JP2020143983A - 検査システム - Google Patents

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Abstract

【課題】予め設定された搬送経路上を走行する搬送車が備える検知器の検査の手間を簡略化することが可能な検査システムを実現する。【解決手段】検査システム１は、搬送経路Ｒ上に設定された検査場所ＩＰに搬送車２が在る状態で検知器３の検知範囲ＩＥ内となる位置に配置され、検知器３が投光する検知光ＩＬが投影される投影面５Ｆと、投影面５Ｆを撮影する撮影装置Ｃと、撮影装置Ｃが撮影した画像に基づいて、投影面５Ｆに投影された検知光ＩＬの位置、形状、及び光の強さのうち少なくとも１つの状態を判定する判定部と、を備えている。【選択図】図４

Description

本発明は、搬送車が備える検知器を検査対象とする検査システムに関する。
例えば、下記の特許文献１（特開平１０−３２５８６６号公報）には、無人の搬送車（１）に備えられた検知器としての障害物センサ（６）を検査するための技術が開示されている。特許文献１の技術では、三次元方向に移動する模擬障害物（１１０）を障害物センサ（６）に検出させることで、障害物センサ（６）の検出範囲を検査するものとなっている。
特開平１０−３２５８６６号公報
しかし、特許文献１の技術では、検査対象となる障害物センサ（６）を備えた搬送車（１）を、搬送車（１）が物品を搬送するために走行する搬送経路とは別の場所（１２０）まで作業者によって移動させた上で、当該障害物センサ（６）の検査が行われる。そのため、障害物センサ（６）の検査を行うに際して、作業者による搬送車（１）の移動の手間が生じており、検査の手間の簡略化に向けて改善の余地があった。
そこで、予め設定された搬送経路上を走行する搬送車が備える検知器の検査の手間を簡略化することが可能な検査システムの実現が望まれる。
本開示に係る検査システムは、
予め設定された搬送経路上を走行する搬送車が備える検知器を検査対象とする検査システムであって、前記搬送経路上に設定された検査場所に前記搬送車が在る状態で前記検知器の検知範囲内となる位置に配置され、前記検知器が投光する検知光が投影される投影面と、前記投影面を撮影する撮影装置と、前記撮影装置が撮影した画像に基づいて、前記投影面に投影された前記検知光の位置、形状、及び光の強さのうち少なくとも１つの状態を判定する判定部と、を備えている。
本構成によれば、搬送車が備える検知器が投光する検知光が投影される投影面が、搬送経路上に設定された検査場所に搬送車が在る状態で当該検知器の検知範囲内となる位置に配置されると共に投影面を撮影する撮影装置を備えているため、搬送車が搬送経路上に在る状態で検知器の検査を行うことができる。このため、搬送車が搬送経路上にある状態において検知器の検査を行うことができる。従って、搬送経路上を走行する搬送車が備える検知器の検査の手間を簡略化することができる。また本構成によれば、例えば、投影面に投影された検知光の位置や形状に基づいて、検知器が正しい向きに設置されているか否かを判定でき、光の強さに基づいて、検知器が正常に投光しているか否かを判定できる等、検知器の検査を適切に行うことができる。
本開示に係る技術のさらなる特徴と利点は、図面を参照して記述する以下の例示的かつ非限定的な実施形態の説明によってより明確になるであろう。
検査システムを備えた物品搬送設備のレイアウトの一例を示す平面図 搬送車の側面図 搬送車の正面図 検査システムによって検知器を検査している状態を示す説明図 投影部における投影面側を示す説明図 検知光が投影された状態における、投影部の撮影面側を示す図 検査システムの制御構成を示すブロック図 その他の実施形態に係る検査システムの配置構成を示す図
検査システムは、予め設定された搬送経路上を走行する搬送車が備える検知器を検査対象としている。このような検知器は、例えば、搬送車が搬送経路上を安全に走行するために用いられる。検査システムは、搬送車によって物品を搬送する物品搬送設備に利用することができる。以下、検査システムが物品搬送設備に適用される場合を例に、当該検査システムの実施形態について説明する。
１．第一実施形態
１−１．物品搬送設備の構成
図１に示すように、物品搬送設備１００は、搬送経路Ｒに沿って走行する複数の搬送車２を備えている。本実施形態では、搬送経路Ｒは、天井に支持された走行レール９８（図２等参照）に沿って設定されている。そして、搬送車２は、このような走行レール９８を走行する天井搬送車として構成されており、物品搬送設備１００において工程間で材料や中間品等を搬送する。
なお、以下の説明において、搬送経路Ｒに沿って走行する搬送車２に関して、その進行方向に沿う方向を「前後方向Ｘ」と定義すると共に、搬送車２が進行する向きを基準として「前」及び「後」を定義するものとする。すなわち、進行方向に沿って進む先が「前」であり、その逆が「後」である。また、水平面内において搬送車２の進行方向に直交する方向を「幅方向Ｙ」と定義し、進行方向及び幅方向Ｙの双方に直交する方向を「上下方向Ｚ」と定義するものとする。なお、本明細書では、各部材についての寸法、配置方向、配置位置等に関する用語は、誤差（製造上許容され得る程度の誤差）による差異を有する状態をも含む概念として用いるものとする。
図１〜図３に示すように、物品搬送設備１００は、搬送経路Ｒに沿って配設された走行レール９８と、走行レール９８（搬送経路Ｒ）に沿って走行して物品Ｗを搬送する搬送車２と、を備えている。走行レール９８は、左右一対設けられて天井から吊り下げ支持されている。
図１に示すように、搬送経路Ｒは、直線状に形成された直線区間ＲＳと、湾曲状に形成されたカーブ区間ＲＣとを含んで構成されている。例えば、物品搬送設備１００は複数のベイ（工程）を有しており、搬送経路Ｒは、ベイ毎に設けられたベイ内経路と、複数のベイ内経路同士を接続するベイ間経路と、を含んで構成されている。そして、ベイ間経路及びベイ内経路のそれぞれは、複数の直線区間ＲＳと複数のカーブ区間ＲＣとが組み合わされて構成されている。
物品搬送設備１００は、処理装置９６と、載置台９５と、を備えている。処理装置９６は、例えば半導体基板の加工等を行う半導体処理装置等であって良い。載置台９５は、複数の処理装置９６のそれぞれに隣接し、かつ、走行レール９８と平面視で重複する位置に設けられている。なお、搬送車２の構成によっては、載置台９５が、平面視で走行レール９８と重ならない位置に設けられていても良い。
物品搬送設備１００は、建屋内に設置されている。建屋は、四方を区画壁９３で囲まれている（図１には、一部の区画壁９３のみを表示）。なお、物品搬送設備１００には、設備内を複数の領域に区画するためのパーティションや、工程間における仕掛品を一時保管するための自動倉庫などが設けられていても良い。
搬送車２は、異なる載置台９５同士の間、又は、自動倉庫が設けられている場合には当該自動倉庫と載置台９５との間で、物品Ｗを搬送する。前述したように物品搬送設備１００が半導体製造設備である場合（処理装置９６が半導体処理装置である場合）には、物品Ｗは、例えば半導体基板を収容する容器（Front Opening Unified Pod；ＦＯＵＰ）等であると良い。
図２及び図３に示すように、搬送車２は、走行部２１と搬送本体部２２とを備えている。走行部２１は、車体本体２１Ａと、この車体本体２１Ａに回転自在に支持された複数の車輪２１Ｂとを有している。車体本体２１Ａは、前後一対設けられている。車輪２１Ｂは、前後一対の車体本体２１Ａのそれぞれにおいて左右一対設けられており、走行レール９８の上面を転動する。複数の車輪２１Ｂ（本例では４つ）のうちの少なくとも１つは、駆動モータ２１Ｃによって回転駆動される駆動輪であり、搬送車２に推進力を付与する。
走行部２１は、下部ガイドローラ２１Ｄと上部ガイドローラ２１Ｅとを有している。下部ガイドローラ２１Ｄは、車体本体２１Ａよりも下方において、当該車体本体２１Ａに対して上下軸周りに回転自在に支持されている。下部ガイドローラ２１Ｄは、走行レール９８の側面に接して転動する。上部ガイドローラ２１Ｅは、車体本体２１Ａよりも上方において、当該車体本体２１Ａに設けられた切替機構に対して上下軸周りに回転自在に支持されている。切替機構は、上部ガイドローラ２１Ｅの位置を左右（幅方向Ｙ）に切替自在に構成されている。上部ガイドローラ２１Ｅは、搬送経路Ｒの分岐点において、切替機構の状態に応じて、案内レール９７における左右いずれかの側面に接して転動する。
前後一対の車体本体２１Ａのそれぞれには連結軸２１Ｆが連結されており、これらの連結軸２１Ｆを介して、走行部２１に搬送本体部２２が吊り下げ支持されている。搬送本体部２２は、ケース２３と保持部２４とを備えている。図２に示す例では、ケース２３の内側に、保持部２４が収容されている。
ケース２３は、保持部２４に対して進行方向の前方側を覆う前方ケース部２３Ａと、保持部２４に対して進行方向の後方側を覆う後方ケース部２３Ｂと、保持部２４の上方を覆うと共に前方ケース部２３Ａ及び後方ケース部２３Ｂを連結する上方ケース部２３Ｃと、を有する。前方ケース部２３Ａは、上方ケース部２３Ｃの前方側の端部から下方に向かって延びており、後方ケース部２３Ｂは、上方ケース部２３Ｃの後方側の端部から下方に向かって延びている。ケース２３は、下方及び左右両側方に開口しており、幅方向Ｙ視で角張ったＵ字状に形成されている。
保持部２４は、物品Ｗを把持することにより当該物品Ｗを保持する。保持部２４は、物品Ｗを保持した状態で、当該物品Ｗを昇降自在に構成されている。保持部２４は、上昇位置でケース２３の内側に収容され、その状態で搬送車２が搬送経路Ｒに沿って走行する。搬送車２が移載箇所（例えば載置台９５の上方位置や自動倉庫の受け渡し部の上方位置）にある状態で、保持部２４は、降下位置まで降下し、物品Ｗの積み降ろしを行う。
前述のように、搬送車２は、検知器３を備えている。検知器３には、検知範囲ＩＥが設定されている。検知器３は、検知範囲ＩＥ内における物体を検知可能に構成されている。本実施形態では、検知器３は、搬送車２の前方部分に設けられている。図示の例では、検知器３は、ケース２３の前方ケース部２３Ａに設けられている。前述の検知範囲ＩＥは、搬送車２の前方に向かって予め定められた距離（例えば、数メートル〜数十メートル）の範囲に設定されている。
検知器３は、光学式のセンサとして構成されている。本実施形態では、検知器３は、検知光ＩＬを投光する投光部３Ａと、光を受光する受光部３Ｂと、を有している。
本実施形態では、搬送車２は、検知器３として、第１検知器３１と、第１検知器３１とは異なる検知対象を検知する第２検知器３２とを備えている。第１検知器３１は、検知光ＩＬとして第１検知光ＩＬ１を投光し、第２検知器３２は、第２検知光ＩＬ２を投光する（図４参照）。図示の例では、第１検知器３１及び第２検知器３２の双方が、ケース２３の前方ケース部２３Ａに設けられている。
本例では、第１検知器３１は、当該第１検知器３１を備える搬送車２の前方の他の搬送車２を検知するための前方車センサである。そして、第１検知器３１は、第１検知光ＩＬ１を投光する第１投光部３１Ａと、第１検知光ＩＬ１の反射光を受光する第１受光部３１Ｂと、を有している。図示の例では、第１検知器３１は、前方ケース部２３Ａの上部に１つ設けられている。また、図３に示すように、第１検知器３１は、搬送車２の幅方向Ｙにおける中央部分の１箇所に設けられている。そして、第１検知器３１は、第１投光部３１Ａによって第１検知光ＩＬ１を前方に投光するように構成されている。本実施形態では、第１検知器３１の照射範囲Ｅである第１照射範囲３１Ｅ（図６参照）は、幅方向Ｙに沿う線状或いは帯状の範囲となっている。第１検知器３１は、第１投光部３１Ａによって、前方の搬送車２における後方ケース部２３Ｂに設けられた反射板４に向けて第１検知光ＩＬ１を投光し、第１受光部３１Ｂによって、反射板４からの反射光を受光する。これにより、第１検知器３１は、前方の搬送車２を検知する。
また、本例では、第２検知器３２は、搬送車２の走行軌跡上の障害物を検知するための障害物センサである。そして、第２検知器３２は、第２検知光ＩＬ２を投光する第２投光部３２Ａと、第２検知光ＩＬ２の反射光を受光する第２受光部３２Ｂと、を有している。第２検知器３２は、第２投光部３２Ａによって第２検知光ＩＬ２を前方に投光するように構成されている。図示の例では、第２検知器３２は、前方ケース部２３Ａにおける第１検知器３１が設けられている位置よりも下方に設けられている。また、図３に示すように、第２検知器３２は、搬送車２の幅方向Ｙにおける両側部分の２箇所に設けられた横側検知部３２Ｓと、それよりも下方であって幅方向Ｙにおける中央部分の１箇所に設けられた下側検知部３２Ｌと、を有している。本実施形態では、第２検知器３２の照射範囲Ｅである第２照射範囲３２Ｅ（図６参照）は、複数（本例では３箇所）の範囲に設定されている。より詳細には、図６に示すように、複数の第２照射範囲３２Ｅのうち２つは、２つの横側検知部３２Ｓから投光される第２検知光ＩＬ２の照射範囲Ｅであり、上下方向Ｚに沿って延びる楕円状（或いは帯状）の範囲となっている。そして、複数の第２照射範囲３２Ｅのうち１つは、下側検知部３２Ｌから投光される第２検知光ＩＬ２の照射範囲Ｅであり、幅方向Ｙに沿って延びる楕円状（或いは帯状）の範囲となっている。
このように、物品搬送設備１００では、搬送車２が備える第１検知器３１によって、前方の他の搬送車２を検知することができる。そして、前方の他の搬送車２との車間距離が近くなり過ぎた場合に搬送車２の走行速度を低下させる、或いは停止するなどして前方の他の搬送車２への追突を回避することが可能となっている。また、物品搬送設備１００では、搬送車２が備える第２検知器３２によって、搬送車２の走行軌跡上の障害物を検知することができる。そして、障害物を検知した場合に搬送車２を停止させるなどして当該搬送車２と障害物との接触を回避することが可能となっている。
１−２．検査システムの構成
ここで、検知器３の状態（検知状態）が異常である場合には、検知対象を良好に検知することができない場合がある。例えば、前方車センサとして構成されている第１検知器３１の検知状態が異常であり前方の搬送車２を検知できない場合には、そのような第１検知器３１を備える搬送車２が、前方の搬送車２に追突する可能性がある。また、障害物センサとして構成されている第２検知器３２の検知状態が異常であり、搬送車２の走行軌跡上に障害物が在るにもかかわらず当該障害物を検知できない場合には、そのような第２検知器３２を備える搬送車２と障害物とが接触する可能性がある。そのため、検知器３の状態を定期的に検査することが望ましい。
図１及び図４に示すように、検査システム１は、検知器３が投光する検知光ＩＬが投影される投影面５Ｆと、投影面５Ｆを撮影する撮影装置Ｃと、撮影装置Ｃが撮影した画像に基づいて、投影面５Ｆに投影された検知光ＩＬの位置、形状、及び光の強さのうち少なくとも１つの状態を判定する判定部Ｊ（図７参照）と、を備えている。ここでは、判定部Ｊは、検知器３の検知状態が正常であるか異常であるかを判定する。例えば、判定部Ｊは、投影面５Ｆに投影された検知光ＩＬの位置（或いは形状）に基づいて、検知光ＩＬの光軸のずれ、換言すれば、検知器３が正しい向きに設置されているか否かを判定する。また、判定部Ｊは、投影面５Ｆに投影された検知光ＩＬの光の強さ（或いは形状）に基づいて、検知器３が正常に投光しているか否かを判定する。検知器３の向きが正しくない、或いは、検知器３が正常に投光していない等、検知器３の状態（検知状態）が異常であると判定された場合には、当該検知器３がメンテナンスの対象として決定され、必要なメンテナンスが行われる。
ここで、検知光ＩＬの光の強さは、検知器３の経年劣化等によって弱くなることがあり、この場合、検知器３の向きが正しくても検知対象を適切に検知できないことがある。本実施形態において、判定部Ｊによる判定対象とされる検知光ＩＬの「光の強さ」は、光量、全光束（ルーメン）、照度（ルクス）、光度（カンデラ）、及び、輝度（単位面積当たりの光度）のうち少なくとも１つを基準に定められる。例えば、判定部Ｊは、投影面５Ｆに投影された検知光ＩＬの光の強さが予め定められた規定値未満である場合（光の強さが不足している場合）、検知器３の状態が異常であると判定する。
図１及び図４に示すように、投影面５Ｆは、搬送経路Ｒ上に設定された検査場所ＩＰに搬送車２が在る状態で検知器３の検知範囲ＩＥ内となる位置に配置されている。これにより、搬送車２が搬送経路Ｒ上に在る状態で検知器３の検査を行うことができる。また本実施形態では、投影面５Ｆは、搬送車２の走行軌跡と重ならない位置に配置されている。これにより、搬送経路Ｒを走行する搬送車２と投影面５Ｆとが接触することを抑制しつつ、検知器３の検査を行うことができる。
本実施形態では、検査システム１は、投影部５を備えており、投影面５Ｆは、投影部５の一部として構成されている。本例では、図１に示すように、投影部５は、搬送車２の走行軌跡と重ならない位置に配置された支持部材９２に支持されている。例えば、支持部材９２は、設備内における天井等の構造物に固定されており、投影部５は、当該支持部材９２によって支持（ここでは吊下げ支持）される。これにより本例では、投影部５は、設備内において固定された状態で配置されている。なお、このような構成に限定されることなく、投影部５は、支持部材９２ではなく、例えば、区画壁９３（図１参照）、自動倉庫の外壁部又はパーティション等（不図示）によって支持されていても良い。
本実施形態では、投影面５Ｆは、光の一部を透過させるように構成されている。図５に示す例では、投影部５は、投影面５Ｆが形成される投影板５１と、当該投影板５１を支持する支持枠５２と、を有している。そして、投影板５１は、例えばアクリル板によって構成されており、これに形成される投影面５Ｆは、光の一部を透過可能となっている。支持枠５２は、投影板５１の外縁部の全周を覆うように配置され、投影板５１を支持している。
図５に示すように、本実施形態では、投影面５Ｆは、第１検知光ＩＬ１が投影される第１投影領域５Ｆａと、第２検知光ＩＬ２が投影される第２投影領域５Ｆｂと、を有している。第１投影領域５Ｆａは、検査場所ＩＰに搬送車２が在る状態で、第１検知器３１に対応する位置に形成されている（図３も参照）。図５に示す例では、第１投影領域５Ｆａは、投影面５Ｆの上部における、幅方向Ｙの中央部分の１箇所に形成されている。また、第２投影領域５Ｆｂは、検査場所ＩＰに搬送車２が在る状態で、第２検知器３２に対応する位置に形成されている（図３も参照）。図５に示す例では、第２投影領域５Ｆｂは、投影面５Ｆにおける、下部および幅方向Ｙの両側縁部分の３箇所に形成されている。
本実施形態では、判定部Ｊ（図７参照）は、撮影装置Ｃが撮影した画像に基づいて、第１投影領域５Ｆａに投影された第１検知光ＩＬ１の位置、形状、及び光の強さのうち少なくとも１つの状態と、第２投影領域５Ｆｂに投影された第２検知光ＩＬ２の位置、形状、及び光の強さのうち少なくとも１つの状態と、を判定する。
ここで、「第１投影領域５Ｆａに投影された第１検知光ＩＬ１の位置を判定する」とは、第１検知光ＩＬ１が規定の第１投影領域５Ｆａの内部に投影されているか外部に投影されているかについて判定することも含む概念である。第１検知光ＩＬ１が第１投影領域５Ｆａの内部に投影されていることは、第１検知器３１が正しい向きに設置されている正常の状態であると判定するための判断材料となる。反対に、第１検知光ＩＬ１が第１投影領域５Ｆａの外部に投影されていることは、第１検知器３１の状態（検知状態）が異常であると判定するための判断材料となる。同様に、「第２投影領域５Ｆｂに投影された第２検知光ＩＬ２の位置を判定する」とは、第２検知光ＩＬ２が規定の第２投影領域５Ｆｂの内部に投影されているか外部に投影されているかについて判定することも含む概念である。第２検知器３２の状態（検知状態）の判定も、上記第１検知器３１の場合と同様に行うことができる。
撮影装置Ｃは、投影部５の投影面５Ｆを撮影するカメラにより構成されている。撮影装置Ｃは、投影面５Ｆに関する静止画又は動画を撮影する。
図１及び図４に示すように、本実施形態では、撮影装置Ｃは、投影面５Ｆを挟んで検査場所ＩＰとは反対側に配置されている。従って本例では、撮影装置Ｃは、投影面５Ｆを、当該投影面５Ｆを挟んで検査場所ＩＰとは反対側から撮影する。このため、撮影装置Ｃは、投影面５Ｆの裏側の面（撮影面ＣＦ）を撮影することになる。このように、本実施形態では、投影板５１における検査場所ＩＰを向く面が、検知光ＩＬが投影される投影面５Ｆとされており、投影板５１における投影面５Ｆとは反対側を向く面が、撮影面ＣＦとされている。撮影装置Ｃは、投影板５１における撮影面ＣＦを撮影することによって、投影面５Ｆを裏側から撮影するように構成されている。なお、図示の例では、撮影装置Ｃは、投影部５が支持される支持部材９２に、投影部５と共に支持（ここでは吊下げ支持）されている。撮影装置Ｃと投影部５とを同一の部材によって支持する構成によって、撮影装置Ｃと投影部５（投影面５Ｆ）との配置関係を一定化し易くなる。但し、これに限定されることなく、撮影装置Ｃと投影部５とのそれぞれを別部材によって支持するようにしても良い。
図１及び図４に示すように、本実施形態では、検査場所ＩＰに搬送車２が在る状態で、搬送車２と投影面５Ｆ（投影部５）と撮影装置Ｃとが、搬送車２の前後方向Ｘに沿って並ぶように配置されている。これにより、投影面５Ｆが光の一部を透過させるように構成されている場合において、投影面５Ｆに投影された検知光ＩＬの画像を、当該投影面５Ｆの裏面側（撮影面ＣＦ側）から、撮影装置Ｃによって歪みの少ない状態で撮影することができる。その結果、判定部Ｊによる判定に適した画像を取得することが可能となっている。特に、搬送車２と投影面５Ｆ（投影部５）と撮影装置Ｃとが、前後方向Ｘに沿う前後方向Ｘ視で重複するように配置されると好適である。但し、上記のような構成に限定されることなく、投影面５Ｆと撮影装置Ｃとの配置関係については、これらは互いに搬送車２の前後方向Ｘ視で重複しないように配置されていても良い。換言すれば、撮影装置Ｃが、投影面５Ｆに直交する方向（ここでは前後方向Ｘ）に対して幅方向Ｙ及び上下方向Ｚの少なくとも一方に傾斜した方向から投影面５Ｆを撮影するよう配置されていても良い。この場合であっても、撮影装置Ｃは、投影面５Ｆを撮影可能な位置（本例では、投影面５Ｆを裏面側から撮影可能な位置）に配置される。本検査システム１では、検知器３が投光する検知光ＩＬそのものではなく、投影面５Ｆに投影された検知光ＩＬに基づいて、検知器３の状態の判定を行う。そのため、撮影装置Ｃは、投影面５Ｆを撮影可能な位置に配置されてさえいれば、上記のように投影面５Ｆに対して前後方向Ｘ視でずれた位置に配置されていたとしても、検査システム１によって検知器３の状態（検知状態）の判定を適切に行うことができる。
１−３．検知器の状態の判定
次に、検知器３の状態（検知状態）の判定について、図６を参照して説明する。図６は、投影部５における撮影面ＣＦ側を撮影装置Ｃによって撮影した画像を模式的に示している。換言すれば、検知光ＩＬが投影された投影面５Ｆを裏面側から撮影した画像を示している。図６の左図は、検知器３の状態が正常である場合（ＯＫ）を示しており、図６の右図は、検知器３の状態が異常である場合（ＮＧ）を示している。
判定部Ｊは、投影面５Ｆに投影された検知光ＩＬの位置を判定することで、検知器３の状態が正常であるか異常であるかを判定する。図６の左図に示される状態では、第１検知光ＩＬ１による第１照射範囲３１Ｅが、第１投影領域５Ｆａ（図５参照）に対応する位置に投影され、第２検知光ＩＬ２による第２照射範囲３２Ｅが、第２投影領域５Ｆｂ（図５参照）に対応する位置に投影されている。このように、検知光ＩＬの照射範囲が規定の領域内に収まっている場合、判定部Ｊによって、投影面５Ｆに投影された検知光ＩＬの位置が正常である（ＯＫ）と判定される。一方、図６の右図に示される状態では、第１照射範囲３１Ｅが、第１投影領域５Ｆａに対応する位置から下方にずれた位置に投影されている。この場合、判定部Ｊによって、投影面５Ｆに投影された検知光ＩＬの位置が異常である（ＮＧ）と判定される。
また、判定部Ｊは、投影面５Ｆに投影された検知光ＩＬの形状を判定することで、検知器３の状態が正常であるか異常であるかを判定する。図６の左図に示される状態では、第１検知光ＩＬ１による第１照射範囲３１Ｅの形状が、水平方向に沿う直線状を成しており、第２検知光ＩＬ２による第２照射範囲３２Ｅの形状が、規定の形状、本例では帯状（図示の例では両端が円弧状となっている帯状）を成している。この場合、判定部Ｊによって、投影面５Ｆに投影された検知光ＩＬの形状が正常である（ＯＫ）と判定される。ここで、規定の形状は、例えば、検知光ＩＬが照射されている照射範囲の幅や長さ等の条件によって規定される。一方、図６の右図に示される状態では、第１照射範囲３１Ｅの形状が、水平方向に対して斜めに傾斜した直線状を成している。また、撮影面ＣＦ（投影面５Ｆ）の下部に投影された第２照射範囲３２Ｅの形状は、２つの短い帯状に分断された形状となっている。これらの場合、判定部Ｊによって、投影面５Ｆに投影された検知光ＩＬの形状が異常である（ＮＧ）と判定される。
また、判定部Ｊは、投影面５Ｆに投影された検知光ＩＬの光の強さを判定することで、検知器３の状態が正常であるか異常であるかを判定する。図６の左図に示される状態では、第１照射範囲３１Ｅを形成する第１検知光ＩＬ１の光の強さ、及び、第２照射範囲３２Ｅを形成する第２検知光ＩＬ２の光の強さが、規定値以上となっている。この場合、判定部Ｊによって、投影面５Ｆに投影された検知光ＩＬの光の強さが正常である（ＯＫ）と判定される。ここで、光の強さが規定値以上であることの判定条件は、例えば、照射範囲内の位置と各位置での光の強さとの組み合わせとして設定することができる。一例として、照射範囲内における光の強さが最も強い部分での光の強さが規定値以上であれば正常と判定する条件や、照射範囲の外縁部を除く部分における光の強さが最も弱い部分での光の強さが規定値以上であれば正常と判定する条件等とすることができる。一方、図６の右図に示される状態では、複数の第２照射範囲３２Ｅのうち撮影面ＣＦの左側の第２照射範囲３２Ｅを形成する第２検知光ＩＬ２の光の強さが、規定値未満となっている。この場合、判定部Ｊによって、投影面５Ｆに投影された検知光ＩＬの光の強さが弱い、すなわち、異常である（ＮＧ）と判定される。
１−４．検査システムの制御構成
次に、図７を参照して、検査システム１の制御構成について説明する。図７に示すように、検査システム１は、システム全体を管理する統括制御装置Ｈｔと、搬送車２を制御する個別制御装置Ｈｍと、判定部Ｊによる判定結果を記憶する記憶装置Ｍと、を備えている。統括制御装置Ｈｔ及び個別制御装置Ｈｍは、相互に通信可能に構成されている。これらの制御装置は、例えば、マイクロコンピュータ等のプロセッサ、メモリ等の周辺回路等を備えている。そして、これらのハードウェアと、コンピュータ等のプロセッサ上で実行されるプログラムと、の協働により、各機能が実現される。
本実施形態では、個別制御装置Ｈｍは、複数の搬送車２のそれぞれに備えられると共に、当該複数の搬送車２のそれぞれの制御を行う。例えば、個別制御装置Ｈｍは、搬送車２の走行、停止、及び物品Ｗの移載などを制御する。
本実施形態では、統括制御装置Ｈｔは、複数の搬送車２を含む物品搬送設備１００の全体の制御を行う。そして、統括制御装置Ｈｔは、個別制御装置Ｈｍ（搬送車２）に対して搬送指令などの各種の指令を行う。本例では、統括制御装置Ｈｔは、個別制御装置Ｈｍ（搬送車２）に対して、検知器３を検査させるための検査指令を行う。統括制御装置Ｈｔからの検査指令には、搬送車２を検査場所ＩＰまで走行させる指令と、検査場所ＩＰにおいて検査のための動作を搬送車２に行わせる指令とが含まれている。統括制御装置Ｈｔから検査指令を受けた個別制御装置Ｈｍは、検査場所ＩＰまで自車（搬送車２）を走行させる。そして、本例では、個別制御装置Ｈｍは、検査場所ＩＰにおいて自車（搬送車２）を停止させた状態で、検知器３の検査を行う。但し、このような構成に限らず、検査システム１は、検査場所ＩＰの前後において搬送車２が走行している状態（好ましくは低速走行の状態）で、検知器３の検査を行うようにしても良い。
本例では、検査場所ＩＰに搬送車２が停止した状態において、まず、検知器３が、投影部５の投影面５Ｆに向けて検知光ＩＬを投光する。なお、この検知器３による検知光ＩＬの投光は、常に行われていても良いし、搬送車２が検査場所ＩＰに停止した後に行われても良い。検知器３による検知光ＩＬの投光中に、撮影装置Ｃが、投影面５Ｆ（本例では投影面５Ｆの裏面側である撮影面ＣＦ）を撮影する。次に、判定部Ｊが、撮影装置Ｃによって撮影された画像に基づいて、検知器３の状態（検知状態）を判定すると共に、判定結果を、記憶装置Ｍに送信する。記憶装置Ｍは、受信した検知器３の状態についての判定結果を記憶する。例えば、記憶装置Ｍには、判定部Ｊによる判定を行った日時である検査日時と、判定部Ｊによる判定結果とが、互いに関連付けられた状態で記憶される。統括制御装置Ｈｔは、記憶装置Ｍと通信可能に構成されており、記憶装置Ｍに記憶された上記判定結果を取得可能に構成されている。統括制御装置Ｈｔは、検査指令を行った搬送車２を識別するための識別情報と、当該搬送車２に搭載された検知器３に関する判定結果と、判定部Ｊによる判定を行った日時である検査日時とを、互いに関連付けた状態で管理する。
図７では、統括制御装置Ｈｔと、記憶装置Ｍとは、別々に設けられている例を示している。しかし、このような構成に限定されることなく、統括制御装置Ｈｔが記憶装置Ｍを備えた構成であっても良い。この場合、判定部Ｊから統括制御装置Ｈｔに、判定結果が送信される。
また、図７では、統括制御装置Ｈｔと、判定部Ｊとについても、別々に設けられている例を示している。しかし、このような構成に限定されることなく、統括制御装置Ｈｔが判定部Ｊを備えた構成であっても良い。この場合、撮影装置Ｃから統括制御装置Ｈｔに、撮影装置Ｃによって撮影された画像情報が送信される。
検査場所ＩＰにおいて検知器３の検査が行われた結果、検知器３の状態（検知状態）が正常であると判定された場合には、統括制御装置Ｈｔは、個別制御装置Ｈｍ（搬送車２）に対して搬送指令等を行う通常の運用を再開すると好適である。一方、検知器３の状態（検知状態）が異常であると判定された場合には、統括制御装置Ｈｔは、例えば、物品Ｗの搬送等を行わない搬送車２のための退避場所に向かって当該搬送車２を移動させると好適である。但し、このような構成に限らず、個別制御装置Ｈｍ（搬送車２）は、検知器３の状態（検知状態）が異常であると判定された場合であっても、例えば、搬送中の物品Ｗの搬送が終了するまでの間等、限定的に通常の運用を再開しても良い。
２．その他の実施形態
次に、検査システムのその他の実施形態について説明する。
（１）上記の実施形態では、撮影装置Ｃが、投影面５Ｆを挟んで検査場所ＩＰとは反対側に配置されている例について説明した。しかし、このような例に限定されることなく、例えば図８に示すように、撮影装置Ｃは、投影面５Ｆに対して検査場所ＩＰと同じ側に配置されていても良い。この場合、投影部５における検査場所ＩＰを向く面が、投影面５Ｆと撮影面ＣＦとの双方を兼ねる。またこの場合、撮影装置Ｃは、検知器３と投影面５Ｆとの間の投光経路を遮らない位置に配置される。このため、撮影装置Ｃは、投影面５Ｆに直交する方向に対して幅方向Ｙ及び上下方向Ｚの少なくとも一方に傾斜した方向から投影面５Ｆを撮影するように配置される。
（２）上記の実施形態では、搬送車２が、検知器３として、第１検知器３１と第２検知器３２とを備えている例について説明した。しかし、このような例に限定されることなく、搬送車２は、少なくとも１つ、又は、少なくとも１種類の検知器３を備えていれば良い。或いは、搬送車２が、３種類以上の検知器３を備えていても良い。
（３）上記の実施形態では、投影面５Ｆが、搬送車２の走行軌跡と重ならない位置に配置されている構成を例として説明した。しかし、このような構成に限定されず、投影面５Ｆが搬送車２の走行軌跡と重なる位置に配置されていても良い。この場合、検査を行わないに場合に投影面５Ｆ（投影部５）を搬送車２の走行軌跡から退避させるように、投影面５Ｆを移動させる退避機構を備えると好適である。或いは、投影面５Ｆ（投影部５）は、例えば、設備内を移動自在な移動装置（フォークリフト、床面搬送車、リフタ等）に搭載されていても良いし、人手によって移動できるように構成されていても良い。
（４）上記の実施形態では、第１検知器３１が前方車センサであって、第２検知器３２が障害物センサである例について説明した。しかし、このような例に限定されることなく、例えば、第１検知器３１が障害物センサであって、第２検知器３２が前方車センサであっても良い。或いは、第１検知器３１及び第２検知器３２の一方又は双方が、前方車センサ及び障害物センサ以外のセンサであっても良い。第１検知器３１及び第２検知器３２の検知対象は、設備の特性等に合わせて適宜設定されると良い。
（５）上記の実施形態では、検知器３が搬送車２の進行方向（前後方向Ｘ）の前方を検知範囲ＩＥとする構成を例として説明した。しかしこれには限定されず、搬送車２が、進行方向（前後方向Ｘ）の後方を検知範囲ＩＥとする検知器３、幅方向Ｙの一方又は双方を検知範囲ＩＥとする検知器３、上下方向Ｚの上方又は下方を検知範囲ＩＥとする検知器３等を備えた構成であっても良い。これらの場合でも、投影面５Ｆは、搬送経路Ｒ上に設定された検査場所ＩＰに搬送車２が在る状態で検知器３の検知範囲ＩＥ内となる位置に配置される。例えば、検知器３の検知範囲ＩＥが搬送車２の下方である場合には、投影面５Ｆは、検査場所ＩＰにある搬送車２の下方となる位置に配置されると良い。
（６）上記の実施形態では、搬送車２が天井搬送車として構成されている例について説明した。しかし、このような例に限定されることなく、搬送車２は、例えば、床面上を走行する無人搬送車であっても良い。その場合には、搬送経路Ｒは、床面上の走行レールに沿って設定されていても良いし、走行レールによらず、例えば磁気等を用いて単に床面上に設定されたものであっても良い。
（７）なお、上述した各実施形態で開示された構成は、矛盾が生じない限り、他の実施形態で開示された構成と組み合わせて適用することも可能である。その他の構成に関しても、本明細書において開示された実施形態は全ての点で単なる例示に過ぎない。従って、本開示の趣旨を逸脱しない範囲内で、適宜、種々の改変を行うことが可能である。
３．上記実施形態の概要
以下、上記において説明した検査システムについて説明する。
予め設定された搬送経路上を走行する搬送車が備える検知器を検査対象とする検査システムであって、前記搬送経路上に設定された検査場所に前記搬送車が在る状態で前記検知器の検知範囲内となる位置に配置され、前記検知器が投光する検知光が投影される投影面と、前記投影面を撮影する撮影装置と、前記撮影装置が撮影した画像に基づいて、前記投影面に投影された前記検知光の位置、形状、及び光の強さのうち少なくとも１つの状態を判定する判定部と、を備えている。
本構成によれば、搬送車が備える検知器が投光する検知光が投影される投影面が、搬送経路上に設定された検査場所に搬送車が在る状態で当該検知器の検知範囲内となる位置に配置されると共に投影面を撮影する撮影装置を備えているため、搬送車が搬送経路上に在る状態で検知器の検査を行うことができる。このため、搬送車が搬送経路上にある状態において検知器の検査を行うことができる。従って、搬送経路上を走行する搬送車が備える検知器の検査の手間を簡略化することができる。また本構成によれば、例えば、投影面に投影された検知光の位置や形状に基づいて、検知器が正しい向きに設置されているか否かを判定でき、光の強さに基づいて、検知器が正常に投光しているか否かを判定できる等、検知器の検査を適切に行うことができる。
ここで、
前記投影面が、光の一部を透過させるように構成され、前記撮影装置が、前記投影面を挟んで前記検査場所とは反対側に配置されていると好適である。
投影面から見て検査場所（検査場所に在る搬送車）と同じ側には、搬送経路が設けられており搬送車の走行領域があるため、投影面から見て検査場所とは反対側に比べて、撮影装置を配置する場所の制約が大きい。本構成によれば、投影面を挟んで検査場所とは反対側に撮影装置が配置されるため、配置上の制約が比較的小さい領域に撮影装置を配置することができる。従って、判定部による判定のために使用しやすい画像を撮影装置によって撮影することが容易となる。
また、
前記搬送車は、前記検知器である第１検知器に加えて、前記第１検知器とは異なる領域の検知を行う第２検知器を備え、前記投影面は、前記検知光である第１検知光が投影される第１投影領域と、前記第２検知器が投光する第２検知光が投影される第２投影領域と、を有し、前記判定部は、前記撮影装置が撮影した画像に基づいて、前記第１投影領域に投影された前記第１検知光の位置、形状、及び光の強さのうち少なくとも１つの状態と、前記第２投影領域に投影された前記第２検知光の位置、形状、及び光の強さのうち少なくとも１つの状態と、を判定すると好適である。
本構成によれば、互いに異なる検知領域の検知を行う第１検知器と第２検知器との検査を一度に行うことができる。
また、
前記投影面は、前記搬送車の走行軌跡と重ならない位置に配置されていると好適である。
本構成によれば、検査装置が、搬送車の走行軌跡と重ならない位置に配置されているため、検査装置を固定式として設置した場合であっても、搬送経路を走行する搬送車が検査装置に接触することがない。従って、搬送経路上を走行する搬送車が備える検知器の検査の手間を更に簡略化することができる。
本開示に係る技術は、搬送車が備える検知器を検査対象とする検査システムに利用することができる。
１ ：検査システム
２ ：搬送車
３ ：検知器
５Ｆ ：投影面
５Ｆａ ：第１投影領域
５Ｆｂ ：第２投影領域
３１ ：第１検知器
３２ ：第２検知器
Ｃ ：撮影装置
ＩＥ ：検知範囲
ＩＬ ：検知光
ＩＬ１ ：第１検知光
ＩＬ２ ：第２検知光
ＩＰ ：検査場所
Ｊ ：判定部
Ｍ ：記憶装置
Ｒ ：搬送経路

Claims (4)

  1. 予め設定された搬送経路上を走行する搬送車が備える検知器を検査対象とする検査システムであって、
    前記搬送経路上に設定された検査場所に前記搬送車が在る状態で前記検知器の検知範囲内となる位置に配置され、前記検知器が投光する検知光が投影される投影面と、
    前記投影面を撮影する撮影装置と、
    前記撮影装置が撮影した画像に基づいて、前記投影面に投影された前記検知光の位置、形状、及び光の強さのうち少なくとも１つの状態を判定する判定部と、を備えた、検査システム。
  2. 前記投影面が、光の一部を透過させるように構成され、
    前記撮影装置が、前記投影面を挟んで前記検査場所とは反対側に配置されている、請求項１に記載の検査システム。
  3. 前記搬送車は、前記検知器である第１検知器に加えて、前記第１検知器とは異なる領域の検知を行う第２検知器を備え、
    前記投影面は、前記検知光である第１検知光が投影される第１投影領域と、前記第２検知器が投光する第２検知光が投影される第２投影領域と、を有し、
    前記判定部は、前記撮影装置が撮影した画像に基づいて、前記第１投影領域に投影された前記第１検知光の位置、形状、及び光の強さのうち少なくとも１つの状態と、前記第２投影領域に投影された前記第２検知光の位置、形状、及び光の強さのうち少なくとも１つの状態と、を判定する、請求項１又は２に記載の検査システム。
  4. 前記投影面は、前記搬送車の走行軌跡と重ならない位置に配置されている、請求項１から３のいずれか一項に記載の検査システム。
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TW (1) TWI829843B (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2022264579A1 (ja) * 2021-06-16 2022-12-22 村田機械株式会社 有軌道台車システム

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2023030406A (ja) * 2021-08-23 2023-03-08 富士フイルムビジネスイノベーション株式会社 画像読取装置

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09269829A (ja) * 1996-03-29 1997-10-14 Mazda Motor Corp 車両の安全センサの動作確認装置
JPH10325866A (ja) * 1997-05-26 1998-12-08 Meidensha Corp 障害物センサの検出範囲の検査装置
US20040118980A1 (en) * 2002-12-19 2004-06-24 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Safety system for overhead transport vehicle
JP2005106672A (ja) * 2003-09-30 2005-04-21 Koito Mfg Co Ltd 配光検査装置
JP2017120510A (ja) * 2015-12-28 2017-07-06 株式会社ダイフク 物品搬送設備

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4226623B2 (ja) * 2006-09-29 2009-02-18 ファナック株式会社 ワーク取り出し装置
DE102007018048A1 (de) * 2007-04-13 2008-10-16 Michael Schwertner Verfahren und Anordnung zur optischen Abbildung mit Tiefendiskriminierung
US8059861B2 (en) * 2008-11-17 2011-11-15 Lockheed Martin Corporation Method and system for identifying and recognizing products for sorting/sequencing operations
US8681211B2 (en) * 2009-09-22 2014-03-25 Cyberoptics Corporation High speed optical inspection system with adaptive focusing
EP2696590B1 (en) * 2012-08-06 2014-09-24 Axis AB Image sensor positioning apparatus and method
JP6793193B2 (ja) * 2016-06-29 2020-12-02 京セラ株式会社 物体検出表示装置、移動体及び物体検出表示方法
US10681318B2 (en) * 2017-11-14 2020-06-09 Texas Instruments Incorporated Camera-assisted arbitrary surface characterization and slope-based correction

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09269829A (ja) * 1996-03-29 1997-10-14 Mazda Motor Corp 車両の安全センサの動作確認装置
JPH10325866A (ja) * 1997-05-26 1998-12-08 Meidensha Corp 障害物センサの検出範囲の検査装置
US20040118980A1 (en) * 2002-12-19 2004-06-24 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Safety system for overhead transport vehicle
JP2005106672A (ja) * 2003-09-30 2005-04-21 Koito Mfg Co Ltd 配光検査装置
JP2017120510A (ja) * 2015-12-28 2017-07-06 株式会社ダイフク 物品搬送設備

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2022264579A1 (ja) * 2021-06-16 2022-12-22 村田機械株式会社 有軌道台車システム

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