JP2008197705A - 搬送台車、停止位置判定方法およびプログラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】軌道を走行して停止し、被搬送物を支給する、または被搬送物を引き取るOHT搬送台車1において、基準画像記憶部は基準画像を記憶する。バーコード検出部33は、レール10に付されたバーコード25を検出する。走行距離測定部は、バーコード25からの走行距離を測定する。走行指示部は、走行距離が予め決められた距離となったときに、当該OHT搬送台車1を停止させる。CCDカメラ2は、OHT搬送台車1が停止したときに、レール10を含む画像を撮像する。停止位置判定部は、基準画像記憶部から読み出した基準画像とCCDカメラ2が撮像した画像とを比較し、これらの差異が基準値の範囲内であれば、目標停止位置に停止したと判定する。
【選択図】図1
Description
バーコードからポートまでの位置合わせ情報をOHT搬送台車101に事前に登録させる作業を一般にテーチング作業と言うが、テーチング作業はマニュアル操作で実施されることが多く、特許文献1のように、一部自動化する技術も開示されている。
また、特許文献2では、床面上を走行し、床面上に設置された目印を検出する搬送台車が記載されている。
また、OHT搬送台車1の走行部はレール10の内側上面に設置される永久磁石とリニアモータを形成する1次側鉄心コイル12、1次側電源供給線14から非接触で電力を受ける2次側鉄心13、レール10の内側両側面に設けられた分岐ガイド15に沿い、分岐部において分岐動作を行う分岐ローラ16、レール10の内側両側面にならい、ガイドするガイドローラ18、および走行輪17を具備する。またOHT搬送台車1の走行部には本願発明に係るCCDカメラ2と照明8が設けられ、レール内面を撮影し、後述する画像処理により、ポートに於けるOHT搬送台車1の停止位置決めを行う。
図1においてOHT搬送台車1は懸垂ベルト20を繰出し伸張させ、FOUP30を半導体製造装置5のポート24に載置動作中である。
CCDカメラ2は慣用されるCCDカメラであれば十分であるが、照明8の設置は必須要件ではなく、設置する場合はレール10の内部の凹凸による紋様の発見が容易となるランプを用い、CCDカメラ2の撮像対象に光を照射する位置に設置する。
なお、上述の操作手段をOHT搬送台車1ではなくMCS46に設け、操作手段が受け付けた操作指示をMCS46がOHT搬送台車1に送信し、この操作指示を通信部45を介して撮像部53が取得するようにしてもよい。
また、本実施形態では、CCDカメラ2はOHT搬送台車1の進行方向に対して垂直な方向を撮像するとして説明したが、撮像する向きは固定でなく、停止位置毎に軌道に対する角度を変更する、或いは、角度を変えて複数枚撮像してもよい。
また、撮像部53が生成し、停止位置判定部56が判定に用いる画像は、明度の2値化画像ではなく、R(赤),G(緑),B(青)データ、或いは、C(シアン),M(マゼンタ),Y(イエロー)データ、或いは、明度、色相、彩度などの画像であってもよいし、これらのうちのいずれかの2値化画像であってもよい。
また、照明8を設置する場合、複数個の設置であってもよく、単色光の光源を用いる、あるいは、単色光を照射するように光源と光学フィルターとを組合わせたものを用いるようにしてもよい。これにより、外乱光の干渉を抑制し、レール10内部の加工時などに生じた凹凸による紋様などが画像に含まれ易くなるという効果および撮像の度に異なる画像となることを抑制することができるという効果が得られる。
また、走行情報記憶部43に閾値を各停止位置に対応付けて記憶しておき、撮像した画像の明度について撮像部53が2値化する際の閾値を、この記憶している閾値を用いることで、停止位置毎に異なる閾値となるようにしてもよい。
また、マークが不要であるので、任意の場所をポートに指定でき、特別なテーチング作業が不要であるのでポートの設定、およびポートの位置変更が容易である。特にOHBなどを用いており、ポート数が多いシステムや、ポート変更の起こり易いシステムでは、ポート設定、ポート位置修正、ポート位変更に要する工数の節減効果が大きい。
また、CCDカメラ2は、レール10内部を撮像するように設置されているので、外乱光の影響を受け難く、一定の条件で撮像することができる。このため、撮像する度に異なる画像となり、停止位置を判定できないといった現象を抑えることができる。
また、「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、フレキシブルディスク、光磁気ディスク、ROM、CD−ROM等の可搬媒体、コンピュータシステムに内蔵されるハードディスク等の記憶装置のことをいう。さらに「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、インターネット等のネットワークや電話回線等の通信回線を介してプログラムを送信する場合の通信線のように、短時間の間、動的にプログラムを保持するもの、その場合のサーバやクライアントとなるコンピュータシステム内部の揮発性メモリのように、一定時間プログラムを保持しているものも含むものとする。また上記プログラムは、前述した機能の一部を実現するためのものであっても良く、さらに前述した機能をコンピュータシステムにすでに記録されているプログラムとの組み合わせで実現できるものであっても良い。
2…CCDカメラ
5…半導体製造装置
8…照明
10…レール
12…1次側鉄心コイル
13…2次側鉄心
14…1次側電源供給線
15…分岐ガイド
16…分岐ローラ
17…走行輪
18…ガイドローラ
19…懸垂機構
20…懸垂ベルト
21…昇降体
22…グリッパ
24…ポート
25…バーコード
26…天井
27…吊り部材
30…FOUP
31…フランジ
32…走行駆動機構
33…バーコードリーダ
34…走行距離センサ
36…入出力部
37…走行制御部
38…CPU
40…コンピュータ部
41…RAM
42…ROM
43…走行情報記憶部
44…基準画像記憶部
45…通信部
46…MCS
51…命令受信部
52…バーコード検出部
53…撮像部
54…走行指示部
55…走行距離測定部
56…停止位置判定部
101…OHT搬送台車
103…工程間軌道
104…工程内軌道
105…半導体製造装置
106…ストッカ
107…分岐軌道
108…OHB
109…搬送システム
123、124…ポート
130…FOUP
Claims (6)
- 軌道を走行して停止し、被搬送物を支給する、または被搬送物を引き取る搬送台車において、
基準画像を記憶する画像記憶手段と、
前記軌道に付されたマークを検出するマーク検出手段と、
前記マークからの走行距離を測定する走行距離測定手段と、
前記走行距離測定手段が測定した走行距離が予め決められた距離となったときに、当該搬送台車を停止させる走行指示手段と、
停止したときに、前記軌道を含む画像を撮像する撮像手段と、
前記画像記憶手段から読み出した基準画像と前記撮像手段が撮像した画像とを比較し、これらの差異が基準値の範囲内であれば、目標停止位置に停止したと判定する停止位置判定手段と
を具備することを特徴とする搬送台車。 - 前記走行距離測定手段は、エンコーダであることを特徴とする請求項1に記載の搬送台車。
- 前記撮像手段は、前記撮像した画像について、明度について2値化を行った画像を生成することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の搬送台車。
- 前記撮像手段は、当該搬送台車の進行方向に対して鉛直な方向を撮像するように設置され、
前記停止位置判定手段は、前記画像記憶手段から読み出した基準画像と前記撮像手段が撮像した画像との差異として、前記基準画像もしくは前記撮像した画像を進行方向に動かしたときに、これらの画像が一致するまでの移動量を検出し、該移動量が所定の範囲内であるときは、所定の停止位置に停止したと判定すること
を特徴とする請求項1から請求項3のいずれかの項に記載の搬送台車。 - 軌道を走行して停止し、被搬送物を支給する、または被搬送物を引き取る搬送台車における停止位置判定方法において、
前記搬送台車が、前記軌道に付されたマークを検出する第1の過程と、
前記搬送台車が、前記マークからの走行距離を測定する第2の過程と、
前記搬送台車が、前記第2の過程にて測定した走行距離が予め決められた距離となったときに、当該搬送台車を停止させる第3の過程と、
前記搬送台車が、当該搬送台車が停止したときに、前記軌道を含む画像を撮像する第4の過程と、
前記搬送台車が、画像記憶手段から読み出した基準画像と前記第4の過程にて撮像した画像とを比較し、これらの差異が基準値の範囲内であれば、目標停止位置に停止したと判定する第5の過程と
を具備することを特徴とする停止位置判定方法。 - 軌道を走行して停止し、被搬送物を支給する、または被搬送物を引き取る搬送台車が具備するコンピュータを、
前記軌道に付されたマークを検出するマーク検出手段、
前記マークからの走行距離を測定する走行距離測定手段、
前記走行距離測定手段が測定した走行距離が予め決められた距離となったときに、当該搬送台車を停止させる走行指示手段、
停止したときに、前記軌道を含む画像を撮像させる撮像手段、
画像記憶手段から読み出した基準画像と前記撮像手段が撮像させた画像とを比較し、これらの差異が基準値の範囲内であれば、目標停止位置に停止したと判定する停止位置判定手段
として機能させるプログラム。
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