KR20210004850A - 검사 시스템 - Google Patents

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KR20210004850A
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light
inspection system
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KR1020200079247A
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다이스케 오가와
쓰바사 야지마
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가부시키가이샤 다이후쿠
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Abstract

검사 시스템은, 물품 반송차가 승강 가능하게 구비하는 승강부의 경사상태를 검출하는 검출부를 구비하고, 승강부는, 기준면을 가지고, 검출부는, 제1 촬상 장치와 제2 촬상 장치를 구비하고, 승강부가 규정된 설정 승강 위치에 있는 상태에서의 기준면의 위치를 설정 기준면 위치로 하여, 제1 촬상 장치의 광축인 제1 광축과 제2 촬상 장치의 광축인 제2 광축이 교차하는 교점이, 설정 기준면 위치에 대응하는 위치로 되고, 또한 제1 광축 및 제2 광축이 기준면을 따른 방향으로 되도록, 제1 촬상 장치 및 제2 촬상 장치가 설치되고, 검출부는, 제1 촬상 장치 및 제2 촬상 장치에 의해 촬상된 기준면의 화상에 기초하여, 승강부의 경사 방향 및 경사 각도를 검출한다.

Description

검사 시스템{INSPECTION SYSTEM}
본 발명은, 물품 반송차(article transport vehicle)가 승강 가능하게 구비하는 승강부의 경사상태를 검출하는 검출부를 구비한 검사 시스템에 관한 것이다.
이와 같은 검사 시스템으로서, 예를 들면, 일본 공개특허 제2017-095261호 공보에 기재된 것이 알려져 있다. 이하, 배경 기술의 설명에 있어서, 괄호 쓰기의 부호는, 선행 기술 문헌에서의 부호로 한다. 일본 공개특허 제2017-095261호 공보에 기재된 검사 시스템은, 검사용 지그(jig)(Wb)에 각도 센서(8)를 구비하고, 그 검사용 지그(Wb)를 승강부[승강체(22)]에 지지하게 함으로써, 각도 센서(8)에 의해 승강부(22)의 경사 방향 및 경사 각도를 검출하도록 구성되어 있다.
일본 공개특허 제2017-095261호
그러나, 일본 공개특허 제2017-095261호 공보의 검사 시스템에서는, 검사용 지그(Wb)를 승강부(22)에 지지하게 하는 구성이므로, 복수의 물품 반송차(1)의 승강부(22)의 경사를 검사하는 경우에는, 검사용 지그(Wb)를 복수의 물품 반송차(1)의 사이에서 이동시킬 필요가 있다. 즉, 각 물품 반송차(1)에서의 승강부(22)의 경사상태를 검출하는 경우에는, 승강부(22)에 검사용 지그(Wb)를 지지시킨 후에 승강부(22)의 경사 방향 및 경사 각도를 검출하고, 그 후, 승강부(22)로부터 검사용 지그(Wb)를 내려놓을 필요가 있다. 그러므로, 승강부(22)의 경사상태의 검사를 효율적으로 행하는 것이 어려운 경우가 있었다.
그래서, 승강부의 경사상태의 검사를 효율적으로 행할 수 있는 검사 시스템의 실현이 요구된다.
상기 문제점을 해결하기 위해, 검사 시스템의 특징적 구성은, 물품 반송차가 승강 가능하게 구비하는 승강부의 경사상태를 검출하는 검출부를 구비하고,
상기 승강부는, 기준면을 가지고, 상기 검출부는, 제1 촬상(撮像) 장치와 제2 촬상 장치를 구비하고, 상기 승강부가 규정된 설정 승강 위치에 있는 상태에서의 상기 기준면의 위치를 설정 기준면 위치로 하여, 상기 제1 촬상 장치의 광축인 제1 광축과 상기 제2 촬상 장치의 광축인 제2 광축이 교차하는 교점(交点)이, 상기 설정 기준면 위치에 대응하는 위치로 되고, 또한 상기 제1 광축 및 상기 제2 광축이 상기 기준면을 따른 방향으로 되도록, 상기 제1 촬상 장치 및 상기 제2 촬상 장치가 설치되고, 상기 검출부는, 상기 제1 촬상 장치 및 상기 제2 촬상 장치에 의해 촬상된 상기 기준면의 화상에 기초하여, 상기 승강부의 경사 방향 및 경사 각도를 검출하는 점에 있다.
이 특징적 구성에 의하면, 제1 촬상 장치 및 제2 촬상 장치에 의해 교차하는 2방향으로부터 촬상한 승강부의 기준면의 화상에 기초하여, 승강부의 경사상태를 검출하므로, 승강부의 경사 방향 및 경사 각도를 적절히 검출할 수 있다. 또한, 이 특징적 구성에 의하면, 물품 반송차의 승강부를 규정된 설정 승강 위치로 이동시키고, 그 상태에서, 제1 촬상 장치 및 제2 촬상 장치에 의해 승강부를 촬상함으로써, 승강부의 경사상태를 검출할 수 있으므로, 검출용 지그 등을 승강부에 지지하게 할 필요가 없다. 그러므로, 복수의 물품 반송차의 승강부의 경사상태를 검사하는 경우라도, 검사용 지그 등을 복수의 물품 반송차의 사이에서 이동시킬 필요가 없어, 승강부의 경사상태의 검사를 효율적으로 행할 수 있다.
도 1은 물품 반송(搬送; transport) 설비의 평면도
도 2는 물품 반송차 및 처리 장치의 측면도
도 3는 물품 반송차 및 검사 시스템의 사시도
도 4는 검사 시스템의 제어 블록도
도 5는 검사 제어의 플로우차트
도 6은 폭 방향 제2 측으로부터 본 설정 기준면 위치의 기준면을 나타낸 도면
도 7은 연장 방향 제2 측으로부터 본 설정 기준면 위치의 기준면을 나타낸 도면
도 8은 폭 방향 제2 측으로부터 본 설정 기준면 위치의 기준면을 나타낸 도면
도 9는 연장 방향 제2 측으로부터 본 설정 기준면 위치의 기준면을 나타낸 도면
도 10은 다른 실시형태의 검사 시스템의 측면도
1. 실시형태
검사 시스템을 구비한 물품 반송 설비(article transport facility)의 실시형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. 도 1에 나타낸 바와 같이, 물품 반송 설비에는, 천정(ceiling) 근처를 주행 경로(travelling path)(L)를 따라 주행하여 물품으로서의 용기(W)(도 2 참조)를 반송하는 물품 반송차(1)와, 용기(W)에 수용되어 있는 기판에 대하여 처리를 행하는 처리 장치(2)와, 그 처리 장치(2)에 인접하는 상태로 바닥면 상에 설치된 반송 대상 개소(箇所)로서의 지지대(3)와, 검사 시스템(4)이 설치되어 있다. 그리고, 본 실시형태에서는, 반도체 기판을 수용하는 FOUP(Front Opening Unified Pod)를 용기(W)(물품)로 하고 있다.
이하, 도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 주행 경로(L)를 따라 설치되어 있는 레일(5)이 연장되는 연장 방향 X의 한쪽 측을 연장 방향 제1 측 X1라고 하고, 그 반대측을 연장 방향 제2 측 X2라고 한다. 또한, 도 3에 나타낸 바와 같이, 상하 방향 Z를 따르는 상하 방향에서 볼 때 연장 방향 X에 대하여 직교하는 방향을 폭 방향 Y라고 하고, 폭 방향 Y의 한쪽 측을 폭 방향 제1 측 Y1라고 하고, 그 반대측을 폭 방향 제2 측 Y2라고 한다. 그리고, 본 예에서는, 물품 반송차(1)는, 연장 방향 제2 측 X2로부터 연장 방향 제1 측 X1을 향해 일방향으로 주행한다.
도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 물품 반송차(1)는, 레일(5) 상을 그 레일(5)을 따라 주행하는 주행부(6)와, 용기(W)를 현수 상태(suspended state)로 지지하는 승강부(7)와, 승강부(7)를 상하 방향 Z로 이동시키는 승강 장치(8)를 구비하고 있다. 이와 같이, 물품 반송차(1)는, 승강부(7)를 승강 가능하게 구비하고 있다.
주행부(6)는, 제1 주행 유닛(6A)과, 이 제1 주행 유닛(6A)에 대하여 연장 방향 제2 측 X2에 위치하는 제2 주행 유닛(6B)을 구비하고 있다. 도 3에 나타낸 바와 같이, 제1 주행 유닛(6A)은, 레일(5) 상을 전동(轉動)하는 한 쌍의 차륜(11)과, 한 쌍의 차륜(11)을 회전시키는 주행용 모터(12)를 구비하고 있다. 또한, 제2 주행 유닛(6B)은, 제1 주행 유닛(6A)과 마찬가지로, 한 쌍의 차륜(11)과 주행용 모터(12)를 구비하고 있다.
도 2에 나타낸 바와 같이, 승강 장치(8)는, 권취체(14)와, 권취체(14)에 권취되어 선단부에 승강부(7)가 연결되어 있는 권취 벨트(15)와, 권취체(14)를 회전 구동시키는 승강용 모터(16)를 구비하고 있다. 승강 장치(8)는, 승강용 모터(16)의 구동에 의해, 권취체(14)를 플러스 방향으로 회전시켜 권취 벨트(15)를 송출함으로써 승강부(7)를 하강시키고, 권취체(14)를 역방향으로 회전시켜 권취 벨트(15)를 권취함으로써 승강부(7)를 상승시키도록 구성되어 있다.
승강부(7)는, 수평 방향을 따라 서로 접근 또는 이격되는 방향으로 이동 가능한 한 쌍의 파지 클로우(gripping claw)(18)와, 한 쌍의 파지 클로우(18)의 각각을 서로 접근 또는 이격되는 방향으로 이동시키는 파지용(把持用) 모터(19)와, 파지용 모터(19)를 수용하는 하우징(housing)(20)을 구비하고 있다. 승강부(7)는, 파지용 모터(19)의 구동에 의해 한 쌍의 파지 클로우(18)를 서로 접근 또는 이격되는 방향으로 이동시킴으로써, 한 쌍의 파지 클로우(18)에 의해 용기(W)를 파지하는 상태와, 한 쌍의 파지 클로우(18)에 의한 용기(W)에 대한 파지를 해제하는 상태로 상태 이행하도록 구성되어 있다. 그리고, 도 3에 나타낸 바와 같이, 승강부(7)는, 기준면 F을 가지고 있다. 본 실시형태에서는, 하우징(20)이, 직육면체 형상으로 형성되어 있고, 이 하우징(20)의 상방측을 향하는 면(상면)을 기준면 F로 하고 있다.
다음에, 검사 시스템(4)에 대하여 설명한다. 검사 시스템(4)에 의해 물품 반송차(1)의 승강부(7)의 경사상태를 검출하는 경우, 검사 시스템(4)은, 도 3에 나타낸 바와 같이, 물품 반송차(1)의 주행부(6)가 규정된 설정 주행 위치에 정지하고, 승강부(7)의 승강 방향의 위치가 규정된 설정 승강 위치에 있는 상태에서, 승강부(7)의 경사상태를 검출한다. 이와 같이, 물품 반송차(1)가 규정된 설정 주행 위치에 있고, 또한 승강부(7)가 규정된 설정 승강 위치에 있는 상태에서의 기준면 F의 위치를 설정 기준면 위치 V로 하고 있다. 승강부(7)가 연장 방향 X 및 폭 방향 Y의 어느 쪽으로도 기울어 있지 않은 정상(正常)인 상태에서는, 설정 기준면 위치 V에 있는 기준면 F은 수평인 자세로 된다.
도 3 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 검사 시스템(4)은, 물품 반송차(1)가 구비하는 승강부(7)의 경사상태를 검출하는 검출부(22)를 구비하고 있다. 본 실시형태에서는, 검출부(22)는, 제1 촬상 장치(23)와, 제2 촬상 장치(24)와, 제1 투광(投光) 장치(25)와, 제2 투광 장치(26)와, 제어부(27)(도 4 참조)를 구비하고 있다.
제1 촬상 장치(23) 및 제2 촬상 장치(24)는, 제1 촬상 장치(23)의 광축인 제1 광축 L1과 제2 촬상 장치(24)의 광축인 제2 광축 L2가 교차하는 교점 P가, 설정 기준면 위치 V에 대응하는 위치로 되고, 또한 제1 광축 L1 및 제2 광축 L2가 기준면 F에 따른 방향으로 되도록 설치되어 있다. 여기서, 설정 기준면 위치 V에 대응하는 위치는, 이상적(理想的)인 설정 기준면 위치 V(본 실시형태에서는, 기준면 F이 미리 설정된 높이에 있고, 또한 수평인 자세로 되어 있는 상태에서의 기준면 F의 위치)로부터 어긋난 경우라도 촬상 장치의 촬상 범위 내에 수용되도록 설정된다. 상세하게는, 상정(想定)되는 승강부(7)의 경사 상태를 고려하여, 이상적인 설정 기준면 위치 V에 있는 기준면 F에 대하여, 규정된 거리 범위 내(예를 들면, ±15㎝ 이하의 범위 내)의 위치로 설정되어 있다. 본 실시형태에서는, 이상적인 설정 기준면 위치 V의 기준면 F에 교점 P가 합치하도록 설정되어 있다. 그리고, 여기서의 기준면 F의 위치는, 기준면 F 중에서의 기준으로 되는 위치(점)이며, 예를 들면, 기준면 F의 중심(重心) 위치로 할 수 있다. 즉, 본 실시형태에서는, 제1 광축 L1과 제2 광축 L2와의 교점 P가, 기준면 F의 기준 위치(예를 들면, 중심 위치)와 합치하도록 설정되어 있다. 또한, 기준면 F에 따른 방향은, 이상적인 설정 기준면 위치 V의 기준면 F에 따른 방향에 대하여, 규정된 각도 범위 내(예를 들면, ±10°이하)의 각도로 설정되어 있다. 본 실시형태에서는, 이상적인 설정 기준면 위치 V의 기준면 F와 같은 각도로 할 수 있도록 수평 방향으로 설정되어 있다.
본 실시형태에서는, 제1 촬상 장치(23)는, 설정 기준면 위치 V에 대하여 폭 방향 제2 측 Y2에 배치되고, 폭 방향 제1 측 Y1을 향해 촬상하도록 설치되어 있다. 또한, 제2 촬상 장치(24)는, 설정 기준면 위치 V에 대하여 연장 방향 제2 측 X2에 배치되고, 연장 방향 제1 측 X1을 향해 촬상하도록 설치되어 있다. 그리고, 제1 촬상 장치(23)의 제1 광축 L1은, 폭 방향 Y를 따르도록 배치되어 있다. 또한, 제2 촬상 장치(24)의 제2 광축 L2는, 연장 방향 X를 따르도록 배치되어 있다. 또한, 본 실시형태에서는, 제1 촬상 장치(23) 및 제2 촬상 장치(24)는, 제1 광축 L1과 제2 광축 L2가 직교하도록 설치되어 있다.
또, 본 실시형태에서는, 제1 투광 장치(25)는, 제1 촬상 장치(23)에 대향하는 측으로부터 교점 P을 향해 투광하도록 설치되어 있다. 본 실시형태에서는, 제1 투광 장치(25)는, 설정 기준면 위치 V에 대하여 폭 방향 제1 측 Y1에 배치되고, 폭 방향 제2 측 Y2를 향해 투광하도록 설치되어 있다. 그리고, 도 6 및 도 8에 나타낸 바와 같이, 제1 투광 장치(25)는, 기준면 F이 설정 기준면 위치 V에 있는 상태에 있어서, 제1 투광 장치(25)의 투광 범위인 제1 투광 범위(A1)의 상하 방향 Z의 폭 내에 기준면 F이 위치하도록 투광한다. 설명을 추가하면, 도 6에 나타낸 바와 같이, 기준면 F이 설정 기준면 위치 V에 있고, 또한 기준면 F이 폭 방향 제1 측 Y1[도 6에서의 지면(紙面) 안쪽]을 향함에 따라 아래쪽을 향하도록 경사져 있는 상태에서는, 기준면 F에서의 폭 방향 제2 측 Y2(도 6에서의 지면 바로 앞쪽)의 에지(E)가, 제1 투광 장치(25)로부터 투광된 광과, 상기 광이 승강부(7)에 의해 차단될 수 있는 그림자와의 경계로서, 제1 촬상 장치(23)에 촬상된다. 또한, 도 8에 나타낸 바와 같이, 기준면 F이 설정 기준면 위치 V에 있고, 또한 기준면 F이 폭 방향 제2 측 Y2(도 8에서의 지면 바로 앞쪽)를 향함에 따라 아래쪽을 향하도록 경사져 있는 상태에서는, 기준면 F에서의 폭 방향 제1 측 Y1(도 8에서의 지면 안쪽)의 에지(E)가, 제1 투광 장치(25)로부터 투광된 광과, 상기 광이 승강부(7)에 의해 차단될 수 있는 그림자와의 경계로서, 제1 촬상 장치(23)에 촬상된다.
제2 투광 장치(26)는, 제2 촬상 장치(24)에 대향하는 측으로부터 교점 P을 향해 투광하도록 설치되어 있다. 본 실시형태에서는, 제2 투광 장치(26)는, 설정 기준면 위치 V에 대하여 연장 방향 제1 측 X1에 배치되고, 연장 방향 제2 측 X2를 향해 투광하도록 설치되어 있다. 그리고, 제2 투광 장치(26)는, 기준면 F이 설정 기준면 위치 V에 있는 상태에 있어서, 제2 투광 장치(26)의 투광 범위인 제2 투광 범위(A2)의 상하 방향 Z의 폭 내에 기준면 F이 위치하도록 투광한다. 설명을 추가하면, 도 7에 나타낸 바와 같이, 기준면 F이 설정 기준면 위치 V에 있고, 또한 기준면 F이 연장 방향 제1 측 X1(도 7에서의 지면 안쪽)과 향함에 따라 아래쪽을 향하도록 경사져 있는 상태에서는, 기준면 F에서의 연장 방향 제2 측 X2(도 7에서의 지면 바로 앞쪽)의 에지(E)가, 제2 투광 장치(26)로부터 투광된 광과, 상기 광이 승강부(7)에 의해 차단될 수 있는 그림자와의 경계로서, 제2 촬상 장치(24)에 촬상된다. 또한, 도 9에 나타낸 바와 같이, 기준면 F이 설정 기준면 위치 V에 있고, 또한 기준면 F이 연장 방향 제2 측 X2(도 9에서의 지면 바로 앞쪽)과 향함에 따라 아래쪽을 향하도록 경사져 있는 상태에서는, 기준면 F에서의 연장 방향 제1 측 X1(도 9에서의 지면 안쪽)의 에지(E)가, 제2 투광 장치(26)로부터 투광된 광과, 상기 광이 승강부(7)에 의해 차단될 수 있는 그림자와의 경계로서, 제2 촬상 장치(24)에 촬상된다.
제어부(27)는, 제1 촬상 제어와 제2 촬상 제어와 검출 제어를 실행한다. 제1 촬상 제어에서는, 제어부(27)는, 제1 촬상 장치(23)에 의해 기준면 F을 촬상하도록 제1 촬상 장치(23)를 제어한다. 또한, 본 실시형태에서는, 제어부(27)는, 또한 제1 촬상 제어에 있어서, 제1 투광 장치(25)에 의해 기준면 F을 향해 광을 조사하도록 하여 제1 투광 장치(25)를 제어한다. 제2 촬상 제어에서는, 제어부(27)는, 제2 촬상 장치(24)에 의해 기준면 F을 촬상하도록 제2 촬상 장치(24)를 제어한다. 또한, 본 실시형태에서는, 제어부(27)는, 또한 제2 촬상 제어에 있어서, 제2 투광 장치(26)에 의해 기준면 F을 향해 광을 조사하도록 하여 제2 투광 장치(26)를 제어한다. 그리고, 본 실시형태에서는, 제어부(27)는, 제1 촬상 제어와 제2 촬상 제어를 동시에 행한다. 이로써, 검사 시스템(4)에 의한 검사의 소요 시간의 단축을 도모할 수 있다. 검출 제어에서는, 제어부(27)는, 제1 촬상 장치(23) 및 제2 촬상 장치(24)에 의해 촬상된 기준면 F의 화상에 기초하여, 승강부(7)의 경사 방향 및 경사 각도를 검출한다.
본 실시형태에서는, 검출 제어에 있어서, 제어부(27)는, 제1 촬상 장치(23)에 의해 촬상된 제1 화상에 포함되는 기준면 F의 에지(E)의 경사에 기초하여, 연장 방향 X(제1 광축 L1에 직교하는 제1 방향에 상당)에서의, 승강부(7)의 경사 각도 θ1 및 경사 방향을 검출한다. 설명을 추가하면, 검출 제어에서는, 제어부(27)는, 제1 화상에 포함되는 에지(E)의 경사에 기초하여, 연장 방향 X에서의 수평에 대한 경사 각도 θ1 및 경사 방향을 검출한다. 여기서, 경사 방향이란, 연장 방향 X의 어느 측으로 기울어 경사져 있는지의 것이며, 구체적으로는, 연장 방향 제1 측 X1이 연장 방향 제2 측 X2보다 상하 방향 Z에서의 위인지 아래인지이다. 그리고, 경사 각도 θ1을 플러스 마이너스의 방향을 가지는 각도 정보로 함으로써, 경사 각도 θ1의 정보에 경사 방향의 정보가 포함되도록 해도 된다.
또, 검출 제어에 있어서, 제어부(27)는, 제2 촬상 장치(24)에 의해 촬상된 제2 화상에 포함되는 기준면 F의 에지(E)의 경사에 기초하여, 폭 방향 Y(제2 광축 L2에 직교하는 제2 방향에 상당)에서의 승강부(7)의 경사 각도 θ2 및 경사 방향을 검출한다. 설명을 추가하면, 검출 제어에서는, 제어부(27)는, 제2 화상에 포함되는 에지(E)의 경사에 기초하여, 폭 방향 Y에서의 수평에 대한 경사 각도 θ2 및 경사 방향을 검출한다. 여기서, 경사 방향이란, 폭 방향 Y의 어느 측으로 기울어 경사져 있는지의 것이며, 구체적으로는, 폭 방향 제1 측 Y1이 폭 방향 제2 측 Y2보다 상하 방향 Z에서의 위인지 아래인지이다. 그리고, 경사 각도 θ2를 플러스 마이너스의 방향을 가지는 각도 정보로 함으로써, 경사 각도 θ2의 정보에 경사 방향의 정보가 포함되도록 해도 된다.
그리고, 검출 제어에 있어서, 제어부(27)는, 연장 방향 X에서의 수평에 대한 경사 각도 θ1 및 경사 방향, 및, 폭 방향 Y에서의 수평에 대한 경사 각도 θ2 및 경사 방향에 기초하여, 승강부(7)의 3차원적인 경사 방향 및 경사 각도를 검출한다. 여기서는, 제어부(27)는, 연장 방향 X에서의 경사 각도 θ1 및 경사 방향과, 폭 방향 Y에서의 경사 각도 θ2 및 경사 방향과, 연장 방향 X(제1 방향)와 폭 방향 Y(제2 방향)와의 관계(상대 각도, 여기서는 90°)에 기초하여, 승강부(7)의 3차원적인 경사 방향 및 경사 각도를 연산에 의해 구한다.
다음에, 도 5에 나타낸 검사 제어의 플로우차트에 기초하여, 제어부(27)의 제어에 대하여 설명한다. 그리고, 물품 반송차(1), 또는 물품 반송차(1)를 제어하는 제어 장치는, 물품 반송차(1)의 주행부(6)가 규정된 설정 주행 위치에 정지하고, 물품 반송차(1)의 승강부(7)가 규정된 설정 승강 위치에 정지한 상태에서, 검사 시스템(4)을 향해, 준비 완료 신호를 송신하도록 구성되어 있다.
제어부(27)는, 준비 완료 신호를 수신한 경우(S1: Yes)에, 제1 촬상 제어를 실행하여 제1 화상을 취득하고 또한 제2 촬상 제어를 실행하여 제2 화상을 취득한다(S2). 그리고, 제어부(27)는, 준비 완료 신호를 수신할 때까지는(S1: No), 그대로 대기한다. 그리고, 제1 촬상 제어 및 제2 촬상 제어의 실행 후, 검출 제어를 실행한다(S3). 상기한 바와 같이, 검출 제어에서는, 제1 화상에 기초하여 연장 방향 X에서의 기준면 F의 경사 각도 θ1 및 경사 방향을 검출하고, 제2 화상에 기초하여 폭 방향 Y에서의 기준면 F의 경사 각도 θ2 및 경사 방향을 검출하고, 이들에 기초하여, 승강부(7)의 경사 방향 및 경사 각도를 검출한다(S3). 그리고, 제어부(27)는, 제1 촬상 제어 및 제2 촬상 제어가 완료된 후에, 물품 반송차(1), 또는 물품 반송차(1)를 제어하는 제어 장치를 향해, 검사 완료를 나타낸 검사 완료 신호를 송신한다. 이로써, 승강부(7)의 승강 및 물품 반송차(1)의 주행이 재개 가능해진다.
2. 그 외의 실시형태
다음에, 이 검사 시스템(4)의 그 외의 실시형태에 대하여 설명한다.
(1) 상기한 실시형태에서는, 기준면 F이 하우징(20)의 상면인 구성을 예로 들어 설명하였다. 그러나, 이와 같은 구성에 한정되지 않는다. 기준면 F는, 승강부(7)에서의 하우징(20)의 상면 이외의 면이라도 되고, 예를 들면, 하우징(20)의 하면이나 측면을 기준면 F으로 해도 되고, 또, 파지 클로우(18)의 하면을 기준면 F으로 해도 된다. 단, 어느 경우라도, 기준면 F로 되는 면은, 평면 또는 평면형의 면인 것이 바람직하다.
(2) 상기한 실시형태에서는, 검출부(22)가, 기준면 F의 에지(E)의 경사에 기초하여 경사 각도를 검출하는 구성을 예로 들어 설명하였다. 그러나, 이와 같은 구성에 한정되지 않는다. 예를 들면, 기준면 F에 각도 검출용의 표나 도형을 형성하고, 검출부(22)가, 제1 촬상 장치(23) 및 제2 촬상 장치(24)에 의해 촬상된 기준면 F 상의 표나 도형의 위치 및 각도에 기초하여 경사 각도 및 경사 방향을 검출하는 구성으로 해도 된다.
(3) 상기한 실시형태에서는, 검사 시스템(4)에 제1 투광 장치(25)와 제2 투광 장치(26)를 구비하는 구성을 예로 들어 설명하였다. 그러나, 이와 같은 구성에 한정되지 않는다. 검사 시스템(4)에 구비하는 투광 장치의 수는 적절히 변경해도 된다. 예를 들면, 기준면 F에 대향하는 측으로부터 투광하도록 제3 투광 장치(28)를 설치해도 된다. 예를 들면, 도 10에 나타낸 바와 같이, 하우징(20)의 하면을 기준면 F으로 하여, 그 기준면 F에 대향하는 하방 측으로부터 투광하도록 제3 투광 장치(28)를 설치해도 된다. 또는, 하우징(20)의 하나의 측면을 기준면 F으로 하여, 그 기준면 F에 대향하는 측방 측으로부터 투광하도록 제3 투광 장치(28)를 설치해도 된다. 또한, 검사 시스템(4)이, 이들 투광 장치를 구비하지 않는 구성으로 해도 된다.
(4) 상기한 실시형태에서는, 제1 촬상 장치(23) 및 제2 촬상 장치(24)를, 제1 광축 L1과 제2 광축 L2가 직교하도록 설치하는 구성을 예로 들어 설명하였다. 그러나, 이와 같은 구성에 한정되지 않는다. 예를 들면, 제1 촬상 장치(23) 및 제2 촬상 장치(24)를, 제1 광축 L1과 제2 광축 L2가 45°나 120°등, 90°이외의 각도로 교차하도록 설치해도 된다.
(5) 상기한 실시형태에서는, 제1 광축 L1과 제2 광축 L2가 교차하는 교점 P가, 이상적인 설정 기준면 위치 V에 있는 기준면 F의 기준 위치에 합치하는 구성을 예로 들어 설명하였다. 그러나, 이와 같은 구성에 한정되지 않는다. 교점 P는, 설정 기준면 위치 V에 대응하는 위치에 있으면 되고, 예를 들면, 교점 P가, 제1 광축 L1 및 제2 광축 L2에 대하여 직교하는 방향(상기한 실시형태에서는 상하 방향 Z)에 있어서, 이상적인 설정 기준면 위치 V에 있는 기준면 F에 대하여, 전술한 규정된 거리 범위 내로 설정된 설정 거리만큼 이격된 위치에 있는 구성으로 해도 된다. 또한, 상기한 실시형태에서는, 기준면 F의 기준 위치를, 기준면 F의 중심 위치로 한이, 이에 한정되지 않고, 예를 들면, 기준면 F의 기준 위치를, 기준면 F의 코너부 등, 기준면 F 중에서의 다른 위치로 설정해도 된다.
(6) 상기한 실시형태에서는, 제1 광축 L1 및 제2 광축 L2의 양쪽이 수평면을 따르는 방향인 구성을 예로 들어 설명하였다. 이것은, 기준면 F이 정상인 상태에서 수평면을 따르는 면이기 때문이다. 그러나, 이와 같은 구성에 한정되지 않는다. 예를 들면, 제1 광축 L1 및 제2 광축 L2 중 어느 한쪽이 상하 방향 Z를 따르는 구성이라도 된다. 기준면 F이 정상인 상태에서 상하 방향 Z를 따르는 면인 경우에는, 이와 같은 구성으로 하는 것이 바람직하다. 또는, 제1 광축 L1 및 제2 광축 L2의 한쪽 또는 양쪽이, 수평면에 대하여 경사진 구성이라도 된다. 제1 광축 L1 및 제2 광축 L2의 방향은, 기준면 F의 방향을 따라 설정되는 것이 바람직하다.
(7) 그리고, 전술한 각각의 실시형태에서 개시된 구성은, 모순이 생기지 않는 한, 다른 실시형태에서 개시된 구성과 조합시켜 적용할 수도 있다. 그 외의 구성에 관해서도, 본 명세서에 있어서 개시된 실시형태는 모든 점에서 단순한 예시에 지나지 않는다. 따라서, 본 발명의 취지를 벗어나지 않는 범위 내에서, 적절히, 각종 개변(改變; modification)을 행할 수 있다.
3. 상기 실시형태의 개요
이하, 상기에 있어서 설명한 검사 시스템의 개요에 대하여 설명한다.
검사 시스템은, 물품 반송차가 승강 가능하게 구비하는 승강부의 경사상태를 검출하는 검출부를 구비하고,
상기 승강부는, 기준면을 가지고, 상기 검출부는, 제1 촬상 장치와 제2 촬상 장치를 구비하고, 상기 승강부가 규정된 설정 승강 위치에 있는 상태에서의 상기 기준면의 위치를 설정 기준면 위치로 하여, 상기 제1 촬상 장치의 광축인 제1 광축과 상기 제2 촬상 장치의 광축인 제2 광축이 교차하는 교점이, 상기 설정 기준면 위치에 대응하는 위치로 되고, 또한 상기 제1 광축 및 상기 제2 광축이 상기 기준면을 따른 방향으로 되도록, 상기 제1 촬상 장치 및 상기 제2 촬상 장치가 설치되고, 상기 검출부는, 상기 제1 촬상 장치 및 상기 제2 촬상 장치에 의해 촬상된 상기 기준면의 화상에 기초하여, 상기 승강부의 경사 방향 및 경사 각도를 검출한다.
본 구성에 의하면, 제1 촬상 장치 및 제2 촬상 장치에 의해 교차하는 2방향으로부터 촬상한 승강부의 기준면의 화상에 기초하여, 승강부의 경사상태를 검출하므로, 승강부의 경사 방향 및 경사 각도를 적절히 검출할 수 있다. 또한, 이 특징적 구성에 의하면, 물품 반송차의 승강부를 규정된 설정 승강 위치로 이동시키고, 그 상태에서, 제1 촬상 장치 및 제2 촬상 장치에 의해 승강부를 촬상함으로써, 승강부의 경사상태를 검출할 수 있으므로, 검출용 지그 등을 승강부에 지지하게 할 필요가 없다. 그러므로, 복수의 물품 반송차의 승강부의 경사상태를 검사하는 경우라도, 검사용 지그 등을 복수의 물품 반송차의 사이에서 이동시킬 필요가 없어, 승강부의 경사상태의 검사를 효율적으로 행할 수 있다.
여기서, 상기 검출부는, 상기 제1 촬상 장치에 의해 촬상된 제1 화상에 포함되는 상기 기준면의 에지의 경사에 기초하여, 상기 제1 광축에 직교하는 방향인 제1 방향에서의 상기 승강부의 경사 각도를 검출하고, 상기 제2 촬상 장치에 의해 촬상된 제2 화상에 포함되는 상기 기준면의 에지의 경사에 기초하여, 상기 제2 광축에 직교하는 방향인 제2 방향에서의 상기 승강부의 경사 각도를 검출하는 것이 바람직하다.
본 구성에 의하면, 제1 촬상 장치 및 제2 촬상 장치의 각각에 의해 촬상되는 기준면의 에지의 경사에 기초하여, 제1 방향에서의 승강부의 경사 각도와, 제2 방향에서의 승강부의 경사 각도의 양쪽을 검출할 수 있다. 그러므로, 승강체의 경사 방향 및 경사 각도를 더욱 적절히 검출할 수 있다.
또, 상기 제1 촬상 장치에 대향하는 측으로부터 상기 교점을 향해 투광하는 제1 투광 장치와, 상기 제2 촬상 장치에 대향하는 측으로부터 상기 교점을 향해 투광하는 제2 투광 장치를 더 구비하는 것이 바람직하다.
본 구성에 의하면, 제1 촬상 장치로부터 볼 때, 제1 투광 장치에 의해 기준면의 주위가 비추어지기 때문에, 제1 촬상 장치에 의해 기준면과 그 이외와의 경계를 판별하기 용이한 화상을 촬영할 수 있다. 또한, 제2 촬상 장치로부터 볼 때, 제2 투광 장치에 의해 기준면의 주위가 비추어지기 때문에, 제2 촬상 장치에 의해 기준면과 그 이외와의 경계를 판별하기 용이한 화상을 촬영할 수 있다. 그러므로, 승강체의 경사 방향 및 경사 각도보다 적절하게 검출할 수 있다.
또, 상기 기준면에 대향하는 측으로부터 투광하는 제3 투광 장치를 더 구비하는 것이 바람직하다.
본 구성에 의하면, 제3 투광 장치에 의해 기준면이 상기 기준면에 대향하는 측으로부터 비추어지기 때문에, 제1 촬상 장치 및 제2 촬상 장치에 의해 기준면과 그 이외와의 경계를 판별하기 용이한 화상을 촬영할 수 있다. 그러므로, 승강체의 경사 방향 및 경사 각도를 보다 적절하게 검출할 수 있다.
또, 상기 제1 촬상 장치 및 상기 제2 촬상 장치는, 상기 제1 광축과 상기 제2 광축이 직교하도록 설치되어 있는 것이 바람직하다.
본 구성에 의하면, 제1 촬상 장치가 촬상한 화상에 기초하여 승강부의 경사 각도를 검출하는 방향과, 제2 촬상 장치가 촬상한 화상에 기초하여 승강부의 경사 각도를 검출하는 방향이 직교하므로, 이들 화상에 기초하여 승강부의 경사 방향 및 경사 각도를 구하는 경우의 연산 처리를 간략화하기 용이해진다.
[산업 상의 이용 가능성]
본 개시에 관한 기술은, 물품 반송차가 승강 가능하게 구비하는 승강부의 경사상태를 검출하는 검출부를 구비한 검사 시스템에 이용할 수 있다.
1: 물품 반송차
4: 검사 시스템
7: 승강부
22: 검출부
23: 제1 촬상 장치
24: 제2 촬상 장치
25: 제1 투광 장치
26: 제2 투광 장치
28: 제3 투광 장치
E: 에지
F: 기준면
L1: 제1 광축
L2: 제2 광축
P: 교점
V: 설정 기준면 위치
X: 연장 방향(제1 방향)
Y: 폭 방향(제2 방향)

Claims (7)

  1. 물품 반송차(article transport vehicle)가 승강 가능하게 구비하는 승강부의 경사상태를 검출하는 검출부를 포함하고,
    상기 승강부는, 기준면을 가지고,
    상기 검출부는, 제1 촬상(撮像) 장치와 제2 촬상 장치를 구비하고,
    상기 승강부가 규정된 설정 승강 위치에 있는 상태에서의 상기 기준면의 위치를 설정 기준면 위치로 하여,
    상기 제1 촬상 장치의 광축인 제1 광축과 상기 제2 촬상 장치의 광축인 제2 광축이 교차하는 교점(交点)이, 상기 설정 기준면 위치에 대응하는 위치로 되고, 또한 상기 제1 광축 및 상기 제2 광축이 상기 기준면을 따른 방향으로 되도록, 상기 제1 촬상 장치 및 상기 제2 촬상 장치가 설치되고,
    상기 검출부는, 상기 제1 촬상 장치 및 상기 제2 촬상 장치에 의해 촬상된 상기 기준면의 화상에 기초하여, 상기 승강부의 경사 방향 및 경사 각도를 검출하는,
    검사 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 검출부는, 상기 제1 촬상 장치에 의해 촬상된 제1 화상에 포함되는 상기 기준면의 에지의 경사에 기초하여, 상기 제1 광축에 직교하는 방향인 제1 방향에서의 상기 승강부의 경사 각도를 검출하고, 상기 제2 촬상 장치에 의해 촬상된 제2 화상에 포함되는 상기 기준면의 에지의 경사에 기초하여, 상기 제2 광축에 직교하는 방향인 제2 방향에서의 상기 승강부의 경사 각도를 검출하는, 검사 시스템.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제1 촬상 장치에 대향하는 측으로부터 상기 교점을 향해 투광(投光)하는 제1 투광 장치와, 상기 제2 촬상 장치에 대향하는 측으로부터 상기 교점을 향해 투광하는 제2 투광 장치를 더 포함하는, 검사 시스템.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 기준면에 대향하는 측으로부터 투광하는 제3 투광 장치를 더 포함하는, 검사 시스템.
  5. 제1항 또는 제2항에 잇어서,
    상기 제1 촬상 장치 및 상기 제2 촬상 장치는, 상기 제1 광축과 상기 제2 광축이 직교하도록 설치되어 있는, 검사 시스템.
  6. 제3항에 있어서,
    상기 제1 촬상 장치 및 상기 제2 촬상 장치는, 상기 제1 광축과 상기 제2 광축이 직교하도록 설치되어 있는, 검사 시스템.
  7. 제4항에 있어서,
    상기 제1 촬상 장치 및 상기 제2 촬상 장치는, 상기 제1 광축과 상기 제2 광축이 직교하도록 설치되어 있는, 검사 시스템.
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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017095261A (ja) 2015-11-26 2017-06-01 株式会社ダイフク 物品搬送設備

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10337344A (ja) * 1997-06-09 1998-12-22 Fuitsuto:Kk ゴルフクラブのライ角・ロフト角測定方法およびその装置ならびにその測定手順を実行させるためのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体
JP4328333B2 (ja) * 2006-03-13 2009-09-09 東洋ガラス株式会社 ガラス瓶検査装置
JP2010164335A (ja) * 2009-01-13 2010-07-29 Mitsutoyo Corp プローブのアライメント調整方法および形状測定機
CN103119395B (zh) * 2010-09-27 2016-05-11 东洋玻璃株式会社 玻璃瓶检查装置
JP2014003312A (ja) * 2013-08-05 2014-01-09 Nikon Corp 基板接合装置および基板接合方法
JP6206088B2 (ja) * 2013-10-28 2017-10-04 村田機械株式会社 教示システム
US9718650B2 (en) * 2014-07-16 2017-08-01 Institute of Nuclear Energy Research, Atomic Energy Council, Executive Yuan, R.O.C. Control device using image tracking technology for controlling overhead crane system
JP6119699B2 (ja) * 2014-08-27 2017-04-26 村田機械株式会社 移載位置決定方法

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017095261A (ja) 2015-11-26 2017-06-01 株式会社ダイフク 物品搬送設備

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