TWI485539B - 移行台車系統及其本身診斷方法 - Google Patents

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Description

移行台車系統及其本身診斷方法
本發明係關於一種移行台車系統之本身診斷。
半導體工廠等中，使用有利用高架移行車等移行台車搬送FOUP(Front Opening Unified Pod，晶圓傳送盒)等物品之系統。此種系統中，要求系統整體確保較高之運轉率，並且需要預防保全不僅單純地搬送物品、並且構成系統之移行台車、及移行導軌等地上側設備。再者，本說明書中，將移行導軌、非接觸供電線等移行導軌之附帶設備、載入埠(load port)、物品之臨時放置用緩衝區等地上側設備稱作移行台車系統之“基礎部件”。
再者，關於移行台車系統之本身診斷，專利文獻1(JP4117625C)中有如下揭示：自移行台車將異常振動之產生等彙報給系統控制器，
‧若其他移行台車亦於移行導軌上之相同位置上再現異常，則判斷為基礎部件側之異常
‧若相同移行台車上之其他位置上亦再現異常，則判斷為移行台車側之異常。發明者對於能夠進一步切實地對系統之狀態進行本身診斷、且進行維護以便於預防而進行研究，從而實現本發明。
[先行技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]JP4117625C
本發明之課題在於進一步切實地對移行台車系統之狀態進行本身診斷、且預防故障之產生。
本發明係搭載有異常檢測用感測器之複數個移行台車沿著移行路徑移行，且若檢測到異常則向地上側控制器彙報者，其特徵在於：地上側控制器中包括指定單元，該指定單元藉由對移行路徑上之位置進行唯一特定之絕對座標，而對移行台車指定異常檢測用感測器進行檢測之位置，移行台車包括彙報單元，該彙報單元係於所指定之位置由異常檢測用感測器進行檢測，且將包含檢測位置、及檢測時刻之檢測資料彙報給地上側控制器。
另外，本發明係搭載有異常檢測用感測器之複數個移行台車沿著移行路徑移行，且若檢測到異常則向地上側控制器彙報之本身診斷方法，其特徵在於：地上側控制器藉由對移行路徑上之位置進行唯一特定之絕對座標，對移行台車指定異常檢測用感測器進行檢測之位置，移行台車係於所指定之位置由異常檢測用感測器進行檢測，將包含檢測位置、及檢測時刻之檢測資料彙報給地上側控制器。
本說明書中，移行台車系統之相關記載亦直接適用於移行台車系統之本身診斷方法，相反，移行台車系統之本身診斷方法之相關記載亦直接適用於移行台車系統。
本發明中，因能夠以針點指定進行檢測之位置，故能夠準確地檢測出移行台車及移行路徑之狀態。因此，能夠於實際產生故障之前，維護且預防保全移行台車或者移行路徑。
較佳為，地上側控制器於每個規定之控制週期對移行台車指示目標位置，並且於目標位置之指示之通信中指定進行檢測的位置，移行台車係於每個控制週期進行速度控制，以到達所指示之目標位置，並且於所指定之位置進行檢測。藉此，因進行檢測之位置包含於目標位置之指示的相關通信中，故通信不會變的複雜。而且，於自地上側控制器指示目標位置之系統中，移行台車及移行路徑之故障會產生較大的不良影響。而且，對於如此之系統，藉由進行預防保全，能夠使系統維持較高的處理量。
而且，較佳為，地上側控制器中設有記憶單元，該記憶單元中將上述感測器之檢測資料與移行台車之至少速度及加速度相關聯地進行記憶。檢測資料之含義係依存於移行台車之速度及加速度，故而藉由與該等資料相關聯地進行記憶，能夠進行準確的解析。
較佳為，移行台車包括與移行相關之異常檢測用感測器、及與移載相關之異常檢測用感測器，地上側控制器係將移行路徑之移行導軌接縫、分支部與合流部及曲線區間，指定為由與移行相關之異常檢測用感測器進行檢測之位置，並且，將移載物品之位置即移行台車之移載裝置、及地上側之移載設備，指定為由與移載相關之異常檢測用感測器進行檢測之位置。藉此，關於移行及移載，能夠以針點來指定位置且檢測狀態。特別是能夠準確地檢測移行導軌之接縫上的階差之狀態等。
尤佳為，地上側控制器中包括特定單元，該特定單元係用於基於相同位置之複數個移行台車之檢測資料、或者相同移行台車上之複數個位置上之檢測資料，特定移行路徑上需要維護之部位及需要維護之移行台車。當發現異常或者其預兆時，能夠判斷為於移行路徑之相同位置再現、或是於相同移行台車上再現、抑或是原因在於移行路徑或是移行台車。因此，能夠特定需要維護之移行路徑上之位置、或者移行台車。
進而更佳為，地上側控制器中包括用於對檢測資料進行經時性解析之經時性解析單元。因能夠藉由經時性解析檢測異常之預兆，故而，能夠更加切實地進行預防保全。
較佳為，移行台車包括作為異常檢測用感測器之振動感測器及音量感測器，在移行台車或者地上側控制器，設有頻率解析單元，該頻率解析單元用於對來自振動感測器之資料、及來自音量感測器之資料進行頻率解析。藉由頻率解析，能夠判斷振動之原因是在於移行馬達等、或是在於移行路徑之間隙等、抑或是在於移行馬達至移行車輪等之間的緊固部之鬆脫、磨損等。而且，若對音量感測器之信號進行頻率解析，則能夠根據雜音之頻率進一步切實地進行上述判斷。
較佳為，地上側控制器包括：移行台車解析單元，其根據來自異常檢測用感測器之檢測資料，對移行台車之狀態進行解析；及基礎部件解析單元，其根據來自異常檢測用感測器之檢測資料，對移行路徑之狀態進行解析；而且，各解析單元包括：瞬時值解析單元，其基於檢測資料之瞬時值對異常進行解析；經時性解析單元，其對檢測資料進行經時性解析；集體解析單元，其對於移行台車整體所對應之檢測資料、或者移行路徑整體所對應之檢測資料進行解析。藉由瞬時值解析能夠檢測到異常及其之前之預兆，藉由經時性解析能夠檢測到更早期之預兆。而且，藉由集體解析，能夠對系統整體之狀態進行解析。
以下，表示用於實施本發明之最佳實施例。本發明之範圍應係基於專利申請之範圍之記載，且參照說明書之記載及該領域之已知技術，根據業者之理解而定。
圖1至圖9中，表示實施例之移行台車系統2及本身診斷方法。圖1等中，4表示跨灣區(interbay)路線，6表示灣區內(intrabay)路線，8表示維護路線，且將維護路線8之一部分作為停放路線9。10為移行台車，此處為高架移行車，但亦可為其他移行台車，維護路線8並非獨立之路線，亦可兼作灣區內路線6之一部分。並且，藉由路線4～9構成移行台車10之移行路徑。例如，沿著灣區內路線6，有多個載入埠12，其等與未圖示之半導體處理裝置等之間交換FOUP。而且，沿著灣區內路線6及跨灣區路線4設置多個緩衝區14，臨時放置FOUP。移行路徑上，除了直行區間以外，有分支部16、合流部18及曲線區間20，在該等部分，移行台車10容易產生振動。而且，移行路徑係與複數個移行導軌連接而構成，於移行導軌之接縫容易產生振動。再者，圖1中，僅圖示出載入埠12～曲線區間20之一部分。
維護路線8係供移行台車10進行維護及待機之路線，22係升降器，其使移行台車10於地上側與移行導軌側之間升降，且於設在地上側之作業區24進行維護。而且，使移行台車10於維護路線8內移行，對移行時之振動、產生之噪音、各馬達上之消耗電流、移行停止位置及移載位置之精度等進行檢測。為了收集關於移行台車10之狀態及基礎部件的異常檢測用資料，遍及灣區內路線6及跨灣區路線4之所有區域而收集異常檢測用資料。維護路線8上，能夠對移行台車10進行移行、移載等動作，從而收集移行台車10之異常檢測用資料。再者，亦可不設置維護路線8。
如圖2所示，系統控制器30係對移行台車系統整體進行控制，利用地上LAN連接於複數個區域控制器32，區域控制器32，係藉由無線LAN36等而與本身管理之區域內的移行台車10進行通信。再者，亦可不設置區域控制器32，而使藉由系統控制器30直接與移行台車10進行通信等，而直接對移行台車系統2之整個區域進行控制。
圖3中表示移行台車10之構成、及與區域控制器32之通信。再者，當不設置區域控制器32之情形時，系統控制器30與移行台車10直接進行通信。移行台車10包括通信單元40，於每個規定之控制週期，對區域控制器32將本身之位置及速度、加速度及搬送中之物品之有無等之狀態、及自各種感測器所得之感測器資料進行通信。而且，自區域控制器32，於每個規定之控制週期，接收下一控制週期之目標位置之位置指令、感測器之檢測項目、移載等其他指令。就控制週期而言，實施例中為0.1秒，較佳為0.01秒～1秒，1次彙報及指令可於1個封裝進行，亦可於複數個封裝進行，與檢測相關之指令，係於與位置等指令相同之通信中進行。而且，區域控制器32與移行台車10之通信週期為0.1秒左右，移行台車10之時鐘係根據區域控制器32所通知之時刻而形成一致。因此，來自移行台車10側之彙報中，可包含時刻資料，亦可不包含時刻資料。
移行驅動單元45係控制未圖示之移行馬達，且以到達區域控制器32所指定之下一控制週期內的目標位置之方式產生速度指令且控制移行馬達。橫向傳送單元46是為了使物品於緩衝區或者載入埠之間移載，而橫向傳送升降驅動單元48及θ驅動單元47。θ驅動單元47係使升降驅動單元48圍繞鉛垂軸旋轉，調整FOUP之方向等。升降驅動單元48係包含起重機等機構，使支持FOUP之升降台於載入埠、緩衝區等之間升降。驅動單元45～48各自包含至少1個馬達，且利用電流感測器56針對各個馬達檢測出其等之電流值。
受電單元50自配置於移行導軌中之未圖示之非接觸供電線受電，線性感測器52對於沿著移行導軌而設之磁石等標記進行檢測且獲取標記標準之位置。高度感測器53係對升降台之高度位置進行檢測，具體而言，係根據升降驅動單元48之升降馬達之轉速等檢測高度位置。振動感測器54係安裝於升降台上，對於搬送中之物品上所受之振動進行檢測。音量感測器55係對於移行台車10內產生之音量進行檢測，可於移行驅動單元45等設置一個，亦可設置於每個單元。而且，電流感測器56係對各驅動單元之馬達之消耗電流進行檢測。
機上控制器41係對移行台車10整體進行控制，地圖42記載有移行路徑之相關資料，例如記載有標記之絕對座標。將來自線性感測器52之資料與地圖42之標記之絕對座標相加，能夠獲取移行路徑上之絕對座標。此處，絕對座標係能夠對移行路徑上之位置進行唯一特定之座標，例如圖1所示，當移行路徑劃分為複數個路線之情形時，由表示當前位置是哪個路線之資料、及來自該路線內之標準點之相對座標構成。記憶體43中記憶移行台車10內產生之各種資料，特別是將來自異常檢測用感測器54～56之資料，與資料所產生之時刻、該時刻下移行台車之位置、速度、加速度及空載/負載、物品之移載中/停止中/移行中等之狀態一同進行記憶。
圖4中表示系統控制器30之構成，60係通信單元，其與區域控制器32進行通信，且與未圖示之上位控制器之間進行通信，要求FOUP等之搬送，並彙報搬送結果。61係指令生成單元，63係指定單元，將來自單元61、63之指令合成且將其自通信單元60經由區域控制器32而對移行台車進行指令。指令生成單元61中生成與下一控制週期內之目標位置、分支方向、移載之執行/停止以及其他與移行及移載相關之指令，指定單元63中生成指定檢測位置、及關於哪個項目進行檢測之與檢測相關之指令。檢測位置係由絕對座標表示。記憶體62中記憶移行台車之位置及時刻、速度、加速度、狀態、感測器資料等，於每一個控制週期經由通信單元60而獲得每個移行台車之資料，根據該等資料而由指令生成單元61生成與移行及移載相關之指令，且指定單元63生成與檢測相關之指令。
由通信單元60將兩種指令合並且通知給移行台車。藉此，於移行台車側，於每一控制週期收到指令，於下一控制週期內執行，並且執行所指定之檢測。記憶體62中記憶有移行台車之當前位置，指令生成單元61指定下一控制週期內之目標位置，故而於檢測位置經過下一控制週期時指令檢測。檢測並非於每一控制週期實施，只要於已指定檢測位置及檢測項目時實施即可，若已指定檢測位置及檢測項目，則移行台車於指定之位置執行檢測。
將記憶體62中之資料中由振動感測器、音量感測器、電流感測器等所獲得之診斷用資料，記憶於記憶體65中。記憶體65中，將該等資料與移行台車之ID、檢測時刻、檢測位置、檢測時之速度、加速度、負載/空載之區別等之狀態相關聯地進行記憶。而且，移行台車側之記憶體中亦可暫時記憶檢測資料，且將複數個檢測資料整合，而向系統控制器側進行通信。
預處理單元66係由例如FFT(高速傅立葉轉換單元)等構成，對於振動資料或(and/or)音量資料等與頻率相關之資料進行傅立葉轉換等。亦可由移行台車側執行傅立葉轉換，且將傅立葉轉換後之資料通知給系統控制器。診斷資料係由移行台車解析單元68針對每個移行台車進行解析，且由基礎部件解析單元70針對每個移行導軌或者載入埠、緩衝區等導軌側設備進行解析。解析單元68、70之解析對象為移行台車或地上側之設備而有所不同，但解析之手法自身相同。
瞬時值解析單元72係對於振動資料、音量資料、電流資料等解析瞬時值，區分為正常範圍、注意範圍、異常範圍等三種類型。該等範圍內，例如係以正常範圍為中心而其兩個外側有注意範圍，進而於兩個外側有異常範圍。另外，正常/注意/異常之臨限值會根據移行台車之速度、加速度、負載/空載、以及檢測位置之類型等而不同。即，與移行時之狀態對應之臨限值，會根據移行導軌之間的接縫、分支部或者合流部之移行、曲線區間等檢測位置而改變。而且，對於移載，會藉由與載入埠之移載、與緩衝區之移載、升降台之升降速度及升降加速度、橫向傳送量等而改變正常/注意/異常之臨限值。另外，瞬時值解析單元72中若例如產生異常資料，則要求再檢測。例如當於導軌之接縫檢測到異常之情形時，向檢測到異常之移行台車要求於下一導軌之接縫進行再檢測。同樣，對於檢測到異常之導軌之接縫，向其他移行台車要求進行再檢測。藉此判斷異常之原因在於移行台車側還是導軌等側。
經時性解析單元73係根據相同位置之複數個移行台車、及相同移行台車之複數個位置的振動、音量、電流等經時性資料，預測移行台車及基礎部件之今後之狀態，且預測屬於正常/注意/異常中之哪一級。再者，今後之狀態之預測並不限於對移行台車及基礎部件雙方進行，而亦可根據情況省略對一方之預測。於預測屬於正常/注意/異常中之哪一級時，根據移行台車之速度、加速度、負載/空載等而改變臨限值。經時性分析中，將時間作為變數，獲得例如檢測資料之平均及分散等，且將該等資料外插至未來資料，藉此獲得預測值。或者將該等分佈資料中、接近異常側之資料外插至未來資料而獲得預測值。並且，獲得每個檢測之資料之變化量、即上次檢測與本次檢測之變化量，且根據該等變化量之大小，獲知台車或者導軌等之狀態是否穩定。而且，於規定時間內，例如今後1天～今後1週期間以內，當有可能達到異常值之情形，使移行台車向維護路線移行，進行維護。就移行導軌或者緩衝區等設備而言，禁止使用相關設備，並指令維護。
集體解析單元74係對作為集體之移行台車之狀態、或者作為集體之移行導軌等地上側設備之狀態進行解析。例如，獲得振動及噪音、馬達電流等資料之與所有台車對應之平均值與分散、及平均值與分散之變動之傾向等。而且，獲得導軌等地上側設備中，各位置上之振動、噪音等資料之平均值、其分散、變動之傾向等。藉此，獲得作為整體之台車之狀態、及作為整體之移行路徑之狀態。若獲得該等狀態，則能夠獲得大幅偏離於系統整體之平均的台車或者移行路徑上之位置等，且將其等作為維護對象。因此，預防保全變的容易。若考慮到移行台車系統之設置後之舉動，則剛設置之後存在初始性故障，當其等消除之後，會因構件之磨損等長期勞損而產生故障。集體解析單元74中，藉由對於集體進行如此之解析，能夠掌握系統之狀態。而且，能夠檢測出偏離於集體之平均舉動的移行台車及移行路徑上之位置。
關聯解析單元75中，於維護等事件剛結束之後，獲得經維護之移行台車或者經維護之移行路徑上的構件之狀態有何種變化，並且檢測各種資料之間的關聯。將由各解析單元72～75所獲得之結果輸出至監控器78及印表機80等，並且作為對維護路線之移行指令等而輸出至指令生成單元61。亦可不設置集體解析單元74及關聯解析單元75。
圖5中表示診斷資料之預處理，對振動資料及音量資料進行高速傅立葉轉換，且轉換成頻率資料，根據振動資料或者音量資料之頻率特性對異常部位或者異常原因進行特定。若代替高速傅立葉轉換而進行小波轉換，擴展至振動資料及音量資料之頻率特性、振動資料或者音量資料中信號之產生時刻、伴隨移行台車之移動而產生之信號之空間推移，則能更切實地對異常部位進行特定。而且，將經檢測之位置、時刻、移行台車之ID、各種感測器資料、速度、加速度、電流值等作為診斷資料輸入至解析單元。
圖6中表示瞬時值解析之內容，將感測器資料與移行台車之狀態所對應之臨限值進行比較，分成正常/注意/異常等種類。並且，根據異常之程度或(and/or)、「注意」之位準是否反覆產生等再現性，判斷是否需要維護，且抽取需要維護者。當需要維護時，將異常之內容及感測器資料與維護指令一同作為指示資料予以輸出。藉此，判明因何種異常而需要何種維護，故而容易進行維護。
經時性解析中，如圖7所示，根據感測器資料之經時性，對於移行台車及移行路徑之各位置獲得今後之狀態之預測值。並且抽取需要維護者，與維護之移行台車或者移行路徑上之位置上的感測器資料一同指令維護。因此，於移行台車及移行路徑上能夠進行預防保全。
集體解析中，如圖8所示，對於移行台車整體或者移行導軌整體等，求出振動資料、音量資料、各馬達之電流值等之平均及分散、其等變動之傾向。並且，抽取偏離於平均之移行台車及移行路徑上之位置。
圖9所示之關聯解析中，搜索感測器資料之間的關聯。例如若正常進行維護，則維護之後感測器資料會穩定在正常值，但要檢查實際上是否如此。另外，調查注意區域或(and/or)異常區域中有無群集(cluster)。若將振動、噪音、速度、加速度、電流值等視為各個次元，則一次感測器資料可視為多次元空間之1點。群集係由該等點集合而成之區域，注意區域或者異常區域中存在群集，則表示各種要素複合存在而成為故障之原因。並且，若藉由關聯解析獲得結果，則輸出結果，反映至其他解析單元。
實施例中，獲得以下效果。
(1)因藉由絕對座標指定檢測位置，則對於導軌之接縫等，能夠以針點指定檢測位置。而且能對於相同位置進行反覆檢測，故而，能夠準確地獲得注意區域及異常區域之信號的再現性。
(2)於每個控制週期自系統控制器向移行台車用以指令目標位置之系統中，系統的處理量高，而故障之影響較大。若於如此之系統中進行預防保全，特別有效。而且，通信能夠與通常之指令之通信同時進行。
(3)將檢測資料與台車之速度及加速度相關聯地進行記憶，故而，能夠對該等影響進行修正且進行客觀的解析。
(4)檢測位置能夠具體指定移行導軌之接縫、分支部、合流部、曲線區間等。對於該等位置之台車之移行中之狀態進行檢測。例如檢測移行中之振動、噪音、移行馬達之電流值等。當於載入埠或者緩衝區等之間進行移載之情形時，檢測移載中之狀態。例如，對於移載中升降台所受之振動或(and/or)、移載中之噪音、升降馬達等之電流值進行檢測。並且，能夠根據檢測對象，由系統控制器指定檢測項目。再者，亦可不指定檢測項目，而是一直針對每個檢測要求所有資料。
(5)若對感測器資料進行經時性解析，則能夠預測今後之趨勢。因此，能夠於產生實際故障之前進行預防性的維護。
(6)若對來自振動感測器之信號或(and/or)來自音量感測器之信號進行頻率解析，則能夠判斷「注意」或(and/or)「異常」之原因，例如馬達之異常、移行導軌之階差、緊固部鬆脫、車輪等磨損等。
(7)若對於各個移行台車及移行路徑設置瞬時值解析單元、經時性解析單元及集體解析單元，則能夠由瞬時值解析單元獲得各個台車或者移行路徑上之位置的異常並進行維護。而且，能夠藉由經時性解析單元預測今後之趨勢並進行預防維護。進而能夠藉由集體解析單元對系統之現狀進行解析。
(8)將所有移行台車及地上側基礎部件之異常檢測、維護、重新啟動等綜合性之履歷資料，保存於地上控制器(系統控制器)中。能夠將該等資料作為保全用資料，預測移行台車及地上側基礎部件之今後之狀態，並用於移行台車系統之傾向管理及壽命管理。結果，能夠將系統整體保持為正常狀態。
2．．．移行台車系統
4．．．跨灣區路線
6．．．灣區內路線
8．．．維護路線
9．．．停放路線
10．．．移行台車
12．．．載入埠
14．．．緩衝區
16．．．分支部
18．．．合流部
20．．．曲線區間
22．．．升降器
24．．．作業區
30．．．系統控制器
32．．．區域控制器
34．．．地上LAN
36．．．無線LAN
40．．．通信單元
41．．．機上控制器
42．．．地圖
43．．．記憶體
45．．．移行驅動單元
46．．．橫向傳送單元
47．．．θ驅動單元
48．．．升降驅動單元
50．．．受電單元
52．．．線性感測器
53．．．高度感測器
54．．．振動感測器
55．．．音量感測器
56．．．電流感測器
60．．．通信單元
61．．．指令生成單元
62、65．．．記憶體
63．．．指定單元
66．．．預處理單元(FFT)
68．．．移行台車解析單元
70．．．基礎部件解析單元
72．．．瞬時值解析單元
73．．．經時性解析單元
74．．．集體解析單元
75‧‧‧關聯解析單元
78‧‧‧監控器
80‧‧‧印表機
圖1係表示實施例之移行台車系統之佈局之圖式。
圖2係表示實施例中系統控制器與移行台車之間的通信路徑之圖式。
圖3係表示實施例中移行台車之構成與區域控制器之通信資料的圖式。
圖4係表示實施例中系統控制器本身診斷的圖式。
圖5係表示診斷資料之頻率解析之預處理的圖式。
圖6係表示對於診斷資料之瞬時值解析之圖式。
圖7係表示對於診斷資料之經時性解析之圖式。
圖8係表示對於診斷資料之集體解析之圖式。
圖9係表示對於診斷資料之關聯解析之圖式。
10．．．移行台車
32．．．區域控制器
40．．．通信單元
41．．．控制器
42．．．地圖
43．．．記憶體
45．．．移行驅動單元
46．．．橫向傳送單元
47．．．θ驅動單元
48．．．升降驅動單元
50．．．受電單元
52．．．線性感測器
53．．．高度感測器
54．．．振動感測器
55．．．音量感測器
56．．．電流感測器

Claims (7)

  1. 一種移行台車系統，其係複數個移行台車沿著移行路徑移行，且若檢測到異常時則向地上側控制器彙報；其特徵在於：地上側控制器中包括指定單元，該指定單元係藉由對移行路徑上之位置進行唯一特定之絕對座標，而對移行台車指定異常檢測用感測器進行檢測之位置，移行台車包括異常檢測用感測器及彙報單元，該彙報單元係於所指定之位置由異常檢測用感測器進行檢測，且將包含檢測位置、及檢測時刻之檢測資料彙報給地上側控制器，地上側控制器進而包括：移行台車解析單元，其根據來自異常檢測用感測器之檢測資料，對移行台車之狀態進行解析；及基礎部件解析單元，其根據來自異常檢測用感測器之檢測資料，對移行路徑之狀態進行解析，各解析單元包括：瞬時值解析單元，其基於檢測資料之瞬時值對異常進行解析；經時性解析單元，其對檢測資料進行經時性解析；及集體解析單元，其對於移行台車整體所對應之檢測資料、或者移行路徑整體所對應之檢測資料進行解析。
  2. 如申請專利範圍第1項之移行台車系統，其中，地上側控制器係於每個規定之控制週期對移行台車指定目標位置，並且於目標位置之指示之通信中指定進行檢測之 位置，移行台車係於每個控制週期進行速度控制，以到達所指示之目標位置，並且於所指定之位置進行檢測。
  3. 如申請專利範圍第1項之移行台車系統，其中，地上側控制器中設有記憶單元，該記憶單元中將上述感測器之檢測資料與移行台車之至少速度及加速度予以相關聯地進行記憶。
  4. 如申請專利範圍第1項之移行台車系統，其中，移行台車包括與移行相關之異常檢測用感測器、及與移載相關之異常檢測用感測器，地上側控制器係將移行路徑之移行導軌接縫、分支部與合流部及曲線區間，指定為由與移行相關之異常檢測用感測器進行檢測之位置，並且將移載物品之位置即移行台車之移載裝置、及地上側之移載設備，指定為由與移載相關之異常檢測用感測器進行檢測之位置。
  5. 如申請專利範圍第1項之移行台車系統，其中，地上側控制器包括特定單元，該特定單元係基於相同位置之複數個移行台車之檢測資料、或者相同移行台車上之複數個位置上的檢測資料，對移行路徑上需要維護之部位及需要維護之移行台車進行特定。
  6. 如申請專利範圍第1項之移行台車系統，其中，移行台車包括作為異常檢測用感測器之振動感測器及音 量感測器，在移行台車或者地上側控制器，設有對來自振動感測器之資料、及來自音量感測器之資料進行頻率解析之頻率解析單元。
  7. 一種移行台車系統之本身診斷方法，其係搭載有異常檢測用感測器之複數個移行台車沿著移行路徑移行，且若檢測到異常時則向地上側控制器彙報；其特徵在於：地上側控制器係藉由對移行路徑上之位置進行唯一特定之絕對座標，而對移行台車指定異常檢測用感測器進行檢測之位置，移行台車係於所指定之位置由異常檢測用感測器進行檢測，並且將包含檢測位置、及檢測時刻之檢測資料彙報給地上側控制器，地上側控制器進而根據來自異常檢測用感測器之檢測資料，對移行台車之狀態與移行路徑之狀態進行解析，解析係包括：基於檢測資料之瞬時值對異常進行解析之瞬時值解析；對檢測資料進行經時性解析之經時性解析；及對於移行台車整體所對應之檢測資料、或者移行路徑整體所對應之檢測資料進行解析之集體解析。
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