CN111664884A - 检查系统 - Google Patents

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sensing
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Daifuku Co Ltd
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Abstract

实现了能够简略化在预先设定的搬送路径上行进的搬送车具备的传感器的检查的劳力和时间的检查系统。检查系统1具备：投影面5F，配置在搬送车2存在于在搬送路径R上设定的检查场所IP的状态下成为传感器3的感测范围IE内的位置，并且被投影传感器3照明的感测光IL；拍摄装置C，对投影面5F进行拍摄；以及判定部，基于拍摄装置C拍摄的图像来判定投影到投影面5F的感测光IL的位置、形状和光的强度之中的至少1个的状态。

Description

检查系统
技术领域
本发明涉及将搬送车具备的传感器作为检查对象的检查系统。
背景技术
例如，在日本特开平10-325866号公报（专利文献1）中公开了用于检查作为无人搬送车（1）所具备的传感器的障碍物传感器（6）的技术。在专利文献1的技术中，通过使障碍物传感器（6）检测在三维方向上移动的模拟障碍物（110）来检查障碍物传感器（6）的检测范围。
发明内容
发明要解决的课题
可是，在专利文献1的技术中，在由作业者使具备成为检查对象的障碍物传感器（6）的搬送车（1）移动到搬送车（1）为了搬送物品而行进的搬送路径之外的场所（120）之后，进行该障碍物传感器（6）的检查。因此，在进行障碍物传感器（6）的检查时，产生由作业者进行的搬送车（1）的移动的劳力和时间，存在朝向检查的劳力和时间的简略化进行改善的余地。
于是，期望能够简略化在预先设定的搬送路径上行进的搬送车具备的传感器的检查的劳力和时间的检查系统的实现。
用于解决课题的方案
本公开的检查系统是将在预先设定的搬送路径上行进的搬送车具备的传感器作为检查对象的检查系统，其中，具备：投影面，配置在所述搬送车存在于在所述搬送路径上设定的检查场所的状态下成为所述传感器的感测范围内的位置，并且被投影所述传感器照明的感测光；拍摄装置，对所述投影面进行拍摄；以及判定部，基于所述拍摄装置所拍摄的图像来判定投影到所述投影面的所述感测光的位置、形状和光的强度之中的至少1个的状态。
根据本结构，搬送车具备的传感器所照明的感测光被投影的投影面配置在搬送车存在于在搬送路径上设定的检查场所的状态下成为该传感器的感测范围内的位置，并且具备对投影面进行拍摄的拍摄装置。因此，能够在搬送车存在于搬送路径上的状态下进行传感器的检查。因此，能够简略化在搬送路径上行进的搬送车具备的传感器的检查的劳力和时间。此外，根据本结构，例如能够基于投影到投影面的感测光的位置、形状来判定传感器是否设置在正确的方向上、能够基于光的强度来判定传感器是否正常地照明等能够适当地进行传感器的检查。
本公开的技术的进一步的特征和优点通过参照附图所记载的以下的例示性且非限定性的实施方式的说明而变得更加明确。
附图说明
图1是示出具备检查系统的物品搬送设备的布局的一例的平面图；
图2是搬送车的侧面图；
图3是搬送车的正面图；
图4是示出利用检查系统来检查传感器的状态的说明图；
图5是示出投影部中的投影面侧的说明图；
图6是示出感测光被投影的状态下的、投影部的拍摄面侧的图；
图7是示出检查系统的控制结构的框图；以及
图8是示出另一实施方式的检查系统的配置结构的图。
具体实施方式
检查系统将在预先设定的搬送路径上行进的搬送车具备的传感器作为检查对象。为了例如使搬送车在搬送路径上安全地行进而使用这样的传感器。检查系统能够在通过搬送车来搬送物品的物品搬送设备中利用。以下，以检查系统应用于物品搬送设备的情况为例来对该检查系统的实施方式进行说明。
1.第一实施方式
1-1.物品搬送设备的结构
如图1所示，物品搬送设备100具备沿着搬送路径R行进的多个搬送车2。在本实施方式中，搬送路径R沿着被天花板支承的行进轨道98（参照图2等）而设定。然后，搬送车2被构成为在这样的行进轨道98行进的天花板搬送车，在物品搬送设备100中在工序之间搬送材料、中间品等。
再有，在以下的说明中，关于沿着搬送路径R行进的搬送车2，将沿着其前进方向的方向定义为“前后方向X”，并且以搬送车2前进的方向为基准来定义“前”和“后”。即，搬送车沿着前进方向前进的目的地是“前”，其相反是“后”。此外，将在水平面内与搬送车2的前进方向正交的方向定义为“宽度方向Y”，将与前进方向和宽度方向Y双方正交的方向定义为“上下方向Z”。再有，在本说明书中，针对各构件的尺寸、配置方向、配置位置等相关的用语被用作还包括具有由误差（在制造上可容许的程度的误差）所造成的差异的状态的概念。
如图1～图3所示，物品搬送设备100具备沿着搬送路径R配设的行进轨道98、以及沿着行进轨道98（搬送路径R）行进并搬送物品W的搬送车2。关于行进轨道98，设置有左右一对，并且从天花板悬吊而被支承。
如图1所示，搬送路径R被构成为包括呈直线状形成的直线区间RS、以及呈弯曲状形成的曲线区间RC。例如，物品搬送设备100具有多个隔区（工序）。搬送路径R被构成为包括按每个隔区设置的隔区内路径、以及将多个隔区内路径彼此连接的隔区间路径。然后，隔区间路径和隔区内路径中的每一个被构成为组合有多个直线区间RS和多个曲线区间RC。
物品搬送设备100具备处理装置96和载置台95。处理装置96可以是例如进行半导体基板的加工等的半导体处理装置等。载置台95与多个处理装置96中的每一个邻接并且设置在与行进轨道98在平面视图中重复的位置。再有，利用搬送车2的结构，可以将载置台95设置于在平面视图中与行进轨道98不重叠的位置。
物品搬送设备100设置在厂房内。厂房的四方由区划壁93包围（在图1中，仅显示一部分的区划壁93）。再有，可以在物品搬送设备100中设置用于将设备内区划为多个区域的分区、或用于临时保管工序间的制作中物品的自动仓库等。
搬送车2在不同的载置台95彼此之间或在设置有自动仓库的情况下在该自动仓库和载置台95之间搬送物品W。如前述那样，在物品搬送设备100为半导体制造设备的情况下（处理装置96为半导体处理装置的情况下），物品W可以为例如收容半导体基板的容器（Front Opening Unified Pod，前开式统集盒；FOUP）等。
如图2和图3所示，搬送车2具备行进部21和搬送主体部22。行进部21具有车体主体21A和被该车体主体21A旋转自由地支承的多个车轮21B。关于车体主体21A，设置有前后一对。车轮21B在前后一对的车体主体21A的每一个中设置有左右一对，使行进轨道98的上表面转动。多个车轮21B（在本例中，4个）之中的至少1个是由驱动电机21C旋转驱动的驱动轮，向搬送车2赋予推进力。
行进部21具有下部引导辊21D和上部引导辊21E。下部引导辊21D在车体主体21A的下方相对于该车体主体21A绕上下轴旋转自由地被支承。下部引导辊21D与行进轨道98的侧面相接而转动。上部引导辊21E在车体主体21A的上方相对于设置在该车体主体21A的切换机构绕上下轴旋转自由地被支承。切换机构被构成为在左右（宽度方向Y）上自由切换上部引导辊21E的位置。上部引导辊21E在搬送路径R的分支点根据切换机构的状态与引导轨道97中的左右任一个的侧面相接而转动。
连结轴21F连结到前后一对的车体主体21A的每一个，经由这些连结轴21F，搬送主体部22以悬吊的方式被行进部21支承。搬送主体部22具备壳体23和保持部24。在图2所示的例子中，在壳体23的内侧收容保持部24。
壳体23具有相对于保持部24覆盖前进方向的前方侧的前方壳体部23A、相对于保持部24覆盖前进方向的后方侧的后方壳体部23B、以及覆盖保持部24的上方并且将前方壳体部23A和后方壳体部23B连结的上方壳体部23C。前方壳体部23A从上方壳体部23C的前方侧的端部朝向下方延伸，后方壳体部23B从上方壳体部23C的后方侧的端部朝向下方延伸。壳体23在下方和左右两侧方开口，在宽度方向Y视图中形成为有角的U字状。
保持部24通过把持物品W来保持该物品W。保持部24被构成为在保持物品W的状态下自由升降该物品W。保持部24在上升位置收容于壳体23的内侧，在该状态下搬送车2沿着搬送路径R行进。在搬送车2处于移载处（例如载置台95的上方位置、自动仓库的交接部的上方位置）的状态下，保持部24下降到下降位置，进行物品W的装卸。
如前述那样，搬送车2具备传感器3。在传感器3设定有感测范围IE。传感器3被构成为可对感测范围IE内的物体进行感测。在本实施方式中，传感器3设置在搬送车2的前方部分。在图示的例子中，传感器3设置在壳体23的前方壳体部23A。前述的感测范围IE设定为朝向搬送车2的前方预定距离（例如，数米～数十米）的范围。
传感器3被构成为光学式的传感器。在本实施方式中，传感器3具有照明感测光IL的照明部3A和对光进行光接收的受光部3B。
在本实施方式中，搬送车2具备第一传感器31和对与第一传感器31不同的感测对象进行感测的第二传感器32作为传感器3。第一传感器31照明第一感测光IL1作为感测光IL，第二传感器32照明第二感测光IL2（参照图4）。在图示的例子中，第一传感器31和第二传感器32双方设置在壳体23的前方壳体部23A。
在本例中，第一传感器31是用于对具备该第一传感器31的搬送车2的前方的其他搬送车2进行感测的前方车传感器。然后，第一传感器31具有照明第一感测光IL1的第一照明部31A和对第一感测光IL1的反射光进行光接收的第一受光部31B。在图示的例子中，在前方壳体部23A的上部设置有1个第一传感器31。此外，如图3所示，第一传感器31设置在搬送车2的宽度方向Y上的中央部分的1处。然后，第一传感器31被构成为通过第一照明部31A向前方照明第一感测光IL1。在本实施方式中，作为第一传感器31的照射范围E的第一照射范围31E（参照图6）为沿着宽度方向Y的线状或带状的范围。第一传感器31通过第一照明部31A朝向设置在前方的搬送车2中的后方壳体部23B的反射板4照明第一感测光IL1，通过第一受光部31B对来自反射板4的反射光进行光接收。由此，第一传感器31对前方的搬送车2进行感测。
此外，在本例中，第二传感器32是用于对搬送车2的行进轨迹上的障碍物进行感测的障碍物传感器。然后，第二传感器32具有照明第二感测光IL2的第二照明部32A和对第二感测光IL2的反射光进行光接收的第二受光部32B。第二传感器32被构成为通过第二照明部32A向前方照明第二感测光IL2。在图示的例子中，第二传感器32设置在前方壳体部23A中的第一传感器31被设置的位置的下方。此外，如图3所示，第二传感器32具有设置在搬送车2的宽度方向Y上的两侧部分的2处的侧边（side）感测部32S和设置在其下方且宽度方向Y上的中央部分的1处的下侧感测部32L。在本实施方式中，作为第二传感器32的照射范围E的第二照射范围32E（参照图6）被设定为多个（在本例中3处）范围。更详细而言，如图6所示，多个第二照射范围32E之中的2个是从2个侧边感测部32S照明的第二感测光IL2的照射范围E，成为沿着上下方向Z延伸的椭圆状（或带状）的范围。然后，多个第二照射范围32E之中的1个是从下侧感测部32L照明的第二感测光IL2的照射范围E，成为沿着宽度方向Y延伸的椭圆状（或带状）的范围。
像这样，在物品搬送设备100中，能够利用搬送车2具备的第一传感器31来对前方的其他搬送车2进行感测。然后，能够在与前方的其他搬送车2的车间距离过近的情况下使搬送车2的行进速度降低或使其停止等来避免向前方的其他搬送车2的追尾。此外，在物品搬送设备100中，能够利用搬送车2具备的第二传感器32来对搬送车2的行进轨迹上的障碍物进行感测。然后，能够在感测到障碍物的情况下使搬送车2停止等来避免该搬送车2与障碍物的接触。
1-2.检查系统的结构
在此，在传感器3的状态（感测状态）异常的情况下，存在不能良好地对感测对象进行感测的情况。例如，在构成为前方车传感器的第一传感器31的感测状态异常而不能对前方的搬送车2进行感测的情况下，存在具备这样的第一传感器31的搬送车2追尾前方的搬送车2的可能性。此外，在构成为障碍物传感器的第二传感器32的感测状态异常而虽然在搬送车2的行进轨迹上存在障碍物但不能对该障碍物进行感测的情况下，存在具备这样的第二传感器32的搬送车2与障碍物接触的可能性。因此，优选的是，定期地检查传感器3的状态。
如图1和图4所示，检查系统1具备判定部J（参照图7），所述判定部J基于传感器3照明的感测光IL被投影的投影面5F、对投影面5F进行拍摄的拍摄装置C、以及拍摄装置C所拍摄的图像来判定投影到投影面5F的感测光IL的位置、形状和光的强度之中的至少1个的状态。在此，判定部J判定传感器3的感测状态是正常还是异常。例如，判定部J基于投影到投影面5F的感测光IL的位置（或形状）来判定感测光IL的光轴的偏离、换言之、传感器3是否设置在正确的方向上。此外，判定部J基于投影到投影面5F的感测光IL的光的强度（或形状）来判定传感器3是否正常地照明。在判定为传感器3的方向不正确或传感器3未正常地照明等传感器3的状态（感测状态）异常的情况下，将该传感器3决定为维护的对象，进行所需的维护。
在此，有时感测光IL的光的强度由于传感器3的经年劣化等而变弱，在该情况下，存在即使传感器3的方向正确也不能适当地对感测对象进行感测的情况。在本实施方式中，由判定部J作为判定对象的感测光IL的“光的强度”以光量、总光通量（流明）、照度（勒克斯）、发光强度（坎德拉）和亮度（每单位面积的发光强度）之中的至少1个为基准来确定。例如，判定部J在投影到投影面5F的感测光IL的光的强度为预定的规定值不足的情况下（光的强度不足的情况下），判定为传感器3的状态异常。
如图1和图4所示，投影面5F配置在搬送路径R上设定的检查场所IP存在搬送车2的状态下成为传感器3的感测范围IE内的位置。由此，能够在搬送车2存在于搬送路径R上的状态下进行传感器3的检查。此外，在本实施方式中，投影面5F配置在与搬送车2的行进轨迹不重叠的位置。由此，能够一边抑制在搬送路径R行进的搬送车2与投影面5F接触一边进行传感器3的检查。
在本实施方式中，检查系统1具备投影部5，投影面5F被构成为投影部5的一部分。在本例中，如图1所示，投影部5被支承构件92支承，所述支承构件92配置在与搬送车2的行进轨迹不重叠的位置。例如，支承构件92固定到设备内的天花板等构造物，投影部5由该支承构件92支承（在此，以悬吊方式支承）。由此，在本例中，投影部5在设备内固定的状态下配置。再有，不限定于这样的结构，投影部5也可以由例如区划壁93（参照图1）、自动仓库的外壁部或分区等（未图示）而不是由支承构件92支承。
在本实施方式中，投影面5F被构成为使光的一部分透射。在图5所示的例子中，投影部5具有形成有投影面5F的投影板51、以及支承该投影板51的支承边框52。然后，投影板51由例如亚克力板构成，形成在其的投影面5F能够使光的一部分透射。支承边框52以覆盖投影板51的外缘部的全周的方式配置，并支承投影板51。
如图5所示，在本实施方式中，投影面5F具有第一感测光IL1被投影的第一投影区域5Fa和第二感测光IL2被投影的第二投影区域5Fb。第一投影区域5Fa被形成为在检查场所IP存在搬送车2的状态下与第一传感器31对应的位置（也参照图3）。在图5所示的例子中，第一投影区域5Fa形成在投影面5F的上部中的、宽度方向Y的中央部分的1处。此外，第二投影区域5Fb形成在检查场所IP存在搬送车2的状态下与第二传感器32对应的位置（也参照图3）。在图5所示的例子中，第二投影区域5Fb形成在投影面5F中的、下部和宽度方向Y的两侧缘部分这3处。
在本实施方式中，判定部J（参照图7）基于拍摄装置C所拍摄的图像来判定投影到第一投影区域5Fa的第一感测光IL1的位置、形状和光的强度之中的至少1个的状态、以及投影到第二投影区域5Fb的第二感测光IL2的位置、形状和光的强度之中的至少1个的状态。
在此，“判定投影到第一投影区域5Fa的第一感测光IL1的位置”是指还包括针对第一感测光IL1是投影到规定的第一投影区域5Fa的内部还是投影到外部进行判定的概念。第一感测光IL1投影到第一投影区域5Fa的内部为用于判定是第一传感器31设置在正确的方向的正常状态的判断材料。相反，第一感测光IL1投影到第一投影区域5Fa的外部为用于判定第一传感器31的状态（感测状态）是异常的判断材料。同样，“判定投影到第二投影区域5Fb的第二感测光IL2的位置”是指还包括针对第二感测光IL2是投影到规定的第二投影区域5Fb的内部还是投影到外部进行判定的概念。第二传感器32的状态（感测状态）的判定也与上述第一传感器31的情况同样地进行。
拍摄装置C由对投影部5的投影面5F进行拍摄的相机构成。拍摄装置C对投影面5F相关的静止图像或活动图像进行拍摄。
如图1和图4所示，在本实施方式中，拍摄装置C隔着投影面5F配置在与检查场所IP相反侧。因此，在本例中，拍摄装置C隔着投影面5F从与检查场所IP相反侧对该投影面5F进行拍摄。因此，拍摄装置C对投影面5F的背侧的面（拍摄面CF）进行拍摄。像这样，在本实施方式中，将投影板51中的朝向检查场所IP的面作为感测光IL被投影的投影面5F，将投影板51中的朝向与投影面5F相反侧的面作为拍摄面CF。拍摄装置C被构成为通过对投影板51中的拍摄面CF进行拍摄来从背侧对投影面5F进行拍摄。再有，在图示的例子中，拍摄装置C与投影部5一起被支承投影部5的支承构件92支承（在此，以悬吊方式支承）。通过利用同一构件支承拍摄装置C和投影部5的结构，容易使拍摄装置C和投影部5（投影面5F）的配置关系固定化。但是，不限定于此，也可以利用不同构件支承拍摄装置C和投影部5的每一个。
如图1和图4所示，在本实施方式中，在检查场所IP存在搬送车2的状态下，搬送车2、投影面5F（投影部5）和拍摄装置C被配置为沿着搬送车2的前后方向X而排列。由此，在投影面5F被构成为使光的一部分透射的情况下，能够从该投影面5F的背面侧（拍摄面CF侧）利用拍摄装置C在失真较少的状态下对投影到投影面5F的感测光IL的图像进行拍摄。其结果是，能够取得适于由判定部J的判定的图像。特别地，优选的是，搬送车2、投影面5F（投影部5）和拍摄装置C被配置为在沿着前后方向X的前后方向X视图中重复。但是，不限定于上述那样的结构，关于投影面5F和拍摄装置C的配置关系，它们也可以被配置为彼此在搬送车2的前后方向X视图中不重复。换言之，拍摄装置C可以被配置为从相对于与投影面5F正交的方向（在此，前后方向X）在宽度方向Y和上下方向Z中的至少一个上倾斜的方向对投影面5F进行拍摄。在该情况下，拍摄装置C被配置在可对投影面5F进行拍摄的位置（在本例中，可从背面侧对投影面5F进行拍摄的位置）。在本检查系统1中，不是基于传感器3照明的感测光IL本身，而是基于投影到投影面5F的感测光IL来进行传感器3的状态的判定。因此，拍摄装置C配置在可对投影面5F进行拍摄的位置即可，即使如上述那样配置在相对于投影面5F在前后方向X视图中偏离的位置，也能够利用检查系统1适当地进行传感器3的状态（感测状态）的判定。
1-3.传感器的状态的判定
接着，参照图6来说明传感器3的状态（感测状态）的判定。图6示意性地示出了由拍摄装置C对投影部5中的拍摄面CF侧进行拍摄的图像。换言之，示出了从背面侧对感测光IL被投影的投影面5F进行拍摄的图像。图6的左图示出传感器3的状态是正常的情况（OK），图6的右图示出传感器3的状态是异常的情况（NG）。
判定部J通过判定投影到投影面5F的感测光IL的位置来判定传感器3的状态是正常还是异常。在图6的左图所示的状态下，利用第一感测光IL1的第一照射范围31E被投影到与第一投影区域5Fa（参照图5）对应的位置，利用第二感测光IL2的第二照射范围32E被投影到与第二投影区域5Fb（参照图5）对应的位置。像这样，在感测光IL的照射范围容纳在规定的区域内的情况下，由判定部J判定为投影到投影面5F的感测光IL的位置是正常的（OK）。另一方面，在图6的右图所示的状态下，第一照射范围31E投影到从与第一投影区域5Fa对应的位置向下方偏离的位置。在该情况下，由判定部J判定为投影到投影面5F的感测光IL的位置是异常的（NG）。
此外，判定部J通过判定投影到投影面5F的感测光IL的形状来判定传感器3的状态是正常还是异常。在图6的左图所示的状态下，利用第一感测光IL1的第一照射范围31E的形状形成了沿着水平方向的直线状，利用第二感测光IL2的第二照射范围32E的形状形成了规定的形状（在本例中，带状（在图示的例子中，两端为圆弧状的带状））。在该情况下，由判定部J判定为投影到投影面5F的感测光IL的形状是正常的（OK）。在此，规定的形状由例如感测光IL被照射的照射范围的宽度、长度等条件规定。另一方面，在图6的右图所示的状态下，第一照射范围31E的形状形成了相对于水平方向斜着倾斜的直线状。此外，投影到拍摄面CF（投影面5F）的下部的第二照射范围32E的形状形成了分断为2个短的带状的形状。在这些情况下，由判定部J判定为投影到投影面5F的感测光IL的形状是异常的（NG）。
此外，判定部J通过投影到投影面5F的感测光IL的光的强度来判定传感器3的状态是正常还是异常。在图6的左图所示的状态下，形成第一照射范围31E的第一感测光IL1的光的强度和形成第二照射范围32E的第二感测光IL2的光的强度变为规定值以上。在该情况下，由判定部J判定为投影到投影面5F的感测光IL的光的强度是正常的（OK）。在此，光的强度为规定值以上的判定条件例如能够设定为照射范围内的位置和各位置中的光的强度的组合。作为一例，能够采用如果照射范围内的光的强度最强的部分中的光的强度为规定值以上则判定为正常的条件、或如果除了照射范围的外缘部之外的部分中的光的强度最弱的部分中的光的强度为规定值以上则判定为正常的条件等。另一方面，在图6的右图所示的状态下，多个第二照射范围32E之中的形成拍摄面CF的左侧的第二照射范围32E的第二感测光IL2的光的强度为规定值不足。在该情况下，由判定部J判定为投影到投影面5F的感测光IL的光的强度较弱即是异常（NG）。
1-4.检查系统的控制结构
接着，参照图7来对检查系统1的控制结构进行说明。如图7所示，检查系统1具备管理系统整体的总括控制装置Ht、控制搬送车2的个别控制装置Hm、以及存储由判定部J的判定结果的存储装置M。总括控制装置Ht和个别控制装置Hm被构成为可彼此通信。这些控制装置具备例如微计算机等的处理器、存储器等周边电路等。然后，通过这些硬件与在计算机等的处理器上执行的程序的协作来实现各功能。
在本实施方式中，个别控制装置Hm具备在多个搬送车2的每一个中，并且进行该多个搬送车2的每一个的控制。例如，个别控制装置Hm控制搬送车2的行进、停止和物品W的移载等。
在本实施方式中，总括控制装置Ht进行包括多个搬送车2的物品搬送设备100的整体的控制。然后，总括控制装置Ht针对个别控制装置Hm（搬送车2）执行搬送指令等各种指令。在本例中，总括控制装置Ht针对个别控制装置Hm（搬送车2）执行用于检查传感器3的检查指令。在来自总括控制装置Ht的检查指令中包括使搬送车2行进到检查场所IP的指令、以及使搬送车2在检查场所IP中进行检查用的工作的指令。从总括控制装置Ht接收到检查指令的个别控制装置Hm使本车（搬送车2）行进到检查场所IP。然后，在本例中，个别控制装置Hm在使本车（搬送车2）停止在检查场所IP中的状态下进行传感器3的检查。但是，不限于这样的结构，检查系统1也可以在搬送车2在检查场所IP的前后行进的状态（优选为低速行进的状态）下进行传感器3的检查。
在本例中，在搬送车2停止在检查场所IP的状态下，首先，传感器3朝向投影部5的投影面5F照明感测光IL。再有，关于由该传感器3的感测光IL的照明，既可以时常进行，也可以在搬送车2停止在检查场所IP之后进行。在由传感器3的感测光IL的照明中，拍摄装置C对投影面5F（在本例中，作为投影面5F的背面侧的拍摄面CF）进行拍摄。接着，判定部J基于由拍摄装置C拍摄的图像来判定传感器3的状态（感测状态），并且将判定结果发送到存储装置M。存储装置M存储针对所接收的传感器3的状态的判定结果。例如，作为进行由判定部J的判定的时间日期的检查时间日期和由判定部J的判定结果在彼此相关联的状态下存储在存储装置M中。总括控制装置Ht被构成为可与存储装置M通信，并且被构成为可取得存储在存储装置M中的上述判定结果。总括控制装置Ht将用于识别进行检查指令的搬送车2的识别信息、装载于该搬送车2的传感器3相关的判定结果、作为进行由判定部J的判定的时间日期的检查时间日期在彼此相关联的状态下管理。
在图7中，示出了分开设置总括控制装置Ht和存储装置M的例子。可是，不限定于这样的结构，也可以为总括控制装置Ht具备存储装置M的结构。在该情况下，从判定部J向总括控制装置Ht发送判定结果。
此外，在图7中，示出了分开设置总括控制装置Ht和判定部J的例子。可是，不限定于这样的结构，也可以为总括控制装置Ht具备判定部J的结构。在该情况下，从拍摄装置C向总括控制装置Ht发送由拍摄装置C拍摄的图像信息。
在检查场所IP进行传感器3的检查的结果是判定为传感器3的状态（感测状态）是正常的情况下，总括控制装置Ht再开始针对个别控制装置Hm（搬送车2）执行搬送指令等通常的运作是优选的。另一方面，在判定为传感器3的状态（感测状态）是异常的情况下，总括控制装置Ht使搬送车2例如朝向不进行物品W的搬送等的该搬送车2用的退避场所移动是优选的。但是，不限于这样的结构，个别控制装置Hm（搬送车2）即使在判定为传感器3的状态（感测状态）是异常的情况下也可以在例如到搬送中的物品W的搬送结束之前的期间内等限定性地再开始通常的运作。
2.其他实施方式
接着，对检查系统的其他实施方式进行说明。
（1）在上述的实施方式中，说明了拍摄装置C隔着投影面5F配置在与检查场所IP相反侧的例子。可是，不限定于这样的例子，例如如图8所示，拍摄装置C也可以配置在相对于投影面5F与检查场所IP相同的侧。在该情况下，投影部5中的朝向检查场所IP的面兼作投影面5F和拍摄面CF双方。此外，在该情况下，拍摄装置C被配置在不会遮住传感器3和投影面5F之间的照明路径的位置。因此，拍摄装置C被配置为从相对于与投影面5F正交的方向在宽度方向Y和上下方向Z中的至少一个上倾斜的方向对投影面5F进行拍摄。
（2）在上述的实施方式中，说明了搬送车2具备第一传感器31和第二传感器32作为传感器3的例子。可是，不限定于这样的例子，搬送车2具备至少1个或至少1种传感器3即可。或，搬送车2可以具备3种以上的传感器3。
（3）在上述的实施方式中，以投影面5F被配置在与搬送车2的行进轨迹不重叠的位置的结构为例进行了说明。可是，不限定于这样的结构，投影面5F可以被配置在与搬送车2的行进轨迹重叠的位置。在该情况下，具备退避机构是优选的，所述退避机构使投影面5F以使投影面5F（投影部5）在不进行检查的情况下从搬送车2的行进轨迹退避的方式移动。或，投影面5F（投影部5）既可以装载于例如在设备内自由移动的移动装置（叉车、地面运输工具、升降机等），也可以构成为能够由人手移动。
（4）在上述的实施方式中，说明了第一传感器31为前方车传感器并且第二传感器32为障碍物传感器的例子。可是，不限定于这样的例子，例如，第一传感器31可以为障碍物传感器，而第二传感器32为前方车传感器。或，第一传感器31和第二传感器32中的一个或两个可以为前方车传感器和障碍物传感器以外的传感器。第一传感器31和第二传感器32的感测对象可以配合设备的特性等而适当设定。
（5）上述的实施方式中，以传感器3将搬送车2的前进方向（前后方向X）的前方作为感测范围IE的结构为例来进行了说明。可是，不限定于此，搬送车2可以为具备将前进方向（前后方向X）的后方作为感测范围IE的传感器3、将宽度方向Y的一方或双方作为感测范围IE的传感器3、将上下方向Z的上方或下方作为感测范围IE的传感器3等的结构。在这些情况下，投影面5F被配置在搬送路径R上设定的检查场所IP存在搬送车2的状态下成为传感器3的感测范围IE内的位置。例如，在传感器3的感测范围IE为搬送车2的下方的情况下，投影面5F可以被配置在成为处于检查场所IP的搬送车2的下方的位置。
（6）上述的实施方式中，说明了搬送车2被构成为天花板搬送车的例子。可是，不限定于这样的例子，搬送车2也可以为例如在地面上行进的无人搬送车。在该情况下，关于搬送路径R，既可以沿着地面上的行进轨道而设定，也可以不利用行进轨道而使用例如磁性等仅在地面上设定。
（7）再有，关于上述的各实施方式中公开的结构，只要不产生矛盾，就能够与其他实施方式中公开的结构组合地应用。关于其他结构，本说明书中公开的实施方式在全部方面都只不过仅是例示。因此，能够在不脱离本公开的主旨的范围内适当进行各种改变。
3.上述实施方式的概要
以下，对在上述中说明的检查系统进行说明。
一种检查系统，将在预先设定的搬送路径上行进的搬送车具备的传感器作为检查对象，其中，具备：投影面，配置在所述搬送车存在于在所述搬送路径上设定的检查场所的状态下成为所述传感器的感测范围内的位置，并且被投影所述传感器照明的感测光；拍摄装置，对所述投影面进行拍摄；以及判定部，基于所述拍摄装置所拍摄的图像来判定投影到所述投影面的所述感测光的位置、形状和光的强度之中的至少1个的状态。
根据本结构，搬送车具备的传感器照明的感测光被投影的投影面配置在搬送车存在于在搬送路径上设定的检查场所的状态下成为该传感器的感测范围内的位置并且具备对投影面进行拍摄的拍摄装置，因此，能够在搬送车存在于搬送路径上的状态下进行传感器的检查。因此，能够在搬送车存在于搬送路径上的状态下进行传感器的检查。因此，能够简略化在搬送路径上行进的搬送车具备的传感器的检查的劳力和时间。此外，根据本结构，例如能够基于投影到投影面的感测光的位置、形状来判定传感器是否设置在正确的方向上、能够基于光的强度来判定传感器是否正常地照明等能够适当地进行传感器的检查。
在此，
优选的是，所述投影面被构成为使光的一部分透射，所述拍摄装置隔着所述投影面而配置在与所述检查场所相反侧。
在从投影面观察与检查场所（存在于检查场所的搬送车）相同侧设置搬送路径而存在搬送车的行进区域，因此，与从投影面观察与检查场所相反侧相比，配置拍摄装置的场所的制约较大。根据本结构，由于拍摄装置隔着投影面而配置在与检查场所相反侧，所以能够在配置上的制约比较小的区域中配置拍摄装置。因此，容易由拍摄装置拍摄容易用于由判定部的判定的图像。
此外，
优选的是，所述搬送车除了具备作为所述传感器的第一传感器之外还具备进行与所述第一传感器不同的区域的感测的第二传感器，所述投影面具有作为所述感测光的第一感测光被投影的第一投影区域、以及所述第二传感器所照明的第二感测光被投影的第二投影区域，所述判定部基于所述拍摄装置所拍摄的图像来判定投影到所述第一投影区域的所述第一感测光的位置、形状和光的强度之中的至少1个的状态、以及投影到所述第二投影区域的所述第二感测光的位置、形状和光的强度之中的至少1个的状态。
根据本结构，能够一次地执行进行彼此不同的感测区域的感测的第一传感器和第二传感器的检查。
此外，
优选的是，所述投影面配置在与所述搬送车的行进轨迹不重叠的位置。
根据本结构，检查系统配置在与搬送车的行进轨迹不重叠的位置，因此，即使在将检查系统设置为固定式的情况下，在搬送路径行进的搬送车也不会与检查系统接触。因此，能够进一步简略化在搬送路径上行进的搬送车具备的传感器的检查的劳力和时间。
产业上的可利用性
本公开的技术能够利用于将搬送车具备的传感器作为检查对象的检查系统。
附图标记的说明
1：检查系统
2：搬送车
3：传感器
5F：投影面
5Fa：第一投影区域
5Fb：第二投影区域
31：第一传感器
32：第二传感器
C：拍摄装置
IE：感测范围
IL：感测光
IL1：第一感测光
IL2：第二感测光
IP：检查场所
J：判定部
M：存储装置
R：搬送路径。

Claims (4)

1.一种检查系统，将在预先设定的搬送路径上行进的搬送车具备的传感器作为检查对象，其中，具备以下：
投影面，配置在所述搬送车存在于在所述搬送路径上设定的检查场所的状态下成为所述传感器的感测范围内的位置，并且被投影所述传感器照明的感测光；
拍摄装置，对所述投影面进行拍摄；以及
判定部，基于所述拍摄装置所拍摄的图像来判定投影到所述投影面的所述感测光的位置、形状和光的强度之中的至少1个的状态。
2.根据权利要求1所述的检查系统，其中，
所述投影面被构成为使光的一部分透射，
所述拍摄装置隔着所述投影面而配置在与所述检查场所相反侧。
3.根据权利要求1或2所述的检查系统，其中，
所述搬送车除了具备作为所述传感器的第一传感器之外还具备进行与所述第一传感器不同的区域的感测的第二传感器，
所述投影面具有作为所述感测光的第一感测光被投影的第一投影区域、以及所述第二传感器所照明的第二感测光被投影的第二投影区域，
所述判定部基于所述拍摄装置所拍摄的图像来判定投影到所述第一投影区域的所述第一感测光的位置、形状和光的强度之中的至少1个的状态、以及投影到所述第二投影区域的所述第二感测光的位置、形状和光的强度之中的至少1个的状态。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的检查系统，其中，所述投影面配置在与所述搬送车的行进轨迹不重叠的位置。
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