KR20110112771A - 주행 대차 시스템과 그 자기 진단 방법 - Google Patents

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Abstract

복수의 주행 대차가 지상측 콘트롤러의 지시에 의해 주행 경로를 따라 주행하는 시스템을 자기 진단한다. 지상측 콘트롤러는, 주행 경로 상의 위치를 일의(一意)적으로 특정하는 절대 좌표에 의해 이상 검출용 센서에 의한 검출을 행하는 위치를 주행 대차에 지정하고, 주행 대차는, 지정된 위치에서 이상 검출용 센서에 의한 검출을 행하고, 검출 위치와 검출 시각을 포함하는 검출 데이터를 지상측 콘트롤러로 보고한다.

Description

주행 대차 시스템과 그 자기 진단 방법{MOVING CARRIAGE SYSTEM AND SELF-DIAGNOSTIC METHOD THEREFOR}
본 발명은 주행 대차(臺車) 시스템의 자기 진단에 관한 것이다.
반도체 공장 등에서 FOUP 등의 물품을 천장 주행차 등의 주행 대차(臺車)로 반송하는 시스템이 이용되고 있다. 이러한 시스템에서는 시스템 전체의 가동률을 높게 유지하는 것이 요구되고, 단순히 물품을 반송할 뿐만 아니라 시스템을 구성하는 주행 대차와 주행 레일 등의 지상측 설비를 예방 보전할 필요가 있다. 또한, 본 명세서에서 주행 레일, 비접촉 급전선 등의 주행 레일의 부대 설비, 로드 포트, 물품의 임시 재치(載置)용 버퍼 등의 지상측 설비를 주행 대차 시스템의 ‘인프라’라고 한다.
또한, 주행 대차 시스템의 자기 진단에 관한 것으로, 특허 문헌 1(JP4117625C)은 이상 진동의 발생 등을 주행 대차로부터 시스템 컨트롤러로 보고하고, 다른 주행 대차에서도 주행 레일 상의 동일한 위치에서 이상이 재현되면 인프라측의 이상, 동일한 주행 대차에서 다른 위치에서도 이상이 재현되면 주행 대차측의 이상이라고 판별하는 것을 개시하고 있다. 발명자는 시스템 상태를 보다 정확하게 자기 진단하고, 예방을 위한 메인터넌스를 가능하게 하는 것을 검토하여 본 발명에 도달했다.
JP4117625C
본 발명의 과제는 주행 대차 시스템의 상태를 보다 정확하게 자기 진단하여, 트러블의 발생을 예방하는 것에 있다.
본 발명은 이상 검출용 센서를 탑재한 복수의 주행 대차가 주행 경로를 따라 주행하고, 이상을 검출하면 지상측 콘트롤러로 보고하는 시스템으로서, 주행 경로 상의 위치를 일의(一意)적으로 특정하는 절대 좌표에 의해 이상 검출용 센서에 의한 검출을 행하는 위치를 주행 대차에 지정하는 지상측 콘트롤러와, 이상 검출용 센서를 구비하고, 지정된 위치에서 이상 검출용 센서에 의한 검출을 행하고, 검출 위치와 검출 시각을 포함하는 검출 데이터를 지상측 콘트롤러로 보고하는 주행 대차를 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명은 이상 검출용 센서를 탑재한 복수의 주행 대차가 주행 경로를 따라 주행하고, 이상을 검출하면 지상측 콘트롤러로 보고하는 자기 진단 방법으로서, 지상측 콘트롤러는, 주행 경로 상의 위치를 일의적으로 특정하는 절대 좌표에 의해 이상 검출용 센서에 의한 검출을 행하는 위치를 주행 대차에 지정하고, 주행 대차는, 지정된 위치에서 이상 검출용 센서에 의한 검출을 행하고, 검출 위치와 검출 시각을 포함하는 검출 데이터를 지상측 콘트롤러로 보고하는 것을 특징으로 한다.
본 명세서에서, 주행 대차 시스템에 관한 기재는 그대로 주행 대차 시스템의 자기 진단 방법에도 적용되며, 반대로 주행 대차 시스템의 자기 진단 방법에 관한 기재는 그대로 주행 대차 시스템에도 적용된다.
본 발명에서는 검출을 행하는 위치를 핀 포인트로 지정할 수 있으므로, 주행 대차와 주행 경로 상태를 정확하게 검출할 수 있다. 따라서, 트러블이 실제로 발생하기 전에, 주행 대차 혹은 주행 경로를 메인터넌스하여 예방 보전할 수 있다.
바람직하게, 지상측 콘트롤러는, 미리 설정된 제어 주기마다 주행 대차에 목표 위치를 지시하고, 목표 위치의 지시의 통신 중에 검출을 행하는 위치를 지정하고, 주행 대차는, 지시받은 목표 위치에 도착하도록 제어 주기마다 속도 제어를 행하고 또한, 지정된 위치에서 검출을 행한다. 이와 같이 하면, 검출을 행하는 위치를 목표 위치의 지시에 관한 통신 중에 포함시키기 때문에, 통신이 복잡해지지 않는다. 또한, 지상측 콘트롤러로부터 목표 위치를 지시하는 시스템에서는 주행 대차 및 주행 경로의 트러블이 큰 악영향을 미친다. 그리고, 이러한 시스템에 대하여 예방 보전을 행함으로써, 시스템의 스루풋을 높게 유지할 수 있다.
또한, 바람직하게, 지상측 콘트롤러는, 상기 센서에 의한 검출 데이터를 주행 대차의 속도 및 가속도와 관련지어 기억한다. 검출 데이터의 의미는 주행 대차의 속도 및 가속도에 의존하므로, 이들 데이터와 관련지어 기억함으로써 정확한 해석이 가능해진다.
바람직하게, 주행 대차는, 이상용 검출 센서로서, 주행에 관한 이상 검출용 센서와, 이동 재치에 관한 이상 검출용 센서를 구비하고, 지상측 콘트롤러는, 주행 경로에서의 주행 레일의 이음매, 분기부와 합류부 및 커브 구간을 주행에 관한 이상 검출용 센서가 검출을 행하는 위치로서 지정하고, 주행 대차의 이동 재치 장치와 지상측의 이동 재치 설비와의 사이에서 물품을 이동 재치하는 위치를, 이동 재치에 관한 이상 검출용 센서가 검출을 행하는 위치로서 지정한다. 이와 같이 하면, 주행과 이동 재치에 관하여 핀 포인트로 위치를 지정하여 상태를 검출할 수 있다. 특히, 주행 레일의 이음매에서의 단차의 상태 등을 정확하게 검출할 수 있다.
특히, 바람직하게, 지상측 콘트롤러는, 동일한 위치에서의 복수의 주행 대차의 검출 데이터 또는 동일한 주행 대차에서의 복수의 위치에서의 검출 데이터에 기초하여, 주행 경로 상의 메인터넌스가 필요한 개소 및 메인터넌스가 필요한 주행 대차를 특정하고 있다. 이상 혹은 그 전조를 발견했을 때에, 주행 경로의 동일한 위치에서 재현했는지 동일한 주행 대차에서 재현했는지로부터, 원인이 주행 경로에 있는지 주행 대차에 있는지를 판별할 수 있다. 따라서, 메인터넌스가 필요한 주행 경로 상의 위치, 혹은 주행 대차를 특정할 수 있다.
더욱 바람직하게, 지상측 콘트롤러는 검출 데이터를 시계열 해석하기 위한 시계열 해석 유닛을 구비하고 있다. 시계열 해석에 의해 이상의 전조를 검출할 수 있으므로, 보다 확실한 예방 보전을 할 수 있다.
바람직하게, 주행 대차는 이상 검출용 센서로서 진동 센서와 음량 센서를 구비하고, 주행 대차 또는 지상측 콘트롤러는, 진동 센서로부터의 데이터와 음량 센서로부터의 데이터를 주파수 해석한다. 주파수 해석에 의해 진동의 원인이 주행 모터 등에 있는지, 주행 경로의 갭 등에 있는지, 주행 모터로부터 주행차 바퀴 등의 사이의 체결부의 느슨해짐, 마모 등에 있는지를 판별할 수 있다. 또한, 음량 센서의 신호를 주파수 해석하면, 잡음의 주파수로부터 상기의 판별을 보다 확실히 할 수 있다.
바람직하게, 지상측 콘트롤러는, 이상 검출용 센서로부터의 검출 데이터에 의해 주행 대차의 상태를 해석하는 주행 대차 해석 유닛과, 이상 검출용 센서로부터의 검출 데이터에 의해 주행 경로 상태를 해석하는 인프라 해석 유닛을 구비하고, 각 해석 유닛은, 검출 데이터의 순간치에 기초하여 이상을 해석하는 순간치 해석 유닛과, 검출 데이터를 시계열 해석하는 시계열 해석 유닛과, 주행 대차 전체에 대한 검출 데이터 또는 주행 경로 전체에 대한 검출 데이터를 해석하는 집단 해석 유닛을 구비하고 있다. 순간치 해석에 의해 이상 및 그 직전의 전조를 검출할 수 있어, 시계열 해석에 의한 것보다 조기의 전조를 검출할 수 있다. 또한, 집단 해석에 의해 시스템 전체의 상태를 해석할 수 있다.
도 1은 실시예의 주행 대차(臺車) 시스템의 레이아웃을 도시한 도면이다.
도 2는 실시예에서의 시스템 콘트롤러와 주행 대차 간의 통신 경로를 도시한 도면이다.
도 3은 실시예에서의 주행 대차의 구성과 존 콘트롤러와의 통신 데이터를 나타낸 도면이다.
도 4는 실시예에서의 시스템 콘트롤러에서의 자기 진단을 도시한 도면이다.
도 5는 진단 데이터의 주파수 해석에 의한 전처리를 나타낸 도면이다.
도 6은 진단 데이터에 대한 순간치 해석을 나타낸 도면이다.
도 7은 진단 데이터에 대한 시계열 해석을 나타낸 도면이다.
도 8은 진단 데이터에 대한 집단 해석을 나타낸 도면이다.
도 9는 진단 데이터에 대한 상관 해석을 나타낸 도면이다.
이하에, 본 발명을 실시하기 위한 최적 실시예를 나타낸다. 본 발명의 범위는 특허 청구의 범위의 기재에 기초하며, 명세서의 기재와 이 분야에서의 주지 기술을 참작하여 당업자의 이해에 따라 정해져야 한다.
도 1 ~ 도 9에, 실시예의 주행 대차 시스템(2)과 자기 진단 방법을 도시한다. 도 1 등에서, 도면 부호 4는 인터 베이 루트, 6은 인트라 베이 루트, 8은 메인터넌스 루트이며, 그리고 메인터넌스 루트(8)의 일부를 파킹 루트(9)로 한다. 도면 부호 10은 주행 대차이며, 여기서는 천장 주행차이지만 다른 주행 대차여도 좋고, 메인터넌스 루트(8)는 독립된 루트로는 하지 않고 인트라 베이 루트(6)의 일부를 겸용해도 좋다. 그리고, 루트(4 ~ 9)에 의해 주행 대차(10)의 주행 경로를 구성한다. 예를 들면, 인트라 베이 루트(6)를 따라 다수의 로드 포트(12)가 있고, 도시하지 않은 반도체 처리 장치 등과의 사이에서 FOUP를 교환한다. 또한, 인트라 베이 루트(6) 및 인터 베이 루트(4)를 따라 다수의 버퍼(14)를 설치하고 FOUP를 임시 재치(載置)한다. 주행 경로에는 직진 구간 이외에 분기부(16)와 합류부(18) 및 커브 구간(20)이 있으며, 이들 부분에서 주행 대차(10)에 진동이 발생하기 쉽다. 또한, 주행 경로는 복수의 주행 레일을 접속하여 구성되고, 주행 레일의 이음매에서는 진동이 발생하기 쉽다. 또한, 도 1에서는 로트 포트(12) ~ 커브 구간(20)의 일부만을 도시했다.
메인터넌스 루트(8)는 주행 대차(10)의 메인터넌스와 대기를 행하는 루트이고, 22는 리프터이며, 주행 대차(10)를 지상측과 주행 레일측과의 사이에서 승강시켜, 지상측에 설치한 작업 에어리어(24)에서 메인터넌스한다. 또한, 메인터넌스 루트(8) 내에서 주행 대차(10)를 주행시켜, 주행 시의 진동, 발생하는 소음, 각 모터에서의 소비 전류, 주행 정지 위치 및 이동 재치 위치의 정밀도 등을 검출한다. 주행 대차(10)의 상태 및 인프라에 관한 이상 검출용의 데이터를 수집하기 위하여, 인트라 베이 루트(6) 및 인터 베이 루트(4)의 전역에 걸쳐 이상 검출용의 데이터를 수집한다. 메인터넌스 루트(8)에서는 주행 대차(10)에 주행, 이동 재치 등의 동작을 행하게 하여 주행 대차(10)의 이상 검출용의 데이터를 수집할 수 있다. 또한, 메인터넌스 루트(8)는 설치하지 않아도 된다.
도 2에 도시한 바와 같이, 시스템 콘트롤러(30)는 주행 대차 시스템의 전체를 제어하며, 복수의 존 콘트롤러(32)와 지상 LAN으로 접속되고, 존 콘트롤러(32)는 무선 LAN(36) 등에 의해 자기가 관리하는 존 내의 주행 대차(10)와 통신한다. 또한, 존 콘트롤러(32)를 설치하지 않고, 시스템 콘트롤러(30)가 직접 주행 대차(10)와 통신하는 등에 의해 직접 주행 대차 시스템(2)의 전역을 제어해도 좋다.
도 3에 주행 대차(10)의 구성과 존 콘트롤러(32)의 통신을 도시한다. 또한, 존 컨트롤러(32)를 설치하지 않을 경우, 시스템 콘트롤러(30)가 주행 대차(10)와 직접 통신한다. 주행 대차(10)는 통신 유닛(40)을 구비하고, 존 콘트롤러(32)에 대하여 자기의 위치와 속도, 가속도 및 반송 중인 물품의 유무 등의 상태 및 각종 센서로부터 얻어진 센서 데이터를 소정의 제어 주기마다 통신한다. 또한, 존 콘트롤러(32)로부터는 소정의 제어 주기마다 다음의 제어 주기에서의 목표 위치의 위치 지령, 센서에서의 검출 항목, 이동 재치 그 외의 지령을 수취한다. 제어 주기는 실시예에서는 0.1 초이며, 바람직하게는 0.01 초~ 2 초로 하고, 1 회의 보고 및 지령은 1 개의 패킷으로 행해도 복수의 패킷으로 행해도 되며, 검출에 관한 지령은 위치 등의 지령과 같은 통신 중에 행한다. 또한, 존 콘트롤러(32)와 주행 대차(10)의 통신의 주기가 0.1 초 정도이고, 주행 대차(10)의 시계는 존 콘트롤러(32)로부터 통지되는 시각에 의해 시계 조정되어 있다. 따라서, 주행 대차(10)측으로부터의 보고에는 시각 데이터를 포함해도 포함하지 않아도 된다.
주행 구동 유닛(45)은 도시하지 않은 주행 모터를 제어하고, 존 콘트롤러(32)로부터 지정된 다음의 제어 주기에서의 목표 위치에 도착하도록 속도 지령을 발생시켜 주행 모터를 제어한다. 가로 이송 유닛(46)은 버퍼 혹은 로드 포트와의 사이에서의 물품의 이동 재치를 위하여, 승강 구동 유닛(48)과 θ 구동 유닛(47)을 가로로 이송시킨다. θ 구동 유닛(47)은 승강 구동 유닛(48)을 수직축 중심으로 회전시켜 FOUP의 방향 등을 조정한다. 승강 구동 유닛(48)은 호이스트 등의 기구를 구비하고, FOUP를 지지한 승강대를 로드 포트, 버퍼 등과의 사이에서 승강시킨다. 구동 유닛(45 ~ 48)은 각각 적어도 1 개의 모터를 구비하고, 이들 전류치를 전류 센서(56)로 모터마다 검출한다.
수전(受電) 유닛(50)은 주행 레일 중에 배치한 도시하지 않은 비접촉 급전선으로부터 수전하고, 리니어 센서(52)는 주행 레일을 따라 설치한 자석 등의 마크를 검출하여 마크 기준의 위치를 구한다. 높이 센서(53)는 승강대의 높이 위치를 검출하며, 구체적으로는 승강 구동 유닛(48)의 승강 모터의 회전수 등으로부터 높이 위치를 검출한다. 진동 센서(54)는 승강대에 장착되어 반송 중의 물품에 가해지는 진동을 검출한다. 음량 센서(55)는 주행 대차(10) 내에서 발생하는 음량을 검출하며, 주행 구동 유닛(45) 등에 1 개를 설치해도 각 유닛마다 설치해도 된다. 또한, 전류 센서(56)는 각 구동 유닛의 모터의 소비 전류를 검출한다.
기상(機上) 콘트롤러(41)는 주행 대차(10)의 전체를 제어하고, 맵(42)에는 주행 경로에 관한 데이터가 기재되고, 예를 들면 마크의 절대 좌표가 기재되어 있다. 리니어 센서(52)로부터의 데이터를 맵(42)에서의 마크의 절대 좌표에 가산함으로써, 주행 경로 상의 절대 좌표를 구할 수 있다. 여기서, 절대 좌표는 주행 경로 상의 위치를 일의(一意)적으로 특정할 수 있는 좌표로, 예를 들면 도 1에 도시한 바와 같이, 주행 경로가 복수의 루트로 구분되어 있는 경우, 현재 위치가 어느 루트인지를 나타내는 데이터와, 그 루트 내의 기준점으로부터의 상대 좌표로 구성되어 있다. 메모리(43)는 주행 대차(10) 내에서 발생하는 다양한 데이터를 기억하고, 특히 이상 검출용의 센서(54 ~ 56)로부터의 데이터를 데이터가 발생한 시각, 그 시각에서의 주행 대차의 위치, 속도, 가속도 및 물품의 비재치/물품의 재치, 물품의 이동 재치 중/정지 중/주행 중 등의 상태와 함께 기억한다.
도 4에 시스템 콘트롤러(30)의 구성을 도시하며, 60은 통신 유닛이고 존 콘트롤러(32)와 통신하며, 그 외에 도시하지 않은 상위 콘트롤러와의 사이에서 통신하고 FOUP 등의 반송이 요구되어 반송 결과를 보고한다. 도면 부호 61은 지령 생성 유닛, 63은 지정 유닛이고, 유닛(61, 63)으로부터의 지령을 합성하여 통신 유닛(60)으로부터 존 콘트롤러(32)를 거쳐 주행 대차에 지령한다. 지령 생성 유닛(61)에서는 다음의 제어 주기에서의 목표 위치, 분기의 방향, 이동 재치의 실행/정지 그 외의 주행과 이동 재치에 관한 지령을 생성하고, 지정 유닛(63)에서는 검출 위치와 어느 항목에 대한 검출을 행할지를 지정한 검출에 관한 지령을 생성한다. 검출 위치는 절대 좌표로 표시한다. 메모리(62)는 주행 대차의 위치와 시각, 속도, 가속도, 상태, 센서 데이터 등을 기억하며, 1 제어 주기마다 통신 유닛(60)을 거쳐 주행 대차마다의 데이터가 얻어지고, 이들 데이터를 바탕으로 주행과 이동 재치에 관한 지령을 지령 생성 유닛(61)에서 생성하고, 검출에 관한 지령을 지정 유닛(63)에서 생성한다.
2 종류의 지령을 통신 유닛(60)에서 합체하고 주행 대차에 통지한다. 따라서, 주행 대차측에서는 1 제어 주기마다 지령을 받아 다음의 제어 주기 내에 실행하고, 지정된 검출을 실행한다. 메모리(62)에는 주행 대차의 현재 위치가 기억되고, 지령 생성 유닛(61)은 다음의 제어 주기에서의 목표 위치를 지정하므로, 검출 위치를 다음의 제어 주기에 통과할 때에 검출을 지령한다. 검출은 제어 주기마다 행하는 것이 아니라 검출 위치와 검출 항목이 지정되었을 때에 행하면 되고, 검출 위치와 검출 항목이 지정되면 주행 대차는 지정된 위치에서 검출을 실행한다.
메모리(62) 중의 데이터 중 진동 센서, 음량 센서, 전류 센서 등으로 구한 진단용의 데이터를 메모리(65)에 기억한다. 메모리(65)에서는 이들 데이터를 주행 대차의 ID, 검출 시각, 검출 위치, 검출 시의 속도, 가속도, 물품의 재치/물품의 비재치의 구별 등의 상태와 관련지어 기억한다. 또한, 주행 대차측의 메모리에서 검출 데이터를 일시적으로 기억하고, 복수의 검출 데이터를 정리하여 시스템 콘트롤러측으로 통신해도 좋다.
전처리 유닛(66)은, 예를 들면 FFT(고속 푸리에 변환 유닛) 등으로 구성되며, 진동 데이터 및/또는 음량 데이터 등의 주파수를 수반하는 데이터에 대하여 푸리에 변환 등을 행한다. 푸리에 변환을 주행 대차측에서 실행하고, 푸리에 변환 후의 데이터를 시스템 콘트롤러로 통지해도 좋다. 진단 데이터는 주행 대차 해석 유닛(68)에서 주행 대차마다 해석하고, 인프라 해석 유닛(70)에서 주행 레일 또는 로드 포트, 버퍼 등의 레일측 설비마다 해석한다. 해석 유닛(68, 70)은 해석 대상이 주행 대차이거나 지상측의 설비로 상이하지만, 해석의 수법 자체는 동일하다.
순간치(瞬間値) 해석 유닛(72)은 진동 데이터, 음량 데이터, 전류 데이터 등에 대하여 순간치를 해석하고, 정상 범위, 주의 범위, 이상 범위 등의 3 종류로 구분한다. 이들 범위에서는, 예를 들면 정상 범위를 중심으로 하여 그 양 외측에 주의 범위가 있고, 또 그 양 외측에 이상 범위가 있다. 또한, 정상/주의/이상의 임계치는 주행 대차의 속도, 가속도, 물품의 재치/물품의 비재치 및 검출 위치의 종류 등에 따라 상이하다. 즉, 주행 레일 간의 이음매, 분기부 혹은 합류부의 주행, 커브 구간 등의 검출 위치에 따라 주행 시 상태에 대한 임계치가 바뀌어 있다. 또한, 이동 재치에 대해서는 로드 포트와의 이동 재치, 버퍼와의 이동 재치, 승강대의 승강 속도와 승강 가속도, 가로 이송량 등에 따라, 정상/주의/이상의 임계치가 바뀌어 있다. 그리고, 순간치 해석 유닛(72)에서는, 예를 들면 이상 데이터가 발생하면 재검출을 요구한다. 예를 들면, 레일의 이음매에서 이상을 검출했을 경우, 이상을 검출한 주행 대차에 다음의 레일의 이음매에서도 재검출을 요구한다. 마찬가지로, 이상을 검출한 레일의 이음매에 대하여 다른 주행 대차에 재검출을 요구한다. 이들에 의해, 이상의 원인이 주행 대차측에 있는지, 레일 등의 측에 있는지를 판별한다.
시계열 해석 유닛(73)은 동일한 위치에서의 복수의 주행 대차 및 동일한 주행 대차에서의 복수의 위치에서의 진동, 음량, 전류 등의 시계열 데이터로부터 주행 대차 및 인프라의 향후 상태를 예측하여, 정상/주의/이상 중 어느 랭크에 들어가는지를 예측한다. 또한, 향후 상태의 예측은 주행 대차와 인프라의 쌍방에 대하여 행하는 것에 한정되지 않고, 상황에 따라 일방에 대한 예측을 생략해도 좋다. 정상/주의/이상의 어느 랭크에 들어갈지의 예측에서도, 임계치를 주행 대차의 속도, 가속도, 물품의 재치/물품의 비재치 등에 따라 변경한다. 시계열 분석에서는 시간을 변수로 하여, 예를 들면 검출 데이터의 평균과 분산 등을 구하고, 이들 데이터를 미래로 외삽(外揷)함으로써 예측치를 구한다. 혹은, 이들 분포 데이터 중에서 이상측에 가까운 데이터를 미래로 외삽하여 예측치를 구한다. 또한, 검출마다의 데이터의 변화량, 즉 전회의 검출과 이번 검출에서의 변화량을 구하고, 이들 변화량의 대소로부터 대차 혹은 레일 등의 상태가 안정되어 있는지의 여부를 구한다. 그리고, 소정 시간 내에, 예를 들면 향후 1 일 ~ 향후 1 주일 이내에 이상치에 달할 가능성이 있을 경우, 주행 대차를 메인터넌스 루트로 주행시켜 메인터넌스를 행한다. 주행 레일 혹은 버퍼 등의 설비의 경우, 해당하는 설비의 사용을 금지하고 메인터넌스를 지령한다.
집단 해석 유닛(74)은 집단으로서 주행 대차의 상태 혹은 집단으로서의 주행 레일 등의 지상측 설비의 상태를 해석한다. 예를 들면, 진동 및 소음, 모터 전류 등의 데이터의 전체 대차에 대한 평균치와 분산 및 평균치와 분산의 변동의 경향 등을 구한다. 또한, 레일 등의 지상측 설비의 각 위치에서의 진동, 소음 등의 데이터의 평균치, 그 분산, 변동의 경향 등을 구한다. 이와 같이 하여, 전체로서의 대차의 상태와, 전체로서의 주행 경로 상태를 구한다. 이들 상태를 구하면, 시스템 전체의 평균으로부터 크게 일탈되어 있는 대차 혹은 주행 경로 상의 위치 등을 구할 수 있고, 이들을 메인터넌스의 대상으로 한다. 따라서, 예방 보전이 용이해진다. 주행 대차 시스템의 설치 후의 거동을 생각하면, 설치 직후에는 초기적인 트러블이 있고, 이들이 해소된 후, 부재의 마모 등의 시간 경과에 따른 피로에 의한 트러블이 발생한다. 집단 해석 유닛(74)에서는 집단에 대한 이러한 해석을 행함으로써 시스템의 상태를 파악할 수 있다. 또한, 집단의 평균적인 거동으로부터 벗어난 주행 대차와 주행 경로 상의 위치를 검출할 수 있다.
상관 해석 유닛(75)에서는 메인터넌스 등의 이벤트의 전후에서 메인터넌스 된 주행 대차 혹은 메인터넌스된 주행 경로 상의 부재의 상태가 어떻게 변화했는지를 구하고, 또한 각종의 데이터 간의 상관을 검출한다. 각 해석 유닛(72 ~ 75)에 의해 얻어진 결과는 모니터(78) 및 프린터(80) 등에 출력되고, 메인터넌스 루트로의 주행 지령 등으로써 지령 생성 유닛(61)에 출력된다. 집단 해석 유닛(74) 및 상관 해석 유닛(75)은 설치하지 않아도 된다.
도 5는 진단 데이터의 전처리를 나타내고, 진동 데이터와 음량 데이터를 고속 푸리에 변환하여 주파수 데이터로 변환하고, 진동 데이터 혹은 음량 데이터의 주파수 특성으로부터 이상 부위 혹은 이상 원인을 특정한다. 고속 푸리에 변환 대신에 웨이브릿 변환(wavelet transformation)을 행하고, 진동 데이터와 음량 데이터의 주파수 특성, 진동 데이터 혹은 음량 데이터에서의 신호의 발생 시각, 주행 대차의 이동에 수반하는 신호의 공간적 추이로 전개하면, 보다 확실히 이상 부위를 특정할 수 있다. 또한, 검출을 행한 위치, 시각, 주행 대차의 ID, 각종의 센서 데이터, 속도, 가속도, 전류치 등을 진단 데이터로서 해석 유닛에 입력한다.
순간치 해석의 내용을 도 6에 나타내고, 센서 데이터를 주행 대차의 상태에 따른 임계치와 비교하여 정상/주의/이상 등으로 분류한다. 그리고, 이상의 정도 및/또는 ‘주의’의 레벨이 반복 발생하는지 등의 재현성에 따라 메인터넌스가 필요한지 여부를 판단하고, 메인터넌스가 필요한 것을 추출한다. 메인터넌스가 필요한 경우, 이상의 내용과 센서 데이터와 함께 메인터넌스의 지령을 지시 데이터로서 출력한다. 그러면, 어떠한 이상에 의해 어떠한 메인터넌스가 필요한지가 판명되므로, 용이하게 메인터넌스를 할 수 있다.
시계열 해석에서는, 도 7에 나타낸 바와 같이, 센서 데이터의 시계열로부터 주행 대차 및 주행 경로의 각 위치에 대하여 향후 상태의 예측치를 구한다. 그리고, 메인터넌스가 필요한 것을 추출하고, 메인터넌스할 주행 대차 혹은 주행 경로 상의 위치에서의 센서 데이터와 함께, 메인터넌스를 지령한다. 따라서, 주행 대차와 주행 경로에 예방 보전을 할 수 있다.
집단 해석에서는, 도 8에 나타낸 바와 같이, 주행 대차의 전체 혹은 주행 레일의 전체 등에 대하여 진동 데이터, 음량 데이터, 각 모터의 전류치 등의 평균과 분산, 이들 변동의 경향을 구한다. 또한, 평균으로부터 일탈한 주행 대차 및 주행 경로 상의 위치를 추출한다.
도 9에 나타낸 상관 해석에서는 센서 데이터 간의 상관을 서치한다. 예를 들면, 정상적으로 메인터넌스가 행해지면, 메인터넌스 후에 센서 데이터는 정상치로 안정되겠지만, 실제로 그와 같이 되어 있는지를 체크한다. 또한, 주의 영역 및/또는 이상 영역에서의 클러스터의 유무를 조사한다. 진동, 소음, 속도, 가속도, 전류치 등을 개개의 차원으로 간주하면, 1 회의 센서 데이터는 다차원의 공간의 1 점으로 간주할 수 있다. 클러스터는 이들 점이 집합한 에어리어이고, 주의 영역 혹은 이상 영역에 클러스터가 존재하는 것은 다양한 요소가 복합되어 트러블의 원인이 되어 있는 것을 시사한다. 그리고, 상관 해석에 의해 결과가 얻어지면, 결과를 출력하여 다른 해석 유닛에 반영시킨다.
실시예에서는 이하의 효과가 얻어진다.
(1) 절대 좌표에 의해 검출 위치를 지정하므로, 레일의 이음매 등에 대하여 핀 포인트로 검출 위치를 지정할 수 있다. 또한, 동일한 위치에 대하여 반복 검출할 수 있으므로, 주의 영역 및 이상 영역의 신호의 재현성을 정확하게 구할 수 있다.
(2) 시스템 콘트롤러로부터 주행 대차에 각 제어 주기마다 목표 위치를 지령하는 시스템에서는 시스템의 스루풋이 높은 대신에 트러블의 영향이 크다. 이러한 시스템에서 예방 보전을 행하면 특히 유효하다. 또한, 통신은 통상의 지령의 통신과 동시에 행할 수 있다.
(3) 검출 데이터를 대차의 속도 및 가속도와 관련지어 기억하므로, 이들의 영향을 보정하여 객관적인 해석을 할 수 있다.
(4) 검출 위치는 주행 레일의 이음매, 분기부, 합류부, 커브 구간 등을 구체적으로 지정할 수 있다. 이들 위치에서의 대차의 주행 중의 상태를 검출한다. 예를 들면, 주행 중의 진동, 소용, 주행 모터의 전류치 등을 검출한다. 로드 포트 혹은 버퍼 등과의 사이에서 이동 재치를 행할 경우는 이동 중의 상태를 검출한다. 예를 들면, 이동 재치 중에 승강대가 받는 진동 및/또는 이동 중의 소음, 승강 모터 등의 전류치를 검출한다. 그리고, 검출 대상에 따라 시스템 콘트롤러로부터 검출 항목을 지정할 수 있다. 또한, 검출 항목을 지정하지 않고, 상시 검출마다 모든 데이터를 요구해도 된다.
(5) 센서 데이터를 시계열 해석하면, 향후의 트랜드를 예측할 수 있다. 따라서, 실제 트러블이 발생하기 전에 예방적인 메인터넌스를 할 수 있다.
(6) 진동 센서로부터의 신호 및/또는 음량 센서로부터의 신호를 주파수 해석하면, 모터의 이상, 주행 레일의 단차, 체결부가 느슨하다거나 차바퀴 등이 마모되어 있다 등과 같이, ‘주의’ 및/또는 ‘이상’의 원인을 판별할 수 있다.
(7) 순간치 해석 유닛과 시계열 해석 유닛과 집단 해석 유닛을 주행 대차 및 주행 경로의 각각에 대하여 설치하면, 개별의 대차 혹은 주행 경로 상의 위치의 이상을 순간치 해석 유닛으로 구하여 메인터넌스를 행할 수 있다. 또한, 시계열 해석 유닛에 의해 향후의 트랜드를 예측하여 예방 메인터넌스를 실시할 수 있다. 또한, 집단 해석 유닛에 의해 시스템의 현상을 해석할 수 있다.
(8) 모든 주행 대차 및 지상측 인프라의 이상 검출, 메인터넌스, 리스타트 등의 종합적인 이력 데이터를 지상 콘트롤러(시스템 콘트롤러)에 저장할 수 있다. 이들 데이터를 보전용 데이터로 하여 주행 대차 및 지상측 인프라의 향후 상태를 예측하고, 주행 대차 시스템의 경향 관리 및 수명 관리에 이용할 수 있다. 이 결과, 시스템 전체를 정상 상태로 유지할 수 있다.
2: 주행 대차 시스템
4: 인터 베이 루트
6: 인트라 베이 루트
8: 메인터넌스 루트
9: 파킹 루트
10: 주행 대차
12: 로드 포트
14: 버퍼
16: 분기부
18: 합류부
20: 커브 구간
22: 리프터
24: 작업 에어리어
30: 시스템 콘트롤러
32: 존 콘트롤러
34: 지상 LAN
36: 무선 LAN
40: 통신 유닛
41: 기상 콘트롤러
42: 맵
43: 메모리
45: 주행 구동 유닛
46: 가로 이송 유닛
47: θ 구동 유닛
48: 승강 구동 유닛
50: 수전 유닛
52: 리니어 센서
53: 높이 센서
54: 진동 센서
55: 음량 센서
56: 전류 센서
60: 통신 유닛
61: 지령 생성 유닛
62, 65: 메모리
63: 지정 유닛
66: 전처리 유닛(FFT)
68: 주행 대차 해석 유닛
70: 인프라 해석 유닛
72: 순간치 해석 유닛
73: 시계열 해석 유닛
74: 집단 해석 유닛
75: 상관 해석 유닛
78: 모니터
80: 프린터

Claims (9)

  1. 복수의 주행 대차(臺車)가 주행 경로를 따라 주행하고, 이상을 검출하면 지상측 콘트롤러로 보고하는 시스템으로서,
    주행 경로 상의 위치를 일의(一意)적으로 특정하는 절대 좌표에 의해 이상 검출용 센서에 의한 검출을 행할 위치를 주행 대차에 지정하는 지상측 콘트롤러와,
    이상 검출용 센서를 구비하고, 지정된 위치에서 이상 검출용 센서에 의한 검출을 행하고, 검출 위치와 검출 시각을 포함하는 검출 데이터를 지상측 콘트롤러로 보고하는 주행 대차를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 주행 대차 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    지상측 콘트롤러는, 미리 설정된 제어 주기마다 주행 대차에 목표 위치를 지시하고, 목표 위치의 지시의 통신 중에 검출을 행하는 위치를 지정하고,
    주행 대차는 지시받은 목표 위치에 도착하도록 제어 주기마다 속도 제어를 행하고, 지정된 위치에서 검출을 행하는 것을 특징으로 하는 주행 대차 시스템.
  3. 제 1 항에 있어서,
    지상측 콘트롤러는, 상기 이상 검출용 센서에 의한 검출 데이터를 주행 대차의 속도 및 가속도와 관련지어 기억하는 것을 특징으로 하는 주행 대차 시스템.
  4. 제 1 항에 있어서,
    주행 대차는, 이상 검출용 센서로서 주행에 관한 이상 검출용 센서와, 이동 재치(載値)에 관한 이상 검출용 센서를 구비하고,
    지상측 콘트롤러는, 주행 경로에서의 주행 레일의 이음매, 분기부와 합류부 및 커브 구간을, 주행에 관한 이상 검출용 센서가 검출을 행하는 위치로서 지정하고, 주행 대차의 이동 재치 장치와 지상측의 이동 재치 설비와의 사이에서 물품을 이동 재치하는 위치를, 이동 재치에 관한 이상 검출용 센서가 검출을 행하는 위치로서 지정하는 것을 특징으로 하는 주행 대차 시스템.
  5. 제 1 항에 있어서,
    지상측 콘트롤러는, 동일한 위치에서의 복수의 주행 대차의 검출 데이터 또는 동일한 주행 대차에서의 복수의 위치에서의 검출 데이터에 기초하여, 주행 경로 상의 메인터넌스가 필요한 개소 및 메인터넌스가 필요한 주행 대차를 특정하는 것을 특징으로 하는 주행 대차 시스템.
  6. 제 1 항에 있어서,
    지상측 콘트롤러는, 검출 데이터를 시계열 해석하는 시계열 해석 유닛을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 주행 대차 시스템.
  7. 제 1 항에 있어서,
    주행 대차는, 이상 검출용 센서로서 진동 센서와 음량 센서를 구비하고,
    주행 대차 또는 지상측 콘트롤러는, 진동 센서로부터의 데이터와 음량 센서로부터의 데이터를 주파수 해석하는 것을 특징으로 하는 주행 대차 시스템.
  8. 제 1 항에 있어서,
    지상측 콘트롤러는, 이상 검출용 센서로부터의 검출 데이터에 의해 주행 대차의 상태를 해석하는 주행 대차 해석 유닛과, 이상 검출용 센서로부터의 검출 데이터에 의해 주행 경로의 상태를 해석하는 인프라 해석 유닛을 구비하고,
    각 해석 유닛은, 검출 데이터의 순간치에 기초하여 이상을 해석하는 순간치 해석 유닛과, 검출 데이터를 시계열 해석하는 시계열 해석 유닛과, 주행 대차 전체에 대한 검출 데이터 또는 주행 경로 전체에 대한 검출 데이터를 해석하는 집단 해석 유닛을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 주행 대차 시스템.
  9. 이상 검출용 센서를 탑재한 복수의 주행 대차가 주행 경로를 따라 주행하고, 이상을 검출하면 지상측 콘트롤러로 보고하는 자기 진단 방법으로서,
    주행 경로 상의 위치를 일의(一意)적으로 특정하는 절대 좌표에 의해 이상 검출용 센서에 의한 검출을 행하는 위치를 주행 대차에 지정하고,
    지정된 위치에서 이상 검출용 센서에 의한 검출을 행하고, 검출 위치와 검출 시각을 포함하는 검출 데이터를 지상측 콘트롤러로 보고하는 것을 특징으로 하는 주행 대차 시스템의 자기 진단 방법.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20170068395A (ko) * 2015-12-09 2017-06-19 가부시키가이샤 다이후쿠 물품 반송 설비
KR20220029989A (ko) * 2020-09-02 2022-03-10 주식회사 에스에프에이 포켓 소팅 시스템

Families Citing this family (50)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5110405B2 (ja) * 2010-04-07 2012-12-26 村田機械株式会社 走行台車システム
JP5146855B2 (ja) * 2010-08-09 2013-02-20 村田機械株式会社 天井走行車システム
JP5446055B2 (ja) * 2012-01-27 2014-03-19 村田機械株式会社 台車システム
CN102722169A (zh) * 2012-07-13 2012-10-10 昆山工研院工业机器人研究所有限公司 基于双车同轨的rgv小车智能控制装置
US9026300B2 (en) 2012-11-06 2015-05-05 Google Inc. Methods and systems to aid autonomous vehicles driving through a lane merge
JP6051993B2 (ja) * 2013-03-25 2016-12-27 村田機械株式会社 自律移動式無人搬送車、及び、自律移動式無人搬送システム
JP6136434B2 (ja) * 2013-03-25 2017-05-31 村田機械株式会社 自律移動式無人搬送車
CN104627841A (zh) * 2013-11-13 2015-05-20 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 洁净天车避障控制系统
KR101527686B1 (ko) * 2014-05-02 2015-06-10 오학서 자동 반송 시스템용 데이터 전송 시스템
CN107155370B (zh) 2014-12-26 2020-07-31 川崎重工业株式会社 搬送装置的控制装置
US9472098B2 (en) * 2015-01-15 2016-10-18 International Business Machines Corporation Vehicle-based abnormal travel event detecting and reporting
CN106062841B (zh) * 2015-04-24 2018-07-31 深圳市大疆创新科技有限公司 用于呈现移动平台的操作信息的方法、设备和系统
JP6332147B2 (ja) * 2015-05-28 2018-05-30 株式会社ダイフク 物品取扱設備
JP6520797B2 (ja) * 2016-04-11 2019-05-29 株式会社ダイフク 物品搬送設備
DE102016217883A1 (de) * 2016-09-19 2018-03-22 Siemens Aktiengesellschaft Überwachung von Infrastruktureinrichtungen mittels Geoclustering
TW201839890A (zh) * 2017-02-13 2018-11-01 日商東京威力科創股份有限公司 搬送裝置﹑搬送方法及記憶媒體
JP6910846B2 (ja) * 2017-05-22 2021-07-28 東芝テック株式会社 リーダー装置、及びセンシングシステム
SG11201912673UA (en) * 2017-06-30 2020-01-30 Murata Machinery Ltd Conveying system and conveying method
JP7051045B2 (ja) * 2017-11-08 2022-04-11 オムロン株式会社 移動式マニピュレータ、移動式マニピュレータの制御方法及びプログラム
TWI648209B (zh) * 2017-11-29 2019-01-21 台灣積體電路製造股份有限公司 自動化物料處理方法與系統
US10564632B2 (en) 2017-11-29 2020-02-18 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Systems and methods for sensory automated material handing
DE102018203814A1 (de) 2018-03-13 2019-09-19 Gebhardt Fördertechnik GmbH Verfahren zur, vorzugsweise vorausschauenden, Instandhaltung eines automatisierten Fördersystems und entsprechendes Fördersystem
WO2019201798A1 (de) * 2018-04-20 2019-10-24 Eisenmann Se Förderanlage und verfahren zur steuerung einer solchen
JP7139164B2 (ja) * 2018-06-22 2022-09-20 本田技研工業株式会社 共用車管理システム
JP7305258B2 (ja) * 2018-07-18 2023-07-10 株式会社ディスコ 搬送システム
US10479356B1 (en) 2018-08-17 2019-11-19 Lyft, Inc. Road segment similarity determination
JP7173290B2 (ja) * 2019-03-22 2022-11-16 村田機械株式会社 搬送車システム
CN111863681B (zh) * 2019-04-26 2024-05-24 台湾积体电路制造股份有限公司 搬运装置及其应用的搬运系统及搬运系统的预测保养方法
JP7238589B2 (ja) * 2019-05-13 2023-03-14 トヨタ車体株式会社 搬送車管理装置及び搬送車管理方法
US11819965B2 (en) * 2019-05-17 2023-11-21 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Limited Device maintenance in semiconductor manufacturing environment
US11928557B2 (en) 2019-06-13 2024-03-12 Lyft, Inc. Systems and methods for routing vehicles to capture and evaluate targeted scenarios
US11637860B2 (en) * 2019-06-17 2023-04-25 At&T Intellectual Property I, L.P. Autonomous vehicle DoS resistant communication system using acoustic communications
US11449475B2 (en) 2019-06-28 2022-09-20 Lyft, Inc. Approaches for encoding environmental information
US11157007B2 (en) * 2019-06-28 2021-10-26 Lyft, Inc. Approaches for encoding environmental information
KR102225635B1 (ko) * 2019-07-19 2021-03-12 세메스 주식회사 대상물 이송 시스템
JP7276468B2 (ja) * 2019-08-29 2023-05-18 村田機械株式会社 走行車システム
IT201900017447A1 (it) * 2019-09-27 2021-03-27 Ocm S P A Sistema di trasporto e modalità di funzionamento dello stesso
US11788846B2 (en) 2019-09-30 2023-10-17 Lyft, Inc. Mapping and determining scenarios for geographic regions
US11816900B2 (en) 2019-10-23 2023-11-14 Lyft, Inc. Approaches for encoding environmental information
JP7276164B2 (ja) * 2020-01-08 2023-05-18 株式会社ダイフク 仕分け設備
KR102313087B1 (ko) * 2020-01-14 2021-10-18 세메스 주식회사 Oht 주행 시스템 및 oht 주행 시스템에서의 오차 보정 방법
JP7272290B2 (ja) * 2020-01-24 2023-05-12 株式会社ダイフク 仕分け設備及び走行台車の状態検査方法
US11367637B2 (en) 2020-02-11 2022-06-21 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Method of operating transport system
JP7318589B2 (ja) * 2020-05-25 2023-08-01 株式会社ダイフク 物品搬送設備
KR102534402B1 (ko) * 2020-08-19 2023-05-18 세메스 주식회사 비히클 검사 장치 및 이를 갖는 대상물 이송 시스템
JP7334748B2 (ja) * 2021-01-13 2023-08-29 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP7380637B2 (ja) * 2021-04-13 2023-11-15 村田機械株式会社 有軌道台車
US11798295B2 (en) * 2021-04-27 2023-10-24 GM Global Technology Operations LLC Model free lane tracking system
CN114646342B (zh) * 2022-05-19 2022-08-02 蘑菇物联技术（深圳）有限公司 用于定位异常传感器的方法、设备和介质
EP4389647A1 (de) * 2022-12-22 2024-06-26 BEUMER Group GmbH & Co. KG Hängeförderersystem und verfahren zur überwachung eines hängeförderers

Family Cites Families (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5266396A (en) * 1975-11-28 1977-06-01 Fujitsu Ten Ltd Device for inspecting trouble detecting and warning device
US4977359A (en) * 1989-11-24 1990-12-11 Omron Tateisi Electronics Co. Servo motor system requiring a reduced number of signal transmission lines
JP2621552B2 (ja) * 1990-03-06 1997-06-18 日産自動車株式会社 能動型サスペンション
JPH04117625A (ja) 1990-09-07 1992-04-17 Pioneer Electron Corp 相変化型記録媒体を用いた情報記録方法
US5420794A (en) * 1993-06-30 1995-05-30 James; Robert D. Automated highway system for controlling the operating parameters of a vehicle
KR960704731A (ko) * 1993-08-26 1996-10-09 알베르트 발도르프·롤프 옴케 자동차용 제어기(motor vehicle control)
US8140358B1 (en) * 1996-01-29 2012-03-20 Progressive Casualty Insurance Company Vehicle monitoring system
US5745030A (en) * 1996-05-14 1998-04-28 Aaron; Albert Automatic occupant sensing anti-carjacking system
US6100792A (en) * 1996-05-20 2000-08-08 Alpine Electronics, Inc. Car security apparatus and car security system
US6028537A (en) * 1996-06-14 2000-02-22 Prince Corporation Vehicle communication and remote control system
JPH10124145A (ja) * 1996-10-15 1998-05-15 Nippon Yusoki Co Ltd 無人搬送車における自己診断の異常表示方法及びその装置
US6285931B1 (en) * 1998-02-05 2001-09-04 Denso Corporation Vehicle information communication system and method capable of communicating with external management station
KR100373666B1 (ko) * 1998-05-15 2003-02-26 가부시키가이샤 히타치세이사쿠쇼 정보 처리 장치 및 정보 처리 장치를 사용한 보행자용내비게이션 시스템
US7113852B2 (en) * 2000-07-20 2006-09-26 Kapadia Viraf S System and method for transportation vehicle monitoring, feedback and control
US6982635B2 (en) * 2000-09-21 2006-01-03 American Calcar Inc. Technique for assisting a vehicle user to make a turn
US20030040885A1 (en) * 2001-08-14 2003-02-27 Schoess Jeffrey N. Apparatus and method for determining vehicle load weight status
KR20050089272A (ko) * 2004-03-04 2005-09-08 삼성전자주식회사 메모리가 내장된 이동체용 열쇠 및 그를 이용한 이동체제어 방법
US20060155439A1 (en) * 2005-01-12 2006-07-13 Slawinski John A System and method for using a vehicle's key to collect vehicle data and diagnose mechanical problems, to store and compare security data to allow only authorized use of vehicles and a method to automatically set vehicle features usng the key
JP4117625B2 (ja) * 2005-05-26 2008-07-16 村田機械株式会社 搬送車システム
JP4438095B2 (ja) * 2005-05-26 2010-03-24 村田機械株式会社 搬送システム
JP4388532B2 (ja) * 2006-07-10 2009-12-24 東海旅客鉄道株式会社 鉄道車両の異常検知装置
JP4189826B2 (ja) * 2006-12-01 2008-12-03 村田機械株式会社 走行台車と走行台車システム
JP4306723B2 (ja) * 2006-12-15 2009-08-05 村田機械株式会社 搬送台車システム
JP5138949B2 (ja) * 2007-02-07 2013-02-06 日立オートモティブシステムズ株式会社 車載ゲートウェイ装置
JP2008239021A (ja) * 2007-03-28 2008-10-09 Denso Corp 車両制御装置及びそのデータ書換システム
US20090106036A1 (en) * 2007-10-22 2009-04-23 Kazuya Tamura Method and system for making automated appointments
KR101246280B1 (ko) * 2008-09-26 2013-03-22 무라다기카이가부시끼가이샤 반송차 시스템
US8495046B1 (en) * 2010-03-17 2013-07-23 Google Inc. Encoding locations and using distances for resources
JP5110405B2 (ja) * 2010-04-07 2012-12-26 村田機械株式会社 走行台車システム

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20170068395A (ko) * 2015-12-09 2017-06-19 가부시키가이샤 다이후쿠 물품 반송 설비
KR20220029989A (ko) * 2020-09-02 2022-03-10 주식회사 에스에프에이 포켓 소팅 시스템

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