JP2017095261A - 物品搬送設備 - Google Patents

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Abstract

【課題】支持機構を適切な姿勢に修正し易い物品搬送設備を提供する。【解決手段】昇降体２２に支持された物品Ｗｂにおける第１基準面Ｐ１の水平面に対する角度を検出する角度センサ８と、巻回機構３７と、巻回機構３７を駆動させる第２駆動部１１と、制御装置９と、を備え、巻回機構３７は、対象索条体３０ｂ，３０ｃの巻き取り及び繰り出しを選択的に行うように構成され、制御装置９は、第１基準面Ｐ１の水平面に対する角度を設定角度に調節するように、角度センサ８の検出情報に基づいて第２駆動部１１を制御する。【選択図】図８

Description

本発明は、基部と、物品を支持する昇降体と、前記昇降体に接続されて前記昇降体を吊り下げる複数の索条体と、前記索条体の巻き取り及び繰り出しを選択的に行い前記昇降体を前記基部に対して昇降させる第１駆動部と、を備えた物品搬送設備に関する。
かかる物品搬送設備の従来例が、特開２０１３−１１０３７０号公報（特許文献１）に記載されている。このような物品搬送設備では、経年劣化等により複数の索条体に伸びが生じ、また、複数の索条体の伸び量は複数の索条体の夫々で異なるため、複数の索条体にて吊り下げられている昇降体及びその昇降体に支持された物品が傾く場合がある。
そこで、従来では、昇降体の上部に高さ調節機構を固定し、索条体を高さ調節機構に接続することで、当該高さ調節機構を介して索条体を昇降体に接続している。作業者は、角度センサを用いて昇降体の角度を検出し、昇降体が設定角度に対して傾いている場合は、作業者が高さ調節機構を操作して昇降体の傾きを調整していた。
特開２０１３−１１０３７０号公報
しかし、角度センサにて検出された角度に基づいて、昇降体における索条体にて支持されている部分の高さが同じ高さになるように、作業者が複数の索条体に対する高さ調節機構を操作して昇降体の角度を調整していたため、作業者の熟練度等によっては、昇降体の角度を適切な角度に調整する作業に長い時間を要する場合があった。
そこで、昇降体の角度を適切な角度に調整し易い物品搬送設備が求められる。
本発明に係る物品搬送設備の特徴構成は、基部と、物品を支持する昇降体と、前記昇降体に接続されて前記昇降体を吊り下げる複数の索条体と、前記索条体の巻き取り及び繰り出しを選択的に行い前記昇降体を前記基部に対して昇降させる第１駆動部と、を備えた物品搬送設備において、
前記昇降体に支持された前記物品における第１基準面の水平面に対する角度又は前記昇降体における第２基準面の水平面に対する角度を検出する角度センサと、高さ調節機構と、前記高さ調節機構を駆動させる第２駆動部と、制御装置と、を更に備え、複数の前記索条体のうちの１つの前記索条体を除いた前記索条体を、対象索条体として、前記高さ調節機構は、前記対象索条体の巻き取り及び繰り出しを選択的に行う巻回機構、又は、前記対象索条体と前記昇降体又は前記基部との上下方向での相対位置関係を変更する位置変更機構、にて構成され、前記制御装置は、前記第１基準面の水平面に対する角度又は前記第２基準面の水平面に対する角度を設定角度に調節するように、前記角度センサの検出情報に基づいて前記第２駆動部を制御する調節制御を実行する点にある。
この特徴構成によれば、例えば、物品の第１基準面上に角度センサを設置することで、角度センサにて第１基準面の水平面に対する角度を検出できる。また、例えば、昇降体の第２基準面上に角度センサを設置することで、角度センサにて第２基準面の水平面に対する角度を検出できる。
そして、角度センサにて第１基準面の水平面に対する角度を検出する場合において、高さ調節機構を巻回機構にて構成した場合は、制御装置が調節制御を実行することで、第２駆動部の駆動により巻回機構が操作されて対象索条体の巻き取り及び繰り出しが選択的に行われる。これにより、第１基準面の水平面に対する角度を設定角度に調節でき、当該昇降体に支持された物品の傾きが抑制されるように、昇降体の姿勢を修正できる。
また、角度センサにて第１基準面の水平面に対する角度を検出する場合において、高さ調節機構を位置変更機構にて構成した場合は、制御装置が調節制御を実行することで、第２駆動部の駆動により位置変更機構が操作されて対象索条体と昇降体又は基部との上下方向での相対位置関係が変更されることで、第１基準面の水平面に対する角度が設定角度に調整される。そのため、当該昇降体に支持された物品の傾きが抑制されるように、昇降体の姿勢が修正される。
同様に、角度センサにて第２基準面の水平面に対する角度を検出する場合において、高さ調節機構を巻回機構にて構成した場合は、制御装置が調節制御を実行することで第２基準面の水平面に対する角度が設定角度に調整されるため、昇降体の姿勢を修正できる。また、角度センサにて第２基準面の水平面に対する角度を検出する場合において、高さ調節機構を位置変更機構にて構成した場合は、制御装置が調節制御を実行することで第２基準面の水平面に対する角度を設定角度に調整されるため、昇降体の姿勢を修正できる。
このように、制御装置が調整制御を実行することで、第１基準面又は第２基準面の水平面に対する角度が設定角度に調整されて、昇降体の姿勢が修正されるため、作業者の熟練度に頼らずに済むことから、昇降体を適正な姿勢に修正し易くなる。
ここで、前記物品として、治具と搬送物とがあり、前記角度センサ及び前記制御装置は、前記治具に備えられ、前記角度センサは、前記治具における前記第１基準面の水平面に対する角度を検出すると好適である。
この構成によれば、角度センサにて第１基準面の水平面に対する角度が検出されるため、制御装置が調節制御を実行することで、第１基準面の水平面に対する角度が設定角度に調整される。つまり、昇降体の傾きを角度センサにて検出するのではなく、昇降体に支持されている治具自体の傾きを角度センサにて検出することで、昇降体に支持された治具自体の姿勢を修正できる。このように、昇降体に支持されている治具自体の姿勢が修正されることで、昇降体に歪みが生じている場合でも治具を適切な姿勢で支持でき、昇降体にて搬送物を支持した場合はその搬送物の傾きを抑制できる。
また、前記治具は、前記搬送物と同じ重量であると好適である。
この構成によれば、昇降体に搬送物を支持した状態と同じ状態又は近い状態で昇降体の角度を計測できるため、昇降体にて搬送物を支持したときの搬送物の傾きを適切に抑制できる。
また、前記巻回機構は、前記対象索条体を巻回した巻回部を備え、前記第２駆動部は、前記対象索条体を巻き取り及び繰り出しを選択的に行うために、前記巻回部を回転させると好適である。
この構成によれば、第２駆動部が巻回体を正逆に選択的に回転させることで、対象索条体を巻き取り及び繰り出しを選択的に行うことができる。そして、巻回機構は、対象巻回体を巻き取り及び繰り出しを行う構成であるため、対象索条体の巻き取り及び繰り出しする長さが長くなる場合でも、巻回機構を上下方向にコンパクトに構成し易い。
また、前記位置変更機構が、前記索条体に接続される第１部材と、前記昇降体又は前記基部に接続される第２部材と、上下方向において前記第１部材と前記第２部材との間に位置する第３部材と、を備え、前記第３部材は、前記第２駆動部の駆動により水平方向に沿う移動方向に沿って移動し、且つ、下方に向く第１面と上方に向く第２面とを備えて前記移動方向の一方側に向かうに従って前記第１面と前記第２面との上下方向での間隔が狭くなる形状に形成され、前記第１部材は、上方に向き且つ前記第１面と摺動可能に当接する第３面を備え、前記第２部材は、下方に向き且つ前記第２面と摺動可能に当接する第４面を備え、前記第２駆動部は、前記第３部材を前記移動方向に沿って移動させると好適である。
この構成によれば、第２駆動部にて第３部材を移動方向の一方側に移動させることで、第１部材が第２部材に対して相対的に下方に移動し、対象索条体は昇降体又は基部に対して下方に移動する。また、第２駆動部にて第３部材を移動方向の一方側とは反対側に移動させることで、第１部材が第２部材に対して相対的に上方に移動し、対象索条体は昇降体又は基部に対して上方に移動する。
このように第２駆動部にて第３部材を移動方向に移動させることで、対象索条体と昇降体又は基部との上下方向での相対位置関係を変更できる。そして、第１部材、第２部材及び第３部材を、索条体に比べて経年変化にて上下方向の大きさが変化し難い材質を用いることで、索条体を巻き取り繰り出し操作して調節する場合に比べて、昇降体の角度を適切に修正し易くなる。
また、複数の前記索条体は、少なくとも第１索条体と第２索条体と第３索条体とを含み、前記第２索条体及び第３索条体が、前記対象索条体であり、前記第２索条体が接続された前記高さ調節装置を駆動する前記第２駆動部を、第２調節駆動部とし、前記第３索条体が接続された前記高さ調節装置を駆動する前記第２駆動部を、第３調節駆動部とし、鉛直方向にみて、第１索条体に対して前記第２索条体が存在する方向を第１方向とし、鉛直方向に見て前記第１方向に対して直交する方向を第２方向として、前記角度センサは、前記第１方向における前記第１基準面又は前記第２基準面の水平面に対する角度である第１角度と、前記第２方向における前記第１基準面又は前記第２基準面の水平面に対する角度である第２角度と、を検出し、前記調節制御は、前記角度センサにより検出された前記第１角度に基づいて、前記第２調節駆動部を制御した後、前記角度センサにて検出された前記第１角度及び前記第２角度に基づいて、前記第３調節駆動部を制御すると好適である。
この構成によれば、調節制御では、角度センサにより検出された第１角度に基づいて、当該第１角度が設定角度となるように第２調節駆動部が制御される。これにより、例えば、昇降体における第１索条体にて支持される高さと昇降体における第２索条体にて支持される高さとを同じ高さにすることができる。
そして、角度センサにより検出された第２角度に基づいて、当該第２角度が設定角度となるように第３調節駆動部を制御する。このとき、昇降体は、第１索条体に対して第２索条体が存在する方向を向く水平な線分周りで揺動するため、第１角度を変化させることなく、例えば、昇降体における第３索条体にて支持される高さと昇降体における第１索条体や第２索条体にて支持される高さとを同じ高さにすることができる。
このように、第１角度のみに基づいて、第２調節駆動部を制御することで、第１方向における傾きを解消でき、第２角度のみに基づいて、第３調節駆動部を制御することで、第２方向における傾きを解消できるため、第１基準面又は第２基準面の第１方向と第２方向との双方の水平面との傾きを簡単な制御で修正できる。
搬送物を支持した物品搬送車の側面図 搬送物を支持した物品搬送車の側面図 カバー体の一部を切り欠いた物品搬送車の側面図 カバー体の一部を切り欠いた物品搬送車の正面図 巻回機構の縦断側面図 巻回機構の縦断正面図 治具を支持した物品搬送車の側面図 巻回機構及び治具の側面図 支持機構の平面図 位置変更機構の分解斜視図 位置変更機構の側面図 位置変更機構の側面図
以下、本発明にかかる物品搬送設備の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１及び図２に示すように、物品搬送設備には、天井近くを走行経路に沿って走行して搬送物である容器Ｗａを搬送する物品搬送車１と、容器Ｗａに収容されている基板に対して処理を行う処理装置２と、その処理装置２に隣接する状態で床面上に設置された支持台３と、が設けられている。
尚、本実施形態では、半導体基板を収容するＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）を容器Ｗａ（搬送物）としている。また、走行経路に沿う方向を走行方向とし、その走行方向に対して平面視で直交する方向を幅方向と称して説明する。
〔容器〕
図３及び図４に示すように、容器Ｗａには、容器Ｗａの上端部に備えられて物品搬送車１の支持機構２２に支持される容器フランジ部６ａと、容器フランジ部６ａより下方に位置して複数枚の半導体基板を収容する容器本体部５ａと、容器本体部５ａの前面に形成された基板出し入れ用の基板出入口を閉じる着脱自在な蓋体（図示せず）と、が備えられている。ちなみに、物品搬送車１は、容器フランジ部６ａを吊り下げ支持した状態で容器Ｗａを搬送するように構成されている。
〔物品搬送車〕
次に、物品搬送車１について説明する。尚、物品搬送車１を説明するにあたり、物品搬送車１が水平な直線状の走行経路を走行している状態を想定して説明する。また、物品搬送車１の後方から前方を見た状態で、左右方向を特定して説明する。
図２及び図３に示すように、物品搬送車１は、天井から吊り下げ支持された走行レール１４上をその走行レール１４に沿って走行する走行部１５と、左右一対の走行レール１４の下方に位置して容器Ｗａを支持する本体部１６と、を備えている。
〔走行部〕
走行部１５は、走行方向に並ぶ前方走行部１５Ｆと後方走行部１５Ｒとから構成されている。前方走行部１５Ｆは、後方走行部１５Ｒより前方に位置している。そして、前方走行部１５Ｆ及び後方走行部１５Ｒの夫々は、縦軸心周りに回転自在に本体部１６の基部２１に連結されている。
前方走行部１５Ｆには、電動式の駆動モータ１８にて回転駆動される左右一対の走行輪１９が、左右一対の走行レール１４の夫々の上面にて形成される走行面を走行する状態で装備されている。また、前方走行部１５Ｆには、車体上下幅方向に沿う軸心周り（上下軸心周り）で自由回転する左右一対の案内輪２０が、左右一対の走行レール１４における内側面を転動する状態で装備されている。尚、左右一対の案内輪２０については、走行方向に並ぶ状態で前方走行部１５Ｆに２組装備されている。
後方走行部１５Ｒには、前方走行部１５Ｆと同様に、１組の左右一対の走行輪１９と２組の左右一対の案内輪２０とが装備されている。
物品搬送車１は、前方走行部１５Ｆの案内輪２０及び後方走行部１５Ｒの案内輪２０が一対の走行レール１４にて案内されることによって、幅方向での位置が規制されながら、前方走行部１５Ｆの走行輪１９及び後方走行部１５Ｒの走行輪１９が回転駆動されることによって、走行経路に沿って走行するように構成されている。
また、物品搬送車１は、本体部１６に対して前方走行部１５Ｆ及び後方走行部１５Ｒが上下方向に沿う軸心周りで揺動することにより、走行経路が円弧状であっても走行経路に沿って走行できるようになっている。
〔本体部〕
本体部１６には、走行部１５に連結される基部２１と、物品Ｗを支持する昇降体としての支持機構２２と、支持機構２２を走行部１５に対して昇降移動させる昇降操作機構２３と、支持機構２２を走行部１５に対して縦軸心周りに回転させる回転操作機構２４と、上昇設定位置（図１等に示す位置）に上昇している支持機構２２にて支持された容器Ｗａの上方側及び走行方向両側を覆うカバー体２５と、を備えている。
回転操作機構２４は、回転用モータ２８の駆動により回転体２７を縦軸心周りに回転させることで、回転体２７にて支持されている支持機構２２を縦軸心周りに回転させるように構成されている。
昇降操作機構２３には、先端部が支持機構２２に接続されて支持機構２２を吊り下げる複数のベルト３０と、ベルト３０が巻回された巻回体３１と、巻回体３１を回転させる昇降用モータ３２（図８参照）と、が備えられている。昇降操作機構２３は、昇降用モータ３２にて巻回体３１を正逆に回転させて、複数のベルト３０を巻き取り及び繰り出し操作を選択的に行うことで、支持機構２２を昇降移動させるように構成されている。尚、巻回体３１と昇降用モータ３２とで、基部２１に支持され且つベルト３０を巻き取り繰り出し操作して支持機構２２を基部２１に対して昇降させる第１駆動部が構成され、複数のベルト３０が、支持機構２２に接続されて支持機構２２を吊り下げる複数の索条体に相当する。
支持機構２２は、把持用モータ３４の駆動により一対の把持爪３５を互いに接近離間移動させるように構成されている。説明を加えると、支持機構２２は、一対の把持爪３５を接近移動させることで、一対の把持爪３５が容器Ｗａの容器フランジ部６ａを支持する支持状態（図１参照）に切り換えられ、把持爪３５を互いに離間移動させることで、一対の把持爪３５による容器Ｗａの容器フランジ部６ａに対する支持を解除する支持解除状態（図２参照）に切り換えられる。このように、支持機構２２は、把持用モータ３４の駆動により支持状態と支持解除状態とに切換自在に構成されている。
昇降操作機構２３には、複数のベルト３０として、第１ベルト３０ａと第２ベルト３０ｂと第３ベルト３０ｃとの３本のベルト３０が備えられている。支持機構２２には、巻回機構３７が固定されており、３本のベルト３０は、巻回機構３７に接続することで当該巻回機構３７を介して支持機構２２に接続されている。尚、複数のベルト３０が、複数の索条体に相当し、第１ベルト３０ａは、第１索条体に相当し、第２ベルト３０ｂは、第２索条体に相当し、第３ベルト３０ｃは、第３索条体に相当する。
〔巻回機構〕
巻回機構３７は、ベルト３０を巻回した巻回部３８と、巻回部３８に相対回転自在に支持され且つ支持機構２２に固定された固定部３９と、作業者や後述の操作機構１１にて巻回部３８を回転させるための操作部４０と、操作部４０を保持するための固定具４１と、を備えている。巻回機構３７は、ベルト３０が接続される第１箇所３７ａと支持機構２２に連結される第２箇所３７ｂとを備えており、巻回部３８が第１箇所３７ａを有し、固定部３９が第２箇所３７ｂを有している。
操作部４０は、円筒形状に形成されており、操作部４０内に巻回部３８の軸部３８ａが挿入されている。操作部４０の外周面及び固定部３９の内周面にはスプライン歯が形成されている。巻回部３８の軸部３８ａと操作部４０とは、軸心周りには一体に回転し且つ軸心方向には相対移動するように連結されている。そして、操作部４０を軸心方向に沿って移動させることで、操作部４０を固定部３９に嵌合させた位置（図６参照）と固定部３９から軸方向に離脱させた位置（図示省略）とに移動可能となっている。
上述の如く、操作部４０の外周面及び固定部３９の内周面にはスプライン歯が形成されており、操作部４０を固定部３９に嵌合させた状態では、操作部４０の軸心周りの回転が規制される。そして、操作部４０を固定部３９に嵌合させた状態では、操作部４０が軸方向に移動することを防止するために、固定具４１により操作部４０を固定部３９に固定できるようになっている。
また、操作部４０を保持部分３９ａから軸方向に離脱させた状態では、操作部４０を軸心周りに回転させることができ、作業者や後述の操作機構１１にて操作部４０を回転させるに伴って回転体２７を正逆回転して、ベルト３０の巻き取り及び繰り出しを選択的に行える。ベルト３０の巻き取り及び繰り出しを選択的に行うことで、支持機構２２における当該ベルト３０が接続されている部分の高さを調節できるようになっている。そして、このような操作を、３本のベルト３０のうちの少なくとも２本のベルト３０に対して行うことで、支持機構２２や支持機構２２に支持されている物品Ｗの傾きを修整できるようになっている。
図５に示すように、物品搬送設備には、基部２１と複数のベルト３０とを備えた物品搬送車１に加えて、支持機構２２に支持された物品Ｗにおける第１基準面Ｐ１の水平面に対する角度を検出する角度センサ８と、巻回機構３７を駆動させる第２駆動部としての操作機構１１と、制御装置９と、が備えられている。操作機構１１や制御装置９は、治具Ｗｂに備えられている。支持機構２２に支持される物品Ｗの傾きを修整する場合は、図７に示すように支持機構２２にて治具Ｗｂを支持するとともに、図８に示すように、巻回機構３７の操作部４０に操作機構１１を接続して、操作機構１１を物品搬送車１に備える。
第１基準面Ｐ１は、治具Ｗｂにおける角度センサ８が設置される設置面である。また、巻回機構３７が固定される面となる支持機構２２の上面を、第２基準面Ｐ２としている。ちなみに、支持機構２２や治具Ｗｂに経年劣化等による歪みが生じていない場合は、第１基準面Ｐ１と第２基準面Ｐ２とは平行となっている。また、走行部１５が水平な姿勢で且つ３本のベルト３０等にて支持機構２２が適切に支持されている場合は、第１基準面Ｐ１及び第２基準面Ｐ２は水平となっている。
操作機構１１は、巻回機構３７の操作部４０に係合する係合部と、係合部を回転駆動させるモータと、を備えている。操作機構１１は、ベルト３０の巻き取り及び繰り出しを選択的に行うために、モータの駆動により係合部を回転させて操作部４０の操作を行い、巻回部３８を回転させる。
次に、治具Ｗｂについて説明する。
図８に示すように、治具Ｗｂには、治具Ｗｂの上端部に備えられて物品搬送車１の支持機構２２にて支持される治具フランジ部（図示せず）と、治具フランジ部より下方に位置して検出用の装置を支持する治具本体部５ｂと、が備えられている。治具Ｗｂの治具本体部５ｂには、検査用の装置として、角度センサ８と、制御装置９と、バッテリー１０と、が備えられている。
治具Ｗｂは、収容可能な枚数の基板を収容した容器Ｗａの重量と同じ重量となるように構成されている。また、治具フランジ部は、容器フランジ部６ａと同様の形状に形成されており、支持機構２２にて支持できるようになっている。つまり、支持機構２２が支持する物品Ｗには、治具Ｗｂと容器Ｗａとがある。
角度センサ８は、治具Ｗｂにおける第１基準面Ｐ１の水平面に対する角度を検出するように設置されており、詳しくは、角度センサ８は、第１基準面Ｐ１における第１検出方向Ａ１及び第２検出方向Ａ２の水平面に対する角度を検出する。このように、角度センサ８として、第１検出方向Ａ１と第２検出方向Ａ２との２方向の角度を検出する２軸検出用の角度センサ８が用いられている。ちなみに、第１基準面Ｐ１に対して直交する方向（角度センサ８の上下方向）に見て、第２検出方向Ａ２は、第１検出方向Ａ１に対して直交する方向となっている。
第１ベルト３０ａが接続されている巻回機構３７を第１巻回機構３７ａ、第２ベルト３０ｂが接続されている巻回機構３７を第２巻回機構３７ｂ、第３ベルト３０ｃが接続されている巻回機構３７を第３巻回機構３７ｃとして、支持機構２２にて治具Ｗｂを支持して当該治具Ｗｂの角度を修正する場合は、第２巻回機構３７ｂ及び第３巻回機構３７ｃに操作機構１１が接続される。３本のベルト３０のうち、１本のベルト３０（第１ベルト３０ａ）を除いた索条体（第２ベルト３０ｂ及び第３ベルト３０ｃ）が、巻回機構３７にて調節される対象索条体となる。
以下、第２巻回機構３７ｂに接続された操作機構１１を第２操作機構１１ｂ、第３巻回機構３７ｃに接続された操作機構１１を第３操作機構１１ｃとして説明する。尚、第２操作機構１１ｂが、第２高さ調節機構を駆動する第２調節駆動部に相当し、第３操作機構１１ｃが、第３高さ調節機構を駆動する第３調節駆動部に相当する。
また、図９に示すように、鉛直方向にみて、第１ベルト３０ａに対して第２ベルト３０ｂが存在する方向を第１存在方向Ｂ１とし、第１ベルト３０ａに対して第３ベルト３０ｃが存在する方向を第２存在方向Ｂ２として説明する。
説明を加えると、角度センサ８は、第１基準面Ｐ１に対して角度センサ８の上下方向が直交する状態で配置されている。また、角度センサ８は、第１基準面Ｐ１と第２基準面Ｐ２とが水平となっている状態において、図９に示すように、第１基準面Ｐ１に対して垂直に交差する方向（角度センサ８の上下方向）に見て、第１検出方向Ａ１が第１存在方向Ｂ１となり、第２検出方向Ａ２が第１検出方向Ａ１と直交する方向となるように配置されている。角度センサ８は、第１基準面Ｐ１における第１検出方向Ａ１（第１存在方向Ｂ１及び第１方向に相当）における第１基準面Ｐ１の水平面に対する角度である第１角度と、第２検出方向Ａ２（第１存在方向Ｂ１と直交する方向及び第２方向に相当）における第１基準面Ｐ１の水平面に対する角度である第２角度と、を検出するようになっている。
制御装置９は、第１基準面Ｐ１の水平面に対する角度を設定角度に調節するべく、角度センサ８の検出情報に基づいて操作機構１１を制御する調節制御を実行する。調節制御では、角度センサ８により検出された第１角度に基づいて、第２調節駆動部を制御した後、角度センサ８にて検出された第１角度及び第２角度に基づいて、第３調節駆動部を制御する。ちなみに、設定角度は、水平面に対する角度を０°としている。
調節制御について説明を加えると、調節制御を実行する前に、予め、制御装置９には、角度センサ８にて検出される第１角度に対応した第２操作機構１１ｂの駆動量（第２ベルト３０ｂの巻き取り量及び繰り出し量）と、角度センサ８にて検出される第２角度に対応した第３操作機構１１ｃの駆動量（第３ベルト３０ｃの巻き取り及び繰り出し量）と、が調整情報として記憶されている。
そして、まず、調節制御では、角度センサ８にて検出された第１角度と制御装置９に記憶されている調整情報とに基づいて、第１基準面Ｐ１における第１検出方向Ａ１の水平面に対する角度が設定角度となるように、第２操作機構１１ｂを制御する。この第２操作機構１１ｂの制御により、支持機構２２は、第１基準面Ｐ１における第２存在方向Ｂ２に沿う線分周りに揺動して、第１角度は設定角度になる。
次に、調節制御では、角度センサ８にて検出された第２角度と制御装置９に記憶されている調整情報とに基づいて、第１基準面Ｐ１における第２検出方向Ａ２の水平面に対する角度が設定角度となるように、第３操作機構１１ｃを制御する。この第３操作機構１１ｃの制御により、支持機構２２は、第１基準面Ｐ１における第１存在方向Ｂ１に沿う線分周りに揺動して、第２角度は設定角度になる。
このように、制御装置９が調節制御を実行することで、第１基準面Ｐ１の水平面に対する角度を設定角度に調節して、支持機構２２に支持されている物品Ｗの角度を修正できる。
〔別実施形態〕
（１）上記実施形態では、高さ調節機構を、索条体を巻き取り及び繰り出し操作する巻回機構にて構成したが、高さ調節装置を、対象索条体と支持機構又は基部との上下方向での相対位置関係を変更する位置変更機構にて構成してもよい。
そして、位置変更機構４６は、次のように構成してもよい。つまり、図１０〜図１２に示すように、位置変更機構４６に、ベルト３０に接続される第１部材４７と、支持機構２２に接続される第２部材４８と、上下方向において第１部材４７と第２部材４８との間に位置する第３部材４９と、第３部材４９を水平方向に沿う移動方向に沿って移動させる操作部材５０と、を備える。そして、第３部材４９は、操作機構１１の駆動により水平方向に沿う移動方向に沿って移動するように構成されている。また、第３部材４９は、下方に向く第１面４９ａと上方に向く第２面４９ｂとを備えている。第１面４９ａは、移動方向の一方側（図１１における右側）に向かうに従って上方に位置する傾斜面に形成され、第２面４９ｂは、移動方向の一方側に向かうに従って下方に位置する傾斜面に形成されている。従って、第３部材４９は、移動方向の一方側に向かうに従って第１面４９ａと第２面４９ｂとの上下方向での間隔が狭くなる形状に形成されている。
第１部材４７は、第１面４９ａと摺動可能に当接する第３面４７ａを備え、この第３面４７ａは、移動方向の一方側に向かうに従って上方に位置する傾斜面に形成されている。第２部材４８は、第２面４９ｂと摺動可能に当接する第４面４８ａを備え、この第４面４８ａは、移動方向の一方側に向かうに従って下方に位置する傾斜面に形成されている。尚、第３面４７ａを上方に突出する曲面にて構成してもよく、第４面４８ａを下方に突出する曲面にて構成してもよい。
上述のように位置変更機構４６を構成することで、操作機構１１の駆動より操作部材５０が回転操作されて、当該操作部材５０に螺合された第３部材４９が移動方向に沿って移動し、当該第３部材４９の移動により第１部材４７と第２部材４８とが上下方向に接近離間移動する。これにより、第１部材４７におけるベルト３０が接続される第１箇所４３と第２部材４８における支持機構２２に接続される第２箇所４４との上下方向での相対位置関係が変更して、ベルト３０と支持機構２２との上下方向での相対位置関係が変更する。尚、規制部材５１は、第１部材４７の横側方に位置するように第２部材４８に固定される部材であり、第１部材４７が第２部材４８に対して水平方向に移動することを規制する部材となっている。
（２）上記実施形態では、治具の重量を、収容可能な枚数の基板を収容した容器と同じ重量としたが、治具の重量を、基板を一枚も収容されていない容器の重量と同じ重量とする、又は、治具の重量を、収容可能な枚数の半分の基板を収容した容器の重量と同じ重量とする等、治具の重量を容器の重量と同じ重量とする場合の容器の状態は適宜変更してもよい。尚、治具の重量として、操作機構の重量も含めてもよい。
（３）上記実施形態では、制御装置と操作機構との間での情報の送受信を有線により行ったが、通信装置を備えて、制御装置と操作機構との間での情報の送受信を無線により行ってもよい。
（４）上記実施形態では、角度センサとして、第１方向の角度と第２方向の角度とを検出する２軸検出用の角度センサを用いたが、一方向の角度のみを検出する１軸検出用の角度センサを、第１方向検出用と第２方向検出用とを設ける等、角度センサの種類や個数は適宜変更してもよい。
また、角度センサにて、第１方向の角度と第２方向の角度とを検出したが、角度センサにて、これらの角度の一方又は双方と異なる角度を検出するようにしてもよい。
（５）上記実施形態では、複数の索条体として３本の索条体を設けたが、複数の索条体として、２本又は４本以上設けてもよい。
（６）上記実施形態では、索条体の上端部に第１駆動部の巻回体を連結して、当該巻回体を基部に連結するとともに索条体の下端部を昇降体に連結したが、索条体の下端部を第１駆動部の巻回体に連結して、当該巻回体を昇降体に連結するとともに索条体の上端部を基部に連結するようにしてもよい。
また、上記実施形態では、高さ調節機構を、索条体と昇降体との間に設けたが、高さ調節機構を、索条体と基部との間に設けてもよい。ちなみに、巻回体を基部に連結し且つ高さ調節機構としての巻回機構を索条体と基部との間に設ける場合や、巻回体を昇降体に連結し且つ高さ調節機構としての巻回機構を索条体と昇降体との間に設ける場合は、巻回体を巻回部に兼用し、昇降用モータを第２駆動部に兼用してもよい。
（７）上記実施形態では、治具に角度センサを備え、当該冶具を昇降体にて支持した状態で角度センサにて第１基準面の水平面に対する角度を検出したが、角度センサを支持機構の上面（第２基準面）上に置いて、当該角度センサにて、第２基準面の水平面に対する角度を検出してもよい。
この場合、制御装置は、調節制御において、第２基準面の水平面に対する角度を設定角度に調節するように、角度センサの検出情報に基づいて操作機構を制御する。
（８）上記実施形態では、制御装置に、第２調節駆動部の駆動量及び第３調節駆動部の駆動量を調整情報として記憶し、制御装置は、調節制御において、角度センサの検出情報と調整情報の駆動量とに基づいて第２調節駆動部及び第３調節駆動部を制御したが、調節制御における第２調節駆動部及び第３調節駆動部の制御は適宜変更してもよい。つまり、例えば、制御装置に、第１存在方向における第１索条体に対する第２索条体の離間距離の情報や第１存在方向の角度情報、及び、第２存在方向における第１索条体に対する第３索条体の離間距離の情報や第２存在方向の角度情報を位置情報として記憶し、制御装置は、調節制御において、角度センサの検出情報と位置情報とに基づいて、第２調節駆動部の駆動量及び第３調節駆動部の駆動量を演算により求め、その駆動量に基づいて第２調節駆動部及び第３調節駆動部を制御するように構成してもよい。
（９）上記実施形態では、索条体を、ベルトとしたが、索条体を、ワイヤ等の別の索条体としてもよい。
上記実施形態では、昇降体を、物品を吊り下げ支持するように構成したが、昇降体を、昇降体上に物品を載置する等の別の形態で物品を支持するように構成してもよい。
８ 角度センサ
９ 制御装置
１１ 操作機構（第２駆動部）
１１ｂ 第２操作機構（第２調節駆動部）
１１ｃ 第３操作機構（第３調節駆動部）
２１ 基部
２２ 支持機構（昇降体）
３０ ベルト（索条体）
３０ａ 第１ベルト（第１索条体）
３０ｂ 第２ベルト（第２索条体、対象索条体）
３０ｃ 第３ベルト（第３索条体、対象索条体）
３１ 巻回体（第１駆動部）
３２ 昇降用モータ（第１駆動部）
３７ 巻回機構（高さ調節機構）
３８ 巻回部
４６ 位置変更機構（高さ調節機構）
４７ 第１部材
４７ａ 第３面
４８ 第２部材
４８ａ 第４面
４９ 第３部材
４９ａ 第１面
４９ｂ 第２面
Ａ１ 第１検出方向（第１方向）
Ａ２ 第２検出方向（第２方向）
Ｂ１ 第１存在方向（第１方向）
Ｐ１ 第１基準面
Ｐ２ 第２基準面
Ｗ 物品
Ｗａ 容器（搬送物）
Ｗｂ 治具

Claims (6)

  1. 基部と、物品を支持する昇降体と、前記昇降体に接続されて前記昇降体を吊り下げる複数の索条体と、前記索条体の巻き取り及び繰り出しを選択的に行い前記昇降体を前記基部に対して昇降させる第１駆動部と、を備えた物品搬送設備であって、
    前記昇降体に支持された前記物品における第１基準面の水平面に対する角度又は前記昇降体における第２基準面の水平面に対する角度を検出する角度センサと、高さ調節機構と、前記高さ調節機構を駆動させる第２駆動部と、制御装置と、を更に備え、
    複数の前記索条体のうちの１つの前記索条体を除いた前記索条体を、対象索条体として、
    前記高さ調節機構は、前記対象索条体の巻き取り及び繰り出しを選択的に行う巻回機構、又は、前記対象索条体と前記昇降体又は前記基部との上下方向での相対位置関係を変更する位置変更機構、にて構成され、
    前記制御装置は、前記第１基準面の水平面に対する角度又は前記第２基準面の水平面に対する角度を設定角度に調節するように、前記角度センサの検出情報に基づいて前記第２駆動部を制御する調節制御を実行する物品搬送設備。
  2. 前記物品として、治具と搬送物とがあり、
    前記角度センサ及び前記制御装置は、前記治具に備えられ、
    前記角度センサは、前記治具における前記第１基準面の水平面に対する角度を検出する請求項１記載の物品搬送設備。
  3. 前記治具は、前記搬送物と同じ重量である請求項２記載の物品搬送設備。
  4. 前記巻回機構は、前記対象索条体を巻回した巻回部を備え、
    前記第２駆動部は、前記対象索条体を巻き取り及び繰り出しを選択的に行うために、前記巻回部を回転させる請求項１から３の何れか１項に記載の物品搬送設備。
  5. 前記位置変更機構が、前記索条体に接続される第１部材と、前記昇降体又は前記基部に接続される第２部材と、上下方向において前記第１部材と前記第２部材との間に位置する第３部材と、を備え、
    前記第３部材は、前記第２駆動部の駆動により水平方向に沿う移動方向に沿って移動し、且つ、下方に向く第１面と上方に向く第２面とを備えて前記移動方向の一方側に向かうに従って前記第１面と前記第２面との上下方向での間隔が狭くなる形状に形成され、
    前記第１部材は、上方に向き且つ前記第１面と摺動可能に当接する第３面を備え、
    前記第２部材は、下方に向き且つ前記第２面と摺動可能に当接する第４面を備え、
    前記第２駆動部は、前記第３部材を前記移動方向に沿って移動させる請求項１から３の何れか１項に記載の物品搬送設備。
  6. 複数の前記索条体は、少なくとも第１索条体と第２索条体と第３索条体とを含み、
    前記第２索条体及び第３索条体が、前記対象索条体であり、
    前記第２索条体が接続された前記高さ調節装置を駆動する前記第２駆動部を、第２調節駆動部とし、前記第３索条体が接続された前記高さ調節装置を駆動する前記第２駆動部を、第３調節駆動部とし、
    鉛直方向にみて、第１索条体に対して前記第２索条体が存在する方向を第１方向とし、鉛直方向に見て前記第１方向に対して直交する方向を第２方向として、
    前記角度センサは、前記第１方向における前記第１基準面又は前記第２基準面の水平面に対する角度である第１角度と、前記第２方向における前記第１基準面又は前記第２基準面の水平面に対する角度である第２角度と、を検出し、
    前記調節制御は、前記角度センサにより検出された前記第１角度に基づいて、前記第２調節駆動部を制御した後、前記角度センサにて検出された前記第１角度及び前記第２角度に基づいて、前記第３調節駆動部を制御する請求項１から５のいずれか１項に記載の物品搬送設備。
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