KR102225635B1 - 대상물 이송 시스템 - Google Patents

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세메스 주식회사
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Abstract

본 발명에 따른 대상물 이송 시스템은, 주행 레일을 따라 주행하며 대상물을 이적재하는 비히클 및 상기 비히클의 주행 동작 및 상기 대상물의 이적재 동작을 제어하는 제어 유닛을 포함한다. 상기 비히클은, 상기 주행 동작 및 상기 이적재 동작에 대한 정보를 획득하는 획득부와, 상기 획득부에서 획득된 상기 정보를 근거로 상기 주행 동작 및 상기 이적재 동작의 이상 여부를 자가 판단하고, 이상이 있는 경우 상기 비히클의 배출을 요청하는 제1 배출 신호를 생성하는 판단부 및 상기 제1 배출 신호를 상기 제어 유닛으로 전달하는 제1 통신부를 포함하고, 상기 제어 유닛은, 상기 비히클의 제1 배출 신호를 전달받고, 상기 제1 배출 신호에 따라 상기 비히클이 배출 위치로 이동하도록 제어하는 제어 신호를 생성하는 신호 생성부 및 상기 신호 생성부에서 생성된 상기 제어 신호를 상기 비히클로 전달하는 제2 통신부를 포함할 수 있다.

Description

대상물 이송 시스템{Object transport system}
본 발명은 대상물 이송 시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 대상물을 이송하기 위한 대상물 이송 시스템에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 공정 설비들은 연속적으로 배치되어 반도체 소자를 제조하기 위한 다양한 공정을 수행한다. 상기 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 대상물은 대상물 이송 시스템에 의해 이송된다.
상기 대상물 이송 시스템은 상기 반도체 공정 설비들이 구비된 공간에 구비된 주행 레일을 따라 주행하는 비히클 및 상기 비히클을 주행과 상기 대상물의 이적재를 제어하는 제어 유닛을 포함한다.
상기 비히클에 이상이 발생하는 경우, 상기 비히클의 상기 이상 발생을 상기 제어 유닛으로 전달한다. 작업자는 상기 제어 유닛을 모니터링하여 상기 비히클의 이상 발생을 확인하고, 상기 비히클을 조작하여 상기 비히클을 배출 위치로 이동시킨다.
작업자가 상기 비히클의 이상을 모니터링하여 수작업으로 상기 비히클을 배출 위치로 이동시키므로, 상기 이상 발생 비히클을 처리하는데 많은 시간이 소요될 수 있다. 따라서, 상기 이상 발생 비히클이 처리될 때까지 상기 주행 레일에 상기 비히클들이 정체될 수 있다.
본 발명은 이상 발생 비히클을 자동으로 배출 위치로 이동시키며, 상기 비히클의 이상 발생을 예측할 수 있는 대상물 이송 시스템을 제공한다.
본 발명에 따른 주행 레일을 따라 주행하며 대상물을 이적재하는 비히클 및 상기 비히클의 주행 동작 및 상기 대상물의 이적재 동작을 제어하는 제어 유닛을 포함하는 대상물 이송 시스템에서 상기 비히클은, 상기 주행 동작 및 상기 이적재 동작에 대한 정보를 획득하는 획득부와, 상기 획득부에서 획득된 상기 정보를 근거로 상기 주행 동작 및 상기 이적재 동작의 이상 여부를 자가 판단하고, 이상이 있는 경우 상기 비히클의 배출을 요청하는 제1 배출 신호를 생성하는 판단부 및 상기 제1 배출 신호를 상기 제어 유닛으로 전달하는 제1 통신부를 포함하고, 상기 제어 유닛은, 상기 비히클의 제1 배출 신호를 전달받고, 상기 제1 배출 신호에 따라 상기 비히클이 배출 위치로 이동하도록 제어하는 제어 신호를 생성하는 신호 생성부 및 상기 신호 생성부에서 생성된 상기 제어 신호를 상기 비히클로 전달하는 제2 통신부를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제어 유닛은, 상기 제1 배출 신호를 근거로 상기 비히클의 현재 위치를 확인하고, 상기 비히클의 현재 위치와 상기 배출 위치를 이용하여 상기 비히클의 배출 경로를 산출하는 경로 산출부를 더 포함하고, 상기 신호 생성부는 상기 경로 산출부에서 산출된 상기 배출 경로에 대한 정보를 포함하도록 상기 제어 신호를 생성할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 대상물 이송 시스템은, 상기 비히클의 이상 여부를 예측하는 이상 예측 유닛을 포함하고, 상기 제1 통신부는 상기 획득부에서 획득된 정보를 상기 이상 예측 유닛으로 전달하고, 상기 이상 예측 유닛은, 상기 획득된 정보를 이용하여 상기 비히클의 이상 발생을 예측하고, 상기 비히클의 이상 발생이 예측되는 경우 상기 비히클의 배출을 요청하는 제2 배출 신호를 생성하는 예측부 및 상기 제2 배출 신호를 상기 제어 유닛으로 전달하는 제3 통신부를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 신호 생성부는 상기 제2 배출 신호를 전달받고, 상기 제2 배출 신호에 따라 상기 비히클이 배출 위치로 이동하도록 제어하는 제어 신호를 생성할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 예측부는, 기 획득된 다수의 비히클들의 주행 동작 및 이적재 동작에 대한 기준 정보와 상기 획득 정보를 비교하고, 상기 기준 정보 중에서 상기 획득 정보와 유사한 기준 정보를 확인하고, 상기 기준 정보의 이상 여부에 따라 상기 비히클의 이상 발생을 예측할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 이상 예측 유닛은, 상기 비히클들에 대한 상기 기준 정보를 저장하는 저장부를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 획득된 정보를 상기 기준 정보에 추가하여 저장할 수 있다.
본 발명의 상기 대상물 이송 시스템은 상기 비히클은 자가 판단으로 이상 여부를 판단하고, 상기 이상 발생 비히클의 제1 배출 신호에 따라 상기 제어부가 상기 비히클을 배출 위치로 이동하도록 제어한다. 상기 이상 발생 비히클의 배출이 자동으로 이루어지므로, 상기 이상 발생 비히클을 신속하게 처리할 수 있고, 상기 이상 발생 비히클로 인해 다른 비히클들이 정체되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 상기 대상물 이송 시스템은, 상기 비히클의 상기 주행 동작 및 상기 이적재 동작에 대한 정보를 이용하여 상기 비히클의 이상 발생을 예측하고, 상기 비히클의 이상 발생이 예측되는 비히클을 배출 위치로 이동시킬 수 있다. 상기 비히클의 주행 중 이상이 발생하는 것을 예방할 수 있으므로, 상기 비히클의 이상 발행으로 인한 정체를 방지할 수 있다.
상기 비히클의 정체를 방지할 수 있으므로, 상기 비히클의 가동율 및 상기 대상물의 이송 효율을 높일 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 대상물 반송 시스템을 설명하기 위한 개략적인 블록도이다.
도 2는 도 1에 도시된 비히클의 이동을 설명하기 위한 대략적인 평면도이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 대상물 반송 시스템을 설명하기 위한 개략적인 블록도이고, 도 2는 도 1에 도시된 비히클의 이동을 설명하기 위한 대략적인 평면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 대상물 반송 시스템(100)은 주행 레일(102)을 따라 주행하며 대상물을 이적재하는 비히클(110), 상기 비히클(110)의 주행 동작 및 상기 대상물의 이적재 동작을 제어하는 제어 유닛(120) 및 상기 비히클(110)의 이상 여부를 예측하는 이상 예측 유닛(130)을 포함할 수 있다.
자세히 도시되지는 않았지만, 상기 비히클(110)은 주행부, 프레임부, 슬라이드부, 호이스트부 및 핸드부를 포함할 수 있다. 상기 대상물은 풉(FOUP), 포스비(FOSB), 매거진, 포드, 트레이 등일 수 있다.
상기 주행부는 상기 비히클(110)을 상기 주행 레일(102)을 따라 이동시킨다. 상기 슬라이드부는 상기 호이스트부를 수평 방향으로 이동시킬 수 있다. 상기 호이스트부는 상기 핸드부를 고정하며 상기 핸드부를 상하 방향을 따라 이동시킬 수 있다. 상기 핸드부는 상기 대상물을 고정할 수 있다. 상기 대상물은 상기 슬라이드부에 의해 상기 수평 방향으로 이동하며, 상기 호이스트부에 의해 승강할 수 있다. 따라서, 상기 슬라이드부, 상기 호이스트부, 상기 핸드부는 상기 대상물을 이적재할 수 있다.
또한, 상기 비히클(110)은 획득부(112), 판단부(114) 및 제1 통신부(116)를 포함할 수 있다.
상기 획득부(112)는 상기 비히클(110)의 상기 주행 동작 및 상기 이적재 동작에 대한 동작 정보를 획득한다. 일 예로, 상기 동작 정보는 상기 주행 동작 및 상기 이적재 동작의 로그 정보일 수 있다.
구체적으로, 상기 주행 동작에 대한 동작 정보는 상기 비히클(110)의 상기 주행부의 동작에 대한 정보일 수 있다. 상기 이적재 동작에 대한 동작 정보는 상기 비히클(110)이 상기 슬라이드부, 상기 호이스트부 및 상기 핸드부의 동작에 대한 정보일 수 있다.
상기 판단부(114)는 상기 획득부(112)에서 획득된 상기 동작 정보를 근거로 상기 주행 동작 및 상기 이적재 동작의 이상 여부를 스스로 판단한다. 또한, 상기 판단부(114)는 상기 동작 정보에 이상이 있는 경우 상기 비히클(110)의 배출을 요청하는 제1 배출 신호를 생성한다.
구체적으로, 상기 판단부(114)는 상기 획득부(112)에서 획득된 상기 동작 정보를 근거로 상기 주행부, 상기 슬라이드부, 상기 호이스트부 및 상기 핸드부가 정상적으로 동작하는지 확인한다. 예를 들면, 상기 판단부(114)는 상기 동작 정보와 상기 주행부, 상기 슬라이드부, 상기 호이스트부 및 상기 핸드부가 정상 상태일 때의 정상 동작 정보를 비교할 수 있다.
상기 동작 정보와 상기 정상 동작 정보가 오차 범위 내에서 일치하는 경우, 상기 판단부(114)는 상기 비히클(110)에서 상기 주행 동작 및 상기 이적재 동작이 정상인 것으로 판단한다.
상기 동작 정보와 상기 정상 동작 정보가 오차 범위 벗어나도록 일치하지 않는 경우, 상기 판단부(114)는 상기 비히클(110)에서 상기 주행 동작 및 상기 이적재 동작을 이상으로 판단한다.
상기 비히클(110)에서 상기 주행 동작 및 상기 이적재 동작에 이상이 있는 것으로 판단되면, 상기 판단부(114)는 상기 비히클(110)을 배출하기 위해 상기 제1 배출 신호를 생성한다.
한편, 상기 비히클(110)에서 상기 주행부의 이상으로 인해 상기 비히클(110)의 주행이 불가능한 경우, 상기 판단부(114)가 상기 제1 배출 신호를 생성하더라도 상기 비히클(110)의 배출이 불가능하다. 따라서, 상기 판단부(114)는 상기 제1 배출 신호를 생성하지 않고, 알람 신호를 생성할 수 있다.
상기 제1 통신부(116)는 상기 판단부(114)에서 생성된 상기 제1 배출 신호 또는 알람 신호를 상기 제어 유닛(120)으로 전달할 수 있다.
또한, 상기 제1 통신부(116)는 상기 획득부(112)에서 획득된 상기 동작 정보를 상기 이상 예측 유닛(130)으로 전달할 수 있다.
상기 제1 통신부(116)는 상기 제어 유닛(120)의 제2 통신부(122) 및 상기 이상 예측 유닛(130)의 제3 통신부(132)와 각각 통신할 수 있다. 상기 제1 통신부(116), 상기 제2 통신부(122) 및 상기 제3 통신부(132)는 무선 통신이나 유선 통신으로 서로 통신할 수 있다.
상기 제어 유닛(120)은 상기 제2 통신부(122), 신호 생성부(124) 및 경로 산출부(126)를 포함할 수 있다.
상기 제2 통신부(122)는 상기 제1 통신부(116)로부터 상기 제1 배출 신호 또는 상기 알람 신호를 전달받을 수 있다.
상기 신호 생성부(124)는 상기 제2 통신부(122)를 통해 상기 비히클(110)의 상기 제1 배출 신호 또는 상기 알람 신호를 전달받을 수 있다.
상기 신호 생성부(124)는 상기 제1 배출 신호에 따라 상기 비히클(110)이 상기 주행 레일(102)에서 배출 위치(104)로 이동하도록 제어하는 제어 신호를 생성할 수 있다.
상기 제2 통신부(122)는 상기 신호 생성부(124)에서 생성된 상기 제어 신호를 상기 비히클(110)의 상기 제1 통신부(116)로 전달할 수 있다. 상기 제어 신호에 따라 상기 비히클(110)이 상기 배출 위치(104)로 이동할 수 있다.
상기 비히클(110)에 이상이 발생하는 경우, 상기 비히클(110)을 자동으로 배출할 수 있다. 그러므로, 이상이 발생한 상기 비히클(110)을 신속하게 처리할 수 있고, 이상이 발생한 상기 비히클(110)로 인해 다른 비히클(110)들이 정체되는 것을 방지할 수 있다.
한편, 상기 신호 생성부(124)가 상기 알람 신호를 전달받는 경우, 상기 비히클(110)의 주행이 불가능한 상태이므로, 상기 신호 생성부(124)가 상기 제어 신호를 생성하더라도 상기 비히클(110)을 상기 배출 위치(104)로 배출할 수 없다. 따라서, 상기 신호 생성부(124)는 상기 알람 신호에 따라 알람을 발생한다.
작업자는 상기 알람을 통해 상기 비히클(110)의 이상 발생 및 주행 불능을 확인할 수 있다.
상기 경로 산출부(126)는 상기 비히클(110)의 배출 경로를 산출할 수 있다.
구체적으로, 상기 경로 산출부(126)는 상기 제1 배출 신호를 근거로 상기 비히클(110)의 현재 위치를 확인하고, 상기 비히클(110)의 현재 위치와 상기 배출 위치(104)를 이용하여 상기 비히클(110)의 배출 경로를 산출할 수 있다. 상기 산출된 배출 경로는 다른 비히클(110)의 주행을 방해하지 않는 경로이거나, 상기 배출 위치(104)까지의 최단 경로일 수 있다.
상기 신호 생성부(124)는 상기 경로 산출부(126)에서 산출된 상기 배출 경로에 대한 정보를 포함하도록 상기 제어 신호를 생성할 수 있다. 그러므로, 상기 비히클(110)은 상기 배출 경로를 따라 상기 배출 위치(104)로 이동할 수 있다.
상기 이상 예측 유닛(130)은 상기 제3 통신부(132), 예측부(134) 및 저장부(136)를 포함할 수 있다.
상기 제3 통신부(132)는 상기 제1 통신부(116)로부터 상기 획득부(112)에서 획득된 상기 동작 정보를 전달받을 수 있다.
상기 예측부(134)는 상기 획득된 동작 정보를 이용하여 상기 비히클(110)의 이상 발생을 예측한다.
구체적으로, 상기 예측부(134)는 기 획득된 다수의 기준 비히클(110a)들의 주행 동작 및 이적재 동작에 대한 기준 동작 정보를 근거로 상기 동작 정보를 분석하여 상기 비히클(110)의 이상 발생을 예측할 수 있다.
예를 들면, 상기 동작 정보와 상기 기준 동작 정보의 추이를 비교하여 상기 기준 정보 중에서 상기 동작 정보와 유사한 기준 동작 정보를 선택한다.
상기 선택된 기준 동작 정보를 갖는 기준 비히클(110a)이 정상인 경우, 상기 비히클(110)이 앞으로 상기 선택된 기준 동작 정보와 동일한 추이를 가질 것으로 예상하여 상기 비히클(110)이 정상 상태를 유지할 것으로 예측한다. 마찬가지로, 상기 선택된 유사한 기준 동작 정보를 갖는 기준 비히클(110a)이 이상인 경우, 상기 비히클(110)이 이상이 발생할 것으로 예측한다.
상기 비히클(110)에서 이상이 발생할 것으로 예측되는 경우, 상기 예측부(134)는 상기 비히클(110)의 배출을 요청하는 제2 배출 신호를 생성할 수 있다.
상기 저장부(136)는 상기 기준 비히클(110a)들에 대한 상기 기준 동작 정보를 저장할 수 있다. 상기 예측부(134)는 상기 저장부(136)에 저장된 상기 기준 동작 정보를 이용하여 상기 동작 정보를 분석할 수 있다.
또한, 상기 저장부(136)는 상기 비히클(110)로부터 전달받은 상기 동작 정보를 상기 기준 동작 정보에 추가하여 저장할 수 있다. 따라서, 상기 기준 동작 정보의 양을 증가시킬 수 있다.
상기 기준 동작 정보의 양이 증가하면, 상기 동작 정보와 상기 기준 동작 정보의 비교시 상기 기준 정보 중에서 상기 동작 정보와 보다 유사한 기준 동작 정보를 선택할 가능성을 높일 수 있다.
한편, 상기 제3 통신부(132)는 상기 제2 배출 신호를 상기 제어 유닛(120)의 상기 제2 통신부(122)로 전달할 수 있다. 상기 제2 통신부(122)가 상기 제3 통신부(132)로부터 상기 제2 배출 신호를 전달받으면, 상기 신호 생성부(124)는 상기 제2 배출 신호에 따라 상기 비히클(110)이 상기 주행 레일(102)에서 배출 위치(104)로 이동하도록 제어하는 제어 신호를 생성할 수 있다.
상기 이상 예측 유닛(130)으로 상기 비히클(110)의 이상 발생을 예측하고, 이상 발생이 예측되는 비히클(110)을 상기 배출 위치(104)로 이동시킬 수 있다. 상기 비히클(110)의 주행 중 이상이 발생하는 것을 예방할 수 있으므로, 상기 비히클(110)의 이상 발행으로 인한 정체를 방지할 수 있다.
상술한 바와 같이, 상기 대상물 반송 시스템은 이상이 발생한 비히클이나 이상 발생이 예측되는 비히클을 자동으로 배출 위치로 이송하여 상기 비히클의 이상으로 인한 정체를 방지할 수 있다. 따라서, 상기 비히클의 가동율 및 상기 대상물의 이송 효율을 높일 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100 : 대상물 이송 시스템 110 : 비히클
112 : 획득부 114 : 판단부
116 : 제1 통신부 120 : 제어 유닛
122 : 제2 통신부 124 : 신호 생성부
126 : 경로 산출부 130 : 이상 예측 유닛
132 : 제3 통신부 134 : 예측부
136 : 저장부 102 : 주행 레일
104 : 배출 위치

Claims (7)

  1. 주행 레일을 따라 주행하며 대상물을 이적재하는 비히클 및 상기 비히클의 주행 동작 및 상기 대상물의 이적재 동작을 제어하는 제어 유닛을 포함하는 대상물 이송 시스템에 있어서,
    상기 비히클은,
    상기 주행 동작 및 상기 이적재 동작에 대한 정보를 획득하는 획득부;
    상기 획득부에서 획득된 상기 정보를 근거로 상기 주행 동작 및 상기 이적재 동작의 이상 여부를 자가 판단하고, 이상이 있는 경우 상기 비히클의 배출을 요청하는 제1 배출 신호를 생성하는 판단부; 및
    상기 제1 배출 신호를 상기 제어 유닛으로 전달하는 제1 통신부를 포함하고,
    상기 제어 유닛은,
    상기 비히클의 제1 배출 신호를 전달받고, 상기 제1 배출 신호에 따라 상기 비히클이 배출 위치로 이동하도록 제어하는 제어 신호를 생성하는 신호 생성부; 및
    상기 신호 생성부에서 생성된 상기 제어 신호를 상기 비히클로 전달하는 제2 통신부를 포함하고,
    상기 비히클의 이상 여부를 예측하는 이상 예측 유닛을 포함하고,
    상기 제1 통신부는 상기 획득부에서 획득된 정보를 상기 이상 예측 유닛으로 전달하고,
    상기 이상 예측 유닛은, 상기 획득된 정보를 이용하여 상기 비히클의 이상 발생을 예측하고, 상기 비히클의 이상 발생이 예측되는 경우 상기 비히클의 배출을 요청하는 제2 배출 신호를 생성하는 예측부; 및
    상기 제2 배출 신호를 상기 제어 유닛으로 전달하는 제3 통신부를 포함하고,
    상기 예측부는, 기 획득된 다수의 비히클들의 주행 동작 및 이적재 동작에 대한 기준 정보와 상기 획득 정보를 비교하고, 상기 기준 정보 중에서 상기 획득 정보와 유사한 기준 정보를 확인하고, 상기 기준 정보의 이상 여부에 따라 상기 비히클의 이상 발생을 예측하는 것을 특징으로 하는 대상물 이송 시스템.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제어 유닛은, 상기 제1 배출 신호를 근거로 상기 비히클의 현재 위치를 확인하고, 상기 비히클의 현재 위치와 상기 배출 위치를 이용하여 상기 비히클의 배출 경로를 산출하는 경로 산출부를 더 포함하고,
    상기 신호 생성부는 상기 경로 산출부에서 산출된 상기 배출 경로에 대한 정보를 포함하도록 상기 제어 신호를 생성하는 것을 특징으로 하는 대상물 이송 시스템.
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서, 상기 신호 생성부는 상기 제2 배출 신호를 전달받고, 상기 제2 배출 신호에 따라 상기 비히클이 배출 위치로 이동하도록 제어하는 제어 신호를 생성하는 것을 특징으로 하는 대상물 이송 시스템.
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서, 상기 이상 예측 유닛은, 상기 비히클들에 대한 상기 기준 정보를 저장하는 저장부를 포함하는 것을 특징으로 하는 대상물 이송 시스템.
  7. 제6항에 있어서, 상기 획득된 정보를 상기 기준 정보에 추가하여 저장하는 것을 특징으로 하는 대상물 이송 시스템.
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