TWI829843B - 檢查系統 - Google Patents

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Abstract

[課題]實現一種可將檢測器的檢查之勞務簡化的檢查系統，前述檢測器是行走於事先設定的搬送路徑上的搬送車所具備的檢測器。 [解決手段]檢查系統具備有：投影面，在搬送車位於已設定於搬送路徑上的檢查場所之狀態下，配置在檢測器的檢測範圍內之位置，且被檢測器投射的檢測光所投影；攝影裝置，對投影面進行攝影；及判定部，依據攝影裝置所攝影的圖像，判定已投影於投影面之檢測光的位置、形狀、及光的強度當中至少1個狀態。

Description

檢查系統
本發明是關於一種將搬送車所具備之檢測器設為檢查對象的檢查系統。
例如，在日本專利特開平10-325866號公報(專利文獻1)中，已揭示有一種用於檢查障礙物感測器(6)的技術，前述障礙物感測器(6)是作為無人的搬送車(1)所具備之檢測器。在專利文獻1的技術中，是使障礙物感測器(6)檢測出在三維方向上移動的模擬障礙物(110)，藉此檢查障礙物感測器(6)的檢測範圍。
發明欲解決之課題
但是，在專利文獻1的技術中，是在藉由作業人員將具備有成為檢查對象的障礙物感測器(6)之搬送車(1)，移動至與搬送車(1)為了搬送物品而行走的搬送路徑不同的場所(120)後，再進行該障礙物感測器(6)的檢查。因此，在進行障礙物感測器(6)的檢查時，會產生作業人員所進行之搬送車(1)的移動之勞務，因此為了檢查的勞務之簡化仍有改善的餘地。
於是，所期望的是一種檢查系統的實現，前述檢查系統可將檢測器的檢查之勞務簡化，前述檢測器是行走於事先設定的搬送路徑上的搬送車所具備的檢測器。 用以解決課題之手段
本揭示之檢查系統，是將行走於事先設定的搬送路徑上的搬送車所具備的檢測器設為檢查對象的檢查系統，其具備有：投影面，在前述搬送車位於已設定於前述搬送路徑上的檢查場所之狀態下，配置在前述檢測器的檢測範圍內之位置，且被前述檢測器投射的檢測光所投影；攝影裝置，對前述投影面進行攝影；及判定部，依據前述攝影裝置所攝影的圖像，判定已投影於前述投影面之前述檢測光的位置、形狀、及光的強度當中至少1個狀態。
根據本構成，搬送車所具備的檢測器投射的檢測光所投影的投影面，是在搬送車位於已設定於搬送路徑上的檢查場所之狀態下，配置在該檢測器的檢測範圍內之位置，並且具備有對投影面進行攝影的攝影裝置。因此，可以在搬送車位於搬送路徑上的狀態下進行檢測器的檢查。從而，可以將行走於搬送路徑上的搬送車所具備的檢測器之檢查的勞務簡化。又，根據本構成，例如可以依據投影於投影面的檢測光的位置或形狀，來判定檢測器是否設置於正確的方向上，並且可以依據光的強度，來判定檢測器是否正常地投射光線等，而可以適當地進行檢測器的檢查。
本揭示之技術的更進一步之特徵與優點，透過參照圖式所記述之以下的例示性且非限定的實施形態之說明應可變得更加明確。
用以實施發明之形態
檢查系統是將行走於事先設定的搬送路徑上的搬送車所具備的檢測器設為檢查對象。像這樣的檢測器是用於例如使搬送車在搬送路徑上安全地行走。檢查系統可以利用於藉由搬送車來搬送物品的物品搬送設備上。以下，以將檢查系統應用於物品搬送設備的情況作為例子，來說明該檢查系統的實施形態。
1.第一實施形態 1-1.物品搬送設備的構成 如圖1所示，物品搬送設備100具備沿著搬送路徑R行走的複數台搬送車2。在本實施形態中，搬送路徑R是沿著天花板所支撐的行走軌道98(參照圖2等)來設定。並且，搬送車2是構成為行走在像這樣的行走軌道98的天花板搬送車，並且在物品搬送設備100中於步驟間搬送材料或中間製品等。
再者，在以下的說明中，有關於沿著搬送路徑R行走的搬送車2，將沿著其行進方向的方向定義為「前後方向X」，並且以搬送車2行進的方向為基準來定義「前」及「後」。亦即，搬送車沿著行進方向前進的方向為「前」，其相反則為「後」。又，將水平面中正交於搬送車2的行進方向之方向定義為「寬度方向Y」，並且將正交於行進方向及寬度方向Y之雙方的方向定義為「上下方向Z」。再者，在本說明書中，有關於各構件的尺寸、配置方向、配置位置等之用語，是設成也作為包含具有因誤差(在製造上可容許的程度之誤差)所形成的差異之狀態的概念來使用。
如圖1~圖3所示，物品搬送設備100具備有：行走軌道98，沿著搬送路徑R而配設；及搬送車2，沿著行走軌道98(搬送路徑R)行走並且搬送物品W。行走軌道98是設置有左右一對並且由天花板所懸吊支撐。
如圖1所示，搬送路徑R是包含下述區間而構成：形成為直線狀的直線區間RS、以及形成為彎曲狀的曲線區間RC。例如，物品搬送設備100具有複數個站(bay)(步驟)。搬送路徑R是包含下述路徑而構成：按每個站來設置的站內路徑、以及連接複數個站內路徑彼此的站間路徑。並且，站間路徑及站內路徑的每一個是由複數個直線區間RS與複數個曲線區間RC組合而構成。
物品搬送設備100具備處理裝置96與載置台95。處理裝置96亦可為例如進行半導體基板的加工等的半導體處理裝置等。載置台95是相鄰於複數個處理裝置96的每一個，並且設置於在平面視角下與行走軌道98重疊的位置。再者，根據搬送車2的構成，載置台95亦可設置在平面視角下不與行走軌道98重疊的位置上。
物品搬送設備100是設置於廠房內。廠房是以區隔壁93來包圍四個面(在圖1中僅顯示一部分的區隔壁93)。再者，在物品搬送設備100中，亦可設置有用於將設備內區隔為複數個區域的隔板、及用於暫時保管步驟間的在製品的自動倉庫等。
搬送車2是在不同的載置台95彼此之間搬送物品W、或是在設置有自動倉庫的情況下，在該自動倉庫與載置台95之間搬送物品W。如前述，在物品搬送設備100為半導體製造設備的情況(處理裝置96為半導體處理裝置的情況)下，物品W可為例如容置半導體基板的容器(前開式晶圓傳送盒，Front Opening Unified Pod；FOUP)等。
如圖2及圖3所示，搬送車2具備有行走部21與搬送本體部22。行走部21具有車體本體21A、及旋轉自如地支撐於此車體本體21A的複數個車輪21B。車體本體21A是設置有前後一對。車輪21B是在前後一對的車體本體21A的每一個上設置為左右一對，並且在行走軌道98的上表面滾動。複數個車輪21B(在本例中為4個)當中的至少1個是被驅動馬達21C所旋轉驅動的驅動輪，並且賦與搬送車2推進力。
行走部21具有下部導引滾輪21D與上部導引滾輪21E。下部導引滾輪21D是在比車體本體21A更下方，且相對於該車體本體21A而繞著上下軸旋轉自如地被支撐。下部導引滾輪21D是接觸於行走軌道98的側面而滾動。上部導引滾輪21E是在比車體本體21A更上方，且相對於設置在該車體本體21A的切換機構而繞著上下軸旋轉自如地被支撐。切換機構是構成為可將上部導引滾輪21E的位置朝左右(寬度方向Y)切換自如。上部導引滾輪21E是在搬送路徑R的分歧點上因應於切換機構的狀態而接觸於引導軌道97中的左右的任一側面來滾動。
在前後一對的車體本體21A的每一個上連結有連結軸21F，透過這些連結軸21F，使搬送本體部22被懸吊支撐於行走部21。搬送本體部22具備有罩殼23與保持部24。在圖2所示的例子中，是將保持部24容置於罩殼23的內側。
罩殼23具有：前罩殼部23A，相對於保持部24而覆蓋行進方向的前側；後罩殼部23B，相對於保持部24而覆蓋行進方向的後側；及上罩殼部23C，覆蓋保持部24的上方並且連結前罩殼部23A及後罩殼部23B。前罩殼部23A是從上罩殼部23C的前側的端部朝向下方延伸，後罩殼部23B是從上罩殼部23C的後側的端部朝向下方延伸。罩殼23是開口於下方及左右兩側，且在寬度方向Y視角下形成為具有稜角的U字形。
保持部24是藉由把持物品W以保持該物品W。保持部24是構成為在保持住物品W的狀態下使該物品W升降自如。保持部24是在上升位置被收納於罩殼23的內側，且搬送車2是在該狀態下沿著搬送路徑R行走。在搬送車2位於移載地點(例如載置台95的上方位置或自動倉庫的移交部的上方位置)的狀態下，保持部24會下降至下降位置，以進行物品W的裝卸。
如前述，搬送車2具備有檢測器3。在檢測器3中設定有檢測範圍IE。檢測器3是構成為可檢測出檢測範圍IE內的物體。在本實施形態中，檢測器3是設置於搬送車2的前方部分。在圖示的例子中，檢測器3是設置於罩殼23的前罩殼部23A。前述檢測範圍IE是設定在朝向搬送車2的前方事先規定的距離(例如，數公尺~數十公尺)的範圍。
檢測器3是構成為光學式的感測器。在本實施形態中，檢測器3具有投射檢測光IL的投光部3A、以及接收光的光接收部3B。
在本實施形態中，搬送車2具備有第1檢測器31與第2檢測器32來作為檢測器3，前述第2檢測器32是檢測和第1檢測器31不同的檢測對象。第1檢測器31是投射第1檢測光IL1以作為檢測光IL，第2檢測器32是投射第2檢測光IL2(參照圖4)。在圖示的例子中，第1檢測器31及第2檢測器32之雙方皆是設置於罩殼23的前罩殼部23A。
在本例中，第1檢測器31是前方車輛感測器，前述前方車輛感測器是用於檢測具備該第1檢測器31的搬送車2之前方的其他搬送車2。並且，第1檢測器31具有投射第1檢測光IL1的第1投光部31A、及接收第1檢測光IL1的反射光之第1光接收部31B。在圖示的例子中，第1檢測器31是在前罩殼部23A的上部設置有1個。又，如圖3所示，第1檢測器31是設置於搬送車2之寬度方向Y中的中央部分的1處。並且，第1檢測器31是構成為藉由第1投光部31A將第1檢測光IL1朝前方投射。在本實施形態中，第1檢測器31的照射範圍E即第1照射範圍31E(參照圖6)，是形成為沿著寬度方向Y的直線狀或帶狀的範圍。第1檢測器31是藉由第1投光部31A來朝向反射板4投射第1檢測光IL1，並且藉由第1光接收部31B來接收來自反射板4的反射光，前述反射板4是設置於前方的搬送車2的後罩殼部23B。藉此，第1檢測器31即可檢測前方的搬送車2。
又，在本例中，第2檢測器32是障礙物感測器，前述障礙物感測器是用於檢測出搬送車2的行走軌跡上的障礙物。並且，第2檢測器32具有投射第2檢測光IL2的第2投光部32A、及接收第2檢測光IL2的反射光之第2光接收部32B。第2檢測器32是構成為藉由第2投光部32A將第2檢測光IL2朝前方投射。在圖示的例子中，第2檢測器32是設置得比前罩殼部23A中的第1檢測器31所設置的位置更下方。又，如圖3所示，第2檢測器32具有：橫側檢測部32S，設置於搬送車2的寬度方向Y中的兩側部分之2處；及下側檢測部32L，設置在比橫側檢測部32S更為下方且在寬度方向Y中的中央部分之1處。在本實施形態中，第2檢測器32的照射範圍E即第2照射範圍32E(參照圖6)是設定於複數個(在本例中為3處)範圍。更詳細而言，如圖6所示，複數個第2照射範圍32E當中的2個，是從2個橫側檢測部32S投射的第2檢測光IL2的照射範圍E，並且形成為沿著上下方向Z延伸的橢圓形(或帶狀)的範圍。並且，複數個第2照射範圍32E當中的1個，是從下側檢測部32L投射的第2檢測光IL2的照射範圍E，並且形成為沿著寬度方向Y延伸的橢圓形(或帶狀)的範圍。
如此，在物品搬送設備100中，即可以藉由搬送車2所具備的第1檢測器31，來檢測出前方的其他搬送車2。並且，變得可在與前方的其他搬送車2之車間距離變得過近的情況下，使搬送車2的行走速度降低、或使其停止等，以避免對前方的其他搬送車2的追撞。又，在物品搬送設備100中，可以藉由搬送車2所具備的第2檢測器32來檢測出搬送車2的行走軌跡上的障礙物。並且，變得可在已檢測出障礙物的情況下使搬送車2停止等，以避免該搬送車2與障礙物的接觸。
1-2.檢查系統的構成 在此，在檢測器3的狀態(檢測狀態)為異常的情況下，會有無法良好地檢測出檢測對象的情況。例如，當構成為前方車輛感測器的第1檢測器31的檢測狀態異常而無法檢測出前方的搬送車2的情況下，會有具備像這樣的第1檢測器31的搬送車2追撞到前方的搬送車2之可能性。又，當構成為障礙物感測器的第2檢測器32的檢測狀態異常，而導致儘管障礙物存在於搬送車2的行走軌跡上，卻無法檢測出該障礙物的情況下，會有具備像這樣的第2檢測器32的搬送車2與障礙物接觸之可能性。因此，所期望的是定期地檢查檢測器3的狀態。
如圖1及圖4所示，檢查系統1具備有：投影面5F，為檢測器3所投射的檢測光IL投影的投影面；攝影裝置C，對投影面5F進行攝影；及判定部J(參照圖7)，依據攝影裝置C所攝影之圖像，判定已投影於投影面5F的檢測光IL的位置、形狀、及光的強度當中至少1個狀態。在此，判定部J是判定檢測器3的檢測狀態為正常或為異常。例如，判定部J是依據投影於投影面5F的檢測光IL的位置(或形狀)，來判定檢測光IL的光軸的偏離，換言之，判定檢測器3是否設置於正確的方向上。又，判定部J是依據已投影於投影面5F的檢測光IL之光的強度(或形狀)，來判定檢測器3是否正常地投射。在判定為檢測器3的方向不正確、或檢測器3並未正常地投射等，檢測器3的狀態(檢測狀態)為異常的情況下，則會將該檢測器3決定為維護的對象，以進行必要的維護。
在此，檢測光IL之光的強度會有因檢測器3的經年劣化等而變弱之情形，在此情況下，會有即使檢測器3的方向正確仍然無法適當地檢測出檢測對象的情況。在本實施形態中，設為判定部J的判定對象之檢測光IL的「光的強度」，是將光量、全光束(流明，lumen)、照度(勒克斯，lux)、光度(燭光，candela)、及亮度(每單位面積的光度)當中的至少1個規定為基準。例如，判定部J在投影於投影面5F的檢測光IL之光的強度小於事先規定的規定值之情況(光的強度不足的情況)下，則判定檢測器3的狀態為異常。
如圖1及圖4所示，投影面5F是在搬送車2位於設定在搬送路徑R上的檢查場所IP的狀態下，配置在檢測器3的檢測範圍IE內的位置上。藉此，即可以在搬送車2位於搬送路徑R上的狀態下進行檢測器3的檢查。又，在本實施形態中，投影面5F是配置在不與搬送車2的行走軌跡重疊的位置上。藉此，可以一面抑制行走於搬送路徑R的搬送車2與投影面5F相接觸的情形，一面進行檢測器3的檢查。
在本實施形態中，檢查系統1具備有投影部5，且投影面5F是構成為投影部5的一部分。在本例中，如圖1所示，投影部5是受支撐構件92所支撐，前述支撐構件92是配置在不與搬送車2的行走軌跡重疊的位置。例如，支撐構件92是固定於設備內的天花板等之構造物，且投影部5是被該支撐構件92支撐(在此為懸吊支撐)。藉此，在本例中，投影部5是以固定在設備內的狀態來配置。再者，並不限定於像這樣的構成，投影部5亦可不藉由支撐構件92，而是藉由例如區隔壁93(參照圖1)、自動倉庫的外壁部、或隔板等(未圖示)來支撐。
在本實施形態中，投影面5F是構成為使光的一部分穿透。在圖5所示的例子中，投影部5具有形成有投影面5F的投影板51、及支撐該投影板51的支撐框52。並且，投影板51是藉由例如壓克力板所構成，形成於此的投影面5F是形成為可使光的一部分穿透。支撐框52是配置成覆蓋投影板51的外緣部之全周，以支撐投影板51。
如圖5所示，在本實施形態中，投影面5F具有第1檢測光IL1所投影的第1投影區域5Fa、與第2檢測光IL2所投影的第2投影區域5Fb。第1投影區域5Fa是在搬送車2位於檢查場所IP的狀態下，形成在對應於第1檢測器31的位置上(也參照圖3)。在圖5所示的例子中，第1投影區域5Fa是形成於投影面5F的上部之寬度方向Y的中央部分之1處。又，第2投影區域5Fb是在搬送車2位於檢查場所IP的狀態下，形成在對應於第2檢測器32的位置上(也參照圖3)。在圖5所示的例子中，第2投影區域5Fb是形成於投影面5F的下部及寬度方向Y的兩側緣部分之3處。
在本實施形態中，判定部J(參照圖7)是依據攝影裝置C所攝影的圖像，來判定已投影於第1投影區域5Fa的第1檢測光IL1的位置、形狀、及光的強度當中至少1個狀態，以及投影於第2投影區域5Fb的第2檢測光IL2的位置、形狀、及光的強度當中至少1個狀態。
在此，「判定已投影於第1投影區域5Fa的第1檢測光IL1的位置」是也包含下述內容的概念：判定第1檢測光IL1是投影於規定的第1投影區域5Fa的內部或投影於外部。第1檢測光IL1投影於第1投影區域5Fa的內部之情形，會成為用於判定第1檢測器31已設置於正確的方向而處於正常狀態的判斷材料。相反地，第1檢測光IL1投影於第1投影區域5Fa的外部之情形，會成為用於判定第1檢測器31的狀態(檢測狀態)為異常的判斷材料。同樣地，「判定已投影於第2投影區域5Fb的第2檢測光IL2的位置」是也包含下述內容的概念：判定第2檢測光IL2是投影於規定的第2投影區域5Fb的內部或投影於外部。第2檢測器32的狀態(檢測狀態)的判定也可以和上述第1檢測器31的情況同樣地進行。
攝影裝置C是藉由對投影部5的投影面5F進行攝影的相機所構成。攝影裝置C是對有關於投影面5F的靜態圖或動態圖進行攝影。
如圖1及圖4所示，在本實施形態中，攝影裝置C是隔著投影面5F而配置在檢查場所IP的相反側。從而，在本例中，攝影裝置C是隔著該投影面5F而從檢查場所IP的相反側來拍攝投影面5F。因此，攝影裝置C是形成為拍攝投影面5F的背側之面(攝影面CF)。如此，在本實施形態中，是將投影板51中之朝向檢查場所IP的面，設為檢測光IL所投影的投影面5F，並且將投影板51中之朝向投影面5F的相反側的面設為攝影面CF。攝影裝置C是構成為對投影板51中之攝影面CF進行攝影，藉此從背側來對投影面5F進行攝影。再者，在圖示的例子中，攝影裝置C是和投影部5一起被支撐投影部5的支撐構件92所支撐(在此為懸吊支撐)。藉由相同的構件來支撐攝影裝置C與投影部5的構成，即形成為較容易將攝影裝置C與投影部5(投影面5F)的配置關係固定化。但是，並不限定於此，亦可設為藉由不同構件來分別支撐攝影裝置C與投影部5。
如圖1及圖4所示，在本實施形態中，是在搬送車2位於檢查場所IP的狀態下，將搬送車2、投影面5F(投影部5)、及攝影裝置C配置成沿著搬送車2的前後方向X排列。藉此，在構成為投影面5F使光的一部分穿透的情況下，即可以從該投影面5F的背面側(攝影面CF側)，藉由攝影裝置C以失真較少的狀態來對投影於投影面5F的檢測光IL的圖像進行攝影。其結果，變得可以取得適合於判定部J之判定的圖像。特別是，較理想的是將搬送車2、投影面5F(投影部5)、及攝影裝置C配置成在沿著前後方向X的前後方向X視角下重疊。但是，並不限定於如上述之構成，針對投影面5F與攝影裝置C的配置關係，這些亦可配置成互相在搬送車2的前後方向X視角下不重疊。換言之，亦可將攝影裝置C配置成從相對於正交於投影面5F的方向(在此為前後方向X)而朝寬度方向Y及上下方向Z的至少一者傾斜的方向來對投影面5F進行攝影。即使是在此情況下，攝影裝置C也是配置在可拍攝投影面5F的位置(在本例中為可從背面側對投影面5F進行攝影的位置)。在本檢查系統1中，並不是依據檢測器3所投射的檢測光IL本身，而是依據投影於投影面5F的檢測光IL，來進行檢測器3的狀態之判定。因此，只要將攝影裝置C配置在可對投影面5F進行攝影的位置上，即使如上述地相對於投影面5F而配置在前後方向X視角下偏離的位置上，仍然能夠藉由檢查系統1來適當地進行檢測器3的狀態(檢測狀態)之判定。
1-3.檢測器的狀態之判定 接著，參照圖6來說明檢測器3的狀態(檢測狀態)之判定。圖6是示意地顯示藉由攝影裝置C拍攝了投影部5中的攝影面CF側的圖像。換言之，所顯示的是從背面側對檢測光IL所投影的投影面5F進行攝影的圖像。圖6之左圖是顯示檢測器3的狀態為正常的情況(OK)，圖6之右圖是顯示檢測器3的狀態為異常的情況(NG)。
判定部J是判定已投影於投影面5F的檢測光IL的位置，藉此來判定檢測器3的狀態為正常或為異常。在圖6之左圖所示的狀態中，第1檢測光IL1的第1照射範圍31E是投影在對應於第1投影區域5Fa(參照圖5)的位置，第2檢測光IL2的第2照射範圍32E是投影在對應於第2投影區域5Fb(參照圖5)的位置。如此，當檢測光IL的照射範圍收在規定的區域內之情況下，藉由判定部J來判定已投影於投影面5F的檢測光IL的位置為正常(OK)。另一方面，在圖6之右圖所示的狀態中，第1照射範圍31E是投影在從對應於第1投影區域5Fa的位置朝下方偏離的位置。在此情況下，藉由判定部J來判定已投影於投影面5F的檢測光IL的位置為異常(NG)。
又，判定部J是判定已投影於投影面5F的檢測光IL的形狀，藉此來判定檢測器3的狀態為正常或為異常。在圖6之左圖所示的狀態中，第1檢測光IL1的第1照射範圍31E的形狀是形成沿著水平方向的直線狀，第2檢測光IL2的第2照射範圍32E的形狀是形成規定的形狀，在本例中為帶狀(在圖示的例子中是兩端形成為圓弧狀的帶狀)。在此情況下，藉由判定部J來判定已投影於投影面5F的檢測光IL的形狀為正常(OK)。在此，規定的形狀是藉由例如檢測光IL所照射的照射範圍的寬度或長度等之條件來規定。另一方面，在圖6之右圖所示的狀態中，第1照射範圍31E的形狀是形成相對於水平方向而斜向傾斜的直線狀。又，投影於攝影面CF(投影面5F)的下部的第2照射範圍32E的形狀，是形成為被分割成2個較短的帶狀之形狀。在這些情況下，藉由判定部J來判定已投影於投影面5F的檢測光IL的形狀為異常(NG)。
又，判定部J是判定已投影於投影面5F的檢測光IL之光的強度，藉此來判定檢測器3的狀態為正常或為異常。在圖6之左圖所示的狀態中，形成第1照射範圍31E的第1檢測光IL1之光的強度、以及形成第2照射範圍32E的第2檢測光IL2之光的強度為規定值以上。在此情況下，藉由判定部J來判定已投影於投影面5F的檢測光IL之光的強度為正常(OK)。在此，光的強度為規定值以上的判定條件可以設定為例如：照射範圍內的位置與各位置上的光強度之組合。作為一例，可以設成下述條件：只要照射範圍內之光的強度為最強的部分之光的強度為規定值以上則判定為正常、或是除了照射範圍的外緣部以外的部分之光的強度為最弱的部分之光的強度為規定值以上則判定為正常等。另一方面，在圖6之右圖所示的狀態中，在複數個第2照射範圍32E當中，形成攝影面CF的左側的第2照射範圍32E之第2檢測光IL2之光的強度是小於規定值。在此情況下，藉由判定部J來判定已投影於投影面5F的檢測光IL之光的強度為較弱，亦即判定為異常(NG)。
1-4.檢查系統的控制構成 接著，參照圖7來說明檢查系統1的控制構成。如圖7所示，檢查系統1具備有管理系統整體的整合控制裝置Ht、控制搬送車2的個別控制裝置Hm、以及儲存判定部J的判定結果之儲存裝置M。整合控制裝置Ht及個別控制裝置Hm是構成為可互相通訊。這些控制裝置具備有例如微電腦等之處理器、記憶體等之周邊電路等。並且，可藉由這些硬體、及電腦等的處理器上執行的程式之協同合作，來實現各個功能。
在本實施形態中，個別控制裝置Hm是設置於複數台搬送車2的每一台上，並且進行該複數台搬送車2的每一台的控制。例如，個別控制裝置Hm是控制搬送車2的行走、停止、及物品W的移載等。
在本實施形態中，整合控制裝置Ht是進行包含複數台搬送車2之物品搬送設備100的整體的控制。並且，整合控制裝置Ht是對個別控制裝置Hm(搬送車2)作出搬送指令等的各種指令。在本例中，整合控制裝置Ht是對個別控制裝置Hm(搬送車2)作出用於檢查檢測器3的檢查指令。在來自整合控制裝置Ht的檢查指令中，包含使搬送車2行走至檢查場所IP的指令、及在檢查場所IP中使搬送車2進行用於檢查之動作的指令。從整合控制裝置Ht接收到檢查指令的個別控制裝置Hm是使自身車(搬送車2)行走至檢查場所IP。並且，在本例中，個別控制裝置Hm是在檢查場所IP中使自身車(搬送車2)停止的狀態下來進行檢測器3的檢查。但是，並不限定於像這樣的構成，檢查系統1亦可設成在檢查場所IP的前後以搬送車2正在行走的狀態(較佳為低速行走的狀態)來進行檢測器3的檢查。
在本例中，在搬送車2已停止於檢查場所IP的狀態下，首先，檢測器3是朝向投影部5的投影面5F來投射檢測光IL。再者，此檢測器3所進行之檢測光IL的投射亦可為總是進行著，且亦可在搬送車2停止於檢查場所IP後再進行。在檢測器3所進行之檢測光IL的投射中，攝影裝置C是對投影面5F(在本例中為投影面5F的背面側即攝影面CF)進行攝影。接著，判定部J是依據攝影裝置C所攝影的圖像，來判定檢測器3的狀態(檢測狀態)，並且將判定結果發送至儲存裝置M。儲存裝置M是儲存已接收之針對檢測器3的狀態的判定結果。例如，在儲存裝置M中，可將判定部J進行判定的日期時間即檢查日期時間、與判定部J所進行的判定結果以互相建立關連的狀態來儲存。整合控制裝置Ht是構成為可與儲存裝置M通訊，並且構成為可取得儲存裝置M所儲存的上述判定結果。整合控制裝置Ht是將用於識別已執行檢查指令的搬送車2之識別資訊、有關於該搬送車2所搭載的檢測器3之判定結果、以及判定部J進行判定的日期時間即檢查日期時間，以互相建立關連的狀態來管理。
在圖7中是顯示分開設置整合控制裝置Ht與儲存裝置M的例子。但是，並不限定於像這樣的構成，亦可為整合控制裝置Ht具備有儲存裝置M的構成。在此情況下，判定結果是從判定部J發送至整合控制裝置Ht。
又，在圖7中是顯示針對整合控制裝置Ht與判定部J也是分開設置的例子。但是，並不限定於像這樣的構成，亦可為整合控制裝置Ht具備有判定部J的構成。在此情況下，攝影裝置C所攝影的圖像資訊是從攝影裝置C發送至整合控制裝置Ht。
在檢查場所IP中已進行檢測器3的檢查之結果，判定檢測器3的狀態(檢測狀態)為正常的情況下，整合控制裝置Ht較理想的是重啟一般的運作，前述一般的運用是對個別控制裝置Hm(搬送車2)作出搬送指令等。另一方面，當判定檢測器3的狀態(檢測狀態)為異常的情況下，整合控制裝置Ht較理想的是例如使搬送車2朝向退避場所移動，前述退避場所是不進行物品W的搬送等的該搬送車2用的場所。但是，並不限定於像這樣的構成，個別控制裝置Hm(搬送車2)亦可在即使判定檢測器3的狀態(檢測狀態)為異常的情況下，仍然在例如搬送中的物品W的搬送結束以前之期間等，以限定的方式重啟一般的運作。
2.其他的實施形態 接著，針對檢查系統的其他實施形態進行說明。
(1)在上述實施形態中，是針對使攝影裝置C隔著投影面5F而配置在檢查場所IP的相反側之例子進行了說明。但是，並不限定於像這樣的例子，亦可如例如圖8所示地，將攝影裝置C相對於投影面5F而配置在與檢查場所IP相同側。在此情況下，投影部5中之朝向檢查場所IP的面是兼作為投影面5F與攝影面CF之雙方。又，在此情況下，攝影裝置C是配置在不會遮蔽檢測器3與投影面5F之間的投射路徑之位置上。因此，攝影裝置C是配置成從相對於與投影面5F正交的方向而朝寬度方向Y及上下方向Z的至少其中一者傾斜的方向來對投影面5F進行攝影。
(2)在上述實施形態中，是針對搬送車2具備有第1檢測器31與第2檢測器32以作為檢測器3的例子進行了說明。但是，並不限定於像這樣的例子，搬送車2只要具備有至少1個或至少1種檢測器3即可。或者，搬送車2亦可具備有3種以上的檢測器3。
(3)在上述實施形態中，是以將投影面5F配置在不與搬送車2的行走軌跡重疊的位置之構成為例進行了說明。但是，並不限定於像這樣的構成，亦可將投影面5F配置在與搬送車2的行走軌跡重疊的位置上。在此情況下，較理想的是具備有退避機構，前述退避機構是在不進行檢查的情況下將投影面5F移動成使投影面5F(投影部5)從搬送車2的行走軌跡退避。或者，投影面5F(投影部5)亦可搭載於例如可在設備內移動自如的移動裝置(堆高機(forklift)、地板面搬送車、升降機等)上，亦可構成為藉由人工來移動。
(4)在上述實施形態中，是針對第1檢測器31為前方車輛感測器，且第2檢測器32為障礙物感測器的例子進行了說明。但是，並不限定於像這樣的例子，亦可為例如第1檢測器31為障礙物感測器，且第2檢測器32為前方車輛感測器。或者，亦可為第1檢測器31及第2檢測器32之其中一方或雙方為前方車輛檢測器及障礙物感測器以外之感測器。第1檢測器31及第2檢測器32的檢測對象，宜配合設備的特性等來適當地設定。
(5)在上述實施形態中，是以檢測器3將搬送車2的行進方向(前後方向X)的前方設為檢測範圍IE之構成為例來進行了說明。但是並不限定於此，亦可為搬送車2具備有下述檢測器之構成：將行進方向(前後方向X)的後方設為檢測範圍IE的檢測器3、將寬度方向Y的其中一方或雙方設為檢測範圍IE的檢測器3、及將上下方向Z的上方或下方設為檢測範圍IE的檢測器3等。在這些情況下，也是在搬送車2位於設定在搬送路徑R上的檢查場所IP的狀態下，將投影面5F配置在檢測器3的檢測範圍IE內之位置上。例如當檢測器3的檢測範圍IE為搬送車2的下方之情況下，宜將投影面5F配置在位於檢查場所IP的搬送車2的下方之位置。
(6)在上述實施形態中，是針對搬送車2構成為天花板搬送車的例子來進行了說明。但是，並不限定於像這樣的例子，搬送車2亦可為例如在地板面上行走的無人搬送車。在該情況下，搬送路徑R亦可沿著地板面上的行走軌道來設定，或亦可不依靠行走軌道，而是利用例如磁力等來單純地在地板面上設定的路徑。
(7)再者，上述之各實施形態所揭示的構成，只要沒有發生矛盾，也可與其他實施形態所揭示的構成組合而適用。關於其他的構成，在本說明書中所揭示的實施形態在全部的點上均只不過是例示。從而，在不脫離本揭示的主旨之範圍內，可適當地進行各種改變。
3.上述實施形態之概要 以下，針對在上述已說明的檢查系統進行說明。
一種檢查系統，是將行走於事先設定的搬送路徑上的搬送車所具備的檢測器設為檢查對象的檢查系統，其具備有：投影面，在前述搬送車位於已設定於前述搬送路徑上的檢查場所之狀態下，配置在前述檢測器的檢測範圍內之位置，且被前述檢測器投射的檢測光所投影；攝影裝置，對前述投影面進行攝影；及判定部，依據前述攝影裝置所攝影的圖像，判定已投影於前述投影面之前述檢測光的位置、形狀、及光的強度當中至少1個狀態。
根據本構成，由於搬送車所具備的檢測器投射的檢測光所投影的投影面，是在搬送車位於已設定於搬送路徑上的檢查場所之狀態下，配置在該檢測器的檢測範圍內之位置，並且具備有對投影面進行攝影的攝影裝置，因此可以在搬送車位於搬送路徑上的狀態下進行檢測器的檢查。因此，可以在搬送車位於搬送路徑上的狀態下進行檢測器的檢查。從而，可以將行走於搬送路徑上的搬送車所具備的檢測器之檢查的勞務簡化。又，根據本構成，例如可以依據投影於投影面的檢測光的位置或形狀，來判定檢測器是否設置於正確的方向上，並且可以依據光的強度，來判定檢測器是否正常地投射光線等，而可以適當地進行檢測器的檢查。
在此，較理想的是，前述投影面是構成為使光的一部分穿透，且前述攝影裝置是隔著前述投影面而配置在前述檢查場所的相反側。
由於從投影面來看在與檢查場所(位於檢查場所的搬送車)相同側上，設置有搬送路徑且有搬送車的行走區域，因此從投影面來看和檢查場所的相反側相較之下，配置攝影裝置的場所之限制較大。根據本構成，由於是隔著投影面而將攝影裝置配置在檢查場所的相反側，因此可以將攝影裝置配置在配置上的限制比較小的區域。從而，變得可容易地藉由攝影裝置來拍攝較容易使用於判定部所進行之判定的圖像。
又，較理想的是，前述搬送車除了前述檢測器即第1檢測器之外，還具備有第2檢測器，前述第2檢測器是進行和前述第1檢測器不同的區域之檢測，前述投影面具有：第1投影區域，為前述檢測光即第1檢測光所投影的區域；及第2投影區域，為前述第2檢測器投射的第2檢測光所投影的區域，前述判定部是依據前述攝影裝置所攝影的圖像，來判定已投影於前述第1投影區域的前述第1檢測光的位置、形狀、及光的強度當中至少1個狀態，以及投影於前述第2投影區域的前述第2檢測光的位置、形狀、及光的強度當中至少1個狀態。
根據本構成，即可以一次進行第1檢測器與第2檢測器的檢查，前述第1檢測器與第2檢測器是進行互相不同的檢測區域之檢測。
又，較理想的是，前述投影面是配置在不與前述搬送車的行走軌跡重疊的位置上。
根據本構成，由於檢查系統是配置在不與搬送車的行走軌跡重疊的位置上，因此即使以固定的方式來設置檢查系統的情況下，也不會有行走於搬送路徑的搬送車接觸到檢查系統的情形。從而，可以將在搬送路徑上行走之搬送車所具備的檢測器之檢查的勞務更加簡化。 產業上之可利用性
本揭示之技術可以利用在將搬送車所具備的檢測器設為檢查對象的檢查系統中。
1:檢查系統 2:搬送車 3:檢測器 3A:投光部 3B:光接收部 4:反射板 5:投影部 5F:投影面 5Fa:第1投影區域 5Fb:第2投影區域 21:行走部 21A:車體本體 21B:車輪 21C:驅動馬達 21D:下部導引滾輪 21E:上部導引滾輪 21F:連結軸 22:搬送本體部 23:罩殼 23A:前罩殼部 23B:後罩殼部 23C:上罩殼部 24:保持部 31:第1檢測器 31A:第1投光部 31B:第1光接收部 31E:第1照射範圍 32:第2檢測器 32A:第2投光部 32B:第2光接收部 32E:第2照射範圍 32L:下側檢測部 32S:橫側檢測部 51:投影板 52:支撐框 92:支撐構件 93:區隔壁 95:載置台 96:處理裝置 97:引導軌道 98:行走軌道 100:物品搬送設備 C:攝影裝置 CF:攝影面 E:照射範圍 Hm:個別控制裝置 Ht:整合控制裝置 IE:檢測範圍 IL:檢測光 IL1:第1檢測光 IL2:第2檢測光 IP:檢查場所 J:判定部 M:儲存裝置 R:搬送路徑 RC:曲線區間 RS:直線區間 W:物品 X:前後方向 Y:寬度方向 Z:上下方向
圖1是顯示具備有檢查系統的物品搬送設備的佈置之一例的平面圖。 圖2是搬送車的側面圖。 圖3是搬送車的正面圖。 圖4是顯示正在藉由檢查裝置來檢查檢測器之狀態的說明圖。 圖5是顯示投影部中的投影面側的說明圖。 圖6是顯示在已投影檢測光的狀態下之投影部的攝影面側的圖。 圖7是顯示檢查系統的控制構成的方塊圖。 圖8是顯示其他實施形態之檢查系統的配置構成的圖。
1:檢查系統
2:搬送車
3:檢測器
4:反射板
5:投影部
5F:投影面
31:第1檢測器
31E:第1照射範圍
32:第2檢測器
32E:第2照射範圍
32L:下側檢測部
32S:橫側檢測部
92:支撐構件
98:行走軌道
C:攝影裝置
CF:攝影面
E:照射範圍
IE:檢測範圍
IL:檢測光
IL1:第1檢測光
IL2:第2檢測光
IP:檢查場所
R:搬送路徑
W:物品
X:前後方向
Z:上下方向

Claims (4)

  1. 一種檢查系統，是將行走於事先設定的搬送路徑上的搬送車所具備的檢測器設為檢查對象的檢查系統，其具備有以下： 投影面，在前述搬送車位於已設定於前述搬送路徑上的檢查場所之狀態下，配置在前述檢測器的檢測範圍內之位置，且被前述檢測器投射的檢測光所投影； 攝影裝置，對前述投影面進行攝影；及 判定部，依據前述攝影裝置所攝影的圖像，判定已投影於前述投影面之前述檢測光的位置、形狀、及光的強度當中至少1個狀態。
  2. 如請求項1之檢查系統，其中前述投影面是構成為使光的一部分穿透， 前述攝影裝置是隔著前述投影面而配置在前述檢查場所的相反側。
  3. 如請求項1之檢查系統，其中前述搬送車除了前述檢測器即第1檢測器之外，還具備有第2檢測器，前述第2檢測器是進行和前述第1檢測器不同的區域之檢測， 前述投影面具有：第1投影區域，為前述檢測光即第1檢測光所投影的區域；及第2投影區域，為前述第2檢測器投射的第2檢測光所投影的區域， 前述判定部是依據前述攝影裝置所攝影的圖像，來判定已投影於前述第1投影區域的前述第1檢測光的位置、形狀、及光的強度當中至少1個狀態，以及投影於前述第2投影區域的前述第2檢測光的位置、形狀、及光的強度當中至少1個狀態。
  4. 如請求項1至3中任一項之檢查系統，其中前述投影面是配置在不與前述搬送車的行走軌跡重疊的位置上。
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