KR20200087066A - 천장 반송차 - Google Patents

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KR20200087066A
KR20200087066A KR1020190160490A KR20190160490A KR20200087066A KR 20200087066 A KR20200087066 A KR 20200087066A KR 1020190160490 A KR1020190160490 A KR 1020190160490A KR 20190160490 A KR20190160490 A KR 20190160490A KR 20200087066 A KR20200087066 A KR 20200087066A
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controller
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타케시 신
테츠지 나카에
Original Assignee
가부시키가이샤 다이후쿠
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Abstract

천장에 배치된 반송 궤도로서의 레일(20)을 따라 주행하고, 반송 대상의 하우징(50)을 레일(20)을 따라 반송하는 천장 반송차(10)에 있어서, 천장 반송차(10)의 동작을 제어하는 제어기(15)는 하우징(50)을 유지하는 승강체(16)를 반송용 위치(24)와 이송용 위치(34) 사이에서 승강시킬 때에 카메라(40)가 촬상한 화상에 의거하여 카메라(40)에 의해 촬상된 촬상 범위(42) 내의 장해물의 유무를 판정한다.

Description

천장 반송차{OVERHEAD TRANSPORT VEHICLE}
본 발명은 천장 반송차에 관한 것이며, 특히 반송 대상의 물품을 반송 궤도를 따라 반송하는 천장 반송차에 있어서 물품을 승강시키는 것이 가능한 승강체를 구비한 것에 관한 것이다.
종래 클린룸 등의 반도체 디바이스 제조 설비에 있어서 사용되는 반송 장치의 일종으로서 일본 특허 제3371897호 공보에 기재되어 있는 바와 같은 설비의 천장에 배치된 반송 궤도를 따라 반송하는 천장 반송차(천장 주행 반송 장치)가 있다. 이 천장 반송차는 호이스트가 부착된 대차를 구비하고 있으며, 반도체 제조 장치의 로드 포트와 천장측 사이에서 반도체의 웨이퍼 캐리어를 승강시킬 수 있다.
특허문헌 1에 기재된 천장 반송차에 있어서는 웨이퍼 캐리어를 승강시킬 때에 그 승강 경로 내에 장해물이 존재하는지의 여부를 조사하기 위해서 광학식의 장해물 검지 센서가 설치되어 있다.
이 장해물 검지 센서는 미리 설정된 검출 범위 내에 광을 조사하고, 그 반사광의 광량 등에 의거하여 검출 범위에 있어서의 장해물의 유무를 조사할 수 있다.
그러나 특허문헌 1에 기재되어 있는 바와 같은 천장 반송차가 구비되는 광학식의 장해물 검지 센서에서는 어느 정도의 넓이를 갖는 검출 범위의 전역에 대하여 1개의 광원으로 1번에 조사를 행할 수는 없기 때문에 장해물 검지를 행할 때에는 어느 1점에서의 검지가 완료된 후 조사 각도를 스위칭하여 별도의 점에서 검지를 행한다는 동작을 몇 번이나 반복할 필요가 있다.
이러한 광원의 조사 각도 스위칭에는 모터 등의 구동 기구를 사용하여 기계적인 운동을 행할 필요가 있기 때문에 사용할 때마다 마찰 등에 의해 장치의 기구가 손모되어 간다. 그 때문에 종래의 장해물 검지 센서에는 기구의 수명이 짧다는 문제가 있었다.
또한, 일반적인 광학식의 장해물 검지 센서에서는 투광 피치(조사 각도의 스위칭 폭)는 일정 각도로 고정되어 있기(일정 각도씩밖에 각도를 스위칭할 수 없기) 때문에 그 투광 피치의 중간에 수용되는 작은 장해물을 검지할 수 없다는 문제도 있었다.
또한, 종래 기술의 광학식의 장해물 검지 센서는 천장측에 배치되는 장해물 검지 센서로부터 하방으로 거리를 둔 로드 포트를 향해서 광을 조사하기 때문에 조사 각도가 조금 어긋나는 것만으로도 조사점이 크게 어긋나 버려 소망의 위치로 광을 조사할 수 없게 되어 버린다. 그 때문에 종래 기술에 있어서는 광원의 광축 맞춤이 정밀하게 행해지지 않으면 안되고, 만약 광축이 어긋났을 경우에는 작업원이 설비의 천장측으로 올라 고소에서 광축 맞춤의 조정 작업을 행할 필요가 있으며, 매우 수고가 들어버린다는 문제도 있었다. 이렇게 종래의 광학식의 장해물 검지 센서를 구비한 천장 반송차는 취급의 어려운 면이 있었다. 이상의 문제를 감안하여 본 발명은 장해물의 유무의 판정을 행하는 기구에 대해서 보다 취급하기 쉬운 것을 구비한 천장 반송차를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 과제를 해결하기 위해서 본 발명에 의한 천장 반송차의 실시형태의 일례에서는 천장에 배치된 반송 궤도를 따라 주행하고, 반송 대상의 물품을 상기 반송 궤도를 따라 반송하는 천장 반송차에 있어서 상기 반송 궤도를 따라 주행하는 주행 대차와, 상기 주행 대차와 함께 상기 반송 궤도를 따라 이동하는 본체부와, 상기 본체부에 설치되어 있으며, 반송용 위치와 상기 반송용 위치로부터 하방의 이송용 위치 사이에서 승강 가능한 승강체와, 상기 본체부로부터 하방을 촬상하는 촬상 장치와, 상기 천장 반송차의 동작을 제어하는 제어기를 구비하고, 상기 승강체는 상기 반송용 위치로부터 하방의 물품 재치대에 배치되어 있는 상기 물품을 상기 이송용 위치로 하강해서 유지하는 취득 동작과, 상기 반송용 위치에 있어서 유지하고 있는 상기 물품을 상기 이송용 위치로 하강해서 상기 물품 재치대에 배치하는 해방 동작이 가능하며, 상기 제어기는 상기 승강체에 상기 취득 동작 또는 상기 해방 동작을 행하게 할 때에 상기 촬상 장치가 촬상한 화상에 의거하여 상기 촬상 장치에 의해 촬상된 촬상 범위 내의 장해물의 유무를 판정하는 것을 특징으로 한다.
또한, 바람직하게는 상기 제어기는 상기 승강체에 상기 취득 동작 또는 상기 해방 동작을 행하게 할 때에 상기 촬상 장치가 촬상한 화상 중으로부터 미리 정해진 복수의 지표체를 탐색하고, 상기 복수의 지표체의 위치를 기준으로 장해물의 유무를 판정하는 감시 범위를 설정하면 좋다.
또한, 바람직하게는 상기 제어기는 상기 승강체에 상기 취득 동작 또는 상기 해방 동작을 행하게 할 때에 상기 촬상 장치가 촬상한 화상 중으로부터 미리 정해진 규격 형상과 상사하는 형상을 탐색하여 지표부라고 하고, 그 지표부의 위치를 기준으로 장해물의 유무를 판정하는 감시 범위를 설정하면 좋다.
또한, 바람직하게는 상기 취득 동작 또는 상기 해방 동작의 개시 시에 상기 촬상 장치가 촬상한 화상이 기준 화상으로 설정되고, 상기 취득 동작 또는 상기 해방 동작의 계속 중에 상기 촬상 장치가 촬상한 화상이 동작 중 화상으로 설정되고, 상기 제어기는 상기 기준 화상에 있어서의 상기 감시 범위 내의 화상 데이터와, 상기 동작 중 화상에 있어서의 상기 감시 범위 내의 화상 데이터 사이에 미리 정해진 역치를 초과하는 차분이 발생했을 경우에 상기 촬상 범위 내에 장해물이 존재한다고 판정하면 좋다.
또한, 바람직하게는 상기 제어기는 상기 승강체에 상기 취득 동작 또는 상기 해방 동작을 행하게 할 때에 상기 촬상 장치가 촬상한 화상을 그 화상이 촬상된 시각과 함께 기록하면 좋다.
(발명의 효과)
본 발명의 천장 반송차의 실시형태의 일례에 의하면 촬상 장치에 의해 촬상된 화상에 의거하여 장해물의 유무가 판정되기 때문에 종래의 광학식의 장해물 검지 센서와 같은 광원의 조사 각도를 스위칭하기 위한 구동 기구가 불필요하므로 장해물 판정을 행하기 위한 기구의 수명이 길어진다.
또한, 촬상 장치가 촬상하는 화상에는 그 촬상 범위 내에 포함되는 물체가 모두 비추게 되기 때문에 종래의 광학식의 장해물 검지 센서에서는 검지할 수 없었던 작은 장해물도 검지할 수 있다.
또한, 촬상된 화상 내의 어딘가에 이송용 위치와 그 주위가 포함되어 있으면 좋고, 촬상 장치의 방향은 그만큼 정밀하게 설정될 필요가 없기 때문에 종래 행해져 있었던 바와 같은 작업자가 고소에 올라 광원의 방향을 수작업으로 조정한다는 시간과 수고가 드는 작업이 불필요해진다.
도 1은 본 발명에 의한 실시형태의 일례에 있어서의 천장 반송차와 물품 재치대를 나타내는 측면도이다.
도 2는 물품 재치대의 천장면 및 물품 재치대에 설치된 로케이트 핀을 나타내는 평면도이다.
도 3은 톱 플랜지를 포함하는 하우징의 형상을 나타내는 평면도이다.
도 4는 장해물 검지 처리의 순서를 나타내는 플로우 차트이다.
도 1에 본 발명에 의한 천장 반송차의 실시형태의 일례를 나타낸다. 이 천장 반송차(10)가 사용되는 설비(반도체 제조 설비 등) 내에 있어서 천장측에 반송 궤도로서의 레일(20)이 배치되어 있으며, 천장 반송차(10) 상부의 주행 대차(12)가 이 레일(20)을 따라 주행한다. 주행 대차(12)는 천장 반송차(10)의 본체부(14)와 연결되어 있으며, 이 본체부(14)에는 승강체(16)가 설치되어 있다. 그리고 승강체(16)에는 호이스트 기구(18)가 구비되어 있으며, 이에 따라 승강체(16)는 설비의 천장측과 바닥측 사이에서 승강이 가능하게 되어 있다.
설비의 바닥측에는 물품 재치대(32)가 설치되어 있다. 이 물품 재치대(32)는 설비 내에서 반송되는 물품으로서의 하우징(50)(반도체의 웨이퍼 캐리어로서의 Front-Opening Unified Pod(앞면 개방 일체식 포드), 소위 FOUP 등)이 안정되게 적재되는 것이 가능한 대이며, 예를 들면 반도체 제조 장치의 로드 포트 등이 물품 재치대(32)로서 기능한다.
승강체(16)는 암(19)이나 척 등에 의해 하우징(50)을 유지하는 것이 가능하며, 본체부(14) 내(천장측)의 반송용 위치(24)와, 물품 재치대(32) 상방(바닥측)의 이송용 위치(34) 사이에서 하우징(50)을 승강시킬 수 있다. 구체적으로는 승강체(16)는 취득 동작과 해방 동작을 행할 수 있다. 취득 동작에 있어서는 하우징(50)을 유지하고 있지 않는 상태의 승강체(16)가 반송용 위치(24)로부터 이송용 위치(34)로 하강하고, 물품 재치대(32) 상의 이송용 위치(34)에 배치된 하우징(50) 상부의 톱 플랜지(52)가 승강체(16)의 암(19)에서 파지됨으로써 하우징(50)이 승강체(16)에 의해 유지된다.
해방 동작에 있어서는 하우징(50)을 유지한 상태의 승강체(16)가 반송용 위치(24)로부터 물품 재치대(32) 상방의 이송용 위치(34)로 하강하고, 승강체(16)에 의한 하우징(50)의 유지가 해제됨으로써 물품 재치대(32)에 하우징(50)이 배치된다.
본 실시형태의 천장 반송차(10)에 있어서는 본체부(14)의 하방의 승강체(16)의 승강 경로로부터 벗어난 개소에 촬상 장치로서의 카메라(40)가 설치되어 있다. 이 카메라(40)는 하방으로 향해 있어 본체부(14)로부터 하방을 촬상하도록 되어 있다. 카메라(40)에 의해 촬상되는 화상에 수용되게 되는 촬상 범위(42)는 하방으로 감에 따라 퍼져 가고, 물품 재치대(32)의 높이에 있어서는 도 1에 나타내는 바와 같이 하우징(50)이 배치되는 범위를 포함하는 넓은 범위가 촬상 범위(42)에 수용되게 된다. 이 촬상 범위(42)는 물품 재치대(32)뿐만 아니라 그 주위(물품 재치대(32)보다 외측)에까지 넓혀져 있는 것도 있다.
또한, 천장 반송차(10)에는 이 천장 반송차(10)의 동작을 제어하는 제어기(15)(프로세서 등)가 구비되어 있다. 이 제어기(15)에 의해 주행 대차(12)의 주행 동작이나, 승강체(16)의 취득 동작 및 해방 동작, 그리고 카메라(40)에 의해 촬상된 화상의 화상 처리 등의 제어가 행해진다. 또한, 도 1에 있어서는 제어기(15)가 본체부(14)에 내장된 것으로서 나타내고 있지만 천장 반송차(10)와는 별체의 기기이며, 통신을 통해 천장 반송차(10)의 동작을 제어하는 컴퓨터 등이 제어기(15)로서 기능할 수도 있다.
제어기(15)는 천장 반송차(10)의 현재 위치에 따라 레일(20)을 따라 주행하는 반송 동작을 행하거나, 주행을 정지해서 승강체(16)를 승강시키는 취득 동작 또는 해방 동작을 행하거나를 스위칭할 수 있다. 예를 들면, 반도체 설비에 있어서는 어느 하우징(50)을 어느 물품 재치대(32)(로드 포트)에 배치할 것인가 또는 어느 물품 재치대(32)에 배치되어 있는 하우징(50)을 어느 천장 반송차(10)가 반송해야 할 것인가라는 것이 설비의 관리자가 조작하는 상위 장치에 의해 지정되어 있는 것이 있다. 그 경우 제어기(15)는 그러한 지정 정보를 상위 장치로부터 수신하고, 천장 반송차(10)가 현재 유지하고 있는(반송하고 있는) 하우징(50)을 배치해야 할 물품 재치대(32)의 상방에 도달했을 때 또는 그 천장 반송차(10)에 의해 반송되어야 할 하우징(50)이 배치되어 있는 물품 재치대(32)의 상방에 천장 반송차(10)가 도달했을 때에 주행 대차(12)에 의한 주행을 정지하고, 취득 동작 또는 해방 동작을 개시한다. 여기에서 제어기(15)는 취득 동작 또는 해방 동작을 위해 승강체(16)를 승강시키기 전에 카메라(40)를 사용하여 동작 개시 시의 본체부(14) 하방의 상황을 나타내는 기준 화상을 촬상한다.
예를 들면, 해방 동작의 개시 시에는 천장 반송차(10)의 하방의 물품 재치대(32)에는 하우징(50)이 놓여 있지 않아 물품 재치대(32)의 천장면이 노출되어 있다. 도 2의 평면도에 물품 재치대(32)의 천장면의 모양을 나타낸다.
물품 재치대(32)의 천장면에는 하우징(50)을 배치해야 할 목표 위치(55)의 마크로서 지표체로서의 로케이트 핀(36)이 설치되어 있다. 이 로케이트 핀(36)의 배치·형상은 반도체 제조 설비의 로드 포트인 것이면 규격에 의해 정해져 있다. 예를 들면, 상향 돌출에서 평면으로부터 볼 때 원형상의 핀이 3개 1세트로 각각 정삼각형의 정점을 이루도록 천장면에 매입되어 배치되고, 그 1세트가 1개의 목표 위치(55)에 대응한다. 도 2의 물품 재치대(32)에는 2개소의 목표 위치(55)가 준비되어 있다.
이하, 도 2 중의 좌측의 목표 위치(55)에 대하여 해방 동작이 행해지는 것으로서 설명한다. 우선, 카메라(40)에 의해 목표 위치(55)를 포함하는 촬상 범위(42)의 기준 화상이 촬상된다. 제어기(15)는 그 기준 화상에 대하여 화상 처리를 행하여 화상 내에 포함되는 복수개(여기에서는 3개)의 로케이트 핀(36)을 탐색한다. 예를 들면, 물품 재치대(32)가 금속제로 천장면이 금속 광택에 의해 은색으로 되어 있는 한편 로케이트 핀(36)이 흑색으로 착색되어 있는 것이면 제어기(15)는 은색의 배경 중에 흑색의 원이 존재하는 부분을 탐색한다. 또한, 로케이트 핀(36)의 정상부가 백색, 아래쪽 부분이 흑색이라는 바와 같이 색별되어 있는 것이면 제어기(15)는 흑백의 2중원을 탐색한다.
로케이트 핀(36)의 탐색은 촬상 범위(42)의 전역에 대하여 행해져도 좋지만, 탐색 시간 단축을 위해 화상 내 어느 범위에서 탐색을 행할지가 미리 정해져 있어도 좋다. 예를 들면, 도 2에 나타내는 타원형의 3개의 탐색 범위(46) 중에서 로케이트 핀(36)의 탐색이 행해지도록 되어서 있어도 좋다. 이 탐색 범위(46)의 설정으로서는, 예를 들면 「화상 좌단으로부터 X픽셀 우측, 하단으로부터 Y픽셀 상측의 점을 중심으로 하는 소정 형상의 타원」이라는 바와 같이 어떤 화상이어도 정의하는 것이 가능한 범위가 설정되어 있으면 좋다.
로케이트 핀(36)이 소정의 수(여기에서는 3개)만 발견되면 제어기(15)는 그들 로케이트 핀(36)의 위치를 바탕으로 하여 장해물이 존재하는지의 여부의 감시 대상이 되는 감시 범위(48)를 결정한다. 예를 들면, 제어기(15)는 3개의 로케이트 핀(36)을 지나는 가상원(38)의 중심 좌표(39)를 산출하고, 그 중심 좌표(39)로부터 소정 거리를 둔 범위를 감시 대상(48)으로 한다.
여기에서 제어기(15)는 3개의 로케이트 핀(36)의 위치로부터 가상원(38)의 횡축(38X)과 종축(38Y)의 방향을 산출하는 것도 가능하다. 이 가상원(38)의 횡축(38X)과 종축(38Y)의 방향은 목표 위치(55)에 하우징(50)을 배치할 때의 바람직한 하우징(50)의 방향에 대응한다. 도 2에 있어서는 카메라(40)의 방향이 어긋나 있으며, 촬상 범위(42)의 방향이 가상원(38)의 횡축(38X)과 종축(38Y)의 방향으로부터 기울어 있는 모양을 나타내고 있지만, 이렇게 촬상 범위(42)가 기울어 있어도 제어기(15)는 3개의 로케이트 핀(36)의 위치를 바탕으로 바람직한 방향의 횡축(38X)과 종축(38Y)을 산출하는 것이 가능하다.
상술한 바와 같이 중심 좌표(39)로부터 소정 거리를 둔 범위를 감시 대상(48)으로 할 때에는 촬상 범위(42)가 기울어 있을 가능성도 고려하여 화상의 종횡 프레임을 따른 방향의 거리가 아니라 산출된 가상원(38)의 횡축(38X)과 종축(38Y)과 평행한 방향의 거리를 사용하여 감시 범위(48)의 설정이 행해지는 것이 바람직하다. 도 2에 있어서는 가상원(38)의 중심 좌표(39)로부터 횡축(38X)의 방향에서 좌우에 거리(LX)씩 간격을 둔 범위, 또한 중심 좌표(39)로부터 종축(38Y)의 방향에서 거리(LY1)만큼 떨어진 위치로부터 거리(LY2)만큼 떨어진 위치까지의 장방형상의 범위가 감시 범위(48)로 되어 있다. 또한, 도 2에 나타내는 바와 같이 이 감시 범위(48)는 목표 위치(55)보다 외측에 설정되어 있다.
한편, 취득 동작의 개시 시에는 천장 반송차(10)의 하방의 물품 재치대(32)에는 하우징(50)이 놓여 있기 때문에 카메라(40)에 의해 이 하우징(50)의 천장면이 촬상된다. 하우징(50)이, 예를 들면 반도체의 웨이퍼 캐리어로서의 앞면 개방 일체식 포드(FOUP)이면 그 형상, 치수는 규격에 의해 미리 정해져 있다. 특히, 승강체(16)의 암(19)이나 척에 의해 파지되는 톱 플랜지(52)의 윤곽 형상이 규격 형상으로서 정해져 있다.
그래서 취득 동작 시에는 촬상된 기준 화상 내로부터 톱 플랜지(52)의 규격 형상과 상사하는 형상을 탐색하여 지표부라고 한다. 도 3의 평면도에 구체적인 하우징(50)의 천장면 형상, 특히 톱 플랜지(52)의 윤곽 형상의 일례를 도시한다.
이 윤곽 형상에는 특징적인 형상의 노치 등이 복수 있기 때문에 이 전체 형상과 상사하는 형상이 있으면 거의 확실하게 톱 플랜지(52)의 위치를 확정할 수 있다. 그러나 물품 재치대(32)와 하우징(50)이 모두 은색으로 색차가 거의 없을 경우나 설비 조명이 닿는 쪽에 의해 톱 플랜지(52)가 충분히 비춰져 있지 않는 것 같은 경우에는 전체 형상을 정확하게 탐색하는 것이 곤란하다. 그래서 여기에서는 제어기(15)가 복수의 개소에서 형상 탐색하고, 그 중의 수 개소를 발견함으로써 톱 플랜지(52)의 위치를 확정할 수 있다는 방법을 사용한다.
구체적으로는 제어기(15)는 도 3 중에 나타내는 톱 플랜지(52)의 4 모서리(54)의 형상을 탐색한다. 이 4 모서리(54)도 각각 특징적인 형상을 하고 있기 때문에 이들과 상사하는 형상이 발견되면 톱 플랜지(52)의 위치가 발견된 것이라고 판단할 수 있다. 또한, 4 모서리(54) 외에 제어기(15)는 톱 플랜지(52) 각 변에 형성되어 있는 노치 형상 등을 탐색하는 것도 가능하다.
예를 들면, 4 모서리(54) 중 우측 위와 좌측 밑 또는 좌측 위와 우측 아래, 즉 대각선상의 2개의 부분이 발견되면 톱 플랜지(52)의 위치를 발견한 것이라고 판단할 수 있다. 상술한 바와 같이 톱 플랜지(52)의 윤곽 형상은 규격에 의해 정해져 있으므로 그 중 지표부가 되는 일부분만이라도 발견되어 위치가 확정되었다면 톱 플랜지(52)의 다른 부분의 위치도 산출이 가능하다. 제어기(15)는 여기에서는 발견된 4 모서리(54)의 위치를 바탕으로 톱 플랜지(52)의 중심점(59)의 위치를 산출한다. 그리고 그 중심점(59)으로부터 소정 거리를 둔 범위를 감시 대상(48)으로 한다. 도 3에 있어서는 중심점(59)으로부터 좌우에 거리(LX)씩 간격을 둔 범위 또한 중심점(59)으로부터 거리(LY1)만큼 떨어진 위치로부터 거리(LY2)만큼 떨어진 위치까지의 장방 형상의 범위가 감시 범위(48)로 되어 있다. 또한, 도 3에 나타내는 바와 같이 이 감시 범위(48)는 하우징(50)보다 외측에 설정되어 있다.
이상과 같이 해서 취득 동작 또는 해방 동작의 개시 시에는 기준 화상 촬상의 처리(도 4의 스텝(S1)), 기준 화상 내의 지표체 또는 지표부를 탐색하는 지표 탐색의 처리(스텝(S2)), 감시 범위(48) 설정의 처리(스텝(S3))가 행해진다. 그리고 감시 범위(48)가 설정되면 호이스트 기구(18)에 의해 승강체(16)의 승강 동작이 개시된다(스텝(S4)).
승강 동작이 시작되면 제어기(15)는 카메라(40)를 사용해서 한창 승강 동작 중에 있어서의 물품 재치대(32) 천장면의 모양을 나타내는 동작 중 화상을 촬상한다(스텝(S5)). 그리고 이 동작 중 화상과 기준 화상 사이에서 감시 범위(48) 내에 비추고 있는 것에 상위함이 발생하고 있지 않는지의 여부가 판정된다(스텝(S6)).
스텝(S6)에 대해서 상세하게 설명하면 상기와 같이 감시 범위(48)는 목표 위치(55) 또는 하우징(50)보다 외측에 설정되어 있기 때문에 그 감시 범위(48) 내에는 취득 동작 또는 해방 동작의 실행 중 물품 재치대(32)의 천장면밖에 비치지 않아 항상 일정하게 되는(기준 화상의 상태로부터 변화되지 않는) 것이다. 동작 실행 중에 감시 범위(48) 내의 화상에 변화가 있다고 하면 그것은 감시 범위(48) 내에 장해물(작업자의 손 등)이 들어간다는 것이다. 그래서 스텝(S6)에서는 동작 중 화상과 기준 화상 사이에서 감시 범위(48) 내에 대해서 차분이 발생하고 있지 않는지의 판정이 행해진다. 또한, 장해물이 없어도 장치의 미소 진동이나 조명 조건의 변동 등에 의해 사소한 색채 변화가 발생하는 경우는 있으므로 약간의 차분은 허용한다. 차분이 미리 정해진 역치(예를 들면, 40픽셀)를 초과했을 경우(스텝(S6)-YES)에 장해물이 존재하고 있다고 판정된다.
장해물이 존재하고 있다고 판정되었을 경우 제어기(15)는 승강체(16)나 상위 장치에 대하여 장해물 검지 신호를 발신한다(스텝(S7)). 실제로 장해물이 존재했을 경우에 어떻게 대처할지는 설비에 따라 상이하지만, 예를 들면 장해물이 제거될 때까지 동작을 정지하거나 또는 「장해물이 검지되었다」는 것을 기록은 하지만 동작은 그대로 계속하거나 하는 것이 생각된다.
장해물 검지 신호의 발신 후 또는 동작 중 화상과 기준 화상의 비교에서 역치를 초과하는 차분이 발견되지 않았을 경우(스텝(S6)-NO)에는 제어기(15)는 취득 동작 또는 해방 동작이 완료된 것인지의 여부를 판정한다(스텝(S8)). 이것은, 예를 들면 천장 반송차(10)에 설치된 중량계로 승강체(16)의 중량을 측정하는 등의 방법에 의해 승강체(16)가 본체부(14) 내로 되돌아오고 있으며, 하우징(50)이 유지되어 있는지의 여부를 조사함으로써 판정하는 것이 가능하다.
취득 동작 또는 해방 동작이 완료되어 있으면(스텝(S8)-YES) 제어기(15)는 정지하고 있는 주행 대차(12)의 구동을 재개하고, 레일을 따른 주행을 행하는 반송 동작에 이행한다. 아직 취득 동작 또는 해방 동작이 완료되어 있지 않으면(스텝(S8)-NO) 동작 중 화상을 촬상하는 점으로부터 상술한 동작을 반복한다(스텝(S5)으로 되돌아간다). 이상과 같이 해서 본 실시형태의 천장 반송차(10)는 장해물의 유무를 판정하면서 취득 동작 또는 해방 동작을 행할 수 있다.
이상의 스텝(S1)으로부터 스텝(S8)에 있어서는 기준 화상과 동작 중 화상의 비교에 의해 장해물의 유무를 판정할 뿐이었지만 이 판정의 이력이 기록으로서 보존되어도 좋다. 예를 들면, 천장 반송차(10)에 얻어진 화상 데이터를 기록하기 위한 화상 메모리가 설치되어 있으면 좋다. 또한, 천장 반송차(10)에는 현재 시각을 측정하는 시계 장치나, 그 날의 가동 개시로부터의 경과 시간을 계측하는 타이머가 설치되어 있으면 바람직하다.
예를 들면, 스텝(S1)에 있어서의 기준 화상의 촬상 시나 스텝(S5)에 있어서의 동작 중 화상의 촬상 시에 촬상된 화상의 데이터가 그 촬상이 행해진 시각과 함께 화상 메모리에 기록된다. 즉, 화상의 촬상 시각이 기록된다. 이렇게 촬상 시각이 기록됨으로써 장해물이 발생했을 때 설비의 관리자가 기록되어 있는 화상 데이터와 촬상 시각을 대조함으로써 동작의 어느 단계에서 장해물이 발생한 것인지를 알 수 있다. 또한, 화상이 기록되어 있으므로 설비의 관리자는 장해물이 어떤 것이었던지를 나중에 조사할 수 있다. 구체예로서는 작업자가 카메라(40)를 가린 것인지 그렇지 않으면 오검출인지에 대해서 화상을 증거로서 조사하는 것이 가능해진다. 카메라(40)는 동작 중의 장해물의 유무를 조사하기 위한 촬상 장치, 즉 안전성을 확보하기 위한 기기이지만 그 안전성을 위한 기기를 이렇게 작업의 이력을 기록하기 위한 기기로서도 이용할 수 있다.
상기 실시형태의 천장 반송차(10)에 의하면 카메라(40)에 의해 촬상되는 촬상 범위(42)에 비추는 물체를 모두 검출할 수 있기 때문에 종래의 광학식의 장해물 검지 센서에서는 검출할 수 없었던 투광 피치(일정 각도)의 중간에 수용되는 작은 장해물이어도 검출 가능하다.
또한, 종래의 광학식의 장해물 검지 센서에서는 조사 각도 조절을 위해 기계적 손모를 수반하는 구동 기구가 필요해서 수명이 짧았지만, 카메라(40)라는 촬상 장치에는 구동부가 불필요하여 기기의 수명이 길어진다.
또한, 상기 실시형태에서는 도 2에 나타내는 바와 같은 탐색 범위(46)나 감시 범위(48)의 설정이 자동으로 행해지고 있지만 촬상된 화상을 제어기(15)가 외부의 조정용 콘솔 등의 기기로 전송하고, 그 조정용 콘솔로 작업자가 실제로 촬상된 화상을 확인하면서 수동으로 설정을 행하는 것도 가능하다. 이 경우에도 작업자가 화상을 보면서 설정을 변경하는 것만으로 장해물 판정을 위한 기기의 조정이 완료되므로 종래의 광학식의 장해물 검지 센서에 대해서 행해져 있었던 바와 같은 작업자가 고소에 올라 광원의 조사 각도를 수작업으로 조정한다는 시간과 수고가 드는 작업이 불필요해진다.
또한, 상기 실시형태에서는 해방 동작에 있어서 물품 재치대(32) 상에 하우징(50)이 존재하지 않을 경우에 로케이트 핀(36)을 복수의 지표체로서 사용하여 감시 범위(48)의 설정을 행하고 있지만 취득 동작 시, 즉 물품 재치대(32) 상에 하우징(50)이 놓여 있을 경우에도 하우징(50) 천장면에 미리 정해진 배치의 마커가 복수 형성되어 있으면 그 마커를 복수의 지표체로서 사용해서 감시 범위(48)의 결정이 가능하다.
상기 실시형태에서는 취득 동작에 있어서 물품 재치대(32) 상에 하우징(50)이 놓여 있을 경우에 하우징(50)의 톱 플랜지(52)의 규격 형상을 지표부로서 사용하여 감시 범위(48)의 설정을 행하고 있지만 해방 동작 시, 즉 물품 재치대(32) 상에 하우징(50)이 존재하지 않을 경우에도 물품 재치대(32)의 천장면에 소정 형상의 마커가 형성되어 있으면 그 마커의 형상을 지표부로서 사용해서 감시 범위(48)의 결정이 가능하다.
또한, 상기 실시형태에서는 촬상 범위(42) 중 감시 범위(48)의 상태를 조사함으로써 장해물의 유무를 판정하고 있지만 화상 중의 윤곽 형상을 해석하는 등 해서 장해물과 하우징(50)(및 정상인 작업에 있어서 찍힐 가능성이 있는 장해물은 아닌 것)의 구별을 짓는 것이 가능한 AI나 화상 해석 프로그램 등을 사용하면 촬상 범위(42) 전체(물품 재치대(32)와 그 주위)에 대하여 장해물의 유무를 판정하는 것도 가능하다.
10: 천장 반송차 16: 승강체
32: 물품 재치대 36: 로케이트 핀
40: 카메라 42: 촬상 범위
48: 감시 범위 50: 하우징
52: 톱 플랜지

Claims (5)

  1. 천장에 배치된 반송 궤도를 따라 주행하고, 반송 대상의 물품을 상기 반송 궤도를 따라 반송하는 천장 반송차에 있어서,
    상기 반송 궤도를 따라 주행하는 주행 대차와, 상기 주행 대차와 함께 상기 반송 궤도를 따라 이동하는 본체부와, 상기 본체부에 설치되어 있으며, 반송용 위치와 상기 반송용 위치로부터 하방의 이송용 위치 사이에서 승강 가능한 승강체와, 상기 본체부로부터 하방을 촬상하는 촬상 장치와, 상기 천장 반송차의 동작을 제어하는 제어기를 구비하고,
    상기 승강체는 상기 반송용 위치로부터 하방의 물품 재치대에 배치되어 있는 상기 물품을 상기 이송용 위치로 하강해서 유지하는 취득 동작과, 상기 반송용 위치에 있어서 유지하고 있는 상기 물품을 상기 이송용 위치로 하강해서 상기 물품 재치대에 배치하는 해방 동작이 가능하며,
    상기 제어기는 상기 승강체에 상기 취득 동작 또는 상기 해방 동작을 행하게 할 때에 상기 촬상 장치가 촬상한 화상에 의거하여 상기 촬상 장치에 의해 촬상된 촬상 범위 내의 장해물의 유무를 판정하는 것을 특징으로 하는 천장 반송차.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제어기는 상기 승강체에 상기 취득 동작 또는 상기 해방 동작을 행하게 할 때에 상기 촬상 장치가 촬상한 화상 중으로부터 미리 정해진 복수의 지표체를 탐색하고, 상기 복수의 지표체의 위치를 기준으로 장해물의 유무를 판정하는 감시 범위를 설정하는 것을 특징으로 하는 천장 반송차.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제어기는 상기 승강체에 상기 취득 동작 또는 상기 해방 동작을 행하게 할 때에 상기 촬상 장치가 촬상한 화상 중으로부터 미리 정해진 규격 형상과 상사하는 형상을 탐색해서 지표부라고 하고, 그 지표부의 위치를 기준으로 장해물의 유무를 판정하는 감시 범위를 설정하는 것을 특징으로 하는 천장 반송차.
  4. 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,
    상기 취득 동작 또는 상기 해방 동작의 개시 시에 상기 촬상 장치가 촬상한 화상이 기준 화상으로 설정되고, 상기 취득 동작 또는 상기 해방 동작의 계속 중에 상기 촬상 장치가 촬상한 화상이 동작 중 화상으로 설정되고,
    상기 제어기는 상기 기준 화상에 있어서의 상기 감시 범위 내의 화상 데이터와, 상기 동작 중 화상에 있어서의 상기 감시 범위 내의 화상 데이터 사이에 미리 정해진 역치를 초과하는 차분이 발생했을 경우에 상기 촬상 범위 내에 장해물이 존재한다고 판정하는 것을 특징으로 하는 천장 반송차.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제어기는 상기 승강체에 상기 취득 동작 또는 상기 해방 동작을 행하게 할 때에 상기 촬상 장치가 촬상한 화상을 그 화상이 촬상된 시각과 함께 기록하는 것을 특징으로 하는 천장 반송차.
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