P1中的沿着第2存在方向B2的线段摆动，第1角度为设定角度。
接着，在调节控制中，基于由角度传感器8检测出的第2角度和存储在控制装置9中的调整信息控制第3操作机构11c，使得第1基准面P1的第2检测方向A2的相对于水平面的角度成为设定角度。借助该第3操作机构11c的控制，支承机构22绕第1基准面P1中的沿着第1存在方向B1的线段摆动，第2角度成为设定角度。这样，通过控制装置9执行调节控制，将第1基准面P1相对于水平面的角度调节为设定角度，能够将支承在支承机构22上的物品W的角度修正。
〔其他实施方式〕
以下，对其他实施方式进行说明。另外，以下说明的各实施方式的结构并不限于分别单独地应用，只要不发生矛盾，也可以与其他实施方式的结构组合而应用。
（1）在上述中，将高度调节机构用将细长柔性构件卷取及抽出操作的卷绕机构构成，但也可以将高度调节机构用变更对象细长柔性构件与支承机构或基部的上下方向上的相对位置关系的位置变更机构构成。
此时，位置变更机构46优选的是例如如图10～图12所示那样构成。即，位置变更机构46具备与带30连接的第1部件47、与支承机构22连接的第2部件48、在上下方向上位于第1部件47与第2部件48之间的第3部件49、和使第3部件49沿沿着水平方向的移动方向移动的操作部件50。第3部件49构成为，借助操作机构11的驱动，沿沿着水平方向的移动方向移动。此外，第3部件49具备朝向下方的第1面49a和朝向上方的第2面49b。第1面49a形成为随着朝向移动方向的一侧（图11中的右侧）而位于上方的倾斜面，第2面49b形成为随着朝向移动方向的一侧而位于下方的倾斜面。因而，第3部件49形成为随着朝向移动方向的一侧而第1面49a与第2面49b的上下方向上的间隔变窄的形状。
第1部件47具备与第1面49a能够滑动地抵接的第3面47a，该第3面47a形成为随着朝向移动方向的一侧而位于上方的倾斜面。第2部件48具备与第2面49b能够滑动地抵接的第4面48a，该第4面48a形成为随着朝向移动方向的一侧而位于下方的倾斜面。另外，也可以将第3面47a用向上方突出的曲面构成，也可以将第4面48a用向下方突出的曲面构成。
通过如上述那样构成位置变更机构46，借助操作机构11的驱动将操作部件50旋转操作，螺纹接合在该操作部件50上的第3部件49沿着移动方向移动，借助该第3部件49的移动，第1部件47和第2部件48在上下方向上接近离开移动。由此，第1部件47的连接带30的第1部位43和第2部件48的连接在支承机构22上的第2部位44的上下方向上的相对位置关系被变更，带30与支承机构22的上下方向上的相对位置关系被变更。另外，限制部件51（参照图10）是以位于第1部件47的横侧方的方式固定在第2部件48上的部件，是限制第1部件47相对于第2部件48在水平方向上移动的部件。
（2）在上述中，例示了使调整装置的重量为与收纳了能够收纳的片数的基板的容器相同重量的形态，但也可以使调整装置的重量为与一片基板也没有收纳的容器的重量相同的重量，或使调整装置的重量为与收纳有能够收纳的片数的一半的基板的容器的重量相同的重量等，适当变更使调整装置的重量为与容器的重量相同重量的情况下的容器的状态。另外，作为调整装置的重量，也可以也包括操作机构的重量。
（3）在上述中，例示了以有线进行控制装置与操作机构之间的信息的收发的形态，但也可以具备通信装置，用无线进行控制装置与操作机构之间的信息的收发。
（4）在上述中，例示了作为角度传感器而使用检测第1方向的角度和第2方向的角度的2轴检测用的角度传感器的形态，但也可以将仅检测一方向的角度的1轴检测用的角度传感器设置为第1方向检测用和第2方向检测用等，适当变更角度传感器的种类及个数。此外，在上述中，例示了由角度传感器检测第1方向的角度和第2方向的角度的形态，但也可以由角度传感器检测与这些角度的一方或两者不同的角度。
（5）在上述中，例示了作为多个细长柔性构件而具有3条细长柔性构件的形态，但作为多个细长柔性构件也可以具有2条细长柔性构件，也可以具有4条以上的细长柔性构件。
（6）在上述中，例示了在细长柔性构件的上端部连结第1驱动部的卷绕体、将该卷绕体连结到基部上并将细长柔性构件的下端部连结到升降体上的形态，但也可以将细长柔性构件的下端部连结在第1驱动部的卷绕体上，将该卷绕体连结在升降体上并将细长柔性构件的上端部连结在基部上。此外，在上述中，例示了高度调节机构设在细长柔性构件与升降体之间的形态，但高度调节机构也可以设在细长柔性构件与基部之间。另外，在将卷绕体连结到基部上并将作为高度调节机构的卷绕机构设在细长柔性构件与基部之间的情况下、或卷绕体连结在升降体上并且将作为高度调节机构的卷绕机构设在细长柔性构件与升降体之间的情况下，也可以卷绕体兼用作卷绕部，升降用马达兼用作第2驱动部。
（7）在上述中，例示了在调整装置中具备角度传感器、在将该夹具用升降体支承的状态下用角度传感器检测第1基准面相对于水平面的角度的形态，但也可以将角度传感器设置在支承机构的上表面（第2基准面）上，用该角度传感器检测第2基准面相对于水平面的角度。在此情况下，控制装置在调节控制中基于角度传感器的检测信息控制操作机构，使得将第2基准面相对于水平面的角度调节为设定角度。
（8）在上述中，例示了第2调节驱动部的驱动量及第3调节驱动部的驱动量被作为调整信息存储在控制装置中、控制装置在调节控制中基于角度传感器的检测信息和调整信息的驱动量控制第2调节驱动部及第3调节驱动部的形态。但是，调节控制中的第2调节驱动部及第3调节驱动部的控制也可以适当变更。即，例如也可以将第1存在方向上的第2细长柔性构件相对于第1细长柔性构件的离开距离的信息及第1存在方向的角度信息、以及第2存在方向上的第3细长柔性构件相对于第1细长柔性构件的离开距离的信息及第2存在方向的角度信息作为位置信息存储到控制装置中，控制装置在调节控制中基于角度传感器的检测信息和位置信息由运算求出第2调节驱动部的驱动量及第3调节驱动部的驱动量，基于该驱动量控制第2调节驱动部及第3调节驱动部。
（9）在上述中，设细长柔性构件为带，但也可以使细长柔性构件为金属线等的别的细长柔性构件。在上述中，将升降体构成为悬挂支承物品，但也可以将升降体构成为，以在升降体上载置物品等的别的形态支承物品。
〔实施方式的概要〕
以下，对在上述中说明的物品输送设备的概要简单地说明。
作为1个技术方案，物品输送设备具备基部、升降体、细长柔性构件、第1驱动部，前述升降体支承物品，前述细长柔性构件连接在前述升降体上，悬挂前述升降体，前述细长柔性构件有多个，前述第1驱动部有选择地进行前述细长柔性构件的卷取及抽出，使前述升降体相对于前述基部升降，还具备角度传感器、高度调节机构、第2驱动部、控制装置，前述角度传感器检测被前述升降体支承的前述物品的第1基准面相对于水平面的角度或前述升降体的第2基准面相对于水平面的角度，前述第2驱动部使前述高度调节机构驱动，将多个前述细长柔性构件中的除了1个前述细长柔性构件以外的前述细长柔性构件作为对象细长柔性构件，前述高度调节机构由卷绕机构或位置变更机构构成，前述卷绕机构有选择地进行前述对象细长柔性构件的卷取及抽出，前述位置变更机构变更前述对象细长柔性构件与前述升降体或前述基部的上下方向的相对位置关系，前述控制装置执行基于前述角度传感器的检测信息控制前述第2驱动部的调节控制，使得将前述第1基准面相对于水平面的角度或前述第2基准面相对于水平面的角度调节为设定角度。
根据该结构，例如通过在物品的第1基准面上设置角度传感器，能够用角度传感器检测第1基准面相对于水平面的角度。此外，例如通过在升降体的第2基准面上设置角度传感器，能够用角度传感器检测第2基准面相对于水平面的角度。
并且，在用角度传感器检测第1基准面相对于水平面的角度的情况下，在将高度调节机构用卷绕机构构成的情况下，通过控制装置执行调节控制，由第2驱动部的驱动操作卷绕机构而有选择地进行对象细长柔性构件的卷取及抽出。由此，能够将第1基准面相对于水平面的角度调节为设定角度，能够将升降体的姿势修正，使得抑制被该升降体支承的物品的倾斜。
此外，在由角度传感器检测第1基准面相对于水平面的角度的情况下，在将高度调节机构用位置变更机构构成的情况下，通过控制装置执行调节控制，借助第2驱动部的驱动操作位置变更机构，将对象细长柔性构件与升降体或基部的上下方向上的相对位置关系变更，由此将第1基准面相对于水平面的角度调整为设定角度。因此，升降体的姿势被修正，使得被该升降体支承的物品的倾斜被抑制。
同样，在由角度传感器检测第2基准面相对于水平面的角度的情况下，在将高度调节机构用卷绕机构构成的情况下，通过控制装置执行调节控制，将第2基准面相对于水平面的角度调整为设定角度，所以能够将升降体的姿势修正。此外，在由角度传感器检测第2基准面相对于水平面的角度的情况下，在将高度调节机构用位置变更机构构成的情况下，通过控制装置执行调节控制，将第2基准面相对于水平面的角度调整为设定角度，所以能够将升降体的姿势修正。
这样，通过控制装置执行调整控制，第1基准面或第2基准面相对于水平面的角度被调整为设定角度，升降体的姿势被修正，所以不依赖作业者的熟练度就足够，所以容易将升降体修正为正确的姿势。
这里，优选的是，作为前述物品，有调整装置和输送物；前述角度传感器及前述控制装置被装备于前述调整装置；前述角度传感器检测前述调整装置的前述第1基准面相对于水平面的角度。
根据该结构，由于用角度传感器检测第1基准面相对于水平面的角度，所以通过控制装置执行调节控制，将第1基准面相对于水平面的角度调整为设定角度。即，不是用角度传感器检测升降体的倾斜，而通过由角度传感器检测被升降体支承的调整装置自身的倾斜，能够将支承在升降体上的调整装置自身的姿势修正。这样，通过将被升降体支承的调整装置自身的姿势修正，即使是在升降体中发生了歪斜的情况，也能够将调整装置用适当的姿势支承，在由升降体支承着输送物的情况下能够抑制该输送物的倾斜。
此外，优选的是，前述调整装置与前述输送物重量相同。
根据该结构，由于能够在与被升降体支承着输送物的状态相同的状态或接近的状态下计测升降体的角度，所以能够适当地抑制用升降体支承着输送物时的输送物的倾斜。
此外，优选的是，前述卷绕机构具备卷绕着前述对象细长柔性构件的卷绕部；前述第2驱动部为了有选择地将前述对象细长柔性构件卷取及抽出，使前述卷绕部旋转。
根据该结构，通过第2驱动部有选择地使卷绕体正反旋转，能够有选择地将对象细长柔性构件卷取及抽出。并且，由于卷绕机构是将对象卷绕体卷取及抽出的结构，所以即使是对象细长柔性构件的卷取及抽出的长度变长的情况，也容易将卷绕机构在上下方向上紧凑地构成。
此外，优选的是，前述位置变更机构具备与前述细长柔性构件连接的第1部件、与前述升降体或前述基部连接的第2部件、和在上下方向上位于前述第1部件与前述第2部件之间的第3部件；前述第3部件在前述第2驱动部的驱动下沿沿着水平方向的移动方向移动，并且具备朝向下方的第1面和朝向上方的第2面，形成为随着朝向前述移动方向的一侧而前述第1面与前述第2面的上下方向上的间隔变窄的形状；前述第1部件具备朝向上方且与前述第1面能够滑动地抵接的第3面；前述第2部件具备朝向下方且与前述第2面能够滑动地抵接的第4面；前述第2驱动部使前述第3部件沿着前述移动方向移动。
根据该结构，通过由第2驱动部使第3部件向移动方向的一侧移动，第1部件相对于第2部件相对地向下方移动，对象细长柔性构件相对于升降体或基部向下方移动。此外，通过由第2驱动部使第3部件向与移动方向的一侧相反的一侧移动，第1部件相对于第2部件相对向上方移动，对象细长柔性构件相对于升降体或基部向上方移动。
这样，通过由第2驱动部使第3部件在移动方向上移动，能够变更对象细长柔性构件与升降体或基部的上下方向上的相对位置关系。并且，通过将第1部件、第2部件及第3部件使用相比细长柔性构件不易因老化而上下方向的大小变化的材质，与将细长柔性构件卷取抽出操作而调节的情况相比，容易适当地修正升降体的角度。
此外，优选的是，多个前述细长柔性构件至少包括第1细长柔性构件、第2细长柔性构件和第3细长柔性构件；前述第2细长柔性构件及前述第3细长柔性构件是前述对象细长柔性构件；将驱动连接着前述第2细长柔性构件的前述高度调节机构的前述第2驱动部作为第2调节驱动部，将驱动连接着前述第3细长柔性构件的前述高度调节机构的前述第2驱动部作为第3调节驱动部；设以铅直方向观察前述第2细长柔性构件相对于第1细长柔性构件存在的方向为第1方向，设以铅直方向观察相对于前述第1方向正交的方向为第2方向；前述角度传感器检测作为前述第1方向上的前述第1基准面或前述第2基准面相对于水平面的角度的第1角度、和作为前述第2方向上的前述第1基准面或前述第2基准面相对于水平面的角度的第2角度；前述调节控制在基于由前述角度传感器检测到的前述第1角度控制前述第2调节驱动部后，基于由前述角度传感器检测到的前述第1角度及前述第2角度控制前述第3调节驱动部。
根据该结构，在调节控制中，基于由角度传感器检测出的第1角度控制第2调节驱动部，使得该第1角度成为设定角度。由此，例如能够使升降体的被第1细长柔性构件支承的高度和升降体的被第2细长柔性构件支承的高度成为相同的高度。
并且，基于由角度传感器检测出的第2角度控制第3调节驱动部，使得该第2角度成为设定角度。此时，升降体相对于第1细长柔性构件绕朝向第2细长柔性构件存在的方向的水平的线段摆动，所以能够不使第1角度变化而例如使升降体的被第3细长柔性构件支承的高度与升降体的被第1细长柔性构件或第2细长柔性构件支承的高度成为相同的高度。
这样，通过仅基于第1角度控制第2调节驱动部，能够将第1方向上的倾斜消除，通过仅基于第2角度控制第3调节驱动部，能够将第2方向上的倾斜消除，所以能够将第1基准面或第2基准面的第1方向和第2方向的两者与水平面的倾斜借助简单的控制来修正。
附图标记说明
8 角度传感器
9 控制装置
11 操作机构（第2驱动部）
11b 第2操作机构（第2调节驱动部）
11c 第3操作机构（第3调节驱动部）
21 基部
22 支承机构（升降体）
30 带（细长柔性构件）
30a 第1带（第1细长柔性构件）
30b 第2带（第2细长柔性构件，对象细长柔性构件）
30c 第3带（第3细长柔性构件，对象细长柔性构件）
31 卷绕体（第1驱动部）
32 升降用马达（第1驱动部）
37 卷绕机构（高度调节机构）
38 卷绕部
46 位置变更机构（高度调节机构）
47 第1部件
47a 第3面
48 第2部件
48a 第4面
49 第3部件
49a第1面
49b 第2面
A1 第1检测方向（第1方向）
A2 第2检测方向（第2方向）
B1 第1存在方向（第1方向）
P1 第1基准面
P2 第2基准面
W 物品
Wa 容器（输送物）
Wb 调整装置。

Claims (10)

1.一种物品输送设备，具备基部、升降体、细长柔性构件、第1驱动部，
前述升降体支承物品，
前述细长柔性构件连接在前述升降体上，悬挂前述升降体，前述细长柔性构件有多个，
前述第1驱动部有选择地进行前述细长柔性构件的卷取及抽出，使前述升降体相对于前述基部升降，其特征在于，
还具备角度传感器、高度调节机构、第2驱动部、控制装置，
前述角度传感器检测被前述升降体支承的前述物品的第1基准面相对于水平面的角度或前述升降体的第2基准面相对于水平面的角度，
前述第2驱动部使前述高度调节机构驱动，
将多个前述细长柔性构件中的除了1个前述细长柔性构件以外的前述细长柔性构件作为对象细长柔性构件，
前述高度调节机构由卷绕机构或位置变更机构构成，
前述卷绕机构有选择地进行前述对象细长柔性构件的卷取及抽出，
前述位置变更机构变更前述对象细长柔性构件与前述升降体或前述基部的上下方向的相对位置关系，
前述控制装置执行基于前述角度传感器的检测信息控制前述第2驱动部的调节控制，使得将前述第1基准面相对于水平面的角度或前述第2基准面相对于水平面的角度调节为设定角度。
2.如权利要求1所述的物品输送设备，其特征在于，
作为前述物品，有调整装置和输送物；
前述角度传感器及前述控制装置被装备于前述调整装置；
前述角度传感器检测前述调整装置的前述第1基准面相对于水平面的角度。
3.如权利要求2所述的物品输送设备，其特征在于，
前述调整装置与前述输送物重量相同。
4.如权利要求1所述的物品输送设备，其特征在于，
前述卷绕机构具备卷绕着前述对象细长柔性构件的卷绕部；
前述第2驱动部为了有选择地将前述对象细长柔性构件卷取及抽出，使前述卷绕部旋转。
5.如权利要求2所述的物品输送设备，其特征在于，
前述卷绕机构具备卷绕着前述对象细长柔性构件的卷绕部；
前述第2驱动部为了有选择地将前述对象细长柔性构件卷取及抽出，使前述卷绕部旋转。
6.如权利要求3所述的物品输送设备，其特征在于，
前述卷绕机构具备卷绕着前述对象细长柔性构件的卷绕部；
前述第2驱动部为了有选择地将前述对象细长柔性构件卷取及抽出，使前述卷绕部旋转。
7.如权利要求1所述的物品输送设备，其特征在于，
前述位置变更机构具备与前述细长柔性构件连接的第1部件、与前述升降体或前述基部连接的第2部件、和在上下方向上位于前述第1部件与前述第2部件之间的第3部件；
前述第3部件在前述第2驱动部的驱动下沿沿着水平方向的移动方向移动，并且具备朝向下方的第1面和朝向上方的第2面，形成为随着朝向前述移动方向的一侧而前述第1面与前述第2面的上下方向上的间隔变窄的形状；
前述第1部件具备朝向上方且与前述第1面能够滑动地抵接的第3面；
前述第2部件具备朝向下方且与前述第2面能够滑动地抵接的第4面；
前述第2驱动部使前述第3部件沿着前述移动方向移动。
8.如权利要求2所述的物品输送设备，其特征在于，
前述位置变更机构具备与前述细长柔性构件连接的第1部件、与前述升降体或前述基部连接的第2部件、和在上下方向上位于前述第1部件与前述第2部件之间的第3部件；
前述第3部件在前述第2驱动部的驱动下沿沿着水平方向的移动方向移动，并且具备朝向下方的第1面和朝向上方的第2面，形成为随着朝向前述移动方向的一侧而前述第1面与前述第2面的上下方向上的间隔变窄的形状；
前述第1部件具备朝向上方且与前述第1面能够滑动地抵接的第3面；
前述第2部件具备朝向下方且与前述第2面能够滑动地抵接的第4面；
前述第2驱动部使前述第3部件沿着前述移动方向移动。
9.如权利要求3所述的物品输送设备，其特征在于，
前述位置变更机构具备与前述细长柔性构件连接的第1部件、与前述升降体或前述基部连接的第2部件、和在上下方向上位于前述第1部件与前述第2部件之间的第3部件；
前述第3部件在前述第2驱动部的驱动下沿沿着水平方向的移动方向移动，并且具备朝向下方的第1面和朝向上方的第2面，形成为随着朝向前述移动方向的一侧而前述第1面与前述第2面的上下方向上的间隔变窄的形状；
前述第1部件具备朝向上方且与前述第1面能够滑动地抵接的第3面；
前述第2部件具备朝向下方且与前述第2面能够滑动地抵接的第4面；
前述第2驱动部使前述第3部件沿着前述移动方向移动。
10.如权利要求1～9中任一项所述的物品输送设备，其特征在于，
多个前述细长柔性构件至少包括第1细长柔性构件、第2细长柔性构件和第3细长柔性构件；
前述第2细长柔性构件及前述第3细长柔性构件是前述对象细长柔性构件；
将驱动连接着前述第2细长柔性构件的前述高度调节机构的前述第2驱动部作为第2调节驱动部，将驱动连接着前述第3细长柔性构件的前述高度调节机构的前述第2驱动部作为第3调节驱动部；
设以铅直方向观察前述第2细长柔性构件相对于第1细长柔性构件存在的方向为第1方向，设以铅直方向观察相对于前述第1方向正交的方向为第2方向；
前述角度传感器检测作为前述第1方向上的前述第1基准面或前述第2基准面相对于水平面的角度的第1角度、和作为前述第2方向上的前述第1基准面或前述第2基准面相对于水平面的角度的第2角度；
前述调节控制在基于由前述角度传感器检测到的前述第1角度控制前述第2调节驱动部后，基于由前述角度传感器检测到的前述第1角度及前述第2角度控制前述第3调节驱动部。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111212797A (zh) * 2017-11-02 2020-05-29 村田机械株式会社 空中输送车系统以及其中的物品的暂时保管方法
CN112179316A (zh) * 2019-07-03 2021-01-05 株式会社大福 检查系统

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015120019A1 (en) 2014-02-10 2015-08-13 Google Inc. Smart camera user interface
NO20160118A1 (en) 2016-01-26 2017-07-27 Autostore Tech As Remotely operated vehicle
DE102018113196A1 (de) * 2017-06-02 2018-12-06 Dücker Group GmbH Palettenroboter mit Schwenkhubantrieb
CN110944932B (zh) * 2017-06-02 2021-11-23 杜克集团有限公司 具有抓取装置的托盘机器人
JP6910597B2 (ja) * 2017-09-01 2021-07-28 村田機械株式会社 天井搬送車システム及び天井搬送車でのティーチング方法
NO346347B1 (en) 2018-04-25 2022-06-20 Autostore Tech As Container handling vehicle comprising first and second section and assembly of motors in second section, and system
NO346364B1 (en) 2018-04-25 2022-06-27 Autostore Tech As Container handling vehicle with first and second sections and battery in second section, and system.
NO344970B1 (en) * 2018-04-25 2020-08-03 Autostore Tech As Container-handling vehicle comprising a lifting device and method of raising or lowering a storage container relative a container-handling vehicle having a lifting device
JP7234258B2 (ja) 2018-01-09 2023-03-07 アウトストア・テクノロジー・エーエス 遠隔操作車両のための変位機構
EP3784605B1 (en) * 2018-04-25 2024-06-19 Autostore Technology As Container-handling vehicle
CA3095584A1 (en) 2018-04-25 2019-10-31 Autostore Technology AS Container handling vehicle with first and second sections and lifting device motor in second section
KR102571930B1 (ko) * 2018-05-28 2023-08-29 세메스 주식회사 수평도 조절 유닛 및 이를 갖는 비히클
JP6969512B2 (ja) * 2018-07-05 2021-11-24 株式会社ダイフク 物品搬送装置
KR102580660B1 (ko) * 2018-10-05 2023-09-21 세메스 주식회사 비히클 및 비히클의 수평도 조절 방법
JP7306360B2 (ja) 2020-10-12 2023-07-11 株式会社ダイフク 物品昇降装置および物品昇降装置を備えた物品搬送車
JP7268667B2 (ja) * 2020-11-04 2023-05-08 株式会社ダイフク 搬送車
JP7342841B2 (ja) 2020-11-06 2023-09-12 株式会社ダイフク 搬送車
TWI749915B (zh) * 2020-11-30 2021-12-11 寅翊智造股份有限公司 自動化處理機之升降裝置
CN117486047B (zh) * 2023-11-08 2024-05-10 江苏广立吊索具有限公司 一种具有运输维稳功能的智能防爆吊具

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63258388A (ja) * 1987-04-15 1988-10-25 元田電子工業株式会社 天井走行クレ−ン
JPH0586975A (ja) * 1991-09-20 1993-04-06 Mazda Motor Corp エンジンのケース構造
CN1486920A (zh) * 2002-08-29 2004-04-07 株式会社安川电机 吊车钢丝绳振摆角的检测方法
WO2010010795A1 (ja) * 2008-07-23 2010-01-28 株式会社ダイフク 物品搬送設備における学習装置及び学習方法
CN101792092A (zh) * 2009-01-21 2010-08-04 曼尼托沃克起重机有限责任公司 液压系统热收缩补偿装置和方法
CN202953737U (zh) * 2012-10-23 2013-05-29 福建天起起重机械有限公司 双小车起重机

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0639477B2 (ja) * 1986-04-30 1994-05-25 信越化学工業株式会社 エピタキシャル成長用有機金属化合物の精製方法
US4883184A (en) * 1986-05-23 1989-11-28 Albus James S Cable arrangement and lifting platform for stabilized load lifting
JPH0620309U (ja) * 1992-03-02 1994-03-15 村田機械株式会社 重量物搬送車
JPH0586975U (ja) * 1992-05-08 1993-11-22 株式会社小松製作所 ワイヤロープ長さ調整器
US20050079041A1 (en) * 2003-10-13 2005-04-14 International Business Machines Corporation Hoisting device for use with overhead traveling carriage system
KR101206312B1 (ko) * 2005-06-28 2012-11-29 에이비비 에이비 크레인용 화물 제어 장치
JP5267853B2 (ja) * 2008-07-23 2013-08-21 株式会社ダイフク 物品搬送設備における学習装置
JP2011029550A (ja) * 2009-07-29 2011-02-10 Muratec Automation Co Ltd 搬送システム及びその設定方法
JP5636849B2 (ja) * 2010-09-30 2014-12-10 村田機械株式会社 移載システム
CN202098976U (zh) * 2011-05-10 2012-01-04 中交第二航务工程局有限公司 构件吊索长度及空中横向姿态自由调整装置
JP5527619B2 (ja) 2011-11-24 2014-06-18 株式会社ダイフク 天井設置型の物品搬送設備
CN103253594B (zh) * 2013-05-07 2015-03-25 徐工集团工程机械股份有限公司 履带起重机多卷扬钢丝绳长度调整方法及装置
JP6206088B2 (ja) * 2013-10-28 2017-10-04 村田機械株式会社 教示システム
TWM494196U (zh) * 2014-08-29 2015-01-21 Wei-Hsuan Liao 可升降之攝影棚

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63258388A (ja) * 1987-04-15 1988-10-25 元田電子工業株式会社 天井走行クレ−ン
JPH0586975A (ja) * 1991-09-20 1993-04-06 Mazda Motor Corp エンジンのケース構造
CN1486920A (zh) * 2002-08-29 2004-04-07 株式会社安川电机 吊车钢丝绳振摆角的检测方法
WO2010010795A1 (ja) * 2008-07-23 2010-01-28 株式会社ダイフク 物品搬送設備における学習装置及び学習方法
CN101792092A (zh) * 2009-01-21 2010-08-04 曼尼托沃克起重机有限责任公司 液压系统热收缩补偿装置和方法
CN202953737U (zh) * 2012-10-23 2013-05-29 福建天起起重机械有限公司 双小车起重机

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111212797A (zh) * 2017-11-02 2020-05-29 村田机械株式会社 空中输送车系统以及其中的物品的暂时保管方法
CN111212797B (zh) * 2017-11-02 2021-07-20 村田机械株式会社 空中输送车系统以及其中的物品的暂时保管方法
CN112179316A (zh) * 2019-07-03 2021-01-05 株式会社大福 检查系统

Also Published As

Publication number Publication date
JP6641926B2 (ja) 2020-02-05
TW201722811A (zh) 2017-07-01
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US9975705B2 (en) 2018-05-22

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