JP2022028386A - 物品搬送装置及び物品保管設備 - Google Patents

Abstract

【課題】２つの受け渡し部の間で物品を搬送する場合に、搬送対象の物品の状態を検査する。【解決手段】第１位置Ｐ１に配置された第１受け渡し部１１と第１位置Ｐ１とは異なる第２位置に配置された第２受け渡し部との間で物品Ｂを搬送する物品搬送装置１は、第１受け渡し部１１と第２受け渡し部との間を走行する台車と、台車に取り付けられて、突出位置Ｔ１で物品Ｂを支持した支持状態となり、引退位置Ｔ２で物品Ｂを支持しない非支持状態となる物品支持部３と、物品支持部３を昇降させる昇降駆動部と、第１受け渡し部１１に形成されて、物品支持部３が挿通可能な開口部Ｇと、第１受け渡し部１１よりも下方から開口部Ｇを介して物品Ｂの底面６１の状態を非接触で検査する検査部５とを備える。【選択図】図７

Description

本発明は、第１受け渡し部と第２受け渡し部との間で物品を搬送する物品搬送装置、及び、物品搬送装置を備えた物品保管設備に関する。

物品保管庫に保管される物品の入庫及び出庫を行うために、物品保管庫の内部と外部との間で物品を搬送する物品搬送装置が設置される場合がある。特開２０１１－１５７１８４号公報には、このような物品搬送装置として、搬送対象の物品を下方から支持して搬送経路に沿って搬送する構成の装置が用いられる形態が開示されている。

特開２０１１－１５７１８４号公報

ここで、物品が半導体に関連するものや、医療製品等に関するものの場合、物品保管庫や物品が使用される環境には一般的に清浄性が要求される。一方、物品には搬送時の接触等によって傷等が生じ、当該傷から塵等を発生させる可能性がある。このため、物品保管庫へ入庫され、その後、物品保管庫から出庫された使用される物品には、傷等が無いことが好ましい。

上記背景に鑑みて、２つの受け渡し部の間で物品を搬送する場合に、搬送対象の物品の状態を検査することができる技術の提供が望まれる。

上記に鑑みた物品搬送装置は、第１位置に配置された第１受け渡し部と前記第１位置とは異なる第２位置に配置された第２受け渡し部との間で物品を搬送する物品搬送装置であって、前記第１受け渡し部と前記第２受け渡し部との間を走行する台車と、前記台車に取り付けられて、上方に移動した突出位置で前記物品を支持した支持状態となり、下方に移動した引退位置で前記物品を支持しない非支持状態となる物品支持部と、前記物品支持部を昇降させる昇降駆動部と、前記第１受け渡し部に形成されて、前記物品支持部が挿通可能な開口部と、前記第１受け渡し部よりも下方から前記開口部を介して前記物品の底面の状態を非接触で検査する検査部とを備える。

この構成によれば、物品が第１受け渡し部に載置されている状態で、第１受け渡し部に形成された開口部を介して、物品の底面の状態を検査部により検査することができる。その結果、物品搬送装置は、物品が第１受け渡し部を経由して搬送される場合に、当該第１受け渡し部において物品の底面の状態が適切か否かを判別することができ、例えば、搬送形態を異ならせる、当該物品を除外するなどの対処が可能となる。即ち、本構成によれば、２つの受け渡し部の間で物品を搬送する場合に、搬送対象の物品の状態を検査することができる。

物品搬送装置のさらなる特徴と利点は、図面を参照して説明する実施形態についての以下の記載から明確となる。

物品保管設備の構成を模式的に示す図 物品の側面図 物品の上面図 フォークを模式的に示す斜視図 第１コンベヤの構成を示す上面図 第１コンベヤの第１受け渡し部の近傍の上面図 第１コンベヤの第１受け渡し部の近傍の搬送経路に直交する方向視の側面図 検査装置の搬送経路に沿った方向視の側面図 物品保管設備の構成を模式的に示すブロック図 検査を含む物品の入庫処理の一例を示すフローチャート

以下、物品搬送装置及び物品保管設備の実施形態を図面に基づいて説明する。図１は、物品搬送装置を備えた物品保管設備１００の一例を示している。物品保管設備１００は、物品保管庫１０３と、スタッカークレーン９（保管庫内搬送装置）と、天井搬送車８と、第１コンベヤ１（物品搬送装置、第１物品搬送装置）と、第２コンベヤ７（物品入出庫部、第２物品搬送装置）と、を備えている。物品保管庫１０３は、物品Ｂを収納する物品収納部１０１を複数備えている。詳細は、後述するが、本実施形態では、物品Ｂとして、半導体製造用のレチクル（フォトマスク）を収容する容器（レチクルポッド）を例示している。しかし、物品Ｂは、半導体ウェハを収容する容器（ＦＯＵＰ：Front Opening Unified Pod）やコンテナ等、他の物品であってもよい。

物品保管庫１０３は、壁体１０６によって覆われた設置空間の内部に複数の物品収納部１０１を備えて構成されている。物品保管庫１０３には、スタッカークレーン９のマスト９１（支柱）を挟んで対向する状態で一対の物品収納棚１０２が備えられている。一対の物品収納棚１０２のそれぞれは、物品収納部１０１が上下方向及び棚横幅方向（図１の紙面に直交する方向）に並ぶ状態で複数備えられている。複数の物品収納部１０１のそれぞれには、収納した物品Ｂを載置支持する棚板１０９が備えられている。一対の物品収納棚１０２は、棚板１０９の開放端が対向する状態で配置されている。

スタッカークレーン９は、当該設置空間の内部、即ち物品保管庫１０３の中で物品Ｂを搬送する保管庫内搬送装置に相当する。スタッカークレーン９は、一対の物品収納棚１０２の間に敷設されたレール９０に沿って走行する走行台車９２と、その走行台車９２に立設されたマスト９１に沿って昇降移動する昇降体９４と、昇降体９４に支持されて物品収納部１０１や後述する内部移載箇所との間で物品Ｂを移載するフォーク９５とを備えている。スタッカークレーン９は、不図示の走行用アクチュエータによって走行台車９２を走行させ、不図示の昇降用アクチュエータによって昇降体９４を昇降させ、不図示のリンク機構及び移載用アクチュエータによってフォーク９５を出退させて、内部移載箇所及び物品収納部１０１との間で物品Ｂを搬送する。

第１コンベヤ１及び第２コンベヤ７は、壁体１０６を貫通する状態で配設されて、設置空間の内部（内部移載箇所）と外部（外部移載箇所）との間で、物品Ｂを載置搬送する。天井搬送車８は、設置空間の外部で物品Ｂを搬送する。本実施形態では、天井搬送車８は、第１コンベヤ１と半導体処理装置との間や、第１コンベヤ１と他の物品保管庫との間で物品Ｂを搬送する。

第１コンベヤ１は、第１位置Ｐ１に配置された第１受け渡し部１１と、第１位置Ｐ１とは異なる第２位置Ｐ２に配置された第２受け渡し部１２との間で物品Ｂを搬送する。第２コンベヤ７は、第３位置Ｐ３に配置された第３受け渡し部１３と、第３位置Ｐ３とは異なる第４位置Ｐ４に配置された第４受け渡し部１４との間で物品Ｂを搬送する。上述したように、第１コンベヤ１及び第２コンベヤ７は、壁体１０６を貫通する状態で配設されて、設置空間の内部の内部移載箇所と外部の外部移載箇所との間で、物品Ｂを載置搬送する。第１受け渡し部１１及び第３受け渡し部１３は、外部移載箇所であり、第２受け渡し部１２及び第４受け渡し部１４は、内部移載箇所である。

第１コンベヤ１は、作業者の身長よりも高い位置、例えば床面から５［ｍ］以上高い位置に配置されており、第１受け渡し部１１では、自動運転される天井搬送車８との間で物品Ｂの受け渡しが行われる。従って、第１コンベヤ１における第１受け渡し部１１は、物品保管庫１０３に対する自動入出庫ポートと称される場合がある。第２コンベヤ７は、床面の近くに設置されており、第３受け渡し部１３は床面から０．８［ｍ］～１．２［ｍ］程度の高さに設定されている。即ち、第３受け渡し部１３は、作業者による物品Ｂの受け渡しが可能なように設定されており、物品保管庫１０３に対するマニュアル入出庫ポートと称される場合がある。

本実施形態では、第１コンベヤ１と第２コンベヤ７とは同様の構成であり、以下の説明では、特に断りの無い限り、第１コンベヤ１を代表して説明する。尚、この場合、第３位置Ｐ３は第１位置Ｐ１に相当し、第３受け渡し部１３は第１受け渡し部１１に相当し、第４位置Ｐ４は第２位置Ｐ２に相当し、第４受け渡し部１４は第２受け渡し部１２に相当する。また、以下に説明する本実施形態では、第１コンベヤ１が物品搬送装置に相当し、第２コンベヤ７が物品搬送装置（第１コンベヤ１）とは別に設けられ、物品Ｂを物品保管庫１０３の中と外との間で入出庫可能な物品入出庫部に相当するものとする。

別の観点として、第１コンベヤ１が第１物品搬送装置に相当し、第２コンベヤ７が第１物品搬送装置（第１コンベヤ１）とは別に設けられ、物品Ｂを物品保管庫１０３の中と外との間で入出庫可能な第２物品搬送装置に相当するものとしてもよい。この場合、上述したように、第１物品搬送装置が自動入出庫ポートを備えた物品搬送装置であり、第２物品搬送装置がマニュアル入出庫ポートを備えた物品搬送装置であると好適である。

第１コンベヤ１又は第２コンベヤ７の外部移載箇所に物品Ｂが載せられると、当該物品Ｂは、これらのコンベヤによって外部移載箇所から内部移載箇所に載置搬送される。スタッカークレーン９は、内部移載箇所から物品収納部１０１に物品Ｂを搬送して、棚板１０９に物品Ｂを載置する（入庫）。反対に、スタッカークレーン９は、物品収納部１０１の棚板１０９から物品Ｂを取り出し、第１コンベヤ１又は第２コンベヤ７の内部移載箇所に搬送する。当該物品Ｂは、これらのコンベヤによって内部移載箇所から外部移載箇所に載置搬送される（出庫）。出庫された物品Ｂは、天井搬送車８又は作業者にて外部移載箇所から移動される。

上述したように、本実施形態では、物品Ｂとしてレチクルポッドを例示している。図２及び図３に示すように、物品Ｂは、レチクルを収容する容器本体部６３と、容器本体部６３よりも上方に位置して物品Ｂの上端部に備えられたフランジ部６５とを有している。図１に示すように天井搬送車８は、フランジ部６５を掴むことによって物品Ｂを吊り下げ支持して、物品Ｂを搬送する。また、スタッカークレーン９は、容器本体部６３の底面６１をフォーク９５の載置部９６によって載置支持した状態で物品Ｂを搬送する。また、図４に示すように、フォーク９５には、フランジ部６５を囲む規制部９７が備えられている。これにより、フォーク９５の載置部９６に載置された物品Ｂが振動や衝撃等によってフォーク９５から落下することを抑制している。

図２及び図３に示すように、容器本体部６３の底面６１には、上方に向かって窪んだ底面凹部６２が３箇所に設けられている。底面凹部６２は、上方ほど細い先細り形状に形成されており、底面凹部６２の内面は傾斜面となっている。この底面凹部６２には、スタッカークレーン９のフォーク９５に設けられたフォーク側位置決めピン９ｐ（図４参照）や、物品収納部１０１の棚板１０９に設けられた不図示の棚板側位置決めピンが下方から係合する。物品Ｂが棚板１０９に載置される際や、フォーク９５に掬い取られる際に、物品Ｂの位置が水平方向にずれている場合でも、これらの位置決めピンが底面凹部６２の内面によって案内される。

図示は省略するが、棚板１０９は、一端側である固定端が固定支持され、他方側である開放端が開放された片持ち姿勢で固定されている。また、棚板１０９は、矩形状ではなく、開放端の側が開いたＵ字状に形成されており、矩形状の物品Ｂの底面６１の３辺を支持する。棚板１０９にも、不図示の棚板側位置決めピンが、Ｕ字の底部、及び両側部の３箇所に配置されている。上述したように、物品Ｂが棚板１０９に載置される際には、物品Ｂの３箇所の底面凹部６２に、不図示の棚板側位置決めピンがそれぞれ係合し、物品Ｂは適切に棚板１０９に載置される。

以下、図５～図９を参照して第１コンベヤ１及び第２コンベヤ７について説明する。上述したように、断りの無い限り、第１コンベヤ１を代表例として説明する。第１コンベヤ１は、第１受け渡し部１１と第２受け渡し部１２との間を走行する台車２と、台車２に取り付けられて台車２に対して昇降する物品支持部３と、物品支持部３を昇降させる昇降駆動部４とを備えている。物品支持部３は、上方に移動した突出位置Ｔ１で物品Ｂを支持した支持状態となり、下方に移動した引退位置Ｔ２で物品Ｂを支持しない非支持状態となる。

第１コンベヤ１は、台車２を収容する収容空間を形成する筐体を備えている。筐体は、筐体の底部に位置して台車２を支持する支持板２１と、側板２２と、上面板２３とを備えている。支持板２１は、搬送経路Ｋに沿って延在する板状部材にて構成されている。尚、支持板２１は、搬送経路Ｋに沿う方向の全長に亘って、単一の部材で構成してもよいし、複数の部材を連結して構成してもよい。側板２２は、平面視で搬送経路Ｋに直交する幅方向Ｄにおいて支持板２１の両端にそれぞれ設けられている。つまり、筐体は一対の側板２２を備えている。上面板２３は、それぞれの側板２２に接する状態で、幅方向Ｄに間隔を空けて一対設けられている。つまり、筐体は、図６に示すように、筐体開口２０Ｇ（開口部Ｇ）を備えて構成されている。

図５及び図６に示すように、支持板２１の上面には、台車２の走行を案内する案内レール２０Ｒが取り付けられている。また、一対の上面板２３の内の一方の上面板２３と支持板２１との間には、搬送経路Ｋに沿って延在するように張力を付与された状態で歯付ベルト２８が配置されている。

台車２は、図７に示すように、支持板２１の上面を転動可能な車輪２Ｗと、案内レール２０Ｒによって案内される案内輪２０Ｗと、歯付ベルト２８に接触する３つのプーリＵとを備えている。具体的には、歯付ベルト２８に噛み合う歯付プーリＵ２と、搬送経路Ｋに沿う方向で歯付プーリＵ２の両側にそれぞれ配置された２つのテンションプーリＵ１とが備えられている。歯付プーリＵ２は走行モータ２Ｍにて駆動されるようになっている。台車２は、走行モータ２Ｍの回転に伴って歯付ベルト２８に沿って走行する。テンションプーリＵ１は、歯付プーリＵ２に対する歯付ベルト２８の巻回量を大きくするために配置されている。

また、台車２は、図５及び図９に示すように、物品支持部３を昇降移動させる昇降駆動部４を備えている。昇降駆動部４は、例えばアクチュエータを備えたシリンダ機構である。物品支持部３に連結されたロッド３１が昇降駆動部４に接続され、昇降駆動部４がロッド３１を上下方向に移動させることによって物品支持部３が上下方向に移動する。物品支持部３は、昇降駆動部４の作動によって、上方に移動した突出位置Ｔ１で物品Ｂを支持した支持状態となり、下方に移動した引退位置Ｔ２で物品Ｂを支持しない非支持状態となる。

図６及び図７に示すように、第１受け渡し部１１は、上面板２３の上面に設置されたベース板４０と、ベース板４０の上に設置された一対の第１台座４１及び一対の第２台座４２とを備えている。一対の第１台座４１は平面視で第１コンベヤ１の幅方向Ｄの両端部に設置されている。同様に一対の第２台座４２も第１コンベヤ１の幅方向Ｄの両端部に設置されている。物品Ｂの底面６１には、上述した底面凹部６２とは別の不図示の凹部が形成されている。第２台座４２には、当該凹部に対応する位置に台座側位置決めピン４２ｐが備えられている。底面凹部６２とフォーク側位置決めピン９ｐとにより物品Ｂが位置決めされるのと同様に、当該凹部と台座側位置決めピン４２ｐとによって、位置決めされた状態で、第１受け渡し部１１に物品Ｂが載置される。

第１受け渡し部１１では、第１台座４１、第２台座４２により、上面板２３（ベース板４０）と物品Ｂの底面６１との間に隙間を有した状態で物品Ｂが載置される。図６に示すように、ベース板４０には、物品支持部３に連結されたロッド３１が通過できるように、平面視でＵ字型の切欠きが形成されており、この切欠きによってベース板開口４０Ｇ（開口部Ｇ）が形成されている。引退位置Ｔ２における物品支持部３は、第１受け渡し部１１において、上面板２３（ベース板４０）と物品Ｂの底面６１との間の隙間に位置する。突出位置Ｔ１における物品支持部３は、第１受け渡し部１１において、第１台座４１及び第２台座４２よりも上方に位置する。

台車２は、昇降駆動部４の作動によって物品支持部３を引退位置Ｔ２に切り替えた状態で第１台座４１及び第２台座４２に支持されている物品Ｂの下方に移動した後、昇降駆動部４の作動によって物品支持部３を突出位置Ｔ１に切換える。物品支持部３の上昇に伴って、物品Ｂの底面凹部６２と物品支持部３のコンベヤ側位置決めピン３ｐとが係合すると共に、物品Ｂと台座側位置決めピン４２ｐとの係合が解除され、物品支持部３により物品Ｂが支持された支持状態となる。台車２は、支持状態で搬送経路Ｋに沿って走行して物品Ｂを搬送する。物品Ｂを第１台座４１及び第２台座４２におろす場合には、その逆の動作となる。

上記においては、第１受け渡し部１１における台車２との間での物品Ｂの移載について説明したが、第２受け渡し部１２においても同様である。また、上記においては、第１受け渡し部１１に、ベース板４０、第１台座４１、第２台座４２が配置され、第１台座４１及び第２台座４２に物品Ｂが載置される形態を例示したが、物品Ｂは上面板２３に底面６１が当接状態で載置されてもよい。第２受け渡し部１２においても同様である。また、この場合において、上面板２３において、第１受け渡し部１１及び第２受け渡し部１２に対応する箇所に、台座側位置決めピン４２ｐと同様に不図示の位置決めピンが設けられていてもよい。

ところで、上述したように、スタッカークレーン９は、第１コンベヤ１や物品保管庫１０３の物品収納部１０１に載置された物品Ｂの下方にフォーク９５を突出させ、フォーク９５を上昇させることによって下方から物品Ｂを支持し、フォーク９５を引退させることによって物品Ｂをすくい取る。物品Ｂをおろす際は、フォーク９５により物品Ｂを支持した状態でフォーク９５を第１コンベヤ１や物品保管庫１０３の物品収納部１０１に突出させ、フォーク９５を下降させることによって物品Ｂを載置し、フォーク９５を引退させる。

ここで、物品Ｂをすくい取る前にフォーク９５を突出させる際、或いは物品Ｂをおろした後でフォーク９５を引退させる際に物品Ｂとフォーク９５との位置関係にずれが生じていると、物品Ｂの底面６１にフォーク側位置決めピン９ｐ等が接触して物品Ｂの底面６１に傷を発生させる場合がある。そして、このような傷は、塵等を生じさせる可能性がある。物品Ｂが半導体を製造するために用いられる場合には、半導体製造装置が設置されるクリーンルームに塵等を発生させる可能性がある物品Ｂが搬入されることは好ましくない。そこで、本実施形態では、第１コンベヤ１に物品Ｂの底面の状態を非接触で検査する検査部５が備えられている。

上述したように、一対の上面板２３の間には、筐体開口２０Ｇ（開口部Ｇ）が存在する。また、第１受け渡し部１１に配置されているベース板４０にもベース板開口４０Ｇ（開口部Ｇ）が形成されている。検査部５は、第１受け渡し部１１よりも下方から開口部Ｇを介して物品Ｂの底面６１の状態を検査する。図８及び図９に示すように、検査部５は、カメラ５１と、２つの照明装置５２（ＬＥＤ）と、画像処理部５５と、これらを制御する検査装置コントローラ５Ｈとを備えている。

図６～図８に示すように、カメラ５１及び２つの照明装置５２は、支持板２１よりも上方に支持板２１と平行に設置された支持部材２５に固定された支持アーム（カメラ支持アーム５３，照明装置支持アーム５４）に支持されている。カメラ支持アーム５３は、支持部材２５に固定され、カメラ５１はカメラ支持アーム５３に固定支持される。尚、カメラ５１は、カメラ支持アーム５３に対する姿勢によって仰角（３次元直交座標系におけるピッチ、ヨー、ロールの内のピッチに相当する角度）を調整可能であり、仰角が適切に調整された状態でカメラ支持アーム５３に固定される。

照明装置支持アーム５４は、第１アーム５４ａ、第２アーム５４ｂ、第３アーム５４ｃの３つのアームにより構成されている。カメラ５１が１つの軸を基準として調整可能であるのに対して、それぞれの照明装置５２は、２つの軸を基準として調整可能である。第１アーム５４ａは支持部材２５に固定され、第２アーム５４ｂは第１アーム５４ａに固定され、第３アーム５４ｃは第２アーム５４ｂに固定され、照明装置５２は第３アーム５４ｃに固定される。第２アーム５４ｂは、第１アーム５４ａに対する姿勢によって照明装置５２の仰角（ピッチ、ヨー、ロールの内のピッチに相当する角度）を調整可能である。また、第３アーム５４ｃは、第２アーム５４ｂに対する姿勢によって照明装置５２の搬送経路Ｋに対する角度（ピッチ、ヨー、ロールの内のヨーに相当する角度）を調整可能である。照明装置５２は、これらの角度が適切に調整された状態で照明装置支持アーム５４に固定される。

検査部５は、物品Ｂの底面６１における傷の有無を画像処理によって判別する。照明装置５２は、上述した開口部Ｇを通して物品Ｂの底面６１を照射し、カメラ５１は、開口部Ｇを通して物品Ｂの底面６１を撮影する。画像処理部５５は、カメラ５１により撮影された撮影画像に基づいて画像処理を行い、底面６１における傷の有無を判定する。画像処理は、例えばエッジ検出処理と、エッジ検出によって得られた画像から傷などの判別対象の認識対象物の有無を認識する認識処理であると好適である。

検査部５は、開口部Ｇを通して光を照射し、開口部Ｇを通して撮影するので、台車２が第１位置Ｐ１に停止していると、検査部５から見て物品Ｂの底面６１が台車２によって遮られ、検査が適切に行えない。そこで、検査部５による検査は、台車２が第１位置Ｐ１にいない状態で行う。第１コンベヤ１には、台車２の停止位置として、第１位置Ｐ１と、第２位置Ｐ２と、待機位置Ｐ５とが設定されている。待機位置Ｐ５は、第１位置Ｐ１よりも第２位置Ｐ２の側に設定されている。検査部５による検査の際には、台車２は、待機位置Ｐ５に停止、或いは待機位置Ｐ５よりも第２位置Ｐ２の側において走行又は停止していると好適である。

ここで、物品保管庫１０３へ物品Ｂを入庫する際に、物品Ｂの底面６１を検査する形態を例として説明する。図９に示すように、物品保管設備１００は設備コントローラＨによって制御されている。設備コントローラＨは、天井搬送車８、スタッカークレーン９、第１コンベヤ１（ＣＯＮＶ１）、第２コンベヤ７（ＣＯＮＶ２）を制御する。第１コンベヤ１には、コンベヤコントローラ１Ｈと、検査装置コントローラ５Ｈとが備えられている、コンベヤコントローラ１Ｈは、昇降駆動部４と走行モータ２Ｍとを制御する。検査装置コントローラ５Ｈは、検査部５を構成するカメラ５１、照明装置５２、画像処理部５５を制御する。検査部５による検査結果は、設備コントローラＨへ提供され、設備コントローラＨは、異常のあった物品Ｂ（この場合は傷のあった物品Ｂ）の入庫を禁止する制御を実行したり、作業者に異常の報知を行ったりする。以下、図１０のフローチャートも参照して説明する。

例えば、まず、天井搬送車８により物品Ｂが第１受け渡し部１１に搬送される（＃１）。物品Ｂが第１受け渡し部１１に載置されると、台車２が待機位置Ｐ５よりも第２位置Ｐ２の側にある状態で検査部５が検査を行う（＃２）。台車２は、待機位置Ｐ５に到達するまでは移動し、待機位置Ｐ５に到達したら停止する。例えば、台車２が第１位置Ｐ１で停止していた場合には、台車２は搬送経路第２側Ｋ２の方向移動し、待機位置Ｐ５で停止する。検査部５による検査は、台車２の移動後に実行される。台車２が第２位置Ｐ２で停止していた場合には、第１位置Ｐ１には台車２が存在していないので、検査部５は、物品Ｂが第１受け渡し部１１に載置された後、速やかに検査を実行することができる。台車２は、検査部５による検査の実行中に、第２位置Ｐ２から搬送経路第１側Ｋ１の方向へ移動し、待機位置Ｐ５で停止する。この場合も、検査の実行中、台車２は、待機位置Ｐ５よりも第２位置Ｐ２の側にある状態である。

このように、台車２が待機位置Ｐ５に停止している状態、或いは待機位置Ｐ５よりも第２位置側を移動している状態で検査を行うことによって、第１位置Ｐ１に載置されている物品Ｂの底面６１が台車２によって隠れることなく、検査部５によって底面６１が適切に検査される。台車２は、検査部５による検査の完了後に第１位置Ｐ１へ移動して停止する。物品支持部３は、台車２が停止した第１位置Ｐ１において物品Ｂを支持する。その後、台車２は物品支持部３が物品Ｂを支持した状態で第１位置Ｐ１から第２位置Ｐ２へ移動する。即ち、台車２は物品Ｂを第１受け渡し部１１から第２受け渡し部１２へ搬送する（＃４，＃６）。

具体的には、検査部５による検査の結果、傷が無いと判別されると（＃３）、物品Ｂは第２受け渡し部１２へ搬送される（＃４）。そして、物品Ｂは、保管庫内搬送装置としてのスタッカークレーン９により第２受け渡し部１２から物品収納部１０１へ搬送されて、当該物品収納部１０１に収納される（＃５）。

検査部５による検査の結果、傷が有ると判別されると（＃３）、当該物品Ｂを物品保管庫１０３に収納せずに、物品保管設備１００から搬出できるようにする。例えば、物品Ｂが異常である（傷がある）と検査部５が判別した場合には（＃３）、まず、第１コンベヤ１の台車２が第１受け渡し部１１から第２受け渡し部１２へ物品を搬送する（＃６）。次に、保管庫内搬送装置としてのスタッカークレーン９が第２受け渡し部１２から第２コンベヤ７（物品入出庫部）の第４受け渡し部１４へ物品Ｂを搬送する（＃７）。そして、第２コンベヤ７は、第４受け渡し部１４から第３受け渡し部１３へ物品Ｂを搬送する。図１を参照して上述したように、マニュアル入出庫ポートとしての第３受け渡し部１３を備えた第２コンベヤ７は、地上近くに設置されており、作業者が第３受け渡し部１３から物品Ｂを取り出して、物品保管設備１００から搬出することができる。

本実施形態のように、地上の作業者の手により物品Ｂを扱うことができない高所に配置された第１コンベヤ１を、自動入出庫ポートを備えた第１物品搬送装置と称し、第１物品搬送装置（第１コンベヤ１）とは別に設けられ、物品Ｂを物品保管庫１０３の中と外との間で入出庫可能、且つ、地上の作業者の手により物品Ｂを扱うことができる低所に配置された第２コンベヤ７を、マニュアル入出庫ポートを備えた第２物品搬送装置と称してもよい。

図１０を参照して上述したように、検査部５により物品Ｂの底面６１に傷有りと判定された場合、第１コンベヤ１の第１受け渡し部１１は、高所に設けられているため、地上の作業者の手により当該物品Ｂを除外することができない。しかし、第１コンベヤ１、スタッカークレーン９、第２コンベヤ７を介して当該物品Ｂが低所に設けられた第３受け渡し部１３まで搬送されることによって、当該物品Ｂを地上の作業者の手によって保管対象から除外することができる。

また、図６、図７に示すように、検査部５は、第１受け渡し部１１と第２受け渡し部１２との間を走行する台車２の走行軌跡（搬送経路Ｋ）の延長線上に配置されている。台車２が第１位置Ｐ１に位置する場合の台車２の第１位置Ｐ１の側（搬送経路第１側Ｋ１）の端部は、図７に示す第１位置側端部Ｅである。検査部５は第１位置側端部よりも外側、即ち、搬送経路第１側Ｋ１に配置されている。このため、検査部５は、台車２の走行を妨げることなく、適切に配置される。

〔その他の実施形態〕
以下、その他の実施形態について説明する。尚、以下に説明する各実施形態の構成は、それぞれ単独で適用されるものに限られず、矛盾が生じない限り、他の実施形態の構成と組み合わせて適用することも可能である。

（１）上記においては、検査部５が搬送経路Ｋの延長線上に配置されている形態を例示した。しかし、検査部５は、第１位置Ｐ１と第２位置Ｐ２との間を走行する台車２の走行を妨げない位置であれば、搬送経路Ｋの延長線上から外れた位置に配置されていてもよい。例えば、平面視で搬送経路Ｋに隣接する位置に検査部５が配置されていてもよい。また、上下方向において搬送経路Ｋよりも下方に検査部５が配置されていてもよい。即ち、検査部５は、台車２の走行軌跡と重複しない位置に配置されていればよい。

（２）また、上記においては、第１位置Ｐ１よりも第２位置Ｐ２の側に待機位置Ｐ５が設定されている形態を例示した。しかし、上記他の実施形態（１）のような形態の場合には、待機位置Ｐ５は、第１位置Ｐ１よりも第２位置Ｐ２の側でなくてもよい。待機位置Ｐ５は、第１位置Ｐ１よりも搬送経路第１側Ｋ１に配置されていてもよい。

（３）また、上記においては、検査部５による検査の際に、台車２が待機位置Ｐ５に到達するまでは移動し、待機位置Ｐ５に到達したら停止する形態を例示した。しかし、待機位置Ｐ５は必ずしも設定されなくてもよい。この場合、検査部５による検査が実行される間、台車２は第２位置Ｐ２で停止し、或いは、検査の完了後に第１位置Ｐ１に到達するように移動するように制御されると好適である。

（４）上記においては、図１に示すように、第１コンベヤ１及び第２コンベヤ７の双方に検査部５が備えられている形態を例示した。しかし、自動入出庫ポートとしての第１受け渡し部１１を備えた第１コンベヤ１にのみ検査部５が備えられ、マニュアル入出庫ポートとしての第３受け渡し部１３を備えた第２コンベヤ７には検査部５が備えられていない形態であってもよい。

（５）上記においては、第１コンベヤ１が、物品保管庫１０３への物品Ｂの入庫と物品保管庫１０３からの物品Ｂの出庫との双方を行う形態を例示した。しかしこれに限らず、第１コンベヤ１が、物品Ｂの入庫専用のコンベヤ、或いは、物品Ｂの出庫専用のコンベヤであっても良い。この場合において、入庫専用の第１コンベヤ１とは別に出庫専用のコンベヤが配置され、或いは、出庫専用の第１コンベヤ１とは別に入庫専用のコンベヤが配置されていると好適である。このことは、第２コンベヤ７についても同様である。

（６）上記においては、第２コンベヤ７も第１コンベヤ１と同様に、台車２を備えた形態を例示して説明した。しかし、第２コンベヤ７は、第１コンベヤ１のように台車２を備えた構成でなくてもよい。例えば、第２コンベヤ７は、ローラコンベヤやベルトコンベヤであってもよい。また、その場合には、マニュアル入出庫ポートとしての第３受け渡し部１３を備えた第２コンベヤ７は、作業者が手動でコンベヤ上の物品Ｂを動かす形態であってもよい。

（７）上記においては、検査部５が画像処理によって物品Ｂの傷の有無を判別する形態を例示した。しかし、検査部５は画像処理に限らず、レーザーや超音波等を用いて傷の有無を判別してもよい。

〔実施形態の概要〕
以下、上記において説明した物品搬送車（１）及び物品保管設備（１００）の概要について簡単に説明する。

１つの態様として、第１位置に配置された第１受け渡し部と前記第１位置とは異なる第２位置に配置された第２受け渡し部との間で物品を搬送する物品搬送装置は、前記第１受け渡し部と前記第２受け渡し部との間を走行する台車と、前記台車に取り付けられて、上方に移動した突出位置で前記物品を支持した支持状態となり、下方に移動した引退位置で前記物品を支持しない非支持状態となる物品支持部と、前記物品支持部を昇降させる昇降駆動部と、前記第１受け渡し部に形成されて、前記物品支持部が挿通可能な開口部と、前記第１受け渡し部よりも下方から前記開口部を介して前記物品の底面の状態を非接触で検査する検査部とを備える。

この構成によれば、物品が第１受け渡し部に載置されている状態で、第１受け渡し部に形成された開口部を介して、物品の底面の状態を検査部により検査することができる。その結果、物品搬送装置は、物品が第１受け渡し部を経由して搬送される場合に、当該第１受け渡し部において物品の底面の状態が適切か否かを判別することができ、例えば、搬送形態を異ならせる、当該物品を除外するなどの対処が可能となる。即ち、本構成によれば、２つの受け渡し部の間で物品を搬送する場合に、搬送対象の物品の状態を検査することができる。

ここで、前記第１位置と、前記第２位置と、前記第１位置よりも前記第２位置の側の待機位置とが、前記台車の停止位置として設定され、前記物品が前記第１受け渡し部に載置された場合、前記台車が前記待機位置よりも前記第２位置側にある状態で前記検査部が検査を行い、前記台車は、前記検査部による検査の完了後に前記第１位置へ移動して停止し、前記物品支持部は前記第１位置において前記物品を支持し、前記台車は前記物品支持部が前記物品を支持した状態で前記第１位置から前記第２位置へ移動すると好適である。

この構成によれば、台車が待機位置に停止している状態、或いは待機位置よりも第２位置側を移動している状態において、第１位置に載置されている物品の底面が台車によって隠れることなく、検査部によって適切に検査することができる。また、第１位置と第２位置との間に設定されている待機位置は、第１受け渡し部と第２受け渡し部との間を走行する台車の搬送経路の途中に位置している。従って、台車を無駄に往復走行させることなく、適切に検査を行うことができる。

また、前記検査部は、前記第１受け渡し部と前記第２受け渡し部との間を走行する前記台車の走行軌跡の延長線上に配置されていると好適である。

この構成によれば、検査部が走行軌跡と重複しないので、台車の走行を妨げることなく、適切に検査部を設けることができる。また、検査部が走行軌跡の延長線上に配置されることで、台車の搬送経路に沿った端部を効率的に利用し、物品搬送装置の大型化を防ぎながら適切に検査部を配置することができる。

また、前記検査部は、前記物品の前記底面における傷の有無を画像処理によって判別する検査を行うと好適である。

画像処理では、例えば認識対象物の特徴を柔軟に設定することができる。この構成によれば、許容可能な傷の大きさや形状等を適切に設定して、物品の底面における傷の有無を判別することができる。

また、上述した何れかの物品搬送装置と、物品を収納する物品収納部を備えた物品保管庫と、前記物品保管庫の中で前記物品を搬送する保管庫内搬送装置と、前記物品搬送装置とは別に設けられ、前記物品を前記物品保管庫の中と外との間で入出庫可能な物品入出庫部とを備えた物品保管設備は、１つの態様として、前記第１受け渡し部は、前記物品保管庫の外部に配置され、前記第２受け渡し部は、前記物品保管庫の内部に配置され、前記保管庫内搬送装置は、前記第２受け渡し部、前記物品収納部、及び前記物品入出庫部のそれぞれとの間で前記物品を受け渡し可能であり、前記物品が異常であると前記検査部が判定した場合には、前記台車が前記第１受け渡し部から前記第２受け渡し部へ前記物品を搬送し、前記保管庫内搬送装置が前記第２受け渡し部から前記物品入出庫部へ前記物品を搬送する。

この構成によれば、第１受け渡し部における検査部による検査によって、物品保管庫に入庫する予定の物品に異常があると判定された場合には、当該物品を物品収納部に収納することなく、物品入出庫部を用いて当該物品を保管対象から除外することができる。

１ ：第１コンベヤ（物品搬送装置）
２ ：台車
３ ：物品支持部
４ ：昇降駆動部
５ ：検査部
１１ ：第1受け渡し部
１２ ：第2受け渡し部
２０Ｇ ：筐体開口（開口部）
４０Ｇ ：ベース板開口（開口部）
６１ ：底面
１００ ：物品保管設備
１０１ ：物品収納部
１０３ ：物品保管庫
Ｂ ：物品
Ｇ ：開口部
Ｋ ：搬送経路（走行軌跡）
Ｐ１ ：第１位置
Ｐ２ ：第２位置
Ｐ５ ：待機位置
Ｔ１ ：突出位置
Ｔ２ ：引退位置

Claims (5)

1. 第１位置に配置された第１受け渡し部と前記第１位置とは異なる第２位置に配置された第２受け渡し部との間で物品を搬送する物品搬送装置であって、
   前記第１受け渡し部と前記第２受け渡し部との間を走行する台車と、
   前記台車に取り付けられて、上方に移動した突出位置で前記物品を支持した支持状態となり、下方に移動した引退位置で前記物品を支持しない非支持状態となる物品支持部と、
   前記物品支持部を昇降させる昇降駆動部と、
   前記第１受け渡し部に形成されて、前記物品支持部が挿通可能な開口部と、
   前記第１受け渡し部よりも下方から前記開口部を介して前記物品の底面の状態を非接触で検査する検査部と、を備える、物品搬送装置。
2. 前記第１位置と、前記第２位置と、前記第１位置よりも前記第２位置の側の待機位置とが、前記台車の停止位置として設定され、
   前記物品が前記第１受け渡し部に載置された場合、前記台車が前記待機位置よりも前記第２位置側にある状態で前記検査部が検査を行い、前記台車は、前記検査部による検査の完了後に前記第１位置へ移動して停止し、前記物品支持部は前記第１位置において前記物品を支持し、前記台車は前記物品支持部が前記物品を支持した状態で前記第１位置から前記第２位置へ移動する、請求項１に記載の物品搬送装置。
3. 前記検査部は、前記第１受け渡し部と前記第２受け渡し部との間を走行する前記台車の走行軌跡の延長線上に配置されている、請求項１又は２に記載の物品搬送装置。
4. 前記検査部は、前記物品の前記底面における傷の有無を画像処理によって判別する検査を行う、請求項１から３の何れか一項に記載の物品搬送装置。
5. 請求項１から４の何れか一項に記載の物品搬送装置と、
   物品を収納する物品収納部を備えた物品保管庫と、
   前記物品保管庫の中で前記物品を搬送する保管庫内搬送装置と、
   前記物品搬送装置とは別に設けられ、前記物品を前記物品保管庫の中と外との間で入出庫可能な物品入出庫部と、を備えた物品保管設備であって、
   前記第１受け渡し部は、前記物品保管庫の外部に配置され、
   前記第２受け渡し部は、前記物品保管庫の内部に配置され、
   前記保管庫内搬送装置は、前記第２受け渡し部、前記物品収納部、及び前記物品入出庫部のそれぞれとの間で前記物品を受け渡し可能であり、
   前記物品が異常であると前記検査部が判定した場合には、前記台車が前記第１受け渡し部から前記第２受け渡し部へ前記物品を搬送し、前記保管庫内搬送装置が前記第２受け渡し部から前記物品入出庫部へ前記物品を搬送する、物品保管設備。

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