KR102330666B1 - 대상물 이송 장치 및 그 제어 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 주행 레일을 따라 주행하면서 대상물을 이송하는 대상물 이송 장치는 상기 대상물 이송 장치를 주행시키기 위한 서보 모터와, 상기 서보 모터의 동작을 제어하고, 기준 온도 조건에서 서보 모터의 토크를 감소시키는 디레이팅 모드를 수행하는 서보 드라이브와, 상기 서보 드라이브의 상기 디레이팅 모드 여부를 확인하는 디레이팅 판단부 및 상기 대상물 이송 장치의 동작을 제어하는 제어 유닛의 이송 명령에 따라 속도 신호 및 속도 프로파일을 생성하여 상기 서보 드라이브로 전달하고, 상기 서보 드라이브가 디레이팅 모드가 아닌 경우 정상 속도 프로파일을 생성하고, 상기 서보 드라이브가 디레이팅 모드인 경우 보정 속도 프로파일을 생성하는 모션 제어부를 포함할 수 있다.

Description

대상물 이송 장치 및 그 제어 방법{Object transport device and method of controlling the same}
본 발명은 대상물 이송 장치 및 그 제어 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 대상물을 이송하기 위한 대상물 이송 장치 및 그 제어 방법에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 공정 설비들은 연속적으로 배치되어 반도체 소자를 제조하기 위한 다양한 공정을 수행한다. 상기 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 대상물은 대상물 이송 장치에 의해 이송된다.
상기 대상물 이송 장치는 상기 반도체 공정 설비들이 구비된 공간에 구비된 주행 레일을 따라 주행하며, 별도의 제어 유닛에 의해 제어될 수 있다.
상기 대상물 이송 장치에서 주행을 위한 서보 모터는 서보 드라이브에 의해 제어된다. 약 50℃ 내지 60℃의 기준 온도 조건에서 상기 서보 드라이브를 사용하는 경우, 상기 서보 드라이브의 추가적인 온도 상승을 방지하기 위해 상기 서보 드라이브가 상기 서보 모터의 토크를 감소시키는 디레이팅 모드 상태로 상기 서보 모터를 제어하게 된다.
상기 대상물 이송 장치에는 상기 서보 드라이브의 디레이팅 모드 여부를 확인하기 위한 수단이 없으므로, 상기 서보 드라이브가 상기 디레이팅 모드인 경우에도 상기 서버 드라이브가 상기 서보 모터가 정상적으로 동작하는 것으로 판단하고 상기 서보 모터를 제어한다. 상기 서보 모터가 정상적으로 동작하지 않으므로, 상기 대상물 이송 장치가 상기 서보 드라이브의 제어와 달리 정상 속도보다 느리게 주행하고, 상기 대상물 이송 장치의 이송 시간이 지연될 수 있다. 또한, 상기 대상물 이송 장치가 느리게 주행하므로 다른 대상물 이송 장치와 충돌할 수도 있다.
본 발명은 서보 드라이브의 디레이팅 모드를 확인하고, 상기 디레이팅 모드인 여부에 따라 서보 모터를 제어하기 위한 속도 프로파일을 다르게 생성하는 대상물 이송 장치 및 그 제어 방법을 제공한다.
본 발명에 따른 주행 레일을 따라 주행하면서 대상물을 이송하는 대상물 이송 장치는 상기 대상물 이송 장치를 주행시키기 위한 서보 모터와, 상기 서보 모터의 동작을 제어하고, 기준 온도 조건에서 서보 모터의 토크를 감소시키는 디레이팅 모드를 수행하는 서보 드라이브와, 상기 서보 드라이브의 상기 디레이팅 모드 여부를 확인하는 디레이팅 판단부 및 상기 대상물 이송 장치의 동작을 제어하는 제어 유닛의 이송 명령에 따라 속도 신호 및 속도 프로파일을 생성하여 상기 서보 드라이브로 전달하고, 상기 서보 드라이브가 디레이팅 모드가 아닌 경우 정상 속도 프로파일을 생성하고, 상기 서보 드라이브가 디레이팅 모드인 경우 보정 속도 프로파일을 생성하는 모션 제어부를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 서보 드라이브의 디레이팅 모드 여부와 상관없이 상기 이송 장치의 이동 거리가 동일하도록 상기 보정 속도 프로파일의 등속 구간이 상기 정상 속도 프로파일의 등속 구간보다 길고, 상기 보정 속도 프로파일의 속도가 상기 정상 속도 프로파일의 속도보다 느릴 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 디레이팅 판단부는 상기 서보 드라이브의 온도가 상기 기준 온도 조건인지를 감지하는 온도 센서일 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 디레이팅 판단부는 상기 서보 모터의 토크가 감소하는 것을 감지하는 토크 센서일 수 있다.
본 발명에 따른 대상물 이송 장치의 제어 방법은, 대상물 이송 장치의 동작을 제어하는 상위 제어 유닛의 이송 명령에 따라 모션 제어부에서 서보 드라이브로 제공하기 위한 속도 신호를 생성하는 단계와, 상기 서보 드라이브가 기준 온도 조건에서 서보 모터의 토크를 감소시키는 디레이팅 모드 상태인지를 확인하는 단계와, 상기 서보 드라이브가 상기 디레이팅 모드가 아닌 경우 상기 모션 제어부에서 정상 속도 프로파일을 생성하고, 상기 서보 드라이브가 상기 디레이팅 모드인 경우 상기 모션 제어부에서 상기 디레이팅 모드에 대응하는 보정 속도 프로파일을 생성하는 단계 및 상기 정상 속도 프로파일 또는 상기 보정 속도 프로파일에 따라 상기 서보 드라이브가 상기 서보 모터를 구동시키는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 서보 드라이브의 디레이팅 모드 여부와 상관없이 상기 이송 장치의 이동 거리가 동일하도록 상기 보정 속도 프로파일의 등속 구간이 상기 정상 속도 프로파일의 등속 구간보다 길고, 상기 보정 속도 프로파일의 속도가 상기 정상 속도 프로파일의 속도보다 느릴 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 디레이팅 모드 상태인지를 확인하는 단계는, 상기 서보 드라이브의 온도가 상기 기준 온도 조건인지를 감지하여 이루어질 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 디레이팅 모드 상태인지를 확인하는 단계는, 상기 서보 모터의 토크를 감지하여 이루어질 수 있다.
본 발명에 따른 대상물 이송 장치 및 그 제어 방법은 상기 서보 드라이브의 온도를 측정하거나, 상기 서보 모터의 토크를 감지하여 상기 서보 드라이브의 디레이팅 모드 여부를 확인할 수 있다. 따라서, 상기 서보 드라이브의 디레이팅 모드 여부를 정확하게 확인할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 대상물 이송 장치 및 그 제어 방법은 상기 디레이팅 모드 여부에 따라 상기 정상 속도 프로파일 또는 상기 보정 속도 프로파일을 생성할 수 있다. 상기 디레이팅 여부에 따라 속도 프로파일을 조절할 수 있으므로, 상기 대상물 이송 장치가 비정상적인 동작하는 것을 방지할 수 있다.
그리고, 상기 보정 속도 프로파일의 등속 구간이 상기 정상 속도 프로파일의 등속 구간보다 길고, 상기 보정 속도 프로파일의 속도가 상기 정상 속도 프로파일의 속도보다 느리도록 생성할 수 있다. 그러므로, 상기 정상 속도 프로파일 또는 상기 보정 속도 프로파일에 상관없이 상기 대상물 이송 장치가 동일한 거리를 이동할 수 있다. 따라서, 상기 대상물 이송 장치가 대상물을 목표한 지점까지 안정적으로 이송할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 대상물 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 블록도이다.
도 2는 도 1의 모션 제어부에서 생성되는 정상 속도 프로파일과 보정 속도 프로파일을 설명하기 위한 그래프이다.
도 3은 도 1에 도시된 대상물 이송 장치의 제어 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 대상물 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 블록도이고, 도 2는 도 1의 모션 제어부에서 생성되는 정상 속도 프로파일과 보정 속도 프로파일을 설명하기 위한 그래프이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 대상물 이송 장치(100)는 주행 레일을 따라 주행하면서 대상물을 이송한다.
자세히 도시되지는 않았지만, 상기 대상물 이송 장치(110)는 주행부, 프레임부, 슬라이드부, 호이스트부 및 핸드부를 포함할 수 있다. 상기 대상물은 풉(FOUP), 포스비(FOSB), 매거진, 포드, 트레이 등일 수 있다.
상기 주행부는 상기 대상물 이송 장치(110)를 상기 주행 레일을 따라 이동시킨다. 상기 슬라이드부는 상기 호이스트부를 수평 방향으로 이동시킬 수 있다. 상기 호이스트부는 상기 핸드부를 고정하며 상기 핸드부를 상하 방향을 따라 이동시킬 수 있다. 상기 핸드부는 상기 대상물을 고정할 수 있다. 상기 대상물은 상기 슬라이드부에 의해 상기 수평 방향으로 이동하며, 상기 호이스트부에 의해 승강할 수 있다. 따라서, 상기 슬라이드부, 상기 호이스트부, 상기 핸드부는 상기 대상물을 이적재할 수 있다.
또한, 상기 대상물 이송 장치(100)는 서보 모터(110), 서보 드라이브(120), 디레이팅 판단부(130) 및 모션 제어부(140)를 포함할 수 있다.
상기 서보 모터(110), 상기 서보 드라이브(120), 상기 디레이팅 판단부(130) 및 상기 모션 제어부(140)는 상기 주행부에 구비될 수 있다.
상기 서보 모터(110)는 상기 주행부의 주행 휠을 회전시킴으로써 상기 대상물 이송 장치(100)를 주행시킬 수 있다.
상기 서보 드라이브(120)는 상기 서보 모터(110)와 연결되며, 상기 서보 모터(110)의 동작을 제어한다.
구체적으로, 상기 서보 드라이브(120)는 상기 모션 제어부(140)에서 생성되는 속도 프로파일에 따라 상기 서보 모터(110)를 제어할 수 있다.
또한, 상기 서보 드라이브(120)는 약 50℃ 내지 60℃의 기준 온도 조건에서 상기 서보 모터(110)의 토크를 감소시키는 디레이팅 모드를 수행할 수 있다. 상기 디레이팅 모드는 상기 서보 드라이브(120)가 상기 서보 모터(110)의 토크를 약 30% 내지 약 50% 정도 감소시키는 것이다. 상기 디레이팅 모드를 수행함으로써 상기 기준 온도 조건에서 상기 서보 드라이브(120)가 추가적으로 온도가 상승하는 것을 방지할 수 있다.
상기 기준 온도 조건보다 낮은 온도에서 상기 서보 드라이브(120)의 온도 상승을 방지할 필요가 없으므로, 상기 서보 드라이브(120)는 상기 기준 온도 조건보다 낮은 온도에서 상기 디레이팅 모드를 수행하지 않는다.
상기 디레이팅 판단부(130)는 상기 서보 드라이브(120)의 상기 디레이팅 모드 여부를 확인할 수 있다.
일 예로, 상기 디레이팅 판단부(130)는 온도 센서를 포함할 수 있다. 상기 온도 센서는 상기 서보 드라이브(120)에 구비되며, 상기 서보 드라이브(120)의 온도를 측정한다.
상기 온도 센서에서 측정되는 상기 서보 드라이브(120)의 온도가 상기 기준 온도 범위인 경우, 상기 디레이팅 판단부(130)는 상기 서보 드라이브(120)가 상기 디레이팅 모드인 것으로 판단한다.
상기 온도 센서에서 측정되는 상기 서보 드라이브(120)의 온도가 상기 기준 온도 범위보다 낮은 경우, 상기 디레이팅 판단부(130)는 상기 서보 드라이브(120)가 상기 디레이팅 모드가 아닌 것으로 판단한다.
다른 예로, 상기 디레이팅 판단부(130)는 토크 센서를 포함할 수 있다. 상기 토크 센서는 상기 서보 모터(110)에 구비되며, 상기 서보 모터(110)의 토크를 감지한다.
상기 토크 센서에서 측정되는 상기 서보 모터(110)의 토크가 정상 토크보다 작은 경우, 상기 디레이팅 판단부(130)는 상기 서보 드라이브(120)가 상기 디레이팅 모드인 것으로 판단한다.
상기 토크 센서에서 측정되는 상기 서보 모터(110)의 토크가 정상 토크와 동일한 경우, 상기 디레이팅 판단부(130)는 상기 서보 드라이브(120)가 상기 디레이팅 모드가 아닌 것으로 판단한다.
상기 온도 센서 또는 상기 토크 센서를 이용하여 상기 디레이팅 판단부(130)가 상기 서보 드라이브(120)의 디레이팅 모드 여부를 정확하게 확인할 수 있다.
상기 모션 제어부(140)는 상기 대상물 이송 장치(100)의 동작을 제어하기 위한 제어 유닛(10)으로부터 상기 대상물 이송 장치(100)의 이송 명령을 전달받는다. 또한, 상기 모션 제어부(140)는 상기 이송 명령에 따라 상기 대상물 이송 장치(100)의 속도 신호 및 속도 프로파일을 생성하여 상기 서보 드라이브(120)로 전달할 수 있다.
상기 속도 신호는 상기 대상물 이송 장치(100)의 정속도, 가속도 및 감속도에 대한 정보를 포함할 수 있다. 상기 속도 프로파일은 상기 대상물 이송 장치(100)의 주행 시간에 따른 속도 정보를 포함할 수 있다.
상기 서보 드라이브(120)가 상기 디레이팅 모드가 아닌 경우, 상기 모션 제어부(140)는 정상 속도 프로파일(a)을 생성한다.
상기 서보 드라이브(120)가 상기 디레이팅 모드인 경우, 상기 모션 제어부(140)는 보정 속도 프로파일(b)을 생성한다. 상기 디레이팅 모드에서 상기 서보 모터(110)의 토크가 감소되므로, 상기 보정 속도 프로파일에서 상기 대상물 이송 장치(100)의 속도는 감소되어 생성될 수 있다.
상기 모션 제어부(140)는 상기 디레이팅 여부에 따라 속도 프로파일을 정상 속도 프로파일(a) 또는 상기 보정 속도 프로파일(b)로 구분하여 생성할 수 있다. 그러므로, 상기 대상물 이송 장치(100)가 상기 속도 프로파일과 다르게 비정상적인 동작하는 것을 방지할 수 있다.
한편, 도 2의 상기 정상 속도 프로파일(a) 및 상기 보정 속도 프로파일(b)의 하부 면적은 상기 대상물 이송 장치(100)의 이동 거리를 의미한다.
상기 정상 속도 프로파일(a)과 상기 보정 속도 프로파일(b) 사이의 면적 S1 및 S2가 동일한 경우, 상기 정상 속도 프로파일(a)에 따라 상기 대상물 이송 장치(100)가 이동한 거리와 상기 보정 속도 프로파일(b)에 따라 상기 대상물 이송 장치(100)가 이동한 거리가 동일할 수 있다.
상기 보정 속도 프로파일(b)에서 상기 대상물 이송 장치(100)가 등속을 유지하는 등속 구간이 상기 정상 속도 프로파일(a)에서의 등속 구간보다 길고, 상기 보정 속도 프로파일(b)에서 상기 대상물 이송 장치(100)의 속도가 상기 정상 속도 프로파일(a)에서의 속도보다 느리도록 상기 보정 속도 프로파일(b)을 생성할 수 있다. 따라서, 상기 서보 드라이브(120)의 상기 디레이팅 모드 여부와 상관없이 상기 대상물 이송 장치(100)가 동일한 거리를 이동할 수 있으므로, 상기 대상물 이송 장치(100)가 상기 대상물을 목표한 지점까지 안정적으로 이송할 수 있다.
도 3은 도 1에 도시된 대상물 이송 장치의 제어 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 2 및 3을 참조하면, 먼저, 제어 유닛(10)의 이송 명령에 따라 모션 제어부(140)에서 서보 드라이브(120)로 제공하기 위한 속도 신호를 생성한다. (S110)
상기 속도 신호는 대상물 이송 장치(100)의 정속도, 가속도 및 감속도에 대한 정보를 포함할 수 있다.
다음으로, 상기 서보 드라이브(120)가 기준 온도 조건에서 서보 모터(110)의 토크를 감소시키는 디레이팅 모드 상태인지를 확인한다.(S120)
상기 기준 온도 조건은 약 50℃ 내지 60℃의 고온일 수 있다. 상기 디레이팅 모드는 상기 서보 드라이브(120)가 상기 서보 모터(110)의 토크를 약 30% 내지 약 50% 정도 감소시키는 것이다. 상기 디레이팅 모드를 수행함으로써 상기 기준 온도 조건에서 상기 서보 드라이브(120)가 추가적으로 온도가 상승하는 것을 방지할 수 있다.
일 예로, 상기 서보 드라이브(120)의 온도를 측정하여 상기 디레이팅 모드 여부를 확인할 수 있다.
상기 서보 드라이브(120)의 온도가 상기 기준 온도 범위인 경우, 상기 서보 드라이브(120)가 상기 디레이팅 모드인 것으로 판단한다. 상기 서보 드라이브(120)의 온도가 상기 기준 온도 범위보다 낮은 경우, 상기 서보 드라이브(120)가 상기 디레이팅 모드가 아닌 것으로 판단한다.
다른 예로, 상기 서보 모터(110)의 토크를 감지하여 상기 디레이팅 여부를 확인할 수 있다.
상기 서보 모터(110)의 토크가 정상 토크보다 작은 경우, 상기 서보 드라이브(120)가 상기 디레이팅 모드인 것으로 판단한다. 상기 서보 모터(110)의 토크가 정상 토크와 동일한 경우, 상기 서보 드라이브(120)가 상기 디레이팅 모드가 아닌 것으로 판단한다.
상기 서보 드라이브(120)가 상기 디레이팅 모드가 아닌 경우 상기 모션 제어부(140)에서 정상 속도 프로파일(a)을 생성하고, 상기 서보 드라이브(120)가 상기 디레이팅 모드인 경우 상기 모션 제어부(140)에서 상기 디레이팅 모드에 대응하는 보정 속도 프로파일(b)을 생성한다.(S130, S140)
구체적으로, 상기 서보 드라이브(120)가 상기 디레이팅 모드가 아닌 경우, 상기 모션 제어부(140)는 정상 속도 프로파일(a)을 생성한다. (S130)
상기 디레이팅 모드가 아닌 경우, 상기 서보 모터(110)의 토크가 감소되지 않고 정상 토크를 유지하므로, 상기 정상 속도 프로파일(a)은 상기 서보 모터(110)의 정상 토크를 기준으로 생성될 수 있다.
상기 서보 드라이브(120)가 상기 디레이팅 모드인 경우, 상기 모션 제어부(140)는 보정 속도 프로파일(b)을 생성한다. (S140)
상기 디레이팅 모드에서 상기 서보 모터(110)의 토크가 감소되므로, 상기 보정 속도 프로파일에서 상기 대상물 이송 장치(100)의 속도는 감소되어 생성될 수 있다.
상기 모션 제어부(140)는 상기 디레이팅 여부에 따라 속도 프로파일을 정상 속도 프로파일(a) 또는 상기 보정 속도 프로파일(b)로 구분하여 생성할 수 있다. 그러므로, 상기 대상물 이송 장치(100)가 상기 속도 프로파일과 다르게 비정상적인 동작하는 것을 방지할 수 있다.
또한, 상기 보정 속도 프로파일(b)에서 상기 대상물 이송 장치(100)가 등속을 유지하는 등속 구간이 상기 정상 속도 프로파일(a)에서의 등속 구간보다 길고, 상기 보정 속도 프로파일(b)에서 상기 대상물 이송 장치(100)의 속도가 상기 정상 속도 프로파일(a)에서의 속도보다 느리도록 상기 보정 속도 프로파일(b)을 생성할 수 있다. 상기 정상 속도 프로파일(a)과 상기 보정 속도 프로파일(b) 사이의 면적 S1 및 S2가 동일하도록 상기 보정 속도 프로파일(b)이 생성되는 경우, 상기 정상 속도 프로파일(a)에 따라 상기 대상물 이송 장치(100)가 이동한 거리와 상기 보정 속도 프로파일(b)에 따라 상기 대상물 이송 장치(100)가 이동한 거리가 동일할 수 있다.
이후, 상기 정상 속도 프로파일(a) 또는 상기 보정 속도 프로파일(b)에 따라 상기 서보 드라이브(120)가 상기 서보 모터(110)를 구동시킨다. (S150)
상기 속도 프로파일이 상기 정상 속도 프로파일(a)인 경우, 상기 서보 모터(110)의 구동에 따라 상기 대상물 이송 장치(100)는 정상 속도로 주행할 수 있다.
상기 속도 프로파일이 상기 보정 속도 프로파일(b)인 경우, 상기 서보 모터(110)의 구동에 따라 상기 대상물 이송 장치(100)는 정상 속도보다 느린 속도로 주행할 수 있다.
또한, 상기 서보 드라이브(120)의 상기 디레이팅 모드 여부와 상관없이 상기 대상물 이송 장치(100)가 동일한 거리를 이동할 수 있다. 그러므로, 상기 대상물 이송 장치(100)가 상기 대상물을 목표한 지점까지 안정적으로 이송할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 대상물 이송 장치 및 그 제어 방법은 상기 디레이팅 모드 여부에 따라 상기 정상 속도 프로파일 또는 상기 보정 속도 프로파일을 생성할 수 있다. 상기 디레이팅 여부에 따라 속도 프로파일을 조절할 수 있으므로, 상기 대상물 이송 장치가 비정상적인 동작하는 것을 방지할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100 : 대상물 이송 장치 110 : 서보 모터
120 : 서보 드라이브 130 : 디레이팅 판단부
140 : 모션 제어부 10 : 제어 유닛

Claims (4)

  1. 주행 레일을 따라 주행하면서 대상물을 이송하는 대상물 이송 장치에 있어서,
    상기 대상물 이송 장치를 주행시키기 위한 서보 모터;
    상기 서보 모터의 동작을 제어하고, 기준 온도 조건에서 서보 모터의 토크를 감소시키는 디레이팅 모드를 수행하는 서보 드라이브;
    상기 서보 드라이브의 상기 디레이팅 모드 여부를 확인하는 디레이팅 판단부; 및
    상기 대상물 이송 장치의 동작을 제어하는 제어 유닛의 이송 명령에 따라 속도 신호 및 속도 프로파일을 생성하여 상기 서보 드라이브로 전달하고, 상기 서보 드라이브가 디레이팅 모드가 아닌 경우 정상 속도 프로파일을 생성하고, 상기 서보 드라이브가 디레이팅 모드인 경우 보정 속도 프로파일을 생성하는 모션 제어부를 포함하고,
    상기 디레이팅 판단부는 상기 서보 모터의 토크가 감소하는 것을 감지하는 토크 센서인 것을 특징으로 하는 대상물 이송 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 서보 드라이브의 디레이팅 모드 여부와 상관없이 상기 이송 장치의 이동 거리가 동일하도록 상기 보정 속도 프로파일의 등속 구간이 상기 정상 속도 프로파일의 등속 구간보다 길고, 상기 보정 속도 프로파일의 속도가 상기 정상 속도 프로파일의 속도보다 느린 것을 특징으로 하는 대상물 이송 장치.
  3. 대상물 이송 장치의 동작을 제어하는 상위 제어 유닛의 이송 명령에 따라 모션 제어부에서 서보 드라이브로 제공하기 위한 속도 신호를 생성하는 단계;
    상기 서보 드라이브가 기준 온도 조건에서 서보 모터의 토크를 감소시키는 디레이팅 모드 상태인지를 확인하는 단계;
    상기 서보 드라이브가 상기 디레이팅 모드가 아닌 경우 상기 모션 제어부에서 정상 속도 프로파일을 생성하고, 상기 서보 드라이브가 상기 디레이팅 모드인 경우 상기 모션 제어부에서 상기 디레이팅 모드에 대응하는 보정 속도 프로파일을 생성하는 단계; 및
    상기 정상 속도 프로파일 또는 상기 보정 속도 프로파일에 따라 상기 서보 드라이브가 상기 서보 모터를 구동시키는 단계를 포함하고,
    상기 디레이팅 모드 상태인지를 확인하는 단계는, 상기 서보 모터의 토크를 감지하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 대상물 이송 장치 제어 방법.
  4. 제3항에 있어서, 상기 서보 드라이브의 디레이팅 모드 여부와 상관없이 상기 이송 장치의 이동 거리가 동일하도록 상기 보정 속도 프로파일의 등속 구간이 상기 정상 속도 프로파일의 등속 구간보다 길고, 상기 보정 속도 프로파일의 속도가 상기 정상 속도 프로파일의 속도보다 느린 것을 특징으로 하는 대상물 이송 장치 제어 방법.
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