CN102213963B - 行驶台车系统及其自我诊断方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种行驶台车系统及其自我诊断方法，自我诊断多个行驶台车由地面侧控制器的指示沿行驶路径行驶的系统。地面侧控制器用唯一确定行驶路径上的位置的绝对坐标将异常检测用传感器进行检测的位置指定给行驶台车，行驶台车用异常检测用传感器在指定的位置进行检测，向地面侧控制器报告包含检测位置和检测时刻的检测数据。

Description

行驶台车系统及其自我诊断方法
技术领域
本发明涉及行驶台车系统的自我诊断。
背景技术
在半导体工厂等中使用着用桥式吊车等行驶台车搬运FOUP(晶圆搬运盒)等物品的系统。这样的系统中要求保持整个系统高的设备运转率，不单单是搬运物品，还需要预防维护构成系统的行驶台车和行驶轨道等地面侧设备。另外，在本说明书中将行驶轨道、非接触供电线路等行驶轨道的附带设备、装载口、物品临时存放用的缓冲区(暂存区)等地面侧设备称为行驶台车系统的“基础设施”。
另外，关于行驶台车系统的自我诊断，专利文献1(JP4117625C)公开了从行驶台车向系统控制器报告产生异常振动等，1)即使其他的行驶台车在行驶轨道上的相同位置也再次发生异常时判别为基础设施侧异常、2)相同的行驶台车即使在其他的位置上也再次发生异常时判别为行驶台车侧异常的技术。发明者研究了更准确地自我诊断系统的状态、使预防性维修成为可能，获得了本发明。
[专利文献1]JP4117625C
发明内容
本发明的课题就是要更准确地自我诊断行驶台车系统的状态，预防故障的发生。
本发明为搭载了异常检测用传感器的多个行驶台车沿着行驶路径行驶，检测到异常时向地面侧控制器进行报告的系统，其特征在于：地面侧控制器具备通过唯一确定行驶路径上的位置的绝对坐标、将异常检测用传感器进行检测的位置指定给行驶台车的指定单元；行驶台车具备用异常检测用传感器在指定的位置进行检测、将包含检测位置和检测时刻的检测数据向地面侧控制器报告的报告单元。
并且本发明还是搭载有异常检测用传感器的多个行驶台车沿着行驶路径行驶，检测到异常时向地面侧控制器进行报告的行驶台车系统的自我诊断方法，其特征在于：地面侧控制器用唯一确定行驶路径上的位置的绝对坐标将异常检测用传感器进行检测的位置指定给行驶台车；行驶台车在指定的位置用异常检测用传感器进行检测，将包含检测位置和检测时刻的检测数据向地面侧控制器报告。
在本说明书中，有关行驶台车系统的记载原封不动地适用于行驶台车系统的自我诊断方法，反之，有关行驶台车系统的自我诊断方法的记载原封不动地适用于行驶台车系统。
在本发明中，由于能够精确地指定进行检测的位置，因此能够准确地检测行驶台车和行驶路径的状态。因此在故障实际发生前就能够维修、预防维护行驶台车或行驶路径。
优选地是，地面侧控制器按预定的控制周期将目标位置指示给行驶台车，并且在目标位置的指示的通信中指定进行检测的位置；使行驶台车到达指示的目标位置地按控制周期进行速度控制，并且在指定的位置处进行检测。这样一来，由于将进行检测的位置包含在有关目标位置的指示的通信中，因此通信不会变复杂。并且，从地面控制器指示目标位置的系统中，行驶台车和行路路径的故障会带来大的不良影响。通过对这样的系统进行预防维护，能够将系统的处理能力维持在高水平。
并且优选地是，在地面侧控制器中设置有存储单元，该存储单元用于将上述传感器的检测数据与行驶台车的至少速度和加速度关联地进行存储。由于检测数据的意义依存于行驶台车的速度和加速度，因此通过与这些数据相关联进行存储，能够进行准确的分析。
并且优选地是，行驶台车具备与行驶有关的异常检测用传感器以及与移载有关的异常检测用传感器；地面侧控制器指定行驶路径上的行驶轨道的接缝、分支部、汇合部和转弯区间作为用与行驶有关的异常检测用传感器进行检测的位置；并且对行驶台车的移载装置和地面侧的移载设备指定移载物品的位置，作为用与移载有关的异常检测用传感器进行检测的位置。这样一来，对于行驶和移载，能够精确地指定位置来检测状态。尤其能准确地检测行驶轨道的接缝处的台阶的状态等。
尤其优选地是，地面侧控制器具备确定单元，该确定单元根据相同位置的多个行驶台车的检测数据、或者相同的行驶台车在多个位置上的检测数据，确定行驶路径上的需要维修的地方以及需要维修的行驶台车。在发现了异常或者其征兆时，根据是在行驶路径的相同位置上再次发生还是在相同的行驶台车上再次发生，能够判别原因是在行驶路径上还是在行驶台车上。因此能够确定需要维修的行驶路上的位置或者行驶台车。
而且优选地是，地面侧控制器具备用于时序分析检测数据的时序分析单元。由于通过时序分析能够检测异常的征兆，因此能更确实地进行预防维护。
优选地是，行驶台车具备振动传感器和音量传感器作为异常检测用传感器；在行驶台车或地面侧控制器上设置有频率分析来自振动传感器的数据和来自音量传感器的数据的频率分析单元。通过频率分析，能够判断振动的原因是在于行驶电动机等，还是在于行驶路径的间隙，或者是在于从行驶电动机到行驶车轮等之间的连结部的松动、摩损等。并且，如果频率分析音量传感器的信号，则能够根据噪音的频率更进一步确定上述判别。
优选地是，地面侧控制器具备用来自异常检测用传感器的检测数据分析行驶台车的状态的行驶台车分析单元、以及用来自异常检测用传感器的检测数据分析行驶路径的状态的基础设施分析单元；各分析单元具备根据检测数据的瞬时值分析异常的瞬时值分析单元、时序分析检测数据的时序分析单元、以及分析针对行驶台车整体的检测数据或者针对行驶路径整体的检测数据的集体分析单元。通过瞬时值分析能够检测异常及其即将到来之前的征兆，通过时序分析能够检测更早期的征兆。并且，通过集体分析能够分析整个系统的状态。
附图说明
图1为表示实施例的行驶台车系统的布局的图；
图2为表示实施例中的系统控制器与行驶台车之间的通信路线的图；
图3为表示实施例中的行驶台车的结构与区域控制器的通信数据的图；
图4为表示实施例中的利用系统控制器的自我诊断的图；
图5为表示用诊断数据的频率分析进行的预处理的图；
图6为表示对诊断数据进行的瞬时值分析的图；
图7为表示对诊断数据进行的时序分析的图；
图8为表示对诊断数据进行的集体分析的图；
图9为表示对诊断数据进行的相关分析的图。
[标记说明]
2.行驶台车系统；4.制程区间路线；6.制程区内路线；8.维修路线；9.停车路线；10.行驶台车；12.装载口；14.缓冲区；16.分支部；18.汇合部；20.转弯区间；22.升降机；24.作业区域；30.系统控制器；32.区域控制器；34.地面LAN；36.无线LAN；40.通信单元；41.机上控制器；42.地图；43.存储器；45.行驶驱动单元；46.横送单元；47.θ驱动单元；48.升降驱动单元；50.受电单元；52.线性传感器；53.高度传感器；54.振动传感器；55.音量传感器；56.电流传感器；60.通信单元；61.指令生成单元；62、65.存储器；63.指定单元；66.预处理单元(FFT)；68.行驶台车分析单元；70.基础设施分析单元；72.瞬时值分析单元；73.时序分析单元；74.集体分析单元；75.相关分析单元；78.监视器；80.打印机
具体实施方式
下面说明用于实施本发明的优选实施例。本发明的范围应该能够根据权利要求的范围的记载、参考说明书的记载和该领域内众所周知的技术，依从业者的理解而定。
图1～图9表示实施例的行驶台车系统2及自我诊断方法。在图1等中，4为制程区间路线，6为制程区内路线，8为维修路线，将维修路线8的一部分作为停车路线9。10为行驶台车，这里为桥式吊车，但也可以是其他的行驶台车，维修路线8也可以不是独立的路线，兼用制程区内路线6的一部分。并且，由路线4～9构成行驶台车10的行驶路径。例如，沿制程区内路线6有多个装载口12，与图中没有表示的半导体处理装置等之间交接FOUP。并且，沿制程区内路线6和制程区间路线4设置多个缓冲区14，临时存放FOUP。行驶路径除了直行区间外，还有分支部16、汇合部18及转弯区间20，在这些部分行驶台车10容易产生振动。并且，行驶路径连接多个行驶轨道构成，在行驶轨道的接缝处容易产生振动。另外，图1中只表示了装载口12～转弯区间20的一部分。
维修路线8为进行行驶台车10的维修和待机的路线，22为升降机，使行驶台车10在地面侧与行驶轨道侧之间升降，在地面侧设置的作业区域24进行维修。并且，使行驶台车10在维修路线8内行驶，检测行驶时的振动、产生的噪音、各电动机的消耗电流、行驶停止位置及移载位置的精度等。为了收集行驶台车10的状态及与基础设施有关的异常检测用数据，横贯制程区内路线6和制程区间路线4的整个区域收集异常检测用数据。使行驶台车10在维修路线8上进行行驶、移载等动作，从而能够收集行驶台车10的异常检测用数据。另外，维修路线8也可以不设置。
如图2所示，系统控制器30控制整个行驶台车系统，用地面LAN与多个区域控制器32连接，区域控制器32通过无线LAN36等，与自身管理的区域内的行驶台车10通信。另外，也可以不设置区域控制器32，通过使系统控制器30直接与行驶台车10通信等直接控制行驶台车系统2全区域。
图3表示行驶台车10的结构和与区域控制器32的通信。另外，在没有设置区域控制器32的情况下，系统控制器30直接与行驶台车10通信。行驶台车10具备通信单元40，每预定的控制周期与区域控制器32通信自身的位置和速度、加速度及有无搬运中的物品等状态、以及从各种传感器获得的传感数据。并且，每预定的控制周期从区域控制器32接收下一个控制周期的目标位置的位置指令，传感器的检测项目、移载及其他的指令。控制周期在实施例中为0.1秒，最好是0.01秒～1秒，1次的报告和指令既可以用一个数据包进行也可以用多个数据包进行，有关检测的指令与位置等的指令在相同的通信中进行。并且，区域控制器32与行驶台车10的通信周期为0.1秒左右，行驶台车10的时钟用从区域控制器32通知的时刻对时。因此来自行驶台车10侧的报告中既可以包含时刻数据也可以不包含时刻数据。
行驶驱动单元45控制图中没有表示的行驶电动机，到达由区域控制器32指定的下一个控制周期中的目标位置地产生速度指令、控制行驶电动机。为了与缓冲区或装载口之间移载物品，横送单元46横送升降驱动单元48和θ驱动单元47。θ驱动单元47使升降驱动单元48围绕铅垂轴旋转，调整FOUP的朝向等。升降驱动单元48具备卷扬机等机构，使支持FOUP的升降台在装载口、缓冲区等之间升降。驱动单元45～48分别具备至少一个电动机，用电流传感器56按电动机检测其电流值。
受电单元50从配置在行驶轨道中的图中没有表示的非接触供电线受电，线性传感器52检测沿行驶轨道设置的磁铁等标记，求出标记基准的位置。高度传感器53检测升降台的高度位置，具体为从升降驱动单元48的升降电动机的转速等检测高度位置。振动传感器54被安装在升降台上，检测施加在搬运中的物品上的振动。音量传感器55检测行驶台车10内产生的音量，既可以在行驶驱动单元45等中设置1个，也可以按每个单元设置。并且，电流传感器56检测各驱动单元的电动机的消耗电流。
机上控制器41控制整个行驶台车10，在地图42中记载有关行驶路径的数据，记载着例如标记的绝对坐标。通过将从线性传感器52来的数据加到地图42中的标记的绝对坐标中，能够求出行驶路径上的绝对坐标。其中绝对坐标为能够唯一地确定行驶路径上的位置的坐标，在例如图1所示那样行驶路径被划分成多条路线的情况下，由表示当前位置为哪一条路线的数据和该路线内距基准点的相对坐标构成。存储器43存储行驶台车10内产生的各种数据，尤其将从异常检测用传感器54～56来的数据与数据产生的时刻、行驶台车在该时刻的位置、速度、加速度及空载/负载、物品在移载中/停止中/行驶中等状态一起存储。
图4表示系统控制器30的结构，60为通信单元，与区域控制器32通信，此外还与图中没有表示的上位控制器之间进行通信，要求搬运FOUP等，报告搬运结果。61为指令生成单元，63为指定单元，将从单元61、63来的指令合成，通过区域控制器32从通信单元60指令给行驶台车。指令生成单元61生成下一个控制周期中的目标位置、分支方向、移载的执行/停止及其他与行驶和移载有关的指令，指定单元63生成检测位置和指定了对哪个项目进行检测的与检测有关的指令。检测位置用绝对坐标表示。存储器62存储行驶台车的位置和时刻、速度、加速度、状态、传感器数据等，按控制周期通过通信单元60获得每辆行驶台车的数据，用指令生成单元61以这些数据为基础生成与行驶和移载有关的指令，用指定单元63生成与检测有关的指令。
两种指令在通信单元60中合成，通知给行驶台车。因此行驶台车侧按每一个控制周期接受指令，在下一个控制周期内执行，并且执行指定的检测。由于存储器62中存储行驶台车的当前位置，指令生成单元61指定下一个控制周期中的目标位置，因此当下一个控制周期经过检测位置时指令检测。检测并不是在按控制周期来进行，只要在指定了检测位置和检测项目时进行就可以，当指定了检测位置和检测项目时，行驶台车在指定的位置执行检测。
将存储器62中的数据中的由振动传感器、音量传感器、电流传感器等求得的诊断用数据存储在存储器65中。在存储器65中将这些数据与行驶台车的ID、检测时刻、检测位置、检测时的速度、加速度、负载/空载的区别等状态关联起来进行存储。并且，也可以用行驶台车侧的存储器临时存储检测数据，将多个检测数据统一起向系统控制器侧通信。
预处理单元66用例如FFT(快速傅立叶转换单元)等构成，对振动数据和/或音量数据等伴随频率的数据进行傅立叶转换等。也可以在行驶台车侧执行傅立叶转换，将傅立叶转换后的数据通知系统控制器。诊断数据用行驶台车分析单元68对每辆行驶台车进行分析，用基础设施分析单元70对行驶轨道或装载口、缓冲区等每台轨道侧设备进行分析。虽然分析单元68、70因分析对象是行驶台车还是地面侧设施不同而异，但分析手法本身是相同的。
瞬时值分析单元72对振动数据、音量数据、电流数据等分析瞬时值，区分为正常范围、注意范围和异常范围等3种。这些范围中例如以正常范围为中心，其两外侧为注意范围，再两外侧为异常范围。并且，正常/注意/异常的临界值因行驶台车的速度、加速度、负载/空载、以及检测位置的种类等而不同。即，因行驶轨道间的接缝处、分支部或汇合部的行驶和转弯区间等的检测位置不同相对于行驶时状态的临界值改变。并且，对于移载，因与装载口的移载、与缓冲区的移载、升降台的升降速度和升降加速度、横送量等不同而改变正常/注意/异常的临界值。并且，瞬时值分析单元72例如产生异常数据时要求再检测。例如在轨道接缝处检测到了异常的情况下，要求检测到了异常的行驶台车在下一个轨道接缝处再检测。同样，对于检测到了异常的轨道接缝，要求其他行驶台车再检测。通过这些判别异常的原因是在行驶台车侧还是在轨道等一侧。
时序分析单元73根据位于相同位置的多个行驶台车以及同一行驶台车的在多个位置的振动、音量、电流等时序数据预测行驶台车和基础设施今后的状态，预测进入正常/注意/异常中的哪一个等级。另外，今后状态的预测并不局限于对行驶台车和基础设施两者来进行，根据状况，也可以省略对一个的预测。进入正常/注意/异常中的哪一个等级的预测也根据行驶台车的速度、加速度、负载/空载等改变临界值。时序分析中以时间为变量求出例如检测数据的平均和方差等，通过将这些数据向未来外插求出预测值。或者将这些分布数据中的靠近异常侧的数据向未来外插求出预测值。并且求出每一次检测的数据的变化量，即求出上次的检测与这次的检测的变化量，根据这些变化量的大小求出台车或轨道等的状态是否稳定。并且，在在预定时间内——例如在今后1天-今后1周以内有达到异常值的可能的情况下，使行驶台车向维修路线行驶，进行维修。在行驶轨道或缓冲区等设备的情况下，禁止该设备的使用，指令维修。
集体分析单元74分析作为集体的行驶台车的状态或者作为集体的行驶轨道等地面侧设备的状态。求出对所有台车的例如振动及噪音、电动机电流等数据的平均值和方差、以及平均值和方差的变动倾向等。并且求出轨道等地面侧设备在各位置的振动、噪音等数据的平均值及其方差、变化的倾向等。通过这样求出作为整体的台车的状态和作为整体的行驶路径的状态。如果求出这些状态，则能够求出大大超出整个系统的平均的台车或行驶路径上的位置等，以这些作为维修的对象。因此预防维护变得容易。如果考虑行驶台车系统在设置后的举动，刚刚设置后存在初始故障，在这些故障消除后，产生部件的磨损等时效疲劳引起的故障。集体分析单元74通过对集体进行这样的分析，能够掌握系统的状态。并且能够检测脱离集体的平均举动的行驶台车和行驶路径上的位置。
相关分析单元75中在维修等事件前后求出维修过的行驶台车或维修过的行驶路径上的部件的状态怎样变化了，并且检测各种数据间的相关。由各分析单元72～75获得的结果输出给监视器78和打印机80等，并且向维修路线发出行驶指令等，向指令生成单元61输出。集体分析单元74和相关分析单元75也可以不设置。
图5表示诊断数据的预处理，快速傅立叶转换振动数据和音量数据，变换成频率数据，根据振动数据或音量数据的频率特性来确定异常部位或异常原因。如果进行小波(wavelet)转换取代快速傅立叶转换，展开为伴随振动数据和音量数据的频率特性、振动数据或音量数据的信号的产生时刻、行驶台车移动的信号的空间性推移，则能够更准确地确定异常部位。并且，将进行检测的位置、时刻、行驶台车的ID、各种传感器数据、速度、加速度、电流值等作为诊断数据输入分析单元。
瞬时值分析的内容表示在图6中，将传感器数据同与行驶台车的状态相对应的临界值相比较，分类成正常/注意/异常等。并且，根据“异常”的程度和/或“注意”的级别是否反复产生等的再次发生性判断是否需要维修，抽出需要维修的部位。在需要维修的情况下，将维修的指令与异常的内容和传感器数据一起作为指示数据输出。这样一来，由于能够判明是由于什么样的异常引起需要什么样的维修，因此能够容易地维修。
时序分析中，像图7所示那样根据传感器数据的时序对行驶台车和行路路径的各位置求出今后状态的预测值。并且抽出需要维修的部位，指令维修的行驶台车或行驶路径上的位置处的传感器数据和维修。因此，行驶台车和行驶路径能够进行预防维护。
集体分析中，像图8所示那样，对所有行驶台车或者整个行驶轨道等求出振动数据、音量数据、各电动机的电流值等的平均和方差、它们的变化倾向。并且抽出脱离了平均的行驶台车和行驶路径上的位置。
图9所示的相关分析中，搜寻传感器数据之间的相关。例如正常进行维修的话，维修后传感器数据应该稳定在正常值，但检验实际上是否是这样。而且调查“注意区域”和/或“异常区域”有无群集。如果将振动、噪音、速度、加速度、电流值等视为各个维数的话，1次的传感器数据能够视为多维空间的1个点。群集为这些点集合的区域，“注意区域”或“异常区域”存在群集暗示各种要素复合成为故障的原因。并且如果通过相关分析获得结果，则输出结果，使其反映到其他的分析单元中。
通过实施例能够获得以下的效果。
(1)由于用绝对坐标指定检测位置，因此能够对轨道的接缝等精确指定检测位置。并且由于能够对相同的位置进行反复检测，因此能够准确地求出“注意区域”和“异常区域”的信号的再次发生性。
(2)在按每个控制周期从系统控制器给行驶台车指令目标位置的系统中，系统的处理能力虽然高，但故障的影响也大。这样的系统中如果进行预防维护，则尤其有效。并且，通信能够与通常的指令通信同时进行。
(3)由于将检测数据与台车的速度和加速度关联起来存储，因此能够修正这些影响，能够进行客观的分析。
(4)检测位置能够具体地指定行驶轨道的接缝处、分支部、汇合部、转弯区间等。检测台车在这些位置的行驶中的状态。检测例如行驶中的振动、噪音、行驶电动机的电流值等。在与装载口或缓冲区等之间进行移载的情况下，检测移载中的状态。检测例如移载中升降台受到的振动和/或移载中的噪音、升降电动机等的电流值。并且能够根据检测对象从系统控制器指定检测项目。另外也可以不指定检测项目，总是在每次检测要求所有的数据。
(5)如果时序分析传感器数据，能够预测今后的趋势。因此能够在实际的故障发生之前进行预防性维修。
(6)如果频率分析从振动传感器来的信号和/或从音量传感器来的信号，能够判别电动机的异常、行驶轨道的台阶、连结部松动、车轮等磨损等“注意”和/或“异常”的原因。
(7)如果分别给行驶台车和行驶路径设置瞬时值分析单元、时序分析单元和集体分析单元，能够通过瞬时值分析单元求出单个台车或者行驶路径上的位置的异常而进行维修。并且，通过时序分析单元预测今后的趋势，能够实施预防维修。而且，通过集体分析单元能够分析系统的现状。
(8)能够将所有的行驶台车和地面侧基础设施的异常检测、维修、重新启动等综合性履历数据保存到地面控制器(系统控制器)中。将这些数据作为维护用数据，能够用于预测行驶台车和地面侧基础设施今后的状态，用于行驶台车系统的趋向管理和寿命管理。结果，能够将整个系统保持在正常状态。

Claims (8)

1.一种行驶台车系统，多个行驶台车沿着行驶路径行驶，检测到异常时向地面侧控制器进行报告，其特征在于：
地面侧控制器具备通过唯一确定行驶路径上的位置的绝对坐标、将异常检测用传感器进行检测的位置指定给行驶台车的指定单元；
行驶台车具备：异常检测用传感器，以及用异常检测用传感器在指定的位置进行检测、将包含检测位置和检测时刻的检测数据向地面侧控制器报告的报告单元；
地面侧控制器按预定的控制周期将目标位置指示给行驶台车，并且在目标位置的指示的通信中指定进行检测的位置；
使行驶台车到达指示的目标位置地按控制周期进行速度控制，并且在指定的位置处进行检测。
2.如权利要求1所述的行驶台车系统，其特征在于：
在地面侧控制器中设置有存储单元，该存储单元将上述传感器的检测数据与行驶台车的至少速度和加速度关联地进行存储。
3.如权利要求1所述的行驶台车系统，其特征在于：
行驶台车具备与行驶有关的异常检测用传感器以及与移载有关的异常检测用传感器；
地面侧控制器指定行驶路径上的行驶轨道的接缝、分支部、汇合部和转弯区间作为用与行驶有关的异常检测用传感器进行检测的位置；并且对行驶台车的移载装置和地面侧的移载设备指定移载物品的位置，作为用与移载有关的异常检测用传感器进行检测的位置。
4.如权利要求1所述的行驶台车系统，其特征在于：
地面侧控制器具备确定单元，该确定单元根据相同位置的多个行驶台车的检测数据、或者相同的行驶台车在多个位置上的检测数据，确定行驶路径上的需要维修的地方以及需要维修的行驶台车。
5.如权利要求1所述的行驶台车系统，其特征在于：
地面侧控制器具备时序分析检测数据的时序分析单元。
6.如权利要求1所述的行驶台车系统，其特征在于：
行驶台车具备振动传感器和音量传感器作为异常检测用传感器；
在行驶台车或地面侧控制器上设置有频率分析来自振动传感器的数据和来自音量传感器的数据的频率分析单元。
7.如权利要求1所述的行驶台车系统，其特征在于：
地面侧控制器具备用来自异常检测用传感器的检测数据分析行驶台车的状态的行驶台车分析单元、以及用来自异常检测用传感器的检测数据分析行驶路径的状态的基础设施分析单元；
各分析单元具备根据检测数据的瞬时值分析异常的瞬时值分析单元、时序分析检测数据的时序分析单元、以及分析针对行驶台车整体的检测数据或者针对行驶路径整体的检测数据的集体分析单元。
8.一种行驶台车系统的自我诊断方法，搭载有异常检测用传感器的多个行驶台车沿着行驶路径行驶，检测到异常时向地面侧控制器进行报告，其特征在于：
地面侧控制器用唯一确定行驶路径上的位置的绝对坐标将异常检测用传感器进行检测的位置指定给行驶台车；
行驶台车在指定的位置用异常检测用传感器进行检测，将包含检测位置和检测时刻的检测数据向地面侧控制器报告；
地面侧控制器按预定的控制周期将目标位置指示给行驶台车，并且在目标位置的指示的通信中指定进行检测的位置；
使行驶台车到达指示的目标位置地按控制周期进行速度控制，并且在指定的位置处进行检测。
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