CN108116432A - 轨道系统的监控车 - Google Patents
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Abstract
一种用于轨道系统的监控车，包含轮式推车、架空车身、至少一支撑结构与至少一第一感应器。轮式推车可操作以于轨道系统的至少一轨道上移动。支撑结构连接轮式推车与架空车身。第一感应器设置于轮式推车，并配置以侦测轨道系统的轨道的至少一第一参数。
Description
技术领域
本发明实施例是关于一种用于轨道系统的监控车。
背景技术
半导体行业经历了指数式的增长，而集成电路(Integrated Circuits；ICs)被用于各种应用中，例如记忆体，中央处理器(Central Processing Unit；CPU)，液晶显示(Liquid Crystal Display；LCD)装置，发光二极管(Light Emitting Diode；LED)，激光二极管，或微芯片。在半导体集成电路的制造过程中，半导体晶圆在不同的处理设备下进行多个处理步骤。例如，为了完成IC芯片的制造，通常在不同的处理设备中进行沉积，清洁，离子注入，蚀刻和/或钝化步骤等各种步骤。因此，制造设备通常包括例如自动化材料处理系统(Automated Material Handling System；AMHS)的轨道系统，以于处理设备之间传送半导体晶圆。
发明内容
根据本发明的多个实施例，一种用于轨道系统的监控车包含轮式推车、架空车身、至少一支撑结构与至少一第一感应器。轮式推车可操作以于轨道系统的至少一轨道上移动。支撑结构连接轮式推车与架空车身。第一感应器设置于轮式推车，并配置以侦测轨道系统的轨道的至少一第一参数。
附图说明
图1绘示依照本发明多个实施例的轨道系统内的监控车的上视图；
图2绘示依照本发明多个实施例的轨道系统内的监控车的剖面图；
图3绘示依照本发明多个实施例的轨道系统内的监控车的另一剖面图；
图4绘示依照本发明多个实施例用于轨道系统的监控车的方块图；
图5绘示依照本发明多个实施例监控轨道系统的方法的流程图。
具体实施方式
以下揭示内容提供许多不同实施例或实例，以便实施所提供标的的不同特征。下文描述组件及排列的特定实例以简化本揭露。当然，这些实例仅为示例且并不意欲为限制性。举例来说，以下描述中在第二特征上方或第二特征上形成第一特征可包括以直接接触形成第一特征及第二特征的实施例，且亦可包括可在第一特征与第二特征之间形成额外特征以使得第一特征及第二特征可不处于直接接触的实施例。另外，本揭露可在各实例中重复元件符号及/或字母。此重复是出于简明性及清晰的目的，且本身并不指示所论述的各实施例及/或配置之间的关系。
进一步地，为了便于描述，本文可使用空间相对性术语(诸如“之下”、“下方”、“下部”、“上方”、“上部”及类似者)来描述诸图中所绘示一个元件或特征与另一元件(或多个元件)或特征(或多个特征)的关系。除了诸图所描绘的定向外，空间相对性术语意欲包含使用或操作中装置的不同定向。设备可经其他方式定向(旋转90度或处于其他定向)，因此可同样解读本文所使用的空间相对性描述词。
在制造设备中，轨道系统的异常，例如异常的振动、温度、粒子、轨道高度差或轨道系统的光信号，可能会增加在晶圆上形成意外损伤、粒子或特征的风险，及/或减低制造过程的生产效率。因此，侦测或监控轨道系统的一个或多个轨道的一个或多个参数，可避免运输半导体晶圆时的运输异常。
请参照图1～图2。图1绘示依照本发明多个实施例的轨道系统内的监控车的上视图。图2绘示依照本发明多个实施例的轨道系统内的监控车的剖面图。在一些实施例中，监控车包含轮式推车10、检查装置50、架空车身80以及至少一支撑结构S。轮式推车10可操作以于轨道系统60的一个或多个轨道610上沿预定路线移动。支撑结构S连接轮式推车10以及架空车身80。检查装置50包含至少一设置于轮式推车10以侦测轨道系统60的轨道610的至少一参数的感应器。因此，监控车可被稳定地于轨道610上移动。当监控车移动时，设置于轮式推车10的检查装置50的感应器可随监控车以自由移动的方式被移动。如此一来，检查装置50可以侦测轨道系统60的轨道610沿预定路线的参数。
在一些实施例中，轮式推车10可移动地耦合安装于天花板的轨道系统60的轨道610。具体而言，轨道系统60包含一对轨道610，轨道610沿轨道610的排列方向D1彼此相距，排列方向D1垂直于轨道610的长度方向D2，而轨道610的剖面如图2所示实质上为C形架构。轮式推车10可被轨道系统60的轨道610所支撑，以让监控车于轨道系统60沿轨道610的长度方向D2行驶。在一些实施例中，轮式推车10包含至少一主体100、驱动器200、至少一对辅助导引轮300以及至少一对导引轮400。主体100包含底表面110、一对第一侧壁120以及一对第二侧壁130。底表面110、第一侧壁120以及对第二侧壁130定义容置空间SP。容置空间SP可容置电子装置，例如启动器、电路板、控制器或其他适合操作监控车的装置。驱动器200设置于主体100的容置空间SP，而驱动器200配置以驱动轮式推车10沿轨道610移动。举例而言，驱动器200可以但不受限为，引擎、马达、电磁线圈或其他适合的装置。在一些实施例中，举例而言，如图3所示，轮式推车10包含两个主体100、两对导引轮400以及四对辅助导引轮300。其中一个主体100沿轨道610的长度方向D2位于另一个主体100的后方，而每个主体100具有一对导引轮400以及两对辅助导引轮300。
在一些实施例中，导引轮400分别设置于主体100的相对两侧，例如于相对的第一侧壁120上。导引轮400可转动地轴颈连接于支撑轴402，并接触于轨道610的上表面614。导引轮400可以但不受限为，滚轮、轮子或其他适合的装置。换句话说，导引轮400以支撑轴402连接于主体100，支撑轴402具有第一轴向D4，第一轴向D4实质上平行于轨道610的上表面614。因此，当监控车被放置于轨道610之上时，导引轮400可分别于轨道系统60的左轨道610及右轨道610的上表面614滚动。
在一些实施例中，辅助导引轮300分别设置于主体100的底表面110的左部分及右部分。辅助导引轮300于C形轨道610的限制下行驶，并接触于轨道610的内表面612，且在导引轮400的合作下以导引的形式接合内表面612，以使主体100在行驶时的水平振动可以避免，也使得监控车的行驶可以进行得更稳定及更快速。辅助导引轮300可以但不受限为，滚轮、轮子或其他适合的装置。具体而言，辅助导引轮300以支撑轴302连接于主体100，支撑轴302具有第二轴向D3，第二轴向D3实质上平行于轨道610的内表面612。因此，当监控车被放置于轨道610之上时，辅助导引轮300可分别于轨道系统60的左轨道610及右轨道610的内表面612滚动。
在一些实施例中，如图2～图3所示，支撑结构S延伸至低于轮式推车10的底部。具体而言，支撑结构S从主体100的底表面110向下延伸至架空车身80的上表面810。换句话说，支撑结构S具有上端S1以及下端S2，上端S1连接主体100的底表面110，而下端S2连接架空车身80的上表面810。架空车身80从支撑结构S的下端S2朝侧向延伸，也就是说，架空车身80被支撑结构S连接至主体100。
在一些实施例中，架空车身80可被设计以容置但不受限为，例如前开门晶圆盒系统(Front Open Unified Pods；FOUPs)、晶圆载体、卡带、标线架或其他适合的物件。当监控车被放置于轨道系统60之上时，支撑结构S可被放置于轨道610之间的间隙G，而架空车身80可被放置于轨道610之下。
在一些实施例中，如图2所示，监控车更可包含控制器700。控制器700通讯上耦合(或电性耦合)检查装置50。控制器700配置以驱动检查装置50。检查装置50包含至少一热能感应器510。热能感应器510设置于主体100的底表面110，而架空车身80位于热能感应器510之下。热能感应器510配置以侦测围绕轨道610的温度。具体而言，热能感应器510配置以侦测电源线650的温度，如下所述。
在一些实施例中，每个轨道610可包含上部616以及下部618。上部616以及下部618一体地彼此连接，下部618位于上部616之下。下部618还包含凸出部620，凸出部620自下部618沿轨道610的排列方向D1延伸。电源线650嵌入于凸出部620内，并沿轨道610的长度方向D2延伸以提供电力。电源线650配置以让交流电流通，以给监控车提供磁场。具体而言，架空车身80被电源线650提供驱动电源，以使架空车身80可与轮式推车10沿预定路线移动。热能感应器510配置以非接触的方式侦测电源线650的温度。设置于轮式推车10的热能感应器510配置以接收于凸出部620内的电源线650所传递的热能。举例而言，在一些实施例中，热能感应器510可以为非接触温度敏感元件，例如红外线感应器、半导体温度敏感元件，例如热电偶或热电堆、不同金属的电线或其他适合的部件。当监控车被放置于轨道系统60之上时，热能感应器510可随主体100以自由移动的方式被移动，从而侦测电源线650沿预定路线的温度。
请参照图2～图3。在一些实施例中，检查装置50包含影像感应器550。影像感应器550具有覆盖轮式推车10之外的视野。影像感应器550配置以捕捉轨道610的影像。因此，影像感应器550的视野重叠轨道610的至少一部分，例如上表面614、内表面612、轨道610的凸出部620或以上的任意组合。具体而言，影像感应器550设置于主体100高于辅助导引轮300的第二侧壁130。举例而言，如图3所示，影像感应器550可以连接件106安装至主体100，而影像感应器550的视野可以重叠轨道610的至少一部分。通过轨道610被影像感应器550捕捉的影像，监控车可监控轨道610沿预定路线的状况，例如清洁度。在一些实施例中，影像感应器550可以是，例如照相机、电荷耦合元件(Charge-coupled Device；CCD)、主动像素感应器(Active-pixel sensor；APS)或其他适合的装置。
请参照图2～图3。在一些实施例中，检查装置50包含第一测距仪542以及第二测距仪544。第一测距仪542以及第二测距仪544设置于主体100的第二侧壁130。在一些实施例中，第一测距仪542以及第二测距仪544设置于第二侧壁130的位置，不同于影像感应器550设置于第二侧壁130的位置。具体而言，第一测距仪542以及第二测距仪544沿轨道610的长度方向D2设置于影像感应器550之后，以避免第一测距仪542以及第二测距仪544干扰到影像感应器550的视野。举例而言，影像感应器550与第一及第二测距仪542、544分别设置于相同主体100的前及后侧壁130。或者，影像感应器550与第一及第二测距仪542、544分别设置于不同主体100的前及后侧壁130。第一测距仪542与第二测距仪544沿轨道610的长度方向D2彼此相距。换句话说，第一测距仪542以及第二测距仪544沿轮式推车10的移动方向(亦即轨道610的长度方向D2)排列，第一测距仪542以及第二测距仪544配置以侦测第一测距仪542以及第二测距仪544相距轨道610的距离。举例而言，第一测距仪542以及第二测距仪544可以发出光线，例如雷射光束，以判断第一测距仪542以及第二测距仪544相距轨道610的距离。
在一些实施例中，举例而言，第一测距仪542以及第二测距仪544以一距离相距。第一测距仪542可包含第一发光单元及第一光接收单元(图未示)，第一发光单元可朝轨道610的第一部分的上表面614射出第一光线，而抵达上表面614的第一光线可被上表面614的第一部分反射，以朝第一测距仪542传播。然后，被反射的第一光线可在第一时段后被第一光接收单元接收。通过分析第一时段，第一测距仪542可获得第一测距仪542至上表面614的第一部分的第一距离，从而获得上表面614的第一部分的第一高度。相似地，第二测距仪544可包含第二发光单元及第二光接收单元(图未示)，第二发光单元可朝轨道610的第二部分的上表面614射出第二光线，而抵达上表面614的第二光线可被上表面614的第二部分反射，以朝第二测距仪542传播。然后，被反射的第二光线可在第二时段后被第二光接收单元接收。通过分析第二时段，第二测距仪544可获得第二测距仪544至上表面614的第二部分的第二距离，从而获得上表面614的第二部分的第二高度。通过第一测距仪542以及第二测距仪544上述的配置，可获得轨道610的上表面614不同部分之间的高度差，从而可侦测轨道610沿预定路线的高度差。在其他实施例中，第一测距仪542以及第二测距仪544可以但不受限为，雷射测距仪或其他适合的距离测量设备(Distance Measuring Equipment；DME)。
在一些实施例中，如图2所示，电源线650分别嵌入于轨道610内。监控车包含近接感应器560，近接感应器560设置于架空车身80的上表面810，而近接感应器560面向轨道610的底侧。近接感应器560配置以侦测嵌入于轨道610内的电源线650之间的距离。举例而言，两条电源线650沿轨道610的排列方向D1彼此相距，而近接感应器560可以电磁感应的方式侦测这对电源线650之间的距离。换句话说，近接感应器560可在不产生任何物理接触的情况下侦测电源线650的存在。举例而言，近接感应器560可产生电磁场，或是朝向电源线650发出电磁辐射(例如红外线)的光束，继而侦测电磁场或电磁辐射光束的变化。因此，近接感应器560可获得这对电源线650的位置，以获得轨道变形的参数。在一些实施例中，举例而言，近接感应器560可以但不受限为，感应式近接感应器或其他适合的装置。在一些实施例中，举例而言，近接感应器560可包含但不受限为，电容、光电感应器或其他适合的部件。
在一些实施例中，如图2～图3所示，监控车包含光强度感应器520，光强度感应器520设置于架空车身80的上表面810，而光强度感应器520具有光接收单元522，光接收单元522面向轨道610的底侧。光强度感应器520通讯上耦合控制器700。光强度感应器520配置以侦测源自定位标签104沿预定路线的光信号的光强度。具体而言，定位标签104设置于轨道610的下部618的预定位置，而定位标签104配置以发送轨道系统60的轨道610的位置资讯的光信号。光接收单元522面向定位标签104以接收源自定位标签104的光信号，并侦测光信号的光强度。在一些实施例中，光强度感应器520可以但不受限为，例如光电晶体管、光电二极管、光纤压力感应器的光感装置或其他适合的部件。通过侦测源自定位标签104的光信号的光强度，监控车可侦测位标签104的光源是否在退化中。
在一些实施例中，如图2～图3所示，监控车还包含振动感应器530，振动感应器530设置于架空车身80。振动感应器530通讯上耦合控制器700。振动感应器530配置以把架空车身80沿预定路线上的振动转化为电信号。换句话说，振动感应器530是设置于架空车身80，以模拟当监控车在轨道610上移动时架空车身80内物件(例如晶圆)的状况。在一些实施例中，振动感应器530可以是，例如，微机械式冲击装置、压电装置或其他适合的装置。在其他实施例中，振动感应器530可包含加速度计、位移感应器、速度感应器或类似的装置，以侦测架空车身80的任何振动。
请参照图4。图4绘示依照本发明多个实施例用于轨道系统的监控车1的方块图。在一些实施例中，监控车1包含储存模块910以及警报系统930。储存模块910通讯上耦合控制器700，并配置以记录轨道系统60的一个或多个轨道610所侦测到的参数，例如轨道温度、轨道影像、轨道的高度差、源自轨道系统60的光信号的光强度、架空车身80的振动、轨道变形、以上的任意组合或类似的状况。警报系统930通讯上耦合储存模块910以及控制器700。警报系统930配置以根据所侦测到轨道610的参数，判断轨道系统60是否异常。具体而言，警报系统930可包含轨道参数的数据库，而轨道参数的数据库可记录标准的轨道参数。当记录于储存模块910所侦测到的参数落在轨道610标准参数的范围外，警报系统930可判断轨道系统60为异常。在一些实施例中，举例而言，储存模块910以及警报系统930可以电子装置的计算机程序来执行，并记录于记录装置。记录装置可包含非瞬态计算机可读取记录媒介或其他具有记录功能的装置。计算机程序可包含但不受限为，一些可被中央处理单元执行的程序指引，以执行模块以及系统分别的功能。
在一些实施例中，举例而言，轨道系统可以但不受限为，例如为架空起重传输系统(Overhead Hoist Transport System；OHTS)的自动化材料处理系统(Automated MaterialHandling System；AMHS)。在一些实施例中，监控车1可被结合至材料控制系统(MaterialControl System；MCS)2，以防止监控车1与轨道610上的其他车子相撞。换句话说，监控车1的控制器700通讯上耦合材料控制系统2。材料控制系统2可连接一些主计算机，而每个主计算机连接一个或多个设备。主计算机可具有设备自动化程序(Equipment AutomationProgram；EAP)，以向设备、其他车子以及监控车1发送信号及下达操作指示。
在一些实施例中，控制器700可包含路线判断单元720。具体而言，路线判断单元720可被结合至监控车1的控制器700，以提供驱动驱动器200的指示，使得轮式推车10被驱动器200沿预定路线移动。在一些实施例中，举例而言，路线判断单元720可被编写一个或多个预定路线，而每个预定路线可对应不同的持续时间。举例而言，第一路线对应第一持续时间，而第二路线对应不同于第一持续时间的第二持续时间。在一些实施例中，监控车1的控制器700通讯上耦合制造执行系统3，而路线判断单元720可根据制造执行系统3指示监控车1。制造执行系统3可具有但不受限为，物件运输路线的计划单元、物件运输路线的优化单元或物件运输路线的再编码单元。
请参照图5。图5绘示依照本发明多个实施例监控轨道系统60的方法的流程图。在一些实施例中，监控轨道系统的方法包含以下步骤。在步骤S610中，轮式推车10于轨道系统60的轨道610上被操作。在步骤S620中，一个或多个轨道610的一些第一参数被设置于轮式推车10上的一些第一感应器侦测。举例而言，第一感应器可包含热能感应器510、第一测距仪542、第二测距仪544、影像感应器550或以上的任意组合，如上文所述。一个或多个轨道610的一些第二参数被设置于架空车身80上的一些第二感应器侦测。举例而言，第二感应器可包含光强度感应器520、振动感应器530、近接感应器560或以上的任意组合，如上文所述。
在步骤630中，一个或多个轨道610所侦测到的第一及第二参数被记录于储存模块910中。在步骤640中，轨道系统60可根据所侦测到的第一及/或第二参数判断为正常或异常。通过侦测或监控一个或多个轨道610的第一及/或第二参数，轨道系统60可防止运输物件(例如半导体晶圆)时产生运输异常，从而减低在晶圆上形成意外损伤、粒子或特征的风险，并可增加制造过程的生产效率。
在一些实施例中，轨道系统的检查还包含以下步骤。监控装置可移动地沿预定路线耦合轨道610，嵌入轨道610的电源线650的温度被热能感应器510侦测，源自定位标签104的光信号的光强度被光强度感应器520侦测，架空车身80的振动被振动感应器530量度，轨道610不同段位的高度差可被第一测距仪542、第二测距仪544量度，轨道610的影像被影像感应器550捕捉，而一对电源线650之间的距离被近接感应器560侦测。
根据本发明的多个实施例，检查装置包含至少一感应器，感应器设置于轮式推车，以侦测轨道系统的轨道的至少一参数，而轮式推车可操作以于轨道系统的一个或多个轨道上移动。因此，当监控车移动时，轮式推车上的检查装置的感应器会随监控车移动，以侦测轨道系统沿移动路线的相关参数。通过侦测轨道系统相关的参数，轨道系统可减低在物件上形成意外损伤、粒子或特征的风险，并可增加制造过程的生产效率。
根据本发明的多个实施例，一种用于轨道系统的监控车包含轮式推车、架空车身、至少一支撑结构与至少一第一感应器。轮式推车可操作以于轨道系统的至少一轨道上移动。支撑结构连接轮式推车与架空车身。第一感应器设置于轮式推车，并配置以侦测轨道系统的轨道的至少一第一参数。
在本发明多个实施例中，上述的第一感应器为热能感应器。
在本发明多个实施例中，上述的架空车身位于热能感应器之下。
在本发明多个实施例中，上述的第一感应器为影像感应器。
在本发明多个实施例中，上述的第一感应器包含第一测距仪以及第二测距仪，第一测距仪与第二测距仪设置于轮式推车，第一测距仪与第二测距仪沿轮式推车的移动方向彼此相距。
在本发明多个实施例中，上述的监控车还包含至少一第二感应器。第二感应器设置于架空车身，并配置以侦测轨道系统的轨道的至少一第二参数。
在本发明多个实施例中，上述的第二感应器为光强度感应器，光强度感应器面向轮式推车。
在本发明多个实施例中，上述的第二感应器为振动感应器。
在本发明多个实施例中，上述的第二感应器为近接感应器。
在本发明多个实施例中，上述的监控车还包含储存模块。储存模块配置以记录轨道系统的轨道的第一参数。
在本发明多个实施例中，上述的监控车还包含警报系统。警报系统通讯上耦合储存模块，其中警报系统配置以根据轨道系统的轨道的第一参数判断轨道系统是否异常。
根据本发明的多个实施例，一种用于轨道系统的监控车包含轮式推车、架空车身、至少一支撑结构与至少一感应器。轮式推车可操作以于轨道系统的至少一轨道上移动。支撑结构连接轮式推车与架空车身。感应器设置于架空车身，并配置以侦测轨道系统的轨道的至少一第一参数。
在本发明多个实施例中，上述的感应器为光强度感应器，光强度感应器面向轮式推车。
在本发明多个实施例中，上述的感应器为振动感应器。
在本发明多个实施例中，上述的感应器为近接感应器。
根据本发明的多个实施例，一种监控轨道系统的方法包含移动轮式推车于轨道系统的至少一轨道上，以使悬挂于轮式推车的架空车身沿低于轨道的路线移动；以设置于轮式推车的第一感应器侦测轨道系统的轨道的第一参数；记录轨道系统的轨道的第一参数于储存模块；以及根据轨道系统的轨道的第一参数判断轨道系统是否异常。
在本发明多个实施例中，上述的侦测第一参数包含侦测轨道的轨道温度。
在本发明多个实施例中，上述的方法，还包含以设置于架空车身的第二感应器侦测轨道系统的轨道的第二参数。
在本发明多个实施例中，上述的侦测第二参数包含侦测源自轨道的光信号的光强度。
在本发明多个实施例中，上述的侦测第二参数包含侦测源自轨道的光信号的光强度。
尽管参看本揭露的某些实施例已相当详细地描述了本揭露，但其他实施例是可能的。因此，所附权利要求书的精神及范畴不应受限于本文所含实施例的描述。
将对熟悉此项技术者显而易见的是，可在不脱离本揭露的范畴或精神的情况下对本揭露的结构实行各种修改及变化。鉴于上述，本揭露意欲涵盖本揭露的修改及变化，前提是这些修改及变化属于以下权利要求书的范畴内。
上文概述若干实施例的特征，使得熟悉此项技术者可更好地理解本揭露的态样。熟悉此项技术者应了解，可轻易使用本揭露作为设计或修改其他制程及结构的基础，以便实施本文所介绍的实施例的相同目的及/或实现相同优势。熟悉此项技术者亦应认识到，此类等效结构并未脱离本揭露的精神及范畴，且可在不脱离本揭露的精神及范畴的情况下产生本文的各种变化、替代及更改。
Claims (1)
1.一种用于轨道系统的监控车，其特征在于，包含：
一轮式推车，可操作以于该轨道系统的至少一轨道上移动；
一架空车身；
至少一支撑结构，连接该轮式推车以及该架空车身；以及
至少一第一感应器，设置于该轮式推车，并配置以侦测该轨道系统的该轨道的至少一第一参数。
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110836909A (zh) * | 2018-08-17 | 2020-02-25 | 波音公司 | 用于组合式复合结构的红外热成像检查系统和方法 |
Families Citing this family (6)
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|---|---|---|---|---|
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| CN113386804B (zh) * | 2021-06-25 | 2022-04-29 | 中铁第四勘察设计院集团有限公司 | 轨道交通基础设施动静一体化检测机器人及其作业方法 |
| GB2623532A (en) * | 2022-10-18 | 2024-04-24 | Ocado Innovation Ltd | Method and system for detecting track defects |
| CN117952523B (zh) * | 2024-03-27 | 2024-06-04 | 成都思越智能装备股份有限公司 | 立体仓储库小车监测预警方法、装置、设备及存储介质 |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10569792B2 (en) * | 2006-03-20 | 2020-02-25 | General Electric Company | Vehicle control system and method |
| US8942426B2 (en) * | 2006-03-02 | 2015-01-27 | Michael Bar-Am | On-train rail track monitoring system |
| US9802631B2 (en) * | 2012-11-21 | 2017-10-31 | General Electric Company | Route examining system |
| KR101590157B1 (ko) * | 2015-04-30 | 2016-02-01 | 한국철도기술연구원 | 현방식의 트롤리형 궤도틀림 검측 장비 |
| US10286930B2 (en) * | 2015-06-16 | 2019-05-14 | The Johns Hopkins University | Instrumented rail system |
| GB2542115B (en) * | 2015-09-03 | 2017-11-15 | Rail Vision Europe Ltd | Rail track asset survey system |
| US10518791B2 (en) * | 2015-10-20 | 2019-12-31 | Sameer Singh | Integrated rail and track condition monitoring system with imaging and inertial sensors |
| US10029708B2 (en) * | 2016-04-20 | 2018-07-24 | Gary Viviani | Autonomous railroad monitoring and inspection device |
| US20180222504A1 (en) * | 2017-02-08 | 2018-08-09 | Intel Corporation | Location based railway anomaly detection |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110836909A (zh) * | 2018-08-17 | 2020-02-25 | 波音公司 | 用于组合式复合结构的红外热成像检查系统和方法 |
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